JP2004351577A - 片面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型の薄板状の素材の片面研磨装置を提供する。
【解決手段】加工対象物１を回転定盤２に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置３において、エアー加圧により加工対象物に加重をかけて回転定盤上に該加工対象物を保持し、かつ前記加工対象物と修正リング５を強制的に回転定盤上で回転させることを特徴とし、また、加工対象物を回転定盤上に押し付ける貼り付けプレート６と該貼り付けプレートを囲う修正リングとが複数のキー７により連結していることを特徴とする。
【選択図】 図１
【解決手段】加工対象物１を回転定盤２に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置３において、エアー加圧により加工対象物に加重をかけて回転定盤上に該加工対象物を保持し、かつ前記加工対象物と修正リング５を強制的に回転定盤上で回転させることを特徴とし、また、加工対象物を回転定盤上に押し付ける貼り付けプレート６と該貼り付けプレートを囲う修正リングとが複数のキー７により連結していることを特徴とする。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は小型の薄板状の素材の片面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハーや薄板状の圧電素材を研磨する際には定盤に対象加工物を押し付けるように保持して研磨剤を供給しながら、先の定盤を回転させてウェハーや圧電素材の研磨を行うが、検体（サンプル）の作成などにおいては実験室の卓上で使用される小型の片面研磨装置が主に使用されていた。図５に示すような従来における片面研磨装置においては、対象加工物を研磨する際、定盤である円盤状の研磨盤を回転させ、研磨剤を供給しつつ、かつ対象加工物の片面を研磨装置の研磨盤に押し付けながら研磨を行っていた。その際、円盤状の研磨盤の偏った磨耗を防止するために、片面研磨装置の定盤の研磨加工中の修正方法としては一般的に対象加工物の保持軸とは別軸の研磨盤上に図５にあるようにセラミックや鋳鉄から成る修正リングを配置して研磨盤の平面度の修正を行うのが一般的であった。
【０００３】
薄板状の圧電体素材を、定盤を用いて研磨する装置を開示した特許文献には特開平１０−１６６２６０がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１６６２６０号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【０００６】
しかしながら、上述したような従来の片面研磨装置においては、図５にあるような修正リングをφ１５０ｍｍからφ２００ｍｍ程度の大きさの回転定盤上に位置決めするためにガイドローラーといった保持器が必要になることや、特に小型の卓上の片面研磨加工装置においては、加工対象物と交差してしまう為に、研磨加工中は修正リングを回転定盤上に位置決めすることが出来ないといった問題があった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、小型の薄板状の素材の片面研磨装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、加工対象物を回転定盤に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置において、加圧することにより加工対象物に加重をかけて回転定盤上に該加工対象物を保持し、かつ該加工対象物と修正リングを強制的に回転定盤上で回転させることを特徴とする。
【０００９】
また、加工対象物を回転定盤上に押し付ける貼り付けプレートと該貼り付けプレートを囲う修正リングとが複数のキーにより、連結していることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら、本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１１】
図１は本発明の片面研磨装置３の概略の側面図である。加工対象物１を回転定盤２に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置３が図示されている。
本発明である片面研磨装置３は、軸８を通して加圧することにより加工対象物１に加重をかけて回転定盤２上に前記の加工対象物１を保持ながら加工対象物１と修正リング５を強制的に回転定盤２上で回転させるものである。なお、加工対象物１を、軸８を通して加圧するにはエアーや油や水などが用いられる。本実施例においてはエアーを使用しているが、油や水などを用いた場合においても本発明の技術的範囲にはいることは言うまでもない。
【００１２】
図２は本発明の片面研磨装置３の加工対象物１を回転定盤２上に保持する貼り付けプレート６と、それを囲う修正リング５を側面からみた概略の側面図である。エアー４は軸８及び貼り付けプレート６のなかを通リ、加工対象物１を加圧して回転定盤２に押し付ける。
【００１３】
図３は本発明の片面研磨装置３の加工対象物１を回転定盤２上に保持する貼り付けプレート６と、それを囲う修正リング５を上面からみた概略の上面図である。貼り付けプレート６と修正リング５はキー７で連結されており、加工対象物１と修正リング５は強制的に回転定盤２上で回転させられる。
【００１４】
図４は本発明の片面研磨装置３の概略の上面図である。回転定盤２の大きさはφ１５０ｍｍからφ２００ｍｍ程度であり、本発明によれば回転定盤２の有効面積を十分に使用して加工対象物１の片面研磨加工を行うことが可能となる。なお特に図示されてはいないが、片面研磨加工の際には、回転定盤２上に適宜、研磨剤が供給されて研磨加工が行われる。
【００１５】
図５は従来の加工対象物１の保持軸８とは別軸に保持器１１を用いて修正リング５を回転定盤２の上に配置した片面研磨装置３の概略の上面図である。
図５のような従来の片面研磨装置３では加工対象物の保持軸８と、修正リング５の保持器の軸と複数個の軸が必要であり、構造とその操作が複雑となる場合があった。
【００１６】
図６は従来の加工対象物１の保持軸８とは別軸に保持器１１を用いて修正リング５を回転定盤２の上に配置した片面研磨装置３の概略の側面図である。
【００１７】
【発明の効果】
【００１８】
本発明の片面研磨装置によれば、修正リングの内側に対象加工物が保持されている貼り付けプレートが配置され、貼り付けプレートの回転に同期して修正リングが回転するために、対象加工物の保持軸以外に修正リングの保持軸や保持器が不要となる。
【００１９】
また、本発明の片面研磨装置によれば、対象加工物の保持軸以外に軸を持たず、加工対象物と交差してしまうことがない為に、研磨加工中においても修正リングを回転定盤上に位置決めすることが出来る著しく操作性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の片面研磨装置の概略の側面図である。
【図２】本発明の片面研磨装置の加工対象物を回転定盤上に保持する貼り付けプレートと、それを囲う修正リングを側面からみた概略の側面図である。
【図３】本発明の片面研磨装置の加工対象物を回転定盤上に保持する貼り付けプレートと、それを囲う修正リングを上面からみた概略の上面図である。
【図４】本発明の片面研磨装置の概略の上面図である。
【図５】従来の加工対象物の保持軸とは別軸に保持器を用いて修正リングを回転定盤の上に配置した片面研磨装置の概略の上面図である。
【図６】従来の加工対象物の保持軸とは別軸に保持器を用いて修正リングを回転定盤の上に配置した片面研磨装置の概略の側面図である。
【符号の説明】
１ 加工対象物
２ 回転定盤
３ 片面研磨装置
４ エアー
５ 修正リング
６ 貼り付けプレート
７ キー
８ 軸
９ 隙間
１０ 回転定盤の回転軸
１１ 保持器
１２ カーラー
１３ 操作パネル
【発明の属する技術分野】
本発明は小型の薄板状の素材の片面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハーや薄板状の圧電素材を研磨する際には定盤に対象加工物を押し付けるように保持して研磨剤を供給しながら、先の定盤を回転させてウェハーや圧電素材の研磨を行うが、検体（サンプル）の作成などにおいては実験室の卓上で使用される小型の片面研磨装置が主に使用されていた。図５に示すような従来における片面研磨装置においては、対象加工物を研磨する際、定盤である円盤状の研磨盤を回転させ、研磨剤を供給しつつ、かつ対象加工物の片面を研磨装置の研磨盤に押し付けながら研磨を行っていた。その際、円盤状の研磨盤の偏った磨耗を防止するために、片面研磨装置の定盤の研磨加工中の修正方法としては一般的に対象加工物の保持軸とは別軸の研磨盤上に図５にあるようにセラミックや鋳鉄から成る修正リングを配置して研磨盤の平面度の修正を行うのが一般的であった。
【０００３】
薄板状の圧電体素材を、定盤を用いて研磨する装置を開示した特許文献には特開平１０−１６６２６０がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１６６２６０号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【０００６】
しかしながら、上述したような従来の片面研磨装置においては、図５にあるような修正リングをφ１５０ｍｍからφ２００ｍｍ程度の大きさの回転定盤上に位置決めするためにガイドローラーといった保持器が必要になることや、特に小型の卓上の片面研磨加工装置においては、加工対象物と交差してしまう為に、研磨加工中は修正リングを回転定盤上に位置決めすることが出来ないといった問題があった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、小型の薄板状の素材の片面研磨装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、加工対象物を回転定盤に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置において、加圧することにより加工対象物に加重をかけて回転定盤上に該加工対象物を保持し、かつ該加工対象物と修正リングを強制的に回転定盤上で回転させることを特徴とする。
【０００９】
また、加工対象物を回転定盤上に押し付ける貼り付けプレートと該貼り付けプレートを囲う修正リングとが複数のキーにより、連結していることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら、本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１１】
図１は本発明の片面研磨装置３の概略の側面図である。加工対象物１を回転定盤２に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置３が図示されている。
本発明である片面研磨装置３は、軸８を通して加圧することにより加工対象物１に加重をかけて回転定盤２上に前記の加工対象物１を保持ながら加工対象物１と修正リング５を強制的に回転定盤２上で回転させるものである。なお、加工対象物１を、軸８を通して加圧するにはエアーや油や水などが用いられる。本実施例においてはエアーを使用しているが、油や水などを用いた場合においても本発明の技術的範囲にはいることは言うまでもない。
【００１２】
図２は本発明の片面研磨装置３の加工対象物１を回転定盤２上に保持する貼り付けプレート６と、それを囲う修正リング５を側面からみた概略の側面図である。エアー４は軸８及び貼り付けプレート６のなかを通リ、加工対象物１を加圧して回転定盤２に押し付ける。
【００１３】
図３は本発明の片面研磨装置３の加工対象物１を回転定盤２上に保持する貼り付けプレート６と、それを囲う修正リング５を上面からみた概略の上面図である。貼り付けプレート６と修正リング５はキー７で連結されており、加工対象物１と修正リング５は強制的に回転定盤２上で回転させられる。
【００１４】
図４は本発明の片面研磨装置３の概略の上面図である。回転定盤２の大きさはφ１５０ｍｍからφ２００ｍｍ程度であり、本発明によれば回転定盤２の有効面積を十分に使用して加工対象物１の片面研磨加工を行うことが可能となる。なお特に図示されてはいないが、片面研磨加工の際には、回転定盤２上に適宜、研磨剤が供給されて研磨加工が行われる。
【００１５】
図５は従来の加工対象物１の保持軸８とは別軸に保持器１１を用いて修正リング５を回転定盤２の上に配置した片面研磨装置３の概略の上面図である。
図５のような従来の片面研磨装置３では加工対象物の保持軸８と、修正リング５の保持器の軸と複数個の軸が必要であり、構造とその操作が複雑となる場合があった。
【００１６】
図６は従来の加工対象物１の保持軸８とは別軸に保持器１１を用いて修正リング５を回転定盤２の上に配置した片面研磨装置３の概略の側面図である。
【００１７】
【発明の効果】
【００１８】
本発明の片面研磨装置によれば、修正リングの内側に対象加工物が保持されている貼り付けプレートが配置され、貼り付けプレートの回転に同期して修正リングが回転するために、対象加工物の保持軸以外に修正リングの保持軸や保持器が不要となる。
【００１９】
また、本発明の片面研磨装置によれば、対象加工物の保持軸以外に軸を持たず、加工対象物と交差してしまうことがない為に、研磨加工中においても修正リングを回転定盤上に位置決めすることが出来る著しく操作性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の片面研磨装置の概略の側面図である。
【図２】本発明の片面研磨装置の加工対象物を回転定盤上に保持する貼り付けプレートと、それを囲う修正リングを側面からみた概略の側面図である。
【図３】本発明の片面研磨装置の加工対象物を回転定盤上に保持する貼り付けプレートと、それを囲う修正リングを上面からみた概略の上面図である。
【図４】本発明の片面研磨装置の概略の上面図である。
【図５】従来の加工対象物の保持軸とは別軸に保持器を用いて修正リングを回転定盤の上に配置した片面研磨装置の概略の上面図である。
【図６】従来の加工対象物の保持軸とは別軸に保持器を用いて修正リングを回転定盤の上に配置した片面研磨装置の概略の側面図である。
【符号の説明】
１ 加工対象物
２ 回転定盤
３ 片面研磨装置
４ エアー
５ 修正リング
６ 貼り付けプレート
７ キー
８ 軸
９ 隙間
１０ 回転定盤の回転軸
１１ 保持器
１２ カーラー
１３ 操作パネル
Claims (2)
- 加工対象物を回転定盤に押し付けながら研磨加工をする片面研磨装置において、
軸を通して加圧することにより加工対象物に加重をかけて回転定盤上に該加工対象物を保持し、かつ該加工対象物と修正リングを強制的に回転定盤上で回転させることを特徴とする片面研磨装置。 - 請求項１に記載の、該加工対象物を回転定盤上に押し付ける貼り付けプレートと該貼り付けプレートを囲う修正リングとが複数のキーにより、連結していることを特徴とする片面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003153315A JP2004351577A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 片面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003153315A JP2004351577A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 片面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004351577A true JP2004351577A (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=34048304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003153315A Pending JP2004351577A (ja) | 2003-05-29 | 2003-05-29 | 片面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004351577A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101168281B1 (ko) | 2010-09-08 | 2012-07-30 | 삼성중공업 주식회사 | 브라스팅 캐리지 |
-
2003
- 2003-05-29 JP JP2003153315A patent/JP2004351577A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101168281B1 (ko) | 2010-09-08 | 2012-07-30 | 삼성중공업 주식회사 | 브라스팅 캐리지 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060526 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080214 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080219 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080418 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080930 |