JP2005064151A - 半導体チップの供給方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 紫外線照射により粘着力を失う粘着剤によって表面側に複数の半導体チップ1が貼着されたUVシート3の裏面を紫外線透過性ガラス基板4上に載置し、前記紫外線透過性ガラス基板4の下方の紫外線光源5から紫外線を照射することにより前記粘着剤の粘着力を失わせ、前記UVシート3上の各半導体チップ1を一個ずつコレット6によりピックアップして半導体製造装置(図示せず)へ半導体チップ1を供給する。
【選択図】 図2
Description
紫外線光源と、
前記紫外線光源上に水平に載置された紫外線透過性ガラス基板と、
前記紫外線透過性ガラス基板上に載置されたUVシート上の任意の位置にある半導体チップを一個ずつピックアップして半導体製造装置に供給するように前記紫外線透過性ガラス基板の上方に位置するコレットと、
からなることを特徴とする。
2 マウンターリング
3 UVシート
4 紫外線透過性ガラス基板
5 紫外線照射装置
6 コレット
Claims (6)
- 紫外線照射により粘着力を失う粘着剤によって表面側に複数の半導体チップが貼着されたUVシートの裏面を紫外線透過性ガラス基板上に載置し、前記紫外線透過性ガラス基板の下方から紫外線を照射することにより前記粘着剤の粘着力を失わせ、前記UVシート上の各半導体チップを一個ずつコレットによりピックアップして半導体製造装置へ半導体チップを供給するようにしたことを特徴とする半導体チップの供給方法。
- 前記半導体製造装置が自動ダイボンダー又は自動チップボンダーであることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップの供給方法。
- 紫外線光源と、
前記紫外線光源上に水平に載置された紫外線透過性ガラス基板と、
前記紫外線透過性ガラス基板上に載置されたUVシート上の任意の位置にある半導体チップを一個ずつピックアップして半導体製造装置に供給するように前記紫外線透過性ガラス基板の上方に位置するコレットと、
からなることを特徴とする半導体チップ供給装置。 - 前記紫外線透過性ガラス基板は反射防止コーティングが施されているものであることを特徴とする請求項3に記載の半導体チップ供給装置。
- 前記紫外線透過性ガラス基板は石英ガラス製であることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体チップ供給装置。
- 前記半導体製造装置が自動ダイボンダー又は自動チップボンダーであることを特徴とする請求項3に記載の半導体供給装置。
Priority Applications (1)
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JP2003290816A JP2005064151A (ja) | 2003-08-08 | 2003-08-08 | 半導体チップの供給方法及び装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012089722A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法およびその製造装置 |
JP2015173233A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハ処理装置及びウエーハの処理方法 |
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2003
- 2003-08-08 JP JP2003290816A patent/JP2005064151A/ja active Pending
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