JP2004521488A - 加圧膜を備える研磨プラテン - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3
Description
【0001】
本発明は、概して、化学機械研磨装置に関し、より具体的には、化学機械研磨装置における性能向上のために加圧膜と圧電素子とを用いたプラテンの設計に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体装置の製造においては、研磨、バフ研磨およびウェハ洗浄を含む化学機械研磨(CMP)工程を実施する必要がある。集積回路装置は、一般に、多層構造である。基板層には、拡散領域を有するトランジスタ素子が形成される。続く層において、金属配線はパターニングされるとともにトランジスタ素子に電気的に接続され、所望の機能装置を定義する。パターニングされた導電層は、二酸化シリコンのような絶縁体によって、他の導電層から絶縁されている。形成される金属層および付随する誘電体層の増加に伴い、誘電物質を平滑化する必要性が高まる。平滑化を行わない場合、表面のトポグラフィーのばらつきが一層多くなるため、金属層の積層が実質的により困難となる。別の実装例において、誘電材料に金属配線パターンが形成された後、余分な金属を除去するために金属CMP工程が行われる。
【0003】
従来技術において、CMPシステムは、通例、ベルト方式、オービタル方式、もしくはブラシ方式のステーションを実装しており、ステーション内では、ベルト、パッド、あるいはブラシによって、ウェハの片面もしくは両面が、スクラブ、バフ研磨、および研磨される。CMP工程を円滑に実行し、効果を高めるために、スラリが用いられる。スラリは、通例、動いている処理面、例えば、ベルト、パッド、ブラシなどに導入され、バフ研磨、研磨、もしくはCMP処理によってその他の処理を施される半導体ウェハの表面だけでなく、処理面全域にも塗布される。一般に、スラリの塗布は、処理面の動作、半導体ウェハの動作及び半導体ウェハと処理面との間に生じる摩擦との組み合わせにより実施される。
【0004】
図1は、典型的な従来技術のCMPシステム10を示している。図1のCMPシステム10はベルト型のシステムで、2つのドラム24に取り付けられたエンドレスベルト18が処理面となり、ドラムが、ベルト回転方向の矢印26によって示される回転運動をするようベルト18を駆動するため、このように呼ばれている。ウェハ12はウェハヘッド14に取り付けられ、方向16の向きに回転される。次に、回転するウェハ12は、力Fで回転ベルト18に対して押し付けられ、それによってCMP処理が実現する。CMP処理によっては、かなりの力Fの適用が必要とされる。プラテン22は、ベルト18を固定し、ウェハ12を適用するソリッド面を提供するために設けられている。拡散した研磨粒子を含むNH4OHやDI等の水溶液からなるスラリ28は、ウェハ12の上流側に導入される。ウェハ表面のスクラブ、バフ研磨および研磨の処理は、ベルト18に接着されたエンドレス研磨パッドを用いることによって実現される。一般に、研磨パッドは、多孔質もしくは繊維質の材料で構成され、凝固材を含まない。
【0005】
図2は、従来のウェハヘッドおよびプラテンの構成30の詳細図である。ウェハヘッドおよびプラテンの構成30は、ウェハヘッド14と、ウェハヘッド14の下方に位置づけられたプラテン22とを備える。ウェハヘッド14は、ウェハヘッド14の下方に位置するウェハ12を支持する固定留め輪32を備える。研磨パッドもしくはベルト18は、ウェハヘッド14とプラテン22との間に位置する。研磨プラテン22は、「空気軸受」とよばれるプラテン22と研磨パッド18との間に定義づけられた極めて狭い空隙を有した状態で、研磨パッドもしくはベルト18からわずかに離されている。プラテン22とパッド18との間の空気軸受は、従来、表面に均一な研磨処理を与えようとする意図で用いられてきた。
【0006】
空気軸受の保持のために、通常給気孔は、プラテン22に形成され、かつプラテン22の中心からプラテン22の外縁方向に同心円状に配置されている。各輪には、研磨処理中に空気源からの空気が孔を介して導かれる給気場所が設けられ、空気は、プラテンの端部を通って排気される。
【0007】
複数の給気場所の設置により、空気軸受の空気分散プロフィールは、必要に応じて放射状に変化することが可能であり、各場所における研磨処理速度を変化させることによって、最適な研磨処理を実現する。残念なことに、各場所の分散プロフィールそれぞれは、完全に互いに独立しているわけではない。この点から、場所に応じた異なる分散プロフィールの設定は困難となっている。
【0008】
さらに、空気軸受は、条件変化に対して極めて敏感である。例えば、空気軸受の圧力は、パッド18とプラテン22との隙間に応じて変化する。したがって、例えばパッド18が、ある領域においてプラテン22の方向に押されると空気軸受全体の圧力に影響を及ぼすため、CMP処理に対し、不必要に複雑な処理を課すこととなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
以上の点より、空気分散プロフィールの独立性をより高め、各場所における研磨処理速度を他の場所の研磨処理速度とは切り離して円滑に設定し、それによって、製造における柔軟性および機能性を向上させる方法が必要である。
【課題を解決するための手段】
【0010】
概して、本発明は、プラテン空気軸受の代わりに加圧膜および圧電素子を用いるCMP処理の性能を向上させることによって、上述の要求を満たす。一実施形態において、CMP装置における性能を向上するためのプラテンが開示されている。そのプラテンは、プラテンの上方に配置された膜を備える。その膜の下には、膜に力を及ぼし得る複数の環状の空気袋が配置されている。本態様において、CMP処理の間、ゾーン制御が行われる。
【0011】
別の実施形態において、CMP装置の性能向上システムが開示されている。そのシステムは、ウェハを支持し得るウェハヘッドと、ウェハヘッドの下方に位置づけられた研磨ベルトとを備える。そのシステムはさらに、研磨ベルトの下方に位置づけられた膜を有するプラテンを備える。プラテンはさらに、膜の下方に配置されるとともに膜に力を及ぼし得る環状の空気袋を備える。
【0012】
さらに、本発明の別の実施形態において、CMP装置の性能を向上するための別のプラテンが開示されている。そのプラテンは、プラテンの上方に配置された複数の圧電素子を備える。動作中、その圧電素子は、CMP処理過程において研磨ベルトに力を及ぼすために用いられる。本態様において、CMP処理の間、ゾーン制御が行われる。
【0013】
さらに、本発明の別の実施形態において、CMP装置の性能向上のための別のシステムが開示されている。そのシステムは、ウェハを支持し得るウェハヘッドと、ウェハヘッドの下方に位置づけられた研磨ベルトとを備える。そのシステムはさらに、研磨ベルトの下方に位置づけられた圧電素子を有するプラテンを備える。その圧電素子は、研磨ベルトに力を及ぼし得る。
【0014】
本発明の実施形態における環状の空気袋および圧電素子は、CMP処理の間、加圧膜へのゾーン制御性を高めることによって性能を有効に向上させる。さらに、従来の空気軸受と異なり、本発明の実施形態によって、CMP処理中に必要とされる空気量は著しく減少する。
【0015】
その上、本発明における加圧膜もしくは圧電素子を用いるCMP処理は、空気軸受を利用する従来のCMP処理に比べて条件変化による影響を受けにくい。空気軸受と異なり、本発明における加圧膜もしくは圧電素子の圧力は、研磨パッドとプラテンとの隙間が変化した場合に空気軸受が直面するほど大きな変動を受けることはない。したがって、研磨パッドがある領域においてプラテンの方向に押された場合、加圧膜もしくは圧電素子の他の領域の圧力は、空気軸受を用いた場合にその領域が受けるほど大きな影響を受けることはない。
本発明のその他の態様および利点は、本発明の原理を例示した添付図面と関連付ながら行う以下の詳細な説明より明らかになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
本発明は、プラテン空気軸受の代わりに、加圧膜および圧電素子を用いるCMP処理の性能向上を開示するものである。一実施形態において、CMP処理の間、同心円状の空気袋を介してゾーン制御を行う加圧膜が備えられている。実施形態においてさらに、CMP処理の間、ゾーン制御を行う圧電素子がプラテン上に備えられている。以下の説明において、本発明の完全な理解を促すために、数々の具体例が説明されている。しかしながら、当業者にとって明らかなように、本発明は、これらの項目の一部または全てを特定しなくても実施され得る。そのほか、本発明が不必要に不明瞭となるのを避けるため、周知の工程動作の説明は省略した。
【0017】
図1および2は、従来技術の観点から説明されたものである。図3は、本発明の一実施形態におけるプラテン構成300を示す図である。プラテン構成300は、留め輪304を有するウェハヘッド302と、ウェハヘッド302の下方に配置されたウェハ306とを備える。プラテン構成300はさらに、研磨ベルト310の下方に配置されたプラテン308を備える。プラテン308は、環状の空気袋314を介して加圧される加圧膜312を備える。
【0018】
プラテン308は動作中、ウェハ306の表面を研磨する研磨パッドもしくはベルト310に対面して配置される。均一な研磨処理を促すため、各空気袋314は、空気源を介して個別に加圧される。環状の空気袋314は、加圧膜312に対するゾーン制御性を高めることによりCMP処理の性能を向上する点につき有効である。従来の空気軸受と異なり、本発明の実施形態における加圧膜312によって、CMP処理中に必要とされる空気量は著しく減少する。
【0019】
さらに、本発明の加圧膜312を用いたCMP処理は、空気軸受を用いた従来のCMP処理と比べ、条件変化による影響を受けにくい。空気軸受と異なり、本発明の加圧膜312の圧力は、研磨パッド310とプラテン308との隙間が変化した場合に空気軸受が直面するほど大きな変動を受けることはない。したがって、研磨パッド310が、ある領域においてプラテン308の方向に押された場合、空気袋は互いに分離されるため、加圧膜312の他の領域における圧力は、空気軸受を利用した場合にその領域が受けるほどの影響を受けることはない。
【0020】
図4は、本発明の一実施形態におけるプラテン構成400を示す詳細図である。プラテン構成400は、環状の空気袋314によって加圧された加圧膜312を有し、かつプラテン308の上方に位置づけられた研磨ベルト310を示す。図4に示すとおり、各環状の空気袋314は、薄いチューブ状の物質402を備える。一実施形態において、各空気袋314のチューブ状の物質402は、空気を介して加圧される。しかしながら、当業者にとって明らかであるように、環状の空気袋314を加圧し得る流体などのその他任意の手段によって、チューブ状の物質402の加圧が可能である。
【0021】
加圧膜312は、滑らかでしなやかな物質によって構成されるのが好ましい。ポリウレタン、シリコン、厚みが薄い材料(例えばステンレス鋼)、ピークおよびテフロン(登録商標)といった物質が適している。既に説明したとおり、環状の空気袋314は、CMP処理の間、ゾーン制御性を高める。以下で詳述されるように、ゾーン制御性をさらに高めるために、加圧膜312内の環状の空気袋314の大きさを変化させることが可能である。
【0022】
図5は、本発明の一実施形態において、変化した環状の空気袋を有するプラテン構成500を示す図である。プラテン構成500は、環状の空気袋314を介して加圧された加圧膜312を有するプラテン308を含む。図5に示されるように、プラテン構成500は、様々な大きさの環状の空気袋314を含む。
【0023】
より具体的には、プラテン308の端部に近づくほど、環状の空気袋314の大きさは小さくなる。一般に、CMP処理の間、ウェハ端部から10−15ミリ範囲内において困難が起こりやすい。このため、本発明の一実施形態において、プラテン308の端部付近における環状の空気袋314の大きさを縮小することにより、ウェハ端部付近の空気袋の分解能を増大している。同様に、ウェハの中心においては、一般に、あまり分解能が必要とされないため、中心の環状の空気袋314は多くの場合、プラテン308の端部における環状の空気袋よりも大きい。
【0024】
図6Aは、本発明の一実施形態における環状の空気袋構成600の平面図である。環状の空気袋構成600aは、同心円状にある環状の空気袋314aを備える。一実施形態において、環状の空気袋構成600aの同心円状にある各環状の空気袋314aは、プラテンの中心を軸として、完全な環を形成する。本態様では、CMP処理中におけるゾーン制御を提供するために、各環状の空気袋314aは個別に加圧され得る。以下で図6Bを参照して説明されるように、CMP処理中のゾーン制御性をさらに高めるために、各環状の空気袋の長さを短縮してもよい。
【0025】
図6Bは、本発明の一実施形態における環状の空気袋構成600bを示す平面図である。環状の空気袋構成600bは、同心円状にある環状の空気袋314bを備える。図6Aの実施形態と異なり、環状の空気袋構成600bの同心円状にある各環状の空気袋314bは、プラテンの中心を軸とした完全な環を形成していない。環状の空気袋の構成600bの同心円状にある各環状の空気袋314bは、所定の環状の空気袋314のプラテン端部への近接に応じて、その大きさが変化する。
【0026】
上述のとおり、一般に、CMP処理中、ウェハ端部からおよそ10−15ミリの範囲内において、より問題が生じやすい。このため、本発明の一実施形態は、プラテン端部付近の環状の空気袋314bの大きさを縮小することにより、ウェハ端部付近の分離を促進している。同様に、ウェハの中心においては、一般に、あまり分離が必要とされないため、中心の環状の空気袋314bは多くの場合、プラテン端部の環状の空気袋より大きい。
【0027】
本発明の実施形態は、内部環状の空気袋を用いて加圧された膜を介し、ゾーン制御性を拡大することにより、CMP装置における性能を有効に向上させる。さらに本発明のその他の実施形態において、圧電変換器を介したゾーン制御性の促進によっても、CMP装置の性能が向上する。
【0028】
多くの高分子化合物、セラミックスおよび水のような分子は永久分極を有し、分子のある部分は正電荷を帯び、別の部分は負電荷を帯びている。このような物質に電場が加えられると、分極されたこれらの分子は電場に並び、その物質の分子あるいは結晶構造内で誘導双極子となる。さらに、二酸化珪素(SiO2)やチタン酸バリウム(BaTiO3)のような永久分極を有する物質は、その物質に機械的な力が加わって物質の大きさが変化した場合に、電場が発生する。これらの物質には圧電性があり、この現象は圧電効果として知られている。逆に言うと、加えられた電場によって圧電性物質の大きさを変化させる。この現象は、電歪、もしくは逆圧電効果として知られている。
【0029】
したがって、本発明の一実施例において、CMP処理の間、ゾーン制御を提供するために圧電性物質が利用されている。図7は、本発明の一実施形態におけるプラテン構成700を示す図である。プラテン構成700は、ウェハ306の上方に配置されるとともに留め輪304を有するウェハヘッド302を備えている。
【0030】
プラテン構成700のプラテン308は、研磨ベルト310の下に配置された複数の圧電素子702を備える。動作中、プラテン308は、ウェハ306の表面を研磨する研磨パッドもしくはベルト310に対面して設置されている。研磨の均一性を高めるために、各圧電素子702は、研磨パッドに対して区画的な力を加えるため、個別に作動させられる。圧電素子702は、研磨ベルト310に対するゾーン制御性を高めることによってCMP工程の性能を向上させる点において有効である。従来の空気軸受と異なり、本発明の実施形態における圧電素子702によって、CMP処理中に必要とされる空気量は著しく減少する。
【0031】
その上、本発明の圧電素子702を用いたCMP処理は、空気軸受を利用する従来のCMP処理に比べ、条件変化による影響を受けにくい。空気軸受とは異なり、本発明の圧電素子702によって及ぼされる力は、研磨パッド310とプラテン308との隙間が変化した場合に空気軸受が直面するほどの大きな変動を受けることはない。したがって、研磨パッド310が、ある領域のプラテン308の方向に押された場合、他の圧電素子702によって研磨ベルト310に及ぼされる力は、空気軸受を利用した場合にその領域が受けるほど影響を受けることはない。
【0032】
図8は、本発明の一実施形態における、圧電素子構成800の平面図である。圧電素子702の構成800は、同心円状にある圧電素子702を含む。図6Aにおける環状の空気袋構成と同様に、本発明の一実施形態において、同心円状にある圧電素子702は、プラテンの中心を軸とする完全な環を形成する。しかしながら、図8に示すように、CMP処理過程におけるゾーン制御性をさらに高めるために、各圧電素子702の長さを短縮してもよい。
【0033】
図6Aの実施形態と異なり、圧電素子の構成800の同心円状にある各圧電素子702は、プラテンの中心を軸とする完全な環を形成していない。圧電素子構成800の同心円状に配置された各圧電素子702は、所定の圧電素子702のプラテン端部への近接によって、その大きさが変化する。
【0034】
既述のとおり、一般に、CMP処理の間、ウェハ端部からおよそ10−15ミリの範囲内において、より問題が生じやすい。このため、本発明の一実施形態は、プラテン端部付近の圧電素子702の大きさを縮小することにより、ウェハ端部付近の分離を促進している。同様に、ウェハの中心においては、一般に、分離の必要性が比較的低いため、中心の圧電素子702は多くの場合において、プラテン端部の圧電素子より大きい。
【0035】
従来の空気軸受と異なり、本発明の実施形態において、CMP処理中に、研磨ベルトとの物理的接触が発生する。その結果、研磨ベルトとの摩擦に対し、プラテン上の損耗が増加され得る。プラテンを損耗から付加的に保護するため、続く図9を参照して説明されるように、プラテンと研磨ベルトとの間に犠牲材料を配置してよい。
【0036】
図9は、本発明の一実施形態におけるCMPシステム900を示す図である。図9のCMPシステム900は、ベルト回転方向の矢印906によって示される回転運動をするよう研磨ベルト310を駆動する2つのドラム910に取り付けられたエンドレス研磨ベルト310を有するベルト型のシステムである。ウェハ306は、ウェハヘッド302に取り付けられ、方向908の向きに回転される。回転するウェハ306は、次に、力Fで回転ベルト18に対して押し付けられ、それによってCMP処理を実施する。CMP処理によっては、かなり大きな力Fの適用を要するものもある。
【0037】
圧電素子702を有するプラテン308は、研磨ベルト310を固定し、かつウェハ306上に適用されるソリッド面を与えるために供給される。分散した研磨粒子を含むNH4OHやDIなどの水溶液からなるスラリ904は、ウェハ306の上流に導入される。ウェハ表面のスクラブ、バフ研磨および研磨処理は、研磨ベルト310に接着されたエンドレス研磨パッドを用いて実施される。一般に、研磨パッドは、多孔性もしくは繊維性物質で構成され、凝固材を含まない。
【0038】
プラテン308と研磨ベルト310との間には、ローラ916を介してロール式でプラテン308の全域に提供される、犠牲物質914が配置されている。使用中、犠牲物質914は、プラテン308を覆うようにゆっくりあてられ、プラテンを損耗から保護する。別の実施形態において、犠牲物質914は、CMP処理の進行に応じてスライドされる。本態様において、犠牲物質914は、プラテン308の材料以上に損耗する。したがって、圧電素子702もしくは加圧膜は、回転式研磨ベルト310の摩擦によって生じる損耗から保護される。
【0039】
理解を深めるために従来技術をある程度詳しく説明したが、添付の特許請求の範囲内で一定の変更や修正が可能であることは明らかである。したがって、本実施態様は、例示的なものであって、限定するためのものではなく、本発明は、本明細書に示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【0040】
【図1】典型的な従来技術のCMPシステムを示す図である。
【図2】従来のウェハヘッドとプラテンとの構成を示す詳細図である。
【図3】本発明の一実施形態におけるプラテン構成を示す図である。
【図4】本発明の一実施形態におけるプラテン構成を示す詳細図である。
【図5】本発明の一実施形態において、変化した環状の空気袋を有するプラテン構成を示す図である。
【図6A】本発明の一実施形態における環状の空気袋構成の平面図である。
【図6B】本発明の一実施形態における環状の空気袋構成を示す平面図である。
【図7】本発明の一実施形態におけるプラテン構成を示す図である。
【図8】本発明の一実施形態における圧電素子構成の平面図である。
【図9】本発明の一実施形態におけるCMPシステムを示す図である。
加圧膜312は、滑らかでしなやかな物質によって構成されるのが好ましい。ポリウレタン、シリコン、厚みが薄い材料(例えばステンレス鋼)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)およびテフロン(登録商標)といった物質が適している。既に説明したとおり、環状の空気袋314は、CMP処理の間、ゾーン制御性を高める。以下で詳述されるように、ゾーン制御性をさらに高めるために、加圧膜312内の環状の空気袋314の大きさを変化させることが可能である。
図8は、本発明の一実施形態における、圧電素子構成800の平面図である。圧電素子の構成800は、同心円状にある圧電素子702を含む。図6Aにおける環状の空気袋構成と同様に、本発明の一実施形態において、同心円状にある圧電素子702は、プラテンの中心を軸とする完全な環を形成する。しかしながら、図8に示すように、CMP処理過程におけるゾーン制御性をさらに高めるために、各圧電素子702の長さを短縮してもよい。
従来の空気軸受と異なり、本発明の実施形態において、CMP処理中に、研磨ベルトとの物理的接触が発生する。その結果、研磨ベルトとの摩擦により、プラテン上の損耗が増加され得る。プラテンを損耗から付加的に保護するため、続く図9を参照して説明されるように、プラテンと研磨ベルトとの間に犠牲材料を配置してよい。
Claims (32)
- 化学機械研磨(CMP)装置における性能を向上するプラテンであって、
前記プラテンの上方に配置された膜と、
前記膜の下方に配置された複数の環状の空気袋であって、前記膜に力を及ぼし得る複数の環状の空気袋を備えるプラテン。 - 請求項1に記載のプラテンであって、前記膜は、軟らかくしなやかな材料で構成されているプラテン。
- 請求項2に記載のプラテンであって、前記膜は、ポリウレタンで構成されているプラテン。
- 請求項1に記載のプラテンであって、前記複数の環状の空気袋は、様々な大きさの環状の空気袋で構成されているプラテン。
- 請求項4に記載のプラテンであって、前記プラテンの端部付近の環状の空気袋は、前記プラテンの中心付近の環状の空気袋よりサイズが小さいプラテン。
- 請求項1に記載のプラテンであって、前記複数の環状の空気袋の各環状の空気袋は、前記膜に対して力を及ぼすために個別に加圧され得るプラテン。
- 請求項6に記載のプラテンであって、前記各環状の空気袋は、ガスを用いて加圧されるプラテン。
- 請求項6に記載のプラテンであって、前記各環状の空気袋は、液体を用いて加圧されるプラテン。
- 化学機械研磨(CMP)装置における性能を向上するシステムであって、
ウェハを支持し得るウェハヘッドと、
前記ウェハヘッドの下方に配置された研磨ベルトと、
前記研磨ベルトの下方に配置された膜を有し、さらに、前記膜の下方に設置された環状の空気袋を含むプラテンと
を備え、前記環状の空気袋は前記膜に力を及ぼし得るシステム。 - 請求項9に記載のシステムであって、前記プラテンの前記膜は、軟らかくしなやかな材料として構成されているシステム。
- 請求項9に記載のシステムであって、前記環状の空気袋は様々な大きさであるシステム。
- 請求項11に記載のシステムであって、前記プラテンの端部付近の環状の空気袋は、前記プラテンの中心付近の環状の空気袋よりサイズが小さいシステム。
- 請求項9に記載のシステムであって、各環状の空気袋は、前記膜に対して力を及ぼすために個別に加圧され得るシステム。
- 請求項13に記載のシステムであって、前記膜に対して及ぼされる前記力は研磨ベルトへと送られ、CMP処理の間、ゾーン制御を供給するシステム。
- 請求項13に記載のシステムであって、各環状の空気袋は、ガスを用いて加圧されるシステム。
- 請求項13に記載のシステムであって、各環状の空気袋は、液体を用いて加圧されるシステム。
- 化学機械研磨(CMP)装置における性能を向上するプラテンであって、
前記プラテンの上方に設置された複数の圧電素子を備え、
前記複数の圧電素子は、研磨ベルトに力を及ぼし得るプラテン。 - 請求項17に記載のプラテンであって、電場を用いて前記圧電素子を作動させるプラテン。
- 請求項17に記載のプラテンであって、前記複数の圧電素子は、様々な大きさの圧電素子で構成されているプラテン。
- 請求項19に記載のプラテンであって、プラテンの端部付近の圧電素子は、プラテンの中心付近の圧電素子よりサイズが小さいプラテン。
- 請求項17に記載のプラテンであって、前記複数の環状の空気袋の各環状の空気袋は、前記研磨ベルトに対して力を及ぼすために個別に作動させられ得るプラテン。
- 請求項21に記載のプラテンであって、前記複数の圧電素子の各圧電素子は、前記研磨ベルトに対する抵抗力を調整するために個別に作動させられ得るプラテン。
- 請求項17に記載のプラテンであって、前記プラテンの上方に配置された犠牲材料を用いて前記プラテンの損耗を減少させるプラテン。
- 化学機械研磨(CMP)装置における性能を向上するためのシステムであって、
ウェハを支持し得るウェハヘッドと、
前記ウェハヘッドの下方に配置された研磨ベルトと、
前記研磨ベルトの下方に配置された圧電素子を有するプラテンと
を備え、前記圧電素子は前記研磨ベルトに力を及ぼし得るシステム。 - 請求項24に記載のシステムであって、電場を用いて前記圧電素子を作動させるシステム。
- 請求項24に記載のシステムであって、前記圧電素子は様々な大きさであるシステム。
- 請求項26に記載のシステムであって、プラテンの端部付近の圧電素子は、プラテンの中心付近の圧電素子よりサイズが小さいシステム。
- 請求項24に記載のシステムであって、各圧電素子は、前記研磨ベルトに対して力を及ぼすために個別に作動させられ得るシステム。
- 請求項28に記載のシステムであって、各圧電素子は、前記研磨ベルトに対する抵抗力を調整するために個別に作動させられ得るシステム。
- 請求項24に記載のシステムであって、前記研磨ベルトに対して及ぼされる前記力はウェハへと送られ、CMP処理の間、ゾーン制御を提供するシステム。
- 請求項24に記載のシステムであって、さらに、前記プラテンの上方に設置された犠牲材料を備え、前記犠牲材料は、前記プラテンの損耗を減少させるために用いられるシステム。
- 請求項31に記載のシステムであって、前記犠牲材料は、CMP処理の間、前記プラテンの全域を覆いながらゆっくりと転がるシステム。
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