JP2004323078A

JP2004323078A - Storage container

Info

Publication number: JP2004323078A
Application number: JP2003122150A
Authority: JP
Inventors: 正人 ▲高▼橋; Masato Takahashi
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2003-04-25
Filing date: 2003-04-25
Publication date: 2004-11-18
Anticipated expiration: 2023-04-25
Also published as: JP4204375B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storage container, which can prevent a dirty fluid around the opening of a container body from being swallowed into the container body and can reduce the cost. <P>SOLUTION: The storage container is provided with a front open box 1, in which precision boards are housed to be lined up, a flange 4 formed on the periphery of the opening of the front open box 1, and a lid which opens/closes the opening of the front open box 1. A wing 20 is formed integrally at the front end of the flange 4, so that the wing 20 prevents air from flowing into the front open box 1 from the vicinity to the opening of the box 1 when the lid is removed from the box 1 set on a processing device by a cover of an opener. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等からなる精密基板の収納、輸送、保管、加工等の際に使用される収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体業界では、生産性をより一層向上させるべく、口径２００ｍｍから口径３００ｍｍという大口径の半導体ウェーハからなる精密基板が使用され始めている。このような大口径の精密基板は、チップサイズの大型化や生産性の向上に資するものの、縦横いずれに支持しても、増加した自重で撓んでしまうので、破損防止のため、収納容器に収納された状態で取り扱われる。
【０００３】
この種の収納容器は、図８や図９に示すように、図示しない複数枚の精密基板を整列収納する正面の開口したフロントオープンボックス１と、このフロントオープンボックス１の開口を開閉する着脱自在の蓋体１０と、フロントオープンボックス１の開口周縁部と蓋体１０との間に介在されてシールするシールガスケットとから構成され、精密基板用の加工装置３０にセットされる（特許文献１参照）。フロントオープンボックス１は、その開口の全周縁部にフランジ４が周設され、内部両側には、精密基板用の支持体がそれぞれ配設される。蓋体１０は、その内面に精密基板支持用のフロントリテーナが装着され、フロントオープンボックス１の開口周縁部に干渉するラッチ機構が内蔵される。
【０００４】
加工装置３０は、外部から区画されてクリーンな環境が確保され、インターフェイス部にオープナー（自動蓋体開閉機）３１が設置されており、このオープナー３１が蓋体１０を着脱したり、精密基板を挿脱するよう機能する。この加工装置３０は、外部よりも僅かに加圧された状態で使用される。また、オープナー３１は、収納容器を水平に搭載する支持面３２と、収納容器の蓋体１０と対向する窓３３付きの垂直壁３４と、この垂直壁３４の精密基板挿脱用の窓３３を開閉し、蓋体１０に係合する昇降可能なカバー体３５とから構成される。垂直壁３４の窓３３は、開放時に図９や図１０に矢印で示すクリーンエアを加工装置３０の内部から外部に僅かに流出させ、パーティクルの外部からの侵入を防止する。
【０００５】
上記において、精密基板を加工装置３０により加工する場合には、先ず、図８に示すように、オープナー３１の支持面３２に収納容器をセットしてそのフランジ４を窓３３の周縁部に僅かな隙間を介して対向させる。すると、オープナー３１のカバー体３５が収納容器の蓋体１０に係合してラッチ機構を解錠動作させ、収納容器のフロントオープンボックス１から蓋体１０を直線的に引き離すとともに、カバー体３５が下降して蓋体１０を完全に離隔させ、フロントオープンボックス１と垂直壁３４の窓３３とが同時に開放する（図９参照）。こうしてフロントオープンボックス１と垂直壁３４の窓３３とが開放したら、精密基板は、ローディングされたり、アンローディングされ、加工装置３０に各種の加工を施されることとなる。
【０００６】
精密基板に各種の加工が施されると、精密基板が収納容器のフロントオープンボックス１に再度収納され、上記とは逆の作業によりフロントオープンボックス１の開口に蓋体１０が嵌合され、ラッチ機構の施錠動作によりフロントオープンボックス１が蓋体１０で強固に閉鎖される。その後、収納容器は、自動搬送機により把持して搬送され、別の加工装置３０にセットされて上記と同様の作業や処理が行われる。このような作業や処理の繰り返しにより、精密基板に電子回路が徐々に形成される。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−５８６３３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の収納容器は、以上のように構成されているが、フロントオープンボックス１から蓋体１０が取り外される際、フロントオープンボックス１の開口周辺のダーティーエアやパーティクルがフロントオープンボックス１内に巻き込まれ、その結果、精密基板の汚染を招くという問題がある。この問題を詳しく説明すると、ダーティーエアやパーティクルは、一般的には垂直壁３４の窓３３から漏れ出るクリーンエアにより侵入が防止される。しかしながら、蓋体１０が取り外される際、フロントオープンボックス１の開口が瞬間的に開放され、しかも、フロントオープンボックス１内が加工装置３０のクリーンな環境よりも負圧なので、クリーンエアが十分機能せずにダーティーエアやパーティクルがフロントオープンボックス１内に取り込まれ、結果として、精密基板が汚染されてしまうこととなる。
【０００９】
特に、図９の円部分や図１０に示すように、フロントオープンボックス１のフランジ４付近に付着しているパーティクルを一度漏れ出たクリーンエアが巻き込み、フロントオープンボックス１内にパーティクルが流入するのは無視し難い大きな問題であるといえる。このような問題を解消するには、クリーンエアの流出量を増大させれば良いが、そうすると、クリーンルームのパーティクルが舞い上がってしまうという重大な問題が新たに発生することとなる。さらに、ランニングコストの抑制もきわめて困難となる。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、容器本体の開口周辺の汚れた流体が容器本体内に巻き込まれるのを防ぎ、コストの抑制を図ることのできる収納容器を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を達成するため、容器本体を蓋体により開閉するものであって、容器本体の開口から蓋体が取り外された場合に容器本体の外部から内部に流体が流入するのを規制する流体巻き込み規制体を備えてなることを特徴としている。
なお、容器本体を、フロントオープンボックスとしてその開口の周縁部にはフランジを形成し、このフランジと当該フランジ後方の少なくともいずれか一方に、流体巻き込み規制体を設けることができる。
また、流体巻き込み規制体に、流体を案内するガイド面を形成し、このガイド面をフロントオープンボックスの天井面と略平行にすることもできる。
【００１２】
ここで特許請求の範囲における容器本体は、ＦＯＵＰ，ＦＯＳＢ，ＶＯＵＰ等のフロントオープンボックスが主ではあるが、上面や上下面が開口し、使用時には９０°倒して使用されるボックス、具体的には、プロセスカセットやオープンカセット、あるいは前後面の開口したオープンボックス等でも良い。この容器本体には、必要に応じて導電性物質が添加されたり、帯電防止処理等が施される。容器本体には、主に精密基板等の基板が単数複数収納されるが、この精密基板としては、少なくとも半導体ウェーハ、液晶セル、石英ガラス、マスク基板等が含まれる。
【００１３】
蓋体には、必要に応じてラッチ機構が内蔵される。流体には、各種のガス、ダーティーエア、パーティクル等が含まれる。また、流体巻き込み規制体は、容器本体の開口周縁部付近の一部あるいは全部に一体的、又は着脱自在の別体に形成される。部分的に設けて軽量化を図る場合には、容器本体の開口周縁部付近の上方が好ましい。この流体巻き込み規制体は、容器本体の対向面と略平行の関係でも良いが、容器本体の対向面から徐々に離れるよう傾斜したり、湾曲等していても良い。容器本体の対向面と略平行の関係の場合には、容器本体の対向面と平行、又はおおよそ平行なのが好ましい。
【００１４】
本発明によれば、容器本体から蓋体が取り外された場合に、少なくとも容器本体の開口周辺の汚れた流体が流体巻き込み規制体に案内されて容器本体の開口とは反対方向に流れ、容器本体の開口から遠ざかる。したがって、汚れた流体が容器本体の開口から内部に巻き込まれるのを防ぐことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における収納容器は、図１や図２に示すように、図示しない複数枚の精密基板を整列収納する透視可能なフロントオープンボックス１と、このフロントオープンボックス１の開口を開閉する蓋体１０とを備え、フロントオープンボックス１のフランジ４にウイング２０を一体形成し、加工装置３０に設置されたフロントオープンボックス１から蓋体１０がオープナー３１のカバー体３５により取り外された際、フロントオープンボックス１の開口付近から内部にエア等が流入するのをウイング２０により規制するようにしている。
【００１６】
フロントオープンボックス１は、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド等を使用して正面の開口した透明のボックスに射出成形され、底部の識別領域には、図示しないボトムプレートが着脱自在に装着されており、天井の中央部には、自動搬送機に把持されるロボティックハンドル２が着脱自在に螺着される。
【００１７】
フロントオープンボックス１は、変形しないよう十分な強度、剛性、寸法安定性が確保され、ＡＧＶ（ＡｕｔｏＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）等からなる自動搬送装置の正常な作動を保証する。フロントオープンボックス１の底部における前部両側と後部中央とには、断面略逆Ｖ字形の位置決め具３が一体的、あるいは着脱自在に配設され、この複数の位置決め具３が加工装置３０におけるオープナー３１の位置決めピンと係合する（この点については、図８、図９参照）。
【００１８】
ここでいう加工装置３０とは、収納容器のフロントオープンボックス１から精密基板をローディングして別の収納容器に移し替える装置、収納容器から蓋体１０を取り外したり、蓋体１０の取り外されたフロントオープンボックス１を搭載し、精密基板をローディングして酸化、フォトレジストの塗布、露光、エッチング、洗浄、薄膜形成等の処理や加工を施す装置をいう。
【００１９】
フロントオープンボックス１の開口の全周縁部には、外方向に張り出すフランジ４が周設され、この周壁と直交するフランジ４がオープナー３１のカバー体３５との間にシールを形成し、蓋体１０とカバー体３５との係合時に閉じ込められたエアのクリーン環境への流出を規制するよう機能する。このフランジ４の内周面には、上下に位置する複数の係止穴５がそれぞれ凹み形成される。また、フロントオープンボックス１の内部両側には、複数のリブ片６を並べ備えた支持体７がそれぞれ配設され、各支持体７のリブ片６が精密基板を上下方向に所定のピッチで並べた状態で水平に支持する。
【００２０】
蓋体１０は、フロントオープンボックス１の開口した正面に対応するよう略矩形に形成され、内面（フロントオープンボックス１の背面と対向する面）に、精密基板をリブ片を介して支持するフロントリテーナ（図示せず）が装着されるとともに、外面の左右には、加工装置３０のカバー体３５に貫通操作される一対のキー孔１１が穿孔されており、カバー体３５に操作されるラッチ機構１２が内蔵される。
【００２１】
ラッチ機構１２は、カバー体３５の操作に基づき、出没可能な複数の係止爪１３を蓋体１０の周縁部からそれぞれ突出させてフロントオープンボックス１の係止穴５に嵌合係止し、フロントオープンボックス１の開口に嵌合した蓋体１０を強固に閉鎖するよう機能する。また、蓋体１０の周縁部には、枠形のシールガスケット１４が嵌合され、このシールガスケット１４がフロントオープンボックス１の開口周縁部と蓋体１０との間に介在されてシールする。
【００２２】
ウイング２０は、図２に示すように、断面略板形に形成されてフランジ４の先端部と一体化され、フロントオープンボックス１の天井やフランジ４との間に略袋小路の隙間２１を区画形成するとともに、フロントオープンボックス１の正面から背面方向に直線的に指向しており、蓋体１０の取り外し時にダーティーエアやパーティクルがフロントオープンボックス１内に巻き込まれるのを効果的に抑制防止する。
【００２３】
ウイング２０は、エアの逆流防止と重量抑制等の観点から５ｍｍ以上、好ましくは１５〜３０ｍｍの長さに伸長形成され、フランジ４の周縁部の全部又は一部に選択的に形成される。ウイング２０の上面は、各種のガス、ダーティーエア、パーティクルを案内する平坦なガイド面２２に形成され、このガイド面２２がフロントオープンボックス１の天井面と平行の関係を形成する。その他の部分については、従来例と同様であるので説明を省略する。
【００２４】
上記構成によれば、フロントオープンボックス１から蓋体１０が取り外された際、フロントオープンボックス１の開口周辺のダーティーエアやパーティクルがウイング２０のガイド面２２にガイドされて前方から後方に流れ、フロントオープンボックス１の開口から遠ざかるので、フロントオープンボックス１の開口から内部に巻き込まれることがない。したがって、簡易な構成で精密基板の汚染を抑制防止することができる。特に、フロントオープンボックス１のフランジ４付近に付着しているパーティクルを一度漏れ出たクリーンエアが巻き込み、フロントオープンボックス１内にパーティクルが流入するという大きな問題を実に有効に解消することができる。
【００２５】
また、パーティクルや一度漏れ出たクリーンエアが例えフランジ４の裏側に滞留したとしても、フロントオープンボックス１の天井とウイング２０との間の閉じた隙間２１に閉じ込めることができるので、漏れ出たクリーンエアの逆流防止が可能になる。さらに、クリーンエアの流出量を増大させる必要が全くないので、簡素な構成でクリーンルームのパーティクルが舞い上がったり、ランニングコストが増加するのを防ぐことが可能になる。
【００２６】
次に、図３は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス１のフランジ４にウイング２０を一体化し、フロントオープンボックス１の正面から背面方向にかけて肉厚の略ブロック形に形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、フロントオープンボックス１とウイング２０の間の隙間２１を省略することができるので、洗浄時に隙間２１に水滴が溜まるのを有効に抑制防止したり、生産性の向上が期待できるのは明らかである。
【００２７】
次に、図４や図５は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス１の周壁に、前方のフランジ４に空隙２４をおいて対向するリブ２３を周設し、これら前方のフランジ４と突出した後方のリブ２３間の空隙２４にウイング２０を着脱自在に嵌合するようにしている。
ウイング２０は、例えば各種の合成樹脂、弾性の熱可塑性エラストマーやゴム等を使用して枠形に成形され、フランジ４とリブ２３との間の空隙２４に密嵌される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、ウイング２０が別体なので、洗浄の容易化が期待できるのは明らかである。
【００２８】
次に、図６は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス１の周壁に、前方のフランジ４に空隙２４をおいて対向するリブ２３を周設し、これら前方のフランジ４と後方のリブ２３の間にウイング２０を架設するようにしている。
ウイング２０は、板形に成形され、フランジ４とリブ２３の端面間に、接着、粘着、超音波シール、熱シール等の方法により架設される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、フランジ４とリブ２３の間の全空隙２４を埋めるものではないから、ウイング２０の軽量化を図ることができるのは明白である。
【００２９】
次に、図７は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、フロントオープンボックス１の周壁に、前方のフランジ４に空隙２４をおいて対向するリブ２３を周設し、これら前方のフランジ４と後方のリブ２３の間にウイング２０を注入埋設するようにしている。
ウイング２０は、フランジ４とリブ２３の間に、液状のエポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂等がポッティングされ、固化されることにより成形される。このウイング２０のガイド面２２は、前後方向に湾曲形成されたり、あるいは平坦等に形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、フランジ４とリブ２３の間の窪みを簡単に埋めることができるのは明白である。
【００３０】
なお、上記実施形態ではフロントオープンボックス１の全周壁を囲むウイング２０を示したが、何らこれに限定されるものではなく、要部のみに設けても良い。例えば、加工装置３０のダウンフローが強く衝突して乱流を引き起こし、エアの巻き込みが多い場合、フロントオープンボックス１の天井やフランジ４の上部のみにウイング２０を設けることができる。また、フランジ４は、加工装置３０にクランプして固定される場合があるので、クランプ部以外の領域にウイング２０を設けても良い。
【００３１】
【実施例】
以下、本発明に係る収納容器の実施例について比較例と共に説明する。
実施例
先ず、フロントオープンボックスのフランジの先端部にウイングを図１や図２のように一体成形した。このフロントオープンボックスは、３００ｍｍの半導体ウェーハを整列収納するＦＯＵＰ用とした。こうしてフランジとウイングとを一体化したら、フロントオープンボックス内にパーティクルカウンタを収納し、このフロントオープンボックスをＳＥＭＩ規格準拠のロードポートに位置決めして搭載し、蓋体を所定の速度で開閉してフロントオープンボックス内のパーティクルをパーティクルカウンタにより計測し、その計測結果を表１にまとめた。
【００３２】
蓋体の開閉速度は、０．５ｍ／ｓｅｃ^２、又は０．１０ｍ／ｓｅｃ^２とした。また、計測に際しては、粒径が０．２〜０．３５μｍの範囲のパーティクルを対象とした。
【００３３】
比較例
フロントオープンボックスのフランジの先端部にウイングを成形しないこととし、その他は実施例と同様として計測結果を表１にまとめた。
検討結果
表１からも明らかなように、実施例によれば、フロントオープンボックスから蓋体が取り外されたとき、パーティクルがウイングにガイドされて後方に流れ、フロントオープンボックスの開口から内部にパーティクルが巻き込まれるのを抑制することができた。
【００３４】
【表１】

【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、容器本体の開口周辺の汚れた流体が容器本体内に巻き込まれるのを防ぎ、コストの抑制を図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る収納容器の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る収納容器の実施形態におけるフランジと一体化されたウイングを示す要部断面説明図である。
【図３】本発明に係る収納容器の第２の実施形態におけるフランジと一体化されたウイングを示す要部断面説明図である。
【図４】本発明に係る収納容器の第３の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図５】本発明に係る収納容器の第３の実施形態におけるウイングを示す要部断面説明図である。
【図６】本発明に係る収納容器の第４の実施形態におけるウイングを示す要部断面説明図である。
【図７】本発明に係る収納容器の第５の実施形態におけるウイングを示す要部断面説明図である。
【図８】オープナーのカバー体が収納容器の蓋体に係合してラッチ機構を解錠動作させる状態を示す断面説明図である。
【図９】図８のカバー体が下降して蓋体を離隔させ、フロントオープンボックスと垂直壁の窓とが開放する状態を示す断面説明図である。
【図１０】フランジ付近に付着しているパーティクルをクリーンエアが巻き込み、フロントオープンボックス内にパーティクルが流入する状態を示す図９における円部分の断面説明図である。
【符号の説明】
１フロントオープンボックス（容器本体）
４フランジ
１０蓋体
２０ウイング（流体巻き込み規制体）
２１隙間
２２ガイド面
２３リブ
２４空隙
３０加工装置
３１オープナー
３３窓
３５カバー体[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a storage container used for storing, transporting, storing, processing, and the like a precision substrate made of a semiconductor wafer, a mask glass, or the like.
[0002]
[Prior art]
In recent years, the semiconductor industry has begun to use precision substrates made of large-diameter semiconductor wafers having a diameter of 200 mm to 300 mm in order to further improve productivity. Although such large-diameter precision substrates contribute to the increase in chip size and improvement in productivity, they are bent by the increased own weight regardless of whether they are supported vertically or horizontally, so they are stored in a storage container to prevent damage. It is handled in the state that was done.
[0003]
As shown in FIGS. 8 and 9, this type of storage container has a front open box 1 having a front opening for aligning and storing a plurality of precision substrates (not shown), and a detachable opening / closing opening for the front open box 1. And a seal gasket interposed and sealed between the peripheral edge of the opening of the front open box 1 and the lid 10 and set in a precision substrate processing apparatus 30 (see Patent Document 1). ). The front open box 1 is provided with a flange 4 around the entire peripheral edge of the opening, and supports precision substrates on both inner sides. The lid body 10 has a front retainer for supporting a precision substrate mounted on the inner surface thereof, and has a built-in latch mechanism that interferes with the peripheral edge of the opening of the front open box 1.
[0004]
The processing device 30 is partitioned from the outside to ensure a clean environment, and an opener (automatic lid opening / closing machine) 31 is installed in the interface section. The opener 31 attaches and detaches the lid 10 and mounts a precision substrate. Functions to insert and remove. This processing device 30 is used in a state where it is slightly pressurized from the outside. In addition, the opener 31 includes a support surface 32 on which the storage container is horizontally mounted, a vertical wall 34 having a window 33 facing the lid 10 of the storage container, and a window 33 for inserting and removing the precision substrate on the vertical wall 34. A cover 35 that can be opened and closed and that can move up and down to engage with the lid 10. The window 33 of the vertical wall 34 allows the clean air indicated by the arrows in FIGS. 9 and 10 to slightly flow out from the inside of the processing apparatus 30 to the outside when opened, thereby preventing particles from entering from the outside.
[0005]
In the above, when processing a precision substrate by the processing device 30, first, as shown in FIG. 8, a storage container is set on the support surface 32 of the opener 31 and the flange 4 is slightly attached to the peripheral portion of the window 33. They face each other through a gap. Then, the cover body 35 of the opener 31 is engaged with the lid 10 of the storage container to unlock the latch mechanism, and the cover 10 is linearly separated from the front open box 1 of the storage container, and the cover body 35 is The lid 10 is lowered to completely separate the lid 10, and the front open box 1 and the window 33 of the vertical wall 34 are simultaneously opened (see FIG. 9). When the front open box 1 and the window 33 of the vertical wall 34 are opened in this way, the precision substrate is loaded or unloaded, and the processing device 30 is subjected to various types of processing.
[0006]
When various processes are performed on the precision substrate, the precision substrate is stored again in the front open box 1 of the storage container, and the lid 10 is fitted into the opening of the front open box 1 by the reverse of the above operation, and the latch is latched. The front open box 1 is firmly closed by the lid 10 by the locking operation of the mechanism. Thereafter, the storage container is gripped and transported by the automatic transporter, set in another processing device 30, and the same operation and processing as described above are performed. By repeating such operations and processes, electronic circuits are gradually formed on the precision substrate.
[0007]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-58633
[Problems to be solved by the invention]
The conventional storage container is configured as described above. However, when the lid 10 is removed from the front open box 1, dirty air and particles around the opening of the front open box 1 are caught in the front open box 1. As a result, there is a problem that the precision substrate is contaminated. Describing this problem in detail, dirty air and particles are generally prevented from entering by clean air leaking from the window 33 of the vertical wall 34. However, when the lid 10 is removed, the opening of the front open box 1 is instantaneously opened, and the inside of the front open box 1 has a lower pressure than the clean environment of the processing device 30, so that the clean air can function sufficiently. Dirty air and particles are taken into the front open box 1 without being contaminated, and as a result, the precision substrate is contaminated.
[0009]
In particular, as shown in the circular portion of FIG. 9 and FIG. 10, clean air once leaking out of the particles adhering near the flange 4 of the front open box 1 is entrained, and the particles flow into the front open box 1. Is a big problem that cannot be ignored. To solve such a problem, it is sufficient to increase the outflow amount of clean air. However, in such a case, a serious problem that particles in the clean room soar will newly occur. Furthermore, it is extremely difficult to suppress running costs.
[0010]
The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a storage container that can prevent dirty fluid around an opening of a container main body from being caught in the container main body and can reduce costs. .
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in order to achieve the above object, the container main body is opened and closed by a lid, and when the lid is removed from the opening of the container main body, the fluid flows into the container main body from the outside. And a fluid entrainment regulating body for regulating the pressure.
The container main body may be a front open box, and a flange may be formed on a peripheral portion of the opening, and a fluid entrainment regulating body may be provided on at least one of the flange and the rear of the flange.
Further, a guide surface for guiding the fluid may be formed on the fluid entrainment member, and the guide surface may be substantially parallel to the ceiling surface of the front open box.
[0012]
Here, the container body in the claims is mainly a front open box such as FOUP, FOSB, VOUP or the like. Alternatively, a process cassette, an open cassette, or an open box with open front and rear surfaces may be used. A conductive substance is added to this container body as necessary, or an antistatic treatment or the like is performed. The container body mainly stores one or more substrates such as precision substrates, and the precision substrates include at least a semiconductor wafer, a liquid crystal cell, quartz glass, a mask substrate, and the like.
[0013]
A latch mechanism is incorporated in the lid as needed. The fluid includes various gases, dirty air, particles, and the like. Further, the fluid entrainment restricting body is formed integrally or detachably with a part or all of the vicinity of the peripheral edge of the opening of the container body. In the case where a partial provision is made to reduce the weight, an upper portion near the opening peripheral portion of the container body is preferable. The fluid entrainment body may be substantially parallel to the facing surface of the container body, or may be inclined or curved so as to gradually separate from the facing surface of the container body. When the relationship is substantially parallel to the facing surface of the container body, it is preferable that the relationship is parallel to or approximately parallel to the facing surface of the container body.
[0014]
According to the present invention, when the lid is removed from the container main body, at least the dirty fluid around the opening of the container main body is guided by the fluid entrainment regulating body and flows in the opposite direction to the opening of the container main body, and the container main body Move away from the opening. Therefore, it is possible to prevent the dirty fluid from being caught in the container body from the opening.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, a storage container according to the present embodiment is a transparent front that aligns and stores a plurality of precision substrates (not shown). An open box 1 and a lid 10 for opening and closing the opening of the front open box 1 are provided. A wing 20 is integrally formed on a flange 4 of the front open box 1. When the body 10 is removed by the cover body 35 of the opener 31, the wings 20 restrict air from flowing into the front open box 1 from the vicinity of the opening.
[0016]
The front open box 1 is injection-molded into a transparent box with an open front using polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, or the like, which is excellent in lightness and moldability, and a bottom identification area (not shown) is provided. A plate is detachably mounted, and a robotic handle 2 gripped by an automatic transporter is detachably screwed to a central portion of the ceiling.
[0017]
The front open box 1 secures sufficient strength, rigidity, and dimensional stability so as not to be deformed, and guarantees normal operation of an automatic transfer device such as an AGV (Auto Guided Vehicle). Positioning tools 3 having a substantially inverted V-shaped cross section are integrally or detachably disposed on both sides of a front portion and a center of a rear portion of a bottom portion of the front open box 1. It engages with the positioning pin 31 (see FIGS. 8 and 9 for this point).
[0018]
The processing device 30 referred to here is a device for loading a precision substrate from the front open box 1 of the storage container and transferring it to another storage container, removing the lid 10 from the storage container, or removing the front body 10 from which the lid 10 is removed. A device that mounts the open box 1, loads a precision substrate, and performs processing and processing such as oxidation, photoresist coating, exposure, etching, cleaning, and thin film formation.
[0019]
A flange 4 projecting outward is provided around the entire periphery of the opening of the front open box 1, and the flange 4 orthogonal to the peripheral wall forms a seal between the flange 4 and the cover 35 of the opener 31. It functions to regulate the outflow of the trapped air into the clean environment when the cover 10 is engaged with the cover 10. A plurality of upper and lower locking holes 5 are formed in the inner peripheral surface of the flange 4, respectively. On both sides of the inside of the front open box 1, supports 7 provided with a plurality of rib pieces 6 are arranged, and the rib pieces 6 of each support 7 arrange precision substrates in a vertical direction at a predetermined pitch. Support it horizontally.
[0020]
The lid 10 is formed in a substantially rectangular shape so as to correspond to the open front of the front open box 1, and has a front retainer that supports a precision substrate via an inner surface (a surface facing the back of the front open box 1) via a rib piece. (Not shown) is mounted, and a pair of key holes 11 penetrated through the cover body 35 of the processing device 30 is formed on the left and right sides of the outer surface, and a latch mechanism 12 operated by the cover body 35 is formed. Is built-in.
[0021]
Based on the operation of the cover body 35, the latch mechanism 12 causes the plurality of retractable locking claws 13 to protrude from the peripheral edge of the lid 10 and fits and locks into the locking holes 5 of the front open box 1. It functions so as to firmly close the lid 10 fitted into the opening of the front open box 1. A frame-shaped seal gasket 14 is fitted to the peripheral edge of the lid 10, and the seal gasket 14 is interposed between the peripheral edge of the opening of the front open box 1 and the lid 10 to seal.
[0022]
As shown in FIG. 2, the wing 20 is formed in a substantially plate-shaped cross section and is integrated with the front end of the flange 4, and defines a gap 21 of a substantially dead end between the ceiling and the flange 4 of the front open box 1. At the same time, the front opening box 1 is linearly oriented from the front to the back, and effectively prevents dirty air and particles from being caught in the front opening box 1 when the lid 10 is removed.
[0023]
The wing 20 is formed to have a length of 5 mm or more, preferably 15 to 30 mm, from the viewpoint of preventing the backflow of air and suppressing the weight, and is formed selectively on all or a part of the peripheral edge of the flange 4. The upper surface of the wing 20 is formed on a flat guide surface 22 for guiding various gases, dirty air, and particles, and the guide surface 22 forms a parallel relationship with the ceiling surface of the front open box 1. The other parts are the same as in the conventional example, and the description is omitted.
[0024]
According to the above configuration, when the lid 10 is removed from the front open box 1, dirty air and particles around the opening of the front open box 1 are guided by the guide surface 22 of the wing 20 and flow from the front to the rear. Since it is away from the opening of the open box 1, it does not get caught inside from the opening of the front open box 1. Therefore, the contamination of the precision substrate can be suppressed and prevented with a simple configuration. In particular, it is possible to effectively solve the large problem that the clean air once leaked from the particles adhering to the vicinity of the flange 4 of the front open box 1 is entrained and the particles flow into the front open box 1.
[0025]
Also, even if particles or clean air that has leaked out once stays behind the flange 4, it can be trapped in the closed gap 21 between the ceiling of the front open box 1 and the wing 20. The backflow of air can be prevented. Furthermore, since there is no need to increase the outflow amount of clean air, it is possible to prevent particles in the clean room from rising and running costs from increasing with a simple configuration.
[0026]
Next, FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In this case, the wing 20 is integrated with the flange 4 of the front open box 1 and the thickness of the front open box 1 is increased from the front to the back. In a substantially block shape. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.
In this embodiment, the same operation and effect as those of the above embodiment can be expected, and the gap 21 between the front open box 1 and the wing 20 can be omitted. It is clear that the suppression can be prevented and the productivity can be improved.
[0027]
Next, FIGS. 4 and 5 show a third embodiment of the present invention. In this case, a rib 23 facing the front flange 4 with a gap 24 therebetween is provided on the peripheral wall of the front open box 1. A wing 20 is detachably fitted in a space 24 between the front flange 4 and the protruding rear rib 23.
The wing 20 is formed into a frame shape using, for example, various synthetic resins, elastic thermoplastic elastomers, rubbers, or the like, and is tightly fitted in the gap 24 between the flange 4 and the rib 23. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.
In this embodiment, the same operation and effect as those in the above embodiment can be expected, and since the wing 20 is a separate member, it is obvious that the cleaning can be easily performed.
[0028]
Next, FIG. 6 shows a fourth embodiment of the present invention. In this case, a rib 23 facing the front flange 4 with a gap 24 is provided around the peripheral wall of the front open box 1. The wing 20 is provided between the front flange 4 and the rear rib 23.
The wing 20 is formed in a plate shape, and is installed between the flange 4 and the end surface of the rib 23 by a method such as adhesion, adhesion, ultrasonic sealing, heat sealing, or the like. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.
In the present embodiment, the same operation and effect as those of the above embodiment can be expected, and since it does not fill the entire gap 24 between the flange 4 and the rib 23, it is apparent that the weight of the wing 20 can be reduced. It is.
[0029]
Next, FIG. 7 shows a fifth embodiment of the present invention. In this case, a rib 23 facing the front flange 4 with a gap 24 is provided around the peripheral wall of the front open box 1. The wing 20 is injected and buried between the front flange 4 and the rear rib 23.
The wing 20 is formed by potting and solidifying a liquid epoxy resin, polyurethane resin, polyethylene resin or the like between the flange 4 and the rib 23. The guide surface 22 of the wing 20 is formed to be curved in the front-rear direction, or is formed to be flat or the like. The other parts are the same as those in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.
In this embodiment, the same operation and effect as the above embodiment can be expected, and it is clear that the depression between the flange 4 and the rib 23 can be easily filled.
[0030]
In the above-described embodiment, the wing 20 surrounding the entire peripheral wall of the front open box 1 is shown. However, the present invention is not limited to this, and the wing 20 may be provided only in the main part. For example, when the downflow of the processing apparatus 30 collides strongly and causes turbulence, and there is a large amount of air entrapment, the wings 20 can be provided only on the ceiling of the front open box 1 or on the upper part of the flange 4. Since the flange 4 may be fixed by being clamped to the processing device 30, the wing 20 may be provided in a region other than the clamp portion.
[0031]
【Example】
Hereinafter, examples of the storage container according to the present invention will be described together with comparative examples.
Example First, a wing was integrally formed at the tip of the flange of the front open box as shown in FIGS. This front open box was used for a FOUP in which 300-mm semiconductor wafers were aligned and stored. After the flange and wing are integrated in this way, the particle counter is stored in the front open box, this front open box is positioned and mounted on the SEMI standard load port, and the lid is opened and closed at a predetermined speed to open the front. Particles in the open box were measured by a particle counter, and the measurement results are summarized in Table 1.
[0032]
Closing speed of the lid was a 0.5 m / sec ^2, or 0.10 m / sec ^2. In the measurement, particles having a particle size in the range of 0.2 to 0.35 μm were targeted.
[0033]
Comparative Example The wing was not formed at the tip of the flange of the front open box, and the other results were summarized in Table 1 as in the example.
As is clear from the examination result Table 1, according to the embodiment, when the lid is removed from the front open box, particles are guided by the wings and flow backward, and particles enter inside from the opening of the front open box. It was possible to suppress getting caught.
[0034]
[Table 1]

[0035]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, there is an effect that a dirty fluid around the opening of the container body is prevented from being caught in the container body, and the cost can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective explanatory view showing an embodiment of a storage container according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view of a main part showing a wing integrated with a flange in the embodiment of the storage container according to the present invention.
FIG. 3 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing integrated with a flange in a second embodiment of a storage container according to the present invention.
FIG. 4 is an overall perspective explanatory view showing a third embodiment of the storage container according to the present invention.
FIG. 5 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing of a storage container according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing of a storage container according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an explanatory sectional view of a main part showing a wing of a storage container according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view showing a state where the cover body of the opener is engaged with the lid of the storage container to unlock the latch mechanism.
9 is a cross-sectional explanatory view showing a state where the cover body of FIG. 8 is lowered to separate the lid body, and the front open box and the window of the vertical wall are opened.
FIG. 10 is a cross-sectional explanatory view of a circular portion in FIG. 9 showing a state in which particles adhering near a flange are entrained by clean air and particles flow into a front open box.
[Explanation of symbols]
1 front open box (container body)
4 Flange 10 Lid 20 Wing (fluid entrainment restrictor)
Reference Signs List 21 gap 22 guide surface 23 rib 24 gap 30 processing device 31 opener 33 window 35 cover body

Claims

A storage container that opens and closes a container body with a lid, comprising a fluid entrainment restricting body that restricts a fluid from flowing into the inside from the outside of the container body when the lid is removed from an opening of the container body. A storage container, characterized in that:

2. The storage container according to claim 1, wherein the container main body is a front open box, a flange is formed on a peripheral portion of the opening, and a fluid entrainment restrictor is provided on at least one of the flange and the rear of the flange.

The container according to claim 2, wherein a guide surface for guiding the fluid is formed in the fluid entrainment member, and the guide surface is substantially parallel to a ceiling surface of the front open box.