JP2004337995A - 補正加工方法及び補正加工装置 - Google Patents
補正加工方法及び補正加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004337995A JP2004337995A JP2003134232A JP2003134232A JP2004337995A JP 2004337995 A JP2004337995 A JP 2004337995A JP 2003134232 A JP2003134232 A JP 2003134232A JP 2003134232 A JP2003134232 A JP 2003134232A JP 2004337995 A JP2004337995 A JP 2004337995A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- tool
- workpiece
- feed mechanism
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
【課題】ワークの補正加工を高精度に行う。
【解決手段】ワーク3を工具6によって加工するためワーク3と工具6とをNCプログラムに基づいて相対的に移動させる送り機構9a、9bと、工具6によって加工されたワーク3の表面形状を測定する測定手段8と、測定手段8によって測定されたワーク3表面形状とワーク3の目標形状との形状差を算出し、算出された形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する作成手段100と、ワーク3と工具6とを工具6の切り込み方向に相対的に微小移動させる微小送り機構7と、1回目のワーク加工のときには、NCプログラムによって送り機構9a、9bを制御し、2回目以降の加工のときには、形状補正用NCプログラムによって送り機構9a、9bを1回目の加工と同じ軌跡を移動するように制御すると共に、微小送り機構7を制御してワーク3と工具6とを工具6の切り込み方向に相対的に微小送りさせる制御手段100とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】ワーク3を工具6によって加工するためワーク3と工具6とをNCプログラムに基づいて相対的に移動させる送り機構9a、9bと、工具6によって加工されたワーク3の表面形状を測定する測定手段8と、測定手段8によって測定されたワーク3表面形状とワーク3の目標形状との形状差を算出し、算出された形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する作成手段100と、ワーク3と工具6とを工具6の切り込み方向に相対的に微小移動させる微小送り機構7と、1回目のワーク加工のときには、NCプログラムによって送り機構9a、9bを制御し、2回目以降の加工のときには、形状補正用NCプログラムによって送り機構9a、9bを1回目の加工と同じ軌跡を移動するように制御すると共に、微小送り機構7を制御してワーク3と工具6とを工具6の切り込み方向に相対的に微小送りさせる制御手段100とを備える。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを高精度の形状に加工する補正加工方法及び補正加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークを高精度に加工するため、ワークを加工した後に、ワークの形状を測定し、その結果を基にして補正加工を行うことがなされており、図7は、このような加工を行う従来の装置を示す(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
図7に示すように、ワーク103を把持した状態でスピンドルモータ107cによって回転するチャック102が機械本体101上に設けられている。また、機械本体101上には、X−Zテーブル104がチャック102と対向する位置に配置されている。X−Zテーブル104は駆動モータ107a,107bによってX−Z方向への移動が可能となっている。X−Zテーブル104上には工具台105が設置されており、工具台105には工具106及び微小変位計108が載置されている。
【0004】
以上のような装置によるワーク103の加工は、ある程度の形状精度に予め粗切削されたワーク103をチャック102に取り付けた後、スピンドルモータ107cを駆動してワーク103を回転させる。また、NCプログラムに基づいてX−Zテーブル104を移動させることにより、ワーク103と工具106とを相対移動させて工具106による仕上げ切削を行う。この第1次仕上げ切削が終了した後、微小変位計108による測定を行う。
【0005】
微小変位計108による測定は、第1次仕上げ切削工程の際に工具106が通過した軌跡の適切な点に位置させるようにX−Zテーブル104を移動させ、微小変位計108を所望の点に位置決めした直後、X−Zテーブル104の位置と微小変位計108の変位量とを測定することにより行う。この測定を適当な回数だけ繰り返した後、誤差解析を行う。その結果、生じた形状誤差が所望の公差を超えている場合には、その誤差分を排除するように第1次仕上げ切削時の工具軌跡を修正し、その後、第2次仕上げ切削を行う。一方、形状誤差が公差以下の場合には、仕上げ切削を終了する。
【0006】
図8は、以上の加工をグラフで示すものであり、目標形状が(イ)であり、第1次仕上げ切削後の形状が(ロ)のとき、軌跡(イ)と軌跡(ロ)の差が誤差分となる。この誤差分を目標形状(イ)に加えた軌跡(ハ)を作成し、これを第2次仕上げ切削時の軌跡とする。これにより、実際のワーク形状が目標形状(イ)となる。
【0007】
【特許文献1】
特公平3−19023号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
工作機械の送り機構は、同じ軌跡を繰り返し移動する際の繰り返し位置決め精度、すなわち繰り返しの再現性は高いが、異なる軌跡を移動した場合、双方の軌跡の間に、本来あるべき差分以外に軌跡を新たにしたことによる誤差が含まれるため、その位置精度が繰り返し位置決め精度に比べて低いものとなる。これにより、ワークの形状は所望の形状に対して形状誤差が発生する。
【0009】
また、形状精度の高い部品を加工する場合、ある仕上げ加工時と次回の仕上げ加工時(補正加工時)の軌跡の差はごく僅かとなるため、微小量を正確に位置制御可能な高い分解能を有した高性能で高価な工作機械を用いる必要がある。このため、廉価な工作機械に加えて高価な工作機械を準備しなければならない問題がある。
【0010】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、廉価な工作機械を用いた場合においても、ワークに対して高精度な加工を行うことが可能な補正加工方法及び補正加工装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明の補正加工方法は、NCプログラムによって制御された送り機構によりワークと工具とを相対的に移動させてワークを加工する第1加工工程と、第1加工工程で加工されたワークの表面形状を測定する測定工程と、測定されたワークの表面形状とワークの目標形状との形状差を算出し、算出した形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する工程と、形状補正用NCプログラムによって送り機構を第1加工工程と同じ軌跡に沿って移動するように制御すると共に、微小送り機構を制御することによりワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小送りしてワークを加工する第2加工工程と、を備えていることを特徴とする。
【0012】
請求項1の発明によれば、第2加工工程において、送り機構が同じ軌跡を移動して加工を行うため、送り機構の運動精度を高く維持することができると共に、形状補正分の移動においては微小送り機構の変位のみを制御するため、高精度な形状補正を行うことができ、従って、形状精度の高い加工を行うことができる。
【0013】
請求項2の発明は、請求項1記載の補正加工方法であって、前記微小送り機構として、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを用いることを特徴とする。
【0014】
このように微小送り機構として、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを用いることにより、高精度な微小送りを行うことができるため、形状補正を高精度に行うことができる。
【0015】
請求項3の発明の補正加工装置は、ワークを工具によって加工するためワークと工具とをNCプログラムに基づいて相対的に移動させる送り機構と、工具によって加工されたワークの表面形状を測定する測定手段と、測定手段によって測定されたワークの表面形状とワークの目標形状との形状差を算出し、算出された形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する作成手段と、ワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小移動させる微小送り機構と、1回目のワーク加工のときには、前記NCプログラムによって送り機構を制御し、2回目以降の加工のときには、前記形状補正用NCプログラムによって送り機構を1回目の加工と同じ軌跡を移動するように制御すると共に、微小送り機構を制御してワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小送りさせる制御手段と、を備えていることを特徴とする。
【0016】
請求項3の発明によれば、2回目以降の加工のときに、送り機構が同じ軌跡を移動するように制御するため、送り機構の運動精度を高く維持することができ、しかも形状補正分の移動においては微小送り機構の変位のみを制御するため、高精度な形状補正を行うことができる。
【0017】
請求項4の発明は、請求項3記載の補正加工装置であって、前記微小送り機構は、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータであることを特徴とする。
【0018】
請求項4の発明では、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを微小送り機構として用いるため、高精度な微小送りを行うことができ、形状補正を高精度に行うことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施の形態に分けて具体的に説明する。
【0020】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に用いられる補正加工装置を示す。ワーク3を把持するチャック2と、X−Zテーブル4とが対向するように機械本体1上に配置されている。チャック2は、スピンドルモータ9cの駆動により回転可能となっている。
【0021】
X−Zテーブル4は、送り機構としての駆動モータ9a、9bに連結されており、駆動モータ9aの駆動によってワーク3の回転軸に対して垂直方向なX方向に移動可能となっていると共に、駆動モータ9bの駆動によってワーク3の回転軸方向であるZ方向に移動可能となっている。X−Zテーブル4上には工具台5が設置されている。
【0022】
工具台5上には微小送り機構7及び測定手段としての微小変位計8が載置されている。微小送り機構7の先端には、ワーク3を加工する工具6が取り付けられており、その駆動によって工具6をワーク3の方向に微小送りするように作用する。
【0023】
この微小送り機構7及び送り機構の駆動モータ9a、9bは、制御手段としてのコントローラ10を介してコンピュータ100に連結されている。コンピュータ100は、形状補正用NCプログラムを作成する作成手段を有しており、このプログラムに基づいてコントローラ10により駆動モータ9a、9bと微小送り機構7の制御が行われる。微小送り機構7としては、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータが使用される。
【0024】
圧電アクチュエータは、水晶,チタン酸鉛,チタン酸バリウム等の圧電材料に対して、電圧を印加して誘電分極させると形状変化する性質を利用したアクチュエータであり、例えば図5に示す構造となっている。すなわち、圧電アクチュエータ7aは、電極板18a、18bの間に圧電素子17が挟み込まれた状態でハウジング20内に挿入されると共に、圧電素子17の形状変化を受ける可動子19がハウジング20の先端から突出した構造となっている。この圧電アクチュエータ7aでは、電極板18a、18bに電圧を印加することによる圧電素子17の変位に従って可動子19が変位し、この変位によって微小送りを行うものである。なお、微小送り機構7としては、このような構造を複数積層したものが用いられる。
【0025】
超磁歪アクチュエータは、特定の希土類元素と、ニッケル、コバルト、鉄等からなる鉄族元素との特定割合での合金の多結晶あるいは単結晶である超磁歪材料を用い、超磁歪材料に磁界を与えることにより形状変化する性質を利用したアクチュエータであり、例えば図6に示す構造となっている。すなわち、超磁歪アクチュエータ7bは、超磁歪素子21の周囲にコイル22を配置した状態でハウジング23内に挿入されると共に、超磁歪素子21の形状変化を受ける可動子24がハウジング23の先端から突出した構造となっている。この超磁歪アクチュエータ7bでは、コイル22に電流を流すことによって磁界が発生し、発生した磁界によって超磁歪素子21が形状変化し、超磁歪素子21の変位に従って可動子24が変位して微小送りを行うものである。
【0026】
このような圧電アクチュエータ7aまたは超磁歪アクチュエータ7bからなる微小送り機構7に対し、工具6は可動子19または可動子24先端に取り付けられるものである。
【0027】
次に、以上の装置を用いてワークを加工及び補正加工する場合について説明する。
【0028】
チャック2にワーク3を把持し、スピンドルモータ9cを駆動させることによりワーク3を回転させる。また、X−Zテーブル5を所望の軌跡に移動させるため、駆動モータ9a、9bを予めコンピュータ100に記憶されているNCプログラムに基づいて制御(駆動)しながら工具6をワーク3に対して相対的に移動させることによりワーク3の加工を行う。このワーク3の加工においては、ワーク3及び工具6のいずれか一方の相手側に対する相対的な移動を、例えば300mm程度とすることにより加工を確実に行うことができる。
【0029】
ワーク3を概ねの所望形状に加工した後、上述と同様にして1回目の仕上げ加工を行う。1回目の仕上げ加工が終了した時点でワーク3の外周部に対して微小変位計8を位置決めした後、駆動モータ9aを駆動させてX−Zテーブル4をX方向に移動させる。このとき測定点は、図2に示すようにワークの中心を通る軌跡12に沿っている。
【0030】
ワーク形状のZ方向への変化量が、微小変位計8の測定可能範囲を超えている場合は、駆動モータ9aと共に駆動モータ9bを駆動させ、ワーク形状に倣うようにX−Zテーブル4を移動させながら測定し、X−Zテーブル4の位置と微小変位計8の測定値から、ワーク形状を算出する。測定においては、ワーク3をチャック2から開放し、機外において測定を行っても良い。
【0031】
測定の終了の後、予めコンピュータ100に記憶されている目標形状と測定形状との差分をとることにより、形状差すなわち目標形状からの誤差を算出する。この誤差データは、Z方向の変位データであり、X方向の位置データと1対1に対応した形式である。誤差データが算出した後、この誤差をキャンセルするための補正データを作成する。
【0032】
図3は、補正データの作成方法を示しており、各X座標において、目標形状データ13から誤差データ14を減算することにより補正データ15を求める。なお、場合により補正データ15にある係数を乗じてもよい。
【0033】
次に、形状補正用NCプログラムの作成を行う。この場合、1回目の仕上げ加工時に使用したNCプログラムにおいて、加工位置を(X座標、Z座標)という形態で示すことができるが、形状補正用NCプログラムにおける加工位置は、微小送り機構7による移動軸をW軸とすると、(X座標、Z座標、W座標)という形態で示す。すなわち、2回目の仕上げ加工時は、X、Z軸は1回目と同じ軌跡を移動し、W軸、すなわち微小送り機構7は補正分の軌跡のみを移動することになる。
【0034】
形状補正用NCプログラムを作成した後は、2回目の仕上げ加工を行う。このとき、微小送り機構7以外の制御は1回目の仕上げ加工時と同様の方法によって行う。微小送り機構7の制御は、コンピュータ100のNC制御部から出力されたデータをコントローラ10で所望の変位を発生させるべく電圧に変換して微小送り機構7に供給し、微小送り機構7を変位させることにより行う。この変位によって工具6がワーク3に対して相対的に移動するため、ワークの仕上げ加工を行うことができる。この場合、微小送り機構7としては、ワーク3及び工具6のいずれか一方の相手側に対する相対的な移動を、例えば数10μm程度に成業する。
【0035】
以上により、2回目の仕上げ加工(形状補正加工)が終了した後は、上述と同様にワーク3の形状を測定して形状差を算出し、形状差が所望の公差以下であれば加工を終了する。一方、形状差が所望の公差以上のときには、上述と同様の手順により、さらに補正加工を行う。
【0036】
(実施の形態2)
この実施の形態においても、図1の装置を用いるが、チャック2を回転させるスピンドルモータ9cが回転角度を制御可能となっている点が異なっている。
【0037】
この実施の形態において、1回目の仕上げ加工は実施の形態1と同様に行う。ワーク3の測定ではワーク3の面全体の形状を測定する。この測定は、実施の形態1の手順に加えて、スピンドルモータ9cを駆動させてワーク2を回転させることにより行うものである。すなわち、図4に示す軌跡16を微小変位計8が通過するように行う。これにより、ワーク3の面全体の形状データを得ることができる。測定としては、これに限らず、レーザ光を用いた干渉計型形状測定機などの測定装置を用いてワーク3の面全体の測定を行っても良い。
【0038】
測定の終了の後、目標形状と測定値との差分をとることにより、形状差すなわち目標形状からの誤差を算出する。この誤差データは、Z方向の変位データであり、X方向の位置データ及びワーク3の回転角度データと1対1に対応した形式である。
【0039】
誤差データの算出の後、算出した誤差データをキャンセルするための補正データを作成する。作成は、各X座標及びワーク3の回転角度において、目標形状データから誤差データを減算することにより補正データを求める。場合により、補正データにある係数を乗じても良い。
【0040】
次に、形状補正用NCプログラムを作成する。この場合、1回目の仕上げ加工時に使用したNCプログラムにおいて、加工位置は、(X座標、Z座標、ワークの回転角度)という形態で示すことができるが、形状補正用NCプログラムにおける加工位置は、微小送り機構7による移動軸をW軸とすると、(X座標、Z座標、ワークの回転角度、W座標)という形態で示すことになる。その他の作用は実施の形態1と同様である。
【0041】
このような実施の形態2によれば、ワーク3の面全体の形状補正を行うため、さらに形状精度の高い加工を行うことができる。
【0042】
【発明の効果】
本発明の補正加工方法によれば、送り機構が同じ軌跡を移動して第2加工工程を行うため、送り機構の運動誤差を小さくすることができ、形状補正分の工具の移動は、微小変位領域において変位精度高く行うため、高い形状精度で加工を行うことができる。
【0043】
本発明の補正加工装置によれば、2回目以降の加工のときに、送り機構が同じ軌跡を移動するように制御するため、送り機構の運動誤差を小さくすることができ、しかも形状補正分の移動は微小送り機構の変位のみを制御するため、高精度な形状補正を行うことができる。また、形状補正分の移動は微小送り機構のみが行うため、機械の送り機構としてそれほど高い運動精度が必要がなくなる。このため、廉価な加工機においても実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に用いる補正加工装置の平面図である。
【図2】実施の形態1の測定軌跡を示す平面図である。
【図3】補正データの算出を説明する説明図である。
【図4】実施の形態2の測定軌跡を示す平面図である。
【図5】圧電アクチュエータの断面図である。
【図6】超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図7】従来装置の平面図である。
【図8】従来方法による軌跡の説明図である。
【符号の説明】
2 チャック
3 ワーク
6 工具
7 微小送り機構
8 微小変位計
10 コントローラ
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを高精度の形状に加工する補正加工方法及び補正加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークを高精度に加工するため、ワークを加工した後に、ワークの形状を測定し、その結果を基にして補正加工を行うことがなされており、図7は、このような加工を行う従来の装置を示す(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
図7に示すように、ワーク103を把持した状態でスピンドルモータ107cによって回転するチャック102が機械本体101上に設けられている。また、機械本体101上には、X−Zテーブル104がチャック102と対向する位置に配置されている。X−Zテーブル104は駆動モータ107a,107bによってX−Z方向への移動が可能となっている。X−Zテーブル104上には工具台105が設置されており、工具台105には工具106及び微小変位計108が載置されている。
【0004】
以上のような装置によるワーク103の加工は、ある程度の形状精度に予め粗切削されたワーク103をチャック102に取り付けた後、スピンドルモータ107cを駆動してワーク103を回転させる。また、NCプログラムに基づいてX−Zテーブル104を移動させることにより、ワーク103と工具106とを相対移動させて工具106による仕上げ切削を行う。この第1次仕上げ切削が終了した後、微小変位計108による測定を行う。
【0005】
微小変位計108による測定は、第1次仕上げ切削工程の際に工具106が通過した軌跡の適切な点に位置させるようにX−Zテーブル104を移動させ、微小変位計108を所望の点に位置決めした直後、X−Zテーブル104の位置と微小変位計108の変位量とを測定することにより行う。この測定を適当な回数だけ繰り返した後、誤差解析を行う。その結果、生じた形状誤差が所望の公差を超えている場合には、その誤差分を排除するように第1次仕上げ切削時の工具軌跡を修正し、その後、第2次仕上げ切削を行う。一方、形状誤差が公差以下の場合には、仕上げ切削を終了する。
【0006】
図8は、以上の加工をグラフで示すものであり、目標形状が(イ)であり、第1次仕上げ切削後の形状が(ロ)のとき、軌跡(イ)と軌跡(ロ)の差が誤差分となる。この誤差分を目標形状(イ)に加えた軌跡(ハ)を作成し、これを第2次仕上げ切削時の軌跡とする。これにより、実際のワーク形状が目標形状(イ)となる。
【0007】
【特許文献1】
特公平3−19023号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
工作機械の送り機構は、同じ軌跡を繰り返し移動する際の繰り返し位置決め精度、すなわち繰り返しの再現性は高いが、異なる軌跡を移動した場合、双方の軌跡の間に、本来あるべき差分以外に軌跡を新たにしたことによる誤差が含まれるため、その位置精度が繰り返し位置決め精度に比べて低いものとなる。これにより、ワークの形状は所望の形状に対して形状誤差が発生する。
【0009】
また、形状精度の高い部品を加工する場合、ある仕上げ加工時と次回の仕上げ加工時(補正加工時)の軌跡の差はごく僅かとなるため、微小量を正確に位置制御可能な高い分解能を有した高性能で高価な工作機械を用いる必要がある。このため、廉価な工作機械に加えて高価な工作機械を準備しなければならない問題がある。
【0010】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、廉価な工作機械を用いた場合においても、ワークに対して高精度な加工を行うことが可能な補正加工方法及び補正加工装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明の補正加工方法は、NCプログラムによって制御された送り機構によりワークと工具とを相対的に移動させてワークを加工する第1加工工程と、第1加工工程で加工されたワークの表面形状を測定する測定工程と、測定されたワークの表面形状とワークの目標形状との形状差を算出し、算出した形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する工程と、形状補正用NCプログラムによって送り機構を第1加工工程と同じ軌跡に沿って移動するように制御すると共に、微小送り機構を制御することによりワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小送りしてワークを加工する第2加工工程と、を備えていることを特徴とする。
【0012】
請求項1の発明によれば、第2加工工程において、送り機構が同じ軌跡を移動して加工を行うため、送り機構の運動精度を高く維持することができると共に、形状補正分の移動においては微小送り機構の変位のみを制御するため、高精度な形状補正を行うことができ、従って、形状精度の高い加工を行うことができる。
【0013】
請求項2の発明は、請求項1記載の補正加工方法であって、前記微小送り機構として、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを用いることを特徴とする。
【0014】
このように微小送り機構として、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを用いることにより、高精度な微小送りを行うことができるため、形状補正を高精度に行うことができる。
【0015】
請求項3の発明の補正加工装置は、ワークを工具によって加工するためワークと工具とをNCプログラムに基づいて相対的に移動させる送り機構と、工具によって加工されたワークの表面形状を測定する測定手段と、測定手段によって測定されたワークの表面形状とワークの目標形状との形状差を算出し、算出された形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する作成手段と、ワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小移動させる微小送り機構と、1回目のワーク加工のときには、前記NCプログラムによって送り機構を制御し、2回目以降の加工のときには、前記形状補正用NCプログラムによって送り機構を1回目の加工と同じ軌跡を移動するように制御すると共に、微小送り機構を制御してワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小送りさせる制御手段と、を備えていることを特徴とする。
【0016】
請求項3の発明によれば、2回目以降の加工のときに、送り機構が同じ軌跡を移動するように制御するため、送り機構の運動精度を高く維持することができ、しかも形状補正分の移動においては微小送り機構の変位のみを制御するため、高精度な形状補正を行うことができる。
【0017】
請求項4の発明は、請求項3記載の補正加工装置であって、前記微小送り機構は、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータであることを特徴とする。
【0018】
請求項4の発明では、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを微小送り機構として用いるため、高精度な微小送りを行うことができ、形状補正を高精度に行うことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施の形態に分けて具体的に説明する。
【0020】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に用いられる補正加工装置を示す。ワーク3を把持するチャック2と、X−Zテーブル4とが対向するように機械本体1上に配置されている。チャック2は、スピンドルモータ9cの駆動により回転可能となっている。
【0021】
X−Zテーブル4は、送り機構としての駆動モータ9a、9bに連結されており、駆動モータ9aの駆動によってワーク3の回転軸に対して垂直方向なX方向に移動可能となっていると共に、駆動モータ9bの駆動によってワーク3の回転軸方向であるZ方向に移動可能となっている。X−Zテーブル4上には工具台5が設置されている。
【0022】
工具台5上には微小送り機構7及び測定手段としての微小変位計8が載置されている。微小送り機構7の先端には、ワーク3を加工する工具6が取り付けられており、その駆動によって工具6をワーク3の方向に微小送りするように作用する。
【0023】
この微小送り機構7及び送り機構の駆動モータ9a、9bは、制御手段としてのコントローラ10を介してコンピュータ100に連結されている。コンピュータ100は、形状補正用NCプログラムを作成する作成手段を有しており、このプログラムに基づいてコントローラ10により駆動モータ9a、9bと微小送り機構7の制御が行われる。微小送り機構7としては、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータが使用される。
【0024】
圧電アクチュエータは、水晶,チタン酸鉛,チタン酸バリウム等の圧電材料に対して、電圧を印加して誘電分極させると形状変化する性質を利用したアクチュエータであり、例えば図5に示す構造となっている。すなわち、圧電アクチュエータ7aは、電極板18a、18bの間に圧電素子17が挟み込まれた状態でハウジング20内に挿入されると共に、圧電素子17の形状変化を受ける可動子19がハウジング20の先端から突出した構造となっている。この圧電アクチュエータ7aでは、電極板18a、18bに電圧を印加することによる圧電素子17の変位に従って可動子19が変位し、この変位によって微小送りを行うものである。なお、微小送り機構7としては、このような構造を複数積層したものが用いられる。
【0025】
超磁歪アクチュエータは、特定の希土類元素と、ニッケル、コバルト、鉄等からなる鉄族元素との特定割合での合金の多結晶あるいは単結晶である超磁歪材料を用い、超磁歪材料に磁界を与えることにより形状変化する性質を利用したアクチュエータであり、例えば図6に示す構造となっている。すなわち、超磁歪アクチュエータ7bは、超磁歪素子21の周囲にコイル22を配置した状態でハウジング23内に挿入されると共に、超磁歪素子21の形状変化を受ける可動子24がハウジング23の先端から突出した構造となっている。この超磁歪アクチュエータ7bでは、コイル22に電流を流すことによって磁界が発生し、発生した磁界によって超磁歪素子21が形状変化し、超磁歪素子21の変位に従って可動子24が変位して微小送りを行うものである。
【0026】
このような圧電アクチュエータ7aまたは超磁歪アクチュエータ7bからなる微小送り機構7に対し、工具6は可動子19または可動子24先端に取り付けられるものである。
【0027】
次に、以上の装置を用いてワークを加工及び補正加工する場合について説明する。
【0028】
チャック2にワーク3を把持し、スピンドルモータ9cを駆動させることによりワーク3を回転させる。また、X−Zテーブル5を所望の軌跡に移動させるため、駆動モータ9a、9bを予めコンピュータ100に記憶されているNCプログラムに基づいて制御(駆動)しながら工具6をワーク3に対して相対的に移動させることによりワーク3の加工を行う。このワーク3の加工においては、ワーク3及び工具6のいずれか一方の相手側に対する相対的な移動を、例えば300mm程度とすることにより加工を確実に行うことができる。
【0029】
ワーク3を概ねの所望形状に加工した後、上述と同様にして1回目の仕上げ加工を行う。1回目の仕上げ加工が終了した時点でワーク3の外周部に対して微小変位計8を位置決めした後、駆動モータ9aを駆動させてX−Zテーブル4をX方向に移動させる。このとき測定点は、図2に示すようにワークの中心を通る軌跡12に沿っている。
【0030】
ワーク形状のZ方向への変化量が、微小変位計8の測定可能範囲を超えている場合は、駆動モータ9aと共に駆動モータ9bを駆動させ、ワーク形状に倣うようにX−Zテーブル4を移動させながら測定し、X−Zテーブル4の位置と微小変位計8の測定値から、ワーク形状を算出する。測定においては、ワーク3をチャック2から開放し、機外において測定を行っても良い。
【0031】
測定の終了の後、予めコンピュータ100に記憶されている目標形状と測定形状との差分をとることにより、形状差すなわち目標形状からの誤差を算出する。この誤差データは、Z方向の変位データであり、X方向の位置データと1対1に対応した形式である。誤差データが算出した後、この誤差をキャンセルするための補正データを作成する。
【0032】
図3は、補正データの作成方法を示しており、各X座標において、目標形状データ13から誤差データ14を減算することにより補正データ15を求める。なお、場合により補正データ15にある係数を乗じてもよい。
【0033】
次に、形状補正用NCプログラムの作成を行う。この場合、1回目の仕上げ加工時に使用したNCプログラムにおいて、加工位置を(X座標、Z座標)という形態で示すことができるが、形状補正用NCプログラムにおける加工位置は、微小送り機構7による移動軸をW軸とすると、(X座標、Z座標、W座標)という形態で示す。すなわち、2回目の仕上げ加工時は、X、Z軸は1回目と同じ軌跡を移動し、W軸、すなわち微小送り機構7は補正分の軌跡のみを移動することになる。
【0034】
形状補正用NCプログラムを作成した後は、2回目の仕上げ加工を行う。このとき、微小送り機構7以外の制御は1回目の仕上げ加工時と同様の方法によって行う。微小送り機構7の制御は、コンピュータ100のNC制御部から出力されたデータをコントローラ10で所望の変位を発生させるべく電圧に変換して微小送り機構7に供給し、微小送り機構7を変位させることにより行う。この変位によって工具6がワーク3に対して相対的に移動するため、ワークの仕上げ加工を行うことができる。この場合、微小送り機構7としては、ワーク3及び工具6のいずれか一方の相手側に対する相対的な移動を、例えば数10μm程度に成業する。
【0035】
以上により、2回目の仕上げ加工(形状補正加工)が終了した後は、上述と同様にワーク3の形状を測定して形状差を算出し、形状差が所望の公差以下であれば加工を終了する。一方、形状差が所望の公差以上のときには、上述と同様の手順により、さらに補正加工を行う。
【0036】
(実施の形態2)
この実施の形態においても、図1の装置を用いるが、チャック2を回転させるスピンドルモータ9cが回転角度を制御可能となっている点が異なっている。
【0037】
この実施の形態において、1回目の仕上げ加工は実施の形態1と同様に行う。ワーク3の測定ではワーク3の面全体の形状を測定する。この測定は、実施の形態1の手順に加えて、スピンドルモータ9cを駆動させてワーク2を回転させることにより行うものである。すなわち、図4に示す軌跡16を微小変位計8が通過するように行う。これにより、ワーク3の面全体の形状データを得ることができる。測定としては、これに限らず、レーザ光を用いた干渉計型形状測定機などの測定装置を用いてワーク3の面全体の測定を行っても良い。
【0038】
測定の終了の後、目標形状と測定値との差分をとることにより、形状差すなわち目標形状からの誤差を算出する。この誤差データは、Z方向の変位データであり、X方向の位置データ及びワーク3の回転角度データと1対1に対応した形式である。
【0039】
誤差データの算出の後、算出した誤差データをキャンセルするための補正データを作成する。作成は、各X座標及びワーク3の回転角度において、目標形状データから誤差データを減算することにより補正データを求める。場合により、補正データにある係数を乗じても良い。
【0040】
次に、形状補正用NCプログラムを作成する。この場合、1回目の仕上げ加工時に使用したNCプログラムにおいて、加工位置は、(X座標、Z座標、ワークの回転角度)という形態で示すことができるが、形状補正用NCプログラムにおける加工位置は、微小送り機構7による移動軸をW軸とすると、(X座標、Z座標、ワークの回転角度、W座標)という形態で示すことになる。その他の作用は実施の形態1と同様である。
【0041】
このような実施の形態2によれば、ワーク3の面全体の形状補正を行うため、さらに形状精度の高い加工を行うことができる。
【0042】
【発明の効果】
本発明の補正加工方法によれば、送り機構が同じ軌跡を移動して第2加工工程を行うため、送り機構の運動誤差を小さくすることができ、形状補正分の工具の移動は、微小変位領域において変位精度高く行うため、高い形状精度で加工を行うことができる。
【0043】
本発明の補正加工装置によれば、2回目以降の加工のときに、送り機構が同じ軌跡を移動するように制御するため、送り機構の運動誤差を小さくすることができ、しかも形状補正分の移動は微小送り機構の変位のみを制御するため、高精度な形状補正を行うことができる。また、形状補正分の移動は微小送り機構のみが行うため、機械の送り機構としてそれほど高い運動精度が必要がなくなる。このため、廉価な加工機においても実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に用いる補正加工装置の平面図である。
【図2】実施の形態1の測定軌跡を示す平面図である。
【図3】補正データの算出を説明する説明図である。
【図4】実施の形態2の測定軌跡を示す平面図である。
【図5】圧電アクチュエータの断面図である。
【図6】超磁歪アクチュエータの断面図である。
【図7】従来装置の平面図である。
【図8】従来方法による軌跡の説明図である。
【符号の説明】
2 チャック
3 ワーク
6 工具
7 微小送り機構
8 微小変位計
10 コントローラ
Claims (4)
- NCプログラムによって制御された送り機構によりワークと工具とを相対的に移動させてワークを加工する第1加工工程と、
第1加工工程で加工されたワークの表面形状を測定する測定工程と、
測定されたワークの表面形状とワークの目標形状との形状差を算出し、算出した形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する工程と、
形状補正用NCプログラムによって送り機構を第1加工工程と同じ軌跡に沿って移動するように制御すると共に、微小送り機構を制御することによりワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小送りしてワークを加工する第2加工工程と、を備えていることを特徴とする補正加工方法。 - 前記微小送り機構として、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを用いることを特徴とする請求項1記載の補正加工方法。
- ワークを工具によって加工するためワークと工具とをNCプログラムに基づいて相対的に移動させる送り機構と、
工具によって加工されたワークの表面形状を測定する測定手段と、
測定手段によって測定されたワークの表面形状とワークの目標形状との形状差を算出し、算出された形状差をキャンセルさせるための形状補正用NCプログラムを作成する作成手段と、
ワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小移動させる微小送り機構と、
1回目のワーク加工のときには、前記NCプログラムによって送り機構を制御し、2回目以降の加工のときには、前記形状補正用NCプログラムによって送り機構を1回目の加工と同じ軌跡を移動するように制御すると共に、微小送り機構を制御してワークと工具とを工具の切り込み方向に相対的に微小送りさせる制御手段と、を備えていることを特徴とする補正加工装置。 - 前記微小送り機構は、圧電アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータであることを特徴とする請求項3記載の補正加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003134232A JP2004337995A (ja) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | 補正加工方法及び補正加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003134232A JP2004337995A (ja) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | 補正加工方法及び補正加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004337995A true JP2004337995A (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=33524853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003134232A Withdrawn JP2004337995A (ja) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | 補正加工方法及び補正加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004337995A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016175147A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | シチズンホールディングス株式会社 | 表面加工装置 |
JP2017177231A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 株式会社デンソー | 切削ユニット |
JP7423030B2 (ja) | 2019-03-08 | 2024-01-29 | 中村留精密工業株式会社 | 工具交換時自動補正機能を備えた工作機械 |
-
2003
- 2003-05-13 JP JP2003134232A patent/JP2004337995A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016175147A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | シチズンホールディングス株式会社 | 表面加工装置 |
JP2017177231A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 株式会社デンソー | 切削ユニット |
JP7423030B2 (ja) | 2019-03-08 | 2024-01-29 | 中村留精密工業株式会社 | 工具交換時自動補正機能を備えた工作機械 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH01206406A (ja) | 非真円形工作物加工用数値制御装置 | |
JPS62228359A (ja) | アンギユラ研削盤 | |
JP2000198047A (ja) | 工作機械 | |
US5107628A (en) | Method of fabricating article having aspheric figure and tool for use in carrying out the method | |
JP2004337995A (ja) | 補正加工方法及び補正加工装置 | |
US20130338813A1 (en) | Chair Side Mill For Fabricating Dental Restorations | |
JP6168396B2 (ja) | 工作機械 | |
JPH04348869A (ja) | アンギュラ砥石の修正装置 | |
JP2005034934A (ja) | 数値制御装置、それを備えた工作機械及びワークの座標算出方法 | |
JP7165041B2 (ja) | 研削加工装置および研削加工方法 | |
JP2000033502A (ja) | 旋盤装置およびバイトの芯高合わせ方法 | |
JP7469466B2 (ja) | 工作機械の制御装置、制御システム | |
JP2003039282A (ja) | 自由曲面加工装置および自由曲面加工方法 | |
JPH03111148A (ja) | 工作機械 | |
JP2005122332A (ja) | 自由曲面加工装置及び自由曲面加工方法 | |
JPS624568A (ja) | 送り装置 | |
JP2019005830A (ja) | 微細加工装置、微細加工ユニット、制御装置、原盤の製造方法、及び原盤用基材の微細加工方法 | |
JP2708752B2 (ja) | 回転軸対称曲面の加工方法 | |
JPH0382013A (ja) | ステージ位置決め制御方法 | |
JPS61214972A (ja) | 加工装置 | |
JPH11226846A (ja) | 姿勢補正装置 | |
JP2002307202A (ja) | 工作物の板状両側端面を加工する加工装置 | |
JPS63123650A (ja) | Nc送りのロストモ−シヨン補正方法 | |
JP2004314239A (ja) | 加工機の調整方法及び調整装置 | |
JP2022080020A (ja) | 放電ツルーイング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060801 |