JP2004340588A - ガス物性値の測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】増幅率αを有する増幅器AMP102と、増幅率1/αを有する増幅器AMP103とを組み込んでブリッジ回路を構成し、電力値PMH又は抵抗値RMHで、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力を除算し、この除算結果に基づきガス物性値を測定する。
【選択図】 図10
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス物性値の測定装置に関し、特に、マイクロフローセンサを用いたガス物性値の測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、都市ガス提供事業としては、対電力提供事業とのコスト競争にともない、天然ガスのストレート供給及び託送の時代を迎えると、供給されるガスの成分及び熱量にかなりの変動がでることが予想される。そうなると、工業炉やバーナーの燃焼にも影響が出てきて、性能低下や製品不良が発生することも予想される。また、熱量が変わることにより、現状の体積取引による料金換算では公平性に欠けることになる。
【0003】
これを防止するための一方策としては、供給されるガスとガス器具との適応性を所定の指標を用いて判断する必要がある。例えば、物性値としての密度や熱伝導率を計測し、これを体積流量に乗算することにより質量流量に換算し、更に熱量に換算することにより、公平性を維持することが可能になる。そうなると、熱伝導率やガス密度等のように、それぞれのガスに特有の物性値を正確に測定する必要がでてくる。
【0004】
そこで、このような物性値をマイクロフローセンサを利用して測定するというアイディアが、本出願人らにより、例えば下記特許文献1にて出願されている。この特許文献1では、被測定ガスが通過するガス流路の内壁にポケット部が形成されており、このポケット部内に複数のサーモパイルを有するマイクロフローセンサが取付られている。そして、複数のサーモパイルからそれぞれ出力される検出信号の少なくともいずれかひとつを利用して被測定ガスの物性値のひとつとして密度を求めるようにしている。このようにマイクロフローセンサを用いて物性値を測定すると、測定装置の小型化、簡素化及び低コスト化の面で有利になる。
【0005】
【特許文献1】
特願2002−292049
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記特許文献1では、マイクロフローセンサに含まれるマイクロヒータを駆動するヒータ駆動回路として、定電圧回路が用いられている。マイクロヒータを定電圧で駆動させると、マイクロヒータの抵抗値がガス種により変化する。マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルからの出力は、マイクロヒータの抵抗値やガス種の違いによる熱伝導率に依存する。ところが、マイクロヒータの抵抗値は、経時的に変化するので、サーモパイルからの出力も徐々にドリフトしていくことになる。したがって、ガスの物性値をマイクロフローセンサを利用して測定するためには、マイクロヒータの抵抗値変動の影響をできるだけ小さくすることが望ましい。
【0007】
よって本発明は、上述した現状に鑑み、マイクロフローセンサを利用したガス物性値の測定装置において、マイクロヒータの抵抗値変動の影響を効果的に除去し、正確に被測定ガスの物性値を測定することを可能にしたガス物性値の測定装置を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた請求項1記載のガス物性値の測定装置は、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、前記被測定ガスの物性値を測定する装置であって、前記マイクロフローセンサに含まれるマイクロヒータを駆動するヒータ駆動回路を定加温駆動とする、ことを特徴とする。
【0009】
請求項1記載の発明によれば、マイクロフローセンサに含まれるマイクロヒータを駆動するヒータ駆動回路を定加温駆動としているので、ガスの物性値によるマイクロヒータの抵抗値変動の影響を軽減することができる。
【0010】
上記課題を解決するためになされた請求項2記載のガス物性値の測定装置は、請求項1記載のガス物性値の測定装置において、前記ヒータ駆動回路をブリッジ回路で構成し、第1増幅率の第1増幅器と第1増幅率の逆数である第2増幅率の第2増幅器とを組み込んで、前記ブリッジ回路を構成するマイクロヒータの抵抗以外の所定の抵抗の温度係数を、マイクロヒータの抵抗の温度係数と等しくする、ことを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の発明によれば、第1増幅率の第1増幅器と第1増幅率の逆数である第2増幅率の第2増幅器とを組み込んでブリッジ回路を構成する。そして、第1増幅率の第1増幅器と第1増幅率の逆数である第2増幅率の第2増幅器とを組み込んで、ブリッジ回路を構成するマイクロヒータの抵抗以外の所定の抵抗の温度係数を、マイクロヒータの抵抗の温度係数と等しくする。
【0012】
上記課題を解決するためになされた請求項3記載のガス物性値の測定装置は、請求項1又は請求項2記載のガス物性値の測定装置において、前記センサ出力を、前記マイクロヒータに加わる電力値で除算した結果に基づいて、前記ガス物性値を測定する、ことを特徴とする。
【0013】
請求項3記載の発明によれば、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力をマイクロヒータに加わる電力値で除算するので、被測定ガスの温度変動の影響を受けるマイクロヒータの抵抗値変動を低減して、ガス温度の変動にともなうセンサ出力の変動を大幅に抑制することができる。
【0014】
上記課題を解決するためになされた請求項4記載のガス物性値の測定装置は、請求項1又は請求項2記載のガス物性値の測定装置において、前記センサ出力を、前記マイクロヒータの抵抗値で除算した結果に基づいて、前記ガス物性値を測定する、ことを特徴とする。
【0015】
請求項4記載の発明によれば、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力をマイクロヒータの抵抗値で除算するので、被測定ガスの温度変動の影響を受けるマイクロヒータの抵抗値変動を低減して、ガス温度の変動にともなうセンサ出力の変動を大幅に抑制することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態にて使用されるマイクロフローセンサ1(1′)の構成図である。このマイクロフローセンサ1は、Si基板2、ダイヤフラム3、ダイヤフラム3上に形成された白金等からなるマイクロヒータ4、マイクロヒータ4の下流側でダイヤフラム3上に形成された下流側サーモパイル5(又は、第1サーモパイルとよぶ)、マイクロヒータ4に図示しない電源から駆動電流を供給する電源端子6A、6B、マイクロヒータ4の上流側でダイヤフラム3上に形成された上流側サーモパイル8(又は、第2サーモパイルとよぶ)、下流側サーモパイル5から出力される第1温度検出信号を出力する第1出力端子7A、7B、上流側サーモパイル8から出力される第2温度検出信号を出力する第2出力端子9A、9B、を備える。
【0017】
また、マイクロフローセンサ1は、マイクロヒータ4に対してガスの流れ方向(PからQへの方向)と略直交方向に配置され、第3温度検出信号を出力する右側サーモパイル11(又は、第3サーモパイルとよぶ)、この右側サーモパイル11から出力される第3温度検出信号を出力する第3出力端子12A、12B、マイクロヒータ4に対してガスの流れ方向(PからQへの方向)と略直交方向に配置され、第4温度検出信号を出力する左側サーモパイル13(又は、第4サーモパイルとよぶ)、この左側サーモパイル13から出力される第4温度検出信号を出力する第4出力端子14A、14B、ガスの温度を得るための抵抗15、16、この抵抗15、16からのガスの温度信号を出力する出力端子17A、17Bを備える。
【0018】
上流側サーモパイル8、下流側サーモパイル5、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13は、熱電対から構成されている。この熱電対は、p++ ̄Si及びAlにより構成され、冷接点と温接点とを有し、熱を検出し、冷接点と温接点との温度差から熱起電力が発生することにより、温度検出信号を出力するようになっている。また、Si基板2上に形成されたダイヤフラム3には、マイクロヒータ4、上流側サーモパイル8、下流側サーモパイル5、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13のそれぞれの温接点が形成されている。
【0019】
このような構成のマイクロフローセンサ1において、マイクロヒータ4が外部からの駆動電流により過熱された際の上記第1温度検出信号及び第2温度検出信号は、例えば所定の流路を通過する被測定ガスの流速を求めるために利用され、上記第3温度検出信号及び/又は第4温度検出信号は、例えばこの被測定ガスの物性値等を求めるために利用される。このようなマイクロフローセンサや流速計測方法等は、例えば、上記特許文献1等でも開示されているので、ここでは、詳細な説明は省略する。本発明では、このマイクロフローセンサ1が流量センサのみならず、ガス物性値センサのひとつとして、密度センサとして利用される。これについて以下に説明する。
【0020】
上記構成のマイクロフローセンサの基本性能について図2を用いて説明する。図2(A)及び図2(B)は、熱伝導率と左側サーモパイル(TP)の出力との関係を示す図である。
【0021】
ここで、左側サーモパイルは、図1で説明したとおり、ガスの流れ方向と略直交方向に配置されている。右側サーモパイルも、この左側サーモパイルと同様の特性を示す。左側サーモパイル及び右側サーモパイルは、ガスの流れ方向と略直交するように配置されている。図2(A)及び図2(B)に示すように、流れがあってもなくても、熱伝導率と左側及び右側サーモパイルの出力とは直線性の関係があることがわかる。
【0022】
このような特性に着目して、マイクロフローセンサを用いたガス密度測定が可能になる。図3(A)は本発明のガス物性値の測定装置に係る概略断面図であり、図3(B)は図3(A)のポケット部の拡大断面図である。
【0023】
図3(A)に示すように、被測定ガスが通過するガス流路20の内壁に凹形状に形成され、ガス流路20の通じる開口部21Aを有するポケット部21が形成されている。このポケット部21内には、密度センサとして、図1で示した構成のマイクロフローセンサ1′が取り付けられている。ポケット部21については、再度後で説明を加える。また、ガス流路20には、マイクロフローセンサ1′と同一構成の流量センサとしてのマイクロフローセンサ1が取り付けられている。このマイクロフローセンサ1の測定面は、ガス流路20に暴露するように取り付けられている。また、このマイクロフローセンサ1の設置箇所に基づいて、ガス流路20の断面を均等に分割するように、複数の整流格子22がそれぞれ等間隔かつ平行になるように配置されている。更に、この整流格子22を上流側P及び下流側Qからそれぞれ挟み込むように、メッシュ23A〜23C及びメッシュ23Dが、ガス流路20の途中に配置されている。これら整流格子22及びメッシュ23A〜23Dは整流作用を有し、マイクロフローセンサ1による流量測定の精度を向上させる。
【0024】
図3(B)に示すように、ポケット部21は、例えば、略円筒形をしており、上部には、測定面が下を向くようにして、マイクロフローセンサ1′が取り付けられている。また、ポケット部21の下部には、ガス流路20の通じる略円形状の開口部21Aが形成されている。この開口部21Aの口径は、ガス流路20を通過する被測定ガスによる流れの影響を受けないように、ポケット部21の容積に対して十分小さくしている。
【0025】
上記のように配置されたポケット部21に取り付けられた物性値センサとしてのマイクロフローセンサ1′を用いたガス物性値の測定装置について、図4を用いて説明する。図4は、マイクロフローセンサを用いたガス物性値の測定装置の一例を示す回路構成図である。
【0026】
図4に示すように、この測定装置においては、マイクロフローセンサ1′の下流側サーモパイル5、上流側サーモパイル8、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13にはそれぞれ、増幅器AMP1、増幅器AMP2、増幅器AMP3及び増幅器AMP4が接続されている。増幅器AMP1、増幅器AMP2、増幅器AMP3及び増幅器AMP4は、下流側サーモパイル5、上流側サーモパイル8、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13からそれぞれ供給される第1温度検出信号、第2温度検出信号、第3温度検出信号及び第4温度検出信号を増幅して加算回路30に出力する。
【0027】
加算回路30では、基本的に、第1〜第4検出信号を加算してゼロ点調整回路40に出力する。但し、必ずしも、第1〜第4検出信号の全てを使用する必要はない。すなわち、第1〜第4温度検出信号の少なくともいずれかひとつを使用してもよいし、第1〜第4検出信号のうちのいずれか2つ以上を使用するようにしてもよい。
【0028】
ゼロ点調整回路40は、抵抗R1、R2、Rx、可変抵抗器VR1、増幅定数変更スイッチSW1及び増幅器AMP5を含んで構成され、その入力端が加算回路30に接続され、出力端がスパン調整回路50に接続されている。そして、増幅定数変更スイッチSW1を切り替え制御することにより、増幅器AMP5の増幅率を調整することが可能である。
【0029】
スパン調整回路50は、抵抗R3、R4、Ry、可変抵抗器VR2、増幅定数変更スイッチSW2及び増幅器AMP6を含んで構成され、その入力端がゼロ点調整回路40に接続され、出力端がA/D変換回路60に接続されている。そして、増幅定数変更スイッチSW2を切り替え制御することにより、増幅器AMP6の増幅率を調整することが可能である。
【0030】
A/D変換回路60は、スパン調整回路50の増幅器AMP6から供給される増幅されたアナログ値であるセンサ出力をディジタル値に変換する。このディジタル値は制御部70を介してディジタル出力端子71から直接、出力するようにしてもよいし、制御部70にて、パルス変換して出力するようにしてもよいし、周波数変換して出力するようにしてもよいし、或いは、通信電文に変換して出力するようにしてもよい。
【0031】
制御部70は、ヒータ駆動回路100に駆動指令を出したり、センサ出力をリニアリティのあるディジタル出力に変換してディジタル出力端子71から出力したり、センサ出力に対して所定の温度補正を施したりする。また、制御部70は、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力をマイクロヒータに加わる電力値やマイクロヒータの抵抗値で除算し、この結果に基づいてガスの物性値の測定に係る演算処理を行う。
【0032】
D/A変換回路80は、制御部70から供給されるディジタル出力値を、必要なアナログ規格値に適合する範囲内のアナログ信号に変換して、アナログ出力端子81から出力する。出力方法としては、例えば、4−20mAの定電流信号や、1−5Vの定電圧信号等が適用可能である。トリガー受信回路90は、電文、スイッチ又はジャンパー等にて入力される各トリガーに基づいて、上記ヒータ駆動回路100を駆動指令を出すための信号を制御部70に出力する。
【0033】
ヒータ駆動回路100は、例えば、上記マイクロヒータ4と共にブリッジ回路を構成している。本発明において、ヒータ駆動回路100は定加温駆動であり、そのバリエーションにては、図5以降で後述する。
【0034】
図5は、本発明の第1実施形態における定加温回路を示す回路構成図である。図6は、図5の定加温回路を用いたときの、電流Iref毎の流量の温度特性を示すグラフである。
【0035】
図5に示す定加温回路100は、例えば、図4のヒータ駆動回路として用いられる。図5に示すように、この定加温回路は、レギュレータREG、増幅器AMP100、トランジスタTR100、及び、抵抗R0、Ra、Rb、Ru、Rref、RMHを含んで構成される。但し、RMHは、図4で示したマイクロフローセンサ1′のマイクロヒータ4の抵抗を示す。抵抗Ra、Rb、Ru、Rref、及びRMHは、ホイーストンブリッジ回路(以下、単にブリッジ回路ともよぶ)を構成している。レギュレータREGの一端には、電圧AVDDが印加されている。なお、図中、Iref及びIMHはそれぞれ、抵抗Rref及び抵抗RMHに流れる電流を示す。また、図示しないが、レギュレータREGの他端とトランジスタTR100との間には、制御部70からの駆動指令に応答して開閉制御されるスイッチ回路が介設されている。
【0036】
このような回路構成において、
RMH=(Ra/Rb)・(Rref+Ru)
Ra/Rb=RMH/Rref
RMH′+RMH=(RMH/Rref)・(Rref+Ru)
が成立する。
ここで、RMH及びRrefは共に基準温度での静抵抗(図中、電流IMHがほとんど流れていないときの抵抗)を示し、RMH′は基準温度での動抵抗(図中、電流IMHが流れているときの抵抗)を示す。
【0037】
そして、抵抗Raと抵抗RMHとによる分圧値及び抵抗Rbと抵抗Ru、Rrefとによる分圧値とは増幅器AMP100で比較されて、その比較結果によりトランジスタTR100がオンオフ制御される。
すなわち、
RMH′=(Ra/Rb)・Ru
になるように、ブリッジ回路が動作する。抵抗Ra、Rb、Ruは全て固定抵抗なので、RMH′も一定となる。これが定加温度差分である。
【0038】
ところで、マイクロヒータ4の発熱要素は、一般的に、
f{V2/(Rd+Rt+Rr)}
のような関数となることが知られている。
ここで、Vは印加電圧、Rdはドリフトによるヒータ抵抗値変化、Rtは温度によるヒータ抵抗値変化、Rrは物性値によるヒータ抵抗値変化を示す。
【0039】
したがって、この図5の第1実施形態のように、ヒータ駆動回路を定加温回路とすることにより、物性値によるヒータ抵抗値変化の影響を除去することができる。したがって、サーモパイルの出力値からヒータ抵抗値変化の影響を除去できるので、正確に被測定ガスの物性値を測定することが可能になる。
【0040】
このような大きな長所がある反面、上記図5の実施形態のヒータ駆動回路によると以下の欠点も併せもつことになる。すなわち、抵抗Rrefに流れる電流Irefと抵抗RMHに流れる電流IMHとを同等にする必要がある。例えば、抵抗Rrefに流れる電流Irefが約2mAであれば、抵抗RMHに流れる電流IMHも2mAにする必要がある。そうすると、抵抗Rrefが自己発熱して、図6に示すように、正確にガス温度を測定することができなくなる。図6は、抵抗Rrefに流れる電流Irefが多くなるほど、流量変動にともなって温度変動が大きくなることを示している。自己発熱を防止するためには、抵抗RMHを抵抗Rrefの約10倍程度にする必要があるが、そうすると、狭いチップ上に従来の約10倍程度の抵抗Rrefを這わす必要がでてきたり、抵抗Rrefと抵抗RMHとが異なるため、両者の温度係数に差が生じ変動要素が増えて最適化が困難になるという問題が発生する。
【0041】
そこで、このような問題点を解決したより好適な実施形態を以下に示す。図7は、本発明の第2実施形態における定加温回路を示す回路構成図である。図8は、図7の定加温回路を用いたときの、抵抗Rrefのガス種温度特性を示すグラフである。図9は、図7の定加温回路を用いたときの、抵抗Rref及びRMHの温度特性を示すグラフである。なお、図7中、図5と共通する部分には、同一の符号を付している。
【0042】
図7に示す定加温回路100′は、例えば、図4のヒータ駆動回路として用いられる。図7に示すように、この定加温回路100′は、レギュレータREG、増幅器AMP100、102、103、トランジスタTR100、及び、抵抗R0、R2、R3、R4、R5、Ra、Rb、Ru、Rref、RMHを含んで構成される。RMHは、図4で示したマイクロフローセンサ1′のマイクロヒータ4の抵抗を示す。この図7の第2実施形態においては、図5の第1実施形態で示した抵抗Rb、Ru及びRrefで示す回路に替えて、抵抗R2、R3、R4、R5、Ra、Rb、Ru、Rref、増幅器AMP102、103で示す回路、すなわち、増幅率αを有する増幅器AMP102と、増幅率1/αを有する増幅器AMP103とを組み込んでブリッジ回路を構成している。レギュレータREGの一端には、電圧AVDDが印加されている。また、図示しないが、レギュレータREGの他端とトランジスタTR100との間には、制御部70からの駆動指令に応答して開閉制御されるスイッチ回路が介設されている。
【0043】
抵抗Raと抵抗RMHとによる分圧信号は、増幅器AMP100のV+端子に与えられる。また、抵抗R4と抵抗R5とによる分圧信号は、増幅器AMP103で1/α倍に増幅され、抵抗Rbと抵抗R5、Rrefとにより更に分圧され、増幅器AMP102でα倍に増幅された後、増幅器AMP100のV−端子に与えられる。
【0044】
このような回路構成において、
V+={V/(Ra+RMH)}・RMH、
V−={(α・V/α)/(Rb+Ru+Rref)}・(Ru+Rref)
V+=V−になるように、ブリッジ回路が動作する。
したがって、これを解くと、
RMH=(Ra/Rb)・(Rref+Ru)
となり、上記第1実施形態のRMHを示す式と同等になる。
【0045】
図8に示すように、増幅率αを有する増幅器AMP102と、増幅率1/αを有する増幅器AMP103とを組み込んでブリッジ回路を構成することにより、ゼロガス、中間ガス及びスパンガス共に同等の温度特性を有するようになることがわかる。また、図9に示すように、抵抗Rref及び抵抗RMHの温度係数が同等になることがわかる。
【0046】
このように第2実施形態によれば、増幅率αを有する増幅器AMP102と、増幅率1/αを有する増幅器AMP103とを組み込んでブリッジ回路を構成することにより、ブリッジ回路を構成する抵抗長をいたずらに延長することなく、自己発熱を抑制することができる。また、抵抗Rref及び抵抗RMHの温度係数を同等にして変動要素を減らすことができる。なお、増幅率α及び増幅器AMP102はそれぞれ請求項の第1増幅率の第1増幅器に対応し、増幅率1/α及び増幅器AMP103はそれぞれ請求項の第2増幅率の第2増幅器に対応する。
【0047】
ところが、上述のような定加温回路100′でも、ガス温度による熱伝導率の絶対値変化を完全に除去することはできない。そこで、これも除去するようにした更に良好な実施形態を以下に示す。
【0048】
図10は、本発明の第3実施形態における定加温回路及び検出回路を示す回路構成図である。図11は、マイクロヒータに加わる電力値で除算したセンサ出力の、ガス種温度特性を示すグラフである。図12は、除算する前のセンサ出力の、ガス種温度特性を示すグラフである。なお、図11及び図12においては、20℃のセンサ出力差をゼロとして、中間ガスとの差を拡大表示している。いうまでもないが、温度特性が同じならば、各ガスの特性は1本の線に重なることになる。
【0049】
第3実施形態においては、上記第2実施形態における定加温回路100′対して、IMH検出回路及びVMH検出回路が付加された定加温回路100″となっている。この定加温回路100″も、例えば、図4のヒータ駆動回路として用いられる。なお、図10中、図7と共通する部分には、同一の符号を付して、重複説明は省略する。
【0050】
図10において、増幅率βの増幅器AMP104、及び抵抗R6、R7、R8は、電流IMHの検出回路(以下、IMH検出回路とよぶ)を構成している。また、増幅器AMP105は、電圧VMHの検出回路(以下、VMH検出回路とよぶ)を構成している。なお、この実施形態において、増幅器AMP104からの出力Va及び増幅器AMP105からの出力VMHは、図示しないA/D変換回路でディジタル化して、上記制御部70に出力される。
【0051】
このような構成において、IMH検出回路は、抵抗RMHに流れる電流を検出して出力信号Vaを生成する。また、VMH検出回路は、抵抗RMHの端子電圧を検出して出力信号VMHを生成する。これら出力信号Va及びVMHは、ディジタル化された後、制御部70に含まれるCPUにて、以下のような演算処理が行われる。
【0052】
すなわち、
IMH=(Va/β)/Ra
となるので、
マイクロヒータに加わる電力値PMHは、
PMH=VMH・IMH
として求めることができる。
また、マイクロヒータの抵抗値RMHは、
RMH=VMH/IMH
として求めることができる。
【0053】
そして、電力値PMH又は抵抗値RMHで、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力を除算して、この結果に基づいてガス物性値を測定するようにする。
【0054】
補足説明すると、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力から得られる、物性値のひとつである熱伝導率の単位は、W/m・kとなるので、ガス温度により影響がでるWや、マイクロヒータの抵抗値変化Rtを上記除算により除去すれば、マイクロヒータ4の発熱要素を更にひとつ減らすことができる。図11のグラフには、マイクロヒータに加わる電力値で除算したセンサ出力の、ガス種温度特性が示されている。図12に示される除算する前の温度特性と比較すれば明らかなように、ガス温度の変動にともなうセンサ出力の変動が大幅に抑制されていることがわかる。マイクロヒータの抵抗値RMHで除算しても図11と同様の特性が得られることがわかっている。
【0055】
このように第3実施形態によれば、電力値PMH又は抵抗値RMHで、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力を除算することにより、被測定ガスの温度変動の影響を受けるマイクロヒータの抵抗値変動を低減して、ガス温度の変動にともなうセンサ出力の変動を大幅に抑制することができる。したがって、より正確に被測定ガスの物性値を測定することが可能になる。
【0056】
以上のように、本発明の実施形態によれば、マイクロフローセンサを利用したガス物性値の測定装置であって、マイクロヒータの抵抗値変動の影響を効果的に除去し、正確に被測定ガスの物性値を測定することを可能にした測定装置を提供することができる。
【0057】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、その主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、ヒータ駆動回路としての定加温回路は上記実施形態に限定されず、同機能を有する他の回路構成であってもよい。また、測定すべきガス物性値としては、密度や熱伝導率のみならず、比熱、粘性等であってもよい。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1記載の発明によれば、マイクロフローセンサに含まれるマイクロヒータを駆動するヒータ駆動回路を定加温駆動としているので、ガスの物性値によるマイクロヒータの抵抗値変動の影響を軽減することができる。したがって、正確に被測定ガスの物性値を測定することが可能になる。
【0059】
請求項2記載の発明によれば、第1増幅率の第1増幅器と第1増幅率の逆数である第2増幅率の第2増幅器とを組み込んでブリッジ回路を構成する。そして、第1増幅率の第1増幅器と第1増幅率の逆数である第2増幅率の第2増幅器とを組み込んで、ブリッジ回路を構成するマイクロヒータの抵抗以外の所定の抵抗の温度係数を、マイクロヒータの抵抗の温度係数と等しくする。したがって、ブリッジ回路を構成する抵抗長をいたずらに延長することなく、自己発熱を抑制することができるという効果が更に付加される。
【0060】
請求項3記載の発明によれば、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力をマイクロヒータに加わる電力値で除算するので、被測定ガスの温度変動の影響を受けるマイクロヒータの抵抗値変動を低減して、ガス温度の変動にともなうセンサ出力の変動を大幅に抑制することができる。したがって、より正確に被測定ガスの物性値を測定することが可能になる。
【0061】
請求項4記載の発明によれば、マイクロフローセンサに含まれるサーモパイルから得られるセンサ出力をマイクロヒータの抵抗値で除算するので、被測定ガスの温度変動の影響を受けるマイクロヒータの抵抗値変動を低減して、ガス温度の変動にともなうセンサ出力の変動を大幅に抑制することができる。したがって、より正確に被測定ガスの物性値を測定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態にて使用されるマイクロフローセンサの構成図である。
【図2】図2(A)及び図2(B)は、熱伝導率と左側サーモパイルの出力との関係を示す図である。
【図3】図3(A)は本発明のガス物性値の測定装置に係る概略断面図であり、図3(B)は図3(A)のポケット部の拡大断面図である。
【図4】マイクロフローセンサを用いたガス物性値の測定装置の一例を示す回路構成図である。
【図5】本発明の第1実施形態における定加温回路を示す回路構成図である。
【図6】図5の定加温回路を用いたときの、電流Iref毎の流量の温度特性を示すグラフである。
【図7】本発明の第2実施形態における定加温回路を示す回路構成図である。
【図8】図7の定加温回路を用いたときの、抵抗Rrefのガス種温度特性を示すグラフである。
【図9】図7の定加温回路を用いたときの、抵抗Rref及びRMHの温度特性を示すグラフである。
【図10】本発明の第3実施形態における定加温回路及び検出回路を示す回路構成図である。
【図11】マイクロヒータに加わる電力値で除算したセンサ出力の、ガス種温度特性を示すグラフである。
【図12】除算する前のセンサ出力の、ガス種温度特性を示すグラフである。
【符号の説明】
1′ マイクロフローセンサ(密度センサ)
20 流路
21 ポケット部
30 加算回路
40 ゼロ点調整回路
50 スパン調整回路
60 A/D変換回路
70 制御部
71 ディジタル出力端子
80 D/A変換回路
81 アナログ出力端子
90 トリガー受信回路
100 ヒータ駆動回路(定加温回路)
Claims (4)
- 被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、前記被測定ガスの物性値を測定する装置であって、
前記マイクロフローセンサに含まれるマイクロヒータを駆動するヒータ駆動回路を定加温駆動とする、
ことを特徴とするガス物性値の測定装置。 - 請求項1記載のガス物性値の測定装置において、
前記ヒータ駆動回路をブリッジ回路で構成し、
第1増幅率の第1増幅器と第1増幅率の逆数である第2増幅率の第2増幅器とを組み込んで、前記ブリッジ回路を構成するマイクロヒータの抵抗以外の所定の抵抗の温度係数を、マイクロヒータの抵抗の温度係数と等しくする、
ことを特徴とするガス物性値の測定装置。 - 請求項1又は請求項2記載のガス物性値の測定装置において、
前記センサ出力を、前記マイクロヒータに加わる電力値で除算した結果に基づいて、前記ガス物性値を測定する、
ことを特徴とするガス物性値の測定装置。 - 請求項1又は請求項2記載のガス物性値の測定装置において、
前記センサ出力を、前記マイクロヒータの抵抗値で除算した結果に基づいて、前記ガス物性値を測定する、
ことを特徴とするガス物性値の測定装置。
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