JP2004309384A - ガスセンサ - Google Patents

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守男 小野田
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Abstract

【課題】周辺温度の変化に拘らず、残響の継続時間が短く、検出用素子の感度が良好なガスセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ガスセンサ10は、ガスGSが流入される測定室28と、この測定室28に臨む検出用素子本体40を備える。検出用素子本体40は、底面に保護フィルム48が接着された素子ケース42を備える。素子ケース42内には、略円柱形状の音響整合板50および圧電素子51と、この音響整合板50および圧電素子51を取り囲む位置に筒体52が収納されている。筒体52は、圧電素子51および音響整合板50の外周に接触しないように、圧電素子51および音響整合板50の外周から離間した状態で設置されている。これらの収納後、素子ケース42内に充填材を充填することにより、音響整合板50や圧電素子51,筒体52は、充填層99によって封止される。
【選択図】 図4

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定の気体の流路に臨んで設けられ、所定の信号を受けて振動する検出用素子を備えたガスセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から検出用素子を用いて、流路に存在する気体の性質として、例えば特定成分の濃度や温度、あるいは湿度などを検出するガスセンサが知られている。こうしたガスセンサでは、検出用素子からの信号を電気的に処理して、気体の性質に対応した電気信号として出力する。ガスセンサの一例として、自動車など内燃機関を搭載した輸送機器に設けられ、音の振動波の伝搬速度の変化を利用してガソリンや軽油などの濃度を検出するガス濃度センサを取り上げる。
【0003】
こうしたガス濃度センサは、例えば、自動車に搭載されたキャニスタから内燃機関の吸気管にガソリンをパージする通路に配置される。ガス濃度センサは、上記の通路内のガソリン蒸気を含むガスを流入する所定体積の流路と、この流路に臨んで設けられ、ガス濃度を検出する検出用素子を備える。ガス濃度センサは、ガス濃度の検出に際して検出用素子を振動させ、この振動によって生じた振動波(例えば、超音波)を流路方向に送出する。このような、ガス濃度の検出用に検出用素子が振動することにより、検出用素子から気体の流路方向に送出される振動波のことを、以下、検出用振動波という。流路を通過する振動波の速度は、流路に存在するガソリン蒸気の濃度に応じて変化する。ガス濃度センサは、一定の流路長の流路を通過する検出用振動波の速度を検出用振動波を受信する受信器で検出し、この検出結果からガソリン蒸気の濃度を求め、これを出力するのである。
【0004】
このような従来のガスセンサでは、検出用振動波を送出する検出用素子は、耐熱性の高い樹脂等で形成された筐体内に配置されていた(例えば、特許文献1を参照)。また、ガス流路を通過する検出用振動波の速度を正確に検出するためには、検出用素子自体を熱等から保護すると共に筐体内での検出用素子の位置を一定に保つ必要があることから、検出用素子が配置された筐体内にウレタン等の充填材を充填することにより検出用素子を埋設する充填層を保護部材ないし制振部材として設けていた。
【0005】
【特許文献1】
特開2000−206099号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような検出用素子からの振動波を利用してガス濃度を検出するガスセンサでは、検出用素子の振動に伴って検出用素子が埋設された充填層内に残響が生じる場合があり、この残響の影響を検出用素子が受けてしまうことによりガス濃度等の気体の性質を正確に検出できないおそれがあった。
【0007】
即ち、送信用の検出用素子と受信用の検出用素子を兼用している場合には、充填層内の残響が長びくと、この残響の影響を受けた検出用素子の振動によって生じた振動波(以下、ノイズ振動波という)が検出用振動波に干渉し、検出用振動波に基づいた正確なガス濃度の検出をなし得ないおそれがあった。また、送信用の検出用素子と受信用の検出用素子とを別々に設けた場合においても、充填層内の残響が長びくと、検出用振動波がガス流路に送出された後に、残響の影響を受けた検出用素子からノイズ振動波がガス流路に送出されてしまい、検出用振動波に基づいた正確なガス濃度の検出をなし得ないおそれがあった。
【0008】
このような残響は、高温下ほど、長期に継続されるという特性が見られる。従って、ガソリンをパージする通路付近やガスセンサ内のガス流路のように高温になり易い環境下では、残響が増加し、ガス濃度の正確な検出が困難となることがあった。
【0009】
加えて、ガスセンサの設置箇所の周辺の温度(以下、周辺温度という)はセンサ周辺の設置物やガスの状態等によって変化するものである。よって、採り得る周辺温度の全域に亘って、残響の継続時間が短くなり、検出用素子の性能が一定に保たれることが望ましい。
【0010】
そこで、本発明は、以上の課題を解決し、周辺温度の変化に拘らず、残響の継続時間が短く、検出用素子の感度が良好なガスセンサを提供することを目的として、以下の構成を採った。
【0011】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
本発明のガスセンサは、
所定の気体の流路に臨んで設けられ、所定の信号を受けて振動する検出用素子を備えたガスセンサであって、
前記検出用素子と、該検出用素子に装着され、該検出用素子の振動を前記流路に伝達する整合板と、を収納する筐体と、
前記検出用素子および前記整合板と前記筐体との間の該検出用素子および該整合板を取り囲む位置に、該検出用素子および該整合板との間のクリアランスが確保された状態で設置された介在部材と、
前記筐体内に所定の充填材を、少なくとも前記検出用素子が埋設する位置まで充填することにより形成された充填層と
を備えたことを要旨とする。
【0012】
上記構成のガスセンサによれば、筐体内の検出用素子および整合板を取り囲む位置に介在部材が設置され、この筐体内に所定の充填材を充填することにより充填層が形成される。上記の構成では、検出用素子の振動に伴って生じたノイズ振動波は、介在部材に当たって反射成分と透過成分とに分散され、ノイズ振動波のレベルは早期に低減される。これにより、充填層内に生じた残響が速やかに減衰し、残響の継続時間が短くなる。
【0013】
加えて、介在部材は、検出用素子および整合板との間のクリアランスが確保された状態で設置される。こうすれば、検出用素子および整合板と介在部材との間に充填材が確実に充填され、充填材が充填されない部分(以下、未充填部分という)、具体的には気泡を含んだ充填層が形成されにくくなる。このため、周辺温度の変化によって充填層が膨張ないし収縮した場合に、充填層内の未充填部分(気泡)によって検出用素子や整合板が局所的な応力を受け、残響の継続時間や検出用素子の感度が大きく変化してしまうことがない。従って、周辺温度の変化に拘らず、残響の継続時間が短く、検出用素子の感度が良好なガスセンサを実現することができる。
【0014】
検出用素子および整合板との間のクリアランスが略均一であることも好ましい。こうすれば、検出用素子および整合板と介在部材との間には、位置によらずほぼ等量の充填材が充填され、バランスの良い充填層が形成される。このため、周辺温度の変化によって充填層が膨張ないし収縮した場合、この膨張ないし収縮によって検出用素子や整合板が受ける応力は、検出用素子や整合板の全周に亘ってほぼ均一となる。従って、上記応力に起因する残響の継続時間や検出用素子の感度の変化をより小さくすることができる。
【0015】
検出用素子の振動によって生じた振動波を流路方向に送出して気体の性質を検出する構成としてもよい。こうすれば、残響の継続時間や検出用素子の感度が周辺温度の変化に拘らず良好に保たれることで、検出用振動波に基づいた気体の性質の正確な検出を、周辺温度の変化に拘らず、実現することができる。
【0016】
筐体の開口部に装着され、該筐体内部と気体の流路とを区切るフィルムを備え、該フィルムに整合板が装着される構成を採ることも好適である。上記したように、検出用素子および整合板と介在部材との間には充填材が確実に充填されるので、形成される充填層に気泡が含まれにくくなる。このため、周辺温度の変化に伴って充填層内の気泡が膨張することに起因するフィルムの飛び出しが防止される。この結果、フィルムに装着された整合板や整合板に装着された検出用素子の位置移動が防止され、検出用振動波が送出される気体の流路の流路長が一定に保たれる。従って、気体の性質についての検出の正確性をより一層向上することができる。
【0017】
介在部材が設置される位置をクリアランスが確保される位置に決定する位置決定部材を備えることも、検出用素子および整合板と介在部材との間のクリアランスを容易かつ確実に確保することが可能となる点で望ましい。
【0018】
上記の位置決定部材としては、介在部材に筐体側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に筐体と少なくとも3点において接触する第1突部、または、筐体に整合板側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に該介在部材と少なくとも3点において接触する突出部、あるいは、介在部材に整合板側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に整合板と少なくとも3点において接触する第2突部、もしくは、整合板に筐体側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に該介在部材と少なくとも3点において接触する凸部、などを考えることができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。図1は、本発明の一実施例としてのガスセンサ10の分解斜視図である。このガスセンサ10は、超音波の伝搬速度が気体の濃度により変化することを利用してガソリン蒸気の濃度を検出するセンサである。このガスセンサは、例えば内燃機関を動力源とする車両に搭載されたキャニスタから吸気通路にガソリンをパージする通路に配置されて、パージされるガソリン濃度を検出する目的などに用いられる。
【0020】
(A)ガスセンサの全体構成:
図1に示したように、このガスセンサ10は、大きくは、濃度検出対象としてのガソリン蒸気が通過する流路を形成する流路形成部材20と、この流路形成部材20に一体に作り込まれた収納部22に収納される検出用素子本体40、流路を通過するガスの温度を検出するサーミスタ60、検出用素子本体40の上部に配置される電子回路基板70、収納部22にはめ込まれる金属製のケース80から構成されている。
【0021】
流路形成部材20は、ガラスフィラ入りの合成樹脂で成形されている。流路形成部材20の弾性率は、ガスセンサとして適切な値に調整されている。また、検出用素子本体40は、収納部22に設けられた取り付け用の凹部24に超音波溶着により固定されており、サーミスタ60は、取り付け用の挿入孔25に挿入・固定されている。
【0022】
後述するように、検出用素子本体40やサーミスタ60は、電気的な信号をやり取りするための端子を有する。この端子は、電子回路基板70の対応する取り付け穴に挿入され、はんだ付けにより固定される。
【0023】
ガスセンサ10は、これら検出用素子本体40やサーミスタ60を収納部22に固定した後、電子回路基板70を取り付け、更にケース80を収納部22にはめ込み、その上で、ウレタンなどの樹脂によりモールドして製造されている。
【0024】
(B)流路形成部材20の構成:
図1に示したように、ガスセンサ10の流路形成部材20は、上部に検出用素子本体40等を収納する収納部22を備え、この収納部22の下部に、濃度検出用のガスが流通する流路を有する。この流路は、ガスセンサ10にガソリン蒸気を含むガス(以下、ガスGSという)を導入する導入路27,このガスGSにおけるガソリン蒸気の濃度を超音波により検出するための測定室28,測定室28に対してガスGSをバイパスするバイパス流路29から構成されている。測定室28は、検出用素子本体40のほぼ直下に、バイパス流路29は、サーミスタ60のほぼ直下に、それぞれ設けられている。
【0025】
こうした流路構造を詳しく説明するために、ガスセンサ10の垂直断面を図2に示す。図2は、ガスセンサ10を、導入路27および検出用素子本体40の軸線を含む平面で切断した断面図である。図示するように、流路形成部材20の内部に形成されたガスGSの流路は、導入路27、測定室28、バイパス流路29に分かれている。略水平方向に延出された導入路27は、バイパス流路29に直角に連通しており、更に導入孔32を介して測定室28にも連通している。
【0026】
本実施例では、上記の測定室28が、特許請求の範囲における「所定の気体の流路」に相当する。勿論、この測定室28以外の形態により、特許請求の範囲における「所定の気体の流路」を実現することも可能である。
【0027】
図2に示すように、バイパス流路29の下方には出口34が形成されている。この出口34は、本実施例では、図示しないホースによって内燃機関の吸気通路に接続されている。導入路27から導入されたガスGSは、上記の出口34から吸気通路に排出される。
【0028】
図1および図2に示すように、バイパス流路29の出口34と反対側の端部には挿入孔25が形成されており、この挿入孔25にサーミスタ60が取り付けられている。サーミスタ60は、導入路27からバイパス流路29に流入したガスGSの温度を挿入孔25を介して検知する。
【0029】
図1および図2に示すように、測定室28の上部は、凹部24の底面に形成された連通孔24aを介して凹部24に連通されており、この凹部24に検出用素子本体40が取り付けられている。検出用素子本体40は、測定室28に流入したガスGSにおけるガソリン蒸気の濃度を連通孔24aを介して検出する。この場合において、ガソリン蒸気の濃度は、サーミスタ60によって検知されたガスGSの温度に所定の関係を持って検出される。
【0030】
図2に示すように、測定室28の下方には、検出用素子本体40から送出された超音波を反射するための反射部33が形成されている。この反射部33の働きについては後述する。
【0031】
反射部33は、測定室28の底部の中央領域を所定距離(本実施例では数ミリ)持ち上げることによって形成されている。これにより、反射部33の周囲には所定の空隙が形成される。この反射部33の周囲の空隙は、そのまま測定室28の底部に連通する排出流路35を介してバイパス流路29につながっている。このため、導入路27から導入孔32を通って流入したガスGSは、測定室28の内部に充満し、所定の割合で、排出流路35からバイパス流路29に出ていく。なお、排出流路35は、測定室28の底部に設けられていることから、測定室28内の水蒸気やガソリン蒸気などが結露して液化した場合、これらの水滴・油滴を排出するドレインとしても働く。
【0032】
流路形成部材20の収納部22には、上述したように、測定室28に連通する連通孔24aが設けられた凹部24や、サーミスタ取り付け用の挿入孔25などが形成されているが、この収納部22に相当する場所には、図3に示した金属板36がインサート成型されている。この金属板36は、図示するように、収納部22の底面形状にほぼ倣った形状をしており、その一隅に切り起こし部83を備える。この切り起こし部83は、インサート成型された後、図1に示したように、収納部22の内側に立設された状態となり、電子回路基板70を取り付ける際、基板上の取付孔72に挿入される。取付孔72には、接地ラインに接続されたランドが用意されており、切り起こし部83は、このランドにはんだ付けされる。
【0033】
収納部22の内側の4つの隅部のうち、切り起こし部83に隣接する1カ所には、電子回路基板70を載置する支持台を兼ねて、端子用凸部22aが設けられている。この外側には、電気信号をやりとりするためのコネクタ31が形成されており、コネクタ31を形成する端子は、収納部22の外壁をこの部分で貫通している。コネクタ31には、入り口側で3本の端子が用意されており、3本の端子の両側の2本が、外部からこのガスセンサ10に電源を供給する電源ライン(グランドと直流電圧Vcc)、中心がガスセンサ10からの信号出力線となっている。このコネクタ31の端子は、収納部22側では、図3に示すように、4本(31aないし31d)となっている。これは、図示するように、グランド(接地)ライン用の端子31cが途中で二股に分かれた形状をしているからである。二股に分かれた端子のひとつ31dは、上方に延出されており、ケース80を組み付けるとき、このケース80の対応する位置に用意された挿入孔85に挿入される。挿入後、端子31dは、ケース80にはんだ付けまたはロウ付けされる。この結果、ケース80全体が接地ラインに電気的に結合されていることになる。収納部22の隅部のうち、残りの2カ所には、電子回路基板70を載置する目的で、図示しない支持台が形成されている。
【0034】
(C)検出用素子本体40の構造:
検出用素子本体40の構造を図4に示す。図4は検出用素子本体40の縦断面形状を示している。図示するように、検出用素子本体40は合成樹脂製の素子ケース42を備える。この素子ケース42の底面には開口部が設けられており、この開口部周囲の端面45には、上記の開口部を覆うように、耐ガソリン性を有する材料を用いた円形の保護フィルム48が接着されている。なお、端面45の外側縁部には段差部46が形成されている。
【0035】
本実施例では、上記の素子ケース42が、特許請求の範囲における「筐体」に相当する。勿論、この素子ケース42以外の形態により、特許請求の範囲における「筐体」を実現することも可能である。
【0036】
素子ケース42は、その上部において外側に張り出した形状のフランジ部41と、フランジ部41の下部の収容部43から構成されている。フランジ部41は収納部22に設けられた凹部24より大径に形成されており、収容部43は凹部24より小径に形成されている。フランジ部41の下面略中央には、超音波溶着用の突起59が円周状に形成されている。
【0037】
図4に示すように、素子ケース42は、略逆「L」字形の断面形状を有する。素子ケース42の内周面44には、鉛直面に対して約11度の傾きでテーパが付けられている。従って、収容部43の外壁に相当する部分は、下部、即ち保護フィルム48に近づくにつれて厚みを増す。この結果、素子ケース42の収容部43は、フランジ部41との付け根の付近においては、外壁の厚みが薄くて可撓性に富み、下側の端面45においては、保護フィルム48を貼付する充分な面積を有する。
【0038】
この素子ケース42には、ケース内側に突出した形状の突出部56a,56bが設けられており、この突出部56a,56b内には、端子55a,55bが埋設されている。図4に示すように、各端子55a,55bの一端はケース内側に僅かに突出されており、各端子55a,55bの他端はケース上方に突出されている。
【0039】
図4に示すように、素子ケース42には、略円柱形状の音響整合板50,圧電素子51,筒体52が収納されている。音響整合板50は、保護フィルム48の略中心に接着・固定されており、この音響整合板50の上面略中心に圧電素子51が接着・固定されている。音響整合板50は、圧電素子51の振動を、保護フィルム48を介して効率よく、空気中に(本実施例では測定室28へ)送出するために設けられている。このように圧電素子51を直接保護フィルム48に接着するのではなく、音響整合板50を介して接合することにより、圧電素子51の振動を効率よく超音波として測定室28内に送出することができる。超音波は、媒質の密度の差が存在する場所で反射し易い性質を有するからである。なお、本実施例では、音響整合板50として、多数の小さなガラス玉をエポキシ系樹脂で固めたものを用いたが、勿論、これ以外の材料を用いることも可能である。
【0040】
圧電素子51は、ピエゾなどの電歪素子を円柱形に形成したものであり、軸方向上下面に形成された電極に電圧を印加した際、軸方向にのみ歪曲が生じるように、格子の方向を整えて切り出されている。こうした圧電素子51としては、圧電セラミックスや水晶などの結晶体などを適宜用いることができる。なお、電極は、特に図示しないが、圧電素子51の上下面に蒸着などの手法により形成しても良いし、金属の薄板を張り付けても良い。
【0041】
圧電素子51の電極には、2本のリード線54a,54bの片端がはんだ付けされている。この2本のリード線54a,54bの他端は、図5に示すように、素子ケース42の突出部56a,56bから突出する各端子55a,55bの一端にはんだ付けされる。
【0042】
圧電素子51は、後述するように、超音波を測定室28内に送出する送信器として働くが、同時に本実施例では、超音波振動を受信して電気信号を出力する受信器としても機能する。もとより、送信用の素子と受信用の素子とを別々に設けて、ガスセンサを作ることも可能である。
【0043】
また、保護フィルム48には、音響整合板50および圧電素子51を取り囲む位置に、円筒形状の筒体52が装着されている。本実施例では、筒体52の材料としてCu(銅)を用いているが、勿論、他の材料を用いて筒体52を形成しても差し支えない。筒体52の材料としては、後述する充填材(本実施例ではウレタン樹脂)とは密度の異なる媒質がより好ましく、例えば、SUS(SteelUse Stainless)等を考えることができる。この筒体52の詳細については後述する。
【0044】
こうして保護フィルム48が接着された素子ケース42内に音響整合板50や圧電素子51,筒体52を収納・装着した後、圧電素子51のリード線54a,54bは端子55a,55bに接続される。この接続後に、素子ケース42内に充填材として樹脂を充填することにより、図4に示すように、素子ケース42内には充填層99が形成される。この結果、音響整合板50や圧電素子51,筒体52,リード線54a,54bは、充填層99内に埋没した状態となる。これにより、検出用素子本体40の組み立てが完了する。なお、本実施例では、充填材としてウレタンを用いている。
【0045】
本実施例では、上記の筒体52が、特許請求の範囲における「介在部材」に相当する。勿論、この筒体52以外の形態により、特許請求の範囲における「介在部材」を実現することも可能である。また、本実施例では、上記の充填層99が、特許請求の範囲における「充填層」に相当する。勿論、この充填層99以外の形態により、特許請求の範囲における「充填層」を実現することも可能である。
【0046】
このような組み立てによって、検出用素子本体40は、図1に示したような円盤形状となる。組み立ての完了後、検出用素子本体40のフランジ部41は、その下面に形成された突起59を超音波溶着によって溶融することにより、収納部22の凹部24にしっかりと固着される。これにより、素子ケース42内部と測定室28とは保護フィルム48によって区切られる(図2を参照)。
【0047】
(D)電子回路基板70の構造およびガソリンの蒸気濃度を検出する手法:
次に、電子回路基板70の構造と、その取り付けについて説明する。電子回路基板70は、ガラスエポキシ基板に予めエッチング等により回路パターンを形成したものであり、各種部品(例えば、信号処理用の各種部品、例えば信号処理用の集積回路(IC)や、抵抗器,コンデンサ等)の取付位置にスルーホール等が設けられている。また、既に説明したように、電子回路基板70には、検出用素子本体40やサーミスタ60、あるいは端子55a,55b、コネクタ31の端子31a〜31c、切り起こし部83に対応する位置に、それぞれの端子形状に合わせた大きさの取付孔が設けられており、この取付孔の周囲をランドパターンが取り巻いている。上記の各種部品が取り付けられた電子回路基板70は、検出用素子本体40やサーミスタ60の取り付けが完了した後に、流路形成部材20の収納部22に装着される。この後、電子回路基板70の各取付孔に挿入された端子を周囲のランドにはんだ付けすることにより、電子回路基板70の電気的な回路構成が完了する。
【0048】
こうして完成したガスセンサ10の電気的な構成を、図5のブロック図に示す。図示するように、この電子回路基板70は、マイクロプロセッサ91を中心に構成されており、マイクロプロセッサ91に接続された各回路素子、即ち、デジタル−アナログコンバータ(D/Aコンバータ)92、ドライバ93、増幅器96が接続されたコンパレータ97等を備える。ドライバ93と増幅器96は、検出用素子本体40に接続されている。また、サーミスタ60は、直接マイクロプロセッサ91のアナログ入力ポートに接続されている。
【0049】
ドライバ93はマイクロプロセッサ91からの指令を受けて、所定時間、検出用素子本体40の圧電素子51を駆動する回路である。このドライバ93は、マイクロプロセッサ91からの指令を受けると、複数個の矩形波を出力する。ドライバ93が出力する矩形波の信号を受けると、圧電素子51は振動し、送信器として機能して、超音波を測定室28内に送出する。このような、ドライバ93からの出力信号を受けて圧電素子51が振動することにより、圧電素子51から測定室28内に送出される超音波のことを、以下、検出用超音波DWという。
【0050】
本実施例では、このドライバ93が出力する矩形波の信号が、特許請求の範囲における「所定の信号」に相当する。勿論、このドライバ93が出力する矩形波の信号以外の形態により、特許請求の範囲における「所定の信号」を実現することも可能である。
【0051】
測定室28内に送出された超音波は、比較的高い指向性を保ったまま直進し、測定室28底部の反射部33に反射して戻ってくる。戻ってきた超音波が保護フィルム48に到達すると、超音波の振動が、保護フィルム48および音響整合板50を介して圧電素子51に伝わる。超音波の振動を受け取った圧電素子51は、今度は受信器として機能し、振動に応じた電気信号を増幅器96に出力する。この様子を、図6に示した。図6において、送出期間P1は、圧電素子51がドライバ93からの信号を受けて検出用超音波DWを送出する期間(圧電素子51が送信器として機能している期間)を示しており、入力期間P2は、超音波の振動を受け取った圧電素子51の信号が増幅器96に入力される期間(圧電素子51が受信器として機能している期間)を示している。
【0052】
受信器として機能した際の圧電素子51の信号は、増幅器96に入力されて増幅される。この増幅器96の出力は、コンパレータ97に入力されており、ここで予め用意された閾値Vrefと比較される。閾値Vrefは、ノイズなどの影響により増幅器96が出力する誤信号を弁別できるレベルである。
【0053】
上記の誤信号としては、ノイズなどによるものの他、検出用素子本体40自身が持っている残響などの影響によるものがある。圧電素子51は、音響整合板50に接着され、かつ充填材で充填されているとはいえ、ある程度、自由端振動が可能なこともあり、ドライバ93から出力される駆動信号が失われた後も、所定期間に亘って減衰振動することがある。また、圧電素子51からその周辺に伝搬する超音波振動もわずかながらあり、これが素子ケース42や充填層99との境界面で反射して戻ってくる振動も存在する。これらが残響となる。このような、素子ケース42内の残響の影響を受けて圧電素子51が振動することにより圧電素子51から送出される超音波のことを、以下、ノイズ超音波NWという。
【0054】
コンパレータ97は、増幅器96からの信号を閾値Vrefと比較することにより、圧電素子51が受信した振動の大きさが所定以上になったときにその出力を反転する。このコンパレータ97の出力をマイクロプロセッサ91により監視し、圧電素子51からの最初の超音波の出力タイミング(図6におけるタイミングt1)から、コンパレータ97の出力が反転するまで(図6におけるタイミングt2)の時間Δtを計測することにより、超音波が測定室28内の反射部33までの距離Lを往復するのに要した時間を知ることができる。超音波が、ある媒質中を伝搬する速度Cは、次式(1)に従うことが知られている。
【0055】
【数1】
Figure 2004309384
【0056】
この式(1)は、複数の成分が混在しているガスについて成り立つ一般式であり、変数nは、第n成分についてであることを示すサフィックスである。従って、Cpnは測定室28内に存在するガスGSの第n成分の定圧比熱、Cvnは測定室28のガスGSの第n成分の定積比熱、Mnは第n成分の分子量、Xnは第n成分の混合比を表している。また、Rは気体定数、Tは測定室28内のガスGSの温度、である。
【0057】
伝搬速度Cは、測定室28内のガスGSの温度Tと濃度比Xnにより定まることになる。超音波の伝搬速度Cは、圧電素子51から反射部33までの距離Lを用いて、
C=2×L/Δt …(2)
と表せるから、Δtを計測すれば、濃度比Xn、即ち、ガソリンの蒸気濃度を求めることができる。
【0058】
マイクロプロセッサ91は、上記の式に従う演算を高速に行ない、求めたガソリンの蒸気濃度に対応した信号をD/Aコンバータ92を介して出力する。この信号がコネクタ31の端子31bを介して外部に出力される。実施例では、この信号は、内燃機関の燃料噴射量を制御しているコンピュータに出力され、ここで、キャニスタからのガソリンのパージ量を勘案して、燃料噴射量を補正するといった処理に用いられる。
【0059】
(E)筒体52の特徴:
筒体52の特徴につき、図4,図7および図8を参照しつつ説明する。図7は筒体52と音響整合板50および圧電素子51との関係を示す分解斜視図であり、図8は図4の8−8線に沿って検出用素子本体40を切断したときの矢視端面形状を示す説明図である。図8では充填材の充填によって充填層99が形成されている範囲をハッチングを用いて表わしている。
【0060】
図示するように、筒体52は、音響整合板50ないし圧電素子51と素子ケース42との間の領域に、音響整合板50および圧電素子51を取り囲むように設けられている。このように筒体52を設けることにより、検出用超音波DWの送出に伴う残響の影響により充填層99内でノイズ超音波NWが放射された場合に、ノイズ超音波NWの音響レベルが速やかに低減され、残響の継続する時間が短くなる。従って、検出用超音波DWに基づいたガソリン蒸気の濃度の正確な検出を確保することができる。
【0061】
即ち、圧電素子51やその圧電素子51と共に振動する音響整合板50から正規の方向(測定室28側)以外に放射されるノイズ超音波NWは、充填層99内を伝搬して筒体52に当たり、筒体52に反射される成分NW1と筒体52を透過する成分NW2とに分かれる。つまり、筒体52の存在により、圧電素子51へと戻ってくるノイズ超音波NWは時間的、エネルギー的に分散されることになる。この結果、ノイズ超音波NWの音響レベルは、筒体52が無い場合と比較して低いものとなるのである。
【0062】
図7に示すように、音響整合板50は圧電素子51よりも大きな外径R´を有し、筒体52は音響整合板50の外径R´よりも大きな内径Rを有する。こうした筒体52は、音響整合板50の外周に接触しないように、音響整合板50の外周から離間した状態で設置されている(図4ないし図8を参照)。これにより、筒体52の内周面と圧電素子51ないし音響整合板50の外周面との間にはクリアランス(間隙)が形成される。
【0063】
図8に示すように、圧電素子51,音響整合板50,筒体52は、それぞれの水平方向断面の中心(軸線)が一致するように配置されている。このような配置によって、筒体52の内周面と音響整合板50の外周面との間には、距離r1(内径Rと外径R´との差の半分に相当する値)分のクリアランスが、位置によらず均一に形成される。
【0064】
こうしたクリアランスの形成は、筒体52の下端に形成された突部52e,52f,52gの作用によって実現される。本実施例では、上記の突部52e,52f,52gが、特許請求の範囲における「位置決定部材」ないし「第1突部」に相当する。
【0065】
図7および図8に示すように、突部52e,52f,52gは、筒体52の外周面から外側方向(素子ケース42の内周面44方向)に突出され、筒体52の下端の3箇所にほぼ等間隔で形成されている。各突部52e,52f,52gの突出長は、筒体52と音響整合板50との水平方向断面の中心を一致させて(筒体52を音響整合板50から距離r1分離間させて)筒体52を保護フィルム48上に配置したときに筒体52の外周面と素子ケース42の内周面44との間に形成される距離(以下、形成距離という)とほぼ等しくされている。本実施例では、上記の形成距離は位置によらずほぼ一致するため、各突部52e,52f,52gの突出長を同じ値(長さp1)としている(図8を参照)。
【0066】
こうした筒体52が、保護フィルム48上に音響整合板50および圧電素子51が装着された素子ケース42内に突部52e,52f,52gを下にして挿入され、筒体52の下端が保護フィルム48上に載置されると、各突部52e,52f,52gの先端が内周面44に当接するため、筒体52は水平方向(軸線方向と直交する方向)への移動ができない状態となる。これにより、素子ケース42内での筒体52の水平位置が一通りに確定される。こうして水平位置が確定された筒体52と音響整合板50との間には距離r1分のクリアランスが確保される。
【0067】
また、筒体52には8個の開口53が設けられている。この開口53は、圧電素子51の軸方向に沿って上方に偏位した位置(換言すれば、測定室28とは反対側に偏位した位置)に、ほぼ均等な間隔で設けられている。従って、組立後には、筒体52の開口53は、音響整合板50の外周ではなく、圧電素子51の外周に対応した位置に存在することになる。
【0068】
(F)実施例の作用・効果:
以上説明した本実施例のガスセンサ10は、素子ケース42内の音響整合板50および圧電素子51を取り囲むように筒体52を、音響整合板50および圧電素子51との間のクリアランスが確保された状態で設置し、設置後の素子ケース42内に充填材を充填して充填層99を形成する。これにより、音響整合板50および圧電素子51と筒体52との間に充填材が確実に充填され、充填材が充填されない部分(以下、未充填部分という)、具体的には気泡を含んだ充填層が形成されにくくなる。このため、ガスセンサ10の周辺温度の変化によって充填層99が膨張ないし収縮した場合に、充填層内の未充填部分により検出用素子や整合板が局所的な応力を受け、残響の継続時間や検出用素子の感度が大きく変化してしまうことがない。この結果、ガソリン蒸気の濃度の正確な検出を、周辺温度の変化に拘らず、実現することができる。
【0069】
また、本実施例のガスセンサ10では、音響整合板50および圧電素子51と筒体52との間に、距離r1分のクリアランスが、位置によらず均一に形成される。これにより、音響整合板50および圧電素子51と筒体52との間には、位置によらずほぼ等量の充填材が充填され、バランスの良い充填層99が形成される。このため、ガスセンサ10の周辺温度の変化によって充填層が膨張ないし収縮した場合に、充填層内の圧電素子51や音響整合板50が受ける応力は圧電素子51や音響整合板50の全周に亘って均一となり、圧電素子51や音響整合板50がアンバランスな応力を受けることがない。従って、上記応力に起因する残響の継続時間や圧電素子51の感度の変化をより小さくすることができる。
【0070】
本実施例のガスセンサ10では、素子ケース42の底面に素子ケース42内部と測定室28とを区切る保護フィルム48を備え、この保護フィルム48に、圧電素子51が接着された音響整合板50を装着する。上記したように、音響整合板50および圧電素子51と筒体52との間には充填材が確実に充填されるので、形成される充填層99内に気泡が含まれにくくなる。このため、ガスセンサ10の周辺温度の変化に伴って充填層内の気泡が膨張することに起因する保護フィルム48の測定室28側への飛び出しが防止される。これにより、保護フィルム48に装着された音響整合板50や音響整合板50に装着された圧電素子51が測定室28に向かう方向に移動してしまうこと(図9において二点鎖線で示す状態)が防止される。この図9では、本実施例のガスセンサ10によって防止される音響整合板50および圧電素子51の移動を模式的に表わしている。これにより、検出用超音波DWが送出される測定室28の流路長が一定に保たれるので、ガソリン蒸気の濃度の検出の正確性をより一層向上することができる。併せて、圧電素子51が測定室28に向かう方向に移動することに伴うリード線54a,54bの断線が防止されるので、センサの耐久性を確保することができる。
【0071】
また、本実施例のガスセンサ10では、素子ケース42内における筒体52の設置位置が筒体52の下端に形成された突部52e,52f,52gによって決定され、設置位置が決定された筒体52と音響整合板50との間に距離r1分のクリアランスが確保される。従って、音響整合板50と筒体52との間のクリアランスを容易かつ確実に確保することができる。なお、音響整合板50に接着された圧電素子51の外側面が音響整合板50の外側面よりも外側に位置する場合には、突部52e,52f,52gの突出長を変更して、筒体52と圧電素子51との間に距離r1分のクリアランスが確保されるようにすればよい。
【0072】
(G)実験結果:
本実施例のガスセンサ10が上記の作用効果を奏することは、以下のような実験データによっても明らかとされている。
【0073】
まず、「音響整合板50および圧電素子51を取り囲む筒体52を設けることにより、圧電素子51から送出されるノイズ超音波NWの音響レベルを速やかに低減する」という作用効果について説明する。図10は本実施例のガスセンサ10においてノイズ超音波NWの音響レベルが低減される様子を示す説明図である。この図10では、ドライバ93からの出力信号を受けて圧電素子51が検出用超音波DWを測定室28に送出した後(図6における送出期間P1の経過後)における圧電素子51の振動状態の時間的推移をグラフで表わしている。このグラフでは、横軸を経過時間とし、縦軸を圧電素子51の振幅としている。この圧電素子51の振幅は、圧電素子51に接続された振動検出器において検出された振幅を示している。このグラフにおいて、圧電素子51の振幅の「Vref」という値は、圧電素子51が閾値Vrefに相当する振動状態である場合に検出される振幅を示している。なお、入力期間P2は、圧電素子51が受信器として機能している期間を示している。
【0074】
図10に示すように、圧電素子51の振幅は、圧電素子51がドライバ93により加振されることにより生じた後、速やかに減衰する。即ち、圧電素子51の振幅は、検出用超音波DWの送出後に「Vref」よりも小さくなり、入力期間P2の始期に至る前に微弱なものとなる。これは、検出用超音波DWの送出後に素子ケース42内における残響が速やかに低減されていることを意味する。このため、入力期間P2においては、圧電素子51から送信されるノイズ超音波NWは極めて微弱な状態となり、この状態で、圧電素子51は反射部33に反射された検出用超音波DWを受け取る。このような微弱なノイズ超音波NWであれば、たとえ反射波としての検出用超音波DWに干渉した場合であっても、干渉度合いが弱いため、検出用超音波DWの波形や位相を大きく乱してしまうことがない。従って、最初の検出用超音波DWが送信されてから圧電素子51に戻ってくるまでの経過時間を正確に得ることが可能となり、また、戻ってきた検出用超音波DWを圧電素子51が受信することにより、閾値Vref以上のレベルの信号を確実にコンパレータ97に入力することができる。
【0075】
なお、上記実施例では、測定室28に反射部33を設けることにより圧電素子51を検出用超音波DWの送信器および受信器として機能させる構成としたが、上記のような反射部33を設けず、送信器としての圧電素子(以下、送信用素子という)と受信器としての圧電素子(以下、受信用素子という)を別々に設けた場合であっても、図10に示したような残響の速やかな低減は重要な意義を有する。即ち、送信用素子から受信用素子に検出用超音波DWが送出された後、送信用素子を収納する素子ケース内における残響が上記の図10に示すように速やかに低減されれば、検出用超音波DWの送出後に送信用素子から強度のノイズ超音波NWが送信されてしまうことが防止される。例えば、再度の濃度検出を行なうために、送信用素子から検出用超音波DWが再び送信される前や検出用超音波DWが再び送信される際に、強度のノイズ超音波NWが受信用素子に送出されることがない。従って、受信用素子に接続されたコンパレータ97が、ノイズ超音波NWを受けた受信用素子からの信号を、検出用超音波DWに基づく信号と間違えてマイクロプロセッサ91に出力してしまうことがない。
【0076】
次に、「筒体52を、音響整合板50および圧電素子51との間のクリアランスが確保された状態で設置することにより、残響の継続時間や圧電素子51の感度の変化が小さくなる」という作用効果について説明する。上記実施例のガスセンサ10を用いて、以下のような実験を行なった。まず、ガスセンサ10と、筒体52と音響整合板および圧電素子との間にクリアランスが確保されていないガスセンサ(筒体52以外の構成はガスセンサ10と同じであるもの 以下、ガスセンサTS1という)とを準備し、ガスセンサ10,ガスセンサTS1を所定の箇所に設置した。次に、設置箇所の周辺温度を「−15℃」,「25℃」,「90℃」という3通りの値に変化させ、各値の場合において、検出用超音波DWが送出された後に残響が継続した時間と、圧電素子51の超音波の受信感度とを、ガスセンサ10,ガスセンサTS1のそれぞれについて計測した。次に、横軸を周辺温度とし、縦軸を残響の継続時間ないし圧電素子51の受信感度としたグラフを準備し、このグラフ上にガスセンサ10,ガスセンサTS1についての計測値をプロットした。各プロット点を線で結ぶことにより、図11に示すグラフを実験結果として得た。この図11では、ガスセンサ10についての実験結果を表わすグラフを実線で、ガスセンサTS1についての実験結果を表わすグラフを破線で示している。図11に示すグラフから、ガスセンサ10は、ガスセンサTS1と比較して温度全域に亘って残響の継続時間が短く、ガスセンサTS1よりも温度変化に伴う受信感度の変化が少ないことがわかった。
【0077】
次に、「圧電素子51が接着された音響整合板50が保護フィルム48に装着されている場合には、音響整合板50および圧電素子51との間のクリアランスが確保された状態で筒体52を設置することにより、周辺温度の変化に伴う保護フィルム48の測定室28側への飛び出しが防止される」という作用効果について説明する。上記実施例のガスセンサ10,ガスセンサTS1のそれぞれについて、以下のような熱衝撃試験を行なった。まず、ガスセンサ10,ガスセンサTS1が設置された箇所の周辺温度を「−40℃から125℃に上げ、再び−40℃に戻す」というサイクルを、100サイクル,500サイクル,1000サイクルに亘って繰り返した。周辺温度の各値(−40℃,125℃)は、30分間維持された後、5分以内に次の値に変更されることとした。次に、上記サイクルを100サイクル,500サイクル,1000サイクル繰り返した時点での、ガスセンサ10,ガスセンサTS1における保護フィルム48の測定室28側への飛び出し寸法d1(図9を参照)を計測すると共に、ガスセンサ10,ガスセンサTS1におけるリード線54a,54bが断線しているか否か確認した。こうした計測値や確認結果を記入した表を実験結果として図12に示した。図12に示す表から、ガスセンサ10は、ガスセンサTS1と比較して、温度変化に伴う保護フィルム48の測定室28側への飛び出し量が少ないことがわかった。
【0078】
(H)変形例:
上記実施例のガスセンサ10では、素子ケース42内における筒体52の位置決め用部材として、筒体52の外周面から外側方向(素子ケース42の内周面44方向)に突出された突部52e,52f,52gを設けたが、この突部52e,52f,52g以外の形態で筒体52の位置決め用部材を設けることも可能である。このような他の形態の位置決め用部材を、図13,図14,図15に、第1変形例,第2変形例第3変形例として示した。図13,図14,図15では、上記実施例と共通する各部につき、符号の十の位以下を上記実施例と同じ数字ないし英字を用いて表わしている。
【0079】
図13(A)は検出用素子本体140の図8に対応する端面を示し、図13(B)は図13(A)の13B−13B線に沿って検出用素子本体140を切断したときの矢視断面形状を示している。図13(B)では、説明の便宜のため、筒体152の断面のみをハッチングを用いて表わすと共に、充填層99の記載を省略している。
【0080】
図示するように、第1変形例では、筒体152の下端に、筒体152の内周面から内側方向(音響整合板50方向)に突出した突部152e,152f,152gが周方向において略等間隔に形成されている。各突部152e,152f,152gの突出長は長さr1とされている。上記の突部152e,152f,152gが特許請求の範囲における「位置決定部材」ないし「第2突部」に相当する。
【0081】
こうした筒体152が、保護フィルム48上に音響整合板50および圧電素子51が装着された素子ケース42内に突部152e,152f,152gを下にして挿入され、筒体152の下端が保護フィルム48上に載置されると、各突部152e,152f,152gの先端が音響整合板50の外周面に当接するため、筒体152は水平方向への移動ができない状態となる。これにより、素子ケース42内での筒体152の水平位置が一通りに確定され、筒体152と音響整合板50との間に距離r1分のクリアランスが確保される。
【0082】
図14に示す第2変形例は、筒体252の位置決め用部材を素子ケース242に設けたものである。図14(A)は検出用素子本体240の図8に対応する端面を示し、図14(B)は図14(A)の14B−14B線に沿って検出用素子本体240を切断したときの矢視断面形状を示している。図14(B)では、説明の便宜のため、筒体252および素子ケース242の断面のみをハッチングを用いて表わすと共に、充填層99の記載を省略している。
【0083】
図示するように、第2変形例では、筒体252は突部を有しない中空の略円筒形状とされている。一方、素子ケース242の下端には、内周面244から内側方向(音響整合板50方向)に突出した突出部244e,244f,244gが周方向において略等間隔に形成されている。各突出部244e,244f,244gの突出長は、筒体252と音響整合板50との水平方向断面の中心を一致させ、筒体252を音響整合板50から距離r1分離間させて保護フィルム48上に配置したときに筒体252の外周面と内周面244との間に形成される距離である長さp1とされている。上記の突出部244e,244f,244gが特許請求の範囲における「位置決定部材」ないし「突出部」に相当する。
【0084】
こうした筒体252が、保護フィルム48上に音響整合板50および圧電素子51が装着された素子ケース242内に挿入され、筒体252の下端が保護フィルム48上に載置されると、筒体252の外周面が各突出部244e,244f,244gの先端に当接するため、筒体252は水平方向への移動ができない状態となる。これにより、素子ケース242内での筒体252の水平位置が一通りに確定され、筒体252と音響整合板50との間に距離r1分のクリアランスが確保される。
【0085】
図15に示す第3変形例は、筒体352の位置決め用部材を音響整合板350に設けたものである。図15(A)は音響整合板350の外形を示しており、図15(B)は図13(B)に対応する断面を示している。図15(B)では、説明の便宜のため、筒体352および音響整合板350の断面のみをハッチングを用いて表わすと共に、充填層99の記載を省略している。
【0086】
図示するように、第3変形例では、音響整合板350は、頂部から裾部に向かうにつれて水平方向の断面積が漸増された略円錐台形状とされている。こうした断面積の漸増により形成され、上記実施例における音響整合板50よりも水平方向に体積が増した部分のことを凸部350eという。凸部350eの下端350tは、上記実施例における音響整合板50の下端よりも長さr1分だけ水平外側方向(筒体352方向)に延出されている。上記の凸部350eが特許請求の範囲における「位置決定部材」ないし「凸部」に相当する。一方、筒体352は突部を有しない中空の略円筒形状とされており、筒体352の内径は下端350tにおける音響整合板350の外径と略同一とされている。
【0087】
こうした筒体352が、保護フィルム48上に音響整合板350および圧電素子51が装着された素子ケース内に挿入され、筒体352の下端が保護フィルム48上に載置されると、筒体352の内周面が凸部350eの下端350tに当接するため、筒体352は水平方向への移動ができない状態となる。これにより、素子ケース内での筒体352の水平位置が一通りに確定され、筒体352と音響整合板350との間に、最大で距離r1分のクリアランスを有する充填空間FMが確保される。
【0088】
なお、第3変形例では、音響整合板350を略円錐台形状とすることによって筒体352の位置決め用の凸部350eを形成したが、音響整合板350を他の形状とすることにより筒体352の位置決め用の部材を形成しても差し支えない。こうした一例を音響整合板450として図15(C)および図15(D)に示した。図15(C)は音響整合板450の外形を示しており、図15(D)は図13(B)に対応する断面を示している。
【0089】
以上、本発明の実施例ないし変形例について説明したが、本発明はこうした実施例ないし変形例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲内において、例えば超音波を用いた温度センサや比熱センサ、あるいは超音波以外の手法により、ガスの種々の性質を検出するセンサなどに適用することができることは勿論である。
【0090】
上記実施例において、突部52e,52f,52gの先端を素子ケース42の内周面44に沿った形状とし、筒体52を保護フィルム48に装着したときに突部52e,52f,52gの先端の端面が内周面44に接するように構成してもよい。このような構成は、上記変形例における突部152e,152f,152gや突出部244e,244f,244gについても採用することができる。
【0091】
上記実施例ないし変形例では、筒体52,152,252,352,452の位置決め用部材を、筒体52,152の内周面若しくは外周面、素子ケース242の内周面44、音響整合板350,450の外周面の下端に設けたが、下端以外の高さ位置に設けることも可能である。この場合において、筒体52,152の周面に突部52e,52f,52g,152e,152f,152gの外形に習った切り込み部を形成し、この切り込み部を外側若しくは内側に周面に対して略直角に折り曲げ、折り曲げ部分を上記位置決め用部材として利用し、折り曲げによって筒体52,152の周面に表われた孔を開口53,153として利用してもよい。
【0092】
上記実施例ないし変形例では、筒体52,152,252,352,452の位置決め用部材を、筒体52,152、素子ケース242、音響整合板350,450の一部として設けたが、このような位置決め用部材を、筒体52,152、素子ケース242および音響整合板350,450とは別の部材として設けても差し支えない。例えば、このような別部材としての位置決め用部材を保護フィルム48に装着して、音響整合版,圧電素子と筒体とのクリアランスを確保することもできる。
【0093】
上記実施例ないし変形例では、筒体52,152,252の位置決め用部材を、筒体52,152や素子ケース242の3箇所にほぼ等間隔で形成したが、勿論、等間隔でなくても差し支えない。また、位置決め用部材の形成箇所は4箇所以上であってもよく、2箇所以下であってもよい。2箇所の場合であっても、位置決め用部材を対角線上に配置することで、素子ケース42内での筒体52の水平位置を概ね決定することができる。また、筒体52,152,252の位置決め用部材を、例えば、筒体52の1箇所以上に形成すると共に、素子ケース42の1箇所以上に形成した場合にも、素子ケース42内での筒体52の水平位置を決定することが可能である。
【0094】
また、上記実施例ないし変形例では、筒体52,152,252,352,452の位置決め用部材を設けたが、このような位置決め用部材を設けない構成としても差し支えない。この場合には、音響整合板50および圧電素子51と筒体52との間に充填材が入り込むのに十分なクリアランスが確保されるように、筒体52を素子ケース42内に装着すればよい。
【0095】
上記実施例ないし変形例では、筒体52,152,252,352,452に開口53,153,253,353,453を設けたが、このような開口53,153,253,353,453を設けない構成としても差し支えない。
【0096】
上記実施例において、素子ケース42内の充填層99は、圧電素子51が埋設される高さに形成されていればよい。例えば、充填層99を筒体52の先端が埋設されない高さに設け、圧電素子51のリード線54a,54bを、銅製の筒体52の先端を介して端子55a,55bに接続する構成とすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例としてのガスセンサ10の分解斜視形状を示す説明図である。
【図2】ガスセンサ10の垂直断面を示す説明図である。
【図3】コネクタ31に設けられた端子31aないし31dの形状を示す斜視図である。
【図4】検出用素子本体40の構造を示す説明図である。
【図5】ガスセンサ10の内部の電気的な構成を示す説明図である。
【図6】超音波を用いたガソリン蒸気の濃度検出の原理を説明する説明図である。
【図7】音響整合板50,圧電素子51と筒体52の構造を斜視形状で示す説明図である。
【図8】図4の8−8線に沿って検出用素子本体40を切断したときの矢視端面形状を示す説明図である。
【図9】本実施例のガスセンサ10によって防止される音響整合板50および圧電素子51の移動を模式的に表わす説明図である。
【図10】ガスセンサ10において、ノイズ超音波NWの音響レベルが低減される様子を示す説明図である。
【図11】ガスセンサ10の周辺温度と、残響長さ,受信感度との関係を表わすグラフである。
【図12】本実施例のガスセンサ10に対する熱衝撃試験の結果を示す説明図である。
【図13】第1変形例を示す説明図である。
【図14】第2変形例を示す説明図である。
【図15】第3変形例を示す説明図である。
【符号の説明】
10…ガスセンサ
20…流路形成部材
22…収納部
22a…端子用凸部
24…凹部
24a…連通孔
25…挿入孔
27…導入路
28…測定室
29…バイパス流路
31…コネクタ
31a〜31d…端子
32…導入孔
33…反射部
34…出口
35…排出流路
36…金属板
40,140,240…検出用素子本体
41…フランジ部
42,242…素子ケース
43…収容部
44,244…内周面
45…端面
46…段差部
48…保護フィルム
50,350,450…音響整合板
51…圧電素子
52,152,252,352,452…筒体
52e,52f,52g,152e,152f,152g…突部
53,153,253,353,453…開口
54a,54b…リード線
55a,55b…端子
56a,56b…突出部
59…突起
60…サーミスタ
70…電子回路基板
72…取付孔
80…ケース
83…切り起こし部
85…挿入孔
91…マイクロプロセッサ
92…デジタル−アナログコンバータ
93…ドライバ
96…増幅器
97…コンパレータ
99…充填層
244e,244f,244g…突出部
350e,450e…凸部
350t,450t…下端

Claims (7)

  1. 所定の気体の流路に臨んで設けられ、所定の信号を受けて振動する検出用素子を備えたガスセンサであって、
    前記検出用素子と、該検出用素子に装着され、該検出用素子の振動を前記流路に伝達する整合板と、を収納する筐体と、
    前記検出用素子および前記整合板と前記筐体との間の該検出用素子および該整合板を取り囲む位置に、該検出用素子および該整合板との間のクリアランスが確保された状態で設置された介在部材と、
    前記筐体内に所定の充填材を、少なくとも前記検出用素子が埋設する位置まで充填することにより形成された充填層と
    を備えたガスセンサ。
  2. 前記クリアランスが略均一である請求項1に記載のガスセンサ。
  3. 前記検出用素子の振動によって生じた振動波を前記流路方向に送出して前記気体の性質を検出する請求項1または2に記載のガスセンサ。
  4. 請求項3に記載のガスセンサであって、
    前記筐体の開口部に装着され、該筐体内部と前記流路とを区切るフィルムを備え、
    該フィルムに前記整合板が装着された
    ガスセンサ。
  5. 前記介在部材が設置される位置を前記クリアランスが確保される位置に決定する位置決定部材を備えた請求項1ないし4のいずれかに記載のガスセンサ。
  6. 前記位置決定部材は、前記介在部材に前記筐体側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に前記筐体と少なくとも3点において接触する第1突部、または、前記筐体に前記整合板側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に該介在部材と少なくとも3点において接触する突出部のうちのいずれかである請求項5に記載のガスセンサ。
  7. 前記位置決定部材は、前記介在部材に前記整合板側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に前記整合板と少なくとも3点において接触する第2突部、または、前記整合板に前記筐体側に突出する態様で設けられ、該介在部材が設置される際に該介在部材と少なくとも3点において接触する凸部のうちのいずれかである請求項5に記載のガスセンサ。
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