JP4090115B2 - Substrate storage container - Google Patents

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JP4090115B2 JP16054398A JP16054398A JP4090115B2 JP 4090115 B2 JP4090115 B2 JP 4090115B2 JP 16054398 A JP16054398 A JP 16054398A JP 16054398 A JP16054398 A JP 16054398A JP 4090115 B2 JP4090115 B2 JP 4090115B2
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Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、内部に半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称する)等の基板を収納し、基板の輸送、基板の加工・処理用の加工装置に対する位置決め、加工装置間の搬送、及び又は貯蔵に使用される基板収納容器に関し、より詳しくは、基板収納容器の使用される工程を区分するための識別部材に関するものである。 The present invention is, inside the semiconductor wafer (hereinafter, abbreviated as a wafer) substrate, such as houses, transportation of the substrate, positioning with respect to the processing device for processing and processing of the substrate, the transport between the machining devices, and or used storage it relates to a substrate storage container which is, more particularly, to a discrimination member for discriminating the processes used in the substrate storage container.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
半導体の製造に関わるウェーハやマスクガラス等の基板は、半導体デバイスの厳しい価格競争に伴い、歩留向上によるコストダウンを目的として口径の大型化(例えば250mm、300mmないし400mm以上)が急ピッチで進められている。 Substrate such as a wafer or a mask glass involved in semiconductor manufacturing, due to severe price competition of semiconductor devices, the diameter size of the purpose of cost reduction by a retention (e.g. 250 mm, or more 400mm to no 300 mm) is advanced in a rapid pace It is. 同時に、半導体回路は益々微細化が進められているので、基板を加工する工場はもとより、基板の運搬時に使用される基板収納容器に関しても高度にクリーンである状態が要求されてきている。 At the same time, since the advanced semiconductor circuit increasingly miniaturized, plant as well as the state is a highly clean has been required with regard substrate storage container used during transportation of the substrate for processing a substrate.
このような要求を実現する方法として、基板の加工に必要な工程のみを高度にクリーンな環境下とし、このクリーンな環境間を密閉された基板収納容器を使用して基板を搬送する方法が採用されている。 As a method to realize such a request, only the steps necessary for processing of the substrate and a highly clean environment, to adopt a method of transporting the substrate using a sealed substrate container between the clean environment It is. こうした中、収納された基板を汚染させることなく搬送可能で、しかも、加工装置に直接アクセスすることのできる基板収納容器の開発が進められている。 Under these circumstances, the transportable without contaminating the accommodated substrates, moreover, development of substrate storage container that can directly access the working device has been promoted.
【0003】 [0003]
基板の輸送や加工装置32に対する位置決めに使用される従来の基板収納容器100は、図15(a)、(b)に示すように、図示しない複数の基板を整列収納する容器本体1と、この容器本体1の開口正面をシールして被覆する蓋体15と、容器本体1の底面に装着又は一体成形されて全底面を覆うボトムプレート又はボトムプレート部(以下、ボトムプレートと総称する)22とを備え、加工装置32に位置決めして搭載接続される。 Conventional substrate storage container 100 used for positioning with respect to the substrate transport and processing device 32, FIG. 15 (a), the container body 1 so as to indicate, positioning and storing a plurality of substrates (not shown) (b), the a lid 15 for covering and sealing the opening front face of the container body 1, the bottom plate or the bottom plate portion to cover the entire bottom surface mounted or formed integrally with the bottom surface of the container body 1 (hereinafter, collectively referred to as bottom plate) 22 and comprising a, it is mounted connected to position the processing apparatus 32.
【0004】 [0004]
蓋体15には図示しないラッチ機構と、このラッチ機構の動作でスライドする図示しないラッチプレートとが連結して内蔵され、ラッチ機構が外部から施錠操作、あるいは解錠操作されることで容器本体1の開口正面とラッチプレートの図示しない係止爪とが嵌脱し、蓋体15が装着又は取り外される。 A latch mechanism (not shown) in the lid 15, a latch plate (not shown) slides the operation of the latch mechanism is built by connecting the container body 1 by the latch mechanism is locked operation or unlocking operation from the outside opening front and emerged with locking claws (not shown) of the latch plate is fitted in the lid 15 is attached or detached. また、ボトムプレート22の底面には識別突起27と凹部43とが互いに間隔をおいてそれぞれ成形されている。 Moreover, it is molded respectively at the identification protrusion 27 and the recess 43 is apart from each other on the bottom surface of the bottom plate 22.
【0005】 [0005]
加工装置32は、基板収納容器100を搭載するロードボード33を備え、このロードボード33の表面には識別突起用の検出センサ34と、誤った基板収納容器100の搭載接続を防止する単数又は複数のインターロックピン35とが互いに間隔をおいて配設されている。 Processing apparatus 32 is provided with a loading board 33 for mounting the substrate storage container 100, one or more to prevent the detection sensor 34 for identification protrusion on the surface of the loading board 33, wrong mounting connection of the substrate storage container 100 and interlock pin 35 is disposed at a distance from each other.
【0006】 [0006]
上記構成において、基板を処理・加工する場合には、先ず、加工装置32のロードボード33に基板収納容器100がボトムプレート22を介し位置決めして搭載接続され、蓋体15のラッチ機構が解錠操作されて容器本体1の図示しない正面(図15(a)、(b)において、紙面に対して垂直な背面)から係止爪が外れ、容器本体1の正面から蓋体15が取り外される。 In the above configuration, in the case of processing and processing the substrate, first, a substrate storage container 100 to the load board 33 of the processing apparatus 32 is mounted and connected to position through the bottom plate 22, the latch mechanism of the lid 15 is unlocked engineered with a front (not shown) of the container body 1 (FIG. 15 (a), the (b), the vertical rear relative to the paper surface) disconnected engaging pawl from the lid 15 from the front of the container body 1 is removed. この際、ロードボード33の検出センサ34は、識別突起27を検出確認して基板収納容器の有無を検出する。 At this time, the detection sensor 34 of the load board 33 confirms detect identification protrusion 27 for detecting the presence or absence of the substrate storage container. また、ボトムプレートの凹部43は、インターロックピン35に遊嵌してその干渉を有効に回避する。 The recess 43 of the bottom plate, to effectively avoid the interference loosely fitted to the interlock pin 35. このようにして蓋体15が取り外されたら、基板は、基板収納容器100の内部から加工装置32にローディングして取り込まれ、その後、処理・加工される。 Once this way lid 15 is removed, the substrate is taken in loading the interior of the substrate storage container 100 to the processing unit 32, then processed and processed.
【0007】 [0007]
ところで、半導体デバイスメーカにおいては、例えばウェーハの薄膜形成の前後で使用する基板収納容器100のコンタミネーション(contamination:ウェーハの表面に、加工精度やデバイス特性に悪影響を及ぼすパーティクル、有機分子、又は金属蒸着膜等が付着すること等をいう)を防止するため、金属蒸着前の基板を取り込む側の基板収納容器100Aと、処理が終了した基板を取り込む側の基板収納容器100Bとを特に区別して用いている。 Incidentally, in the semiconductor device maker, for example, contamination of the substrate storage container 100 used before and after the film formation of the wafer (Contamination: the surface of the wafer, adversely affects particle processing accuracy and device characteristics, organic molecules, or metal deposition to prevent means that such film or the like is attached), and the substrate storage container 100A on the side to take the substrate before the metal deposition process is used in particular distinguish between substrate storage container 100B on the side to take the substrate has been completed there.
この点に鑑み、金属蒸着処理に対する基板供給側(以下、前工程という)で使用される基板収納容器100Aと、金属蒸着後(以下、後工程という)に使用される基板収納容器100Bとは、図15(a)、(b)に示すように、識別突起27と凹部43とが異なる位置に設けられ、識別の容易化が図られている。 In view of this, substrate supply-side to the metal deposition process (hereinafter, before that step) and a substrate storage container 100A used in a substrate container 100B that after metal deposition (hereinafter, referred to as post-process) are used, the FIG. 15 (a), the (b), the identification protrusion 27 and the recess 43 are provided at different positions, ease of identification is achieved.
【0008】 [0008]
なお、この種の関連先行技術文献として、特表昭61−502994号、特表昭63−503259号、特表昭63−500691号、特公平6−38443号、特公平7−46694号、及び特開平8−279546号公報等があげられる。 As a related prior art documents of this type, Kohyo Sho 61-502994, Kohyo Sho 63-503259, Kohyo Sho 63-500691, Kokoku 6-38443 Patent, Kokoku 7-46694 Patent, and JP-A-8-279546 Publication, and the like.
【0009】 [0009]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
従来の基板収納容器は、以上のように構成されているが、基板の大口径化(例えば、300mmウェーハ)に対応して非常に大型化し、設備や設備投資の増加を招いている。 Conventional substrate storage container is configured as described above, large diameter of the substrate (e.g., 300 mm wafer) was very large in correspondence with, leading to an increase in equipment and capital investment. こうした点を改善するため、近年、基板収納容器100と加工装置32の標準規格化が進められている。 To improve this point, in recent years, standardization of a substrate storage container 100 and the processing device 32 has been advanced.
【0010】 [0010]
しかしながら、半導体デバイスメーカにおいては、基板の処理や加工工程が複雑多岐なので、例えば金属蒸着による薄膜形成の後工程においては、収納する基板によって基板収納容器100Bが必要以上に汚染してしまうこととなる。 However, in the semiconductor device maker, since the processing and machining steps of the substrate is complicated manifold, in the step after the film formation by e.g. metal deposition, so that the contaminate more than necessary substrate storage container 100B by a substrate for housing . したがって、前工程の基板を収納する場合には、汚染していない基板収納容器100Aを汚染した基板収納容器100Bと区別して用いる必要がある。 Therefore, in the case of housing the substrate before step, it is necessary to use as distinct from the substrate storage container 100B which contaminate the substrate container 100A that is not contaminated. このため、基板収納容器100の主要部が同一に構成されても、基板の前工程と後工程とを区別するための識別突起27等の仕様が異なるので、製造に際しては、基板収納容器100の成形用の金型を2種類製作して別々に成形するか、あるいは識別突起等の識別部分を入れ子にして交換可能とする手法を採用しなければならない。 Therefore, also the main portion of the substrate storage container 100 is configured the same, since the specifications such identification protrusion 27 for distinguishing and post-process and pre-process substrate are different, at the time of manufacture, the substrate storage container 100 or a mold for molding two types manufactured to be molded separately, or must adopt a technique that enables exchange identification portion of the identification protrusion or the like is nested.
【0011】 [0011]
しかし、このような手法では、複数個の金型を起型しなくてはならないので、金型の投資額が増加してしまうこととなる。 However, in such an approach, because it must be Okoshigata a plurality of mold, so that the investment of the mold is increased. また、成形して得られる基板収納容器100は、その全体に比較して識別部分が小さかったり、あるいは底部に識別部分が設けられていると、外観的には区別が非常に困難なので、製品の管理や在庫管理の複雑化を招くという問題が生じる。 Further, the substrate storage container 100 obtained by molding, when small or identification portions as compared to the whole or bottom identification portion is provided, since distinction in appearance is very difficult, the product there is a problem that leads to the complexity of the management and inventory management. また、基板収納容器100の組立工程や検査工程においては、他の品種と混在、混入したり、あるいはコンタミネーションを起こしてしまうという問題も生じる。 In the assembly process and the inspection process of the substrate storage container 100, mixed with other varieties, contamination or, or a problem that would cause contamination occurs.
【0012】 [0012]
さらに、基板収納容器100を使用する半導体デバイスメーカにおいて、前工程で使用する基板収納容器100Aと、後工程で使用する基板収納容器100Bのいずれが不足しているかを把握するのは、工程が複雑な関係上、非常に困難である。 Further, in the semiconductor device manufacturer to use the substrate storage container 100, to grasp the substrate storage container 100A used in the previous step, which of a substrate storage container 100B to be used in the subsequent step is not enough, the process is complicated on a Do relationship, it is very difficult. したがって、基板収納容器100の不足の場合、短納期で発注するか、あるいは2種類の基板収納容器100の在庫を保有する等の対応をしなければならない。 Thus, in the case of a lack of substrate storage container 100, or to order in a short delivery time, or must the correspondence or the like for holding the stock of the two types of substrate storage container 100.
【0013】 [0013]
本発明は、上記問題に鑑みなされたもので、種種の加工装置にアクセス可能な基板収納容器の識別部分の小型化・共通化を図り、投資額を抑制し、管理工程を削減することのできる基板収納容器を安価に提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, capable of achieving miniaturization and standardization of identification feature accessible substrate storage container to the processing apparatus of various, suppress investment, to reduce the control step and its object is to provide a substrate storage container inexpensively.
【0014】 [0014]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
本発明においては上記課題を解決するため、加工装置に搭載され、基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口した正面をシールして被覆する蓋体とを備えたものであって、 To solve the above problems in the present invention which is mounted on a machining device, comprising a front open box type container body for housing the substrate, and a lid for covering and sealing the open frontal of the container body there is,
容器本体の底面に取り付けられ、加工装置に対して容器本体を位置決めする断面V字形の複数の位置決め具と、容器本体の底面の一部に形成される複数の工程識別領域と、各工程識別領域に設けられて円筒形のリブを呈する複数の取付手段と、この複数の取付手段の一又は複数個所に容器本体の使用される工程に応じ選択的に嵌められ、加工装置の検出センサに検出される別部品の識別部材とを含んでなることを特徴としている。 Attached to the bottom surface of the container main body, a plurality of steps identification area in which a plurality of positioning tools of V-shaped cross section for positioning the container body, is formed on a part of the bottom surface of the container body relative to the processing apparatus, each process identification area a plurality of attachment means exhibiting provided with a cylindrical rib in, depending selectively fitted into the process used for the container body in one or a plurality of locations of the plurality of attachment means, is detected in the detection sensor processing equipment It is characterized in that it comprises a separate part of the identification member that.
なお、取付手段に識別部材を着脱自在に嵌め入れることができる。 Incidentally, it is possible to fitted into the identification member detachably to the mounting means.
【0015】 [0015]
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも電気、電子、又は半導体等の製造分野で使用される単数複数の液晶セル、石英ガラス、半導体ウェーハ(シリコンウェーハ等)、又はマスクガラス等が含まれる。 Here, the substrate in the appended claims, at least electricity, including electronic, or singular plurality of liquid crystal cells used in the field of manufacturing semiconductors and the like, a quartz glass, a semiconductor wafer (silicon wafer or the like), or the mask glass is It is. また、容器の底面には底面自体と、必要に応じて底面に一体成形等されるボトムプレートのいずれもが含まれる。 Further, the bottom itself on the bottom of the container, include any of the bottom plate which is integrally molded like the bottom if necessary. このボトムプレートは、着脱自在の有無を特に問うものではない。 The bottom plate is not particularly asks whether removable. また、工程識別領域は、特に数を問うものではないが、少なくとも1領域あれば良く、通常は2領域である。 The step identification region is not particularly those questions the number may be at least 1 region, usually a second region. また、各取付手段は、ボスが好ましいが、特にこれに限定されるものではなく、円柱状や角柱状等の凸部や穴等の凹部からなるものでも良い。 Each mounting means, the boss is preferred, but the invention is not particularly limited thereto, and may be made of the recess of the projections and holes, etc. of cylindrical or prismatic shape. また、識別部材に対応して取付手段の内周面、及び又は外周面に、単数複数の凸部、ねじ、若しくは溝等を設けることも可能である。 Further, the inner peripheral surface of the mounting means in response to the identification members, and or the outer peripheral surface, the singular plurality of protrusions, screws, or it is also possible to provide a groove or the like.
【0016】 [0016]
また、識別部材は、その形状が工程毎に同じでも、異なるものでも良い。 The identification member has its shape be the same for each step may be different. この識別部材は、全部又は一部の取付手段に設けられる部分がボス、円柱状、又は角柱状等に構成され、残部に単数複数の凸部、ねじ等の締結具、又は溝等が設けられる。 The identification member boss portion provided in the mounting means of the whole or part, is configured in a cylindrical shape, or a prismatic or the like, the singular plurality of protrusions, fasteners, such as screws, or grooves and the like are provided to the remainder . これら取付手段と識別部材とは、熱溶着、超音波溶着、接着剤、又はホットメルト等を使用して一体構成することもできるし、嵌め合わせやねじ等の締結具等を使用して着脱自在な構成にすることも可能である。 And the identification member such attachment means, heat welding, ultrasonic welding, adhesives, or may be constituted integrally by using a hot-melt or the like, detachably using a fastener such as mating or threaded it is also possible to Do configuration. さらに、回避部は、ボトムプレートが各工程識別領域に干渉しない形状に形成されたり、あるいは容器本体の底面にほぼ対応した形のボトムプレートに、取付手段を露出させる単数複数の切欠や貫通孔等が設けられることにより、形成される。 Further, avoidance section, or is formed in a shape bottom plate does not interfere with the process identification area, or substantially to the bottom plate of the corresponding shape on the bottom surface of the container body, the singular plural exposing the attachment means cutout or a through-hole or the like by is provided, it is formed.
【0017】 [0017]
請求項1記載の発明によれば、基板収納容器と識別部材とが製造当初から一体ではなく、基板収納容器が使用される工程に応じ、容器本体の複数の取付手段のいずれかに別部品である識別部材を受注時や組立時等に必要に応じ設け、使用工程に対応する基板収納容器を組立てるので、複数の使用工程それぞれに対応する基板収納容器を製造する必要性がない。 According to the first aspect of the invention, rather than integrally from the substrate storage container identification member and is manufactured initially, depending on the step of the substrate storage container is used, as separate parts to one of the plurality of attachment means of the container body provided needed is the identification member in order or when assembling or the like, since assembling a substrate storage container corresponding to the use process, there is no need to produce a substrate storage container corresponding to a plurality of use process. したがって、設備やその投資額の増加等を抑制防止してコストダウンを図ることができる。 Therefore, the cost can be reduced by preventing suppress such increase in capital and their investment.
【0018】 [0018]
また、請求項2記載の発明によれば、識別部材が着脱自在であるから、基板収納容器の一の取付手段から識別部材を取り外し、他の取付手段に識別部材を取り付ければ、一の工程で使用していた基板収納容器を他の工程で使用することができる。 Further, according to the second aspect of the present invention, since the identification member is detachable, remove the identification member from a mounting means of the substrate storage container, by attaching the identification member in the other mounting means, in one step It may be used a substrate storage container has been used in other processes.
【0019】 [0019]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態になんら限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not intended to be limited to the following embodiments.
本実施形態における基板収納容器は、図1、図5、及び図6等に示すように、例えば400mmウェーハからなる複数の基板W(図3参照)を整列収納する容器本体1と、この容器本体1の開口一端面である正面を密封して閉鎖する蓋体15と、容器本体1の底面に装着されるボトムプレート22とを備え、容器本体1の底面に一対の工程識別領域24、取付手段である一対のリブ25・25A、及び識別部材である別部品の識別突起27(図9参照)がそれぞれ設けられており、ボトムプレート22には各工程識別領域24用の回避部31が形成されている。 Substrate storage container in the present embodiment, FIGS. 1, 5, and as shown in FIG. 6 or the like, for example, a container body 1 for positioning and storing a plurality of substrates W made of 400mm wafer (see FIG. 3), the container body a lid 15 for closing and sealing a front an opening end surface, and a bottom plate 22 which is mounted on the bottom surface of the container main body 1, a pair of steps identification area 24 on the bottom surface of the container body 1, the mounting means by and another part of the identification protrusion 27 (see FIG. 9) is respectively provided with a pair of ribs 25 · 25A, and the identification member is, avoiding portion 31 for each process identification area 24 is formed in the bottom plate 22 ing.
【0020】 [0020]
容器本体1は、図1に示すように、ポリカーボネートやアクリル樹脂等の合成樹脂を用い、少なくとも基板Wの整列収納状態を視認できる部位が透明であるオープンボックス構造に成形され、十分な強度、剛性、及び透視性が確保されるとともに、SEMI規格に基づいて標準化されており、必要に応じて帯電防止処理される。 The container body 1, as shown in FIG. 1, using a polycarbonate, synthetic resin such as an acrylic resin, a portion can be visually recognized positioning and storing the state of at least the substrate W is molded in an open box structure is transparent, sufficient strength, rigidity , and with see-through property is ensured, are standardized in accordance with SEMI standards, are antistatic treatment if necessary. この容器本体1は、その天井の中央部に天井搬送機に把持されるべき把持ハンドル2が締結具を介して螺着され、底面には複数のボスが所定の間隔をおいて突出成形されている。 The container body 1 is gripped handle 2 to be gripped on the ceiling conveyor is screwed through a fastener in the center of the ceiling, a plurality of bosses are projected molded at predetermined intervals on the bottom surface there.
【0021】 [0021]
容器本体1の開口正面の周縁部は外方向に膨出成形されてリム部3を形成し、このリム部3の内部段差面がシール面4を形成している。 Periphery of the opening front face of the container body 1 is swelled molded outwardly to form a rim portion 3, inside the stepped surface of the rim portion 3 forms a sealing surface 4. リム部3の内周面の上下には係止凹部3aが所定の間隔をおいてそれぞれ複数(本実施形態では合計4個)凹み成形されている。 Locking recess 3a on the upper and lower sides of the inner peripheral surface of the rim portion 3 is (a total of four in this embodiment) recessed molding plurality at predetermined intervals. また、容器本体1の両側壁には一対のマニュアル把持具1aが好ましくは着脱自在にそれぞれ取り付けられる。 Further, a pair of manual gripper 1a in both side walls of the container body 1 is preferably removably attached respectively.
【0022】 [0022]
容器本体1の内部背面には図2(a)、(b)に示すように、リヤリテーナ5が一体又は着脱自在に装着固定され、容器本体1の内部両側には相互に対向する一対の基板支持プレート6がそれぞれ配設されている。 Inside the rear of the container main body 1 FIG. 2 (a), the (b), the rear retainers 5 is mounted fixed in a freely integral or detachable, the pair of the substrate support facing each other on the inside sides of the container main body 1 plate 6 is disposed, respectively. リヤリテーナ5は、図2(a)、(b)や図3(a)、(b)に示すように、コンタミネーションが少なく、弾力性を有するポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、又は熱可塑性エラストマー等を成形材料として板形に成形されている。 Rear retainers 5, FIG. 2 (a), (b) and as shown in FIG. 3 (a), (b), less contamination, molding the polyethylene resin, polypropylene resin, or thermoplastic elastomer having elasticity It is formed in a plate shape as a material. このリヤリテーナ5は、通常は帯電防止処理され、中央部には基板Wの周縁部を弾発的に保持する断面U字形ないしV字形の棚溝7が上下に複数(例えば25本)並設されており、両側部には取り付け用の凹部8が、凹部8又は取付材により容器本体1に固定される。 The rear retainers 5, normally is antistatic treatment, Tanamizo 7 of U-shaped cross section to V-shape for holding the peripheral edge of the substrate W elastically is arranged more vertically (e.g. 25 lines) in the central part and, the concave portion 8 for mounting the sides is fixed to the container body 1 by the recess 8 or mounting member.
【0023】 [0023]
各基板支持プレート6は、図4に示すように、基板Wを水平状態に支持する棚プレート9を備え、この棚プレート9の上部にトッププレート10が、棚プレート9の下部にはほぼ半円弧形のアンダプレート11がそれぞれ設けられている。 Each substrate support plate 6, as shown in FIG. 4, includes a shelf plate 9 for supporting the substrate W in a horizontal state, the top plate 10 on top of the shelf plate 9, substantially semi-circular in the lower part of the shelf plate 9 the under plate 11 arcuate, respectively. 棚プレート9は、均一な肉厚に成形され、壁面には断面U字形ないしV字形を呈した複数の棚溝(例えば25本)12が上下方向に並べて成形されており、この複数の棚溝12に基板Wの周縁部がそれぞれ弾発的に支持される。 Shelf plate 9 is formed into a uniform wall thickness, the wall has a plurality of Tanamizo (e.g. 25 pieces) 12 exhibited V-shaped to no U-shaped cross section is formed side by side in the vertical direction, the plurality of Tanamizo the peripheral edge of the substrate W is respectively resiliently supported on the 12.
【0024】 [0024]
トッププレート10は、僅かに半円弧形に湾曲されるとともに、断面ほぼ逆ハット形に形成され、中央の凹部に棚プレート9の最上部のピンに嵌通される複数の取付孔13(図4では2個)が、両自由端部には容器本体1取り付け用の貫通孔14がそれぞれ穿孔成形されており、各貫通孔14と容器本体1の天井内面の突部(図示せず)とが相互に嵌合される。 The top plate 10, while being slightly curved in a semicircular arc shape, are formed in cross-section generally inverted hat-shaped, a plurality of mounting holes 13 (FIG. Which is fitting through the pin at the top of the shelf plate 9 in the center of the recess two in 4), the through hole 14 of the container main body 1 attached to both free ends are perforated molded respectively, and protruding portion of the ceiling inner surface of each through-hole 14 and the container body 1 (not shown) There are fitted to each other. なお、本実施形態においては、棚プレート9とトッププレート10とを別構造としたが、成形された一体構造が好ましい。 In the present embodiment has a shelf plate 9 and the top plate 10 with another structure, preferably molded integral structure.
【0025】 [0025]
蓋体15は、容器本体1と同様又は別の合成樹脂を用いて成形された外面プレート16と内面プレート17とを対向させ、これらのプレート16・17間の空間にはラッチ機構18が内蔵されている。 The lid body 15 and an outer surface plate 16 and the inner surface plate 17 which is molded using the same or another synthetic resin container body 1 is opposed, the latch mechanism 18 is built in the space between the plates 16, 17 ing. 外面プレート16の表面両側にはラッチ機構用の矩形の鍵穴16aが間隔をおいてそれぞれ穿孔成形され、この一対の鍵穴16aが使用されてラッチ機構18が動作する。 The surface sides of the outer surface plate 16 is respectively perforated molded at a rectangular keyhole 16a interval for latching mechanism, the latching mechanism 18 the pair of keyhole 16a is used to operate. また、内面プレート17にはリヤリテーナ5と相互に対向する同構成のフロントリテーナ19が着脱自在に装着固定されている。 The front retainer 19 of the configuration is freely attached and fixed detachably facing each other and rear retainers 5 to the inner surface plate 17. また、各種の熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、又はシリコーンゴム等からなる枠形のガスケット20が突起や溝等を介し着脱自在に嵌合され、このガスケット20が蓋体15の嵌合被覆時にリム部3のシール面4に圧接されてシールする。 Further, various thermoplastic elastomers, fluorine rubber, or the gasket 20 of the framed made of silicone rubber or the like is removably fitted over a projection or a groove or the like, the rim the gasket 20 when the fitting covering of the lid 15 is pressed against the third sealing surface 4 is sealed.
【0026】 [0026]
ラッチ機構18は、図8(a)、(b)に示すように、内面プレート17の内面両側の凸部にそれぞれ回転可能に軸支されて鍵穴16aに対向する一対のディスク180と、各ディスク180の外周部に揺動ピン181を介し連結された複数のラッチプレート182とを備えている。 Latch mechanism 18, FIG. 8 (a), the pair of disc 180 facing (b), the respectively to the convex portion of the inner surface sides of the inner surface plate 17 rotatably supported by and keyhole 16a, the disk and a plurality of latch plate 182 which is connected via a pivot shaft 181 on the outer peripheral portion 180. ディスク180は、断面ほぼコ字形に成形され、中心部の穴が施錠や解錠の際に使用される。 Disc 180 is molded to the cross-section substantially U-shaped, a hole in the center are used when the locking and unlocking. また、各ラッチプレートは、蓋体15の内部の上下両側にそれぞれ位置し、その先端部からは蓋体15の外周の貫通孔を貫通する係止爪183が突出しており、この係止爪183がリム部3の係止凹部3aに対して嵌脱する。 Also, each latch plate is located respectively on the upper and lower sides of the inside of the lid 15, from its tip protrudes the locking pawl 183 passing through the through hole of the outer periphery of the lid 15, the locking claw 183 There disengaged fitting against the locking recess 3a of the rim 3.
【0027】 [0027]
ボトムプレート22は、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリブチレンテレフタレート等の合成樹脂を用いてほぼY字形に成形され、容器本体1の底面の複数のボスに締結具を介し螺着されている。 Bottom plate 22, a polycarbonate is shaped substantially Y-shape using an acrylic resin, polyether ether ketone, or polybutylene terephthalate such as synthetic resin, it is screwed through the fasteners to a plurality of bosses of the bottom surface of the container main body 1 ing. このボトムプレート22の前部(図5の上方向)両側と後部には耐摩耗性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、又はポリカーボネート等製の位置決め具23が締結具を介しそれぞれ螺着されている。 Polyetheretherketone excellent in abrasion resistance the front on both sides and the rear (upper direction in FIG. 5) of the bottom plate 22, polybutylene terephthalate, or polycarbonate-made positioner 23 are respectively screwed via fasteners ing. この複数の位置決め具23は、SEMI規格に基づいて断面V字形に成形され、加工装置32(図15参照)のロードボード33に基板収納容器100が搭載される場合に、基板収納容器100を位置決めする。 The plurality of positioning member 23 is formed into a V-shape based on the SEMI standards, the processing apparatus 32 if the substrate storage container 100 to the load board 33 (see FIG. 15) is mounted, positioning the substrate storage container 100 to. なお、ボトムプレート22と複数の位置決め具23とは、一体成形でも良いが、着脱自在な別体であるのが最も好ましい。 Note that the bottom plate 22 and a plurality of positioning members 23 may be integrally molded, but is most preferably a separate detachable.
【0028】 [0028]
各工程識別領域24は、図5及び図6に示すように、SEMI規格に基づいて容器本体1の底面後方の両側とされている。 Each step identification area 24, as shown in FIGS. 5 and 6 are on both sides of the bottom rear of the container body 1 based on the SEMI standard. また、各リブ25・25Aは、図5及び図6に示すように、SEMI規格に基づいて容器本体1の工程識別領域24にボス形に突出して一体成形されている。 Further, the ribs 25 · 25A, as shown in FIGS. 5 and 6 are integrally molded projecting boss shaped to step identification area 24 of the container body 1 based on the SEMI standard.
このSEMI規格について詳説すると、SEMI規格2804のFig5のX22とY9寸法によれば、容器本体1の底面後方の両側におけるAとBの位置に、容器本体1の識別用の識別突起27と凹部43が必要とされている(図5参照)。 In detail this SEMI standard, according to X22 and Y9 dimensions of Fig5 the SEMI standard 2804, the position of the A and B on both sides of the bottom rear of the container main body 1, identification protrusion 27 and the recess for the identification of the container body 1 43 is required (see Fig. 5).
【0029】 [0029]
すなわち、基板処理の前工程に使用される基板収納容器100Aの場合、容器本体1の底面の中心を中心点とするXY座標の第4象限におけるBの位置に、加工装置32の水平基準面からの高さ9mm以上の位置にインターロックピン35との干渉を回避する識別突起27が必要とされ、第3象限におけるAの位置に、加工装置32の水平基準面からの深さ2mm以上の位置に基板収納容器100の有無の検出用の識別突起27が必要とされる。 Namely, in the case of a substrate storage container 100A that is used to pre-process the substrate processing, the position of B in the fourth quadrant of the XY coordinate having a center point the center of the bottom surface of the container body 1, a horizontal reference plane of the processing apparatus 32 is the height interlock pin 35 to 9mm or more positions interfering with necessary identification protrusion 27 to avoid the, to the position of a in the third quadrant, the position of more than 2mm deep from the horizontal reference plane of the processing apparatus 32 identification protrusion 27 for detection of the presence or absence of a substrate storage container 100 is needed.
【0030】 [0030]
一方、基板処理の後工程に使用される基板収納容器100Bの場合、上記とは逆に、第4象限におけるBの位置に、加工装置32の水平基準面からの下方向2mm以上の位置に識別突起27が必要とされ、第3象限におけるAの位置に、加工装置32の水平基準面からの高さ9mm以上の位置に識別突起27が必要とされる。 On the other hand, when the substrate storage container 100B used in step after substrate processing, contrary to the above, the position of B in the fourth quadrant, identification downward 2mm or more positions from the horizontal reference plane of the processing apparatus 32 projection 27 is required, the position of a in the third quadrant, identification protrusion 27 to the height 9mm or more positions from the horizontal reference plane of the processing apparatus 32 is required.
そこで、本実施形態においては、SEMI規格に鑑み、工程識別領域24のA、Bの位置にリブ25・25Aがそれぞれ一体成形されている。 Therefore, in this embodiment, in view of the SEMI standard, A process identification region 24, the position of the B rib 25 · 25A is formed integrally respectively. 各リブ25・25Aは、図6や図9(a)に示すように、円筒形を呈し、その内周面には環状溝26が全周にわたり凹み成形されている。 Each rib 25 · 25A, as shown in FIG. 6 and FIG. 9 (a), the exhibit a cylindrical, annular groove 26 is molded recess over the entire circumference on the inner circumferential surface thereof.
【0031】 [0031]
識別突起27は、図9(b)に示すように、ポリカーボネートやアクリル樹脂等の合成樹脂を用いて基本的にはピン形に成形されている。 Identification protrusion 27, as shown in FIG. 9 (b), basically using polycarbonate or synthetic resin such as acrylic resin is formed into a pin-shaped. 識別突起27は、その上部が縮径の嵌合部28に、下部が検出センサ34に検出される拡径の突起部29にそれぞれ成形され、嵌合部28の周面には環状溝26に密嵌する環状凸部30が全周にわたり突出成形されている。 Identification protrusion 27, the fitting portion 28 of the upper reduced diameter, are formed respectively on the projecting portion 29 of enlarged diameter which lower is detected in the detection sensor 34, the annular groove 26 on the peripheral surface of the fitting portion 28 annular projection 30 which closely fit are projectingly formed over the entire circumference. なお、識別突起27は、取付や検出等に支障が生じないのであれば、ポリカーボネートやアクリル樹脂以外の材料で構成することもできる。 The identification protrusion 27, if the trouble in the mounting and the detection and the like do not occur, can also be made of a material other than polycarbonate or acrylic resin.
【0032】 [0032]
さらに、回避部31は、各工程識別領域24と重ならないよう、ボトムプレート22がほぼY字形に成形されることにより、このボトムプレート22の後部両側に自然に区画形成される。 Further, avoidance section 31, so as not to overlap with each process identification area 24, by being molded on the bottom plate 22 is approximately Y-shape, are naturally partitioned and formed on the rear sides of the bottom plate 22. その他の部分については、従来例と同様であるので説明を省略する。 Other portions, description thereof is omitted because it is similar to the conventional example. なお、これに関連して、図7に示すように、容器本体1の必要な底面の中心部のみに縮小成形した矩形のボトムプレート22を固定し、 各位置決め具23を独立配置しても良い。 In relation to this, as shown in FIG. 7, a rectangular bottom plate 22 with a reduced molded only in the center of the required bottom surface of the container main body 1 is fixed, it may be independently arranged each positioner 23 .
【0033】 [0033]
上記構成において、基板収納容器100の受注があった場合には、基板収納容器100が前工程に使用されるか、あるいは後工程に使用されるかに応じ、基板収納容器100の一対のリブ25・25Aのいずれかに識別突起27を嵌入固定して組み立てれば良い。 In the above configuration, when there is order of the substrate storage container 100, depending on whether the substrate storage container 100 is used before or used in step, or later step, the pair of ribs 25 of the substrate storage container 100 - in any of 25A should Kumitatere be fitted fixing the identification protrusion 27.
【0034】 [0034]
このような基板収納容器100に収納された基板Wに所定の処理・加工を施す場合には、先ず、加工装置32のロードボード33に基板収納容器100がボトムプレート22を介し位置決めして搭載接続され、蓋体15のラッチ機構18が解錠操作されて容器本体1の正面内から係止爪183が外れ、容器本体1の正面から蓋体15が取り外される。 When performing the predetermined processing and processing such a substrate storage container 100 in the housing has been the substrate W, firstly, mounted and connected processing device 32 substrate cassette 100 to load board 33 is positioned over the bottom plate 22 is, engaging claw 183 from the front of the latch mechanism 18 is unlocked engineered with the container main body 1 of the lid 15 is disengaged, the lid 15 from the front of the container body 1 is removed. この際、ロードボード33の検出センサ34は、識別突起27を検出確認して基板収納容器100の有無を検出する。 At this time, the detection sensor 34 of the load board 33 confirms detect identification protrusion 27 for detecting the presence or absence of the substrate storage container 100. また、フリーのリブ(25・25Aのいずれか)は、インターロックピン35に遊嵌してその干渉を有効に回避する。 In addition, (one of the 25 · 25A) free of ribs, to effectively avoid the interference loosely fitted to the interlock pin 35. このようにして蓋体15が取り外されたら、基板Wは、基板収納容器100の内部から加工装置32にローディングして取り込まれ、その後、処理・加工される。 Once this way lid 15 is removed, the substrate W is taken in loading the interior of the substrate storage container 100 to the processing unit 32, then processed and processed.
【0035】 [0035]
上記構成によれば、基板収納容器100の使用工程にしたがい、一対のリブ25・25Aのいずれかに識別突起27を嵌入固定することができるから、2種類の基板収納容器100を製造する必要性が全くない。 According to the above configuration, according to the process used in the substrate storage container 100, because it is possible to fit fixing the identification protrusion 27 to one of the pair of ribs 25 · 25A, need to produce two types of substrate storage container 100 There is no. したがって、複数個の金型を起型する必要性が全くなく、金型の投資額の増加をきわめて有効に防止してコストダウンを図ることができる。 Therefore, a plurality of mold without any need for force-type, it is possible to reduce the cost of the increased investment mold very effectively prevented. また、基板収納容器100の共通化により、製品の管理や在庫管理の著しい簡略化が期待できる。 Further, the common substrate storage container 100, a significant simplification of the product management and stock management can be expected. また、基板収納容器100の組立工程や検査工程においても、他の品種とコンタミネーションや混合を起こすおそれが全くない。 Also, in the assembly process and the inspection process of the substrate storage container 100, there is no fear of causing other varieties and contamination and mixed. また、不足している基板収納容器100の把握が実に容易となるから、短納期で発注したり、あるいは2種類の基板収納容器100の在庫を保有する必要性を確実に解消することが可能になる。 Further, since the grasp of the substrate storage container 100 is missing it is indeed easy, or ordered in a short delivery time, or two it is possible to reliably eliminate the need to hold stocks of the substrate storage container 100 Become.
【0036】 [0036]
また、ポリカーボネート樹脂等を用いて容器本体1が一体成形されるので、軽量化や成形性を著しく向上させることができる。 Further, since the container main body 1 using a polycarbonate resin or the like is integrally molded, it is possible to significantly improve the weight and moldability. また、基板Wを収納した基板収納容器100を輸送容器として使用する場合、フロントリテーナ19とリヤリテーナ5とが基板Wの前後部の周縁部を保持するので、基板Wに対する振動の悪影響を有効に排除することができるとともに、基板Wの破損をきわめて有効に防止することができる。 Also, when using a substrate storage container 100 accommodating the substrate W as a shipping container, since the front retainer 19 and the rear retainers 5 holds a peripheral portion of the front and rear portions of the substrate W, effectively eliminate the adverse effects of vibration on the substrate W it is possible to, can be extremely effectively prevented from being damaged substrate W. また、別部品である一対の基板支持プレート6を使用し、各基板支持プレート6を成形性に優れた樹脂を用いて形状の簡素な小形に構成するので、そり等に伴う寸法ばらつきの発生防止が期待できる。 Further, using a pair of substrate support plate 6 is another part, so constituting a simple compact shape by excellent resin each substrate support plate 6 in moldability, dimensional variations due to warpage or the like prevention There can be expected.
【0037】 [0037]
さらに、容器本体1、基板支持プレート6、フロントリテーナ19、及びリヤリテーナ5等に帯電防止処理や導電性を付与した場合、静電気に伴う塵芥の付着を防止でき、基板Wの汚染を防止し、生産歩留まりを大幅に向上させることが可能になる。 Further, the container main body 1, the substrate support plate 6, the front retainer 19, and the case where the antistatic treatment or conductive granted to rear retainers 5 and the like, can prevent adhesion of dust due to static electricity, to prevent contamination of the substrate W, production it is possible to significantly improve the yield. さらにまた、リヤリテーナ5、基板支持プレート6、フロントリテーナ19、及びボトムプレート22が交換可能なので、部品の汚染や摩耗等が懸念される場合には、対象となる部品を交換・洗浄すれば良く、洗浄により容器本体1を何度でも使用することができる。 Furthermore, rear retainers 5, the substrate support plate 6, the front retainer 19, and since the bottom plate 22 is replaceable, if contamination and wear of the components is concerned, may be replaced and cleaned parts of interest, it can be used any number of times the container body 1 by washing.
【0038】 [0038]
次に、図10(a)、(b)は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、各リブ25・25Aの内周面に環状凸部30を全周にわたり突出成形し、識別突起27の嵌合部28の周面には環状凸部30に密嵌する環状溝26が全周にわたり凹み成形されている。 Next, FIG. 10 (a), (b) show a second embodiment of the present invention, in this case, the projecting annular convex portion 30 over the entire circumference on the inner peripheral surface of each rib 25 · 25A molded, the peripheral surface of the fitting portion 28 of the identification protrusion 27 annular groove 26 which closely fitted to the annular projection 30 is shaped recess over the entire circumference. その他の部分については、上記実施形態と同様である。 The other components are the same as the above embodiment. 本実施形態においても、簡易な構成で上記実施形態と同様の作用効果が期待できる。 In this embodiment, the same effect as the above embodiment can be expected with a simple configuration.
【0039】 [0039]
次に、図11(a)、(b)は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、各リブ25・25Aの内周面に雌螺子36を全周にわたり螺刻成形し、識別突起27の嵌合部28周面には雌螺子36に螺嵌する雄螺子37を全周にわたり螺刻成形している。 Next, FIG. 11 (a), (b) show a third embodiment of the present invention, in this case, threaded female screw 36 over the entire circumference on the inner peripheral surface of each rib 25 · 25A molded, it is threaded molded male thread 37 screwed into the female screw 36 over the entire circumference in the fitting portion 28 the peripheral surface of the identification protrusion 27. その他の部分については、上記実施形態と同様である。 The other components are the same as the above embodiment. なお、雌螺子36は、各リブ25・25Aの内周面に成形時又は成形後に適宜加工される。 Incidentally, the female screw 36 is appropriately processed after molding during or molded on the inner circumferential surface of each rib 25 · 25A.
【0040】 [0040]
本実施形態においても、簡易な構成で上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、識別突起27を着脱自在にセットすることができるから、例えば、基板収納容器100の一のリブ(25・25Aのいずれか)から識別突起27を取り外し、他のリブ(25A・25のいずれか)に識別突起27を螺嵌すれば、前工程で使用していた基板収納容器100Aを後工程で使用することができる。 Also in this embodiment, can be expected the same operational effect as in the above embodiment with a simple configuration, yet, because it is possible to detachably set in the identification protrusion 27, for example, one rib of the substrate storage container 100 (25 Remove the identification protrusion 27 from either) of · 25A, if screwed the identification protrusion 27 to the other rib (either 25A · 25), used in the subsequent step the substrate storage container 100A that was used in the previous step can do.
【0041】 [0041]
次に、図12(a)、(b)は本発明の第4の実施形態を示すもので、この場合には、各リブ25・25Aの内周面に雌螺子36を全周にわたり螺刻成形し、識別突起27を断面ほぼコ字形に成形してその中心部には雌螺子36に着脱自在に螺嵌するビス38が取り付けられている。 Next, FIG. 12 (a), (b) show a fourth embodiment of the present invention, in this case, threaded female screw 36 over the entire circumference on the inner peripheral surface of each rib 25 · 25A molded, at its central portion by forming the identification projection 27 in cross section substantially U-shaped and bis 38 screwed detachably into the female screw 36 is attached. その他の部分については、上記実施形態と同様である。 The other components are the same as the above embodiment. 本実施形態においても、簡易な構成で上記実施形態と同様の作用効果が期待できるのは明らかである。 In the present embodiment, it is apparent that the same effects as the above embodiment can be expected with a simple configuration.
【0042】 [0042]
次に、図13(a)、(b)は本発明の第5の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体1の各工程識別領域24にリブ25・25Aの代わりに嵌合ピン39を突出状態に一体成形するとともに、この嵌合ピン39の周面には半径外方向に指向する複数のキー溝40を所定の間隔をおいて周方向に成形し、識別突起27をピン形に成形してその上部には嵌合ピン39に密嵌する嵌合穴41を穿孔成形し、かつこの嵌合穴41の内周面には各キー溝40に嵌合する複数の溝42を所定の間隔をおいて周方向に凹み成形している。 Next, FIG. 13 (a), (b) is shows a fifth embodiment of the present invention, fitted in this case, each process identification area 24 of the container body 1 instead of the ribs 25 · 25A with integrally molded pins 39 projecting state, a plurality of key grooves 40 directed radially outwardly by forming the circumferential direction at predetermined intervals on the peripheral surface of the fitting pin 39, pin identification protrusion 27 a plurality of grooves 42 on its upper portion formed into a shape by drilling molded fitting hole 41 closely fitted to the fitting pins 39, and which fits into the keyway 40 on the inner peripheral surface of the fitting hole 41 the at predetermined intervals are indentations formed in the circumferential direction. その他の部分については、上記実施形態と同様である。 The other components are the same as the above embodiment. 本実施形態においても、簡素な構成で上記実施形態と同様の作用効果が期待できるのは明白である。 In the present embodiment, it is apparent that the same effects as the above embodiment can be expected by a simple configuration.
【0043】 [0043]
なお、上記実施形態ではリム部3の内周面上下に係止凹部3aをそれぞれ複数成形したが、なんらこれに限定されるものではない。 In the above embodiments it has been each of the plurality forming a locking recess 3a in the vertical inner peripheral surface of the rim portion 3, but not in any way limited thereto. 例えば、リム部3の内周面の左右両側に係止凹部3aをそれぞれ複数成形することもできる。 For example, it is also possible to each of the plurality forming a locking recess 3a on the left and right sides of the inner peripheral surface of the rim portion 3. また、これに対応させてラッチ機構18を変更して構成することもできる。 It is also possible to this by corresponding configuration by changing the latching mechanism 18. また、フロントリテーナ19の圧縮強度とリヤリテーナ5の圧縮強度とを同一にしたり、異ならせたり、あるいは同一の成形材料を使用してガラス繊維等の充填剤により圧縮強度に差をつけても良い。 Also, or a compression strength of compressive strength and rear retainers 5 of the front retainer 19 in the same, the fillers such as glass fiber using or varied, or the same molding material may be made different in compressive strength. 特に、フロントリテーナ19の圧縮強度よりもリヤリテーナ5の圧縮強度を大きくした場合、蓋体15が開放されてフロントリテーナ19が取り外される毎に基板Wに反発力が作用することがなく、この結果、基板Wが飛び出して位置ずれが生じたり、基板Wが損傷するのを有効に防止することが可能になる。 In particular, when increasing the compressive strength of the rear retainers 5 than the compression strength of the front retainer 19, without acting repulsive force to the substrate W each time the front retainer 19 lid 15 is opened is removed, the result, or cause positional deviation substrate W protrudes, the substrate W is made possible to effectively prevent damage.
【0044】 [0044]
また、フロントリテーナ19とリヤリテーナ5とを同一の構造としたが、図14に示すように、リヤリテーナ5に金属部品からなる補強材44を縦にインサートして補強するようにしても良い。 Although the front retainer 19 and the rear retainers 5 and the same structure, as shown in FIG. 14, may be reinforced by inserting a reinforcing member 44 made of a metal part to rear retainers 5 vertically. また、各リブ25・25Aと識別突起27とを遊嵌するインローの状態に設けることも可能である。 It is also possible to provide the state of the spigot loosely fitting the identification protrusion 27 and the ribs 25 · 25A. さらに、容器本体1とボトムプレート22とが一体構成される場合、容器本体1の底面に複数の凹穴を成形し、各凹穴にリブ25・25A等の取付手段を設けることも可能である。 Furthermore, when the container body 1 and the bottom plate 22 is integrally formed, by forming a plurality of recessed holes in the bottom surface of the container body 1, it is also possible to provide an attachment means such as ribs 25 · 25A in the recessed hole .
【0045】 [0045]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
以上のように本発明によれば、種々の加工装置にアクセス可能な基板収納容器の識別部分の小型化や共通化を図ることができるという効果がある。 According to the present invention as described above, there is an effect that it is possible to reduce the size and common identification portion accessible substrate storage container in a variety of processing equipment. また、設備やその投資額の増加を有効に抑制し、管理工程を削減することが可能になる。 Further, by effectively suppressing the increase in capital and the investment, it is possible to reduce the management process.
すなわち、基板収納容器の使用工程にしたがい、複数の取付手段のいずれかに識別部材を嵌入することができるので、2種類の基板収納容器を製造する必要がない。 That is, according to the process used in the substrate storage container, it is possible to fit the identification member to one of a plurality of attachment means, it is not necessary to manufacture two types of substrate storage container. したがって、複数個の金型を起型する必要性がなく、金型の投資額の増加を有効に防止してコストダウンを図ることができる。 Therefore, a plurality of molds without the need to force type, the cost can be reduced by effectively preventing an increase in the investment mold. また、基板収納容器の共通化により、製品の管理や在庫管理の簡略化が期待できる。 In addition, the common substrate storage container, simplification of product management and inventory management can be expected. また、基板収納容器の組立工程や検査工程においても、他の品種とコンタミネーションや混合を起こすおそれがない。 Also, in the assembly process and the inspection process of the substrate storage container, there is no possibility of causing other varieties and contamination and mixed. さらに、不足している基板収納容器の把握が容易となるから、短納期で発注したり、あるいは2種類の基板収納容器の在庫を保有する必要性を解消することが可能になる。 Furthermore, since it is easy to grasp the substrate storage container is insufficient, it is possible to eliminate the or, or need to hold stocks of the two substrate container ordered in a short delivery time.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す分解斜視図である。 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a substrate storage container according to the present invention.
【図2】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示し、(a)図は容器本体の開口部の正面図、(b)図はリテーナを示す斜視図である。 Figure 2 shows an embodiment of a substrate storage container according to the present invention, (a) drawing a front of the opening of the container body diagram, (b) figure is a perspective view showing a retainer.
【図3】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示し、(a)図はリテーナを示す断面説明図、(b)図は別のリテーナを示す断面説明図である。 Figure 3 shows an embodiment of a substrate storage container according to the present invention, is a cross-sectional view showing a part (a) shows the cross-sectional view showing a retainer, (b) Fig another retainer.
【図4】本発明に係る基板収納容器の実施形態における基板支持プレートを示す分解斜視図である。 Is an exploded perspective view of the substrate supporting plate in the embodiment of a substrate storage container according to the present invention; FIG.
【図5】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す底面図である。 5 is a bottom view showing the embodiment of a substrate storage container according to the present invention.
【図6】図5のVI−VI線部分断面図である。 6 is a VI-VI line partial sectional view of FIG.
【図7】本発明に係る基板収納容器の実施形態における他のボトムプレートを示す底面図である。 7 is a bottom view showing another bottom plate in the embodiment of a substrate storage container according to the present invention.
【図8】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示し、(a)図はラッチ機構を示す説明図、(b)図は(a)図のVIII−VIII線断面図である。 8 shows an embodiment of a substrate storage container according to the present invention, is an explanatory view, (b) drawing a line VIII-VIII cross-sectional view of the view (a) drawing showing a latch mechanism (a).
【図9】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示し、(a)図はリブを示す部分拡大断面図、(b)図は識別突起を示す説明図である。 9 shows an embodiment of a substrate storage container according to the present invention, it is an explanatory diagram showing a part (a) shows the partially enlarged cross-sectional view showing the rib, (b) drawing identification protrusion.
【図10】本発明に係る基板収納容器の第2の実施形態を示し、(a)図はリブを示す部分拡大断面図、(b)図は識別突起を示す説明図である。 [Figure 10] shows a second embodiment of a substrate storage container according to the present invention, is an explanatory diagram showing a part (a) shows the partially enlarged cross-sectional view showing the rib, (b) drawing identification protrusion.
【図11】本発明に係る基板収納容器の第3の実施形態を示し、(a)図はリブを示す部分拡大断面図、(b)図は識別突起を示す説明図である。 11 shows a third embodiment of a substrate storage container according to the present invention, is an explanatory diagram showing a part (a) shows the partially enlarged cross-sectional view showing the rib, (b) drawing identification protrusion.
【図12】本発明に係る基板収納容器の第4の実施形態を示し、(a)図はリブを示す部分拡大断面図、(b)図は識別突起を示す説明図である。 [Figure 12] shows a fourth embodiment of a substrate storage container according to the present invention, is an explanatory diagram showing a part (a) shows the partially enlarged cross-sectional view showing the rib, (b) drawing identification protrusion.
【図13】本発明に係る基板収納容器の第5の実施形態を示し、(a)図は嵌合ピンを示す部分拡大断面図、(b)図は識別突起を示す説明図である。 [Figure 13] shows a fifth embodiment of a substrate storage container according to the present invention, is an explanatory diagram showing a part (a) shows the partially enlarged cross-sectional view showing the mating pin, (b) drawing identification protrusion.
【図14】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるリヤリテーナの変形例を示す部分断面説明図である。 14 is a partial sectional view showing a modification of the rear retainers in the embodiment of a substrate storage container according to the present invention.
【図15】従来の基板収納容器及びその加工装置を示す説明図で、(a)図は加工装置のロードボードに前工程で使用される基板収納容器を搭載した状態を示す説明図、(b)図は加工装置のロードボードに後工程で使用される基板収納容器を搭載した状態を示す説明図である。 In illustration of Figure 15 shows a conventional substrate storage container and processing equipment, (a) illustrates the figure showing a state mounted with a substrate storage container used in the previous step to load board of the processing apparatus, (b ) is an explanatory view showing a state mounted with a substrate storage container used in the subsequent step to load board processing equipment.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
1 容器本体 6 基板支持プレート 15 蓋体 18 ラッチ機構 20 ガスケット 22 ボトムプレート(底面) 1 container body 6 substrate support plate 15 the lid 18 latching mechanism 20 gasket 22 bottom plate (bottom)
23 位置決め具 23 positioners
24 工程識別領域 25 リブ(取付手段) 24 Step identification area 25 rib (mounting means)
25A リブ(取付手段) 25A rib (mounting means)
27 識別突起(識別部材) 27 identification protrusion (identification member)
28 嵌合部 29 突起部 30 環状凸部 31 回避部 39 嵌合ピン 100 基板収納容器 100A 前工程で使用される基板収納容器 100B 後工程で使用される基板収納容器 W 基板 Substrate container W substrate used in the substrate storage container 100B after the step to be used in 28 the fitting portion 29 protruding portion 30 annular projection 31 around portion 39 fitting pins 100 substrate containers 100A before step

Claims (2)

  1. 加工装置に搭載され、基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口した正面をシールして被覆する蓋体とを備えた基板収納容器であって、 It is mounted on the processing device, and the container body front open box type, a substrate storage container and a lid for covering and sealing the open frontal of the container body for accommodating the substrate,
    容器本体の底面に取り付けられ、加工装置に対して容器本体を位置決めする断面V字形の複数の位置決め具と、容器本体の底面の一部に形成される複数の工程識別領域と、各工程識別領域に設けられて円筒形のリブを呈する複数の取付手段と、この複数の取付手段の一又は複数個所に容器本体の使用される工程に応じ選択的に嵌められ、加工装置の検出センサに検出される別部品の識別部材とを含んでなることを特徴とする基板収納容器。 Attached to the bottom surface of the container main body, a plurality of steps identification area in which a plurality of positioning tools of V-shaped cross section for positioning the container body, is formed on a part of the bottom surface of the container body relative to the processing apparatus, each process identification area a plurality of attachment means exhibiting provided with a cylindrical rib in, depending selectively fitted into the process used for the container body in one or a plurality of locations of the plurality of attachment means, is detected in the detection sensor processing equipment substrate storage container, characterized in that it comprises a separate part of the identification member that.
  2. 取付手段に識別部材を着脱自在に嵌め入れた請求項1記載の基板収納容器。 Substrate storage container according to claim 1, wherein the fitted identification member detachably to the mounting means.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP3556519B2 (en) * 1999-04-30 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 Identification method of identifying structures and a substrate storage container of the substrate storage container
JP4653875B2 (en) * 2000-07-27 2011-03-16 株式会社日立国際電気 Method for manufacturing a substrate processing apparatus and a semiconductor device
KR101532824B1 (en) 2003-04-09 2015-07-01 가부시키가이샤 니콘 Exposure method and apparatus, and device manufacturing method
TWI569308B (en) 2003-10-28 2017-02-01 尼康股份有限公司 Optical illumination device, exposure device, exposure method and device manufacturing method
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EP2660853B1 (en) 2005-05-12 2017-07-05 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus and exposure method
JP4607069B2 (en) * 2006-08-02 2011-01-05 信越ポリマー株式会社 Substrate storage container and identification member
JP5267029B2 (en) 2007-10-12 2013-08-21 株式会社ニコン Illumination optical apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method
US8379187B2 (en) 2007-10-24 2013-02-19 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9116346B2 (en) 2007-11-06 2015-08-25 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
TWI522292B (en) * 2007-11-15 2016-02-21 尼康股份有限公司
WO2013166512A1 (en) * 2012-05-04 2013-11-07 Entergris, Inc. Replaceable wafer support backstop

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