JP2004509783A - 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール - Google Patents
圧電式インクジェットプリンティング・モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004509783A JP2004509783A JP2002526593A JP2002526593A JP2004509783A JP 2004509783 A JP2004509783 A JP 2004509783A JP 2002526593 A JP2002526593 A JP 2002526593A JP 2002526593 A JP2002526593 A JP 2002526593A JP 2004509783 A JP2004509783 A JP 2004509783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor material
- piezoelectric element
- module
- ink
- inkjet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 97
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 44
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 42
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 19
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 108010003272 Hyaluronate lyase Proteins 0.000 claims description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002999 depolarising effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N titanium tungsten Chemical compound [Ti].[W] MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【技術分野】
本発明はインクジェットプリンティング・モジュールに関する。
【0002】
【発明の背景】
インクジェットプリンティング・モジュールは基板方向に開口部からインクを噴射する。インクは圧電式インクジェットプリンティング・モジュールによって生成される一連の滴下として噴出され得る。特定のプリンティング・モジュールはそれぞれ64ノズルから成る4つのグループで256ノズルを有し得る。圧電式インクジェットプリンティング・モジュールはモジュール本体、圧電素子、及び圧電素子を駆動する電気接点を含む。通常、モジュール本体は、インク用のポンプ室(チャンバー)の役目をする一連のインクチャネルを機械加工された表面への長方形の部材である。圧電素子は、本体表面に亘って配置され、インクを噴射するためのポンプ室のインクを加圧するようにポンプ室に対応し得る。
【0003】
圧電素子の特性はプリンティング・モジュールの噴射特性に影響を及ぼし得る。例えば、熱パルスによって生成されるインクの滴下量は、プリンティング・モジュールのそれぞれのインクジェットの特性に依存し得る。滴下量及び滴下速度は滴下によって生成される画像の質に影響を及ぼし得る。所望の速度及び所望の位置または画素にて所望のサイズのインク滴下を選択して噴出することによって、高精度な画像が生成され得る。
【0004】
【発明の概要】
概して、本発明は、モジュールの圧電素子の表面上に半導体物質を有する圧電式インクジェットプリンティング・モジュールを特徴付ける。半導体物質は被膜であり得る。物質の半導体的性質は、圧電素子から離れた素子を加熱及び冷却して生成される電荷を流出させるのを助け得る。このことは、印刷中に直面し得る加熱及び冷却周期の間モジュールの安定性を向上させ得る。半導体物質は圧電素子表面の電荷拡散率を増す。電気接点付近の領域の電荷拡散率を増すことによって、十分な電圧が印加され圧電素子またはその一部を分極化あるいは非分極化(depole)する。圧電素子またはその一部を分極化あるいは非分極化する性能によって、モジュールの製造を簡略化でき、滴下噴出特性が単一のノズルに対して変更されることが可能になる。
【0005】
1つの特徴では、本発明は、圧電素子の表面上に半導体物質を有する圧電素子を含むインクジェットモジュールを特徴づける。半導体物質は圧電素子から焦電電荷を流出させ得る。半導体物質は圧電素子上の被膜であり得る。
別の特徴では、本発明は、複数のインクジェットモジュールを含むインクジェットヘッドを特徴づける。
【0006】
別の特徴では、本発明は、インクジェットモジュールの製造方法を特徴づける。この方法は圧電素子の表面上に半導体物質を配置することから成ることを含む。配置は圧電素子の表面上に半導体物質を被膜することを含み得る。この方法は電気接点が圧電素子と接触することも含み得る。電気接点は半導体物質に接触し得る。
【0007】
別の特徴では、本発明は熱周期の間インクジェットモジュールにおけるインク速度の低下を減じる方法を特徴づける。この方法は圧電素子の表面上に半導体物質を配置することを含み、圧電素子の表面上に半導体物質を被膜することを含み得る。
別の特徴では、本発明は圧電式インクジェットモジュールを分極する方法を特徴づける。分極方法は圧電素子の表面上に半導体物質を含む圧電式インクジェットモジュールを取り付けることを含む。圧電素子は圧電素子の表面上の半導体物質と接触する電気接点を有する。電気接点は圧電素子を活性化させるために配置される。分極電圧が圧電素子を分極するのに十分な時間の間半導体物資と圧電素子に亘って印加される。
別の特徴では、本発明は、インクジェットプリンティング・モジュールにおけるノズル性能を変更する方法を特徴づける。この方法は、ノズル領域における圧電素子の分極を変えるために変更電圧をインクジェットプリンティング・モジュールの圧電素子のノズル領域に印加することを含む。ノズル領域は、ノズル領域における圧電素子の表面上の半導体物質に接触する電気接点を含み得る。変更電圧は電気接点に印加され得る。モジュールは複数のノズルを含み、各々のノズルは圧電物質の表面上の半導体物質に接触する電気接点を含むノズル領域を有する。この方法はモジュールのノズルのインクの滴下の大きさまたはインクの滴下速度を監視し、先端のインクの滴下の大きさまたはインクの滴下速度を調整するために変更電圧を選択することを含み得る。
半導体物質は圧電素子より大きい導電率を有する。半導体物質が熱周期の間焦電体が非分極化するのを防ぐための被膜を形成するとき、半導体物質の被膜は、冷却時間の間圧電物質の表面上に蓄積された電荷を放電するのに十分な導電性であり、領域適用の持続時間の間各々の電極で用いられる領域の解像度を維持するのに十分な抵抗である。半導体物質は単位面積(per square)あたり5000メガオームまたはそれ未満、望ましくは単位面積あたり1000メガオームかそれ未満、さらに望ましくは単位面積あたり500メガオームかそれ未満の抵抗を有し得る。半導体物質は単位面積あたり0.1メガオームかそれより大きい抵抗、望ましくは単位面積あたり1メガオームかそれより大きく、さらに望ましくは単位面積あたり10メガオームかそれより大きい抵抗を有し得る。ある実施例では、半導体物質は、単位面積あたり11メガオームと単位面積あたり500メガオームとの間の抵抗を有している。
半導体物質はドープ処理された絶縁体を含み得る。ドープ処理された絶縁体は所定の抵抗率を有するように選択され得る。半導体物質は酸化アルミニウム、窒化珪素、または酸化ネオジウムから抽出され得る。ある実施例では、半導体物質は窒化珪素から抽出され、圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛である。
インクジェットモジュールはインクチャネルを含み得る。圧電素子はチャネルのインクがノズル圧に従うように配置され得る。電気接点は圧電素子を活性化させるために配置され得る。モジュールは一連のチャネルを含み得る。チャネルの各々は単一の圧電素子に対応している。ある特徴では、チャネル全部が単一の圧電素子に対応している。インクジェットモジュールは加熱及び冷却周期に制約される。
本発明の1つ以上の実施例の詳細が、添付図面および以下の説明で述べられる。本発明の他の特徴、目的、及び利点は説明及び図面から、及び請求項から明らかにされるだろう。
【0008】
【発明の実施の形態】
圧電式インクジェットモジュールは素子表面に半導体物質を有する圧電素子を含む。通常、モジュールは本体のノズル領域に亘って配置される圧電素子を含む。ノズル領域は本体内のポンプ室の一部であり得る。フレックスプリント(flex print)などのポリマーは、ポンプ室を密封し、圧電素子の表面上に電極などの電気接点を配置し得る。圧電素子は各々のノズル領域に及ぶ。電圧が電気接点に印加されると、ノズル領域における圧電素子の形は変化し、その結果対応するポンプ室内でインクがノズル圧にかけられる。インクはポンプ室から噴出され、基板上に位置させられる。電気接点も半導体物質に接触することが望ましい。
【0009】
圧電式インクジェットプリンティング・モジュールの1つの例は、米国特許第5,640,184号で説明されたモジュールなどの剪断(Shear)モードモジュールであり、その全体の内容がここに参照として組み込まれている。剪断モードモジュールの電気接点はインクチャネルに隣接する圧電素子の側に位置し得る。図1A、1B及び2を参照すると、圧電式インクジェットヘッド2は1つ以上のモジュール4を含み、モジュール4は、多機能(manifold)板12及びオリフィスプレート14が取り付けられているつば部10に取り付けられる。インクはつば部10を通ってモジュール4へ導かれる。モジュール4はオリフィスプレート14上の開口部16からインクを噴出するために駆動される。模範的なインクジェットヘッドがモデルCCP256/300ホットメルトPILG HG(HOT MELT PILG HD)(スペクトラ株式会社、ハノーバー、ニューハンプシャー州(Spectra, Inc, Hanover, New Hampshire))として販売されている。
【0010】
インクジェットモジュール4は本体20を含み、それは焼結炭素またはセラミックなどの材質から作られ得る。複数のチャネル22が本体20へ機械加工あるいは製造されてポンプ室を形成する。インクは、本体20に同様に機械加工されたインク充填路を通ってポンプ室を満たす。本体4の反対側の表面は可塑性ポリマーフィルム30、30’で覆われて本体20のポンプ室に亘って位置するよう配置された一連の電気接点31及び31’を含む。電気接点31及び31’はリード線に接続され、リード線は順に駆動統合回路33及び33’を含むフレックスプリント32及び32’に接続され得る。フィルム30及び30’はフレックスプリントであり得る(例えば、カプトン(KAPTON)、アドバンスドサーキットシステム、フランクリン、ニューハンプシャー州(Advanced Circuit System, Franklin, New Hampshire)から入手できる)。フィルム30及び30’はエポキシ樹脂薄層によって本体20に密閉される。フィルム30及びフレックスプリント32は単一のユニット(図示せず)あるいは図示したような2つのユニットであり得る。圧電素子34及び34’は各々の素子の少なくとも1つの表面上に半導体被膜36及び36’を有する。半導体被膜は圧電素子の表面上にスパッタリング、蒸着、または化学気相蒸着等の方法で塗布される。
【0011】
図2を参照すると、圧電素子34はフィルム30の上に合わされる。圧電素子34は、フィルム30に接する圧電素子34の側に電極40を有する。電極40はフィルム30の51側で電気接点31と合わせられ、電極が駆動統合回路によって個々に対処されるようにする。電極40は圧電素子34の表面上の半導体被膜36上に配置され得る。もう1つの方法として、電極40が圧電素子34上の1の面上に配置され、半導体被膜36が反対側の面上に配置される。電極40は圧電素子の表面上に配置されている導電金属を化学的にエッチング処理することによって形成され得る。電極を形成する適切な方法は米国特許第6,037,707号にも説明され、それはその全体において参照としてここに組み込まれている。電極はアルミニウム、チタニウム−タングステン、ニッケルクロム、または金などの導体でできている。各々の電極40は、ポンプ室を形成するために本体4のチャネル22に対応して配置されかつ対応する大きさになされる。各々の電極40は細長い領域42を有し、すき間43が電極40の周囲とポンプ室の両側及び端との間にあるようにポンプ室の寸法よりわずかに狭い長さ及び幅を有する。これらの電極領域42はポンプ室上の中央にあって、圧電素子34のノズル領域を対象とする駆動電極である。圧電素子34上の第2電極52はチャネル22の外側、従ってポンプ室の外側の本体20の領域に通常対応する。電極52は共通の(グランド)電極である。電極52は(図示したような)櫛形であるか、または個々にアドレス可能な電極片であるだろう。フィルム電極及び圧電素子電極は、うまく電気接点を有し、フィルムと圧電素子とが容易に整合することに十分に一致する。フィルム電極は圧電素子を越えて延び、駆動回路を含むフレックスプリント32へのはんだ付けによる接続を可能にする。
【0012】
代替実施例(図示せず)では、電極40はフィルム30上に直接配置され、それは圧電素子の表面上の半導体被膜36と接する。このことは電極と圧電素子との間の電気的接触を促進する。このことは表面の導電率を増すことによってある程度達成され得る。このことはモジュールの製造を容易にし、用いられるべき電極形成の広範な多様性を可能にする。
【0013】
圧電素子は単一のモノリシックチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)部材であり得る。圧電素子は印加電圧によって引き起こされる変位によってポンプ室からインクを押し流す。変位は少なくともこの部材の分極の関数である。圧電素子は電界の印加によって分極される。分極プロセスは、例えば、米国特許第5,605,659で説明され、その全体が参照としてここに組み込まれている。分極化の程度は印加された電界の強さと持続時間に依存し得る。分極電圧が除去されると、圧電ドメインが調整される。
【0014】
例えば噴射の間などの、電界の次の適用によって、印加された電界の強さに比例して形の変化が起こり得る。分極化の反対方向において印加された電界の多様性は、累積的にかつ連続的に分極化を低下させる。また、キュリー点へ圧電物質を熱することは、非分極化あるいは、分極化の損失を生じ得る。さらに、圧電物質を熱することは焦電電荷が圧電素子の表面上に蓄積することを生じさせ得る。焦電電荷の蓄積によって圧電素子を非分極化するのに十分な意義のある電圧がもたらされ得る。非分極は200ボルトの低さの電圧で生じ始め得る。例えば、典型的な剪断モードPZT装置は1セ氏温度毎に6から20ボルトの間の焦電電圧を生成し、その焦電電圧は圧電素子を非分極化するに十分な電圧を生成し得る。その結果、インクジェットモジュールの噴射性能に悪影響が及ぼされ得る。
【0015】
電極位置の反対の面が望ましい圧電素子の表面上の半導体被膜は、熱周期によって生成されて蓄積される焦電電荷を減じるか排除し得る。半導体被膜は圧電素子から焦電電荷を流出させ得る。圧電素子から焦電電荷を流出させるために用いられる半導体被膜は、素子の単一表面上にあり得る。被膜が過剰に絶縁されていると、焦電電荷を十分に流し去らない。被膜が過剰に導電性を有するならば、例えば、10マイクロ秒の熱パルスの印加の間、モジュールの適切な動作を妨げる。半導体被膜は20℃と150℃との間の温度で所望の抵抗率を有し得る。半導体被膜が分極処理されたPZTに用いられると、蒸着温度は200℃より下であり得る。半導体被膜は不活性で耐久性があるだろう。例えば、半導体物質は例えば150℃までの高温で安定すべきであり、半導体物質と接触する物質または成分と不利な反応をすべきでない。
【0016】
更に具体的には、半導体被膜の電荷拡散率は焦電電荷を流出させるのに十分であり得る。半導体物質は0.006cm2/secより大きく、望ましくは0.06cm2/secより大きく、かつ100cm2/secより小さく、望ましくは10cm2/secより小さい拡散率を有し得る。拡散率αは圧電素子tの厚さ、圧電物質の誘電定数ε、及び被膜抵抗ρから公式:
α=t/ρε
によって概算し得る。
【0017】
0.25mmのPZTの厚さ、単位面積あたり100メガオームの被膜抵抗、及び1600χε0のPZT誘電定数(ε0が誘電定数である)に対して、結果として生じる拡散率は1.7cm2/secである。被膜抵抗が単位面積あたり10メガオームであるとき、結果として生じる拡散率は17cm2/secである。典型的なPZTに基づく圧電素子に対して、被膜は単位面積毎に100メガオームより少ない抵抗率を有し、蓄積された焦電電荷を適切に流出させ、被膜は単位面積あたり10メガオームより大きい抵抗を有し、装置の性能に悪影響を与えない。
【0018】
圧電素子の表面上に配置され得る適当な半導体物質は、酸化アルミニウムに基づく物質、窒化珪素に基づく物質、及び酸化ネオジウムに基づく物質を含む。これらの物質の抵抗率は物質に添加物を加えることによって調整され得る。例えば、窒化珪素のバルク抵抗は、図3に示したように、珪素の窒素に対するモル比を調整することによって変えられ得る。例えば、1981年発行のH.ダンJ.(H.Dun J)氏その他による電気化学協会(Electrochemical Society)128:1555及び1978年発行のA.K.シナー(A.K. Sinha)氏及びT.E.スミス.J(T.E. Smith J.)氏による応用物理(Applied Physics)9:2756を参照せよ。被膜抵抗率、または、表面抵抗率は被膜の厚さによって分割されたバルク抵抗率である。半導体物質は圧電素子の表面上の接続層であるだろう。被膜は、1000オングストロームと10000オングストロームとの間、望ましくは2000オングストロームと9000オングストロームとの間、さらに望ましくは2500オングストロームと7500オングストロームとの間の厚さを有するだろう。
【0019】
半導体被膜は、被膜に接触するポリマーフィルム上の圧電素子と電極との間の接触を改善し得る。PZT素子上に電極をパターン処理することは費用のかかる処理であるだろう。フレックスプリント及び回路基板はより少ない費用でパターン処理され得る。フレックスプリントなどのポリマーフィルム上に電極パターンを接着することによって、圧電素子への圧電面上の費用のかかる電極パターン処理を避け得る。導電粒子が、圧電式表面と電極との間のインタフェースで電気接触を高めるために加えられる。このタイプの処理は、例えば、米国特許第6,037,707号で説明され、参照として組み込まれている。被膜は基調を成す圧電素子面に比較して高い導電性を有する。よって、ポリマーフィルム上の電極との電気接触は改善され得る。半導体被膜は接触抵抗を減じ圧電素子面に亘って電荷が拡散することを助ける。0.25mmのPZTの厚さ、単位面積あたり10メガオームの被膜抵抗率、及び1600χε0の誘電定数に対して、拡散率は17cm2/secである。1マイクロ秒において、電荷は約0.004cmまたはPZT厚さの16パーセントの距離に拡散する。このことは被膜が存在しないときより広く、接触点が電荷を拡散することを可能にする。追加の付加的な電力損失は、被膜抵抗があまりに低いのを避けることによってうまく取り扱うことができる。
【0020】
また、半導体被膜は十分な電荷拡散率を与え、組み立てられたプリンティング・モジュールにおいて圧電物質が分極されることを可能にする。このことは、個々の金属化ステップを製造の間避けることを可能にし、製造費用を減じ得る。分極化は製造プロセスの後の方で起こり得るので、例えば、キュリー温度より高い温度を含むプロセスや別の方法で圧電物質を非分極化するプロセスなどの、以前は避けられていた製造プロセスを用い得る。半導体被膜は、圧電素子の表面上に電極全部(即ち、熱及びグランド電極を一緒に)を経由して同時に印加される均一の電圧が、分極化するための側上に蓄積することを可能にする。例えば、0.25mmの厚さを有するPZT上の単位面積あたり100メガオームの抵抗率、及び1600χε0の誘電定数を有する被膜は1.7cm2/secの拡散率を有する。グランド面と電極との間の距離が0.025cmであるとき、領域は1秒の何分の1かで分極電圧を達成し得る。
【0021】
同じように、ノズル領域にアクセスする個々の電極は、インク滴下速度および大きさを含むノズル性能を改善するために単一のノズルに分極化調整がなされることを可能にする。例えば、特定のノズルに対する電極に電圧を印加することによって、半導体被膜は、ノズル領域が分極されるかあるいは非分極されて、アクセスされる特定のノズルのノズルパラメータを変えることを可能にする。ノズル領域には熱電極、隣接するグランド電極、及び電極間の隙間が含まれる。異なる電圧が各々の電極に印加されてその場所の分極電圧を選択的に制御し、その結果ノズル特性を変更された。製造の間、滴下量または速度などのノズル特性が測定され、他のノズルのノズル性能にさらにしっかり適合するために特定のノズルに変更電圧が印加され得る。この方法では、モジュールの各々のノズルの性能はノズル領域における分極化の程度を変更することによって調整され得る。この方法は、それ自身の熱電極及びグランド電極を有するモジュール同様に、上記したモジュール上で実行され、所定のノズルに対するグランド電極及び熱電極が、分極化または非分極化に対して同じ電位で配置されることを可能にする。
【0022】
熱周期での滴下速度の低下が、半導体被膜を有していないPZTに基づくプリントヘッド、及び圧電素子上の窒化珪素に基づく半導体被膜を有するPZTに基づくプリントヘッドに対して測定された。窒化珪素被膜はプラズマ増加化学気相蒸着によって蒸着され、約2のSi/Nモル比を有し、5000オングストロームの厚さを有した。各々の装置の炭素プリントヘッド組立品は約200グラムの質量を有し、PZT上の有効な焦電電荷を生成し得る温度へ熱周期を繰り返すことに従った。具体的に言うと、熱周期は図4に示した温度グラフに従った。プリントヘッド組立品は室内温度から125℃へと3分間加熱された。上昇した温度は3分間の温度でドエル時間の間維持され、アセンブリは送風強制空気を用いて9分間の間に渡って冷却された。滴下速度がテストの開始とテストの間の定期的な間隔とに各々の組立品に対して測定された。被膜されない組立品と被膜された組立品とに対する速度における割合低下(100×(テスト速度−初期速度)/初期速度)を示すデータが図5に示されている。被膜された組立品は被膜されない組立品より熱周期に対してより安定していた。
【0023】
本発明のいくつかの実施例が説明されてきた。それでもなお、様々な変化形が本発明の精神及び範囲から乖離することなくなされるであろうことが理解されるだろう。例えば、半導体被膜は適当な抵抗率を有する何らかの半導体物質から形成され得る。半導体物質は上記したような窒化珪素などの無機物質か、あるいは有機物質であり得る。それゆえに、他の実施例は以下の請求項の範囲内である。
【図面の簡単な説明】
【図1A】圧電式インクジェットプリンティング・モジュール説明する概略図である。
【図1B】圧電式インクジェットプリンティング・モジュール説明する概略図である。
【図2】圧電式インクジェットプリンティング・モジュールの一部を説明する概略図である。
【図3】Nに対するSiのモル比が変化するときの窒化珪素の抵抗率を表す概略図である。
【図4】加熱及び冷却周期の間の圧電式インクジェットプリンティング・モジュールの温度を表すグラフである。
【図5】圧電式インクジェットプリンティング・モジュール及び圧電素子上に半導性被膜を有する圧電式インクジェットプリンティング・モジュールに対して加熱及び冷却周期を繰り返した後の滴下速度における下落率を表すグラフである。
Claims (53)
- 圧電素子を有し、前記圧電素子がその表面上に半導体物質を有することを特徴とするインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質は前記圧電素子の前記表面上の被膜であることを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が単位面積(per square)あたり5000メガオームかそれより低い抵抗率を有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が単位面積あたり0.1メガオームかそれより大きい抵抗率を有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が、0.006cm2/secと100cm2/secとの間の拡散率を有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が前記圧電素子から焦電電荷を流出させることを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質がドープ処理された絶縁体を含むことを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が酸化アルミニウム、窒化珪素、または酸化ネオジウムから抽出されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が窒化珪素から抽出されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記半導体物質が1000オングストロームと10000オングストロームとの間の厚さの被膜であることを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 前記圧電素子がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項2記載のインクジェットモジュール。
- 前記モジュールが加熱及び冷却周期に従うことを特徴とする請求項1記載のインクジェットモジュール。
- インクチャネル、チャネル内でインクがノズル圧に従うように配置される圧電素子、及び前記圧電素子の活性化のために配置される電気接点をさらに含む請求項1記載のインクジェットモジュール。
- 一連のチャネルをさらに含む請求項12記載のインクジェットモジュール。
- 前記チャネルの各々が単一の圧電素子に対応していることを特徴とする請求項13記載のインクジェットモジュール。
- 複数のインクジェットモジュールを含み、前記インクジェットモジュールの各々が圧電素子を有して、前記圧電素子の表面上に半導体物質を有することを特徴とするインクジェットプリントヘッド。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が前記圧電素子上の被膜であることを特徴とする請求項16記載のインクジェットプリントヘッド。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が単位面積あたり0.1メガオームかそれより大きい抵抗率を有することを特徴とする請求項16記載のインクジェットプリントヘッド。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が単位面積あたり5000メガオームかそれより小さい抵抗率を有することを特徴とする請求項16記載のインクジェットプリントヘッド。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が、0.006cm2/secと100cm2/secとの間の拡散率を有することを特徴とする請求項16記載のインクジェットプリントヘッド。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が、窒化珪素、酸化アルミニウム、又は酸化ネオジウムから抽出されることを特徴とする請求項16記載のインクジェットプリントヘッド。
- 各々のモジュールの前記圧電素子がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項16記載のインクジェットプリントヘッド。
- 圧電素子の表面上に半導体物質を配置することを含むインクジェットモジュールの製造方法。
- 電気接点が前記圧電素子と接触することをさらに含む請求項23記載の方法。
- 前記電気接点が前記半導体物質に接触すること特徴とする請求項24記載の方法。
- 配置には前記圧電素子上の前記半導体物質を被膜することが含まれることを特徴とする請求項23記載の方法。
- 前記半導体物質が単位面積あたり0.1メガオームかそれより大きい抵抗率を有することを特徴とする請求項23記載の方法。
- 前記半導体物質が単位面積あたり5000メガオームかそれより小さい抵抗率を有することを特徴とする請求項23記載の方法。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が0.006cm2/secと100cm2/secとの間の拡散率を有することを特徴とする請求項23記載の方法。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が窒化珪素、酸化アルミニウム、又は酸化ネオジウムから抽出されることを特徴とする請求項23記載の方法。
- 各々のモジュールの前記圧電素子がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項23記載の方法。
- 圧電素子の表面上に半導体物質を配置することを含む熱周期の間インクジェットモジュールにおけるインク速度低下を減じる方法。
- 配置には前記圧電素子上に前記半導体物質を被膜すること含むことを特徴とする請求項32記載の方法。
- 前記半導体物質が単位面積あたり0.1メガオームかそれより大きい抵抗率を有することを特徴とする請求項32記載の方法。
- 前記半導体物質が単位面積あたり5000メガオームかそれより小さい抵抗率を有することを特徴とする請求項32記載の方法。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が0.006cm2/secと100cm2/secとの間の拡散率を有することを特徴とする請求項32記載の方法。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が窒化珪素、酸化アルミニウム、又は酸化ネオジウムから抽出されることを特徴とする請求項32記載の方法。
- 各々のモジュールの前記圧電素子がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項32記載の方法。
- 圧電式インクジェットモジュールを分極する方法であって、
圧電素子がその表面上で半導体物質と接触する電気接点を有し、前記電気接点が前記圧電素子を活性化するように配置されるよう前記圧電素子の表面上に前記半導体物質を含む圧電式インクジェットモジュールが組み立てられることと、
前記圧電素子を分極するために十分な時間の間前記半導体物質と前記圧電素子とに亘って分極電圧を印加することと、
を含む方法。 - 半導体物質が単位面積あたり5000メガオームかそれより小さい抵抗率を有することを特徴とする請求項39記載の方法。
- 前記半導体物質が単位面積あたり0.1メガオームかそれより大きい抵抗率を有することを特徴とする請求項39記載の方法。
- 前記半導体物質が1000オングストロームと10000オングストロームとの間の厚さの被膜であることを特徴とする請求項39記載の方法。
- 前記圧電素子がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項39記載の方法。
- 前記半導体物質が窒化珪素、酸化アルミニウム、又は酸化ネオジウムから抽出されることを特徴とする請求項39記載の方法。
- 前記半導体物質が前記圧電素子の被膜であることを特徴とする請求項39記載の方法。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が0.006cm2/secと100cm2/secの間の拡散率を有することを特徴とする請求項39記載の方法。
- インクジェットプリンティング・モジュールにおけるノズル性能を変更する方法であって、
前記インクジェットプリンティング・モジュールのノズル領域に変更電圧を印加して、前記ノズル領域における前記圧電素子の分極を変更することを含む方法。 - 前記ノズル領域が、前記ノズル領域において前記圧電素子の表面上で半導体物質に接触する電気接点を含み、前記変更電圧が前記電気接点に印加されることを特徴とする請求項47記載の方法。
- 前記モジュールが複数のノズルを含み、各々のノズルが前記圧電素子の表面上の半導体物質に接触する電気接点を含むノズル領域を有することを特徴とする請求項47記載の方法。
- インク滴下の大きさまたはインク滴下速度に関して前記モジュールの前記ノズルを監視し、前記インク滴下の大きさまたは前記インク滴下速度を調整するための変更電圧を選択することをさらに含む請求項47記載の方法。
- 前記半導体物質が前記圧電素子の被膜であることを特徴とする請求項47記載の方法。
- 各々のモジュールの前記半導体物質が窒化珪素、酸化アルミニウム、又は酸化ネオジウムから抽出されることを特徴とする請求項47記載の方法。
- 各々のモジュールの前記圧電素子がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項47記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/662,902 US6848773B1 (en) | 2000-09-15 | 2000-09-15 | Piezoelectric ink jet printing module |
US09/662,902 | 2000-09-15 | ||
PCT/US2001/028599 WO2002022364A1 (en) | 2000-09-15 | 2001-09-13 | Piezoelectric ink jet printing module |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012230728A Division JP2013047009A (ja) | 2000-09-15 | 2012-10-18 | 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004509783A true JP2004509783A (ja) | 2004-04-02 |
JP2004509783A5 JP2004509783A5 (ja) | 2012-12-06 |
JP5322365B2 JP5322365B2 (ja) | 2013-10-23 |
Family
ID=24659692
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002526593A Expired - Lifetime JP5322365B2 (ja) | 2000-09-15 | 2001-09-13 | 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール |
JP2012230728A Pending JP2013047009A (ja) | 2000-09-15 | 2012-10-18 | 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012230728A Pending JP2013047009A (ja) | 2000-09-15 | 2012-10-18 | 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6848773B1 (ja) |
EP (1) | EP1317338B1 (ja) |
JP (2) | JP5322365B2 (ja) |
CA (1) | CA2422324C (ja) |
DE (1) | DE60108139T2 (ja) |
WO (1) | WO2002022364A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7204586B2 (en) * | 2001-12-18 | 2007-04-17 | Dimatix, Inc. | Ink jet printing module |
US8273066B2 (en) | 2003-07-18 | 2012-09-25 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Absorbent article with high quality ink jet image produced at line speed |
JP2005332621A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Yazaki Corp | コンビネーションスイッチ用レバーの組み付け構造 |
TWI343323B (en) * | 2004-12-17 | 2011-06-11 | Fujifilm Dimatix Inc | Printhead module |
JP5181898B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2013-04-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
US7780266B2 (en) * | 2008-08-04 | 2010-08-24 | Xerox Corporation | Micro-fluidic device having reduced mechanical cross-talk and method for making the micro-fluidic device |
US8313174B2 (en) | 2008-08-06 | 2012-11-20 | Xerox Corporation | Method for reducing mechanical cross-talk between array structures on a substrate mounted to another substrate by an adhesive |
US20100159193A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | Palo Alto Research Center Incorporated | Combined electrical and fluidic interconnect via structure |
US8079667B2 (en) * | 2008-12-18 | 2011-12-20 | Palo Alto Research Center Incorporated | Drop generating apparatus |
DE102012217428A1 (de) * | 2012-09-26 | 2014-03-27 | Robert Bosch Gmbh | Sensor zur Detektion von Teilchen |
US11025565B2 (en) | 2015-06-07 | 2021-06-01 | Apple Inc. | Personalized prediction of responses for instant messaging |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5642418A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-20 | Murata Mfg Co Ltd | Bulk wave piezoelectric resonator device |
JPS6148215A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-08 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
JPH11147312A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Minolta Co Ltd | インクジェットヘッド |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4704675A (en) | 1986-12-22 | 1987-11-03 | At&T Teletype Corporation | Method for velocity adjustment of ink jet nozzles in a nozzle array |
US4891654A (en) | 1987-09-09 | 1990-01-02 | Spectra, Inc. | Ink jet array |
US5265315A (en) | 1990-11-20 | 1993-11-30 | Spectra, Inc. | Method of making a thin-film transducer ink jet head |
US5500988A (en) | 1990-11-20 | 1996-03-26 | Spectra, Inc. | Method of making a perovskite thin-film ink jet transducer |
SE9200555D0 (sv) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | Markpoint Dev Ab | A method of coating a piezoelectric substrate |
US5997122A (en) * | 1992-06-30 | 1999-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording apparatus capable of performing liquid droplet diameter random variable recording and ink jet recording method using ink for liquid droplet random variable recording |
US5308442A (en) | 1993-01-25 | 1994-05-03 | Hewlett-Packard Company | Anisotropically etched ink fill slots in silicon |
US5459501A (en) * | 1993-02-01 | 1995-10-17 | At&T Global Information Solutions Company | Solid-state ink-jet print head |
JPH06238888A (ja) | 1993-02-22 | 1994-08-30 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置 |
US5619234A (en) * | 1993-03-15 | 1997-04-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ink-jet recording apparatus which allows shifting or changing of ink position or direction |
US5818473A (en) * | 1993-07-14 | 1998-10-06 | Seiko Epson Corporation | Drive method for an electrostatic ink jet head for eliminating residual charge in the diaphragm |
US5659346A (en) | 1994-03-21 | 1997-08-19 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
US5581561A (en) * | 1994-12-07 | 1996-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Random bit diagnostic for a high resolution measurement system |
JP3663652B2 (ja) | 1995-02-13 | 2005-06-22 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
US5828394A (en) * | 1995-09-20 | 1998-10-27 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Fluid drop ejector and method |
US5755909A (en) | 1996-06-26 | 1998-05-26 | Spectra, Inc. | Electroding of ceramic piezoelectric transducers |
US5710070A (en) * | 1996-11-08 | 1998-01-20 | Chartered Semiconductor Manufacturing Pte Ltd. | Application of titanium nitride and tungsten nitride thin film resistor for thermal ink jet technology |
US6299288B1 (en) * | 1997-02-21 | 2001-10-09 | Independent Ink, Inc. | Method and apparatus for variably controlling size of print head orifice and ink droplet |
US6156030A (en) * | 1997-06-04 | 2000-12-05 | Y-Beam Technologies, Inc. | Method and apparatus for high precision variable rate material removal and modification |
US6560833B2 (en) * | 1998-12-04 | 2003-05-13 | Konica Corporation | Method of manufacturing ink jet head |
EP1029678B1 (en) * | 1999-02-17 | 2008-04-09 | Konica Corporation | Ink jet head |
US6578953B2 (en) * | 1999-03-29 | 2003-06-17 | Seiko Epson Corporation | Inkjet recording head, piezoelectric vibration element unit used for the recording head, and method of manufacturing the piezoelectric vibration element unit |
-
2000
- 2000-09-15 US US09/662,902 patent/US6848773B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-09-13 DE DE60108139T patent/DE60108139T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-13 JP JP2002526593A patent/JP5322365B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-13 WO PCT/US2001/028599 patent/WO2002022364A1/en active IP Right Grant
- 2001-09-13 EP EP01968849A patent/EP1317338B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-13 CA CA002422324A patent/CA2422324C/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-30 US US10/881,132 patent/US7168791B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2012
- 2012-10-18 JP JP2012230728A patent/JP2013047009A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5642418A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-20 | Murata Mfg Co Ltd | Bulk wave piezoelectric resonator device |
JPS6148215A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-08 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
JPH11147312A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Minolta Co Ltd | インクジェットヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1317338A1 (en) | 2003-06-11 |
EP1317338B1 (en) | 2004-12-29 |
JP5322365B2 (ja) | 2013-10-23 |
DE60108139D1 (de) | 2005-02-03 |
CA2422324A1 (en) | 2002-03-21 |
WO2002022364A1 (en) | 2002-03-21 |
US6848773B1 (en) | 2005-02-01 |
CA2422324C (en) | 2009-07-28 |
JP2013047009A (ja) | 2013-03-07 |
US7168791B2 (en) | 2007-01-30 |
DE60108139T2 (de) | 2005-12-08 |
US20040233256A1 (en) | 2004-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013047009A (ja) | 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール | |
US7588307B2 (en) | Piezolelectric inkjet printhead having temperature sensor and method of making the same | |
US9168744B2 (en) | Electromechanical transducer element, method of manufacturing the same, liquid droplet discharge head, and liquid droplet discharge device | |
JP4829165B2 (ja) | 圧電素子製造方法及び液体吐出ヘッド製造方法 | |
JP2012096554A (ja) | インクジェット・プリンティングモジュール | |
JP5288530B2 (ja) | 圧電素子製造方法及び液体吐出ヘッド製造方法 | |
JP2004509783A5 (ja) | ||
US7156500B2 (en) | Liquid-jet head, method for manufacturing the liquid-jet head, and liquid-jet apparatus | |
CN111684614A (zh) | 极化压电致动器元件的方法 | |
JP2010135748A (ja) | 圧電素子及びその製造方法、液体噴射ヘッド及びその製造方法、並びに液体噴射装置 | |
US7988250B2 (en) | Continuous printing using temperature lowering pulses | |
JP3862587B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
US9138997B2 (en) | Method for manufacturing liquid ejecting head | |
KR100745758B1 (ko) | 압전 액츄에이터를 채용한 잉크젯 프린트헤드 | |
JP2932750B2 (ja) | パルス滴付着装置用圧電素子 | |
JPH09141865A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2004330567A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2011166037A (ja) | 圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009188104A (ja) | 圧電素子およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ | |
JP2001205798A (ja) | インクジェット記録装置、及びインクジェット記録ヘッドの駆動方法 | |
JP2004142099A (ja) | インクジェットヘッド及びそれを用いたインクジェットプリンタ | |
JP2003136711A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置及びその製造方法、カラーフィルタの製造装置及びその製造方法、並びに電界発光基板製造装置及びその製造方法 | |
JP2005035087A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2006102712A (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 | |
JPH08267737A (ja) | インク噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20040325 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080903 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under section 19 (pct) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20080903 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110502 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110512 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110927 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111221 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120104 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120123 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120327 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120619 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under section 19 (pct) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20121018 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121026 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20121130 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130305 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130308 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130409 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130412 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130510 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130716 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5322365 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |