JP2004142045A - Cmp装置、cmp研磨方法、半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るCMP装置は、ウエハ14をCMP研磨するCMP研磨装置10であって、回転可能に構成されたターンテーブル11と、前記ターンテーブル上に配置された研磨クロス13と、前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、ウエハ14を保持しながら前記研磨クロス13にウエハ14を押し当てる研磨ヘッド17と、前記研磨クロスの外周部の表面状態を整える研磨クロス外周用ドレッサー23と、を具備するものである。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明に係るCMP装置は、ウエハ14をCMP研磨するCMP研磨装置10であって、回転可能に構成されたターンテーブル11と、前記ターンテーブル上に配置された研磨クロス13と、前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、ウエハ14を保持しながら前記研磨クロス13にウエハ14を押し当てる研磨ヘッド17と、前記研磨クロスの外周部の表面状態を整える研磨クロス外周用ドレッサー23と、を具備するものである。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、CMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法に関する。特には、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5(a)は、従来のCMP(Chemical Mechanical Polishing)装置の概略を示す平面図であり、図5(b)は、図5(a)に示すCMP装置の側面図である。
【0003】
図5(a)、(b)に示すように、CMP装置は円盤形状のターンテーブル111を有しており、このターンテーブル111の下面には回転軸(図示せず)を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。ターンテーブル111の上面上には研磨クロス113が張り付けられている。ターンテーブル111の上方にはウエハ保持手段である研磨ヘッド117が配置されており、この研磨ヘッド117の上部には回転軸118を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。また、ターンテーブル111の上方にはスラリー121を吐出するノズル119が配置されている。
【0004】
上記CMP装置において例えばウエハ上のシリコン酸化膜を研磨する場合、まず、研磨ヘッド117の下部にウエハ115の裏面を真空保持する。そして、図5(a)に示すように、回転モータによってターンテーブル111を矢印の方向に回転させ、ノズル119からスラリー121を吐出し、そのスラリーを研磨クロス113の中央付近に滴下する。次に、回転モータによって研磨ヘッド117を矢印の方向に回転させ、ウエハ115の表面(研磨面)を研磨クロス113に押圧し、さらに研磨ヘッド117によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。このようにしてウエハ115を研磨する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のCMP装置では、平坦なターンテーブル111上に研磨クロス113を張り付け、その研磨クロス上からウエハ115のシリコン酸化膜を押し付けて回転研磨すると、ウエハ外周のシリコン酸化膜の研磨レートがウエハ中央に比べて遅くなる傾向がある。このため、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性が悪くなり、そのシリコン酸化膜の残膜厚の面内均一性も悪化していた。
【0006】
また、上記従来のCMP装置は、ウエハ上での研磨レートを一定にするために、研磨クロス113の表面状態を整えるためのドレッサー(コンディショナ)を有している。このドレッサーによって該研磨クロスの表面状態を整えても、ウエハ外周のシリコン酸化膜の研磨レートをウエハ中央と同程度にすることが十分にはできなかった。また、このようなドレッサー以外で研磨レートを一定にする手段が上記従来のCMP装置にはないため、結局のところ、研磨クロス等の部材を交換するしか方法がなく、また交換をしても研磨レートを一定にできないこともあった。
【0007】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るCMP装置は、被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上に配置された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
前記研磨クロスの外周部の表面状態を整える研磨クロス外周用ドレッサーと、
を具備することを特徴とする。
【0009】
上記CMP装置によれば、研磨クロス外周用ドレッサーを有するため、この研磨クロス外周用ドレッサーによって研磨クロスの外周部の表面状態を整えることができる。これにより、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。その結果、被研磨基板の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、被研磨基板の外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0010】
本発明に係るCMP装置は、被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上の外周部に貼り付けられた段差形成用部材と、
前記段差形成用部材及びターンテーブルの上に配置された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
を具備することを特徴とする。
【0011】
上記CMP装置によれば、ターンテーブルの上面外周に段差形成用部材を貼り付けることにより、研磨クロスの外周部に段差を設けている。このため、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。その結果、被研磨基板の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、該外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0012】
また、本発明に係るCMP装置においては、前記段差形成用部材がテープであることが好ましい。
【0013】
本発明に係るCMP装置は、被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上に配置され、外周部の厚さが中央部のそれに比べて厚く形成された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
を具備することを特徴とする。
【0014】
上記CMP装置によれば、外周部の厚さを中央部のそれに比べて厚くした研磨クロスを用いることにより、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。その結果、被研磨基板の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、被研磨基板の外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0015】
また、本発明に係るCMP装置において、前記被研磨基板は、ウエハ上に形成されたシリコン酸化膜であることも可能である。
【0016】
本発明に係る半導体装置は、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載のCMP装置を用いて研磨した工程を経て製造されたことを特徴とする。
【0017】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載のCMP装置を用いて研磨する工程を有することを特徴とする。
【0018】
本発明に係るCMP研磨方法は、被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
上面に研磨クロスを張り付けたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより、被研磨基板を研磨するCMP研磨方法において、
前記研磨クロスは、該研磨クロスの外周部の表面状態を研磨クロス外周用ドレッサーにより整えられたものであることを特徴とする。
【0019】
上記CMP研磨方法によれば、研磨クロス外周用ドレッサーにより研磨クロスの外周部の表面状態を整えた研磨クロスを用いて被研磨基板を研磨している。このため、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。したがって、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0020】
また、本発明に係るCMP研磨方法において、前記研磨クロスは、該研磨クロスの表面全体をドレッサーにより整えられていることが好ましい。
【0021】
本発明に係るCMP研磨方法は、被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
上面の外周に段差形成用部材が貼り付けられると共に該上面に研磨クロスが該段差形成用部材を介して張り付けられたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより被研磨基板を研磨することを特徴とする。
【0022】
上記CMP研磨方法によれば、ターンテーブルの上面の外周に段差形成用部材を貼り付け、外周部に段差を設けた研磨クロスを用いて被研磨基板を研磨している。このため、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。したがって、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0023】
また、本発明に係るCMP研磨方法においては、前記段差形成用部材がテープであることが好ましい。
【0024】
本発明に係るCMP研磨方法は、被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
外周部の厚さが中央部のそれに比べて厚く形成された研磨クロスが上面に張り付けられたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより被研磨基板を研磨することを特徴とする。
【0025】
上記CMP研磨方法によれば、外周部の厚さを中央部のそれに比べて厚くした研磨クロスを用いて被研磨基板を研磨することにより、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。したがって、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0026】
また、本発明に係るCMP研磨方法において、前記被研磨基板は、ウエハ上に形成されたシリコン酸化膜であることも可能である。
【0027】
本発明に係る半導体装置は、請求項9〜14のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法を用いて研磨した工程を経て製造されたことを特徴とする。
【0028】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項9〜14のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法を用いて研磨する工程を有することを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明に係る第1の実施の形態によるCMP装置の構成を概略的に示す断面図である。図2は、図1に示すCMP装置の平面図である。
【0030】
図1に示すように、CMP装置10は円盤形状のターンテーブル11を有しており、このターンテーブル11の下面には回転軸を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。ターンテーブル11は、通常は中心軸24の回りに回転するようになっている。ターンテーブル11の上面上には研磨クロス13が張り付けられている。この研磨クロス13は裏張り層20を有し、これは、ウエハ14を研磨するためにスラリーと共に用いられるカバー層22とターンテーブル11との間のインターフェースとなっている。しかし、研磨クロスの中には、カバー層みを有し裏張り層を有していないものもある。カバー層22は、通常は、オープンセル発泡ウレタン又はポリウレタンシートなどが用いられる。
【0031】
ターンテーブル11の上方にはウエハ保持手段としての研磨ヘッド17が配置されており、この研磨ヘッド17の上部には回転軸18を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。研磨ヘッド17は中心軸26の回りに回転するようになっている。回転軸18はアーム28を介して保持されている。なお、ここでは、研磨ヘッドを1つしか示していないが、このような研磨ヘッドを1つ以上ターンテーブルの周方向に間隔をおいて配置することも可能である。
【0032】
また、ターンテーブル11の上方にはスラリー(図示せず)を吐出するノズル(図示せず)が配置されている。
【0033】
ターンテーブル11の上方には研磨クロス13の表面状態を整えるドレッサー41が配置されており、このドレッサー41は平行移動アーム42に取り付けられている。ドレッサー41は、図示せぬ移動手段により矢印の方向に移動可能に構成されている。つまり、ドレッサー41は平行移動アーム42を介してターンテーブル11の表面の端から中央部まで平行移動するようになっている。
【0034】
また、ターンテーブル11の上方には研磨クロス外周用ドレッサー23が配置されている。この研磨クロス外周用ドレッサー23は、ウエハ上のシリコン酸化膜の研磨量均一性を向上させるためのユニットであり、図2に示す研磨クロスの外周部(図2に示す円形状の点線より外周側の部分)13aの表面状態を整えるものであり、研磨クロスの外周部以外の部分に該ドレッサー23を当てることはなく、常に該外周部の表面状態を整えるために用いられる。研磨クロス外周用ドレッサー23の研磨クロスへ当てられる面にはダイヤモンドの細かい粒がニッケルにより電着されており、該研磨クロスの表面はざらついた状態となっている。研磨ヘッド17で保持されているウエハ14は、研磨時に、研磨クロスの外周部13aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置に押し付けられて研磨されるようになっている。なお、研磨クロスの外周部13aの幅Lは、研磨クロス13の大きさ及び研磨されるウエハ14の大きさによって異なるが、例えば、研磨クロス13の半径の1.0〜10%くらいである。
【0035】
上記CMP装置10において被研磨基板としてのウエハ14を研磨する場合、まず、ウエハ14上にシリコン酸化膜を堆積する。次いで、このウエハ14の裏面を研磨ヘッド17の下部に真空吸着する。そして、回転モータによってターンテーブル11を図1に示す矢印の方向に回転させ、ノズルからスラリーを吐出し、そのスラリーを研磨クロス13の中央付近に滴下する。
【0036】
次に、回転モータによって研磨ヘッド17を中心軸26の回りに回転させ、ウエハ14の表面(研磨面)を研磨クロス13に押圧し、さらに研磨ヘッド17によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。この際、ウエハ14を押圧する位置は、図2に示すように研磨クロスの外周部13aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置である。このようにしてウエハ14上のシリコン酸化膜を研磨する。そして、研磨クロス外周用ドレッサー23を研磨クロスの外周部13aに常に押し当てて、該外周部13aの表面状態を整えながらウエハ14を研磨しても良いし、また、所定の研磨時間だけウエハを研磨する毎に、研磨クロス外周用ドレッサー23を研磨クロスの外周部13aに押し当てて、該外周部13aの表面状態を整えても良い。
【0037】
上記第1の実施の形態によれば、CMP装置10に研磨クロス外周用ドレッサー23を設けているため、この研磨クロス外周用ドレッサー23によって研磨クロスの外周部13aの表面状態を整えることができる。これにより、研磨レートが低くなりやすいウエハ外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部13aの研磨量を多くすることができる。その結果、研磨量のウエハ面内均一性をコントロールして良好にすることが可能となる。つまり、ウエハ14の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、ウエハ外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、ウエハ外周部の研磨レートをウエハ中央部のそれにより近づけることができ、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性を向上させることができる。
【0038】
尚、上記第1の実施の形態では、ウエハ14上の多層配線構造作成時におけるシリコン酸化膜をCMP装置10で研磨しているが、ウエハ14の他の材質の膜をCMP装置10で研磨することも可能である。
【0039】
また、上記第1の実施の形態では、本発明をCMP装置、CMP研磨方法に適用した例を示しているが、これに限定されるものではなく、本発明を半導体装置及びその製造方法に適用することも可能である。例えば、本実施の形態によるCMP装置を用いて研磨した工程を経て製造された半導体装置、本実施の形態によるCMP研磨方法を用いて研磨した工程を経て製造された半導体装置、本実施の形態によるCMP装置を用いて研磨する工程を有する半導体装置の製造方法、本実施の形態によるCMP研磨方法を用いて研磨する工程を有する半導体装置の製造方法についても本発明の適用範囲に含まれる。
【0040】
図3(a)は、本発明に係る第2の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図であり、図3(b)は、図3(a)に示すターンテーブルの側面図である。図3において、図1及び図2と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【0041】
ターンテーブル11の上面の外周部には幅Lの段差形成用テープ12が貼り付けられている。この段差形成用テープ12及びターンテーブル11の上面上には研磨クロス13が張り付けられている。研磨クロスの外周部13aは段差形成用テープ12により該研磨クロス13が盛り上がった状態となっており、研磨クロスの外周部に段差が付けられている。このため、研磨時に被研磨基板であるウエハ14に加えられる圧力は、研磨クロスの外周部13aが研磨クロスの中央部に比べて大きくなる。言い換えると、ウエハ14の外周部のみ局所的に高加重がかかるようになっている。なお、本実施の形態によるCMP装置は、第1の実施の形態における研磨クロス外周用ドレッサーに相当するドレッサーを有していない。
【0042】
上記CMP装置において被研磨基板としてのウエハ14を研磨する場合、まず、ウエハ14上にシリコン酸化膜を堆積する。次いで、このウエハ14の裏面を研磨ヘッド17の下部に真空吸着する。そして、回転モータによってターンテーブル11を中心軸24の回りに回転させ、ノズルからスラリーを吐出し、そのスラリーを研磨クロス13の中央付近に滴下する。
【0043】
次に、回転モータによって研磨ヘッド17を回転させ、ウエハ14の表面(研磨面)を研磨クロス13に押圧し、さらに研磨ヘッド17によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。この際、ウエハ14を押圧する位置は、研磨クロスの外周部13aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置である。このようにしてウエハ14上のシリコン酸化膜を研磨するため、ウエハ14の外周部に加えられる圧力をウエハの中央部に比べて大きくすることができる。つまり、研磨レートが低くなりやすいウエハの外周部のみに局所的に高加重がかかるようになる。
【0044】
上記第2の実施の形態においても第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、ターンテーブル11の上面外周に段差形成用テープ12を貼り付けることにより、研磨クロス13の外周部に段差を設けている。このため、研磨レートが低くなりやすいウエハ外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部13aの研磨量を多くすることができる。その結果、ウエハ14の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、ウエハ外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、ウエハ外周部の研磨レートをウエハ中央部のそれにより近づけることができ、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性を向上させることができる。
【0045】
上記第2の実施の形態では、段差形成用テープ12を用いて研磨クロスの外周部13aに段差を設けているが、段差形成用テープに限定されるものではなく、他の段差形成用部材を用いて研磨クロスの外周部に段差を設けることも可能である。
【0046】
また、本実施の形態で用いている段差形成用テープ12の材質は種々のものを適用することが可能である。また、段差形成用テープ12の厚さは、研磨される膜の硬さや種類、研磨条件によって適宜適切な厚さとすることが好ましい。
【0047】
図4(a)は、本発明に係る第3の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図であり、図4(b)は、図4(a)に示すターンテーブルの側面図である。図4において、図3と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【0048】
段差形成用テープ12を貼り付けるのに替えて、外周部33aに段差を有する研磨クロス33をターンテーブル11の上に貼り付けている。つまり、研磨クロス33の外周部33aの厚さを中央部のそれに比べて厚く形成することにより、該研磨クロスの外周部33aに段差を形成している。このため、研磨時に被研磨基板であるウエハ14に加えられる圧力は、研磨クロスの外周部33aが研磨クロスの中央部に比べて大きくなる。言い換えると、ウエハ14の外周部のみ局所的に高加重がかかるようになっている。
【0049】
上記CMP装置において被研磨基板としてのウエハ14を研磨する場合、まず、ウエハ14上にシリコン酸化膜を堆積する。次いで、このウエハ14の裏面を研磨ヘッド17の下部に真空吸着する。そして、回転モータによってターンテーブル11を中心軸24の回りに回転させ、ノズルからスラリーを吐出し、そのスラリーを研磨クロス13の中央付近に滴下する。
【0050】
次に、回転モータによって研磨ヘッド17を回転させ、ウエハ14の表面(研磨面)を研磨クロス33に押圧し、さらに研磨ヘッド17によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。この際、ウエハ14を押圧する位置は、研磨クロスの外周部33aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置である。このようにしてウエハ14上のシリコン酸化膜を研磨するため、ウエハ14の外周部に加えられる圧力をウエハの中央部に比べて大きくすることができる。つまり、研磨レートが低くなりやすいウエハの外周部のみに局所的に高加重がかかるようになる。
【0051】
上記第3の実施の形態においても第2の実施の形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、外周部33aの厚さを厚くした研磨クロス33を用いることにより、研磨レートが低くなりやすいウエハ外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部33aの研磨量を多くすることができる。その結果、ウエハ14の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、ウエハ外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、ウエハ外周部の研磨レートをウエハ中央部のそれにより近づけることができ、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性を向上させることができる。
【0052】
また、本実施の形態で用いている研磨クロスの段差の高さは、研磨される膜の硬さや種類、研磨条件によって適宜適切な高さとすることが好ましい。
【0053】
尚、本発明は上述した実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。
【0054】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態によるCMP装置の構成を示す断面図。
【図2】図1に示すCMP装置の平面図。
【図3】(a)は、第2の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図、(b)は、(a)に示すターンテーブルの側面図。
【図4】(a)は、第3の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図、(b)は、(a)に示すターンテーブルの側面図。
【図5】(a)は、従来のCMP装置を示す平面図、(b)は、(a)に示すCMP装置の側面図。
【符号の説明】
10…CMP装置、11,111…ターンテーブル、13,33,113…研磨クロス、13a,33a…研磨クロスの外周部、14,115…ウエハ、17,117…研磨ヘッド、18,118…回転軸、20…裏張り層、22…カバー層、23…研磨クロス外周用ドレッサー、24…回転軸、26…回転軸、28…アーム、41…ドレッサー、42…平行移動アーム、119…ノズル、121…スラリー
【発明の属する技術分野】
本発明は、CMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法に関する。特には、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5(a)は、従来のCMP(Chemical Mechanical Polishing)装置の概略を示す平面図であり、図5(b)は、図5(a)に示すCMP装置の側面図である。
【0003】
図5(a)、(b)に示すように、CMP装置は円盤形状のターンテーブル111を有しており、このターンテーブル111の下面には回転軸(図示せず)を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。ターンテーブル111の上面上には研磨クロス113が張り付けられている。ターンテーブル111の上方にはウエハ保持手段である研磨ヘッド117が配置されており、この研磨ヘッド117の上部には回転軸118を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。また、ターンテーブル111の上方にはスラリー121を吐出するノズル119が配置されている。
【0004】
上記CMP装置において例えばウエハ上のシリコン酸化膜を研磨する場合、まず、研磨ヘッド117の下部にウエハ115の裏面を真空保持する。そして、図5(a)に示すように、回転モータによってターンテーブル111を矢印の方向に回転させ、ノズル119からスラリー121を吐出し、そのスラリーを研磨クロス113の中央付近に滴下する。次に、回転モータによって研磨ヘッド117を矢印の方向に回転させ、ウエハ115の表面(研磨面)を研磨クロス113に押圧し、さらに研磨ヘッド117によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。このようにしてウエハ115を研磨する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のCMP装置では、平坦なターンテーブル111上に研磨クロス113を張り付け、その研磨クロス上からウエハ115のシリコン酸化膜を押し付けて回転研磨すると、ウエハ外周のシリコン酸化膜の研磨レートがウエハ中央に比べて遅くなる傾向がある。このため、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性が悪くなり、そのシリコン酸化膜の残膜厚の面内均一性も悪化していた。
【0006】
また、上記従来のCMP装置は、ウエハ上での研磨レートを一定にするために、研磨クロス113の表面状態を整えるためのドレッサー(コンディショナ)を有している。このドレッサーによって該研磨クロスの表面状態を整えても、ウエハ外周のシリコン酸化膜の研磨レートをウエハ中央と同程度にすることが十分にはできなかった。また、このようなドレッサー以外で研磨レートを一定にする手段が上記従来のCMP装置にはないため、結局のところ、研磨クロス等の部材を交換するしか方法がなく、また交換をしても研磨レートを一定にできないこともあった。
【0007】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るCMP装置は、被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上に配置された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
前記研磨クロスの外周部の表面状態を整える研磨クロス外周用ドレッサーと、
を具備することを特徴とする。
【0009】
上記CMP装置によれば、研磨クロス外周用ドレッサーを有するため、この研磨クロス外周用ドレッサーによって研磨クロスの外周部の表面状態を整えることができる。これにより、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。その結果、被研磨基板の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、被研磨基板の外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0010】
本発明に係るCMP装置は、被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上の外周部に貼り付けられた段差形成用部材と、
前記段差形成用部材及びターンテーブルの上に配置された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
を具備することを特徴とする。
【0011】
上記CMP装置によれば、ターンテーブルの上面外周に段差形成用部材を貼り付けることにより、研磨クロスの外周部に段差を設けている。このため、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。その結果、被研磨基板の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、該外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0012】
また、本発明に係るCMP装置においては、前記段差形成用部材がテープであることが好ましい。
【0013】
本発明に係るCMP装置は、被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上に配置され、外周部の厚さが中央部のそれに比べて厚く形成された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
を具備することを特徴とする。
【0014】
上記CMP装置によれば、外周部の厚さを中央部のそれに比べて厚くした研磨クロスを用いることにより、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。その結果、被研磨基板の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、被研磨基板の外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0015】
また、本発明に係るCMP装置において、前記被研磨基板は、ウエハ上に形成されたシリコン酸化膜であることも可能である。
【0016】
本発明に係る半導体装置は、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載のCMP装置を用いて研磨した工程を経て製造されたことを特徴とする。
【0017】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載のCMP装置を用いて研磨する工程を有することを特徴とする。
【0018】
本発明に係るCMP研磨方法は、被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
上面に研磨クロスを張り付けたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより、被研磨基板を研磨するCMP研磨方法において、
前記研磨クロスは、該研磨クロスの外周部の表面状態を研磨クロス外周用ドレッサーにより整えられたものであることを特徴とする。
【0019】
上記CMP研磨方法によれば、研磨クロス外周用ドレッサーにより研磨クロスの外周部の表面状態を整えた研磨クロスを用いて被研磨基板を研磨している。このため、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。したがって、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0020】
また、本発明に係るCMP研磨方法において、前記研磨クロスは、該研磨クロスの表面全体をドレッサーにより整えられていることが好ましい。
【0021】
本発明に係るCMP研磨方法は、被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
上面の外周に段差形成用部材が貼り付けられると共に該上面に研磨クロスが該段差形成用部材を介して張り付けられたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより被研磨基板を研磨することを特徴とする。
【0022】
上記CMP研磨方法によれば、ターンテーブルの上面の外周に段差形成用部材を貼り付け、外周部に段差を設けた研磨クロスを用いて被研磨基板を研磨している。このため、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。したがって、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0023】
また、本発明に係るCMP研磨方法においては、前記段差形成用部材がテープであることが好ましい。
【0024】
本発明に係るCMP研磨方法は、被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
外周部の厚さが中央部のそれに比べて厚く形成された研磨クロスが上面に張り付けられたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより被研磨基板を研磨することを特徴とする。
【0025】
上記CMP研磨方法によれば、外周部の厚さを中央部のそれに比べて厚くした研磨クロスを用いて被研磨基板を研磨することにより、研磨レートが低くなりやすい被研磨基板の外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部の研磨量を多くすることができる。したがって、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけることができ、研磨後の基板の平坦性を向上させることができる。
【0026】
また、本発明に係るCMP研磨方法において、前記被研磨基板は、ウエハ上に形成されたシリコン酸化膜であることも可能である。
【0027】
本発明に係る半導体装置は、請求項9〜14のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法を用いて研磨した工程を経て製造されたことを特徴とする。
【0028】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項9〜14のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法を用いて研磨する工程を有することを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明に係る第1の実施の形態によるCMP装置の構成を概略的に示す断面図である。図2は、図1に示すCMP装置の平面図である。
【0030】
図1に示すように、CMP装置10は円盤形状のターンテーブル11を有しており、このターンテーブル11の下面には回転軸を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。ターンテーブル11は、通常は中心軸24の回りに回転するようになっている。ターンテーブル11の上面上には研磨クロス13が張り付けられている。この研磨クロス13は裏張り層20を有し、これは、ウエハ14を研磨するためにスラリーと共に用いられるカバー層22とターンテーブル11との間のインターフェースとなっている。しかし、研磨クロスの中には、カバー層みを有し裏張り層を有していないものもある。カバー層22は、通常は、オープンセル発泡ウレタン又はポリウレタンシートなどが用いられる。
【0031】
ターンテーブル11の上方にはウエハ保持手段としての研磨ヘッド17が配置されており、この研磨ヘッド17の上部には回転軸18を介して回転モータ(図示せず)が配置されている。研磨ヘッド17は中心軸26の回りに回転するようになっている。回転軸18はアーム28を介して保持されている。なお、ここでは、研磨ヘッドを1つしか示していないが、このような研磨ヘッドを1つ以上ターンテーブルの周方向に間隔をおいて配置することも可能である。
【0032】
また、ターンテーブル11の上方にはスラリー(図示せず)を吐出するノズル(図示せず)が配置されている。
【0033】
ターンテーブル11の上方には研磨クロス13の表面状態を整えるドレッサー41が配置されており、このドレッサー41は平行移動アーム42に取り付けられている。ドレッサー41は、図示せぬ移動手段により矢印の方向に移動可能に構成されている。つまり、ドレッサー41は平行移動アーム42を介してターンテーブル11の表面の端から中央部まで平行移動するようになっている。
【0034】
また、ターンテーブル11の上方には研磨クロス外周用ドレッサー23が配置されている。この研磨クロス外周用ドレッサー23は、ウエハ上のシリコン酸化膜の研磨量均一性を向上させるためのユニットであり、図2に示す研磨クロスの外周部(図2に示す円形状の点線より外周側の部分)13aの表面状態を整えるものであり、研磨クロスの外周部以外の部分に該ドレッサー23を当てることはなく、常に該外周部の表面状態を整えるために用いられる。研磨クロス外周用ドレッサー23の研磨クロスへ当てられる面にはダイヤモンドの細かい粒がニッケルにより電着されており、該研磨クロスの表面はざらついた状態となっている。研磨ヘッド17で保持されているウエハ14は、研磨時に、研磨クロスの外周部13aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置に押し付けられて研磨されるようになっている。なお、研磨クロスの外周部13aの幅Lは、研磨クロス13の大きさ及び研磨されるウエハ14の大きさによって異なるが、例えば、研磨クロス13の半径の1.0〜10%くらいである。
【0035】
上記CMP装置10において被研磨基板としてのウエハ14を研磨する場合、まず、ウエハ14上にシリコン酸化膜を堆積する。次いで、このウエハ14の裏面を研磨ヘッド17の下部に真空吸着する。そして、回転モータによってターンテーブル11を図1に示す矢印の方向に回転させ、ノズルからスラリーを吐出し、そのスラリーを研磨クロス13の中央付近に滴下する。
【0036】
次に、回転モータによって研磨ヘッド17を中心軸26の回りに回転させ、ウエハ14の表面(研磨面)を研磨クロス13に押圧し、さらに研磨ヘッド17によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。この際、ウエハ14を押圧する位置は、図2に示すように研磨クロスの外周部13aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置である。このようにしてウエハ14上のシリコン酸化膜を研磨する。そして、研磨クロス外周用ドレッサー23を研磨クロスの外周部13aに常に押し当てて、該外周部13aの表面状態を整えながらウエハ14を研磨しても良いし、また、所定の研磨時間だけウエハを研磨する毎に、研磨クロス外周用ドレッサー23を研磨クロスの外周部13aに押し当てて、該外周部13aの表面状態を整えても良い。
【0037】
上記第1の実施の形態によれば、CMP装置10に研磨クロス外周用ドレッサー23を設けているため、この研磨クロス外周用ドレッサー23によって研磨クロスの外周部13aの表面状態を整えることができる。これにより、研磨レートが低くなりやすいウエハ外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部13aの研磨量を多くすることができる。その結果、研磨量のウエハ面内均一性をコントロールして良好にすることが可能となる。つまり、ウエハ14の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、ウエハ外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、ウエハ外周部の研磨レートをウエハ中央部のそれにより近づけることができ、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性を向上させることができる。
【0038】
尚、上記第1の実施の形態では、ウエハ14上の多層配線構造作成時におけるシリコン酸化膜をCMP装置10で研磨しているが、ウエハ14の他の材質の膜をCMP装置10で研磨することも可能である。
【0039】
また、上記第1の実施の形態では、本発明をCMP装置、CMP研磨方法に適用した例を示しているが、これに限定されるものではなく、本発明を半導体装置及びその製造方法に適用することも可能である。例えば、本実施の形態によるCMP装置を用いて研磨した工程を経て製造された半導体装置、本実施の形態によるCMP研磨方法を用いて研磨した工程を経て製造された半導体装置、本実施の形態によるCMP装置を用いて研磨する工程を有する半導体装置の製造方法、本実施の形態によるCMP研磨方法を用いて研磨する工程を有する半導体装置の製造方法についても本発明の適用範囲に含まれる。
【0040】
図3(a)は、本発明に係る第2の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図であり、図3(b)は、図3(a)に示すターンテーブルの側面図である。図3において、図1及び図2と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【0041】
ターンテーブル11の上面の外周部には幅Lの段差形成用テープ12が貼り付けられている。この段差形成用テープ12及びターンテーブル11の上面上には研磨クロス13が張り付けられている。研磨クロスの外周部13aは段差形成用テープ12により該研磨クロス13が盛り上がった状態となっており、研磨クロスの外周部に段差が付けられている。このため、研磨時に被研磨基板であるウエハ14に加えられる圧力は、研磨クロスの外周部13aが研磨クロスの中央部に比べて大きくなる。言い換えると、ウエハ14の外周部のみ局所的に高加重がかかるようになっている。なお、本実施の形態によるCMP装置は、第1の実施の形態における研磨クロス外周用ドレッサーに相当するドレッサーを有していない。
【0042】
上記CMP装置において被研磨基板としてのウエハ14を研磨する場合、まず、ウエハ14上にシリコン酸化膜を堆積する。次いで、このウエハ14の裏面を研磨ヘッド17の下部に真空吸着する。そして、回転モータによってターンテーブル11を中心軸24の回りに回転させ、ノズルからスラリーを吐出し、そのスラリーを研磨クロス13の中央付近に滴下する。
【0043】
次に、回転モータによって研磨ヘッド17を回転させ、ウエハ14の表面(研磨面)を研磨クロス13に押圧し、さらに研磨ヘッド17によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。この際、ウエハ14を押圧する位置は、研磨クロスの外周部13aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置である。このようにしてウエハ14上のシリコン酸化膜を研磨するため、ウエハ14の外周部に加えられる圧力をウエハの中央部に比べて大きくすることができる。つまり、研磨レートが低くなりやすいウエハの外周部のみに局所的に高加重がかかるようになる。
【0044】
上記第2の実施の形態においても第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、ターンテーブル11の上面外周に段差形成用テープ12を貼り付けることにより、研磨クロス13の外周部に段差を設けている。このため、研磨レートが低くなりやすいウエハ外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部13aの研磨量を多くすることができる。その結果、ウエハ14の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、ウエハ外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、ウエハ外周部の研磨レートをウエハ中央部のそれにより近づけることができ、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性を向上させることができる。
【0045】
上記第2の実施の形態では、段差形成用テープ12を用いて研磨クロスの外周部13aに段差を設けているが、段差形成用テープに限定されるものではなく、他の段差形成用部材を用いて研磨クロスの外周部に段差を設けることも可能である。
【0046】
また、本実施の形態で用いている段差形成用テープ12の材質は種々のものを適用することが可能である。また、段差形成用テープ12の厚さは、研磨される膜の硬さや種類、研磨条件によって適宜適切な厚さとすることが好ましい。
【0047】
図4(a)は、本発明に係る第3の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図であり、図4(b)は、図4(a)に示すターンテーブルの側面図である。図4において、図3と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【0048】
段差形成用テープ12を貼り付けるのに替えて、外周部33aに段差を有する研磨クロス33をターンテーブル11の上に貼り付けている。つまり、研磨クロス33の外周部33aの厚さを中央部のそれに比べて厚く形成することにより、該研磨クロスの外周部33aに段差を形成している。このため、研磨時に被研磨基板であるウエハ14に加えられる圧力は、研磨クロスの外周部33aが研磨クロスの中央部に比べて大きくなる。言い換えると、ウエハ14の外周部のみ局所的に高加重がかかるようになっている。
【0049】
上記CMP装置において被研磨基板としてのウエハ14を研磨する場合、まず、ウエハ14上にシリコン酸化膜を堆積する。次いで、このウエハ14の裏面を研磨ヘッド17の下部に真空吸着する。そして、回転モータによってターンテーブル11を中心軸24の回りに回転させ、ノズルからスラリーを吐出し、そのスラリーを研磨クロス13の中央付近に滴下する。
【0050】
次に、回転モータによって研磨ヘッド17を回転させ、ウエハ14の表面(研磨面)を研磨クロス33に押圧し、さらに研磨ヘッド17によってウエハの裏面にエアー圧をかけて押圧する。この際、ウエハ14を押圧する位置は、研磨クロスの外周部33aに該ウエハの半径の10〜20%くらいかかるような位置である。このようにしてウエハ14上のシリコン酸化膜を研磨するため、ウエハ14の外周部に加えられる圧力をウエハの中央部に比べて大きくすることができる。つまり、研磨レートが低くなりやすいウエハの外周部のみに局所的に高加重がかかるようになる。
【0051】
上記第3の実施の形態においても第2の実施の形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、外周部33aの厚さを厚くした研磨クロス33を用いることにより、研磨レートが低くなりやすいウエハ外周部が主に押し当てられる研磨クロスの外周部33aの研磨量を多くすることができる。その結果、ウエハ14の外周部が従来技術に比べてより研磨されるようになり、ウエハ外周部の研磨レートを向上させることができる。言い換えると、ウエハ外周部の研磨レートをウエハ中央部のそれにより近づけることができ、研磨後のウエハ上のシリコン酸化膜の平坦性を向上させることができる。
【0052】
また、本実施の形態で用いている研磨クロスの段差の高さは、研磨される膜の硬さや種類、研磨条件によって適宜適切な高さとすることが好ましい。
【0053】
尚、本発明は上述した実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。
【0054】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、被研磨基板の外周部の研磨レートを被研磨基板の中央部のそれにより近づけ、研磨後の基板の平坦性を向上できるCMP装置、CMP方法、半導体装置及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態によるCMP装置の構成を示す断面図。
【図2】図1に示すCMP装置の平面図。
【図3】(a)は、第2の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図、(b)は、(a)に示すターンテーブルの側面図。
【図4】(a)は、第3の実施の形態によるCMP装置のターンテーブルを示す平面図、(b)は、(a)に示すターンテーブルの側面図。
【図5】(a)は、従来のCMP装置を示す平面図、(b)は、(a)に示すCMP装置の側面図。
【符号の説明】
10…CMP装置、11,111…ターンテーブル、13,33,113…研磨クロス、13a,33a…研磨クロスの外周部、14,115…ウエハ、17,117…研磨ヘッド、18,118…回転軸、20…裏張り層、22…カバー層、23…研磨クロス外周用ドレッサー、24…回転軸、26…回転軸、28…アーム、41…ドレッサー、42…平行移動アーム、119…ノズル、121…スラリー
Claims (15)
- 被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上に配置された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
前記研磨クロスの外周部の表面状態を整える研磨クロス外周用ドレッサーと、
を具備することを特徴とするCMP装置。 - 被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上の外周部に貼り付けられた段差形成用部材と、
前記段差形成用部材及びターンテーブルの上に配置された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
を具備することを特徴とするCMP装置。 - 前記段差形成用部材がテープであることを特徴とする請求項2に記載のCMP装置。
- 被研磨基板をCMP研磨するCMP研磨装置であって、
回転可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブル上に配置され、外周部の厚さが中央部のそれに比べて厚く形成された研磨クロスと、
前記研磨クロス上にスラリーを供給するスラリー供給機構と、
被研磨基板を保持しながら前記研磨クロスに被研磨基板を押し当てる研磨ヘッドと、
を具備することを特徴とするCMP装置。 - 前記被研磨基板は、ウエハ上に形成されたシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1項に記載のCMP装置。
- 請求項1〜5のうちいずれか1項に記載のCMP装置を用いて研磨した工程を経て製造されたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜6のうちいずれか1項に記載のCMP装置を用いて研磨する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
上面に研磨クロスを張り付けたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより、被研磨基板を研磨するCMP研磨方法において、
前記研磨クロスは、該研磨クロスの外周部の表面状態を研磨クロス外周用ドレッサーにより整えられたものであることを特徴とするCMP研磨方法。 - 前記研磨クロスは、該研磨クロスの表面全体をドレッサーにより整えられていることを特徴とする請求項8に記載のCMP研磨方法。
- 被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
上面の外周に段差形成用部材が貼り付けられると共に該上面に研磨クロスが該段差形成用部材を介して張り付けられたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより被研磨基板を研磨することを特徴とするCMP研磨方法。 - 前記段差形成用部材がテープであることを特徴とする請求項10に記載のCMP研磨方法。
- 被研磨基板を研磨ヘッドに保持し、
外周部の厚さが中央部のそれに比べて厚く形成された研磨クロスが上面に張り付けられたターンテーブルを回転させ、
前記研磨クロス上にスラリーを供給し、
前記研磨ヘッドに保持した被研磨基板の研磨面を前記研磨クロスに押し当てることにより被研磨基板を研磨することを特徴とするCMP研磨方法。 - 前記被研磨基板は、ウエハ上に形成されたシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項8〜12のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法。
- 請求項8〜13のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法を用いて研磨した工程を経て製造されたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項8〜13のうちいずれか1項に記載のCMP研磨方法を用いて研磨する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2002310811A Withdrawn JP2004142045A (ja) | 2002-10-25 | 2002-10-25 | Cmp装置、cmp研磨方法、半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004142045A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7758717B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-07-20 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Wafer treating apparatus |
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2002
- 2002-10-25 JP JP2002310811A patent/JP2004142045A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7758717B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-07-20 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Wafer treating apparatus |
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