JP2005017227A - 静電容量型加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】検出電極と可撓板との短絡を防止するとともに、検出電極のための絶縁層の厚みのばらつきによるセンサ出力特性のばらつきをなくした静電容量型加速度センサを得る。
【解決手段】加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板30と、前記可撓板30と空隙をもって対向して設けられた検出電極E21、E22,E25,E41,E42,E45を有する導電性パターン層20,40と、該導電性パターン層20,40の前記検出電極E21、E22,E25,E41,E42,E45を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層26,46と、を備える静電容量型加速度センサとする。
【選択図】 図1
【解決手段】加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板30と、前記可撓板30と空隙をもって対向して設けられた検出電極E21、E22,E25,E41,E42,E45を有する導電性パターン層20,40と、該導電性パターン層20,40の前記検出電極E21、E22,E25,E41,E42,E45を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層26,46と、を備える静電容量型加速度センサとする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、静電容量の変化を検出して所定軸方向の力又は加速度を検出する静電容量型加速度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の静電容量型加速度センサにおいては、導電性材からなる可撓板(ダイアフラム)を共通電極として、これに対向してプリント基板上に銅箔などの検出電極を配置し、これらの間に生じる静電容量の変化を検出している(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
静電容量型加速度センサは、高精度と小型化を図るため、例えば、可撓板の厚みは100マイクロメータ程度が選ばれ、可撓板とプリント基板上の検出電極間の間隔はスペーサにより精密に100マイクロメータとされる。静電容量型加速度センサには、高いG(加速度)が掛かることがあり、可撓板が大きく変位して検出電極に接触し、電気的に短絡することを防止しなければならない。通常、プリント基板上の銅箔などの検出電極の絶縁には、安価のため一般に検出電極上面にレジスト処理を施して絶縁層を形成することにより行われる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−249609号公報(フロント頁 要約及び要約用選択図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、レジスト処理による絶縁層の厚みは、製造過程で大きくばらつく。検出される静電容量は、レジスト層による静電容量とレジスト層と可撓板との空隙の空気層の静電容量の直列接続によるものとなる。このため、レジスト層の厚みのばらつきは、レジスト層の比誘電率が空気層の約3倍と大きなことと相まって、検出される静電容量のばらつきに、延いては、静電容量型加速度センサの出力特性に大きく影響する。
【0006】
そこで、本発明は、検出電極と可撓板との短絡を防止するとともに、検出電極のための絶縁層の厚みのばらつきによるセンサ出力特性のばらつきをなくした静電容量型加速度センサを提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明は、加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板と、
前記可撓板と空隙をもって対向して設けられた検出電極を有する導電性パターン層と、
該導電性パターン層の前記検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層と、を備える静電容量型加速度センサとする。これによって、可撓板とプリント基板上の検出電極との間に絶縁層を介在させないため、絶縁層の厚みのばらつきによる検出される静電容量のばらつきがなくなり、導電性パターン層の検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層により、可撓板と検出電極との短絡も防止できる。
【0008】
また、前記絶縁層が、前記検出電極の周縁の前記導電性パターン層上面に設けられるものとすれば、可撓板と検出電極との短絡を一層確実に防止できる。
【0009】
また、前記絶縁層を、レジスト材により形成することとすれば、絶縁層の製造を容易とできる。
【0010】
また、前記可撓板を、その中央部外周にバネ部を有し、前記絶縁層は、対向する前記バネ部の内側まで伸びるものとすれば、さらに一層、可撓板と検出電極との短絡を確実に防止できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図を参照しつつ説明する。
【0012】
図1は本発明による一実施の形態としての静電容量型加速度センサの断面図で、説明の便宜のため、横方向の倍率に対し、縦方向の倍率を大きくして示している。図1(a)は、加速度の加わっていない時の状態を示し、図1(b)は、図面横右方向(X軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。また、図1(c)は、図面上方(Z軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。図2は、静電容量型加速度センサの一方のプリント基板上に配設される導電性パターン層の形状を示すプリント基板の平面図である。図3は、図2の導電性パターン層上に形成される絶縁層とプリント基板との関係を示す絶縁層の平面図である。図4は、ここでの静電容量型加速度センサに用いている可撓板(ダイアフラム)の平面形状を示す平面図である。
【0013】
図1に示すように、ここでの静電容量型加速度センサ1は、下方プリント基板10と上方プリント基板50と、その間にスペーサ61,62に挟持されて積層配置され、錘(ウエイト)35を保持した可撓板30とを基本構成としている。
【0014】
下方プリント基板10は、孔11を備え、上面側には、導電性パターン層20により検出電極E21,E22,E23,E24(E23,E24は、図2参照),E25が形成される。
【0015】
導電性パターン層20上の一部にはレジスト材により絶縁層26が形成され、この絶縁層26が形成された部分が、可撓板30と検出電極E22等との短絡を防止するガード部G26,G27,G28を形成する。
【0016】
また、ガード部G26,G27,G28下の導電性パターン層20は、所定の電位又はグランド電位にすることにより、検出電極E21,E22,E23,E24,E25へのノイズ防止機能を果たしている。
【0017】
導電性パターン層20の形状は、図2に示す。絶縁層26の形状は、図3に示す。
【0018】
導電性パターン層20は、下方プリント基板10にプリント配線技術によって形成される。絶縁層26は、導電性パターン層20上に、スクリーン印刷法やカーテンコーター、スプレー法等のレジスト製造技術によりレジスト材を塗布後、露光と現像によって、パターニングされている。
【0019】
導電性パターン層20に形成された、図2に示す検出電極E21乃至E25は、それぞれ、可撓板との間の静電容量を持ち、その変化により、加速度の方向と大きさを示す。検出電極E21とE22は、X軸方向(図2の横方向)の検出、検出電極E23とE24は、Y軸方向(図2の縦方向)の検出、検出電極E25は、Z軸方向(図2の垂直方向)の検出を行う。
【0020】
可撓板30は、周縁部31と中央部33との間をバネ部32で接続した形状の導電性の弾性材(SUS304)からなり、中央の穴34に円盤型の錘35の中央脚部36先端を保持している。
【0021】
上方プリント基板50は、前記錘35の中央脚部36を通す孔51を備え、下面側には、導電性パターン層40により検出電極E41,E42,E43,E44(E43,E44は、図示せず。),E45が形成される。
【0022】
導電性パターン層40上の一部にはレジスト材により絶縁層46が形成され、この絶縁層46が形成された部分が、可撓板30と検出電極E41,E42,E43,E44,E45との短絡を防止するガード部G46,G47,G48(図示せず。)を形成する。なお、上方プリント基板50に設けられる導電性パターン層40と絶縁層46の形状は、前記下方プリント基板10の導電性パターン層20と絶縁層26の形状と同じであり可撓板30を介して対向した配置となっている。
【0023】
また、ガード部G46,G47,G48下の導電性パターン層40は、所定の電位又はグランド電位にすることにより、検出電極E41,E42,E43,E44,E45へのノイズ防止機能を果たしている。
【0024】
導電性パターン層40、絶縁層46も、下方プリント基板10の場合と同様に形成され、検出電極E41乃至E45は、それぞれ、可撓板との間の静電容量を持ち、その変化により、加速度の方向と大きさを示す。検出電極E41とE42は、X軸方向(横方向)の検出、検出電極E43とE44は、Y軸方向(縦方向)の検出、検出電極E45は、Z軸方向(垂直方向)の検出を行う。
【0025】
次に、加速度が加わった場合の状況を図1(b)と図1(c)により説明する。
【0026】
通常、静電容量型加速度センサ1が、加速度を受けても、可撓板30の弾性力により可撓板30がガード部G26乃至G28、G46乃至G48に接触することなく、各検出電極と可撓板30間の静電容量の変化により、正常に検出が行われる。この実施の形態では、絶縁層26、46が、各検出電極を覆っていないため、絶縁層26、46の厚みのばらつきによるセンサ出力特性のばらつきはなく、精度の良い検出が行われる。
【0027】
極めて大きな加速度が加わると静電容量型加速度センサ1の可撓板30の中央部33の端などが、上方プリント基板50または下方プリント基板10に接触するおそれがある。しかし、本実施の形態によれば、ガード部G26乃至G28、G46乃至G48が、検出電極を囲むように配置されており、また、特に、可撓板30は、中央部33外周にバネ部32を有し、絶縁層26,46を有するガード部G26とG46が、対向するバネ部32の内側まで伸びているため、中央部33外周はガード部G26とG46と接触して、可撓板30と検出電極E21乃至E25,E41乃至E45との短絡を確実に防止できる。
【0028】
上記の短絡防止状態を、X軸方向から矢印GXの高加速度が加わった場合に、図1(b)として、Z軸方向から矢印GV方向の高加速度が加わった場合に、図1(c)として、示す。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、可撓板と検出電極との間に絶縁層を介在させないため、絶縁層の厚みのばらつきによる検出される静電容量のばらつきがなくなり、導電性パターン層の検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層により、可撓板と検出電極との短絡も防止できる。これにより、検出電極と可撓板との短絡を防止し、センサ出力特性のばらつきを減じた静電容量型加速度センサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一実施の形態としての静電容量型加速度センサの断面図で、説明の便宜のため、横方向の倍率に対し、縦方向の倍率を大きくして示している。図1(a)は、加速度の加わっていない時の状態を示し、図1(b)は、図面横右方向(X軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。また、図1(c)は、図面上方(Z軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。
【図2】図1における静電容量型加速度センサの一方のプリント基板上に配設される導電性パターン層の形状を示すプリント基板の平面図である。
【図3】図2の導電性パターン層上に形成される絶縁層とプリント基板との関係を示す絶縁層の平面図である。
【図4】図1における静電容量型加速度センサに用いている可撓板の平面形状を示す平面図である。
【符号の説明】
1 静電容量型加速度センサ、10 下方プリント基板、11 孔、20 導電性パターン層、26 絶縁層、30 可撓板、31 周縁部、32 バネ部、33 中央部、34 穴、35 錘(ウエイト)、36 中央脚部、40 導電性パターン層、46 絶縁層、50 上方プリント基板、51 孔、61,62スペーサ、E21,E22,E23,E24,E25 検出電極、E41,E42,E43,E44,E45 検出電極、G26,G27,G28 ガード部、G46,G47,G48 ガード部。
【発明の属する技術分野】
この発明は、静電容量の変化を検出して所定軸方向の力又は加速度を検出する静電容量型加速度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の静電容量型加速度センサにおいては、導電性材からなる可撓板(ダイアフラム)を共通電極として、これに対向してプリント基板上に銅箔などの検出電極を配置し、これらの間に生じる静電容量の変化を検出している(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
静電容量型加速度センサは、高精度と小型化を図るため、例えば、可撓板の厚みは100マイクロメータ程度が選ばれ、可撓板とプリント基板上の検出電極間の間隔はスペーサにより精密に100マイクロメータとされる。静電容量型加速度センサには、高いG(加速度)が掛かることがあり、可撓板が大きく変位して検出電極に接触し、電気的に短絡することを防止しなければならない。通常、プリント基板上の銅箔などの検出電極の絶縁には、安価のため一般に検出電極上面にレジスト処理を施して絶縁層を形成することにより行われる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−249609号公報(フロント頁 要約及び要約用選択図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、レジスト処理による絶縁層の厚みは、製造過程で大きくばらつく。検出される静電容量は、レジスト層による静電容量とレジスト層と可撓板との空隙の空気層の静電容量の直列接続によるものとなる。このため、レジスト層の厚みのばらつきは、レジスト層の比誘電率が空気層の約3倍と大きなことと相まって、検出される静電容量のばらつきに、延いては、静電容量型加速度センサの出力特性に大きく影響する。
【0006】
そこで、本発明は、検出電極と可撓板との短絡を防止するとともに、検出電極のための絶縁層の厚みのばらつきによるセンサ出力特性のばらつきをなくした静電容量型加速度センサを提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明は、加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板と、
前記可撓板と空隙をもって対向して設けられた検出電極を有する導電性パターン層と、
該導電性パターン層の前記検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層と、を備える静電容量型加速度センサとする。これによって、可撓板とプリント基板上の検出電極との間に絶縁層を介在させないため、絶縁層の厚みのばらつきによる検出される静電容量のばらつきがなくなり、導電性パターン層の検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層により、可撓板と検出電極との短絡も防止できる。
【0008】
また、前記絶縁層が、前記検出電極の周縁の前記導電性パターン層上面に設けられるものとすれば、可撓板と検出電極との短絡を一層確実に防止できる。
【0009】
また、前記絶縁層を、レジスト材により形成することとすれば、絶縁層の製造を容易とできる。
【0010】
また、前記可撓板を、その中央部外周にバネ部を有し、前記絶縁層は、対向する前記バネ部の内側まで伸びるものとすれば、さらに一層、可撓板と検出電極との短絡を確実に防止できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図を参照しつつ説明する。
【0012】
図1は本発明による一実施の形態としての静電容量型加速度センサの断面図で、説明の便宜のため、横方向の倍率に対し、縦方向の倍率を大きくして示している。図1(a)は、加速度の加わっていない時の状態を示し、図1(b)は、図面横右方向(X軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。また、図1(c)は、図面上方(Z軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。図2は、静電容量型加速度センサの一方のプリント基板上に配設される導電性パターン層の形状を示すプリント基板の平面図である。図3は、図2の導電性パターン層上に形成される絶縁層とプリント基板との関係を示す絶縁層の平面図である。図4は、ここでの静電容量型加速度センサに用いている可撓板(ダイアフラム)の平面形状を示す平面図である。
【0013】
図1に示すように、ここでの静電容量型加速度センサ1は、下方プリント基板10と上方プリント基板50と、その間にスペーサ61,62に挟持されて積層配置され、錘(ウエイト)35を保持した可撓板30とを基本構成としている。
【0014】
下方プリント基板10は、孔11を備え、上面側には、導電性パターン層20により検出電極E21,E22,E23,E24(E23,E24は、図2参照),E25が形成される。
【0015】
導電性パターン層20上の一部にはレジスト材により絶縁層26が形成され、この絶縁層26が形成された部分が、可撓板30と検出電極E22等との短絡を防止するガード部G26,G27,G28を形成する。
【0016】
また、ガード部G26,G27,G28下の導電性パターン層20は、所定の電位又はグランド電位にすることにより、検出電極E21,E22,E23,E24,E25へのノイズ防止機能を果たしている。
【0017】
導電性パターン層20の形状は、図2に示す。絶縁層26の形状は、図3に示す。
【0018】
導電性パターン層20は、下方プリント基板10にプリント配線技術によって形成される。絶縁層26は、導電性パターン層20上に、スクリーン印刷法やカーテンコーター、スプレー法等のレジスト製造技術によりレジスト材を塗布後、露光と現像によって、パターニングされている。
【0019】
導電性パターン層20に形成された、図2に示す検出電極E21乃至E25は、それぞれ、可撓板との間の静電容量を持ち、その変化により、加速度の方向と大きさを示す。検出電極E21とE22は、X軸方向(図2の横方向)の検出、検出電極E23とE24は、Y軸方向(図2の縦方向)の検出、検出電極E25は、Z軸方向(図2の垂直方向)の検出を行う。
【0020】
可撓板30は、周縁部31と中央部33との間をバネ部32で接続した形状の導電性の弾性材(SUS304)からなり、中央の穴34に円盤型の錘35の中央脚部36先端を保持している。
【0021】
上方プリント基板50は、前記錘35の中央脚部36を通す孔51を備え、下面側には、導電性パターン層40により検出電極E41,E42,E43,E44(E43,E44は、図示せず。),E45が形成される。
【0022】
導電性パターン層40上の一部にはレジスト材により絶縁層46が形成され、この絶縁層46が形成された部分が、可撓板30と検出電極E41,E42,E43,E44,E45との短絡を防止するガード部G46,G47,G48(図示せず。)を形成する。なお、上方プリント基板50に設けられる導電性パターン層40と絶縁層46の形状は、前記下方プリント基板10の導電性パターン層20と絶縁層26の形状と同じであり可撓板30を介して対向した配置となっている。
【0023】
また、ガード部G46,G47,G48下の導電性パターン層40は、所定の電位又はグランド電位にすることにより、検出電極E41,E42,E43,E44,E45へのノイズ防止機能を果たしている。
【0024】
導電性パターン層40、絶縁層46も、下方プリント基板10の場合と同様に形成され、検出電極E41乃至E45は、それぞれ、可撓板との間の静電容量を持ち、その変化により、加速度の方向と大きさを示す。検出電極E41とE42は、X軸方向(横方向)の検出、検出電極E43とE44は、Y軸方向(縦方向)の検出、検出電極E45は、Z軸方向(垂直方向)の検出を行う。
【0025】
次に、加速度が加わった場合の状況を図1(b)と図1(c)により説明する。
【0026】
通常、静電容量型加速度センサ1が、加速度を受けても、可撓板30の弾性力により可撓板30がガード部G26乃至G28、G46乃至G48に接触することなく、各検出電極と可撓板30間の静電容量の変化により、正常に検出が行われる。この実施の形態では、絶縁層26、46が、各検出電極を覆っていないため、絶縁層26、46の厚みのばらつきによるセンサ出力特性のばらつきはなく、精度の良い検出が行われる。
【0027】
極めて大きな加速度が加わると静電容量型加速度センサ1の可撓板30の中央部33の端などが、上方プリント基板50または下方プリント基板10に接触するおそれがある。しかし、本実施の形態によれば、ガード部G26乃至G28、G46乃至G48が、検出電極を囲むように配置されており、また、特に、可撓板30は、中央部33外周にバネ部32を有し、絶縁層26,46を有するガード部G26とG46が、対向するバネ部32の内側まで伸びているため、中央部33外周はガード部G26とG46と接触して、可撓板30と検出電極E21乃至E25,E41乃至E45との短絡を確実に防止できる。
【0028】
上記の短絡防止状態を、X軸方向から矢印GXの高加速度が加わった場合に、図1(b)として、Z軸方向から矢印GV方向の高加速度が加わった場合に、図1(c)として、示す。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、可撓板と検出電極との間に絶縁層を介在させないため、絶縁層の厚みのばらつきによる検出される静電容量のばらつきがなくなり、導電性パターン層の検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層により、可撓板と検出電極との短絡も防止できる。これにより、検出電極と可撓板との短絡を防止し、センサ出力特性のばらつきを減じた静電容量型加速度センサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一実施の形態としての静電容量型加速度センサの断面図で、説明の便宜のため、横方向の倍率に対し、縦方向の倍率を大きくして示している。図1(a)は、加速度の加わっていない時の状態を示し、図1(b)は、図面横右方向(X軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。また、図1(c)は、図面上方(Z軸正方向)への高い加速度が加わった時の状態を示す。
【図2】図1における静電容量型加速度センサの一方のプリント基板上に配設される導電性パターン層の形状を示すプリント基板の平面図である。
【図3】図2の導電性パターン層上に形成される絶縁層とプリント基板との関係を示す絶縁層の平面図である。
【図4】図1における静電容量型加速度センサに用いている可撓板の平面形状を示す平面図である。
【符号の説明】
1 静電容量型加速度センサ、10 下方プリント基板、11 孔、20 導電性パターン層、26 絶縁層、30 可撓板、31 周縁部、32 バネ部、33 中央部、34 穴、35 錘(ウエイト)、36 中央脚部、40 導電性パターン層、46 絶縁層、50 上方プリント基板、51 孔、61,62スペーサ、E21,E22,E23,E24,E25 検出電極、E41,E42,E43,E44,E45 検出電極、G26,G27,G28 ガード部、G46,G47,G48 ガード部。
Claims (4)
- 加速度を受けて変位する導電性材からなる可撓板と、
前記可撓板と空隙をもって対向して設けられた検出電極を有する導電性パターン層と、
該導電性パターン層の前記検出電極を除く上面の少なくとも一部に設けた絶縁層と、を備えることを特徴とする静電容量型加速度センサ。 - 前記絶縁層が、前記検出電極の周縁の前記導電性パターン層上面に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記絶縁層が、レジスト材により形成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記可撓板は、その中央部外周にバネ部を有し、前記絶縁層が、対向する前記バネ部の内側まで伸びていることを特徴とする請求項1、2又は3のいずれか1項に記載の静電容量型加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003185677A JP2005017227A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 静電容量型加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003185677A JP2005017227A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 静電容量型加速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005017227A true JP2005017227A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34185049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003185677A Pending JP2005017227A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 静電容量型加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005017227A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007248466A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Commissariat A L'energie Atomique | 三軸薄膜加速度計 |
JP2009133653A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Tanita Corp | 加速度センサ及び歩数計 |
-
2003
- 2003-06-27 JP JP2003185677A patent/JP2005017227A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007248466A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Commissariat A L'energie Atomique | 三軸薄膜加速度計 |
JP2009133653A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Tanita Corp | 加速度センサ及び歩数計 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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