JP2005043237A - アウトガス評価装置 - Google Patents
アウトガス評価装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005043237A JP2005043237A JP2003278104A JP2003278104A JP2005043237A JP 2005043237 A JP2005043237 A JP 2005043237A JP 2003278104 A JP2003278104 A JP 2003278104A JP 2003278104 A JP2003278104 A JP 2003278104A JP 2005043237 A JP2005043237 A JP 2005043237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaluation apparatus
- orifice
- measurement chamber
- outgas
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
【課題】オリフィス法によるアウトガス評価装置1において、真空ポンプ13から遠い第一測定室4の高真空度を容易に得ることができるアウトガス評価装置1を提供する。
【解決手段】試料6を配置する第一測定室4と、真空ポンプ13で真空引きする第二測定室5とをオリフィス部3を介して連通してなるアウトガス評価装置1において、第一測定室4と第二測定室5とを連通する開閉バルブ16付きバイパスライン15を設けることにより、真空ポンプ13から遠い第一測定室4の排気がオリフィス部3を経由して行なわれる他に、バイパスライン15を経由して同時に行なわれるようにした。
【選択図】図1
【解決手段】試料6を配置する第一測定室4と、真空ポンプ13で真空引きする第二測定室5とをオリフィス部3を介して連通してなるアウトガス評価装置1において、第一測定室4と第二測定室5とを連通する開閉バルブ16付きバイパスライン15を設けることにより、真空ポンプ13から遠い第一測定室4の排気がオリフィス部3を経由して行なわれる他に、バイパスライン15を経由して同時に行なわれるようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、各種の真空装置に使用する材料や部品等から発生するアウトガスを評価するアウトガス評価装置に関するものである。本発明の評価装置は、真空シール評価装置、アウトガス定性・定量評価装置等として用いられる。
例えば、真空状態下で半導体デバイスを製造する半導体製造装置においては、その構成部品であるOリング等のスクィーズパッキンに対して、装置の真空到達力を向上させるべく高シール性能を有すること、および半導体デバイスに有害な腐食性ガスを発生させないこと等が求められ、これらの要求に応えるべくパッキンから発生するアウトガスを定性かつ定量的に測定する方法の確立が求められている。
従来、最も一般的な半導体Oリングのアウトガス評価装置は、Oリング(試料)を配置した測定室を真空ポンプで真空引きし、測定室内で発生するアウトガスの発生量を測定するものである。しかしながらこの従来の評価装置によると、真空ポンプの性能が直接、測定結果に影響を及ぼすために、測定精度が余り良くない不都合がある。
これに対して、その後開発されたオリフィス法による評価装置51は、図2に示すように、Oリングを配置する第一測定室52と、真空ポンプ53で真空引きする第二測定室54とをオリフィス部55を介して連通したもので、
よりなるアウトガスの定量式にもとづいてアウトガスの発生量を測定することから、第一および第二測定室52,54の圧力(真空度)P1,P2をそれぞれ真空計56,57で測定することにより、真空ポンプ53の性能如何にかかわらずアウトガスの発生量を測定することができる。しかしながらこの図2の評価装置51には、以下の問題がある。
よりなるアウトガスの定量式にもとづいてアウトガスの発生量を測定することから、第一および第二測定室52,54の圧力(真空度)P1,P2をそれぞれ真空計56,57で測定することにより、真空ポンプ53の性能如何にかかわらずアウトガスの発生量を測定することができる。しかしながらこの図2の評価装置51には、以下の問題がある。
すなわち先ず、図示したように第一測定室52、オリフィス部55、第二測定室54および真空ポンプ53が直列に並ぶ構造とされているために、真空ポンプ53から遠い方の第一測定室52の高真空度を得るのが困難である。このため従来は、やむなく真空ポンプ53を複数設置したり、真空ポンプ53に高出力のものを使用したりして対応しているが、この対応策によると、装置設備が大掛かりなものとなってしまう。
また、上記図2の評価装置51は、そのハウジング58の内部に仕切り部59を一体に設け、この仕切り部59にオリフィス部55を形成している。したがってハウジング58とオリフィス部55とが一体構造とされているために、オリフィス部55はそのサイズを変更することができない。したがって、オリフィス部55のサイズに見合った特定のサイズのOリングしか測定することができない。
尚、特開平11-297784号公報に、半導体の基板を試料とするオリフィス法によるアウトガス評価装置が掲載されているが、この評価装置は上記図2の評価装置51と原理的に同じ構造であるため、同じ問題を抱えている。
本発明は以上の点に鑑みて、上記オリフィス法によるアウトガス評価装置において、真空ポンプから遠い第一測定室の高真空度を容易に得ることができるアウトガス評価装置を提供することを目的とし、またこれに加えて、試料のサイズに応じてオリフィス部のサイズを変更することができ、もって汎用性に優れたアウトガス評価装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の請求項1による評価装置は、試料を配置する第一測定室と、真空ポンプで真空引きする第二測定室とをオリフィス部を介して連通してなるアウトガス評価装置において、前記第一測定室と第二測定室とを連通する開閉バルブ付きバイパスラインを設けたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2による評価装置は、上記した請求項1のアウトガス評価装置において、オリフィス部を形成するオリフィス形成部材を当該評価装置のハウジングに着脱自在に取り付け、前記オリフィス形成部材は、試料のサイズに応じて異なるサイズのオリフィス部を有するもの同士を交換可能であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3による評価装置は、上記した請求項1または2のアウトガス評価装置において、半導体製造装置用Oリング等のスクィーズパッキンを試料とし、前記パッキンの評価試験を実使用状態で行なうことを特徴とするものである。
上記構成を備えた本発明の請求項1による評価装置においては、第一測定室と第二測定室とを連通するバイパスラインが設けられているために、真空ポンプから遠い第一測定室の排気がオリフィス部を経由して行なわれる他にバイパスラインを経由して同時に行なわれる。したがって、第一測定室の真空度を第二測定室の真空度に近付けることができ、結果、第一測定室の真空度を高めることが可能となる。尚、評価試験自体は、開閉バルブを操作してバイパスラインを閉じた状態で行なわれる。
またこれに加えて、上記構成を備えた本発明の請求項2による評価装置においては、オリフィス部を形成するオリフィス形成部材が当該装置のハウジングに着脱自在に取り付けられて、試料のサイズに応じて異なるサイズのオリフィス部を有するもの同士を交換可能とされているために、試料のサイズに応じてオリフィス部のサイズを変更することができる。
本発明の評価装置の試料は、例えば半導体製造装置用Oリング等のスクィーズパッキンであり、このパッキンの評価試験をその実使用状態で行なうようにすると、測定精度を一層向上させることができる(請求項3)。
本発明は、以下の効果を奏する。
すなわち、上記構成を備えた本発明の請求項1による評価装置においては、第一測定室と第二測定室とを連通する開閉バルブ付きのバイパスラインを設けたために、装置の内部を真空にする際に、真空ポンプから遠い方の第一測定室の排気がオリフィス部を経由して行なわれる他にバイパスラインを経由して同時に行なわれる。したがって、第一測定室の真空度を第二測定室の真空度に近付けることができ、結果、第一測定室の真空度を高めることができるために、測定精度を向上させることができる。また、測定時には、開閉バルブを操作してバイパスラインを閉じることにより、直ちに評価試験を行なうことができる。
またこれに加えて、上記構成を備えた本発明の請求項2による評価装置においては、オリフィス部を形成するオリフィス形成部材がハウジングに着脱自在に取り付けられて、試料のサイズに応じて異なるサイズのオリフィス部を有するもの同士を交換可能とされているために、試料のサイズに応じて適切なサイズのオリフィス部を使用して評価試験を行なうことができる。したがって、様々なサイズの試料の評価試験を適切に行なうことができ、汎用性に優れた評価装置を提供することができる。
また、上記構成を備えた本発明の請求項3による評価装置においては、半導体製造装置用Oリング等のスクィーズパッキンを試料とし、このパッキンの評価試験を実使用状態で行なうようにしたために、この点からも測定精度を向上させることができる。
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
図1は、本発明の実施例に係る評価装置1の概略構造説明図であり、当該評価装置1は以下のように構成されている。
すなわち先ず、当該装置1のハウジング2が設けられており、このハウジング2の内部空間がオリフィス部(コンダクタンス部とも称する)3を境にして図上上側の第一測定室4と、下側の第二測定室5とに分けられている。
図上上側の第一測定室4には、試料である半導体製造装置用Oリング6を実使用状態で評価試験することができるように試料取付部7が設けられており、具体的にはこの試料取付部7が、ハウジング2の端部に設けられたフランジ8と、このフランジ8に図示しない締付ボルト等の取付手段によって着脱自在に取り付けられるプレート9との組み合わせによって構成されている。Oリング6は、このフランジ8とプレート9の間に実使用状態と同じ圧縮量をもって着脱自在に装着される(フランジ8およびプレート9間をシールすべく装着され、これにより実使用状態が再現される)。
また、この第一測定室4には、その内圧を測定するための真空計(好ましくは電離真空計)10が接続されており、また発生するアウトガスの成分を分析するための質量分析装置(好ましくは四重極質量分析装置(Q−mass))11が接続されている。四重極質量分析装置は、プラズマ中のイオン種やラジカル種等を容易かつ安定性良く測定することができる装置である。
図上下側の第二測定室5には、その内圧を測定するための真空計(好ましくは電離真空計)12が接続されており、またこの第二測定室5を真空引きするための真空ポンプ(好ましくはターボ分子ポンプまたはロータリーポンプ)13が直列で接続されている。
第一測定室4と第二測定室5の境のオリフィス部3は、オリフィス形成部材であるオリフィス相フランジ14に設けられており、このフランジ14はハウジング2に対して着脱自在に取り付けられている。また、このフランジ14は、試料であるOリング6のサイズに応じて異なるサイズのオリフィス部3を有するもの同士を交換することができるように予め複数が用意されている。
また、ハウジング2には、第一測定室4と第二測定室5とを連通するためのバイパスライン15が設けられており、このバイパスライン15には、これを開閉するための開閉バルブ(バイパスバルブとも称する)16が設けられている。このバイパスライン15は、開閉バルブ16を操作することにより、評価試験の準備時には開かれ、評価試験の実施時には閉じられる。
上記構成の評価装置1を用いて、試料であるOリング6から発生するアウトガスを評価するに際しては、上記(1),(2)式に必要される数値諸元をそれぞれ測定し、これらを(1),(2)式に代入して、アウトガスの発生量を算出する。また、質量分析装置11が備えられているので、発生するアウトガスの成分を分析することもできる。
上記構成の評価装置1によれば、以下の作用効果が発揮される。
すなわち先ず、装置1のハウジング2に第一測定室4と第二測定室5とを連通するためのバイパスライン15が設けられているために、装置1の内部を真空にする際に、真空ポンプ13から遠い方の第一測定室4の排気が、オリフィス部3を経由して行なわれる他に、バイパスライン14を経由して同時に行なわれる。したがって、第一測定室4の真空度を第二測定室5の真空度に近付けることができ、その結果として第一測定室4の真空度を高めることができるために、測定精度を向上させることができる。また、測定時には、開閉バルブ16を操作してバイパスライン15を閉じることにより、直ちに評価試験を行なうことができる。
また、オリフィス部3を形成するためのオリフィス形成部材であるオリフィス相フランジ14がハウジング2に着脱自在に取り付けられていて、試料であるOリング6のサイズに応じて異なるサイズのオリフィス部3を有するもの同士を交換可能とされているために、Oリング6のサイズに応じて適切なサイズのオリフィス部3を使用して評価試験を行なうことができる。したがって、様々なサイズのOリング6の評価試験を適切に行なうことができる。
また、Oリング6の評価試験を実使用状態で行なうようにしたために、この点からも測定精度を向上させることができる。
尚、本発明の評価装置の試料は、Oリング6に限られず、更にスクィーズパッキンに限られない。
1 アウトガス評価装置
2 ハウジング
3 オリフィス部
4 第一測定室
5 第二測定室
6 Oリング(試料)
7 試料取付部
8 フランジ
9 プレート
10,12 真空計
11 質量分析装置
13 真空ポンプ
14 オリフィス相フランジ(オリフィス形成部材)
15 バイパスライン
16 開閉バルブ
2 ハウジング
3 オリフィス部
4 第一測定室
5 第二測定室
6 Oリング(試料)
7 試料取付部
8 フランジ
9 プレート
10,12 真空計
11 質量分析装置
13 真空ポンプ
14 オリフィス相フランジ(オリフィス形成部材)
15 バイパスライン
16 開閉バルブ
Claims (3)
- 試料(6)を配置する第一測定室(4)と、真空ポンプ(13)で真空引きする第二測定室(5)とをオリフィス部(3)を介して連通してなるアウトガス評価装置(1)において、
前記第一測定室(4)と第二測定室(5)とを連通する開閉バルブ(16)付きバイパスライン(15)を設けたことを特徴とするアウトガス評価装置。 - 請求項1のアウトガス評価装置において、
オリフィス部(3)を形成するオリフィス形成部材(14)を当該評価装置(1)のハウジング(2)に着脱自在に取り付け、前記オリフィス形成部材(14)は、試料(6)のサイズに応じて異なるサイズのオリフィス部(3)を有するもの同士を交換可能であることを特徴とするアウトガス評価装置。 - 請求項1または2のアウトガス評価装置において、
半導体製造装置用Oリング等のスクィーズパッキンを試料(6)とし、前記パッキンの評価試験を実使用状態で行なうことを特徴とするアウトガス評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003278104A JP2005043237A (ja) | 2003-07-23 | 2003-07-23 | アウトガス評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003278104A JP2005043237A (ja) | 2003-07-23 | 2003-07-23 | アウトガス評価装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005043237A true JP2005043237A (ja) | 2005-02-17 |
Family
ID=34264615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003278104A Pending JP2005043237A (ja) | 2003-07-23 | 2003-07-23 | アウトガス評価装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005043237A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102507864A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-06-20 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种空间人居环境下材料放气产物的检测装置和方法 |
KR101537661B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2015-07-17 | 한국표준과학연구원 | 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법 |
JP2016070721A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 公益財団法人鉄道総合技術研究所 | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 |
-
2003
- 2003-07-23 JP JP2003278104A patent/JP2005043237A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102507864A (zh) * | 2011-10-20 | 2012-06-20 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种空间人居环境下材料放气产物的检测装置和方法 |
KR101537661B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2015-07-17 | 한국표준과학연구원 | 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법 |
JP2016070721A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 公益財団法人鉄道総合技術研究所 | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4475224B2 (ja) | 気密漏れ検査装置 | |
CN106226000B (zh) | 一种真空密封性能测量装置和方法 | |
CN103822761B (zh) | 密封性检测装置及方法 | |
CN106017819B (zh) | 一种分压漏率测量装置及方法 | |
CN111141506B (zh) | 一种极微小密封器件腔体气体压力和组分测量装置及方法 | |
CN103335795B (zh) | 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法 | |
US10502651B2 (en) | Creating a mini environment for gas analysis | |
KR101456843B1 (ko) | 리크 디텍터 | |
JP3698108B2 (ja) | 気密漏れ検査方法及び装置 | |
CN103267705A (zh) | 材料分压放气率测量系统及其测量方法 | |
JP2005043237A (ja) | アウトガス評価装置 | |
JP2023554280A (ja) | 試験体のガスリークを検出するガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法 | |
CN203414243U (zh) | 真空密封件分压漏率测量装置 | |
KR101174270B1 (ko) | 소닉 노즐을 이용한 진공펌프의 배기속도 측정 장치 및 방법 | |
KR20050098930A (ko) | 누출 감지 방법 및 장치 | |
US6439053B1 (en) | Acoustic spectrometer apparatus and method for cavity geometry verification | |
JP4798007B2 (ja) | ガス分析方法 | |
JP5255974B2 (ja) | 真空室内のガス成分測定方法、及び真空装置 | |
JP3383633B2 (ja) | リーク検査装置 | |
JPH1090227A (ja) | 試料導入装置及びガス分析装置及び配管のリーク検査方法 | |
JP4002148B2 (ja) | ヒートパイプのリーク検査方法およびその検査装置 | |
CN114324548B (zh) | 内部气氛含量测试装置及测试方法 | |
JP4130968B2 (ja) | 漏洩検知装置 | |
JPH08247888A (ja) | 圧力洩れ測定方法 | |
JPH04160357A (ja) | ガス分圧の定量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20051025 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080123 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080130 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080709 |