JP2005061573A - 磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 - Google Patents
磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005061573A JP2005061573A JP2003295294A JP2003295294A JP2005061573A JP 2005061573 A JP2005061573 A JP 2005061573A JP 2003295294 A JP2003295294 A JP 2003295294A JP 2003295294 A JP2003295294 A JP 2003295294A JP 2005061573 A JP2005061573 A JP 2005061573A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- signal
- magnetic bearing
- control device
- bearing control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 70
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 55
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 13
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 10
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
- F16C32/0455—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control including digital signal processing [DSP] and analog/digital conversion [A/D, D/A]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Abstract
【解決手段】 位相調整部326は、ロータ4の浮上位置を第1の位置および第2の位置に順に設定し、各設定位置において位相シフト部321により正弦波信号の位相を0(deg)から360(deg)まで変化させて、そのときの乗算後の信号をそれぞれ取得する。そして、第1の位置に設定したときに得られる乗算信号と第2の位置に設定したときに得られる乗算信号との差分が最大となる位相を算出し、算出された位相を記憶部306に記憶させる。磁気軸受制御時には、記憶部306に記憶した位相を位相シフト部321の位相シフト量に設定して制御を行う。
【選択図】 図3
Description
請求項2の発明は、被支持体の浮上位置を検出するセンサに搬送波信号を印加し、センサからの応答波信号に復調用の正弦波信号を乗算して復調を行い、被支持体を非接触支持する電磁石の励磁電流を復調された信号に基づいて制御する磁気軸受制御装置に適用され、正弦波信号の位相をシフトして搬送波信号を生成する位相シフト部と、被支持体の浮上位置を第1の位置および第2の位置に順に設定し、各設定位置において位相シフト部により正弦波信号の位相を0(deg)から360(deg)まで変化させて、そのときの乗算後の信号をそれぞれ取得する乗算信号取得手段と、乗算信号取得手段で取得された信号に基づいて、復調された信号のゲインが最大となる位相を算出する位相算出手段と、位相算出手段により算出された位相を、磁気軸受制御における位相シフト部の位相シフト量に設定する位相設定手段とを備えたことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の磁気軸受制御装置において、位相算出手段が、第1の位置に設定したときに得られる乗算信号と第2の位置に設定したときに得られる乗算信号との差分が最大となる位相を位相として算出するものである。
請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の磁気軸受制御装置において、センサからの応答波信号をデジタル値に変換するA/D変換手段を備え、デジタル値に変換された信号に基づいてデジタル演算処理により復調を行うようにしたものである。
請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の磁気軸受制御装置において、磁気軸受制御装置の通電開始の度に、前記乗算信号取得手段による乗算後の信号の取得、位相算出手段による位相の算出、および位相設定手段による位相シフト量の設定の一連の動作を行うことを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の磁気軸受制御装置において、位相設定手段により設定された位相シフト量を記憶する記憶部と、記憶部に記憶されている位相シフト量に対する位相算出手段により算出された位相の偏差が所定基準値以上の場合に軸受異常の警告を発する異常警告手段とを備えたものである。
請求項7の発明は、被支持体の浮上位置を検出するセンサに搬送波信号を印加し、センサからの応答波信号に復調用の正弦波信号を乗算して復調を行い、被支持体を非接触支持する電磁石の励磁電流を復調された信号に基づいて制御する磁気軸受制御装置に適用され、正弦波信号の位相をシフトする位相シフト部と、被支持体の浮上位置を第1の位置および第2の位置に順に設定し、各設定位置において位相シフト部により正弦波信号の位相を0(deg)から360(deg)まで変化させて、そのときの乗算後の信号をそれぞれ取得する乗算信号取得手段と、乗算信号取得手段で取得された信号に基づいて、復調された信号のゲインが最大となる位相を算出する位相算出手段と、磁気軸受制御装置の通電の度に、位相算出手段により算出された位相の所定基準に対する偏差が所定値以上か否かを判定する判定手段と、判定手段により所定値以上と判定されたときに軸受異常の警告を発する異常警告手段とを備えたことを特徴とする。
請求項8の発明による磁気浮上装置は、請求項1〜7のいずれかに記載の磁気軸受制御装置と、磁気軸受制御装置により制御される磁気軸受とを備えたことを特徴とする。
ところが、前述したように乗算部322で応答波信号と正弦波離散値とを乗算する際の互いの位相関係に応じて、ゲイン・オフセット調整部324から出力されるセンサ信号のゲイン・オフセットが変化する。設計上はゲイン・オフセットが最適となるように位相シフト部により設定されているが、実際には位相関係が最適値からずれてしまう場合がる。そのような場合は、前述したようにセンサ信号を取り出してオシロスコープ等で観察しながら、最適なゲイン・オフセットとなるように調整する必要があった。
図7は図3に示した回路の変形例を示す図である。図3に示す例では乗算部322に入力される復調用の正弦波離散値を位相シフトさせたが、図7ではラジアル変位センサ71xに印加される搬送波を生成するための正弦波離散値を位相シフト部321で位相シフトさせるようにした。搬送波の位相がシフトされるとラジアル変位センサ71xからの応答波も位相シフトするため、結果的には乗算部322に入力される差分信号と正弦波離散値との間の位相関係を変化させることができる。位相シフト調整方法は図3の場合と同様である。
図8は他の変形例を示す図である。図3に示した例では、DSP307で生成した正弦波を搬送波として使用したが、図8に示す例ではセンサ回路5に設けられた搬送波生成部505で搬送波を生成して印加するようにした。
2 駆動制御装置
3 磁気軸受制御部
4 ロータ
5 センサ回路
8 励磁アンプ
9 表示部
51x,51y,52x,52y,53z 電磁石
71x,73 変位センサ
301 A/Dコンバータ
302,308 D/Aコンバータ
306 記憶部
307 DSP
320 正弦波離散値生成部
321 位相シフト部
322 乗算部
326 位相調整部
Claims (8)
- 被支持体の浮上位置を検出するセンサに搬送波信号を印加し、前記センサからの応答波信号に復調用の正弦波信号を乗算して復調を行い、前記被支持体を非接触支持する電磁石の励磁電流を復調された信号に基づいて制御する磁気軸受制御装置において、
前記正弦波信号の位相をシフトする位相シフト部と、
前記被支持体の浮上位置を第1の位置および第2の位置に順に設定し、各設定位置において前記位相シフト部により前記正弦波信号の位相を0(deg)から360(deg)まで変化させて、そのときの前記乗算後の信号をそれぞれ取得する乗算信号取得手段と、
前記乗算信号取得手段で取得された信号に基づいて、前記復調された信号のゲインが最大となる位相を算出する位相算出手段と、
前記位相算出手段により算出された位相を、磁気軸受制御における前記位相シフト部の位相シフト量に設定する位相設定手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 被支持体の浮上位置を検出するセンサに搬送波信号を印加し、前記センサからの応答波信号に復調用の正弦波信号を乗算して復調を行い、前記被支持体を非接触支持する電磁石の励磁電流を復調された信号に基づいて制御する磁気軸受制御装置において、
前記正弦波信号の位相をシフトして前記搬送波信号を生成する位相シフト部と、
前記被支持体の浮上位置を第1の位置および第2の位置に順に設定し、各設定位置において前記位相シフト部により前記正弦波信号の位相を0(deg)から360(deg)まで変化させて、そのときの前記乗算後の信号をそれぞれ取得する乗算信号取得手段と、
前記乗算信号取得手段で取得された信号に基づいて、前記復調された信号のゲインが最大となる位相を算出する位相算出手段と、
前記位相算出手段により算出された位相を、磁気軸受制御における前記位相シフト部の位相シフト量に設定する位相設定手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 請求項1または2に記載の磁気軸受制御装置において、
前記位相算出手段は、前記第1の位置に設定したときに得られる乗算信号と前記第2の位置に設定したときに得られる乗算信号との差分が最大となる位相を前記位相として算出することを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の磁気軸受制御装置において、
前記センサからの応答波信号をデジタル値に変換するA/D変換手段を備え、前記デジタル値に変換された信号に基づいてデジタル演算処理により復調を行うことを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の磁気軸受制御装置において、
磁気軸受制御装置の通電開始の度に、前記乗算信号取得手段による乗算後の信号の取得、前記位相算出手段による位相の算出、および前記位相設定手段による位相シフト量の設定の一連の動作を行うことを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の磁気軸受制御装置において、
前記位相設定手段により設定された位相シフト量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶されている位相シフト量に対する前記位相算出手段により算出された位相の偏差が所定基準値以上の場合に軸受異常の警告を発する異常警告手段を備えたことを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 被支持体の浮上位置を検出するセンサに搬送波信号を印加し、前記センサからの応答波信号に復調用の正弦波信号を乗算して復調を行い、前記被支持体を非接触支持する電磁石の励磁電流を復調された信号に基づいて制御する磁気軸受制御装置において、
前記正弦波信号の位相をシフトする位相シフト部と、
前記被支持体の浮上位置を第1の位置および第2の位置に順に設定し、各設定位置において前記位相シフト部により前記正弦波信号の位相を0(deg)から360(deg)まで変化させて、そのときの前記乗算後の信号をそれぞれ取得する乗算信号取得手段と、
前記乗算信号取得手段で取得された信号に基づいて、前記復調された信号のゲインが最大となる位相を算出する位相算出手段と、
磁気軸受制御装置の通電の度に、前記位相算出手段により算出された位相の所定基準に対する偏差が所定値以上か否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により所定値以上と判定されたときに軸受異常の警告を発する異常警告手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受制御装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の磁気軸受制御装置と、
前記磁気軸受制御装置により制御される磁気軸受とを備えたことを特徴とする磁気浮上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295294A JP4232573B2 (ja) | 2003-08-19 | 2003-08-19 | 磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003295294A JP4232573B2 (ja) | 2003-08-19 | 2003-08-19 | 磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005061573A true JP2005061573A (ja) | 2005-03-10 |
JP4232573B2 JP4232573B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=34371592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003295294A Expired - Lifetime JP4232573B2 (ja) | 2003-08-19 | 2003-08-19 | 磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4232573B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006283799A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP2007263251A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jtekt Corp | 磁気軸受装置 |
JP2008082546A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-04-10 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
CN103573814A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-02-12 | 浙江工业大学 | 一种混合磁力轴承及控制方法 |
KR20190095043A (ko) * | 2018-02-06 | 2019-08-14 | 엘지전자 주식회사 | 자기베어링 제어 방법 |
JP2019209399A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 国立大学法人 鹿児島大学 | 工作機械の主軸システム |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103939485B (zh) * | 2013-10-30 | 2017-02-01 | 南京航空航天大学 | 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器 |
CN105202024B (zh) * | 2014-06-11 | 2017-09-22 | 珠海格力电器股份有限公司 | 磁悬浮轴承系统的控制方法、控制装置及空调 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61248916A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | Hitachi Ltd | 電磁軸受装置 |
JPH06307447A (ja) * | 1993-04-27 | 1994-11-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 磁気軸受制御装置 |
JPH10299773A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-10 | Seiko Seiki Co Ltd | 磁気軸受の制御装置 |
JP2000060169A (ja) * | 1998-08-04 | 2000-02-25 | Ebara Corp | 磁気浮上制御装置 |
JP2001074049A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
JP2001177919A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-29 | Ebara Corp | 磁気浮上制御装置 |
JP2001336528A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Ntn Corp | 磁気浮上装置 |
-
2003
- 2003-08-19 JP JP2003295294A patent/JP4232573B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61248916A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | Hitachi Ltd | 電磁軸受装置 |
JPH06307447A (ja) * | 1993-04-27 | 1994-11-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 磁気軸受制御装置 |
JPH10299773A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-10 | Seiko Seiki Co Ltd | 磁気軸受の制御装置 |
JP2000060169A (ja) * | 1998-08-04 | 2000-02-25 | Ebara Corp | 磁気浮上制御装置 |
JP2001074049A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
JP2001177919A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-29 | Ebara Corp | 磁気浮上制御装置 |
JP2001336528A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Ntn Corp | 磁気浮上装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006283799A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP2007263251A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jtekt Corp | 磁気軸受装置 |
JP2008082546A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-04-10 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
CN103573814A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-02-12 | 浙江工业大学 | 一种混合磁力轴承及控制方法 |
CN103573814B (zh) * | 2013-10-18 | 2015-12-23 | 浙江工业大学 | 一种混合磁力轴承及控制方法 |
KR20190095043A (ko) * | 2018-02-06 | 2019-08-14 | 엘지전자 주식회사 | 자기베어링 제어 방법 |
KR102069578B1 (ko) * | 2018-02-06 | 2020-01-23 | 엘지전자 주식회사 | 자기베어링 제어 방법 |
JP2019209399A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 国立大学法人 鹿児島大学 | 工作機械の主軸システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4232573B2 (ja) | 2009-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9816514B2 (en) | Magnetic bearing device and vacuum pump | |
US9347489B2 (en) | Magnetic bearing device and vacuum pump | |
KR100712673B1 (ko) | 무브러시 모터의 제어회로, 무센서 무브러시 모터의제어회로, 무브러시 모터장치, 무센서 무브러시 모터장치및 진공펌프장치 | |
US7355833B2 (en) | Magnetic bearing device | |
CN109424646B (zh) | 磁轴承控制装置及真空泵 | |
JP4232573B2 (ja) | 磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 | |
CN106594071B (zh) | 磁轴承装置及转子旋转驱动装置 | |
JP2005325976A (ja) | 磁気軸受制御装置 | |
JP6269080B2 (ja) | 磁気軸受装置および真空ポンプ | |
CN107202016A (zh) | 磁轴承式真空泵 | |
JP2005344874A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP5817546B2 (ja) | 磁気軸受制御装置 | |
JP2006308074A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP3254049B2 (ja) | 磁気軸受式回転機械 | |
JP4466439B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2004226124A (ja) | 角度センサの回転角度検出装置 | |
JP2002081444A (ja) | 磁気軸受装置および磁気軸受装置のセンサ感度調整方法 | |
US6259178B1 (en) | Initial adjustment circuit and initial adjustment method of magnetic bearing apparatus | |
JP5309876B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP4622067B2 (ja) | 測距センサの故障検出装置および故障検出方法 | |
JP2606256Y2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2004270778A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP4324734B2 (ja) | 磁気軸受制御装置 | |
JP2009068718A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2008228529A (ja) | 永久磁石同期モータの駆動制御方法および駆動制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4232573 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131219 Year of fee payment: 5 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |