JP2004321954A - 有機ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】副生成物や分解残のガスを本発明の装置内部で後処理することができ、吸着剤の処分などの必要でなく、さらに構造の簡単な有機ガス処理装置を提供しようとするものである。
【解決手段】絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有するプラズマ分解素子1を設け、電極間にプラズマを発生させる電源18を設けるとともに、プラズマ分解素子1を出たガスを再び分解素子へ戻す循環路10を設け、希薄な有機ガスをプラズマ分解素子1の吸着剤に吸着させた後、プラズマによって分解し、その後未分解物と副生成物とを循環によって吸着剤に再吸着させるようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有するプラズマ分解素子1を設け、電極間にプラズマを発生させる電源18を設けるとともに、プラズマ分解素子1を出たガスを再び分解素子へ戻す循環路10を設け、希薄な有機ガスをプラズマ分解素子1の吸着剤に吸着させた後、プラズマによって分解し、その後未分解物と副生成物とを循環によって吸着剤に再吸着させるようにした。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はたとえばベンゼンやキシレンなどの有害な有機ガスの分解に用いられる有機ガス処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、有機ガス処理装置は粒子状活性炭等の粒子状吸着剤を詰めた塔に有機ガスを含む空気を流し、粒子状吸着剤に有機ガスを吸着させ、吸着した有機ガスを熱脱着したり真空脱着して濃縮する2塔式と呼ばれるものがあった。
【0003】
このような2塔式のものは大風量のガスの処理が困難であり、さらに装置価格も高価であるため、吸着剤を担持したハニカムロータを用いたハニカムロータ式のものが主流となった。
【0004】
上記の2つの例のものは、有機ガスの混合した空気から有機ガスを濃縮する手段であり、濃縮された有機ガスを燃焼装置や触媒を使って無害化する後段処理が必要である。
【0005】
このため常圧下でプラズマを発生させ、このプラズマによって有機ガスを分解する技術が開発されている。例えば特許文献1に記載のものは常圧下でプラズマを発生させ安価に有機ガスを分解するものである。
【0006】
このような装置の場合、有機ガスの分解の過程で副生成物ができたり、分解残の有機ガスがあるため、特許文献1に記載のものは、このような副生成物や分解残のガスを後段で吸着する活性炭などの吸着剤を設けたものである。
【0007】
また特許文献2に記載のものは、放電管内で生じた副生成物や分解残のガスを前段の濃縮装置の吸着剤に戻すようにしたものである。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−149751号公報
【0009】
【特許文献2】
特許公開平成10年第202038号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に記載のものはプラズマを使って有機ガスを分解した後に活性炭などの吸着剤を用いて副生成物や分解残のガスを吸着する必要があり、吸着剤が破過する前に交換する必要があり、また交換し取り除いた吸着剤の処分を適切に行う必要があるという問題がある。
【0011】
これに対し特許文献2に記載のものは、吸着剤を高温の空気で脱着する手段があり、脱着したガスは放電管8に入り、プラズマによって分解されるのであるが、ガスの濃縮装置などが必要であり、構成が複雑である。
【0012】
本発明は副生成物や分解残のガスを本発明の装置内部で後処理することができ、吸着剤の処分などの必要でなく、さらに構造の簡単な有機ガス処理装置を提供しようとするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本件発明は以上のような課題を解決するため、絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有するとともに電極間にプラズマを発生させる分解素子を設け、分解素子を出たガスを再び分解素子へ戻す循環路を設けた。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有する分解素子を設け、前記電極間にプラズマを発生させる電源を設けるとともに、前記分解素子を出たガスを再び前記分解素子へ戻す循環路を設けたものであり、プラズマによって吸着剤に吸着された有機ガスを分解するとともに、分解によってできた副生成物や未分解物は再び吸着剤に吸着されるという作用を有する。
【0015】
【実施例】
以下本発明の有機ガス処理装置の実施例について図1〜図5に沿って詳細に説明する。図1〜図4において、1はプラズマ分解素子であり、その詳細は図5及び図6に示す。
【0016】
図6において2は電極板であり、中心に厚さ数ミクロンから数10ミクロンの金属箔よりつくられる電極3が設けられている。この電極3はステンレス、アルミニウム、銅などが適する。
【0017】
電極3はマイカ板4,5によって両面から挟まれ、絶縁されている。マイカ板4,5は燐片状のマイカをバインダーで結合しプレスした集成マイカが適する。このようにして作られたマイカ板4,5は600℃程度の温度に耐える。
【0018】
図5において6,6‘は一対の導線であり、導線6は互いに間隔をおいて設置された電極板2の奇数番目の電極板3と接続され、導線6’は互いに間隔をおいて設置された電極板3の偶数番目の電極板2と接続されている。
【0019】
7は絶縁体でシリコン樹脂などであり、電極板2の電極3と導線6,6‘との接続部分を覆っており、この部分の絶縁を図るものである。
【0020】
8は吸着体で、セラミック紙をコルゲート(波付け)加工し、疎水性ゼオライトを担持させている。そしてこの吸着体8は電極板3の間に挿入されており、吸着体8はコルゲート加工されているために吸着体8の周囲にはガスが通過可能である。この吸着体8に担持させるものとして疎水性ゼオライトに加えて触媒を添加することもできる。
【0021】
以上の例では吸着体8としてセラミック紙をコルゲート加工したものを示したが、これに限らず、コルゲート加工したセラミック紙の片側に平面状のセラミック紙を接着した片段ボール状、あるいはコルゲート加工したセラミック紙の両側に平面状のセラミック紙を接着した段ボール状のものであってもよい。
【0022】
またセラミック紙以外にも耐熱性で絶縁性のあるシート材料であれば、多くのものが使用可能でありガラスなどの無機繊維を用いた紙を使うことができる。
【0023】
図1〜図4に戻って、9はブロアであり有機ガスの混合した空気をプラズマ分解素子1へ送るものである。10は循環路であり、プラズマ分解素子1を出た空気がブロア9によって再びプラズマ分解素子1に戻る管路を構成している。そして循環路10の途中に熱交換素子11が設けられている。ここで熱交換素子11は例えば、直交型顕熱交換素子である。また熱交換素子11は冷却ファン12によって冷却される。
【0024】
13は入口バルブであり、本件装置の入口を開閉するものである。14は出口バルブであり、本件装置の出口を開閉するものである。15は循環路入口バルブであり、循環路10の入口を開閉するものである。16は循環路出口バルブであり、循環路10の出口を開閉するものである。17は循環路パージバルブであり、循環路10にパージ空気を導入する口を開閉するものである。
【0025】
18は高圧電源で、プラズマ分解素子1に高圧電圧を加え、電極板2間でプラズマを発生させるものである。つまりこの高圧電源18はプラズマを発生させるのに十分な電圧と電流容量を有している。
【0026】
本発明の有機ガス処理装置は上記の如く構成され、以下その動作について説明する。先ず図1に示すように入口バルブ13と出口バルブ14とを開け、その他のバルブは全て閉じる。そしてブロア9を起動して有機ガスの混合した空気をプラズマ分解素子1に流す。
【0027】
ここで有機ガスの混合した空気としては、例えば20ppm程度のトルエンやキシレン等の有機ガスである。この空気中の希薄な有機ガスは、プラズマ分解素子1の吸着体8に吸着される。
【0028】
吸着体8に十分に有機ガスが吸着されたら、図2に示すように入口バルブ13と出口バルブ14とを閉じ、循環路入口バルブ15と循環路出口バルブ16とを開ける。循環路パージバルブ17は閉じたままである。
【0029】
この状態で高圧電源18からプラズマ分解素子1の電極板2間に高電圧を掛け、電極板2間でプラズマを発生させる。すると吸着体8に吸着された有機ガスがプラズマの発生に伴う熱によって吸着体8から脱着され、同時にプラズマによって分解される。
【0030】
この時に循環路10内を有機ガスと分解副産物および分解されてできた二酸化炭素と水蒸気が循環する。そして循環路10内の空気に含まれる酸素がプラズマ分解素子1に供給され、有機ガスや副生成物の分解が進む。
【0031】
また循環によってプラズマ分解素子1の温度が全体的に下がり、プラズマ分解素子1の温度が部分的に上昇して損傷することを防止することができる。
【0032】
この過程で循環路10内の温度が上昇し、不都合であった場合は図3に示すように冷却ファン12を起動し、熱交換素子11の一方の通路に外気を流して他方つまり循環路10に連通した通路を冷却する。この冷却によって循環路10内を流れる水蒸気が結露する場合は、ドレン管(図示せず)を設けるとよい。
【0033】
上記のプラズマによる有機ガスや副生成物の分解がある程度行われたら、高圧電源18を停止し、未分解の有機ガスや副生成物をプラズマ分解素子1の吸着体8に再吸着させる。そして図4に示すように入口バルブ13を閉じ、出口バルブ14を開け、循環路入口バルブ15を閉じ、循環路出口バルブ16と循環路パージバルブ17とを開ける。
【0034】
これによって循環路10に外気が入り、酸素が供給され、次の分解に備えることができる。またこれによってプラズマ分解素子1を通過した空気が外気へと放出されるが、上記のとおり未分解の有機ガスや副生成物をプラズマ分解素子1の吸着体8に再吸着させているため、分解残や副生成物は殆ど大気放出されることはない。
【0035】
以上の実施例の説明では本件装置を1つだけ設置する例を示したが、複数個並べて使用することもできる。この場合には、吸着と分解とを交互に行うことができ、連続して有機ガスの分解を行うことができる。
【0036】
また導線6,6‘と電極3の間にヒューズを設けると、マイカ板4,5の絶縁が破壊し有声放電が発生した場合には、ヒューズが切れ有声放電を防止することができる。この場合には、この部分でプラズマの発生が起こらなくなるため有機ガスの分解ができないが、次の説明のとおり問題はない。
【0037】
先ず、吸着工程では吸着体8は故障している部分もそうでない部分も正常に有機ガスの吸着を行う。次に分解工程ではプラズマの発生している部分だけ分解が進む。故障している部分は分解ができないのであるが、プラズマ分解素子1全体の温度が上昇するため、故障した部分の吸着体8から有機ガスが脱着される。
【0038】
脱着された有機ガスは循環路10を通って再びプラズマ分解素子1に入るため、プラズマ分解素子1の故障のない部分で分解が行われる。このようにして、プラズマ分解素子1の一部に故障が発生しても問題はない。以上の説明は絶縁破壊の例を示したが、これ以外にもプラズマ分解素子1の一部の電極板2の間にカーボンが堆積したり、ゴミなどの異物が堆積しプラズマの発生ができなくなった場合なども上記と同様、問題なく運転を維持することができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明の有機ガス処理装置は上記の如く構成したのでプラズマを用いて有機ガスを分解でき、分解の対象となる有機ガスが極めて希薄であっても、一旦吸着剤に蓄えて一気に分解を行うため、プラズマを発生している時間を短くすることができ、分解に要するエネルギーを少なくすることができるものである。
【0040】
さらに本発明の有機ガス処理装置はプラズマによる分解を行った後で、プラズマ分解素子内のガスを再度プラズマ分解素子へ循環させるようにしているため、未分解有機ガスや分解副生成物を簡単な構成で処理することができる。
【0041】
また分解工程の後で、未分解有機ガスや分解副生成物を再度プラズマ分解素子へ循環させ再吸着させる再吸着工程を有するために、未分解有機ガスや分解副生成物は殆ど外部へ放出されることなく、しかもそのために使い捨てフィルターなどを必要とせず、簡単な構成で実現できる。
【0042】
しかも再吸着工程を有するためにプラズマ分解素子の一部に故障が発生しても問題なく運転を維持することができる。
【0043】
そして本発明の有機ガス処理装置は複数台並設することによって、交互運転を行うと連続的に有機ガスの処理を行うことができる。
【0044】
さらに本発明の有機ガス処理装置は電極を絶縁板で覆った構成を有するため、吸着剤としてカチオンを有し導電性を有するものも用いることができる。つまり吸着剤としての性能の高いものを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の有機ガス処理装置の実施例の吸着動作を示すフロー図である。
【図2】本発明の有機ガス処理装置の実施例の分解動作を示すフロー図である。
【図3】本発明の有機ガス処理装置の実施例の分解動作を示すフロー図である。
【図4】本発明の有機ガス処理装置の実施例のパージ動作を示すフロー図である。
【図5】本発明の有機ガス処理装置のプラズマ分解素子を示す上面図である。
【図6】本発明の有機ガス処理装置のプラズマ分解素子に用いる電極板の断面図である。
【符号の説明】
1 プラズマ分解素子
2 電極板
3 電極
4,5 マイカ板
6,6‘ 導線
7 絶縁体
8 吸着体
9 ブロア
10 循環路
11 熱交換素子
12 冷却ファン
13 入口バルブ
14 出口バルブ
15 循環路入口バルブ
16 循環路出口バルブ
17 循環路パージバルブ
18 高圧電源
【発明の属する技術分野】
本発明はたとえばベンゼンやキシレンなどの有害な有機ガスの分解に用いられる有機ガス処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、有機ガス処理装置は粒子状活性炭等の粒子状吸着剤を詰めた塔に有機ガスを含む空気を流し、粒子状吸着剤に有機ガスを吸着させ、吸着した有機ガスを熱脱着したり真空脱着して濃縮する2塔式と呼ばれるものがあった。
【0003】
このような2塔式のものは大風量のガスの処理が困難であり、さらに装置価格も高価であるため、吸着剤を担持したハニカムロータを用いたハニカムロータ式のものが主流となった。
【0004】
上記の2つの例のものは、有機ガスの混合した空気から有機ガスを濃縮する手段であり、濃縮された有機ガスを燃焼装置や触媒を使って無害化する後段処理が必要である。
【0005】
このため常圧下でプラズマを発生させ、このプラズマによって有機ガスを分解する技術が開発されている。例えば特許文献1に記載のものは常圧下でプラズマを発生させ安価に有機ガスを分解するものである。
【0006】
このような装置の場合、有機ガスの分解の過程で副生成物ができたり、分解残の有機ガスがあるため、特許文献1に記載のものは、このような副生成物や分解残のガスを後段で吸着する活性炭などの吸着剤を設けたものである。
【0007】
また特許文献2に記載のものは、放電管内で生じた副生成物や分解残のガスを前段の濃縮装置の吸着剤に戻すようにしたものである。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−149751号公報
【0009】
【特許文献2】
特許公開平成10年第202038号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に記載のものはプラズマを使って有機ガスを分解した後に活性炭などの吸着剤を用いて副生成物や分解残のガスを吸着する必要があり、吸着剤が破過する前に交換する必要があり、また交換し取り除いた吸着剤の処分を適切に行う必要があるという問題がある。
【0011】
これに対し特許文献2に記載のものは、吸着剤を高温の空気で脱着する手段があり、脱着したガスは放電管8に入り、プラズマによって分解されるのであるが、ガスの濃縮装置などが必要であり、構成が複雑である。
【0012】
本発明は副生成物や分解残のガスを本発明の装置内部で後処理することができ、吸着剤の処分などの必要でなく、さらに構造の簡単な有機ガス処理装置を提供しようとするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本件発明は以上のような課題を解決するため、絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有するとともに電極間にプラズマを発生させる分解素子を設け、分解素子を出たガスを再び分解素子へ戻す循環路を設けた。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有する分解素子を設け、前記電極間にプラズマを発生させる電源を設けるとともに、前記分解素子を出たガスを再び前記分解素子へ戻す循環路を設けたものであり、プラズマによって吸着剤に吸着された有機ガスを分解するとともに、分解によってできた副生成物や未分解物は再び吸着剤に吸着されるという作用を有する。
【0015】
【実施例】
以下本発明の有機ガス処理装置の実施例について図1〜図5に沿って詳細に説明する。図1〜図4において、1はプラズマ分解素子であり、その詳細は図5及び図6に示す。
【0016】
図6において2は電極板であり、中心に厚さ数ミクロンから数10ミクロンの金属箔よりつくられる電極3が設けられている。この電極3はステンレス、アルミニウム、銅などが適する。
【0017】
電極3はマイカ板4,5によって両面から挟まれ、絶縁されている。マイカ板4,5は燐片状のマイカをバインダーで結合しプレスした集成マイカが適する。このようにして作られたマイカ板4,5は600℃程度の温度に耐える。
【0018】
図5において6,6‘は一対の導線であり、導線6は互いに間隔をおいて設置された電極板2の奇数番目の電極板3と接続され、導線6’は互いに間隔をおいて設置された電極板3の偶数番目の電極板2と接続されている。
【0019】
7は絶縁体でシリコン樹脂などであり、電極板2の電極3と導線6,6‘との接続部分を覆っており、この部分の絶縁を図るものである。
【0020】
8は吸着体で、セラミック紙をコルゲート(波付け)加工し、疎水性ゼオライトを担持させている。そしてこの吸着体8は電極板3の間に挿入されており、吸着体8はコルゲート加工されているために吸着体8の周囲にはガスが通過可能である。この吸着体8に担持させるものとして疎水性ゼオライトに加えて触媒を添加することもできる。
【0021】
以上の例では吸着体8としてセラミック紙をコルゲート加工したものを示したが、これに限らず、コルゲート加工したセラミック紙の片側に平面状のセラミック紙を接着した片段ボール状、あるいはコルゲート加工したセラミック紙の両側に平面状のセラミック紙を接着した段ボール状のものであってもよい。
【0022】
またセラミック紙以外にも耐熱性で絶縁性のあるシート材料であれば、多くのものが使用可能でありガラスなどの無機繊維を用いた紙を使うことができる。
【0023】
図1〜図4に戻って、9はブロアであり有機ガスの混合した空気をプラズマ分解素子1へ送るものである。10は循環路であり、プラズマ分解素子1を出た空気がブロア9によって再びプラズマ分解素子1に戻る管路を構成している。そして循環路10の途中に熱交換素子11が設けられている。ここで熱交換素子11は例えば、直交型顕熱交換素子である。また熱交換素子11は冷却ファン12によって冷却される。
【0024】
13は入口バルブであり、本件装置の入口を開閉するものである。14は出口バルブであり、本件装置の出口を開閉するものである。15は循環路入口バルブであり、循環路10の入口を開閉するものである。16は循環路出口バルブであり、循環路10の出口を開閉するものである。17は循環路パージバルブであり、循環路10にパージ空気を導入する口を開閉するものである。
【0025】
18は高圧電源で、プラズマ分解素子1に高圧電圧を加え、電極板2間でプラズマを発生させるものである。つまりこの高圧電源18はプラズマを発生させるのに十分な電圧と電流容量を有している。
【0026】
本発明の有機ガス処理装置は上記の如く構成され、以下その動作について説明する。先ず図1に示すように入口バルブ13と出口バルブ14とを開け、その他のバルブは全て閉じる。そしてブロア9を起動して有機ガスの混合した空気をプラズマ分解素子1に流す。
【0027】
ここで有機ガスの混合した空気としては、例えば20ppm程度のトルエンやキシレン等の有機ガスである。この空気中の希薄な有機ガスは、プラズマ分解素子1の吸着体8に吸着される。
【0028】
吸着体8に十分に有機ガスが吸着されたら、図2に示すように入口バルブ13と出口バルブ14とを閉じ、循環路入口バルブ15と循環路出口バルブ16とを開ける。循環路パージバルブ17は閉じたままである。
【0029】
この状態で高圧電源18からプラズマ分解素子1の電極板2間に高電圧を掛け、電極板2間でプラズマを発生させる。すると吸着体8に吸着された有機ガスがプラズマの発生に伴う熱によって吸着体8から脱着され、同時にプラズマによって分解される。
【0030】
この時に循環路10内を有機ガスと分解副産物および分解されてできた二酸化炭素と水蒸気が循環する。そして循環路10内の空気に含まれる酸素がプラズマ分解素子1に供給され、有機ガスや副生成物の分解が進む。
【0031】
また循環によってプラズマ分解素子1の温度が全体的に下がり、プラズマ分解素子1の温度が部分的に上昇して損傷することを防止することができる。
【0032】
この過程で循環路10内の温度が上昇し、不都合であった場合は図3に示すように冷却ファン12を起動し、熱交換素子11の一方の通路に外気を流して他方つまり循環路10に連通した通路を冷却する。この冷却によって循環路10内を流れる水蒸気が結露する場合は、ドレン管(図示せず)を設けるとよい。
【0033】
上記のプラズマによる有機ガスや副生成物の分解がある程度行われたら、高圧電源18を停止し、未分解の有機ガスや副生成物をプラズマ分解素子1の吸着体8に再吸着させる。そして図4に示すように入口バルブ13を閉じ、出口バルブ14を開け、循環路入口バルブ15を閉じ、循環路出口バルブ16と循環路パージバルブ17とを開ける。
【0034】
これによって循環路10に外気が入り、酸素が供給され、次の分解に備えることができる。またこれによってプラズマ分解素子1を通過した空気が外気へと放出されるが、上記のとおり未分解の有機ガスや副生成物をプラズマ分解素子1の吸着体8に再吸着させているため、分解残や副生成物は殆ど大気放出されることはない。
【0035】
以上の実施例の説明では本件装置を1つだけ設置する例を示したが、複数個並べて使用することもできる。この場合には、吸着と分解とを交互に行うことができ、連続して有機ガスの分解を行うことができる。
【0036】
また導線6,6‘と電極3の間にヒューズを設けると、マイカ板4,5の絶縁が破壊し有声放電が発生した場合には、ヒューズが切れ有声放電を防止することができる。この場合には、この部分でプラズマの発生が起こらなくなるため有機ガスの分解ができないが、次の説明のとおり問題はない。
【0037】
先ず、吸着工程では吸着体8は故障している部分もそうでない部分も正常に有機ガスの吸着を行う。次に分解工程ではプラズマの発生している部分だけ分解が進む。故障している部分は分解ができないのであるが、プラズマ分解素子1全体の温度が上昇するため、故障した部分の吸着体8から有機ガスが脱着される。
【0038】
脱着された有機ガスは循環路10を通って再びプラズマ分解素子1に入るため、プラズマ分解素子1の故障のない部分で分解が行われる。このようにして、プラズマ分解素子1の一部に故障が発生しても問題はない。以上の説明は絶縁破壊の例を示したが、これ以外にもプラズマ分解素子1の一部の電極板2の間にカーボンが堆積したり、ゴミなどの異物が堆積しプラズマの発生ができなくなった場合なども上記と同様、問題なく運転を維持することができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明の有機ガス処理装置は上記の如く構成したのでプラズマを用いて有機ガスを分解でき、分解の対象となる有機ガスが極めて希薄であっても、一旦吸着剤に蓄えて一気に分解を行うため、プラズマを発生している時間を短くすることができ、分解に要するエネルギーを少なくすることができるものである。
【0040】
さらに本発明の有機ガス処理装置はプラズマによる分解を行った後で、プラズマ分解素子内のガスを再度プラズマ分解素子へ循環させるようにしているため、未分解有機ガスや分解副生成物を簡単な構成で処理することができる。
【0041】
また分解工程の後で、未分解有機ガスや分解副生成物を再度プラズマ分解素子へ循環させ再吸着させる再吸着工程を有するために、未分解有機ガスや分解副生成物は殆ど外部へ放出されることなく、しかもそのために使い捨てフィルターなどを必要とせず、簡単な構成で実現できる。
【0042】
しかも再吸着工程を有するためにプラズマ分解素子の一部に故障が発生しても問題なく運転を維持することができる。
【0043】
そして本発明の有機ガス処理装置は複数台並設することによって、交互運転を行うと連続的に有機ガスの処理を行うことができる。
【0044】
さらに本発明の有機ガス処理装置は電極を絶縁板で覆った構成を有するため、吸着剤としてカチオンを有し導電性を有するものも用いることができる。つまり吸着剤としての性能の高いものを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の有機ガス処理装置の実施例の吸着動作を示すフロー図である。
【図2】本発明の有機ガス処理装置の実施例の分解動作を示すフロー図である。
【図3】本発明の有機ガス処理装置の実施例の分解動作を示すフロー図である。
【図4】本発明の有機ガス処理装置の実施例のパージ動作を示すフロー図である。
【図5】本発明の有機ガス処理装置のプラズマ分解素子を示す上面図である。
【図6】本発明の有機ガス処理装置のプラズマ分解素子に用いる電極板の断面図である。
【符号の説明】
1 プラズマ分解素子
2 電極板
3 電極
4,5 マイカ板
6,6‘ 導線
7 絶縁体
8 吸着体
9 ブロア
10 循環路
11 熱交換素子
12 冷却ファン
13 入口バルブ
14 出口バルブ
15 循環路入口バルブ
16 循環路出口バルブ
17 循環路パージバルブ
18 高圧電源
Claims (5)
- 絶縁された電極間に有機ガスの吸着剤を有する分解素子を設け、前記電極間にプラズマを発生させる電源を設けるとともに、前記分解素子を出たガスを再び前記分解素子へ戻す循環路を設けた有機ガス処理装置。
- 循環路内のガスをパージする手段を設けた請求項1記載の有機ガス処理装置。
- 有機ガスの吸着工程と、吸着した有機ガスのプラズマ分解工程と、分解工程後に分解素子を出たガスの再吸着工程とを有する請求項1記載の有機ガス処理装置。
- 有機ガスの吸着工程と、吸着した有機ガスのプラズマ分解工程と、分解後のガスの再吸着工程と、循環路内のガスのパージ工程とを有する請求項2記載の有機ガス処理装置。
- 循環路の空気を冷却する冷却手段を設けた請求項1記載の有機ガス処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003120965A JP2004321954A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 有機ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003120965A JP2004321954A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 有機ガス処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004321954A true JP2004321954A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=33499654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003120965A Pending JP2004321954A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 有機ガス処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004321954A (ja) |
-
2003
- 2003-04-25 JP JP2003120965A patent/JP2004321954A/ja active Pending
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