JP2004297961A - 超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 - Google Patents
超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004297961A JP2004297961A JP2003089421A JP2003089421A JP2004297961A JP 2004297961 A JP2004297961 A JP 2004297961A JP 2003089421 A JP2003089421 A JP 2003089421A JP 2003089421 A JP2003089421 A JP 2003089421A JP 2004297961 A JP2004297961 A JP 2004297961A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- time
- value
- ultrasonic motor
- swing
- amplitude value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】超音波モータを用いて可動体を微小移動する案内装置において、駆動時間を短縮することが可能な案内装置を提供する。
【解決手段】制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、上記位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、上記位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動源として超音波モータを用いて可動体を目標とする位置へ位置決めする案内装置に関するもので、駆動信号を間欠的に入力することによって微動する超音波モータと、この超音波モータの制御方法により正確に位置決めするようにした案内装置に好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
一般的に超音波モータは、2種の圧電素子に互いの位相がπ/2異なる2相の駆動信号を所定の周波数にて入力することにより、この圧電素子の先端部に取り付けた摩擦部材が楕円運動するが、この摩擦部材を加圧接触することで可動体を摩擦駆動することができる。
【0003】
上記超音波モータは、移動目標位置への位置決め完了後は駆動信号の入力を停止した場合であっても、圧電素子の先端部に取り付けた摩擦部材と可動体の駆動伝達部材との静摩擦力により、その位置で静止し続ける自己保持性を有するものである。
【0004】
上記超音波モータでは、所定の周波数にて与えた1回の楕円運動を、1ステップ送りとみなし、上記楕円運動を連続的に動作させている。
この超音波モータによって微小移動させようとした場合、摩擦状態等の変化により駆動力が変化するため、高い再現性を得ることは困難である。
【0005】
そこで、特許文献1に示すようにバースト波(高い周波数の交流電圧)を間欠的に有する駆動信号を入力することによって超音波モータの1ステップの歩幅を安定して再現し、当接、離間を繰り返して可動体を駆動することが提案されている。
【0006】
例えば、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力することによって、圧電素子を振動することで上記圧電素子先端部に取り付けた摩擦部材を微動させるとともに、バースト波の駆動信号による可動体の駆動伝達部材の駆動結果に基づいて、駆動信号のバースト波の周波数制御を行う駆動装置を備える手法等が提案されている。
【特許文献1】特開2001−161081号参照
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、超音波モータで微小移動を試みた場合、摩擦力等の変化により、所定の周波数にて連続駆動を行った場合では、位置決めするまでに時間がかかることや正確な位置決めが困難であるという課題があった。
【0007】
また、特許文献1のように、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力し、圧電素子を振動することで摩擦部材を微動させるとともに、バースト波による摩擦部材の駆動結果に基づいて、次のステップで駆動信号のバースト波を超音波モータに出力する手法では、各ステップ移動後に発生する揺動が収まらずに次のステップを実行した場合、正確な移動量を確保することができないという課題があった。
【0008】
その為、ステップ移動後に発生する可動体の揺動が収束するのを待つ必要があるので駆動時間が長くなるといった課題があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、上記位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は本発明に係わる超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置の一例を示す図であり、(a)は上面図、(b)は側面図である。また、図2は本発明の超音波モータを駆動源とする案内装置の動作を説明するブロック図である。
【0011】
この案内装置は、ベース盤1上にクロスローラガイド2を配設し一対のガイド部材2を備え、これらのガイド部材2によってステージ3を直線的に移動するようになっている。
【0012】
また、ステージ3の一方の側面には駆動力伝達部材4を、ステージ3の他方の側面にはリニアスケール5をそれぞれ備え、このリニアスケール5と対向する位置には測定ヘッド6をもうけて位置検出器7を構成するとともに、駆動力伝達部材4には、その可動体の進行方向に対して垂直に超音波モータ8の摩擦部材8aを当接させており、位置検出器7からのステージ3の位置情報を基に制御装置10にて演算し、超音波モータ8への制御電圧を出力するフィードバック制御が行われる。これにより、超音波モータ8の摩擦部材8aをその制御電圧に応じて運動させ、摩擦部材8aとステージ3の駆動力伝達部材4との摩擦駆動によりステージ3をガイド部材2に沿って移動させるようになっている。
【0013】
また、制御装置10は、図2に示すように各測定時刻における位置検出器7の検出結果である位置情報Lnと測定時刻Tnとを連続して記録する記録部11と、記録部11にて記録した位置情報Lnから目標位置を決定する目標移動量決定部12と、目標移動量決定部12にて決定した目標位置に移動する制御電圧を与えるステップ移動制御部13と、記録部11にて記録した位置情報Lnから可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部14と、ステップ移動制御部13を揺動制御部14に切り換える切り換えスイッチ15とから成るものである。
【0014】
上記揺動制御部14は、図4に示すように時刻Tb通過後、記録部11にて記録した位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて、時刻Tb以前の位置情報から仮想振幅曲線Aを与え、各時刻における仮想振幅値を基に制御電圧を決定するようになっており、時刻Tb以降は、制御電圧を超音波モータ8に与え制御することで実際の振幅曲線は実振幅曲線Bをなり振幅を小さくする。詳細は後述する。
【0015】
次に、図1及び図2に示す案内装置を駆動させた時の制御手段について図3のフローチャート図及び図4のタイムチャート図を用いて説明する。
【0016】
まず、記録部11にて記録している位置情報Lnを基に、目標移動量決定部12にて、最終目標位置までの移動距離を計算後、各ステップ移動量を決定する。
【0017】
そして、切り換えスイッチ15をステップ移動制御部13側に接続する。
【0018】
まず、#1ではステップ移動制御部13にて制御電圧をモータ8に与えステップ移動を実行し、「Switch」を1に設定する。
ここで、ステージ3の位置を検出する位置検出器7でステージ3の動作位置を検出し揺動監視部11に入力し、測定時刻Tnと位置情報Lnを記録する。
次に、Switchを1と設定してあることから、処理ルーチンは#2に進み、ステップ移動直後の最大振幅値Lmaxと時刻Tmaxとを記録部11にて記録し、Switchを2に設定する。
【0019】
次に、Switchを2と設定してあることから、処理ルーチンは#3に進み、ダンピング後の最小振幅値LminとTminと記録部11にて記録し、前記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminとから算出した揺動の中心位置Laveを目標位置とし、Switchを3に設定する。
【0020】
そして、制御ループはSwitchを3に設定してあることから、切り換えスイッチ15を揺動制御部14に接続し、揺動制御部14では、揺動監視部11で記録した測定時刻Tnにおける位置情報Lnが揺動の中心位置Laveを通過した場合、#5に進み、その時の時刻Tbを記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2b−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Tb経過後にて位置偏差値Enが最大となる値Emaxを記録する。
【0021】
次に、時刻がTbを経過後、再び中心位置Laveを通過した場合、#6に進み、その時の時刻Tcを記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2c−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)、に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Tc経過後にて位置偏差値Enが最小となる値Eminを記録する。
【0022】
次に、時刻がTcを経過後、再び中心位置Laveを通過した場合、#7に進み、その時の時刻Tdを記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2d−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)、に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Td経過後にて位置偏差値Enの最大値Emaxを記録する。
【0023】
さらに、時刻がTdを経過後、再び中心位置Laveを通過した場合、#8に進み、その時の時刻TeをTcと記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2c−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)、に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Tc経過後にて位置偏差値Enが最小となる値Eminを決定する。
【0024】
#8では、通過時刻をTcとすることにより、制御ループは#7に戻ることから、#7と#8とを繰り返す。
【0025】
揺動制御部15にて、#5から#8にて決定した位置偏差値Enから計算式Vn=P×Enに基づいて演算し、決定した指令信号から所定の周波数にて連続駆動を行う制御電圧を超音波モータ8に与える。
【0026】
なお、Anは各時刻における仮想振幅値、Enは各時刻における位置偏差、Vnは各時刻における制御電圧、Pは制御パラメータ、Emaxは位置偏差の最大値、Eminは位置偏差の最小値である。
そして、#9では、位置が最終目標位置に到達した場合、制御ループを抜け終了し、また、次のステップが必要な場合、揺動のピーク値である最大値Emax及び最小値Eminが次回ステップ移動量の1/4まで収束すると次のステップ移動を実行する。
【0027】
このように、ステップ移動したあと発生する揺動を基に位置偏差を決定し、前記位置偏差により揺動の振幅を素早く収束するように制御することから、駆動時間を短縮することができる。
【0028】
その為、本発明の案内装置を用いれば、ステージ3を微小送りする際、駆動時間を短縮できるとともに、微小移動が可能なことから正確に位置決めできるため、精密加工機、精密測定機、半導体製造装置等のように可動体に高い位置決め精度や高いスループットが要求される案内装置にも好適に用いることができる。
【0029】
【実施例】
以下、本発明の具体例について説明する。
【0030】
図1に示す超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置を試作し、この案内装置に本発明の制御装置10と従来の制御装置を組み込んでステージ3を50nm〜500nmの距離を移動した場合に費やす時間を確認する実験を行った。
【0031】
本実験にあたり、案内装置を構成するガイド部材2にはストロークが100mmのクロスローラガイドを用い、上記ガイド部材2によって5kgの重さを有する可動体としてのステージ3を移動させることとした。また、ステージ3の一方の側面にはアルミナセラミック製の駆動伝達部材4を配置した。また、駆動力伝達部材4と摩擦駆動する超音波モータ8の摩擦部材8aには、アルミナセラミックを使用した。
【0032】
また、本発明の制御装置10を用いた案内装置では、超音波モータ8を制御してステージ3の位置を位置検出器7から検出された実際の動作位置を記録部11に入力し、目標移動量決定部12にて、最終目標位置との距離から各ステップ移動量を演算し、ステップ移動制御部13にて、制御電圧を超音波モータ8に与え、ステップ移動を実行した。
【0033】
そして、ステップ移動直後の最大振幅値Lmaxと時刻Tmaxとを記録し、ダンピング後の最小振幅値Lminと時刻Tminとを記録し、LmaxとLminとから揺動の中心位置Laveを算出した。
【0034】
次に、切り換えスイッチ15を揺動制御部14に接続し、揺動制御部14にて、記録部11で記録した位置情報から各時刻Tnにおける位置Lnが揺動の中心位置Laveを通過した時刻Tbから制御電圧を超音波モータ8に与えた。
【0035】
揺動制御部14にて、図4に示すように時刻Tb通過後から開始される揺動の制御は、記録部11にて記録した位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて、時刻Tb以前の位置情報から仮想振幅曲線Aを与え、各時刻における仮想振幅値Anを基に制御電圧を決定するようになっており、時刻Tb以降は、仮想振幅値An=L2b−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)に基づいて位置偏差値Enを演算し、また各時刻における位置偏差値Enの最大値Emaxを決定し、計算式Vn=P×Enに基づいて演算し、決定した制御電圧から所定の周波数にて連続駆動を行う駆動信号を超音波モータ8に与えた。
【0036】
同様に、時刻がTbを経過後、揺動の中心位置Laveを通過した時刻をTc、各時刻における仮想振幅値An=L2c−nとし、時刻Tc経過後、中心位置Laveを通過した時刻をTd、各時刻における仮想振幅値An=L2d−nとし、偏差制御部14にて計算式En=(An−Lave)×(−1)に基づき偏差量を演算し、各時刻における偏差値Enの最大値Emax、最小値Eminを決定し、偏差制御部14にて、計算式Vn=P×Enに基づいて演算を行い、決定した制御電圧から所定の周波数にて連続駆動を行う駆動信号を超音波モータ8に与え駆動した。
【0037】
なお、Anは各時刻における仮想振幅値、Enは各時刻における位置偏差、Vnは各時刻における制御電圧、Pは制御パラメータである。
【0038】
また、最終目標位置まで到達しておらず再度ステップ移動が必要な場合、揺動の最大値Emax及び揺動の最小値Eminが次回ステップ移動量の1/4まで収束後、ステップ移動を実行し、最終目標位置到達後制御を終了した。
【0039】
また、従来の制御装置として、超音波モータ8に対して所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法と、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法とを用いた制御装置を用いた。
【0040】
この結果、本発明の制御装置10を用いた案内装置の動作位置を図5に、従来の制御装置として、超音波モータ8に対して所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた案内装置の動作位置を図6に、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法を用いた案内装置の動作位置を図7にそれぞれ示す。
【0041】
図6に見られるように、所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置は、最終目標位置を大きくオーバーし、そこから再度位置決めしており駆動時間が長くなっている。
【0042】
また、図7に見られるように、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法を用いた案内装置は、揺動の制御を行っていない為、駆動時間が長くなっている。
【0043】
これに対し、本発明の案内装置は、図5に示すように、各ステップ間の揺動を素早く収束することで、駆動時間を短縮していることが判る。
【0044】
また、微小移動に係わらず、所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置おいても、位置決め完了後の揺動を素早く収束させ、駆動時間を短縮することも可能である。
【0045】
かくして、本発明の制御装置10を備える案内装置を用いれば、ステージ3の駆動時間を短縮することができることが判る。
【0046】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから振幅の中心値Laveを算出するとともに、位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置を構成したことから、各ステップ間の揺動を素早く収束させることができるとことから駆動時間を短縮することができる。
【0047】
また、微小移動に係わらず、所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置おいても、位置決め完了後の揺動を素早く収束させ、駆動時間を短縮することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置の一例を示す図であり、(a)は上面図、(b)は側面図である。
【図2】本発明の超音波モータを駆動源とする案内装置の動作を説明するブロック図である。
【図3】本発明の案内装置の動作を示すフローチャート図である。
【図4】本発明の案内装置の動作を示すタイムチャート図である。
【図5】実験における本発明の案内装置の時間と位置との関係を示す線図である。
【図6】実験における所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置の時間と位置との関係を示す線図である。
【図7】実験におけるバースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法を用いた従来の案内装置の時間と位置との関係を示す線図である。
【符号の説明】
1:ベース盤
2:ガイド部材
3:ステージ
4:駆動力伝達部材
5:リニアスケール
6:測長ヘッド
7:位置検出手器
8:超音波モータ
8a:摩擦部材
10:制御装置
11:揺動監視部
12:目標移動量決定部
13:ステップ移動制御部
14:揺動制御部
15:切り換えスイッチ
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動源として超音波モータを用いて可動体を目標とする位置へ位置決めする案内装置に関するもので、駆動信号を間欠的に入力することによって微動する超音波モータと、この超音波モータの制御方法により正確に位置決めするようにした案内装置に好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
一般的に超音波モータは、2種の圧電素子に互いの位相がπ/2異なる2相の駆動信号を所定の周波数にて入力することにより、この圧電素子の先端部に取り付けた摩擦部材が楕円運動するが、この摩擦部材を加圧接触することで可動体を摩擦駆動することができる。
【0003】
上記超音波モータは、移動目標位置への位置決め完了後は駆動信号の入力を停止した場合であっても、圧電素子の先端部に取り付けた摩擦部材と可動体の駆動伝達部材との静摩擦力により、その位置で静止し続ける自己保持性を有するものである。
【0004】
上記超音波モータでは、所定の周波数にて与えた1回の楕円運動を、1ステップ送りとみなし、上記楕円運動を連続的に動作させている。
この超音波モータによって微小移動させようとした場合、摩擦状態等の変化により駆動力が変化するため、高い再現性を得ることは困難である。
【0005】
そこで、特許文献1に示すようにバースト波(高い周波数の交流電圧)を間欠的に有する駆動信号を入力することによって超音波モータの1ステップの歩幅を安定して再現し、当接、離間を繰り返して可動体を駆動することが提案されている。
【0006】
例えば、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力することによって、圧電素子を振動することで上記圧電素子先端部に取り付けた摩擦部材を微動させるとともに、バースト波の駆動信号による可動体の駆動伝達部材の駆動結果に基づいて、駆動信号のバースト波の周波数制御を行う駆動装置を備える手法等が提案されている。
【特許文献1】特開2001−161081号参照
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、超音波モータで微小移動を試みた場合、摩擦力等の変化により、所定の周波数にて連続駆動を行った場合では、位置決めするまでに時間がかかることや正確な位置決めが困難であるという課題があった。
【0007】
また、特許文献1のように、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力し、圧電素子を振動することで摩擦部材を微動させるとともに、バースト波による摩擦部材の駆動結果に基づいて、次のステップで駆動信号のバースト波を超音波モータに出力する手法では、各ステップ移動後に発生する揺動が収まらずに次のステップを実行した場合、正確な移動量を確保することができないという課題があった。
【0008】
その為、ステップ移動後に発生する可動体の揺動が収束するのを待つ必要があるので駆動時間が長くなるといった課題があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、上記位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は本発明に係わる超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置の一例を示す図であり、(a)は上面図、(b)は側面図である。また、図2は本発明の超音波モータを駆動源とする案内装置の動作を説明するブロック図である。
【0011】
この案内装置は、ベース盤1上にクロスローラガイド2を配設し一対のガイド部材2を備え、これらのガイド部材2によってステージ3を直線的に移動するようになっている。
【0012】
また、ステージ3の一方の側面には駆動力伝達部材4を、ステージ3の他方の側面にはリニアスケール5をそれぞれ備え、このリニアスケール5と対向する位置には測定ヘッド6をもうけて位置検出器7を構成するとともに、駆動力伝達部材4には、その可動体の進行方向に対して垂直に超音波モータ8の摩擦部材8aを当接させており、位置検出器7からのステージ3の位置情報を基に制御装置10にて演算し、超音波モータ8への制御電圧を出力するフィードバック制御が行われる。これにより、超音波モータ8の摩擦部材8aをその制御電圧に応じて運動させ、摩擦部材8aとステージ3の駆動力伝達部材4との摩擦駆動によりステージ3をガイド部材2に沿って移動させるようになっている。
【0013】
また、制御装置10は、図2に示すように各測定時刻における位置検出器7の検出結果である位置情報Lnと測定時刻Tnとを連続して記録する記録部11と、記録部11にて記録した位置情報Lnから目標位置を決定する目標移動量決定部12と、目標移動量決定部12にて決定した目標位置に移動する制御電圧を与えるステップ移動制御部13と、記録部11にて記録した位置情報Lnから可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部14と、ステップ移動制御部13を揺動制御部14に切り換える切り換えスイッチ15とから成るものである。
【0014】
上記揺動制御部14は、図4に示すように時刻Tb通過後、記録部11にて記録した位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて、時刻Tb以前の位置情報から仮想振幅曲線Aを与え、各時刻における仮想振幅値を基に制御電圧を決定するようになっており、時刻Tb以降は、制御電圧を超音波モータ8に与え制御することで実際の振幅曲線は実振幅曲線Bをなり振幅を小さくする。詳細は後述する。
【0015】
次に、図1及び図2に示す案内装置を駆動させた時の制御手段について図3のフローチャート図及び図4のタイムチャート図を用いて説明する。
【0016】
まず、記録部11にて記録している位置情報Lnを基に、目標移動量決定部12にて、最終目標位置までの移動距離を計算後、各ステップ移動量を決定する。
【0017】
そして、切り換えスイッチ15をステップ移動制御部13側に接続する。
【0018】
まず、#1ではステップ移動制御部13にて制御電圧をモータ8に与えステップ移動を実行し、「Switch」を1に設定する。
ここで、ステージ3の位置を検出する位置検出器7でステージ3の動作位置を検出し揺動監視部11に入力し、測定時刻Tnと位置情報Lnを記録する。
次に、Switchを1と設定してあることから、処理ルーチンは#2に進み、ステップ移動直後の最大振幅値Lmaxと時刻Tmaxとを記録部11にて記録し、Switchを2に設定する。
【0019】
次に、Switchを2と設定してあることから、処理ルーチンは#3に進み、ダンピング後の最小振幅値LminとTminと記録部11にて記録し、前記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminとから算出した揺動の中心位置Laveを目標位置とし、Switchを3に設定する。
【0020】
そして、制御ループはSwitchを3に設定してあることから、切り換えスイッチ15を揺動制御部14に接続し、揺動制御部14では、揺動監視部11で記録した測定時刻Tnにおける位置情報Lnが揺動の中心位置Laveを通過した場合、#5に進み、その時の時刻Tbを記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2b−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Tb経過後にて位置偏差値Enが最大となる値Emaxを記録する。
【0021】
次に、時刻がTbを経過後、再び中心位置Laveを通過した場合、#6に進み、その時の時刻Tcを記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2c−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)、に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Tc経過後にて位置偏差値Enが最小となる値Eminを記録する。
【0022】
次に、時刻がTcを経過後、再び中心位置Laveを通過した場合、#7に進み、その時の時刻Tdを記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2d−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)、に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Td経過後にて位置偏差値Enの最大値Emaxを記録する。
【0023】
さらに、時刻がTdを経過後、再び中心位置Laveを通過した場合、#8に進み、その時の時刻TeをTcと記録し、揺動制御部14にて仮想振幅値An=L2c−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)、に基づいて演算し、各時刻における位置偏差値Enを決定する。
また、時刻Tc経過後にて位置偏差値Enが最小となる値Eminを決定する。
【0024】
#8では、通過時刻をTcとすることにより、制御ループは#7に戻ることから、#7と#8とを繰り返す。
【0025】
揺動制御部15にて、#5から#8にて決定した位置偏差値Enから計算式Vn=P×Enに基づいて演算し、決定した指令信号から所定の周波数にて連続駆動を行う制御電圧を超音波モータ8に与える。
【0026】
なお、Anは各時刻における仮想振幅値、Enは各時刻における位置偏差、Vnは各時刻における制御電圧、Pは制御パラメータ、Emaxは位置偏差の最大値、Eminは位置偏差の最小値である。
そして、#9では、位置が最終目標位置に到達した場合、制御ループを抜け終了し、また、次のステップが必要な場合、揺動のピーク値である最大値Emax及び最小値Eminが次回ステップ移動量の1/4まで収束すると次のステップ移動を実行する。
【0027】
このように、ステップ移動したあと発生する揺動を基に位置偏差を決定し、前記位置偏差により揺動の振幅を素早く収束するように制御することから、駆動時間を短縮することができる。
【0028】
その為、本発明の案内装置を用いれば、ステージ3を微小送りする際、駆動時間を短縮できるとともに、微小移動が可能なことから正確に位置決めできるため、精密加工機、精密測定機、半導体製造装置等のように可動体に高い位置決め精度や高いスループットが要求される案内装置にも好適に用いることができる。
【0029】
【実施例】
以下、本発明の具体例について説明する。
【0030】
図1に示す超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置を試作し、この案内装置に本発明の制御装置10と従来の制御装置を組み込んでステージ3を50nm〜500nmの距離を移動した場合に費やす時間を確認する実験を行った。
【0031】
本実験にあたり、案内装置を構成するガイド部材2にはストロークが100mmのクロスローラガイドを用い、上記ガイド部材2によって5kgの重さを有する可動体としてのステージ3を移動させることとした。また、ステージ3の一方の側面にはアルミナセラミック製の駆動伝達部材4を配置した。また、駆動力伝達部材4と摩擦駆動する超音波モータ8の摩擦部材8aには、アルミナセラミックを使用した。
【0032】
また、本発明の制御装置10を用いた案内装置では、超音波モータ8を制御してステージ3の位置を位置検出器7から検出された実際の動作位置を記録部11に入力し、目標移動量決定部12にて、最終目標位置との距離から各ステップ移動量を演算し、ステップ移動制御部13にて、制御電圧を超音波モータ8に与え、ステップ移動を実行した。
【0033】
そして、ステップ移動直後の最大振幅値Lmaxと時刻Tmaxとを記録し、ダンピング後の最小振幅値Lminと時刻Tminとを記録し、LmaxとLminとから揺動の中心位置Laveを算出した。
【0034】
次に、切り換えスイッチ15を揺動制御部14に接続し、揺動制御部14にて、記録部11で記録した位置情報から各時刻Tnにおける位置Lnが揺動の中心位置Laveを通過した時刻Tbから制御電圧を超音波モータ8に与えた。
【0035】
揺動制御部14にて、図4に示すように時刻Tb通過後から開始される揺動の制御は、記録部11にて記録した位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて、時刻Tb以前の位置情報から仮想振幅曲線Aを与え、各時刻における仮想振幅値Anを基に制御電圧を決定するようになっており、時刻Tb以降は、仮想振幅値An=L2b−n、計算式En=(An−Lave)×(−1)に基づいて位置偏差値Enを演算し、また各時刻における位置偏差値Enの最大値Emaxを決定し、計算式Vn=P×Enに基づいて演算し、決定した制御電圧から所定の周波数にて連続駆動を行う駆動信号を超音波モータ8に与えた。
【0036】
同様に、時刻がTbを経過後、揺動の中心位置Laveを通過した時刻をTc、各時刻における仮想振幅値An=L2c−nとし、時刻Tc経過後、中心位置Laveを通過した時刻をTd、各時刻における仮想振幅値An=L2d−nとし、偏差制御部14にて計算式En=(An−Lave)×(−1)に基づき偏差量を演算し、各時刻における偏差値Enの最大値Emax、最小値Eminを決定し、偏差制御部14にて、計算式Vn=P×Enに基づいて演算を行い、決定した制御電圧から所定の周波数にて連続駆動を行う駆動信号を超音波モータ8に与え駆動した。
【0037】
なお、Anは各時刻における仮想振幅値、Enは各時刻における位置偏差、Vnは各時刻における制御電圧、Pは制御パラメータである。
【0038】
また、最終目標位置まで到達しておらず再度ステップ移動が必要な場合、揺動の最大値Emax及び揺動の最小値Eminが次回ステップ移動量の1/4まで収束後、ステップ移動を実行し、最終目標位置到達後制御を終了した。
【0039】
また、従来の制御装置として、超音波モータ8に対して所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法と、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法とを用いた制御装置を用いた。
【0040】
この結果、本発明の制御装置10を用いた案内装置の動作位置を図5に、従来の制御装置として、超音波モータ8に対して所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた案内装置の動作位置を図6に、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法を用いた案内装置の動作位置を図7にそれぞれ示す。
【0041】
図6に見られるように、所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置は、最終目標位置を大きくオーバーし、そこから再度位置決めしており駆動時間が長くなっている。
【0042】
また、図7に見られるように、バースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法を用いた案内装置は、揺動の制御を行っていない為、駆動時間が長くなっている。
【0043】
これに対し、本発明の案内装置は、図5に示すように、各ステップ間の揺動を素早く収束することで、駆動時間を短縮していることが判る。
【0044】
また、微小移動に係わらず、所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置おいても、位置決め完了後の揺動を素早く収束させ、駆動時間を短縮することも可能である。
【0045】
かくして、本発明の制御装置10を備える案内装置を用いれば、ステージ3の駆動時間を短縮することができることが判る。
【0046】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから振幅の中心値Laveを算出するとともに、位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置を構成したことから、各ステップ間の揺動を素早く収束させることができるとことから駆動時間を短縮することができる。
【0047】
また、微小移動に係わらず、所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置おいても、位置決め完了後の揺動を素早く収束させ、駆動時間を短縮することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置の一例を示す図であり、(a)は上面図、(b)は側面図である。
【図2】本発明の超音波モータを駆動源とする案内装置の動作を説明するブロック図である。
【図3】本発明の案内装置の動作を示すフローチャート図である。
【図4】本発明の案内装置の動作を示すタイムチャート図である。
【図5】実験における本発明の案内装置の時間と位置との関係を示す線図である。
【図6】実験における所定の周波数にて駆動信号を連続的に与える手法を用いた従来の案内装置の時間と位置との関係を示す線図である。
【図7】実験におけるバースト波を間欠的に有する駆動信号を入力する手法を用いた従来の案内装置の時間と位置との関係を示す線図である。
【符号の説明】
1:ベース盤
2:ガイド部材
3:ステージ
4:駆動力伝達部材
5:リニアスケール
6:測長ヘッド
7:位置検出手器
8:超音波モータ
8a:摩擦部材
10:制御装置
11:揺動監視部
12:目標移動量決定部
13:ステップ移動制御部
14:揺動制御部
15:切り換えスイッチ
Claims (1)
- 制御電圧により摩擦部材を駆動させる超音波モータと、上記摩擦部材が当接、離間を繰り返することで揺動しながら目標位置に到達させる可動体と、該可動体の現在位置の位置情報Lnを計測する位置検出部と、上記位置情報Lnと測定時刻Tnを連続して記録する記録部と、上記可動体が可動を開始した後の揺動の最大振幅値Lmax及び最小振幅値Lminを計測し、上記最大振幅値Lmaxと最小振幅値Lminから揺動の中心値Laveを算出するとともに、上記位置情報Lnと測定時刻Tnに基づいて上記中心値Laveからの振幅が小さくなるように上記制御電圧の値を制御する揺動制御部とから成ることを特徴とする超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003089421A JP2004297961A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003089421A JP2004297961A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004297961A true JP2004297961A (ja) | 2004-10-21 |
Family
ID=33403269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003089421A Pending JP2004297961A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004297961A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014038365A1 (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-13 | 株式会社村田製作所 | 駆動装置及び駆動方法 |
-
2003
- 2003-03-27 JP JP2003089421A patent/JP2004297961A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014038365A1 (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-13 | 株式会社村田製作所 | 駆動装置及び駆動方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4909548B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
US7784333B2 (en) | Measurement control device and measurement control method | |
JP5095084B2 (ja) | 試料の表面形状の測定方法及び装置 | |
US7218030B2 (en) | Oscillating apparatus | |
JP2004297961A (ja) | 超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 | |
JP4956058B2 (ja) | 表面性状測定装置 | |
JP4419384B2 (ja) | 状態量呈示装置および方法 | |
JP2000035377A (ja) | 自走型振動アクチュエータの特性測定装置 | |
JP4493318B2 (ja) | 精密駆動装置および精密駆動装置のエージング駆動方法 | |
JPH10174464A (ja) | 振動アクチュエータ駆動装置 | |
JP3641902B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP3523510B2 (ja) | 直線案内装置 | |
JP6564511B1 (ja) | 摩擦撹拌接合装置及び摩擦撹拌接合方法 | |
JPH0758283B2 (ja) | 機械的定数測定装置 | |
JP3818166B2 (ja) | 超音波ボンディング装置及び超音波ボンディング方法 | |
JP2023113279A (ja) | 超音波接合装置 | |
JP2003288122A (ja) | 超音波モータを可動体の駆動源とした案内装置 | |
JP2000009742A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡のアプローチ方法 | |
JP3809893B2 (ja) | 走査プローブ顕微鏡 | |
JP2003215018A (ja) | 表面情報測定方法及び表面情報測定装置 | |
JPH11356069A (ja) | 振動アクチュエータ駆動装置 | |
JP2814011B2 (ja) | 微小位置調整方法及び装置 | |
JP2004229455A (ja) | 振動アクチュエータ | |
JPH08248040A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
JP2009281904A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090331 |