JP2004297102A - Manufacturing method of film carrier tape for electronic part packaging - Google Patents

Manufacturing method of film carrier tape for electronic part packaging Download PDF

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Yutaka Iguchi
裕 井口
Kazuo Ikuta
一雄 生田
Hirofumi Kawamura
浩文 河村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a film carrier tape for electronic parts packaging in which a scooped portion is unlikely to be formed in a wiring pattern of a solder resist lower part, and the swelling or peeling of a formed plated layer is unlikely to happen. <P>SOLUTION: The manufacturing method of film carrier tape for electronic parts packaging of the present invention is characterized in that a tin plated layer of 0.2-0.7 μm in an average thickness is formed at a lead portion of the wiring pattern formed on a flexible insulating film by copper or a copper alloy by performing tin plating at least one time by employing a electroless tin plating bath in which Sn<SP>2+</SP>density is adjusted in the range of 13-50 g/l by blending tin fluoroborate [Sn(BF<SB>4</SB>)<SB>2</SB>]. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ(例えば、TAB(Tape Automated
Bonding)テープ、T-BGA(Tape Ball Grid Array)テープ、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)テープなど)を製造する方法に関する。
The present invention relates to a film carrier tape for mounting electronic parts (for example, TAB (Tape Automated).
The present invention relates to a method for manufacturing a bonding (bonding) tape, a T-BGA (Tape Ball Grid Array) tape, an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) tape, and the like.

エレクトロニクス産業の発達に伴い、IC(集積回路)、LSI(大規模集積回路)などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近では電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されており、特にパーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子(LCD)を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。   With the development of the electronics industry, demand for printed wiring boards on which electronic components such as ICs (integrated circuits) and LSIs (large-scale integrated circuits) are mounted has been rapidly increasing. There has been a demand for higher functionality, and as a mounting method for these electronic components, a mounting method using a film carrier tape for mounting electronic components has recently been adopted. The importance of the liquid crystal display device (LCD) in the electronics industry, which requires a reduction in the frame area of the screen, is increasing.

従来からこのような電子部品実装用フィルムキャリアテープは、例えば下記のような工程を経て製造されている。すなわち、先ず、ポリイミドフィルムのような基材となる可撓性絶縁性フィルムをプレス機でパターン打ち抜きを行った後、この可撓性絶縁性フィルムに銅箔のような導電体箔を積層する。そして、この導電体箔の上面にフォトレジストを塗布して、このフォトレジストを使用して所望のパターン形状に紫外線により露光し、この露光されたフォトレジスト部分を現像液によって溶解除去する。このフォトレジストで覆われていない導電体箔部分を、酸などで化学的に溶解(エッチング)して除去した後、フォトレジストをアルカリ液にて溶解除去することによって絶縁フィルム上に残った導電体箔により所望の配線パターンを形成する。   Conventionally, such a film carrier tape for mounting electronic components has been manufactured through the following steps, for example. That is, first, after a flexible insulating film serving as a base material such as a polyimide film is punched by a press machine, a conductor foil such as a copper foil is laminated on the flexible insulating film. Then, a photoresist is applied to the upper surface of the conductive foil, and the photoresist is exposed to ultraviolet light in a desired pattern shape using the photoresist, and the exposed photoresist portions are dissolved and removed by a developer. The conductor foil portion not covered with the photoresist is removed by chemically dissolving (etching) with an acid or the like, and then the photoresist is dissolved and removed with an alkali solution to remove the conductor remaining on the insulating film. A desired wiring pattern is formed from the foil.

そして、実装時のゴミの付着、ウィスカー、マイグレーションの発生による短絡を防止し、配線間の保護並びに絶縁のために、配線パターンのうち、ICなどのデバイス(電子部品)に接続されるインナーリード、アウターリードおよび液晶表示素子などに接続される出力側アウターリードなどのリード部分を除いて、絶縁樹脂であるソルダーレジストを、スクリーン印刷法を利用して塗布した後、硬化させてソルダーレジスト層を形成する。   In addition, inner leads connected to devices (electronic components) such as ICs in a wiring pattern are provided to prevent short circuit due to adhesion of dust, whiskers and migration during mounting, and to protect and insulate between wirings. Except for the leads such as the outer leads and the output-side outer leads connected to the liquid crystal display element, etc., apply a solder resist, which is an insulating resin, using a screen printing method and then cure to form a solder resist layer I do.

その後、露出したリード部分の酸化、変色を防止すると共に、リード部分に接続されるデバイスのバンプ電極などの接続部分との接合強度(ボンダビリティー)を確保するために、リード部分を、メッキ処理する。このメッキ処理には種々の金属が使用されているが、デバイスのバンプ電極が金で形成されていることから、金-スズ共晶物の形成により接
続が可能なように無電解スズメッキが比較的広汎に使用されている。
Then, to prevent oxidation and discoloration of the exposed lead portion, and to ensure bonding strength (bondability) with the connection portion such as the bump electrode of the device connected to the lead portion, the lead portion is plated. I do. Various metals are used for this plating process.Because the bump electrodes of the device are made of gold, electroless tin plating is relatively easy to connect by forming a gold-tin eutectic. Widely used.

このような無電解スズメッキは、ソルダーレジスト層を形成した後、スズメッキ浴に浸漬してソルダーレジスト層によって被覆されていない部分の配線パターンの表面にスズメッキ層を形成することにより行われている。通常の場合、ソルダーレジスト層はスズメッキに対するマスキング材になり、このソルダーレジスト層が塗布された部分の配線パターンはメッキ液と接触することはないはずである。   Such electroless tin plating is performed by forming a solder resist layer and then immersing it in a tin plating bath to form a tin plated layer on the surface of the wiring pattern not covered by the solder resist layer. In a normal case, the solder resist layer becomes a masking material for tin plating, and the wiring pattern at the portion where the solder resist layer is applied should not come into contact with the plating solution.

しかしながら、現実にはソルダーレジスト層には、その縁部において配線パターンあるいは可撓性絶縁性フィルムとの密着が不完全である部分が存在し、こうした部分からメッキ液がソルダーレジスト下部に浸入ことがある。そして、このようにしてメッキ液がソルダーレジスト下部に浸入した部分では、配線パターンの金属銅と既に析出した金属スズの間で局部電池が形成され、配線パターンの金属銅の異常溶出が発生する。このようなソルダーレジスト下の配線パターンの異常溶出は、通常「えぐれ」と呼ばれている。   However, in reality, the solder resist layer has portions at its edges where the adhesion to the wiring pattern or the flexible insulating film is incomplete, and the plating solution can penetrate into the lower portion of the solder resist from these portions. is there. Then, in the portion where the plating solution has penetrated into the lower portion of the solder resist, a local battery is formed between the metal copper of the wiring pattern and the already deposited metal tin, and abnormal elution of the metal copper of the wiring pattern occurs. Such abnormal elution of the wiring pattern under the solder resist is usually called “egure”.

従来は、配線パターンを形成する導電体箔の厚さが数十μmと厚かったため、こうしたえぐれが生じたとしてもリードの強度低下あるいは断線などの重大な問題となることは少なかった。しかしながら、リードの幅が25μm以下になり、このような細線のリードを形成するために導電体箔の厚さが18μm以下になっている昨今のファインピッチの要請下においては、深さが十数μmにも及ぶことがあるえぐれ部は、リード強度に多大な影響を与えるばかりでなく、このようなえぐれ部の形成によってリードの断線を招来する虞もある。   Conventionally, since the thickness of the conductive foil forming the wiring pattern was as large as several tens of μm, even if such scuffing occurred, there was little occurrence of a serious problem such as a decrease in lead strength or disconnection. However, under the recent demand for fine pitch in which the width of the lead is 25 μm or less and the thickness of the conductor foil is 18 μm or less in order to form such a fine wire lead, the depth is more than The scorched portion, which may be as large as μm, not only greatly affects the strength of the lead, but also leads to disconnection of the lead due to the formation of such a scoured portion.

本発明は、上記のようなソルダーレジスト下部の配線パターンにえぐれ部が形成されにくい電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法を提供することを目的としている。また、本発明は、上記のようにソルダーレジスト下部の配線パターンにえぐれ部が形成されにくいと共に、形成されるメッキ層のフクレあるいは剥がれが生じにくい電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法を提供することを目的としている。   An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components, in which a curled portion is unlikely to be formed in a wiring pattern below a solder resist as described above. Further, the present invention provides a method for producing a film carrier tape for mounting electronic components, in which a curled portion is not easily formed in a wiring pattern below a solder resist as described above, and a blister or peeling of a formed plating layer is not easily generated. It is intended to be.

本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法は、可撓性絶縁性フィルムに銅または銅合金で形成された配線パターンのリード部に、ホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合してSn2+濃度が13〜50g/リットルの範囲内に調整された無電解スズメッキ浴を用いて本スズメッキを少なくとも1回行い平均厚さが0.2〜0.7μmの本スズメ
ッキ層を形成することを特徴としている。
The method for producing a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention comprises the steps of blending tin borofluoride (Sn (BF 4 ) 2 ) with a lead portion of a wiring pattern formed of copper or a copper alloy on a flexible insulating film. Then, the present tin plating is performed at least once using an electroless tin plating bath in which the Sn 2+ concentration is adjusted within the range of 13 to 50 g / liter to form the present tin plating layer having an average thickness of 0.2 to 0.7 μm. It is characterized by doing.

本発明の方法では、上記本スズメッキを行う前に、スズメッキ予定面をソフトエッチング処理することが好ましい。
また、本発明の方法では、無電解スズメッキ層を形成する工程をプレスズメッキと本スズメッキとに分けて行うことができ、この場合にはプレスズメッキ層の厚さを、本スズメッキの厚さよりも薄くすることが好ましい。
In the method of the present invention, it is preferable that a surface to be tin-plated is soft-etched before the above-described tin plating is performed.
Further, in the method of the present invention, the step of forming the electroless tin plating layer can be performed by dividing into the press plating and the present tin plating, and in this case, the thickness of the press plating layer is smaller than the thickness of the present tin plating. Is preferred.

本発明において配線パターンは、蒸着法あるいはメッキ法による金属層から形成することができる。   In the present invention, the wiring pattern can be formed from a metal layer by a vapor deposition method or a plating method.

本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、無電解スズメッキを行うメッキ浴中におけるSn2+濃度を所定の範囲に制御してスズメッキを行っており、このようにSn2+濃度を制御することにより、上記えぐれの発生を抑制することができる。また、本スズメッキ層の形成前にプレスズメッキ層を形成することにより、えぐれ部が形成されてしまう場合であっても、その深さを最低限度に抑制することができる。 The film carrier tape for mounting electronic components production method of the present invention has been tinned by controlling the Sn 2+ concentration in a predetermined range in the plating bath to conduct electroless tin plating, the thus Sn 2+ concentration By controlling, generation of the screeching can be suppressed. Further, by forming the press plating layer before the formation of the tin plating layer, the depth can be suppressed to the minimum even if a scorched portion is formed.

次に本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法について具体的に説明する。
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、可撓性絶縁性フィルムに導電体箔を積層し、この導電体箔の上面にフォトレジストを塗布して、このフォトレジストを、所望の配線パターンが形成されるように露光し、余剰のフォトレジストを除去し残留したフォトレジストをマスキング材として導電体箔をエッチングして所望の配線パターンを形成する。次いで、デバイスなどをボンディングするリード部を残して絶縁樹脂であるソルダーレジストを塗布し、硬化させた後、ソルダーレジストが塗布されていない配線パターン部分(即ち、主としてリード部)をスズメッキすることにより製造されてい
る。
Next, a method for manufacturing the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention will be specifically described.
In the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, a conductive foil is laminated on a flexible insulating film, a photoresist is applied to the upper surface of the conductive foil, and the photoresist is formed into a desired shape. Exposure is performed so that a wiring pattern is formed, the excess photoresist is removed, and the conductive foil is etched using the remaining photoresist as a masking material to form a desired wiring pattern. Next, a solder resist, which is an insulating resin, is applied and hardened after leaving a lead portion for bonding a device or the like. After that, the wiring pattern portion where the solder resist is not applied (that is, mainly a lead portion) is manufactured by tin plating. Have been.

本発明の方法において使用される可撓性絶縁性フィルムは可撓性を有する絶縁性の樹脂フィルムである。また、この可撓性絶縁性フィルムは、エッチングする際に酸などと接触することからこうした薬品に侵されない耐薬品性およびデバイスをボンディングする際の加熱によっても変質しないような耐熱性を有している。このような可撓性絶縁性フィルムを素材の例としては、ポリエステル、ポリアミドおよびポリイミドなどを挙げることができる。特に本発明ではポリイミドからなるフィルムを用いることが好ましい。   The flexible insulating film used in the method of the present invention is a flexible insulating resin film. In addition, this flexible insulating film has chemical resistance not to be attacked by such a chemical because it comes into contact with an acid or the like at the time of etching, and heat resistance such that it does not deteriorate by heating when bonding a device. I have. Examples of such a flexible insulating film as a material include polyester, polyamide, and polyimide. Particularly, in the present invention, it is preferable to use a film made of polyimide.

可撓性絶縁性フィルムを構成するポリイミドフィルムの例としては、ピロメリット酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成される全芳香族ポリイミド、ビフェニルテトラカルボン酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成されるビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミドを挙げることができる。特に本発明ではビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミド(例;商品名:ユーピレックス、宇部興産(株)製)が好ましく使用される。このような可撓性絶縁性フィルムの厚さは、通常は25〜125μm、好ましくは50〜75μmの範囲内にある。   Examples of the polyimide film constituting the flexible insulating film include a wholly aromatic polyimide synthesized from pyromellitic dianhydride and an aromatic diamine, and a synthesis from biphenyltetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine. Wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton. Particularly, in the present invention, a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton (eg, trade name: Upilex, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is preferably used. The thickness of such a flexible insulating film is usually in the range of 25 to 125 μm, preferably 50 to 75 μm.

本発明で使用する可撓性絶縁性フィルムには、デバイスホール、スプロケットホール、アウターリードホール、さらに屈曲部を有する場合には、屈曲位置にフレックススリット等がパンチングにより形成されている。配線パターンは、上記のような所定の穴が形成された可撓性絶縁性フィルムの少なくとも一方の面に積層された金属箔をエッチングすることにより形成される。金属箔は、接着剤を用いてあるいは用いることなく可撓性絶縁性フィルムの少なくとも一方の面に積層される。ここで接着剤を用いて金属箔を貼着する場合には、絶縁性の接着剤を使用して接着剤層を形成する。   When the flexible insulating film used in the present invention has a device hole, a sprocket hole, an outer lead hole, and a bent portion, a flex slit or the like is formed at the bent position by punching. The wiring pattern is formed by etching the metal foil laminated on at least one surface of the flexible insulating film having the predetermined holes as described above. The metal foil is laminated on at least one surface of the flexible insulating film with or without an adhesive. Here, when attaching a metal foil using an adhesive, an adhesive layer is formed using an insulating adhesive.

接着剤を使用する場合に、使用する接着剤には、耐熱性、耐薬品性、接着力、可撓性等の特性が必要になる。このような特性を有する接着剤の例としては、エポキシ系接着剤、ポリイミド系接着剤およびフェノール系接着剤を挙げることができる。このような接着剤は、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアセタール樹脂などで変性されていてもよく、またエポキシ樹脂自体がゴム変性されていてもよい。このような接着剤は通常は加熱硬化性である。接着剤層の厚さは、通常は8〜23μm、好ましくは10〜21μmの範囲内にある。   When an adhesive is used, the adhesive used must have properties such as heat resistance, chemical resistance, adhesive strength, and flexibility. Examples of the adhesive having such properties include an epoxy-based adhesive, a polyimide-based adhesive, and a phenol-based adhesive. Such an adhesive may be modified with a urethane resin, a melamine resin, a polyvinyl acetal resin, or the like, or the epoxy resin itself may be modified with a rubber. Such adhesives are usually heat-curable. The thickness of the adhesive layer is usually in the range of 8 to 23 μm, preferably 10 to 21 μm.

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、上記のような可撓性絶縁性フィルムに金属箔を積層する際に、接着剤を用いることなく積層することもできる。また、上記のような金属箔を用いる方法とは別に、例えば蒸着法あるいはメッキ法等によっても金属層を形成することができ、また、このような場合に、薄い金属箔を用いて金属薄層を形成し、さらにこの金属薄層に上記蒸着法あるいはメッキ法により金属を析出させ所定厚さの金属層を形成しても良い。   In the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, when laminating a metal foil on the above-mentioned flexible insulating film, the metal foil can be laminated without using an adhesive. Further, apart from the method using a metal foil as described above, a metal layer can be formed by, for example, a vapor deposition method or a plating method, and in such a case, a metal thin layer is formed using a thin metal foil. And a metal may be deposited on the thin metal layer by the vapor deposition method or the plating method to form a metal layer having a predetermined thickness.

接着剤を使用する場合、接着剤層は、可撓性絶縁性フィルムの表面に接着剤を塗布して設けても良いし、また金属箔の表面に接着剤を塗布して設けても良い。本発明で使用される金属箔は導電性を有しており、このような金属箔としては、銅箔およびアルミニウム箔を挙げることができる。特に本発明では金属箔として銅箔を使用することが好ましい。本発明で金属箔として使用される銅箔には、電解銅箔および圧延銅箔があり、本発明ではいずれの銅箔を使用することも可能であるが、ファインピッチの電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造するに際しては、金属箔として電解銅箔を使用することが好ましい。   When an adhesive is used, the adhesive layer may be provided by applying an adhesive to the surface of the flexible insulating film, or may be provided by applying an adhesive to the surface of the metal foil. The metal foil used in the present invention has conductivity, and examples of such a metal foil include a copper foil and an aluminum foil. Particularly, in the present invention, it is preferable to use a copper foil as the metal foil. The copper foil used as the metal foil in the present invention includes an electrolytic copper foil and a rolled copper foil, and any of the copper foils can be used in the present invention. In producing the tape, it is preferable to use an electrolytic copper foil as the metal foil.

ここで使用される電解銅箔としては電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造に通常使用されている厚さの電解銅箔を使用することができるが、ファインピッチの電子部品
実装用フィルムキャリアテープを製造するためには、平均厚さが通常は3〜150μm、好ましくは6〜70μmの範囲内、特に好ましく8〜35μm、さらに好ましくは8〜1
8μmの範囲内にある電解銅箔を使用する。このような平均厚さを有する電解銅箔を使用することにより、狭ピッチ幅のインナーリードを容易に形成することができる。このような電解銅箔は表面が機械研磨、化学研磨、電解研磨あるいはこれらを組み合わせた処理により整面処理されていてもよい。
As the electrolytic copper foil used here, an electrolytic copper foil having a thickness generally used in the production of a film carrier tape for mounting electronic components can be used. For production, the average thickness is usually in the range of 3 to 150 μm, preferably 6 to 70 μm, particularly preferably 8 to 35 μm, more preferably 8 to 1 μm.
Use an electrolytic copper foil in the range of 8 μm. By using the electrolytic copper foil having such an average thickness, the inner leads having a narrow pitch can be easily formed. The surface of such an electrolytic copper foil may be surface-regulated by mechanical polishing, chemical polishing, electrolytic polishing, or a combination thereof.

上記のような可撓性絶縁性フィルムと金属箔とを積層して可撓性絶縁性フィルムの少なくとも一方の面に金属からなる層(金属箔層、さらに、この金属からなる層は薄い金属箔層にメッキまたは金属蒸着して所定の厚さにした金属メッキ層、金属蒸着層であってもよく、またこれらの複合金属層などであってもよい)が形成されたベースフィルムを製造する。   By laminating the above-mentioned flexible insulating film and a metal foil, a layer made of a metal (a metal foil layer, and a layer made of a thin metal foil) is formed on at least one surface of the flexible insulating film. A base film is formed on which a metal plating layer or a metal vapor-deposited layer having a predetermined thickness by plating or metal vapor-deposition on the layer, or a composite metal layer thereof may be formed.

そして、このベースフィルムの金属層表面にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストに所定の配線パターンを焼き付けて、不要部分のフォトレジストを除去してベースフィルムの金属層表面に所定のパターンを形成し、このパターンをマスキング材として、金属層をエッチングする。即ち、ベースフィルムの金属層表面に、フィトレジストを塗布し、所定の配線パターンを露光して焼き付けして、水性媒体に可溶な部分と不溶な部分とを形成し、可溶部を水性媒体などで除去することにより、不溶性フォトレジストからなるマスキング材を金属層表面に形成することができる。なお、ここで不溶性フォトレジストからなるマスキング材は、露光することにより硬化するフォトレジストから形成されていてもよいし、また、逆に、露光することにより水性媒体などの特定の溶媒に溶解可能となるフォトレジストを用いて露光した後、特定の溶媒により可溶化された部分のフォトレジストを除去することによって形成することもできる。   Then, a photoresist is applied to the surface of the metal layer of the base film, a predetermined wiring pattern is baked on the photoresist, and unnecessary portions of the photoresist are removed to form a predetermined pattern on the surface of the metal layer of the base film. The metal layer is etched using this pattern as a masking material. That is, a phytoresist is applied to the surface of the metal layer of the base film, and a predetermined wiring pattern is exposed and baked to form a soluble portion and an insoluble portion in the aqueous medium. The masking material made of an insoluble photoresist can be formed on the surface of the metal layer. Here, the masking material made of an insoluble photoresist may be formed of a photoresist that is cured by exposure, or conversely, it can be dissolved in a specific solvent such as an aqueous medium by exposure. After exposure using a photoresist, the photoresist can be formed by removing a portion of the photoresist solubilized by a specific solvent.

こうしてフォトレジストによりマスキングされたベースフィルムを、エッチング液と接触することにより、マスキングされていない部分の金属は溶出して、マスキングされた部分の金属が可撓性絶縁性フィルム上に残り、可撓性絶縁性フィルム上に溶出しなかった金属箔(あるいは金属層)からなる配線パターンが形成される。ここで使用されるエッチング液としては通常使用されている酸性のエッチング液を用いることができる。   By contacting the base film masked by the photoresist with the etching solution, the metal of the unmasked portion elutes, and the metal of the masked portion remains on the flexible insulating film, and A wiring pattern composed of a metal foil (or a metal layer) not eluted is formed on the conductive insulating film. As the etchant used here, a commonly used acidic etchant can be used.

こうして形成される配線パターンにおいて、インナーリードの各ピッチ幅は、通常は20〜500μm、好ましくは25〜100μmであり、本発明は、特に30〜80μmのフ
ァインピッチの電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して有用性が高い。本発明では、通常は、このように所定の配線パターンを形成した後、次の工程でメッキするインナーリードの先端部およびアウターリードの先端部を除いてソルダーレジスト層を形成する。
In the wiring pattern thus formed, each pitch width of the inner leads is usually 20 to 500 μm, preferably 25 to 100 μm, and the present invention is particularly applied to a film carrier tape for mounting electronic components with a fine pitch of 30 to 80 μm. Highly useful. In the present invention, usually, after a predetermined wiring pattern is formed in this way, a solder resist layer is formed except for the tips of inner leads and outer leads to be plated in the next step.

本発明では、このようなソルダーレジスト層は、ソルダーレジスト塗布液を、スクリーン印刷技術を利用して所定の位置に塗布することにより形成される。本発明の方法において、ソルダーレジストの塗布平均厚さは、硬化後の厚さ換算で、通常は1〜80μm、好ましくは5〜50μmの範囲内にある。このようなソルダーレジスト塗布液中に含有される硬化性樹脂は、エポキシ系樹脂、エポキシ系樹脂のエラストマー変性物、ウレタン樹脂、ウレタン樹脂のエラストマー変性物、ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂のエラストマー変性物およびアクリル樹脂よりなる群から選ばれる少なくとも一種類の樹脂成分を含有するものであることが好ましい。特にエラストマー変性物を使用することが好ましい。   In the present invention, such a solder resist layer is formed by applying a solder resist coating solution to a predetermined position using a screen printing technique. In the method of the present invention, the average coating thickness of the solder resist is usually in the range of 1 to 80 μm, preferably 5 to 50 μm in terms of the thickness after curing. The curable resin contained in such a solder resist coating liquid is an epoxy resin, an elastomer-modified epoxy resin, a urethane resin, an elastomer-modified urethane resin, a polyimide resin, an elastomer-modified polyimide resin, and an acrylic resin. The resin preferably contains at least one resin component selected from the group consisting of resins. In particular, it is preferable to use a modified elastomer.

また、本発明において、ソルダーレジスト塗布液中には、上記のような樹脂成分の他に、硬化促進剤、充填剤、添加剤、チキソ剤および溶剤等、通常ソルダーレジスト塗布液に添加される物質を添加することができる。さらに、ソルダーレジスト層の可撓性等の特性
を向上させるために、ゴム微粒子のような弾性を有する微粒子などを配合することも可能である。
Further, in the present invention, in addition to the resin components as described above, the solder resist coating liquid may contain substances usually added to the solder resist coating liquid, such as a curing accelerator, a filler, an additive, a thixotropic agent, and a solvent. Can be added. Further, in order to improve characteristics such as flexibility of the solder resist layer, fine particles having elasticity such as rubber fine particles can be blended.

こうしてソルダーレジストを塗布硬化させると、塗布されたソルダーレジストの縁部において、ソルダーレジスト塗布液が塗布予定位置から外側に流れ出すことがあり、また塗工されたソルダーレジスト層の縁部は、配線パターンとの密着性が良好でない場合がある。そして、図1に示すように、このようなソルダーレジストの縁部からメッキ液がソルダーレジスト下部に浸入することがあり、こうしたメッキ液がソルダーレジスト下部に浸入した部分では、配線パターンの金属銅と既に析出した金属スズの間で局部電池が形成され、配線パターンの金属銅の異常溶出が発生することにより所謂「えぐれ部」が形成される。このようなえぐれ部の深さが一般に5.5μmを超えると、昨今のファインピッチ化の
電子部品実装用フィルムキャリアテープではこのえぐれ部の存在が具体的にリード強度の低下などとして表在化して通常の使用に耐えないことがある。
When the solder resist is applied and cured in this manner, the solder resist coating solution may flow outward from the application position at the edge of the applied solder resist, and the edge of the applied solder resist layer may have a wiring pattern. Adhesion may not be good. Then, as shown in FIG. 1, the plating solution may penetrate into the lower portion of the solder resist from the edge of the solder resist. A local battery is formed between the already deposited metal tins, and abnormal elution of the metal copper of the wiring pattern occurs, so-called "gouge portions" are formed. If the depth of such an undercut generally exceeds 5.5 μm, the presence of the undercut in a recent fine-pitch electronic component mounting film carrier tape is manifested as a decrease in lead strength. May not endure normal use.

そこで、本発明者はこのようなえぐれ部の形成を抑制する方法について検討したところ、メッキ液中のSn2+の濃度によってえぐれ部の深さが著しく異なるとの知見を得た。本発明において、このスズメッキには、プレスズメッキと本スズメッキとがあり、本発明ではプレスズメッキを行うことなく、直接本スズメッキをするいずれの方法をも採用することができる。 Then, the present inventor studied a method for suppressing the formation of such a scuffed portion, and found that the depth of the scoured portion remarkably differs depending on the concentration of Sn 2+ in the plating solution. In the present invention, the tin plating includes press plating and main tin plating. In the present invention, any method of directly performing main tin plating without performing press plating can be employed.

そして、本発明においてスズメッキをする際に、ホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合してメッキ浴中のSn2+濃度が13g/リットル〜50g/リットル、好ましくは15〜30g/リットルの範の範囲内にある無電解スズメッキ浴を用いてスズメッキをする。本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法において、スズメッキ層は種々の方法により形成することができる。 When tin plating is performed in the present invention, tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ] is blended so that the Sn 2+ concentration in the plating bath is 13 g / liter to 50 g / liter, preferably 15 to 30 g / liter. Is tinned using an electroless tin plating bath in the range of In the method for producing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, the tin plating layer can be formed by various methods.

例えば、本発明で使用することができるスズメッキ浴としては以下に記載するような成分を含有するメッキ浴を使用することができる。
(1)
チオ尿素 (NH2)2CS
ホウフッ化スズ Sn(BF4)2
次亜リン酸 H3PO4
カチオン系界面活性剤
そして、このようなスズメッキ浴中において、ホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合することにより調製されるSn2+濃度は、13〜50g/リットルの範囲内、好ましくは15〜30g/リットルの範囲内に調整することが必要である。本発明で使用するスズメッキ浴中におけるSn2+濃度を上記範囲内に調整して無電解スズメッキを行うことにより、えぐれ部が形成された場合であっても、えぐれ部がリード強度などに影響を及ぼす程深くなく、またリード部などの断線の原因となることがない。
For example, as a tin plating bath that can be used in the present invention, a plating bath containing the components described below can be used.
(1)
Thiourea (NH 2 ) 2 CS
Tin borofluoride Sn (BF 4 ) 2
Hypophosphorous acid H 3 PO 4
Cationic surfactant In such a tin plating bath, the Sn 2+ concentration prepared by blending tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ] is preferably in the range of 13 to 50 g / liter. Needs to be adjusted within the range of 15 to 30 g / liter. By performing the electroless tin plating by adjusting the Sn 2+ concentration in the tin plating bath used in the present invention within the above range, even if a scoured portion is formed, the scoured portion affects the lead strength and the like. It is not so deep as to affect, and it does not cause disconnection of the lead portion or the like.

本発明の方法において、スズメッキ層は単層であっても複数の層から形成されていても良い。
即ち、上記のようにスズメッキをする前に、リード部あるいは配線パターンにプレスズメッキをした後、Sn2+濃度が上記範囲内にあるスズメッキ浴を用いてスズメッキを行っても良い。即ち、図3に示されるように、リード部に例えば室温(25℃)でプレスズメッキを行った後、このプレスズメッキ層上に例えば70℃で本スズメッキを行うことができ、また、本スズメッキ層を2層以上形成してもよい。こうした場合、プレスズメッキ層の厚さを本スズメッキ層の厚さよりも薄くすることが好ましい。このようにプレスズメッキを行った後、本スズメッキをすることにより、例えばソルダーレジストの縁部に剥離した部分があったとしても、このソルダーレジスト下部の配線パターン表面に薄いプレスズ
メッキ層が形成されるので、本スズメッキの際にメッキ液がこの剥離部に残留しても配線パターンを形成する導電体箔(電解銅箔)が溶出せず、従ってえぐれ部の発生を抑制することができる。このように2層のスズメッキ層を形成する場合、プレスズメッキ層の厚さと、本スズメッキ層の厚さとの比は、通常は0.5:10〜2:10、好ましくは0.5:10〜1:8、特に好ましくは0・5:10〜1:10の範囲内にする。このようにプレスズメッキ層の厚さを薄くすることにより、えぐれ部の発生抑制効果が良好になる。
In the method of the present invention, the tin plating layer may be a single layer or may be formed from a plurality of layers.
That is, before performing the tin plating as described above, the lead portion or the wiring pattern may be press-plated, and then the tin plating may be performed using a tin plating bath having a Sn 2+ concentration within the above range. That is, as shown in FIG. 3, after the lead portion is press-plated at, for example, room temperature (25 ° C.), the tin plating can be performed on the press-plated layer at 70 ° C., for example. May be formed in two or more layers. In such a case, it is preferable that the thickness of the press plating layer is smaller than the thickness of the present tin plating layer. After performing the press plating in this way, by performing the present tin plating, a thin press plating layer is formed on the surface of the wiring pattern under the solder resist, for example, even if there is a peeled portion at the edge of the solder resist. Therefore, even if the plating solution remains in the peeled portion during the tin plating, the conductor foil (electrolytic copper foil) forming the wiring pattern does not elute, and thus the generation of the scoured portion can be suppressed. When the two tin plating layers are formed in this manner, the ratio of the thickness of the press plating layer to the thickness of the tin plating layer is usually 0.5: 10 to 2:10, preferably 0.5: 10 to 10:10. 1: 8, particularly preferably in the range of 0.5: 10 to 1:10. By reducing the thickness of the press plating layer in this manner, the effect of suppressing the generation of the scuffed portion is improved.

図2に、プレスズメッキと本スズメッキとを組み合わせて行う際に、プレスズメッキに用いるメッキ浴中におけるSn2+濃度を変えたときのえぐれ部の深さとの関係の例を示す。図2において、「A」は、ソルダーレジスト塗布液を塗布し硬化させた後、スズメッキ浴中のSn2+濃度を変えて室温(25℃)でプレスズメッキ層を形成し次いで本スズメッキ条件を、Sn2+濃度;20g/リットル、温度70℃、時間;210秒に設定して本スズメッキを行ったときに発生したえぐれ部の深さとSn2+濃度との関係を示すグラフであり、「B」は、上記と同様にしてソルダーレジスト層を形成した後、メッキされる部分をソフトエッチングした後に同様にして同様にしてSn2+濃度を変えてプレスズメッキを行った後、上記と同様にして本スズメッキした際に発生したえぐれ部の深さとSn2+濃度との関係を示すグラフである。 FIG. 2 shows an example of the relationship between the depth of the undercut portion when the Sn 2+ concentration in the plating bath used for the press plating is changed when performing the press plating and the present tin plating in combination. In FIG. 2, “A” indicates that after applying and curing a solder resist coating solution, the Sn 2+ concentration in the tin plating bath was changed to form a press plating layer at room temperature (25 ° C.), and then the tin plating conditions were changed to It is a graph which shows the relationship between the Sn 2+ concentration and the depth of the scoured portion generated when the present tin plating was performed by setting Sn 2+ concentration: 20 g / liter, temperature: 70 ° C., time: 210 sec. After forming a solder resist layer in the same manner as described above, performing soft press etching on the portion to be plated, and then performing the same press plating with changing the Sn 2+ concentration in the same manner, and then performing the same as above. It is a graph which shows the relationship of Sn2 + density | concentration and the depth of the scorched part which generate | occur | produced at the time of this tin plating.

上記 図2から明らかなように、プレスズメッキ液中のSn2+濃度が7g/リットル以
下では非常に深いえぐれ部が生ずる。そして、Sn2+濃度が高くなるに従って次第にえぐれ部の深さが浅くなり、13g/リットル以上、好ましくは15g/リットル以上のSn2+濃度を有するプレスズメッキ液を使用することにより発生するえぐれ部の深さが5.5
μm以下でほぼ安定する。
As is apparent from FIG. 2, when the Sn 2+ concentration in the press plating solution is 7 g / liter or less, a very deep scoured portion is formed. Then, as the Sn 2+ concentration increases, the depth of the scouring portion gradually decreases, and the scuffing portion generated by using a press plating solution having a Sn 2+ concentration of 13 g / liter or more, preferably 15 g / liter or more. 5.5 in depth
It is almost stable below μm.

また、図5に示すように、プレスズメッキ時間によっても、えぐれ量の低下が見られる。図5は、プレスズメッキ条件を、プレスズメッキ浴におけるSn2+濃度;15g/リットル、温度;常温(25℃)、そしてプレスズメッキ時間を10〜210秒の範囲内で変え、本スズメッキ条件をSn2+濃度;15g/リットル、温度;常温(25℃)、時間;210秒にしてスズメッキを行ったときに生ずるえぐれ部の深さを測定したグラフである。なお、このメッキされるリード部は、ソフトエッチングされていない。 In addition, as shown in FIG. 5, the amount of scouring is reduced depending on the press plating time. FIG. 5 shows that the press plating conditions were changed to Sn 2+ concentration in the press plating bath: 15 g / liter, temperature: normal temperature (25 ° C.), press press plating time within the range of 10 to 210 seconds, and the tin plating conditions were changed to Sn. It is the graph which measured the depth of the scouring part which arises when performing tin plating at 2+ density | concentration: 15 g / liter, temperature: normal temperature (25 degreeC), time: 210 second. The lead to be plated is not soft-etched.

図5から明らかなように、プレスズメッキを行わないと7.25μmを超える深さのえ
ぐれ部が形成されるが、プレスズメッキ時間を10秒、30秒と長くするにつれてえぐれ部の深さは次第に浅くなり、プレメッキ時間が30秒では6.5μmとプレメッキを行わない場合と比較してえぐれ部の深さは約0.75μmの低下する。
As is clear from FIG. 5, if the press plating is not performed, a scoured portion having a depth exceeding 7.25 μm is formed. However, as the press plating time is increased to 10 seconds and 30 seconds, the depth of the scoured portion gradually increases. When the pre-plating time is 30 seconds, the depth becomes 6.5 μm, which is about 0.75 μm lower than when no pre-plating is performed.

そして、プレスズメッキ時間が40〜50秒付近にえぐれ深さに対するプレスズメッキ時間の臨界点があると推定され、特にプレメッキ時間を50秒以上、好ましくは55秒以上では、えぐれ部の深さは5〜5.5μmの間でほぼ一定する。従って、本発明の方法では、プレメッキ時間を通常は20秒以上、好ましくは40秒以上、特に好ましくは50秒以上、さらに好ましくは55秒以上に設定する。なお、このプレスズメッキは長時間行ってもえぐれ深さにはそれほど影響を及ぼさないので、通常はこのプレスズメッキ時間の上限は、210秒程度である。   It is estimated that there is a critical point of the press plating time with respect to the scouring depth in the vicinity of the press plating time of about 40 to 50 seconds. It is almost constant between μ5.5 μm. Therefore, in the method of the present invention, the pre-plating time is usually set to 20 seconds or more, preferably 40 seconds or more, particularly preferably 50 seconds or more, and more preferably 55 seconds or more. Since the press plating does not significantly affect the scouring depth even if the press plating is performed for a long time, the upper limit of the press plating time is usually about 210 seconds.

上記はプレスズメッキと本スズメッキとを行う態様によりえぐれ部の深さを低減できることを示したが、プレスズメッキを行わずに本スズメッキだけ行う場合にあってはホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合してSn2+濃度を変えることによりえぐれ部の深さを低減することができる。例えば、ソフトエッチングしプレスズメッキを行っていないリード部にメッキ温度;70℃、メッキ時間;210秒の条件で、Sn2+濃度を15g/リットル、20g/リットル、27g/リットルと変えて本スズメッキを行い、発生したえぐれ部の
深さを測定したところ、次表1に記載するようになる。
Although the above shows that the depth of the undercut portion can be reduced by performing the press plating and the tin plating, the tin borofluoride (Sn (BF 4 ) 2 is used when only the tin plating is performed without performing the press plating. ] Can be reduced by changing the Sn 2+ concentration. For example, this tin plating is performed on a lead portion which is not soft-etched and subjected to press plating, at a plating temperature of 70 ° C. and a plating time of 210 seconds, while changing the Sn 2+ concentration to 15 g / L, 20 g / L, and 27 g / L. Was performed and the depth of the generated scoured portion was measured. The results are shown in Table 1 below.

Figure 2004297102
Figure 2004297102

上記のように、本スズメッキの際におけるホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合を配合したSn2+濃度を13〜50g/リットルの範囲内、好ましくは15〜30g/リットルの範囲内にすることにより、えぐれ部の深さが低減される。また、このえぐれ部の深さを低減するには、メッキを行う前にメッキ予定面をソフトエッチングすることが有効である。 As described above, the Sn 2+ concentration containing tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ] in the present tin plating is in the range of 13 to 50 g / liter, preferably in the range of 15 to 30 g / liter. By doing so, the depth of the undercut portion is reduced. In order to reduce the depth of the undercut, it is effective to soft-etch the surface to be plated before plating.

特に図2において、「B」で示されるソフトエッチングした後にプレスズメッキを行いさらに本スズメッキを行うことにより、えぐれ部の深さは3.5μm以下になり、えぐれ
部の深さが3.5μm以下であれば、えぐれ部の発生によるリード強度の低下あるいはリ
ードの変形が生じにくくなり、さらにえぐれ部が生ずることによるリードの断線も生じない。即ち図2に「B」で示すように、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、スズメッキする前にメッキ予定部分をソフトエッチングすることが好ましい。
In particular, in FIG. 2, by performing press plating and then performing tin plating after soft etching indicated by “B”, the depth of the scoured portion becomes 3.5 μm or less, and the depth of the scoured portion becomes 3.5 μm or less. In this case, it is difficult for the lead strength to be reduced or the lead to be deformed due to the generation of the scoring portion, and the lead is not disconnected due to the generation of the scoring portion. That is, as indicated by "B" in FIG. 2, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, it is preferable to soft-etch a portion to be plated before tin plating.

このソフトエッチングは、配線パターンを形成するためのエッチングとは異なり、形成された配線パターンの表面の状態を整えて次の工程においてメッキをより均一に行うためにメッキ予定面(銅箔などからなるリード部など)を化学研磨する工程であり、配線パターンを形成するためのエッチング速度の1/3〜1/20程度の速度で配線パターンの表
面をエッチングする。
This soft etching is different from the etching for forming a wiring pattern, in which the surface of the formed wiring pattern is adjusted to make the plating more uniform in the next step (a surface to be plated (made of copper foil or the like). This is a step of chemically polishing a lead portion, etc., in which the surface of the wiring pattern is etched at a rate of about 1/3 to 1/20 of an etching rate for forming the wiring pattern.

即ち、このソフトエッチングは、メッキ予定面を酸等を用いて非常に軽度に化学研磨する処理であり、このソフトエッチングによりメッキ予定面の表面が清浄になるとともに、メッキ予定面にある金属酸化膜、有機物質などが除去され、このソフト処理面に均一なスズメッキ層が形成されやすくなる。さらにこのソフトエッチング処理をすることにより、均一なスズメッキ層が形成されるので、えぐれ部が形成されたとしてもその深度が浅くなるという作用がある。   That is, this soft etching is a process of chemically polishing the surface to be plated with acid or the like very slightly using acid or the like. This soft etching cleans the surface of the surface to be plated and the metal oxide film on the surface to be plated. As a result, organic substances and the like are removed, and a uniform tin plating layer is easily formed on the soft-treated surface. Further, by performing this soft etching process, a uniform tin plating layer is formed, so that even if a scorched portion is formed, the depth thereof is reduced.

このようなソフトエッチング液は、本質的には、配線パターン表面を化学研磨することができる酸性液である。このようなソフトエッチング液としては、例えば以下に記載するものを挙げることができる。
(1)
硫酸・・・2容量部
硝酸・・・1容量部
塩酸・・・0.8・・・ミリリットル/リットル
(2)
硫酸・・・7〜150ミリリットル/リットル
過酸化水素・・・50〜150ミリリットル/リットル
安定剤・・・50ミリリットル/リットル程度
(3)
クロム酸・・・270g/リットル程度
(4)
リン酸・・・55%程度
硝酸・・・29%程度酢酸・・・25%程度
(5)
硫酸・・・50〜100ミリリットル/リットル
塩酸・・・100〜200ミリリットル/リットル
ホウフッ酸・・・50〜100ミリリットル/リットル
(7)
加硫酸アンモニウム・・・120g/リットル
(8)
228、H2SO4を主成分とし、さらに、銅などの金属イオンを含有する酸性水溶液
であるソフトエッチング液
(9)
過硫酸塩、過酸化水素、硫酸を含有する酸性水溶液であるソフトエッチング液
(10)
硝酸、硫酸を含有する酸性水溶液であるソフトエッチング液。
Such a soft etching solution is essentially an acidic solution capable of chemically polishing the surface of a wiring pattern. Examples of such a soft etching solution include those described below.
(1)
Sulfuric acid: 2 parts by volume Nitric acid: 1 part by volume hydrochloric acid: 0.8 ... milliliter / liter
(2)
Sulfuric acid: 7 to 150 ml / liter Hydrogen peroxide: 50 to 150 ml / liter Stabilizer: about 50 ml / liter
(3)
Chromic acid: about 270 g / liter
(Four)
Phosphoric acid: about 55% Nitric acid: about 29% Acetic acid: about 25%
(Five)
Sulfuric acid: 50-100 ml / liter Hydrochloric acid: 100-200 ml / liter Borofluoric acid: 50-100 ml / liter
(7)
Ammonium sulphate: 120 g / l
(8)
A soft etching solution which is an acidic aqueous solution containing K 2 S 2 O 8 and H 2 SO 4 as main components and further containing metal ions such as copper.
(9)
Soft etching solution that is an acidic aqueous solution containing persulfate, hydrogen peroxide, and sulfuric acid
(Ten)
A soft etching solution that is an acidic aqueous solution containing nitric acid and sulfuric acid.

本発明では、上記のようなソフトエッチング液のほか、電子部品実装用フィルムキャリアテープに導電性箔から形成される配線パターンを軽度にエッチング可能な酸性液体であれば上記例示したソフトエッチング液以外のものを使用することができる。特に本発明では、過硫酸アンモニウムを含有するソフトエッチング液を用いることが好ましい。   In the present invention, in addition to the soft etching liquid as described above, other than the soft etching liquid exemplified above as long as it is an acidic liquid that can slightly etch a wiring pattern formed from a conductive foil on a film carrier tape for mounting electronic components. Things can be used. Particularly, in the present invention, it is preferable to use a soft etching solution containing ammonium persulfate.

上記のようなソフトエッチング液による処理は、ソフトエッチング予定面とソフトエッチング液とを通常は20〜50℃の温度で3〜60秒間接触させることにより実施される。このようなソフトエッチング液を用いてメッキ予定部分をソフトエッチング処理することにより、メッキ予定面の表面にある酸化物膜、有機質膜などが除去され(通常は2μm以下の深さでエッチングされて除去される)、均一化することができ、非常に均質なスズメッキ層を形成することが可能になる。さらに、図2に示すように、このようなソフトエッチング処理を行った後、スズメッキすることにより、同一のメッキ液を使用した場合に、えぐれ部の深度が約2μm程度浅くなるという効果がある。   The above-described treatment with the soft etching solution is performed by bringing the surface to be soft-etched into contact with the soft etching solution at a temperature of usually 20 to 50 ° C. for 3 to 60 seconds. By subjecting the portion to be plated to soft etching using such a soft etching solution, an oxide film, an organic film, and the like on the surface of the surface to be plated are removed (usually by etching to a depth of 2 μm or less). ), And it is possible to form a very uniform tin plating layer. Further, as shown in FIG. 2, by performing tin plating after performing such a soft etching treatment, there is an effect that the depth of the scoured portion is reduced by about 2 μm when the same plating solution is used.

このように本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、ソルダーレジスト層を形成した後、リード部などに無電解スズメッキ層を形成するに際して、スズメッキ浴中におけるSn2+濃度を所定の範囲内にすることにより、えぐれ部の形成を抑制することができる。さらに本発明ではソルダーレジスト層を塗設する前に形成された配線パターンの表面にプレスズメッキ層を形成することにより、えぐれ部の発生を抑制できると共に、プレスズメッキ層および本スズメッキ層を形成することでメッキ層のフクレあるいは剥離を防止することが可能となる。 As described above, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, after forming a solder resist layer and then forming an electroless tin plating layer on a lead portion or the like, the Sn 2+ concentration in a tin plating bath is adjusted to a predetermined value. By setting it within the range, the formation of the scorched portion can be suppressed. Further, in the present invention, by forming a press-plated layer on the surface of the wiring pattern formed before applying the solder resist layer, it is possible to suppress the occurrence of the scoured portion, and to form the press-plated layer and the tin-plated layer. Thus, blistering or peeling of the plating layer can be prevented.

即ち、図3に示すように、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、上記のようにソルダーレジストを塗布した後にスズメッキ層を形成することもできるし、また、 図4に示すように、ソルダーレジストを塗布する前に薄いプレスズメッキ
層を形成し、次いでソルダーレジストを塗布、硬化させた後に再度スズメッキを行い本スズメッキ層を形成することもできる。このようにソルダーレジスト層を形成する前に形成されるプレスズメッキ層の厚さは、通常は0.005〜0.3μm、好ましくは0.01
〜0.1μmの範囲内にあり、このプレスズメッキ層は、ソルダーレジスト層を形成後に
メッキされる本スズメッキ層よりも薄く形成される。このようにソルダーレジストを塗布する前に薄いプレスズメッキ層を形成し、次いでソルダーレジスト層を形成した後、さらに本スズメッキ層を形成することにより、えぐれ部の発生を防止できる。
That is, as shown in FIG. 3, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, a tin plating layer can be formed after applying a solder resist as described above, and as shown in FIG. As described above, a thin press-plated layer may be formed before the solder resist is applied, and then the tin-plated layer may be formed by applying and curing the solder resist and then again performing tin plating. The thickness of the press plating layer formed before the formation of the solder resist layer is usually 0.005 to 0.3 μm, preferably 0.01 to 0.3 μm.
This press plating layer is formed thinner than the present tin plating layer which is plated after forming the solder resist layer. By forming a thin press-plated layer before applying a solder resist, forming a solder resist layer, and then forming a tin-plated layer in this way, it is possible to prevent the generation of a scoured portion.

なお、上記のようにソルダーレジスト層を形成する前に薄いプレスズメッキ層を形成する場合に、上記と同様に配線パターンの表面をソフトエッチングすることもできる。上記のように本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、このようにして形成されるスズメッキ層の厚さは、通常は、0.2〜0.7μm、好ましくは0.3〜0.5μmである。このような厚さにスズメッキ層をすることにより、こうしてスズメッキされたリードなどにデバイスのバンプ電極などを良好にボンディングすることができると共に、リード部などの耐食性が良好になる。なお、上記スズメッキ層の厚さは、複数のスズメッキ層を形成した場合には合計の厚さである。   When a thin press-plated layer is formed before the formation of the solder resist layer as described above, the surface of the wiring pattern can be soft-etched in the same manner as described above. As described above, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, the thickness of the tin plating layer thus formed is usually 0.2 to 0.7 μm, preferably 0.3 to 0.7 μm. 0.5 μm. By providing a tin plating layer having such a thickness, a bump electrode or the like of a device can be satisfactorily bonded to the tin-plated lead and the like, and the corrosion resistance of the lead portion and the like can be improved. The thickness of the tin plating layer is the total thickness when a plurality of tin plating layers are formed.

このように所定のSn2+濃度のメッキ液を使用してスズメッキ層を形成した後、通常は加熱処理して、形成されたスズメッキ層を形成するスズと配線パターンを形成する金属とを相互に拡散させる。ここで加熱処理は、スズメッキ層を通常は90〜150℃、好ましくは110〜140℃に、通常は30〜180分間、好ましくは40〜120分間加熱することにより実施される。 After a tin plating layer is formed using a plating solution having a predetermined Sn 2+ concentration in this way, heat treatment is usually performed so that tin forming the formed tin plating layer and metal forming the wiring pattern mutually interact. Spread. Here, the heat treatment is performed by heating the tin plating layer to usually 90 to 150 ° C, preferably 110 to 140 ° C, usually for 30 to 180 minutes, preferably for 40 to 120 minutes.

こうしてホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合した特定のSn2+濃度を有するスズメッキ浴を用いて無電解スズメッキ層を形成することにより、メッキ液による浸食作用によってえぐれ部の深度が浅くなる。このようなホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合してSn2+濃度を特定の範囲にしたスズメッキ浴を用いることによりえぐれ部の深度が浅くなる詳細な理由は不明であるが、上記のような特定のSn2+濃度を有するスズメッキ浴を用いてスズメッキ層を形成することにより、メッキ液の浸漬電位が貴な方向で維持され、局部電池の形成を阻害するためであろうと考えられる。 By forming the electroless tin plating layer using a tin plating bath having a specific Sn 2+ concentration containing tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ], the depth of the undercut is reduced by the erosion effect of the plating solution. Become. The detailed reason why the depth of the undercut becomes shallow by using a tin plating bath in which the tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ] is blended and the Sn 2+ concentration is in a specific range is unknown, By forming a tin plating layer using a tin plating bath having a specific Sn 2+ concentration as described above, the immersion potential of the plating solution is maintained in a noble direction, and it is thought that this is because the formation of a local battery is obstructed. Can be

このようにして本発明の方法で製造された電子部品実装用フィルムキャリアテープは、通常の方法で製造されたものと同様に使用することができる。
〔実施例〕
次に本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法について実施例を示して詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
〔参考例1〜6〕
幅70mm、厚さ50μmのポリイミドフィルムに、パンチングにより、デバイスホール、スプロケットホール、アウターリードの切断スリットを形成した。次いで、このポリイミドフィルム表面に、エポキシ系接着剤を塗布し、厚さ18μmの電解銅箔を貼着した。
The film carrier tape for mounting electronic components manufactured by the method of the present invention in this manner can be used in the same manner as that manufactured by the usual method.
〔Example〕
Next, the method for producing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
[Reference Examples 1 to 6]
Device holes, sprocket holes, and cutting slits for outer leads were formed in a polyimide film having a width of 70 mm and a thickness of 50 μm by punching. Next, an epoxy-based adhesive was applied to the surface of the polyimide film, and an electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm was attached.

さらに、この電解銅箔上にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストを露光し、さらにエッチングすることにより銅箔に配線パターンを形成した。形成した配線パターンにおけるリードのピッチ幅は50μmである。こうして形成された配線パターンのリード部を残してウレタン系ソルダーレジスト塗布液を塗布し、加熱硬化させた。こうして形成されたソルダーレジスト層の平均厚さは30μmである。   Further, a photoresist was applied on the electrolytic copper foil, and the photoresist was exposed to light and etched to form a wiring pattern on the copper foil. The pitch width of the leads in the formed wiring pattern is 50 μm. A urethane-based solder resist coating solution was applied while leaving the lead portion of the wiring pattern thus formed, and was cured by heating. The average thickness of the solder resist layer thus formed is 30 μm.

上記のようにしてソルダーレジスト層を形成した後、以下に示す組成のソフトエッチング液を用いてリード表面をソフトエッチングした。
228 ・・・100g/リットル
2SO4 ・・・ 10g/リットル
銅イオン濃度(硫酸銅換算量)・・・0.3g/リットル
上記成分に水を加えて全量を1リットルとした。
After forming the solder resist layer as described above, the lead surface was soft-etched using a soft etching solution having the following composition.
K 2 S 2 O 8 ··· 100 g / liter H 2 SO 4 ··· 10 g / liter Copper ion concentration (in terms of copper sulfate) ··· 0.3 g / liter Water is added to the above components to make a total volume of 1 liter. And

このソフトエッチング液とリード表面との接触時間を10秒間に設定し、ソフトエッチング液の温度を30℃に設定した。水洗後、このテープを以下に示す組成を有する無電解スズメッキ液に室温(25℃)で10秒間浸漬してリード部にプレスズメッキ層を形成し
た。
チオ尿素 (NH2)2CS ・・・ 15重量%
ホウフッ化スズ Sn(BF4)2・・・ 所定量
次亜リン酸 H3PO4・・・ 6重量%
カチオン系界面活性剤・・・ 1重量%以下
上記の成分に水を加えて全量を1リットルとした。
The contact time between the soft etching solution and the lead surface was set to 10 seconds, and the temperature of the soft etching solution was set to 30 ° C. After washing with water, this tape was immersed in an electroless tin plating solution having the following composition at room temperature (25 ° C.) for 10 seconds to form a press plating layer on the lead portion.
Thiourea (NH 2 ) 2 CS ・ ・ ・ 15% by weight
Tin borofluoride Sn (BF 4 ) 2・ ・ ・ Predetermined amount hypophosphorous acid H 3 PO 4・ ・ ・ 6% by weight
Cationic surfactant 1% by weight or less Water was added to the above components to make the total amount 1 liter.

なお、上記無電解スズメッキ浴におけるホウフッ化スズは、スズメッキ浴中におけるSn2+の濃度が2g/リットル(参考例4)、3g/リットル(参考例5)、8g/リットル(参考例6)、14g/リットル(参考例1)、18g/リットル(参考例2)、27g/リットル(参考例3)になるような量で配合した。 The tin borofluoride in the electroless tin plating bath has a Sn 2+ concentration in the tin plating bath of 2 g / liter (Reference Example 4), 3 g / liter (Reference Example 5), 8 g / liter (Reference Example 6), The amounts were 14 g / liter (Reference Example 1), 18 g / liter (Reference Example 2), and 27 g / liter (Reference Example 3).

上記プレスズメッキの条件は、温度;25℃(室温)、メッキ時間10秒である。こうしてプレメッキした後、本スズメッキを行った。上記無電解本スズメッキの条件は、メッキ浴の温度;70℃、接触時間;210秒間、Sn2+濃度;20g/リットルに設定してリード部に平均厚さ0.45μmのスズメッキ層を形成した。第1層目の無電解スズメッキ層の厚さ:第2層目の無電解メッキ層の厚さの比は1:10であり、第1層目の無電解メッキ層が第2層目の無電解メッキ層よりも薄く形成されている。 The conditions of the press plating are as follows: temperature; 25 ° C. (room temperature); plating time 10 seconds. After pre-plating in this way, the present tin plating was performed. The conditions of the above electroless tin plating were as follows: plating bath temperature; 70 ° C., contact time: 210 seconds, Sn 2+ concentration: 20 g / liter, and a tin plating layer having an average thickness of 0.45 μm was formed on the lead portion. . The ratio of the thickness of the first electroless tin plating layer to the thickness of the second electroless plating layer is 1:10, and the first electroless plating layer is formed of the second electroless plating layer. It is formed thinner than the electrolytic plating layer.

こうして無電解スズメッキを行った後、水洗しメッキ層を130℃加熱することにより電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造した。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを選んで、この部分の断面写真を撮影した。この断面写真からリードえぐれの深さを測定した。結果を図2に示す。
〔参考例7〜12〕
参考例1〜6において、ソフトエッチング処理を行わなかった以外は同様にして電子部品実装用フォルムキャリアテープを製造した。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを選んで、この部分の断面写真を撮影した。
After performing the electroless tin plating in this manner, the substrate was washed with water, and the plated layer was heated to 130 ° C. to produce a film carrier tape for mounting electronic components. By observing the lead portion of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead in which the lead was broken was selected, and a photograph of a cross section of this portion was taken. From this cross-sectional photograph, the depth of lead screeching was measured. FIG. 2 shows the results.
[Reference Examples 7 to 12]
In Example 1 to 6, an electronic component mounting form carrier tape was manufactured in the same manner except that the soft etching treatment was not performed. By observing the lead portion of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead in which the lead was broken was selected, and a photograph of a cross section of this portion was taken.

この断面写真からリードえぐれの深さを測定した。結果を図2に示す。   From this cross-sectional photograph, the depth of lead screeching was measured. FIG. 2 shows the results.

参考例2において、リード部の無電解本スズメッキを1段階で行った以外は同様にして電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造した。こうして形成された無電解スズメッキの合計の厚さは0.45μmであった。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを選んで、この部分の断面写真を撮影した。   A film carrier tape for mounting electronic components was manufactured in the same manner as in Reference Example 2, except that the electroless tin plating of the lead portion was performed in one stage. The total thickness of the thus formed electroless tin plating was 0.45 μm. By observing the lead portion of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead in which the lead was broken was selected, and a photograph of a cross section of this portion was taken.

この断面写真からリードえぐれの深さを測定したところ、発生したリードえぐれの深さは4μmであり、参考例2よりも深かった。
〔参考例13〕
参考例2において、ソルダーレジストを塗布する前に配線パターンをソフトエッチングし、次いで、厚さ0.03μmのプレスズメッキ層を無電解スズメッキにより形成し、このプレスズメッキ層の上に参考例2と同様にしてソルダーレジスト層を形成し、ソルダーレジスト層から延出しているリード部に参考例2と同様にして無電解本スズメッキ層を形成した。なお、こうして形成されたスズメッキ層の合計の厚さは0.45μmであった。
When the depth of the lead undercut was measured from this cross-sectional photograph, the depth of the generated lead undercut was 4 μm, which was deeper than that of Reference Example 2.
[Reference Example 13]
In Reference Example 2, before applying the solder resist, the wiring pattern was soft-etched, and then a press plating layer having a thickness of 0.03 μm was formed by electroless tin plating. To form a solder resist layer, and an electroless tin-plated layer was formed on the lead portion extending from the solder resist layer in the same manner as in Reference Example 2. The total thickness of the tin plating layer thus formed was 0.45 μm.

得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを探したがリードえぐれは発生していなかった。
〔参考例14〕
参考例2において、プレスズメッキ浴におけるSn2+濃度15g/リットルに変え、常温において、10秒、30秒、60秒、120秒、210秒間それぞれプレスズメッキを行った後、本メッキ条件を温度;70℃、時間;210秒、Sn2+濃度20g/リットルに設定して本スズメッキを行った。なお、この被メッキ面はソフトエッチングされていない。
By observing the leads of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead having a chipped lead was searched for, but no chipped lead was found.
[Reference Example 14]
In Reference Example 2, after changing the Sn 2+ concentration in the press plating bath to 15 g / liter and performing press plating at room temperature for 10 seconds, 30 seconds, 60 seconds, 120 seconds, and 210 seconds, the main plating conditions were as follows: The tin plating was performed at 70 ° C. for a time of 210 seconds and a Sn 2+ concentration of 20 g / liter. The surface to be plated is not soft-etched.

上記のようにして時間を変えてプレスズメッキを行い、本スズメッキした後のリード部を観察した。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを選んで、この部分の断面写真を撮影した。この断面写真からリードえぐれの深さを測定したところ、プレスズメッキ時間が長くなるに従って、えぐれ深さは次第に浅くなり、30秒と60秒との間でえぐれ深さが5μm程度に安定する。   Pressing plating was performed for various times as described above, and the lead portion after the tin plating was observed. By observing the lead portion of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead in which the lead was broken was selected, and a photograph of a cross section of this portion was taken. When the depth of the lead digging was measured from this cross-sectional photograph, the depth of the digging gradually became shallower as the press plating time became longer, and the depth of the digging became stable at about 5 μm between 30 seconds and 60 seconds.

この結果を図5に示す。   The result is shown in FIG.

参考例1において、ソフトエッチングしたリード表面にプレスズメッキを行わずにホウフッ化スズ Sn(BF4)2の配合量を変えてSn2+濃度を15g/リットル、20g/リット
ル、27g/リットルとして本スズメッキを行った。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを選んで、この部分の断面写真を撮影した。
In Reference Example 1, the Sn 2+ concentration was changed to 15 g / l, 20 g / l, and 27 g / l by changing the blending amount of tin borofluoride Sn (BF 4 ) 2 without performing press plating on the soft-etched lead surface. Tin plating was performed. By observing the lead portion of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead in which the lead was broken was selected, and a photograph of a cross section of this portion was taken.

この断面写真からリードえぐれの深さを測定し、結果を次表2に示す。   The depth of the lead digging was measured from this cross-sectional photograph, and the results are shown in Table 2 below.

Figure 2004297102
Figure 2004297102

なお、この本スズメッキ条件は、メッキ温度;70℃、メッキ時間;210秒の条件である。上記の結果から本スズメッキの際におけるSn2+濃度を、ホウフッ化スズ Sn(BF4)2を配合して本発明で規定する範囲にすることにより、プレスズメッキを行わなくてもえ
ぐれ部の深さが低減される。
The tin plating conditions are as follows: plating temperature: 70 ° C., plating time: 210 seconds. From the above results, the Sn 2+ concentration at the time of the present tin plating is adjusted to the range specified in the present invention by mixing tin borofluoride Sn (BF 4 ) 2 , so that the depth of the undercut can be obtained without performing press plating. Is reduced.

本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、ホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合して特定のSn2+濃度を有するスズメッキ浴を用いてスズメッキ層を形成することにより、ソルダーレジストの下部におけるえぐれ部の発生を抑制することができる。また、無電解スズメッキをすることによりソルダーレジスト層下面にある配線パターンにえぐれ部が形成されたとしても、そのえぐれ部の深さが浅くなり、リードの強度低下、リードの断線などを防止することができる。 In the method for producing a film carrier tape for mounting an electronic component of the present invention, a tin plating layer is formed by mixing tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ] and using a tin plating bath having a specific Sn 2+ concentration. In addition, it is possible to suppress the occurrence of the curving portion in the lower part of the solder resist. Also, even if a scoring part is formed in the wiring pattern on the lower surface of the solder resist layer by electroless tin plating, the depth of the scoring part becomes shallow, preventing lead strength reduction, lead disconnection, etc. Can be.

特に本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法は、ファイピッチ化されたフィルムキャリアテープの製造において有用性が高く、例えばリード幅が25μm以下のような非常にファインピッチのリード部を有するフィルムキャリアテープにおいても、実質的なリード強度の低下、リードの断線などフィルムキャリアテープの重大な欠陥と
なり得るようなえぐれ部の発生を抑制することができる。
In particular, the method for producing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention is highly useful in producing a film carrier tape having a fine pitch, for example, having a very fine pitch lead portion having a lead width of 25 μm or less. Also in the film carrier tape, it is possible to suppress the occurrence of a curving portion that can be a serious defect of the film carrier tape such as a substantial decrease in lead strength and disconnection of leads.

従って、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法により調製された電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いることにより、デバイスをより確実に実装することができ、また、フィルムキャリアテープの経時的な強度の低下、断線などによる不良も生じにくい。   Therefore, by using the electronic component mounting film carrier tape prepared by the method for manufacturing an electronic component mounting film carrier tape of the present invention, the device can be mounted more reliably, and the aging of the film carrier tape can be improved. It is also unlikely that defects such as a drop in strength and disconnection will occur.

図1は、無電解スズメッキにより生ずるリードのえぐれ部を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a scorched portion of a lead caused by electroless tin plating. 図2は、プレスズメッキ浴におけるSn2+の濃度とリードのえぐれ深さ(えぐれ量)との関係を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the Sn 2+ concentration in the press plating bath and the lead scuffing depth (scrapping amount). 図3は、プレスズメッキ層と本メッキ層とを設けた態様を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an embodiment in which a press plating layer and a main plating layer are provided. 図4は、ソルダーレジスト下にプレスズメッキ層を設けた態様を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an embodiment in which a press plating layer is provided under a solder resist. 図5は、プレスズメッキ時間とえぐれ深さとの関係を示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the press plating time and the undercut depth.

Claims (4)

可撓性絶縁性フィルムに銅または銅合金で形成された配線パターンのリード部に、ホウフッ化スズ〔Sn(BF4)2〕を配合してSn2+濃度が13〜50g/リットルの範囲内に調整された無電解スズメッキ浴を用いて本スズメッキを少なくとも1回行い平均厚さが0.2
〜0.7μmの本スズメッキ層を形成することを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。
Tin borofluoride [Sn (BF 4 ) 2 ] is blended into the lead portion of a wiring pattern formed of copper or a copper alloy on a flexible insulating film, and the Sn 2+ concentration is within a range of 13 to 50 g / liter. This tin plating was performed at least once using an electroless tin plating bath adjusted to an average thickness of 0.2.
A method for producing a film carrier tape for mounting electronic components, comprising forming a tin plating layer having a thickness of about 0.7 μm.
上記可撓性絶縁性フィルムに形成された配線パターンにスズメッキを行う前に、スズメッキ予定面をソフトエッチング処理することを特徴とする請求項第1項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。   2. The method for manufacturing a film carrier tape for electronic component mounting according to claim 1, wherein a tin-plated surface is soft-etched before tin-plating the wiring pattern formed on the flexible insulating film. . 上記本スズメッキ層が形成される配線パターンが、平均厚さ7〜35μmの電解銅箔を用いて形成されたものであることを特徴とする請求項第1項または第2項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。   The electronic component mounting according to claim 1, wherein the wiring pattern on which the tin plating layer is formed is formed using an electrolytic copper foil having an average thickness of 7 to 35 μm. Manufacturing method of film carrier tape for use. 上記配線パターンが、蒸着法あるいはメッキ法による金属層から形成されてなることを特徴とする請求項第1項または第2項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。   3. The method according to claim 1, wherein the wiring pattern is formed of a metal layer by a vapor deposition method or a plating method.
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