JP2005026340A - Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material - Google Patents
Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005026340A JP2005026340A JP2003188080A JP2003188080A JP2005026340A JP 2005026340 A JP2005026340 A JP 2005026340A JP 2003188080 A JP2003188080 A JP 2003188080A JP 2003188080 A JP2003188080 A JP 2003188080A JP 2005026340 A JP2005026340 A JP 2005026340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- wiring board
- cutting
- slot
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は配線基板の製造方法および配線基板素材に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、熱放散性の改善を主な目的として金属板を芯材として備えた配線基板が用いられ、パワートランジスタなどの発熱の大きい部品を搭載する配線板として採用される場合がある。金属板を芯材として備えた配線基板は、例えば特許文献1に示すように、一般的に生産性等の向上の点から、中間製品としての配線基板素材(連結配線基板)を切断刃を用いて切断することにより製造されている。そして、特許文献1に示す配線基板素材では、金属板の切断予定線に対応する部分全体(全周)を当初の厚さよりも薄い薄肉部に形成して、切断時のバリの発生を抑制するとともに、切断を容易としている。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−133913号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような配線基板の製造方法では、配線基板の全周にわたって金属板を切断することになるため、例えば芯材が樹脂やセラミックの場合と比較して切断刃にかかる負荷が大きくなり、切断刃の寿命が短くなったり破損が発生しやすくなったりするおそれがある。また、切断により、金属板の切断面が全周にわたり露出してしまうため、酸化・腐食等が発生しやすくなるおそれもある。
【0005】
本発明の課題は、金属切断長の減少により切断刃にかかる負荷の軽減と切断刃の長寿命化を図り、金属切断面の露出を少なくして酸化・腐食の改善を図れる配線基板の製造方法を提供することにある。さらに、本発明の課題は、金属連結部の短縮にもかかわらず変形しにくく、複数の配線基板への切断・分離作業等が高精度で行なえる配線基板素材を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
上記課題を解決するために、本発明の配線基板の製造方法は、
金属板を芯材とする配線基板素材を、各々複数の交差位置が形成される縦方向及び横方向の切断予定線によって、複数の配線基板に切断し分離するための配線基板の製造方法であって、
少なくとも交差位置を連結部として残存させる形態で、切断予定線に沿い金属板を表裏方向に貫通して所定幅のスロットを形成するスロット形成工程と、
金属板の表裏面とスロットの壁面とに樹脂絶縁層を積層する絶縁層形成工程と、
配線基板素材を個々の配線基板として分離するために、その配線基板素材を切断予定線に沿って切断する切断工程と、を含むことを特徴とする。
【0007】
この製造方法によれば、個分けのための切断予定線に沿って表裏方向(板厚方向)に貫通してスロットが形成されているため、金属板の切断長を減少させて切断刃にかかる負荷の軽減と切断刃の長寿命化を図ることができる。また、金属板の切断に伴う露出面積が小さくなるので、酸化・腐食を抑制することができる。さらに、金属切断面の露出が少なくなることにより、金属板と樹脂絶縁層との間に水分が侵入して樹脂絶縁層の膨れや剥離が発生する事態の改善も可能となる。なお、金属板へのスロット形成にはエッチング、レーザー加工等の方法が用いられ、配線基板素材の切断にはダイシングソー、ダイヤモンドカッタ、レーザー加工装置、ルータ加工装置等が用いられる。
【0008】
したがって、上記課題を解決するために、本発明の配線基板素材は、
金属板を芯材とし、各々複数の交差位置が形成される縦方向及び横方向の切断予定線によって、複数の配線基板に切断し分離される配線基板素材であって、
少なくとも前記交差位置を連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に所定幅で貫通形成されたスロットと、
前記金属板の表裏面と前記スロットの壁面とに積層された樹脂絶縁層と、を含むことを特徴とする。
【0009】
この配線基板素材によれば、切断予定線に沿って表裏方向(板厚方向)に貫通形成されたスロットによって金属板の連結部が短縮(縮小)されても、切断予定線の交差位置において金属板が相互に連結されているので変形しにくい構造を維持することができる。このため、ハンドリング時において配線基板素材の反りや曲りが抑えられ、複数の配線基板への切断・分離作業等が高精度で行なえる。
【0010】
また、上記課題を解決するために、本発明の配線基板の製造方法は、
金属板を芯材とする配線基板素材を、各々複数の直交状交差位置が形成される縦方向及び横方向に平行な切断予定線によって、複数の配線基板に切断し分離するための配線基板の製造方法であって、
前記交差位置のみを十字クロス状の連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に貫通して所定幅のスロットを形成するスロット形成工程と、
前記金属板に形成された前記スロットの内側に充填され、かつその金属板の表裏面のそれぞれを該金属板の厚さ以下の厚さで被覆する樹脂絶縁層が形成される絶縁層形成工程と、
前記配線基板素材を個々の前記配線基板として分離するために、前記金属板の十字クロス状の連結部と前記樹脂絶縁層とを前記切断予定線に沿って切断刃により切断する切断工程と、を含むことを特徴とする。
【0011】
この製造方法によれば、直交状の交差位置のみに十字クロス状の連結部を残し、それ以外は切断予定線に沿って表裏方向(板厚方向)に貫通してスロットを形成するので、金属板の切断長を極力減少させて切断刃にかかる負荷の軽減と切断刃の長寿命化を図ることができる。また、金属板の切断に伴う露出面積を縮小できるので、酸化・腐食を抑制することができる。さらに、切断工程において、切断刃により切断されるべき金属板の十字クロス状の連結部は、スロットの内側に充填された樹脂絶縁層と金属板の表裏面を被覆する樹脂絶縁層とによって周囲をすべて覆われているため、切断に伴うバリの発生もなく平坦な切断面が得られる。このとき、樹脂絶縁層が金属板の厚さ以下の厚さで被覆しているため、配線基板において金属板からの放熱性が良好となる。また切断工程において、切断刃による樹脂絶縁層の切断の際に生ずる樹脂の切り屑が相対的に少なくなる。したがって、後工程で形成されるスルーホール導体層(めっき層)等にこのような樹脂の切り屑が付着して導通不良が発生することも少なくなる。
【0012】
そして、上記課題を解決するために、本発明の配線基板素材は、
金属板を芯材とし、各々複数の直交状交差位置が形成される縦方向及び横方向に平行な切断予定線によって、複数の配線基板に切断し分離される配線基板素材であって、
前記交差位置のみを十字クロス状の連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に所定幅で貫通形成されたスロットと、
前記金属板に形成された前記スロットの内側に充填され、かつその金属板の表裏面のそれぞれを該金属板の厚さ以下の厚さで被覆する樹脂絶縁層と、を含み、
個々の前記配線基板として分離するために、前記金属板の十字クロス状の連結部と前記樹脂絶縁層とを前記切断予定線に沿って切断刃により切断することが予定されていることを特徴とする。
【0013】
この配線基板素材によれば、切断予定線に沿って表裏方向(板厚方向)に貫通形成されたスロットによって金属板の連結部が直交状の交差位置のみに制限されても、その交差位置において金属板が十字クロス状に相互に連結されているので変形しにくい構造を維持することができる。このため、ハンドリング時において配線基板素材の反りや曲りが抑えられ、複数の配線基板への切断・分離作業等が高精度で行なえる。また、樹脂絶縁層が金属板の厚さ以下の厚さで被覆しているため、配線基板素材における金属板からの放熱性も良好となる。
【0014】
ここで、本発明において「切断予定線」とは「切断予定中心線」を意味する。一方、「連結部」とは、金属板において、互いに交差する縦方向及び横方向の切断予定線に沿ってスロットを形成したとき、各々の交差位置に形成されるスロット非形成部分を指し、切断予定線が直交状に交差するとき連結部は十字クロス状に形成される。また、金属板には、導電性、加工性等を考慮して、例えば銅、銅合金あるいは鉄・ニッケル系合金(例えばインバー)等が採用でき、このうちインバーは熱膨張率が小さいため、金属板を芯材として備えた配線基板に好適である。樹脂絶縁層としては、絶縁性、耐熱性等を考慮して、例えばエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂あるいは連続多孔性ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のふっ素系樹脂にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた複合材料等が採用できる。配線基板素材切断用の切断刃には、ダイシングソーのブレードやダイヤモンドカッタのカッタ刃等が用いられる。
【0015】
このような配線基板の製造方法の絶縁層形成工程(あるいは配線基板素材)において、金属板の厚さをTとし、その金属板の表面又は裏面に形成された樹脂絶縁層の厚さをTRとしたとき、
0.05≦TR/T≦0.25
を満たすように樹脂絶縁層を形成することが望ましい。これによって、配線基板において金属板からの放熱性がさらに良好となり、また切断工程において、切断刃による樹脂絶縁層の切断の際に生ずる樹脂の切り屑がますます少なくなる。したがって、後工程で形成されるスルーホール導体層(めっき層)等にこのような樹脂の切り屑が付着して導通不良が発生することも一層少なくなる。
【0016】
ここで、金属板の表面又は裏面に形成された樹脂絶縁層の厚さTRと金属板の厚さTの比TR/Tが0.05未満の場合には、金属板の表裏面全体に均一な厚さの樹脂絶縁層が形成されなくなるおそれがある。一方、比TR/Tが0.25超の場合には、絶縁樹脂の使用量が増大してコストアップを招来したり放熱性が低下したりするおそれがある。
【0017】
また、配線基板の製造方法のスロット形成工程(あるいは配線基板素材)において、縦方向及び横方向に平行な切断予定線によって囲まれる矩形区画のうちいずれかの辺の長さをLとし、その辺におけるスロットの長さの合計をLSとしたとき、
0.5≦LS/L≦0.9
を満たすようにスロットを形成することが望ましい。これによって、金属切断長を相対的に減少させ、ダイシングブレード等の切断刃にかかる負荷の軽減と切断刃の長寿命化が達成できる。また、金属切断長の減少により金属切断面の露出が少なくなるので、酸化・腐食の改善を図りやすくなる。なお、矩形区画には長方形区画と正方形区画とを含む。
【0018】
ここで、スロットの長さ合計LSと辺の長さLとの比LS/Lが0.5未満の場合には、金属切断長の増大により切断負荷及び切断露出面積が増加するおそれがある。一方、比LS/Lが0.9超の場合には、金属連結部の減少により配線基板素材の強度が不足して変形しやすくなるおそれがある。
【0019】
さらに、配線基板の製造方法のスロット形成工程(あるいは配線基板素材)において、切断予定線を挟むスロットの幅をWSとし、その切断予定線を挟む連結部の幅をWとしたとき、
1.5≦W/WS≦3.0
を満たすようにスロットを形成することが望ましい。これによって、直交状の交差位置のみに金属板の連結部を形成する場合においても、配線基板素材の強度を維持して変形しにくくすることができる。
【0020】
ここで、切断予定線を挟む連結部の幅Wと切断予定線を挟むスロットの幅WSとの比W/WSが1.5未満の場合には、金属連結部の減少により配線基板素材の強度が不足して変形しやすくなるおそれがある。一方、比W/WSが3.0超の場合には、金属切断長の増大により切断負荷及び切断露出面積が増加するおそれがある。
【0021】
次に、配線基板の製造方法のスロット形成工程(あるいは配線基板素材)において、切断予定線を挟むスロットの幅をWSとし、金属板の厚さをTとしたとき、
1.0≦WS/T≦3.0
を満たすようにスロットを形成することが望ましい。これによって、スロットへの樹脂充填性がよくなり、スロット壁面へ樹脂絶縁層が積層(充填)されやすくなる。
【0022】
ここで、切断予定線を挟むスロットの幅WSと金属板の厚さTとの比WS/Tが1.0未満の場合には、樹脂の表面張力によりスロットへの樹脂充填性が悪化し、スロットの金属壁面が露出するおそれがある。一方、比WS/Tが3.0超の場合には、スロット形成部分において金属板に撓み等の変形が生じやすくなったり、スロット内の充填樹脂量の不足によりスロットの樹脂絶縁層に窪みを生じて配線パターン層やビルドアップ層の形成等に悪影響を及ぼしたりするおそれがある。
【0023】
【発明の実施の形態】
(実施例)
以下、本発明の実施の形態につき図面に示す実施例を参照して説明する。
【0024】
図1は本発明に係る配線基板素材の一実施例を示す平面図である。また、図2(a)は図1のA−A断面図、図2(b)は同じくB−B断面図を示す。図1に示すように、配線基板素材1は、矩形(本実施例では長方形及び正方形を含む;図1では正方形)状の矩形区画部分2’(切断により後述する配線基板2となるべき部分)が複数(実施例では3行×3列で合計9個)つながってパネル状に形成されている。この配線基板素材1は、後述する切断工程で切断予定線3(本実施例では切断予定中心線を意味する)に沿って分割(切断・分離)される。縦方向と横方向に平行な各複数本(実施例では各2本)の切断予定線3によって、複数(実施例では合計4個)の互いに直交する交差位置(直交状交差位置)が形成されている。この切断予定線3に沿って個々に切断されることによって配線基板2(図5参照)が製造される。
【0025】
図2に示すように、配線基板素材1は、金属板4(図3参照)と樹脂絶縁層5とを有している。金属板4は矩形(図3では正方形)状を呈し、熱膨張率、導電性、加工性等を考慮して鉄・ニッケル系合金のインバー製としている。樹脂絶縁層5は、絶縁性、耐熱性等を考慮して選択されたエポキシ樹脂とシリカフィラーとの複合材料からなるプリプレグ(半硬化状態のシート)を金属板4の表裏両面上に層状に重ねておき、これを真空熱圧着し、プリプレグを硬化させることにより、金属板4の表裏両面に積層(被覆)形成される。
【0026】
次に、図3は金属板4の平面図とその拡大説明図である。図4(a)は図3(a)のA’−A’断面図、図4(b)は同じくB’−B’断面図である。図3において、配線基板素材1の金属板4には、切断予定線3に沿って表裏方向(板厚方向)に貫通した細長い溝状のスロット6が、区画金属板41’(矩形区画部分2’に対応して、切断により後述する個別の金属板41となるべき部分)の四周を取り巻く形態で形成されている。つまり、切断予定線3によって区画される区画金属板41’において、その4隅(角部)を除いて周囲4辺上にスロット6,6,6,6が形成されている。具体的には、スロット6は、切断予定線3が直交状に交差する位置とその周辺(十字クロス状部分)を連結部7として残存させるようにして形成されている。なお、このスロット6は、後述するようにエッチングによって形成される。
【0027】
次に、本発明に係る配線基板の製造方法の一実施例について、図5に基いて説明する。
【0028】
<エッチングレジスト層形成工程:S1・S2>
工程S1において、金属板4の表面および裏面に感光性レジスト8を被着する。次に、工程S2においてこれを露光・現像して、形成予定のスロット6に対応する部分が開口したエッチングレジスト層8Rを形成する。
【0029】
<スロット形成工程:S3>
工程S3において、エッチングレジスト層8Rが形成された金属板4のエッチングを行い、スロット6を形成する。その後、エッチングレジスト層8Rを剥離すると、スロット6を有する金属板4ができる。なお、このスロット形成工程では、金属板4に表裏を貫通するスルーホール用の孔9(図3(b)参照)も複数個(例えば4個)同時に形成される。
【0030】
<絶縁層形成工程:S4>
次に、工程S4において、金属板4の表面および裏面に、エポキシ樹脂とシリカフィラーとの複合材料からなる所定厚さのプリプレグを重ねる。そして、金属板4にプリプレグが積層された状態で、真空熱圧着し、プリプレグを硬化させて、樹脂絶縁層5を形成する。金属板4のスロット6の内側には、プリプレグからしみだしたエポキシ樹脂が充填される。スロット6の壁面部分が樹脂絶縁層5で被覆され、スロット6の開口部が埋められた状態となる。なお、スルーホール用の孔9(図3(b)参照)が同時に金属板4に形成されている場合には、絶縁層形成工程において、その内側部分にもエポキシ樹脂が充填される。
【0031】
<配線パターン層等形成工程:S100>
樹脂絶縁層5の外側には配線パターン層が形成される。また、その配線パターン層の外側に、絶縁樹脂ビルドアップ層を介して積層用配線パターン層が1又は複数形成される(重ねられる)こともある。さらに最外側の絶縁樹脂ビルドアップ層には、樹脂ソルダーレジスト層と半田バンプが形成される場合もある。これらの各層は本実施例ではいずれも公知の方法(例えば特開2001−203295号公報参照)により形成される。なお、工程S100の全部又は一部を切断工程S5の後に実施する場合もある。すなわち、絶縁層形成工程S4が終了した段階において、あるいは配線パターン層等形成工程S100の途中の段階において、配線基板素材1を複数の配線基板2に切断・分離(次工程S5参照)し、その後、切断・分離された個々の配線基板2に対してS100の残余の工程を実施してもよい。
【0032】
<切断工程:S5>
工程S5において、配線基板素材1は、切断予定線3に沿ってスロット6の内部に充填された樹脂絶縁層5及び金属板4の十字クロス状の連結部7が切断される。具体的には、ダイシングブレード10(切断刃)の幅中心を切断予定線3(切断予定中心線)に一致させ、樹脂絶縁層5と連結部7とを切断して、配線基板素材1を複数(ここでは9個)の配線基板2として分離する(図3(a)、図4(b)参照)。金属板4の全周が露出せずに、その一部のみ(連結部7の切断端面のみ)が露出することになる。よって、全周が露出する場合と比べて、金属板4の露出部の耐酸化性や耐腐食性に優れる効果がある。なお、切断によって露出した連結部7の切断端面を樹脂絶縁層5で再被覆する場合がある。
【0033】
このように、直交状の交差位置のみに十字クロス状の連結部7を残し、それ以外は切断予定線3に沿って表裏方向(板厚方向)に貫通してスロット6を形成している。これによって、金属板4の切断長が短縮されダイシングブレード10にかかる負荷が軽減されるので、ダイシングブレード10の寿命が長くなる。また、金属板4の切断に伴う露出面積が連結部7の端面のみとなるので、酸化・腐食しにくくなる。さらに、ダイシングブレード10により切断される連結部7は、スロット6の内側に充填された樹脂絶縁層5と金属板4の表裏面を被覆する樹脂絶縁層5とによって周囲をすべて覆われている。このため、切断に伴うバリの発生もなく平坦な切断面が得られる。
【0034】
矩形区画部分2’(区画金属板41’)のいずれか一辺の長さL(例えば37.8mm)に対するスロット6の長さLS(例えば30mm)の比を、LS/L=0.79に設定している(図3参照)。これによって、金属切断長が全長の約21%に減少し、ダイシングブレード10にかかる負荷が軽減されるので寿命が長くなる。また、金属切断長の減少により連結部7の金属切断面の露出が少なくなるので酸化・腐食しにくくなる。
【0035】
切断予定線3を挟むスロット6の幅WS(例えば500μm)とその切断予定線3を挟む十字クロス状の連結部7の幅W(例えば1050μm)との比を、W/WS=2.1に設定している(図3参照)。これによって、直交状の交差位置のみに金属板4の連結部7が形成されていても、配線基板素材1の強度が維持され変形しにくくなる。なお、切断予定線3は、スロット6の幅中心及び連結部7の幅中心とそれぞれ一致している。
【0036】
金属板4の厚さT(例えば250μm)に対するスロット6の幅WS(例えば500μm)の比を、WS/T=2.0に設定している(図4(b)参照)。これによって、スロット6への樹脂充填性がよくなり、スロット6の壁面へ樹脂絶縁層5が積層(充填)されやすくなる。
【0037】
また、樹脂絶縁層5の厚さTR(例えば40μm)と金属板4の厚さT(例えば250μm)との比を、TR/T=0.16に設定している(図2参照)。これによって、配線基板2において金属板4からの放熱性が良好となり、また切断工程において、ダイシングブレード10による樹脂絶縁層5の切断の際に生ずる樹脂の切り屑が相対的に少なくなる。したがって、後工程で形成されるスルーホール導体層(めっき層)等にこのような樹脂の切り屑が付着して導通不良が発生することも少なくなる。
【0038】
切断予定線3を挟んでダイシングブレード10の刃幅WBとスロット6の幅WSと連結部7の幅Wとを、WB(例えば300μm):WS(例えば500μm):W(例えば1050μm)=3:5:10.5に設定している(図3参照)。これによって、ダイシングブレード10がスロット6の金属壁面を切断することが防止され、連結部7により配線基板素材1は変形(曲り、撓み等)しにくくなるので切断時の精度を高めることができる。また、WB/WS=0.6に設定しているので、スロット6への樹脂充填性がよくなり、スロット6の壁面へ樹脂絶縁層5が積層(充填)されやすくなる。
【0039】
なお、配線基板素材1に複数の配線パターン層やビルドアップ層が積層形成される複層配線基板素材(ビルドアップ配線基板素材)の場合(図5のS100)には、次のように設定される。すなわち、スロット6の幅WSとダイシングブレード10の刃幅WBとの差WS−WBには、各配線パターン層の切断予定線3からの許容ずれ量であるアライメントずれ量WA(図示せず)が含まれるようにする。これによって、複層配線基板素材(ビルドアップ配線基板素材)の場合においても、ダイシングブレード10がスロット6の金属壁面を切断することが防止される。
【0040】
次に、図6は切断途中の矩形区画部分2’(区画金属板41’)を示し、図7は切断された配線基板2(個別金属板41)を示している。図6に示すように、ダイシングブレード10の刃幅WBとスロット6の幅WSと連結部7の幅Wとは、WB≦WS≦Wの関係を有するので、配線基板2の角部には、切断された連結部7の一部が切断残余部分として残り、突出部41b(補強部)を形成することになる。
【0041】
具体的には、金属板4の直交状交差位置に形成された十字クロス状の連結部7がダイシングブレード10によって切断される(図6参照)。このとき、ダイシングブレード10の左右切断縁10’,10’によって形成される切断残余部分としての突出部41b(補強部)が、個別金属板41(以下、単に金属板ともいう)の各辺の外形線の内縁41dを延長して形成される中央矩形部分としての本体部41aと一体的に形成される(図7(a)参照)。この突出部41bは、図7(a)に示すように、金属板41の本体部41aの角を挟む二辺から平行状に外側に張り出し形成されている。このように、突出部41bは金属板41の角部を覆うように角を挟む二辺に跨って張り出し形成されているので、角部の強度が向上し、ハンドリング時に損傷(欠け、割れ等)や変形(折れ、曲り、撓み等)が発生しにくくなる。さらに、連結部7を切断する過程において突出部41bが形成されるので、製造コストをアップせずに配線基板2(金属板41)の機能向上が達成される。
【0042】
また、金属板41の厚さT(例えば250μm)に対する突出部41bの張り出し幅WH(例えば100μm)を、WH/T=0.4に設定している(図7参照)。これによって、金属板41の角部の補強に必要な突出部41bの張り出し幅WHを確保することができる。
【0043】
さらに、ダイシングブレード10による切断後の辺の最大長さL’(例えば37.5mm)に対するその辺における突出部41bの張り出し長さの合計LH(例えば7.5mm)を、LH/L’=0.2に設定している(図7参照)。これによって、金属板41の角部の補強に必要な突出部41bの張り出し長さLHを確保することができる。なお、図6及び図7から、
L’=L−WB
LH=L’−LS=L−WB−LS
と表わせるので、
LH/L’=(L−WB−LS)/(L−WB)=1−{LS/(L−WB)}
の関係がある。ただし、Lは切断予定線3によって囲まれる矩形区画部分2’(区画金属板41’)の一辺の長さ、LSはその辺でのスロットの長さ合計、WBはダイシングブレード10の刃幅を表わしている(図6参照)。また、切断前の十字クロス状の連結部7の幅Wと、切断後の張り出し長さの合計LHとの間には、
LH=W−WB
の関係がある(図6、図7参照)。
【0044】
(変形例)
次に、図8にスロットの変形例を示す。図8(a)及び(b)はそれぞれ図3(b)及び図7(a)に対応した説明図(平面図)である。この変形例では、図3(b)のスロット6が切断予定線3方向に二分割され、スロット16a,16bとして形成されている。したがって、スロット16aとスロット16bとの間にも区画金属板42’が存在することになる。このような場合、前述のスロットの長さ合計LSは、スロット16aの長さLaとスロット16bの長さLbの和を求めればよい。
【0045】
図8(b)は、このようにスロット16a,16bを形成して製造された配線基板2(個別金属板42;以下、単に金属板ともいう)を示している。図7(a)と同様に、金属板42の4隅には角部を覆う突出部42b(補強部;切断残余部分)が本体部42a(中央矩形部分)と一体的に形成されている。各辺の外形線の内縁42dの中央には中央突出部42R(補強部;切断残余部分)が本体部42aと一体的に形成されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る配線基板素材の一実施例を示す平面図。
【図2】図1の配線基板素材のA−A断面図及びB−B断面図。
【図3】金属板の平面図及び拡大説明図。
【図4】図3(a)の金属板のA’−A’断面図及びB’−B’断面図。
【図5】本発明に係る配線基板の製造方法の一実施例を示す説明図。
【図6】切断途中の矩形区画部分(区画金属板)の説明図。
【図7】配線基板(個別金属板)の平面図及び正面図。
【図8】図3(b)及び図7(a)の変形例を示す説明図。
【符号の説明】
1 配線基板素材
2 配線基板
2’ 矩形区画部分
3 切断予定線(切断予定中心線)
4 金属板
5 樹脂絶縁層
6 スロット
7 連結部
10 ダイシングブレード(切断刃)
41 個別金属板(金属板)
41a 本体部(中央矩形部分)
41b 補強部(切断残余部分;突出部)
41’ 区画金属板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a wiring board and a wiring board material.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a wiring board provided with a metal plate as a core material has been used mainly for the purpose of improving heat dissipation, and it may be used as a wiring board for mounting components that generate large amounts of heat such as power transistors. A wiring board provided with a metal plate as a core material generally uses a cutting blade for a wiring board material (connected wiring board) as an intermediate product from the viewpoint of improving productivity and the like, as shown in
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-133913
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a method of manufacturing a wiring board, the metal plate is cut over the entire circumference of the wiring board, so the load applied to the cutting blade is larger than when the core material is resin or ceramic, for example, There is a possibility that the life of the cutting blade is shortened or breakage is likely to occur. Moreover, since the cut surface of the metal plate is exposed over the entire circumference by cutting, there is a possibility that oxidation, corrosion, and the like are likely to occur.
[0005]
An object of the present invention is to reduce the load applied to the cutting blade by reducing the metal cutting length and extend the life of the cutting blade, and reduce the exposure of the metal cutting surface to improve oxidation and corrosion. Is to provide. Furthermore, an object of the present invention is to provide a wiring board material that is not easily deformed despite the shortening of the metal connecting portion, and that can perform cutting / separation work into a plurality of wiring boards with high accuracy.
[0006]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
In order to solve the above problems, a method for manufacturing a wiring board according to the present invention includes:
A wiring board manufacturing method for cutting and separating a wiring board material having a metal plate as a core material into a plurality of wiring boards by means of vertical and horizontal cutting lines each having a plurality of intersecting positions. And
A slot forming step of forming a slot having a predetermined width by penetrating the metal plate in the front and back direction along the planned cutting line in a form in which at least the crossing position remains as a connecting portion;
An insulating layer forming step of laminating a resin insulating layer on the front and back surfaces of the metal plate and the wall surface of the slot;
In order to separate the wiring board material into individual wiring boards, a cutting step of cutting the wiring board material along a planned cutting line is included.
[0007]
According to this manufacturing method, since the slot is formed so as to penetrate in the front and back direction (plate thickness direction) along the planned cutting line for individual separation, the cutting length of the metal plate is reduced and the cutting blade is applied. It is possible to reduce the load and extend the life of the cutting blade. Moreover, since the exposed area accompanying cutting | disconnection of a metal plate becomes small, oxidation and corrosion can be suppressed. Furthermore, since the exposure of the metal cut surface is reduced, it is possible to improve the situation where moisture penetrates between the metal plate and the resin insulating layer and the resin insulating layer swells or peels off. In addition, a method such as etching or laser processing is used for forming a slot in the metal plate, and a dicing saw, a diamond cutter, a laser processing device, a router processing device, or the like is used for cutting the wiring board material.
[0008]
Therefore, in order to solve the above problems, the wiring board material of the present invention is
A wiring board material that is cut and separated into a plurality of wiring boards by using a metal plate as a core material, and a cutting line in a vertical direction and a horizontal direction in which a plurality of intersecting positions are formed,
A slot formed by penetrating the metal plate with a predetermined width in the front and back direction along the planned cutting line in a form in which at least the crossing position remains as a connecting portion;
And a resin insulation layer laminated on the front and back surfaces of the metal plate and the wall surface of the slot.
[0009]
According to this wiring board material, even if the connecting portion of the metal plate is shortened (reduced) by the slots formed in the front and back direction (plate thickness direction) along the planned cutting line, the metal is crossed at the intersection of the planned cutting line. Since the plates are connected to each other, a structure that is difficult to deform can be maintained. For this reason, warping and bending of the wiring board material can be suppressed during handling, and cutting / separation work into a plurality of wiring boards can be performed with high accuracy.
[0010]
In addition, in order to solve the above-described problem, a method for manufacturing a wiring board according to the present invention includes:
A wiring board material for cutting and separating a wiring board material having a metal plate as a core material into a plurality of wiring boards by cutting lines parallel to the vertical direction and the horizontal direction, each of which is formed with a plurality of orthogonal crossing positions. A manufacturing method comprising:
A slot forming step of forming a slot having a predetermined width by penetrating the metal plate in the front and back direction along the planned cutting line in a form in which only the crossing position remains as a cross-shaped connecting portion,
An insulating layer forming step in which a resin insulating layer is formed which fills the inside of the slot formed in the metal plate and covers each of the front and back surfaces of the metal plate with a thickness equal to or less than the thickness of the metal plate; ,
In order to separate the wiring board material into individual wiring boards, a cutting step of cutting the cross-shaped connecting portion of the metal plate and the resin insulating layer with a cutting blade along the planned cutting line, It is characterized by including.
[0011]
According to this manufacturing method, since a cross-shaped connecting portion is left only at an orthogonal crossing position and a slot is formed by penetrating along the planned cutting line in the front and back direction (plate thickness direction). By reducing the cutting length of the plate as much as possible, the load on the cutting blade can be reduced and the life of the cutting blade can be extended. Moreover, since the exposed area accompanying cutting | disconnection of a metal plate can be reduced, oxidation and corrosion can be suppressed. Further, in the cutting process, the cross-shaped connecting portion of the metal plate to be cut by the cutting blade is surrounded by a resin insulating layer filled inside the slot and a resin insulating layer covering the front and back surfaces of the metal plate. Since it is all covered, a flat cut surface can be obtained without the generation of burrs associated with cutting. At this time, since the resin insulating layer is coated with a thickness equal to or less than the thickness of the metal plate, the heat dissipation from the metal plate is improved in the wiring board. In the cutting process, resin chips generated when the resin insulating layer is cut by the cutting blade are relatively reduced. Therefore, the occurrence of poor conduction due to such resin chips adhering to a through-hole conductor layer (plating layer) or the like formed in a later process is reduced.
[0012]
And in order to solve the said subject, the wiring board material of this invention is the following.
A wiring board material that is cut and separated into a plurality of wiring boards by using a metal plate as a core material, and cutting lines parallel to the vertical direction and the horizontal direction, each of which is formed with a plurality of orthogonal intersection positions,
In a form in which only the crossing position remains as a cross-shaped connecting portion, a slot formed through the metal plate with a predetermined width in the front and back direction along the planned cutting line,
A resin insulating layer that fills the inside of the slot formed in the metal plate and covers the front and back surfaces of the metal plate with a thickness equal to or less than the thickness of the metal plate,
In order to separate the individual wiring boards, it is planned to cut the cross-shaped connecting portion of the metal plate and the resin insulating layer with a cutting blade along the planned cutting line. To do.
[0013]
According to this wiring board material, even if the connecting portion of the metal plate is limited to the orthogonal crossing position by the slots formed in the front and back direction (plate thickness direction) along the planned cutting line, Since the metal plates are connected to each other in the shape of a cross, it is possible to maintain a structure that is not easily deformed. For this reason, warping and bending of the wiring board material can be suppressed during handling, and cutting / separation work into a plurality of wiring boards can be performed with high accuracy. Further, since the resin insulating layer is coated with a thickness equal to or less than the thickness of the metal plate, the heat dissipation from the metal plate in the wiring board material is also improved.
[0014]
Here, in the present invention, “scheduled cutting line” means “scheduled center line”. On the other hand, the “connecting portion” refers to a non-slotted portion formed at each crossing position when a slot is formed along the planned cutting lines in the vertical and horizontal directions intersecting each other in the metal plate. When the planned lines intersect perpendicularly, the connecting portion is formed in a cross shape. In consideration of conductivity, workability, etc., for example, copper, a copper alloy, or an iron / nickel alloy (for example, Invar) can be used for the metal plate. Of these, Invar has a low coefficient of thermal expansion. It is suitable for a wiring board provided with a plate as a core material. The resin insulation layer is impregnated with a thermosetting resin such as epoxy resin in fluorine resin such as epoxy resin, polyimide resin or continuous porous polytetrafluoroethylene (PTFE) in consideration of insulation and heat resistance. The composite material etc. which were made to adopt are employable. As a cutting blade for cutting the wiring board material, a blade of a dicing saw, a cutter blade of a diamond cutter, or the like is used.
[0015]
In the insulating layer forming step (or wiring substrate material) of such a wiring board manufacturing method, the thickness of the metal plate is T, and the thickness of the resin insulating layer formed on the front or back surface of the metal plate is TR. When
0.05 ≦ TR / T ≦ 0.25
It is desirable to form a resin insulating layer so as to satisfy the above. As a result, heat dissipation from the metal plate is further improved in the wiring board, and resin chips generated when the resin insulating layer is cut by the cutting blade in the cutting process are further reduced. Therefore, the occurrence of poor conduction due to such resin chips adhering to a through-hole conductor layer (plating layer) formed in a later process is further reduced.
[0016]
Here, when the ratio TR / T between the thickness TR of the resin insulating layer formed on the front surface or the back surface of the metal plate and the thickness T of the metal plate is less than 0.05, it is uniform over the entire front and back surfaces of the metal plate. There is a possibility that a resin insulating layer having a thickness may not be formed. On the other hand, when the ratio TR / T is greater than 0.25, the amount of insulating resin used may increase, leading to an increase in cost or a decrease in heat dissipation.
[0017]
Further, in the slot forming step (or wiring board material) of the method for manufacturing a wiring board, the length of any one of the rectangular sections surrounded by the planned cutting lines parallel to the vertical direction and the horizontal direction is L, and the side When the total slot length in LS is LS,
0.5 ≦ LS / L ≦ 0.9
It is desirable to form the slot so as to satisfy. As a result, the metal cutting length can be relatively reduced, and the load on the cutting blade such as a dicing blade can be reduced and the life of the cutting blade can be extended. Further, since the exposure of the metal cut surface is reduced by reducing the metal cut length, it becomes easy to improve the oxidation and corrosion. The rectangular section includes a rectangular section and a square section.
[0018]
Here, when the ratio LS / L of the total slot length LS to the side length L is less than 0.5, the cutting load and the exposed cutting area may increase due to the increase of the metal cutting length. On the other hand, when the ratio LS / L is more than 0.9, the strength of the wiring board material may be insufficient due to the decrease in the metal connecting portion, and may be easily deformed.
[0019]
Furthermore, in the slot forming step (or wiring board material) of the method for manufacturing a wiring board, when the width of the slot sandwiching the planned cutting line is WS and the width of the connecting part sandwiching the planned cutting line is W,
1.5 ≦ W / WS ≦ 3.0
It is desirable to form the slot so as to satisfy. Thereby, even in the case where the connecting portion of the metal plate is formed only at the orthogonal crossing position, it is possible to maintain the strength of the wiring board material and make it difficult to deform.
[0020]
Here, when the ratio W / WS between the width W of the connecting portion sandwiching the planned cutting line and the width WS of the slot sandwiching the planned cutting line is less than 1.5, the strength of the wiring board material is reduced due to the reduction of the metal connecting portion. There is a risk that it will become deformed due to lack of. On the other hand, when the ratio W / WS is more than 3.0, the cutting load and the cutting exposed area may increase due to an increase in the metal cutting length.
[0021]
Next, in the slot forming step (or wiring board material) of the wiring board manufacturing method, when the width of the slot sandwiching the planned cutting line is WS and the thickness of the metal plate is T,
1.0 ≦ WS / T ≦ 3.0
It is desirable to form the slot so as to satisfy. Thereby, the resin filling property into the slot is improved, and the resin insulating layer is easily laminated (filled) onto the slot wall surface.
[0022]
Here, when the ratio WS / T between the width WS of the slot sandwiching the planned cutting line and the thickness T of the metal plate is less than 1.0, the resin filling property into the slot deteriorates due to the surface tension of the resin, The metal wall surface of the slot may be exposed. On the other hand, when the ratio WS / T is more than 3.0, the metal plate is likely to be bent or deformed at the slot forming portion, or a recess is formed in the resin insulating layer of the slot due to an insufficient amount of filled resin in the slot. It may occur and adversely affect the formation of the wiring pattern layer and the build-up layer.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(Example)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to examples shown in the drawings.
[0024]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a wiring board material according to the present invention. 2A is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line BB. As shown in FIG. 1, the
[0025]
As shown in FIG. 2, the
[0026]
Next, FIG. 3 is a plan view of the
[0027]
Next, an embodiment of a method for manufacturing a wiring board according to the present invention will be described with reference to FIG.
[0028]
<Etching resist layer forming step: S1 and S2>
In step S <b> 1, a photosensitive resist 8 is applied to the front and back surfaces of the
[0029]
<Slot formation step: S3>
In step S3, the
[0030]
<Insulating layer forming step: S4>
Next, in step S4, a prepreg having a predetermined thickness made of a composite material of an epoxy resin and a silica filler is superimposed on the front and back surfaces of the
[0031]
<Wiring pattern layer forming step: S100>
A wiring pattern layer is formed outside the
[0032]
<Cutting step: S5>
In step S <b> 5, in the
[0033]
In this way, the cross-shaped connecting
[0034]
The ratio of the length LS (for example, 30 mm) of the
[0035]
The ratio of the width WS (for example, 500 μm) of the
[0036]
The ratio of the width WS (for example, 500 μm) of the
[0037]
Further, the ratio of the thickness TR (for example, 40 μm) of the
[0038]
The width WB of the
[0039]
In the case of a multilayer wiring board material (build-up wiring board material) in which a plurality of wiring pattern layers and build-up layers are formed on the wiring board material 1 (S100 in FIG. 5), the following settings are made. The That is, the difference WS−WB between the width WS of the
[0040]
Next, FIG. 6 shows a
[0041]
Specifically, the cross-shaped connecting
[0042]
Further, the overhang width WH (for example, 100 μm) of the
[0043]
Furthermore, the total LH (for example, 7.5 mm) of the protruding length of the protruding
L ′ = L−WB
LH = L'-LS = L-WB-LS
Can be expressed as
LH / L '= (L-WB-LS) / (L-WB) = 1- {LS / (L-WB)}
There is a relationship. However, L is the length of one side of the
LH = W-WB
(See FIGS. 6 and 7).
[0044]
(Modification)
Next, FIG. 8 shows a modification of the slot. FIGS. 8A and 8B are explanatory views (plan views) corresponding to FIGS. 3B and 7A, respectively. In this modification, the
[0045]
FIG. 8B shows a wiring board 2 (
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a wiring board material according to the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line AA and BB of the wiring board material of FIG. 1;
FIG. 3 is a plan view and an enlarged explanatory view of a metal plate.
4A and 4B are cross-sectional views taken along the lines A′-A ′ and B′-B ′ of the metal plate in FIG.
FIG. 5 is an explanatory view showing an embodiment of a method for manufacturing a wiring board according to the present invention.
FIG. 6 is an explanatory diagram of a rectangular section (partition metal plate) in the middle of cutting.
FIG. 7 is a plan view and a front view of a wiring board (individual metal plate).
FIG. 8 is an explanatory view showing a modification of FIGS. 3B and 7A.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
4
41 Individual metal plate (metal plate)
41a Body (rectangular center)
41b Reinforcement part (cutting remaining part; projecting part)
41 'section metal plate
Claims (5)
少なくとも前記交差位置を連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に貫通して所定幅のスロットを形成するスロット形成工程と、
前記金属板の表裏面と前記スロットの壁面とに樹脂絶縁層を積層する絶縁層形成工程と、
前記配線基板素材を個々の前記配線基板として分離するために、その配線基板素材を前記切断予定線に沿って切断する切断工程と、を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。A wiring board manufacturing method for cutting and separating a wiring board material having a metal plate as a core material into a plurality of wiring boards by means of vertical and horizontal cutting lines each having a plurality of intersecting positions. And
A slot forming step of forming a slot having a predetermined width by penetrating the metal plate in the front and back direction along the planned cutting line in a form in which at least the intersecting position remains as a connecting portion;
An insulating layer forming step of laminating a resin insulating layer on the front and back surfaces of the metal plate and the wall surface of the slot;
And a cutting step of cutting the wiring board material along the planned cutting line in order to separate the wiring board material into individual wiring boards.
前記交差位置のみを十字クロス状の連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に貫通して所定幅のスロットを形成するスロット形成工程と、
前記金属板に形成された前記スロットの内側に充填され、かつその金属板の表裏面のそれぞれを該金属板の厚さ以下の厚さで被覆する樹脂絶縁層が形成される絶縁層形成工程と、
前記配線基板素材を個々の前記配線基板として分離するために、前記金属板の十字クロス状の連結部と前記樹脂絶縁層とを前記切断予定線に沿って切断刃により切断する切断工程と、を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。A wiring board material for cutting and separating a wiring board material having a metal plate as a core material into a plurality of wiring boards by cutting lines parallel to the vertical direction and the horizontal direction, each of which is formed with a plurality of orthogonal crossing positions. A manufacturing method comprising:
A slot forming step of forming a slot having a predetermined width by penetrating the metal plate in the front and back direction along the planned cutting line in a form in which only the crossing position remains as a cross-shaped connecting portion,
An insulating layer forming step in which a resin insulating layer is formed which fills the inside of the slot formed in the metal plate and covers each of the front and back surfaces of the metal plate with a thickness equal to or less than the thickness of the metal plate; ,
In order to separate the wiring board material into individual wiring boards, a cutting step of cutting the cross-shaped connecting portion of the metal plate and the resin insulating layer with a cutting blade along the planned cutting line, A method of manufacturing a wiring board, comprising:
0.05≦TR/T≦0.25
を満たすように前記樹脂絶縁層が形成される請求項1又は2に記載の配線基板の製造方法。In the insulating layer forming step, when the thickness of the metal plate is T and the thickness of the resin insulating layer formed on the front or back surface of the metal plate is TR,
0.05 ≦ TR / T ≦ 0.25
The method for manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein the resin insulating layer is formed so as to satisfy the above condition.
少なくとも前記交差位置を連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に所定幅で貫通形成されたスロットと、
前記金属板の表裏面と前記スロットの壁面とに積層された樹脂絶縁層と、を含むことを特徴とする配線基板素材。A wiring board material that is cut and separated into a plurality of wiring boards by using a metal plate as a core material, and a cutting line in a vertical direction and a horizontal direction in which a plurality of intersecting positions are formed,
A slot formed by penetrating the metal plate with a predetermined width in the front and back direction along the planned cutting line in a form in which at least the crossing position remains as a connecting portion;
A wiring board material comprising: a resin insulating layer laminated on front and back surfaces of the metal plate and a wall surface of the slot.
前記交差位置のみを十字クロス状の連結部として残存させる形態で、前記切断予定線に沿い前記金属板を表裏方向に所定幅で貫通形成されたスロットと、
前記金属板に形成された前記スロットの内側に充填され、かつその金属板の表裏面のそれぞれを該金属板の厚さ以下の厚さで被覆する樹脂絶縁層と、を含み、
個々の前記配線基板として分離するために、前記金属板の十字クロス状の連結部と前記樹脂絶縁層とを前記切断予定線に沿って切断刃により切断することが予定されていることを特徴とする配線基板素材。A wiring board material that is cut and separated into a plurality of wiring boards by using a metal plate as a core material, and cutting lines parallel to the vertical direction and the horizontal direction, each of which is formed with a plurality of orthogonal intersection positions,
In a form in which only the crossing position remains as a cross-shaped connecting portion, a slot formed through the metal plate with a predetermined width in the front and back direction along the planned cutting line,
A resin insulating layer that fills the inside of the slot formed in the metal plate and covers the front and back surfaces of the metal plate with a thickness equal to or less than the thickness of the metal plate,
In order to separate the individual wiring boards, it is planned to cut the cross-shaped connecting portion of the metal plate and the resin insulating layer with a cutting blade along the planned cutting line. Wiring board material to be used.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003188080A JP2005026340A (en) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003188080A JP2005026340A (en) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005026340A true JP2005026340A (en) | 2005-01-27 |
Family
ID=34186730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003188080A Pending JP2005026340A (en) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005026340A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016100218A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | Robert Bosch Gmbh | Modular deformable platform |
-
2003
- 2003-06-30 JP JP2003188080A patent/JP2005026340A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016100218A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | Robert Bosch Gmbh | Modular deformable platform |
US10631401B2 (en) | 2014-12-15 | 2020-04-21 | Robert Bosch Gmbh | Modular deformable platform |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4651597B2 (en) | Semiconductor package substrate | |
JP5080234B2 (en) | Wiring board and manufacturing method thereof | |
US20030168249A1 (en) | Wiring board and method for producing the same | |
US20090151985A1 (en) | Method of dicing a circuit board sheet and package circuit board | |
JP2004311849A (en) | Wiring board and its producing process | |
JP2008124247A (en) | Substrate with built-in component and its manufacturing method | |
KR20040005591A (en) | Semiconductor-mounting substrate used to manufacture electronic packages, and production process for producing such semiconductor-mounting substrate | |
US9883599B2 (en) | Manufacturing method for multi-layer circuit board having cavity | |
JP5095952B2 (en) | Multilayer wiring board and manufacturing method thereof | |
JP2016048768A (en) | Wiring board and manufacturing method of semiconductor device | |
JP2005026340A (en) | Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material | |
JP2005026318A (en) | Method for manufacturing wiring board and wiring board raw material | |
JP2005191090A (en) | Manufacturing method for wiring board and wiring-board raw material | |
CN112533381B (en) | Method for manufacturing mother board | |
JP2005026341A (en) | Wiring board | |
JP4597686B2 (en) | Method for manufacturing multilayer flexible circuit board | |
US10681820B2 (en) | Circuit board and manufacturing method therefor | |
TWI501706B (en) | Circuit board and manufacturing method thereof | |
KR20120019144A (en) | Method for manufacturing a printed circuit board | |
TWI804227B (en) | Semiconductor package substrate and method of manufacturing the same, and semiconductor package and method of manufacturing the same | |
JP6523039B2 (en) | Printed wiring board and method of manufacturing the same | |
TWI558290B (en) | Manufacturing method of circuit board | |
KR100688699B1 (en) | Manufacturing method of printed circuit board with fine pitch bonding pads | |
JP2005302968A (en) | Wiring board | |
JP2005072184A (en) | Compound substrate of metal core and multilayer substrate |