JP2004323078A - Storage container - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等からなる精密基板の収納、輸送、保管、加工等の際に使用される収納容器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体業界では、生産性をより一層向上させるべく、口径200mmから口径300mmという大口径の半導体ウェーハからなる精密基板が使用され始めている。このような大口径の精密基板は、チップサイズの大型化や生産性の向上に資するものの、縦横いずれに支持しても、増加した自重で撓んでしまうので、破損防止のため、収納容器に収納された状態で取り扱われる。
【0003】
この種の収納容器は、図8や図9に示すように、図示しない複数枚の精密基板を整列収納する正面の開口したフロントオープンボックス1と、このフロントオープンボックス1の開口を開閉する着脱自在の蓋体10と、フロントオープンボックス1の開口周縁部と蓋体10との間に介在されてシールするシールガスケットとから構成され、精密基板用の加工装置30にセットされる(特許文献1参照)。フロントオープンボックス1は、その開口の全周縁部にフランジ4が周設され、内部両側には、精密基板用の支持体がそれぞれ配設される。蓋体10は、その内面に精密基板支持用のフロントリテーナが装着され、フロントオープンボックス1の開口周縁部に干渉するラッチ機構が内蔵される。
【0004】
加工装置30は、外部から区画されてクリーンな環境が確保され、インターフェイス部にオープナー(自動蓋体開閉機)31が設置されており、このオープナー31が蓋体10を着脱したり、精密基板を挿脱するよう機能する。この加工装置30は、外部よりも僅かに加圧された状態で使用される。また、オープナー31は、収納容器を水平に搭載する支持面32と、収納容器の蓋体10と対向する窓33付きの垂直壁34と、この垂直壁34の精密基板挿脱用の窓33を開閉し、蓋体10に係合する昇降可能なカバー体35とから構成される。垂直壁34の窓33は、開放時に図9や図10に矢印で示すクリーンエアを加工装置30の内部から外部に僅かに流出させ、パーティクルの外部からの侵入を防止する。
【0005】
上記において、精密基板を加工装置30により加工する場合には、先ず、図8に示すように、オープナー31の支持面32に収納容器をセットしてそのフランジ4を窓33の周縁部に僅かな隙間を介して対向させる。すると、オープナー31のカバー体35が収納容器の蓋体10に係合してラッチ機構を解錠動作させ、収納容器のフロントオープンボックス1から蓋体10を直線的に引き離すとともに、カバー体35が下降して蓋体10を完全に離隔させ、フロントオープンボックス1と垂直壁34の窓33とが同時に開放する(図9参照)。こうしてフロントオープンボックス1と垂直壁34の窓33とが開放したら、精密基板は、ローディングされたり、アンローディングされ、加工装置30に各種の加工を施されることとなる。
【0006】
精密基板に各種の加工が施されると、精密基板が収納容器のフロントオープンボックス1に再度収納され、上記とは逆の作業によりフロントオープンボックス1の開口に蓋体10が嵌合され、ラッチ機構の施錠動作によりフロントオープンボックス1が蓋体10で強固に閉鎖される。その後、収納容器は、自動搬送機により把持して搬送され、別の加工装置30にセットされて上記と同様の作業や処理が行われる。このような作業や処理の繰り返しにより、精密基板に電子回路が徐々に形成される。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−58633号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
従来の収納容器は、以上のように構成されているが、フロントオープンボックス1から蓋体10が取り外される際、フロントオープンボックス1の開口周辺のダーティーエアやパーティクルがフロントオープンボックス1内に巻き込まれ、その結果、精密基板の汚染を招くという問題がある。この問題を詳しく説明すると、ダーティーエアやパーティクルは、一般的には垂直壁34の窓33から漏れ出るクリーンエアにより侵入が防止される。しかしながら、蓋体10が取り外される際、フロントオープンボックス1の開口が瞬間的に開放され、しかも、フロントオープンボックス1内が加工装置30のクリーンな環境よりも負圧なので、クリーンエアが十分機能せずにダーティーエアやパーティクルがフロントオープンボックス1内に取り込まれ、結果として、精密基板が汚染されてしまうこととなる。
【0009】
特に、図9の円部分や図10に示すように、フロントオープンボックス1のフランジ4付近に付着しているパーティクルを一度漏れ出たクリーンエアが巻き込み、フロントオープンボックス1内にパーティクルが流入するのは無視し難い大きな問題であるといえる。このような問題を解消するには、クリーンエアの流出量を増大させれば良いが、そうすると、クリーンルームのパーティクルが舞い上がってしまうという重大な問題が新たに発生することとなる。さらに、ランニングコストの抑制もきわめて困難となる。
【0010】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、容器本体の開口周辺の汚れた流体が容器本体内に巻き込まれるのを防ぎ、コストの抑制を図ることのできる収納容器を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を達成するため、容器本体を蓋体により開閉するものであって、容器本体の開口から蓋体が取り外された場合に容器本体の外部から内部に流体が流入するのを規制する流体巻き込み規制体を備えてなることを特徴としている。
なお、容器本体を、フロントオープンボックスとしてその開口の周縁部にはフランジを形成し、このフランジと当該フランジ後方の少なくともいずれか一方に、流体巻き込み規制体を設けることができる。
また、流体巻き込み規制体に、流体を案内するガイド面を形成し、このガイド面をフロントオープンボックスの天井面と略平行にすることもできる。
【0012】
ここで特許請求の範囲における容器本体は、FOUP,FOSB,VOUP等のフロントオープンボックスが主ではあるが、上面や上下面が開口し、使用時には90°倒して使用されるボックス、具体的には、プロセスカセットやオープンカセット、あるいは前後面の開口したオープンボックス等でも良い。この容器本体には、必要に応じて導電性物質が添加されたり、帯電防止処理等が施される。容器本体には、主に精密基板等の基板が単数複数収納されるが、この精密基板としては、少なくとも半導体ウェーハ、液晶セル、石英ガラス、マスク基板等が含まれる。
【0013】
蓋体には、必要に応じてラッチ機構が内蔵される。流体には、各種のガス、ダーティーエア、パーティクル等が含まれる。また、流体巻き込み規制体は、容器本体の開口周縁部付近の一部あるいは全部に一体的、又は着脱自在の別体に形成される。部分的に設けて軽量化を図る場合には、容器本体の開口周縁部付近の上方が好ましい。この流体巻き込み規制体は、容器本体の対向面と略平行の関係でも良いが、容器本体の対向面から徐々に離れるよう傾斜したり、湾曲等していても良い。容器本体の対向面と略平行の関係の場合には、容器本体の対向面と平行、又はおおよそ平行なのが好ましい。
【0014】
本発明によれば、容器本体から蓋体が取り外された場合に、少なくとも容器本体の開口周辺の汚れた流体が流体巻き込み規制体に案内されて容器本体の開口とは反対方向に流れ、容器本体の開口から遠ざかる。したがって、汚れた流体が容器本体の開口から内部に巻き込まれるのを防ぐことができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における収納容器は、図1や図2に示すように、図示しない複数枚の精密基板を整列収納する透視可能なフロントオープンボックス1と、このフロントオープンボックス1の開口を開閉する蓋体10とを備え、フロントオープンボックス1のフランジ4にウイング20を一体形成し、加工装置30に設置されたフロントオープンボックス1から蓋体10がオープナー31のカバー体35により取り外された際、フロントオープンボックス1の開口付近から内部にエア等が流入するのをウイング20により規制するようにしている。
【0016】
フロントオープンボックス1は、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド等を使用して正面の開口した透明のボックスに射出成形され、底部の識別領域には、図示しないボトムプレートが着脱自在に装着されており、天井の中央部には、自動搬送機に把持されるロボティックハンドル2が着脱自在に螺着される。
【0017】
フロントオープンボックス1は、変形しないよう十分な強度、剛性、寸法安定性が確保され、AGV(Auto Guided Vehicle)等からなる自動搬送装置の正常な作動を保証する。フロントオープンボックス1の底部における前部両側と後部中央とには、断面略逆V字形の位置決め具3が一体的、あるいは着脱自在に配設され、この複数の位置決め具3が加工装置30におけるオープナー31の位置決めピンと係合する(この点については、図8、図9参照)。
【0018】
ここでいう加工装置30とは、収納容器のフロントオープンボックス1から精密基板をローディングして別の収納容器に移し替える装置、収納容器から蓋体10を取り外したり、蓋体10の取り外されたフロントオープンボックス1を搭載し、精密基板をローディングして酸化、フォトレジストの塗布、露光、エッチング、洗浄、薄膜形成等の処理や加工を施す装置をいう。
【0019】
フロントオープンボックス1の開口の全周縁部には、外方向に張り出すフランジ4が周設され、この周壁と直交するフランジ4がオープナー31のカバー体35との間にシールを形成し、蓋体10とカバー体35との係合時に閉じ込められたエアのクリーン環境への流出を規制するよう機能する。このフランジ4の内周面には、上下に位置する複数の係止穴5がそれぞれ凹み形成される。また、フロントオープンボックス1の内部両側には、複数のリブ片6を並べ備えた支持体7がそれぞれ配設され、各支持体7のリブ片6が精密基板を上下方向に所定のピッチで並べた状態で水平に支持する。
【0020】
蓋体10は、フロントオープンボックス1の開口した正面に対応するよう略矩形に形成され、内面(フロントオープンボックス1の背面と対向する面)に、精密基板をリブ片を介して支持するフロントリテーナ(図示せず)が装着されるとともに、外面の左右には、加工装置30のカバー体35に貫通操作される一対のキー孔11が穿孔されており、カバー体35に操作されるラッチ機構12が内蔵される。
【0021】
ラッチ機構12は、カバー体35の操作に基づき、出没可能な複数の係止爪13を蓋体10の周縁部からそれぞれ突出させてフロントオープンボックス1の係止穴5に嵌合係止し、フロントオープンボックス1の開口に嵌合した蓋体10を強固に閉鎖するよう機能する。また、蓋体10の周縁部には、枠形のシールガスケット14が嵌合され、このシールガスケット14がフロントオープンボックス1の開口周縁部と蓋体10との間に介在されてシールする。
【0022】
ウイング20は、図2に示すように、断面略板形に形成されてフランジ4の先端部と一体化され、フロントオープンボックス1の天井やフランジ4との間に略袋小路の隙間21を区画形成するとともに、フロントオープンボックス1の正面から背面方向に直線的に指向しており、蓋体10の取り外し時にダーティーエアやパーティクルがフロントオープンボックス1内に巻き込まれるのを効果的に抑制防止する。
【0023】
ウイング20は、エアの逆流防止と重量抑制等の観点から5mm以上、好ましくは15〜30mmの長さに伸長形成され、フランジ4の周縁部の全部又は一部に選択的に形成される。ウイング20の上面は、各種のガス、ダーティーエア、パーティクルを案内する平坦なガイド面22に形成され、このガイド面22がフロントオープンボックス1の天井面と平行の関係を形成する。その他の部分については、従来例と同様であるので説明を省略する。
【0024】
上記構成によれば、フロントオープンボックス1から蓋体10が取り外された際、フロントオープンボックス1の開口周辺のダーティーエアやパーティクルがウイング20のガイド面22にガイドされて前方から後方に流れ、フロントオープンボックス1の開口から遠ざかるので、フロントオープンボックス1の開口から内部に巻き込まれることがない。したがって、簡易な構成で精密基板の汚染を抑制防止することができる。特に、フロントオープンボックス1のフランジ4付近に付着しているパーティクルを一度漏れ出たクリーンエアが巻き込み、フロントオープンボックス1内にパーティクルが流入するという大きな問題を実に有効に解消することができる。
【0025】
また、パーティクルや一度漏れ出たクリーンエアが例えフランジ4の裏側に滞留したとしても、フロントオープンボックス1の天井とウイング20との間の閉じた隙間21に閉じ込めることができるので、漏れ出たクリーンエアの逆流防止が可能になる。さらに、クリーンエアの流出量を増大させる必要が全くないので、簡素な構成でクリーンルームのパーティクルが舞い上がったり、ランニングコストが増加するのを防ぐことが可能になる。
【0026】
次に、図3は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス1のフランジ4にウイング20を一体化し、フロントオープンボックス1の正面から背面方向にかけて肉厚の略ブロック形に形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、フロントオープンボックス1とウイング20の間の隙間21を省略することができるので、洗浄時に隙間21に水滴が溜まるのを有効に抑制防止したり、生産性の向上が期待できるのは明らかである。
【0027】
次に、図4や図5は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス1の周壁に、前方のフランジ4に空隙24をおいて対向するリブ23を周設し、これら前方のフランジ4と突出した後方のリブ23間の空隙24にウイング20を着脱自在に嵌合するようにしている。
ウイング20は、例えば各種の合成樹脂、弾性の熱可塑性エラストマーやゴム等を使用して枠形に成形され、フランジ4とリブ23との間の空隙24に密嵌される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、ウイング20が別体なので、洗浄の容易化が期待できるのは明らかである。
【0028】
次に、図6は本発明の第4の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス1の周壁に、前方のフランジ4に空隙24をおいて対向するリブ23を周設し、これら前方のフランジ4と後方のリブ23の間にウイング20を架設するようにしている。
ウイング20は、板形に成形され、フランジ4とリブ23の端面間に、接着、粘着、超音波シール、熱シール等の方法により架設される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、フランジ4とリブ23の間の全空隙24を埋めるものではないから、ウイング20の軽量化を図ることができるのは明白である。
【0029】
次に、図7は本発明の第5の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス1の周壁に、前方のフランジ4に空隙24をおいて対向するリブ23を周設し、これら前方のフランジ4と後方のリブ23の間にウイング20を注入埋設するようにしている。
ウイング20は、フランジ4とリブ23の間に、液状のエポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂等がポッティングされ、固化されることにより成形される。このウイング20のガイド面22は、前後方向に湾曲形成されたり、あるいは平坦等に形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、フランジ4とリブ23の間の窪みを簡単に埋めることができるのは明白である。
【0030】
なお、上記実施形態ではフロントオープンボックス1の全周壁を囲むウイング20を示したが、何らこれに限定されるものではなく、要部のみに設けても良い。例えば、加工装置30のダウンフローが強く衝突して乱流を引き起こし、エアの巻き込みが多い場合、フロントオープンボックス1の天井やフランジ4の上部のみにウイング20を設けることができる。また、フランジ4は、加工装置30にクランプして固定される場合があるので、クランプ部以外の領域にウイング20を設けても良い。
【0031】
【実施例】
以下、本発明に係る収納容器の実施例について比較例と共に説明する。
実施例
先ず、フロントオープンボックスのフランジの先端部にウイングを図1や図2のように一体成形した。このフロントオープンボックスは、300mmの半導体ウェーハを整列収納するFOUP用とした。こうしてフランジとウイングとを一体化したら、フロントオープンボックス内にパーティクルカウンタを収納し、このフロントオープンボックスをSEMI規格準拠のロードポートに位置決めして搭載し、蓋体を所定の速度で開閉してフロントオープンボックス内のパーティクルをパーティクルカウンタにより計測し、その計測結果を表1にまとめた。
【0032】
蓋体の開閉速度は、0.5m/sec2、又は0.10m/sec2とした。また、計測に際しては、粒径が0.2〜0.35μmの範囲のパーティクルを対象とした。
【0033】
比較例
フロントオープンボックスのフランジの先端部にウイングを成形しないこととし、その他は実施例と同様として計測結果を表1にまとめた。
検討結果
表1からも明らかなように、実施例によれば、フロントオープンボックスから蓋体が取り外されたとき、パーティクルがウイングにガイドされて後方に流れ、フロントオープンボックスの開口から内部にパーティクルが巻き込まれるのを抑制することができた。
【0034】
【表1】
【0035】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、容器本体の開口周辺の汚れた流体が容器本体内に巻き込まれるのを防ぎ、コストの抑制を図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る収納容器の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図2】本発明に係る収納容器の実施形態におけるフランジと一体化されたウイングを示す要部断面説明図である。
【図3】本発明に係る収納容器の第2の実施形態におけるフランジと一体化されたウイングを示す要部断面説明図である。
【図4】本発明に係る収納容器の第3の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図5】本発明に係る収納容器の第3の実施形態におけるウイングを示す要部断面説明図である。
【図6】本発明に係る収納容器の第4の実施形態におけるウイングを示す要部断面説明図である。
【図7】本発明に係る収納容器の第5の実施形態におけるウイングを示す要部断面説明図である。
【図8】オープナーのカバー体が収納容器の蓋体に係合してラッチ機構を解錠動作させる状態を示す断面説明図である。
【図9】図8のカバー体が下降して蓋体を離隔させ、フロントオープンボックスと垂直壁の窓とが開放する状態を示す断面説明図である。
【図10】フランジ付近に付着しているパーティクルをクリーンエアが巻き込み、フロントオープンボックス内にパーティクルが流入する状態を示す図9における円部分の断面説明図である。
【符号の説明】
1 フロントオープンボックス(容器本体)
4 フランジ
10 蓋体
20 ウイング(流体巻き込み規制体)
21 隙間
22 ガイド面
23 リブ
24 空隙
30 加工装置
31 オープナー
33 窓
35 カバー体[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a storage container used for storing, transporting, storing, processing, and the like a precision substrate made of a semiconductor wafer, a mask glass, or the like.
[0002]
[Prior art]
In recent years, the semiconductor industry has begun to use precision substrates made of large-diameter semiconductor wafers having a diameter of 200 mm to 300 mm in order to further improve productivity. Although such large-diameter precision substrates contribute to the increase in chip size and improvement in productivity, they are bent by the increased own weight regardless of whether they are supported vertically or horizontally, so they are stored in a storage container to prevent damage. It is handled in the state that was done.
[0003]
As shown in FIGS. 8 and 9, this type of storage container has a front
[0004]
The
[0005]
In the above, when processing a precision substrate by the
[0006]
When various processes are performed on the precision substrate, the precision substrate is stored again in the front
[0007]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-58633
[Problems to be solved by the invention]
The conventional storage container is configured as described above. However, when the
[0009]
In particular, as shown in the circular portion of FIG. 9 and FIG. 10, clean air once leaking out of the particles adhering near the
[0010]
The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a storage container that can prevent dirty fluid around an opening of a container main body from being caught in the container main body and can reduce costs. .
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in order to achieve the above object, the container main body is opened and closed by a lid, and when the lid is removed from the opening of the container main body, the fluid flows into the container main body from the outside. And a fluid entrainment regulating body for regulating the pressure.
The container main body may be a front open box, and a flange may be formed on a peripheral portion of the opening, and a fluid entrainment regulating body may be provided on at least one of the flange and the rear of the flange.
Further, a guide surface for guiding the fluid may be formed on the fluid entrainment member, and the guide surface may be substantially parallel to the ceiling surface of the front open box.
[0012]
Here, the container body in the claims is mainly a front open box such as FOUP, FOSB, VOUP or the like. Alternatively, a process cassette, an open cassette, or an open box with open front and rear surfaces may be used. A conductive substance is added to this container body as necessary, or an antistatic treatment or the like is performed. The container body mainly stores one or more substrates such as precision substrates, and the precision substrates include at least a semiconductor wafer, a liquid crystal cell, quartz glass, a mask substrate, and the like.
[0013]
A latch mechanism is incorporated in the lid as needed. The fluid includes various gases, dirty air, particles, and the like. Further, the fluid entrainment restricting body is formed integrally or detachably with a part or all of the vicinity of the peripheral edge of the opening of the container body. In the case where a partial provision is made to reduce the weight, an upper portion near the opening peripheral portion of the container body is preferable. The fluid entrainment body may be substantially parallel to the facing surface of the container body, or may be inclined or curved so as to gradually separate from the facing surface of the container body. When the relationship is substantially parallel to the facing surface of the container body, it is preferable that the relationship is parallel to or approximately parallel to the facing surface of the container body.
[0014]
According to the present invention, when the lid is removed from the container main body, at least the dirty fluid around the opening of the container main body is guided by the fluid entrainment regulating body and flows in the opposite direction to the opening of the container main body, and the container main body Move away from the opening. Therefore, it is possible to prevent the dirty fluid from being caught in the container body from the opening.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, a storage container according to the present embodiment is a transparent front that aligns and stores a plurality of precision substrates (not shown). An
[0016]
The front
[0017]
The front
[0018]
The
[0019]
A
[0020]
The
[0021]
Based on the operation of the
[0022]
As shown in FIG. 2, the
[0023]
The
[0024]
According to the above configuration, when the
[0025]
Also, even if particles or clean air that has leaked out once stays behind the
[0026]
Next, FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In this case, the
In this embodiment, the same operation and effect as those of the above embodiment can be expected, and the
[0027]
Next, FIGS. 4 and 5 show a third embodiment of the present invention. In this case, a
The
In this embodiment, the same operation and effect as those in the above embodiment can be expected, and since the
[0028]
Next, FIG. 6 shows a fourth embodiment of the present invention. In this case, a
The
In the present embodiment, the same operation and effect as those of the above embodiment can be expected, and since it does not fill the
[0029]
Next, FIG. 7 shows a fifth embodiment of the present invention. In this case, a
The
In this embodiment, the same operation and effect as the above embodiment can be expected, and it is clear that the depression between the
[0030]
In the above-described embodiment, the
[0031]
【Example】
Hereinafter, examples of the storage container according to the present invention will be described together with comparative examples.
Example First, a wing was integrally formed at the tip of the flange of the front open box as shown in FIGS. This front open box was used for a FOUP in which 300-mm semiconductor wafers were aligned and stored. After the flange and wing are integrated in this way, the particle counter is stored in the front open box, this front open box is positioned and mounted on the SEMI standard load port, and the lid is opened and closed at a predetermined speed to open the front. Particles in the open box were measured by a particle counter, and the measurement results are summarized in Table 1.
[0032]
Closing speed of the lid was a 0.5 m / sec 2, or 0.10 m / sec 2. In the measurement, particles having a particle size in the range of 0.2 to 0.35 μm were targeted.
[0033]
Comparative Example The wing was not formed at the tip of the flange of the front open box, and the other results were summarized in Table 1 as in the example.
As is clear from the examination result Table 1, according to the embodiment, when the lid is removed from the front open box, particles are guided by the wings and flow backward, and particles enter inside from the opening of the front open box. It was possible to suppress getting caught.
[0034]
[Table 1]
[0035]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, there is an effect that a dirty fluid around the opening of the container body is prevented from being caught in the container body, and the cost can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective explanatory view showing an embodiment of a storage container according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view of a main part showing a wing integrated with a flange in the embodiment of the storage container according to the present invention.
FIG. 3 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing integrated with a flange in a second embodiment of a storage container according to the present invention.
FIG. 4 is an overall perspective explanatory view showing a third embodiment of the storage container according to the present invention.
FIG. 5 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing of a storage container according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing of a storage container according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing of a storage container according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view showing a state where the cover body of the opener is engaged with the lid of the storage container to unlock the latch mechanism.
9 is a cross-sectional explanatory view showing a state where the cover body of FIG. 8 is lowered to separate the lid body, and the front open box and the window of the vertical wall are opened.
FIG. 10 is a cross-sectional explanatory view of a circular portion in FIG. 9 showing a state in which particles adhering near a flange are entrained by clean air and particles flow into a front open box.
[Explanation of symbols]
1 front open box (container body)
4
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122150A JP4204375B2 (en) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | Storage container |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122150A JP4204375B2 (en) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | Storage container |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004323078A true JP2004323078A (en) | 2004-11-18 |
JP4204375B2 JP4204375B2 (en) | 2009-01-07 |
Family
ID=33500477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003122150A Expired - Fee Related JP4204375B2 (en) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | Storage container |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4204375B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009060025A (en) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | Method for evaluating cleanliness in wafer-transfer system |
-
2003
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009060025A (en) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | Method for evaluating cleanliness in wafer-transfer system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4204375B2 (en) | 2009-01-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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