JP2004303878A - 受光素子アレイ - Google Patents
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Abstract
【課題】受光素子アレイにおいて受光領域外への入射光に対する感度の抑制および隣接セル間のクロストーク低減化を可能にする。
【解決手段】基板には、複数個のフォトダイオードが列状に配列されたアレイを取り囲むようにガードリング18が形成されている。ガードリングには電極42が設けられており、基板の裏面に設けられたコモン電極と電気的に接続されている。フォトダイオードの受光領域外に入射する光によって生起されたキャリアで、ガードリングに向かって拡散するものは、ガードリングに吸収される。
【選択図】 図2
【解決手段】基板には、複数個のフォトダイオードが列状に配列されたアレイを取り囲むようにガードリング18が形成されている。ガードリングには電極42が設けられており、基板の裏面に設けられたコモン電極と電気的に接続されている。フォトダイオードの受光領域外に入射する光によって生起されたキャリアで、ガードリングに向かって拡散するものは、ガードリングに吸収される。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、受光素子アレイ、特にガードリングを備える受光素子アレイに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、受光素子アレイに用いられる受光素子として、例えば、特許文献1に開示されたフォトダイオードが知られている。
【0003】
図1に、この従来のフォトダイオードを用いたフォトダイオード・アレイ10の平面図を示す。フォトダイオードは、n型InP基板上にノンドープ(i型)InGaAs層,n型InP層を形成し、InP層にZnを拡散してp型拡散領域を形成したpinフォトダイオードである。このようなフォトダイオードが列状に配列されている。12は各フォトダイオードの受光領域を、14は各フォトダイオードの電極を示す。InP基板の裏面には、コモンの電極が設けられている。
【0004】
このようなフォトダイオード・アレイは、光通信における受光素子アレイとしてよく用いられる。光通信においては、フォトダイオード・アレイは、波長によって受光する領域(セル)を切換える目的で使用されることが多いため、通常、分光器等との組み合わせで使用される。光信号は、そこに含まれる波長に応じて分光され、フォトダイオード・アレイの対応する受光領域(セル)で受光される。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−100796号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のフォトダイオード・アレイは、受光領域外に入射した光、あるいは隣接するセルに入射した光に対しても感度を有する(クロストークが発生する)ため、誤って信号として認識する可能性が生じる。これは、キャリアが拡散によってある確率で近接セルに到達し、電流(信号)として検出されるためである。
【0007】
また、従来のフォトダイオード・アレイは、隣接セル間のクロストーク低減化のために、セル間のピッチを広くするという方法が考えられるが、フォトダイオードと組み合わせる分光器などの構成に影響を与えるため自由に設計変更することが難しい。フォトダイオード・アレイの隣接セル間のピッチを変更すると分光器も設計変更が必要となるためである。
【0008】
その他のクロストーク低減化法として、セル間を金属膜で遮光する方法があるが、その場合、金属膜で反射された光が迷光となって新たなキャリアを発生し、結果的にクロストークを悪化させる原因となり得る。
【0009】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、フォトダイオード・アレイにガードリングを設けることで、受光領域外への入射光に対する感度の抑制および隣接セル間のクロストーク低減化を可能にすることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、列状に並んだフォトダイオードを取り囲むようにガードリングを形成する。ガードリングはフォトダイオードと同様に拡散技術によって作製する。また、ガードリングには電極を設け、pn接合への逆バイアス印加を可能とする。
【0011】
ガードリングを設けることにより、受光領域外へ入射した光によって発生したキャリアをガードリングで捕獲し、近接セルへの拡散を抑制することができる。
【0012】
このように、近接セルへのキャリアの拡散を抑制することにより、受光領域外への入射光に対して感度を抑制することができる。また、隣接するセルの間に入射した光によって発生したキャリアに対しても拡散を抑制できるため、結果的にクロストーク低減化が可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
【第1実施例】
図2に、本発明の第1実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイ16の構成を示す。図2において、ガードリング18は受光領域(セル)と同様、拡散技術により作製したpn接合であり、列状に配列されたフォトダイオードを取り囲むように形成されている。
【0014】
図3に、図2のX−X′線断面を示す。n型InP基板30上にノンドープ(i型)InGaAs層32,n型InP層34を形成し、InP層34にZnを拡散してp型拡散領域を形成する。拡散領域36はフォトダイオードの受光領域12を、拡散領域38はガードリング18を構成する。各受光領域12上には、p型電極(アノード)14が形成され、n型InP基板30の裏面には、コモンのn型電極(カソード)40が形成される。
【0015】
図2に示すように、ガードリング18には電極42を設けてあり、コモン電極40と電気的に接続することで外部に光電流を流すことができる。また、電極42を、コモン電極40に接続することなく、電極42とコモン電極40との間に逆バイアスを印加することも可能である。
【0016】
図4は、ガードリングつきフォトダイオード・アレイ16に光が入射した時のキャリア(図中の●印)の動きを示す。図4(A)は平面図を、図4(B)はY−Y′線断面図を示す。図は光が受光領域外に入射した場合を示しているが、受光素子としては迷光など受光領域外への入射光に対して感度を持たないことが望ましい。つまり、図中の実線矢印で示す方向、すなわち受光領域への方向へのキャリアの移動は、できる限り抑制する必要がある。
【0017】
図5は、図6に示すようにX−Y座標軸を原点0を受光領域の中心に位置させて設定したときの、Y方向すなわちガードリングへの方向に対する光感度分布の測定結果を示している。なおX方向は、フォトダイオードの配列方向にとる。
【0018】
図5において、曲線Aは本実施例のガードリング有りの場合の光感度分布を、曲線Bはガードリング無しの場合の光感度分布を示している。
【0019】
光感度は、受光領域の電極から取り出される電流の値から求めている。光の入射位置が受光領域から外れると、原点0から離れるに従って光感度が低下するが、カードリング18が有る場合の方が無い場合よりも低減効果が大きくなっている。これは、ガードリング18を形成した場合、図4に示す点線矢印の方向へ拡散してきたキャリアをガードリング18で捕獲することにより、受光領域側へのキャリアの拡散を抑制できることを示している。
【0020】
【第2実施例】
図7は、本発明の第2の実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイ44を示す。各セルを取り囲むようにはしご状ガードリング46を構成する。48は、ガードリング46上に形成された電極である。
【0021】
このような構成のガードリングは、受光領域外へ入射した光によって発生したキャリアをより効果的に捕獲することができる。これは、X方向に対する光感度分布を測定することで確認することができる。X方向の原点は、受光領域の中心である。図8はその測定結果を示す。曲線Cはガードリング有りの場合の光感度分布を、曲線Dはガードリング無しの場合の光感度分布を示している。これら曲線から、ガードリング効果により受光領域外の光に対する光感度が十分低減できることがわかる。またこの場合、結果的に隣接セルとのクロストークも低減化できる。
【0022】
【第3実施例】
第1実施例および第2実施例のガードリング効果は、ガードリングとセルの距離が近いほど大きくなるが、セルおよび電極の形状や配置に応じてガードリングパターンを変形することは可能である。
【0023】
図9は、第1実施例の変形例であり、フォトダイオード・アレイの電極側に直線状のガードリング50,52を2列に配列したものである。54,56は、各ガードリング50,52上に形成された電極である。
【0024】
図10は、第2実施例の変形例であり、フォトダイオード・アレイの電極側に、櫛歯状のガードリング60,62を2列に配列したものである。64,66は、各ガードリング60,62上に形成された電極である。
【0025】
いずれの構成でも、ある一定の効果を得ることができる。
【0026】
第1〜第3実施例のフォトダイオード・アレイ(図2,図7,図9および図10)において、各受光素子の電極は交互に配置されているが、電極は1列に並ぶようにどちらか一方の側に配置しても良い。
【0027】
【発明の効果】
本発明の受光素子アレイによれば、ガードリングを設けることで、受光領域外への入射光に対する感度の抑制および隣接セル間のクロストーク低減化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のフォトダイオードを用いたフォトダイオード・アレイの平面図である。
【図2】本発明の第1実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイの構成を示す平面図である。
【図3】図2のX−X′線断面図である。
【図4】ガードリングつきフォトダイオード・アレイに光が入射した時のキャリアの動きを示す図である。
【図5】Y方向に対する光感度分布の測定結果を示す図である。
【図6】X−Y座標軸を示す図である。
【図7】本発明の第2の実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイを示す平面図である。
【図8】X方向に対する光感度分布の測定結果を示す図である。
【図9】第1実施例の変形例を示す平面図である。
【図10】第2実施例の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
10,16,44 フォトダイオード・アレイ
12 受光領域
14 各フォトダイオードの電極
18,46,50,52,60,62 ガードリング
30 n型InP基板
32 ノンドープInGaAs層
34 n型InP層
36,38 拡散領域
40 コモンのn型電極
42,48,54,56,64,66 ガードリング電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、受光素子アレイ、特にガードリングを備える受光素子アレイに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、受光素子アレイに用いられる受光素子として、例えば、特許文献1に開示されたフォトダイオードが知られている。
【0003】
図1に、この従来のフォトダイオードを用いたフォトダイオード・アレイ10の平面図を示す。フォトダイオードは、n型InP基板上にノンドープ(i型)InGaAs層,n型InP層を形成し、InP層にZnを拡散してp型拡散領域を形成したpinフォトダイオードである。このようなフォトダイオードが列状に配列されている。12は各フォトダイオードの受光領域を、14は各フォトダイオードの電極を示す。InP基板の裏面には、コモンの電極が設けられている。
【0004】
このようなフォトダイオード・アレイは、光通信における受光素子アレイとしてよく用いられる。光通信においては、フォトダイオード・アレイは、波長によって受光する領域(セル)を切換える目的で使用されることが多いため、通常、分光器等との組み合わせで使用される。光信号は、そこに含まれる波長に応じて分光され、フォトダイオード・アレイの対応する受光領域(セル)で受光される。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−100796号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のフォトダイオード・アレイは、受光領域外に入射した光、あるいは隣接するセルに入射した光に対しても感度を有する(クロストークが発生する)ため、誤って信号として認識する可能性が生じる。これは、キャリアが拡散によってある確率で近接セルに到達し、電流(信号)として検出されるためである。
【0007】
また、従来のフォトダイオード・アレイは、隣接セル間のクロストーク低減化のために、セル間のピッチを広くするという方法が考えられるが、フォトダイオードと組み合わせる分光器などの構成に影響を与えるため自由に設計変更することが難しい。フォトダイオード・アレイの隣接セル間のピッチを変更すると分光器も設計変更が必要となるためである。
【0008】
その他のクロストーク低減化法として、セル間を金属膜で遮光する方法があるが、その場合、金属膜で反射された光が迷光となって新たなキャリアを発生し、結果的にクロストークを悪化させる原因となり得る。
【0009】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、フォトダイオード・アレイにガードリングを設けることで、受光領域外への入射光に対する感度の抑制および隣接セル間のクロストーク低減化を可能にすることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、列状に並んだフォトダイオードを取り囲むようにガードリングを形成する。ガードリングはフォトダイオードと同様に拡散技術によって作製する。また、ガードリングには電極を設け、pn接合への逆バイアス印加を可能とする。
【0011】
ガードリングを設けることにより、受光領域外へ入射した光によって発生したキャリアをガードリングで捕獲し、近接セルへの拡散を抑制することができる。
【0012】
このように、近接セルへのキャリアの拡散を抑制することにより、受光領域外への入射光に対して感度を抑制することができる。また、隣接するセルの間に入射した光によって発生したキャリアに対しても拡散を抑制できるため、結果的にクロストーク低減化が可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
【第1実施例】
図2に、本発明の第1実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイ16の構成を示す。図2において、ガードリング18は受光領域(セル)と同様、拡散技術により作製したpn接合であり、列状に配列されたフォトダイオードを取り囲むように形成されている。
【0014】
図3に、図2のX−X′線断面を示す。n型InP基板30上にノンドープ(i型)InGaAs層32,n型InP層34を形成し、InP層34にZnを拡散してp型拡散領域を形成する。拡散領域36はフォトダイオードの受光領域12を、拡散領域38はガードリング18を構成する。各受光領域12上には、p型電極(アノード)14が形成され、n型InP基板30の裏面には、コモンのn型電極(カソード)40が形成される。
【0015】
図2に示すように、ガードリング18には電極42を設けてあり、コモン電極40と電気的に接続することで外部に光電流を流すことができる。また、電極42を、コモン電極40に接続することなく、電極42とコモン電極40との間に逆バイアスを印加することも可能である。
【0016】
図4は、ガードリングつきフォトダイオード・アレイ16に光が入射した時のキャリア(図中の●印)の動きを示す。図4(A)は平面図を、図4(B)はY−Y′線断面図を示す。図は光が受光領域外に入射した場合を示しているが、受光素子としては迷光など受光領域外への入射光に対して感度を持たないことが望ましい。つまり、図中の実線矢印で示す方向、すなわち受光領域への方向へのキャリアの移動は、できる限り抑制する必要がある。
【0017】
図5は、図6に示すようにX−Y座標軸を原点0を受光領域の中心に位置させて設定したときの、Y方向すなわちガードリングへの方向に対する光感度分布の測定結果を示している。なおX方向は、フォトダイオードの配列方向にとる。
【0018】
図5において、曲線Aは本実施例のガードリング有りの場合の光感度分布を、曲線Bはガードリング無しの場合の光感度分布を示している。
【0019】
光感度は、受光領域の電極から取り出される電流の値から求めている。光の入射位置が受光領域から外れると、原点0から離れるに従って光感度が低下するが、カードリング18が有る場合の方が無い場合よりも低減効果が大きくなっている。これは、ガードリング18を形成した場合、図4に示す点線矢印の方向へ拡散してきたキャリアをガードリング18で捕獲することにより、受光領域側へのキャリアの拡散を抑制できることを示している。
【0020】
【第2実施例】
図7は、本発明の第2の実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイ44を示す。各セルを取り囲むようにはしご状ガードリング46を構成する。48は、ガードリング46上に形成された電極である。
【0021】
このような構成のガードリングは、受光領域外へ入射した光によって発生したキャリアをより効果的に捕獲することができる。これは、X方向に対する光感度分布を測定することで確認することができる。X方向の原点は、受光領域の中心である。図8はその測定結果を示す。曲線Cはガードリング有りの場合の光感度分布を、曲線Dはガードリング無しの場合の光感度分布を示している。これら曲線から、ガードリング効果により受光領域外の光に対する光感度が十分低減できることがわかる。またこの場合、結果的に隣接セルとのクロストークも低減化できる。
【0022】
【第3実施例】
第1実施例および第2実施例のガードリング効果は、ガードリングとセルの距離が近いほど大きくなるが、セルおよび電極の形状や配置に応じてガードリングパターンを変形することは可能である。
【0023】
図9は、第1実施例の変形例であり、フォトダイオード・アレイの電極側に直線状のガードリング50,52を2列に配列したものである。54,56は、各ガードリング50,52上に形成された電極である。
【0024】
図10は、第2実施例の変形例であり、フォトダイオード・アレイの電極側に、櫛歯状のガードリング60,62を2列に配列したものである。64,66は、各ガードリング60,62上に形成された電極である。
【0025】
いずれの構成でも、ある一定の効果を得ることができる。
【0026】
第1〜第3実施例のフォトダイオード・アレイ(図2,図7,図9および図10)において、各受光素子の電極は交互に配置されているが、電極は1列に並ぶようにどちらか一方の側に配置しても良い。
【0027】
【発明の効果】
本発明の受光素子アレイによれば、ガードリングを設けることで、受光領域外への入射光に対する感度の抑制および隣接セル間のクロストーク低減化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のフォトダイオードを用いたフォトダイオード・アレイの平面図である。
【図2】本発明の第1実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイの構成を示す平面図である。
【図3】図2のX−X′線断面図である。
【図4】ガードリングつきフォトダイオード・アレイに光が入射した時のキャリアの動きを示す図である。
【図5】Y方向に対する光感度分布の測定結果を示す図である。
【図6】X−Y座標軸を示す図である。
【図7】本発明の第2の実施例であるガードリングつきフォトダイオード・アレイを示す平面図である。
【図8】X方向に対する光感度分布の測定結果を示す図である。
【図9】第1実施例の変形例を示す平面図である。
【図10】第2実施例の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
10,16,44 フォトダイオード・アレイ
12 受光領域
14 各フォトダイオードの電極
18,46,50,52,60,62 ガードリング
30 n型InP基板
32 ノンドープInGaAs層
34 n型InP層
36,38 拡散領域
40 コモンのn型電極
42,48,54,56,64,66 ガードリング電極
Claims (8)
- 複数個の受光素子が列状に配列され、裏面にコモン電極が設けられた基板と、
前記複数個の受光素子を全体として取り囲むように形成されたガードリングと、
前記ガードリング上に形成された電極と、
を備える受光素子アレイ。 - 複数個の受光素子が列状に配列され、裏面にコモン電極が設けられた基板と、
前記複数個の受光素子をそれぞれ取り囲むように形成されたガードリングと、
前記ガードリング上に形成された電極と、
を備える受光素子アレイ。 - 複数個の受光素子が列状に配列され、裏面にコモン電極が設けられた基板と、
前記複数個の受光素子を挟むようにして配列方向に延びるように形成された直線状のガードリングと、
前記ガードリング上にそれぞれ形成された電極と、
を備える受光素子アレイ。 - 複数個の受光素子が列状に配列され、裏面にコモン電極が設けられた基板と、
前記複数個の受光素子を挟むようにして配列方向に延びるように形成された櫛歯状のガードリングと、
前記ガードリング上にそれぞれ形成された電極と、
を備える受光素子アレイ。 - 前記受光領域は、拡散技術によって作製されたpinフォトダイオードである、請求項1〜4のいずれかに記載の受光素子アレイ。
- 前記ガードリングは、前記フォトダイオードの作製時の拡散技術によって作製されたpn接合よりなる請求項5に記載の受光素子アレイ。
- 前記ガードリング上に形成された電極と、前記コモン電極とが接続されている請求項6に記載の受光素子アレイ。
- 前記ガードリング上に形成された電極と、前記コモン電極との間に、前記pn接合に対し逆バイアスになるように電圧を印加する請求項6に記載の受光素子アレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003093681A JP2004303878A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 受光素子アレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003093681A JP2004303878A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 受光素子アレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004303878A true JP2004303878A (ja) | 2004-10-28 |
Family
ID=33406414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003093681A Pending JP2004303878A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | 受光素子アレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004303878A (ja) |
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EP3355355A1 (en) * | 2017-01-27 | 2018-08-01 | Detection Technology Oy | Asymmetrically positioned guard ring contacts |
WO2020121851A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
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US11513002B2 (en) | 2018-12-12 | 2022-11-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device having temperature compensated gain in avalanche photodiode |
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-
2003
- 2003-03-31 JP JP2003093681A patent/JP2004303878A/ja active Pending
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A02 | Decision of refusal |
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