JP2005037218A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 両面に電極を有する電気機械変換素子と、
   音響整合部材が内部に形成され、前記電気機械変換素子に電極を介して接続される整合部材ケースと
   を備え、
   前記音響整合部材は、
   複数の粒子が前記整合部材ケース内の底部で互いに接触して配列され、前記複数の粒子間に生じる空間は乾燥ゲルで充填されている第１音響整合層と、
   前記第１音響整合層上に形成され、乾燥ゲルから構成される第２音響整合層と、
   を含む層状構造を有する超音波送受波器。
2. 前記複数の粒子が前記整合部材ケース内の底部で最密充填するように配列されている請求項１または２に記載の超音波送受波器。
3. 前記複数の粒子は、互いに化学的に結合していない状態にある請求項１または２に記載の超音波送受波器。
4. 前記複数の粒子の少なくとも一部は、ガラスビーズから形成されている請求項１から３のいずれかに記載の超音波送受波器。
5. 前記第２音響整合層は音響インピーダンスの異なる複数の層を含んでいる請求項１から４のいずれかに記載の超音波送受波器。
6. 前記電気機械変換素子を収納する容器を更に備えている請求項１から５のいずれかに記載の超音波送受波器。
7. 前記容器は、前記電気機械変換素子を外部から遮蔽している請求項６に記載の超音波送受波器。
8. 被測定流体が流れる流量測定部と、
   前記流量測定部に設けられ、超音波信号を送受波する一対の超音波送受波器と、
   前記一対の超音波送受波器の間を超音波が伝搬する時間を計測する計測部と、
   前記計測部からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段と、を備えた超音波流量計であって、
   前記一対の超音波送受波器の各々が、請求項１から７のいずれかに記載の超音波送受波器である超音波流量計。
9. 前記測定流体は、気体である請求項８に記載の超音波流量計。
10. 前記超音波送受波器における電気機械変換素子は、前記被測定流体から遮蔽されている請求項８または９に記載の超音波流量計。
11. 請求項１から７のいずれかに記載の超音波送受波器を備えた装置。
12. 両面に電極を有する電気機械変換素子と、音響整合部材と、前記音響整合部材が内部に形成され、前記電気機械変換素子に電極を介して接続される整合部材ケースとを備える超音波受波器の製造方法であって、
    （ａ）ゲル原料液に沈降し得る複数の粒子を前記整合部材ケース内の底部で互いに接触するように配列する工程と、
    （ｂ）前記音響整合部材ケースの内部に、前記複数の粒子を浸漬するように前記ゲル原料液を供給する工程と、
    （ｃ）前記ゲル原料液から乾燥ゲルを形成することにより、前記複数の粒子が前記整合部材ケース内の底部で互いに接触するように配列され、前記複数の粒子間の空隙に生じる乾燥ゲルで充填されている第１音響整合層と、前記第１音響整合層上に形成され、乾燥ゲルから構成される第２音響整合層とを含む層状構造を有する前記音響整合部材を形成する工程と、
    を含む超音波送受波器の製造方法。