JP2004294205A - 酸溶液の金属含有量の測定方法及び測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸溶液の金属含有量の測定装置Sは、分光部1と、サンプリング部2と、データ処理部3とで構成されている。測定装置Sは、波長が190〜350nmの紫外線を、内部に酸溶液が導入されたフローセル12に照射し、フローセル12を透過した紫外線を受光素子11に入射させ、受光素子11から出力される紫外線の透過光量に対応する信号に基づいて複数の波長の紫外線の吸収量をそれぞれ演算する。そして、演算した各波長の紫外線の吸光度と検量線式と基準液で校正を行った金属含有量のオフセット分の計算結果に基づいて、酸溶液中の所定の金属の含有量を演算する。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸溶液の金属含有量の測定方法及び測定装置に関するものであり、とくに、半導体装置製造プロセス用の薬剤の金属含有量を高精度に定量ないし分析することができる酸溶液の金属含有量の測定方法及び測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、微量の金属を含有する酸溶液、例えば半導体装置製造プロセス用の薬剤の金属含有量を高精度で測定する手法としては、主として、炭素炉等を用いて金属を原子化させその吸収スペクトルから金属を定量するフレームレス原子吸光分析法(黒鉛炉原子吸光分析法)や、高周波により生じたプラズマで金属原子を励起してその発光から金属を定量する誘導結合プラズマ質量分析法(ICP分析法)が用いられている(例えば、特許文献1〜4参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平7−21973号公報(段落[0018]、図1)
【特許文献2】
特開平7−280725号公報(段落[0010])
【特許文献3】
特開平10−267836号公報(段落[0011])
【特許文献4】
特開平11−326280号公報(段落[0016])
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フレームレス原子吸光分析法あるいは誘導結合プラズマ質量分析法を、例えば半導体装置製造プロセス用の薬剤等の酸溶液の金属含有量の測定に用いた場合、サンプルとなる酸溶液を採取した後、これを加熱したり揮散させたりしなければならないので、分析に長時間を要し、またクリーンルーム内で酸溶液を揮散させることは環境を悪化させる。また、金属が高濃度である場合は、酸溶液を希釈することが必要となる。このため、フレームレス原子吸光分析法あるいは誘導結合プラズマ質量分析法は、インラインでの測定には不向きであり、製造プロセスに組み込むのが困難であるといった問題がある。
【0005】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたものであって、半導体装置製造プロセス用の薬剤等の酸溶液の金属含有量を、金属が高濃度である場合でも酸溶液を希釈することなく、(非破壊で)短時間で精度よく測定することができ、インライン測定を可能にする酸溶液の金属含有量の測定方法ないしは測定方法を提供することを解決すべき課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた本発明にかかる酸溶液の金属含有量の測定方法は、金属を含有する酸溶液に互いに波長が異なる複数種の光を順次透過又は反射させ、酸溶液についての上記各光の透過度又は反射度を検出し、該検出値に基づいて酸溶液の金属含有量を算出することを特徴とするものである。なお、本明細書において、測定対象である「金属」は、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、マンガン(Mn)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)等の金属元素だけでなく、金属性を示すケイ素(Si)、リン(P)等の類金属元素も含む概念である。
【0007】
また、本発明にかかる酸溶液の金属含有量の測定装置は、金属を含有する酸溶液に互いに波長が異なる複数種の光を順次透過又は反射させて、酸溶液についての上記各光の透過度又は反射度を検出する分光部と、該分光部の検出値に基づいて酸溶液の金属含有量を算出するデータ処理部とを備えていることを特徴とするものである。
【0008】
本発明にかかる酸溶液の金属含有量の測定方法又は測定装置において、酸溶液としては、例えば、半導体装置製造プロセス用の薬剤(薬液)があげられる。また、上記光は、波長が190〜350nmの紫外線であるのが好ましい。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を具体的に説明する。
図1は、本発明にかかる、半導体装置製造プロセス用の洗浄薬剤(洗浄液)等の酸溶液の金属含有量の測定装置のシステム構成図である。なお、この測定装置で金属含有量を測定する酸溶液としては、例えば、フッ酸と塩酸と酢酸とを含む混酸に、Si、Al、Mg、Mn、Ni、Cu、P等の金属がイオンとして含まれているものなどがあげられる。
【0010】
図1に示すように、この測定装置Sは、実質的に、分光部1と、サンプリング部2と、データ処理部3とで構成されている。
まず、分光部1の具体的な構成を説明する。
分光部1には、光源である紫外線ランプ4と、第1凸レンズ5と、絞り6と、干渉フィルタ7を備えた回転円板8と、第2凸レンズ9と、第3凸レンズ10と、受光素子11とが設けられている。紫外線ランプ4から放射された紫外線は、第1凸レンズ5によって集光され、第1凸レンズ5の焦点位置に配置された絞り6と、干渉フィルタ7とを通過する。ここで、回転円板8に保持された干渉フィルタ7は、絞り6を通過した紫外線を、190〜350nmの範囲内の所定の波長の紫外線に分光する。
【0011】
干渉フィルタ7によって分光された紫外線は、第2凸レンズ9によって集光され、フローセル12に照射される。フローセル12内には酸溶液が導入されている。フローセル12に照射された紫外線の一部はフローセル12内の酸溶液によって吸収され、残部はフローセル12を透過する。フローセル12を透過した紫外線は、第3凸レンズ10により集光され、受光素子11に入射される。受光素子11は、入射された紫外線を、その強度に対応する光電流に変換する。
【0012】
回転円板8は、複数(例えば、8枚)の干渉フィルタ7を、円周方向に等角度間隔で保持し、駆動モータ13により所定の回転数(例えば、1000rpm)で回転駆動される。各干渉フィルタ7は、190〜350nmの範囲内で、測定対象に応じた、互いに異なる所定の透過波長を有している。ここで、回転円板8が回転すると、各干渉フィルタ7が、第1、第2凸レンズ5、9の光軸に順次挿入される。そして、紫外線ランプ4から放射された紫外線が、干渉フィルタ7によって分光された後、フローセル12内の酸溶液を透過し(一部は吸収される)、第3凸レンズ10により集光され、受光素子11に入射される。これにより、受光素子11から、各波長の紫外線の吸光度に応じた電気信号が出力される。
【0013】
以下、データ処理部3の具体的な構成を説明する。
データ処理部3は、受光素子11から出力された、フローセル12の透過光(又は反射光)の強度に対応する透過光強度信号(又は反射光強度信号)を増幅する増幅器14を備えている。さらに、データ処理部3は、増幅器14から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器15と、このA/D変換器15からデジタル信号を受け入れるデータ処理装置16とを備えている。データ処理装置16は、A/D変換器15から入力された透過光強度信号(又は反射光強度信号)から各波長の紫外線の吸光度をそれぞれ演算し、演算した各波長の紫外線の吸光度と、予め記憶されている検量線式とに基づいて、酸溶液の金属含有量(金属濃度)を演算する。
【0014】
データ処理装置16は、実質的に、マイクロプロセッサ17と、RAM18と、ROM19と、入力装置20と、出力装置21とで構成されている。ここで、マイクロプロセッサ17は、上記の酸溶液の金属含有量の演算を行う。RAM18は、検量線式や各種データを記憶している。ROM19は、マイクロプロセッサ17を動作させるためのプログラム等を格納している。入力装置20は、データや各種の命令を入力するキーボード等を備えている。出力装置21は、データ処理の結果を出力するプリンタやディスプレイ等を備えている。
【0015】
以下、データ処理装置16におけるデータ処理の具体的な内容を説明する。
駆動モータ13により回転円板8が回転駆動されると、受光素子11は、回転円板8に保持されている複数(例えば、8枚)の干渉フィルタ7の透過波長に対応する各紫外線の、フローセル12内の酸溶液に対する透過度(又は反射度)に比例する信号を生成する。これらの信号は、増幅器14で増幅された後、A/D変換器15でデジタル信号に変換され、データ処理装置16のマイクロプロセッサ17に入力される。
【0016】
マイクロプロセッサ17は、A/D変換器15から入力されたデジタル信号に対して、次の式1による演算処理を実行し、吸光度Aiを演算する。
【数1】
Ai=−log10(Ri−Di)/(Bi−Di)………………………式1
【0017】
式1において、iは、分光された複数の紫外線の順番ないし番号(例えば、1〜8)である。Riは、測定対象である酸溶液のi番目の波長の紫外線の透過強度値(又は反射強度値)である。Biは、フローセル12内に導入された基準濃度の酸溶液の、i番目の波長の紫外線の透過反射強度値(又は反射強度値)である。Diは、フローセル12を遮光したときのi番目の波長の透過強度値(又は反射強度値)である。なお、Bi及びDiは予め測定されたデータであり、データ処理装置16のRAM18に格納されている。
【0018】
次に、式1による演算処理により得られた吸光度Aiに、次の式2の変換を行う。
【数2】
Si=Ai−Ai+1……………………………………………………………式2
【0019】
この式2の変換を行うのは次の理由による。すなわち、式1により演算される吸光度Aiは、紫外線ランプ4の発光強度の変動や、受光素子11の感度変動や、光学系のひずみなどにより変化する。しかし、この変化はあまり波長依存性はなく、各波長の紫外線についての各吸光度データに同相、同レベルで重畳する。したがって、式2のように、各波長間の差をとることにより、上記変化を相殺することができる。
【0020】
なお、酸溶液自体の温度変動による吸光度Aiの変動や劣化とともに、色の変動や濁りの増加による変動なども発生するが、これら変動は、よく知られた方法(例えば、特開平3−209149号公報参照)で除去することができるので、その説明は省略する。
【0021】
次に、式2により得られたSiに基づいて、酸溶液が、例えばケイ素、アルミニウム及びマグネシウムの3種類の金属を含む場合は、次の式3〜式5の演算を行い、ケイ素の含有量(濃度)C1と、アルミニウムの含有量(濃度)C2と、マグネシウムの含有量(濃度)C3とを演算する。なお、測定対象が上記3種の金属に限定されるものでないことは、いうまでもない。
【数3】
C1=F(Si)…………………………………………………………………式3
C2=G(Si)…………………………………………………………………式4
C3=H(Si)…………………………………………………………………式5
【0022】
式3において、F(Si)はケイ素の検量線式であり、Siについての1次項及び高次項を含むとともに、SiとSi+1あるいはその高次項の積であるクロス項及び定数項を含み、例えば次の式6で表される。
【数4】
C1=ΣαiSi+ΣβiSi 2+ΣγiSiSi+1+……+Z0……式6
【0023】
式6において、Si及びSi+1は、式1及び式2により得られたデータである。α、β及びγは、検量線式の係数である。Z0は定数項である。式6に含まれる各データは、金属含有量(金属濃度)が既知の酸溶液の標準サンプルを用いて該測定装置Sにより予め求められたものであり、データ処理装置16のRAM18に格納されている。
【0024】
また、式4及び式5において、G(Si)及びH(Si)は、それぞれ、アルミニウムの検量線式及びマグネシウムの検量線式であって、いずれも式6と同様の形式の式である。これらの検量線式も、ケイ素の検量線式と同様に、金属含有量が既知の酸溶液の標準サンプルを用いて測定装置Sにより予め求められたものであり、データ処理装置16のRAM18に格納されている。
【0025】
データ処理装置16のマイクロプロセッサ17は、式6の演算により得られたケイ素の含有量C1、アルミニウムの含有量C2及びマグネシウムの含有量C3を、CRTやプリンタ等の出力装置21に出力し、CRT画面に表示したり印字用紙にハードコピーとして出力し、あるいは外部へ送信する。
【0026】
また、データ処理装置16のマイクロプロセッサ17は、ケイ素の含有量C1、アルミニウムの含有量C2及びマグネシウムも含有量C3のデータに基づいて、現時点における槽内の酸溶液の状態を把握し、これらのデータより演算することができる槽の管理に必要なパラメータ値、例えば原液追加量、原液追加の時間、廃液量、廃液時間を演算し、その結果を出力装置21に出力する。
【0027】
つまり、この酸溶液の金属含有量の測定装置Sないし測定方法においては、波長が190〜350nmの紫外線を、内部に酸溶液が導入されたフローセル12に照射し、フローセル12を透過(又は反射)した紫外線を受光素子11に入射させ、受光素子11から出力される紫外線の透過光量(又は反射光量)に対応する信号に基づいて複数の波長の紫外線の吸収量をそれぞれ演算する。なお、波長が190〜350nmの紫外線を用いるのは、波長が190nmより短いと、分光部31を真空にする、もしくは窒素ガス等を封入した後に密閉し、空気中の二酸化炭素による紫外線の吸収の影響を取り除かなければならないが、これは製造コスト上の問題が生じるためで、これが問題とならなければさらに短い波長(190nm以下)も利用できる、逆に350nmより長いと、金属含有量の変化に対する紫外線吸収量変化が小さくなるからである。
【0028】
そして、演算した各波長の紫外線の吸光度(又は反射度)と検量線式とに基づいて、酸溶液中の所定の金属の含有量を演算する。
【0029】
演算された金属含有量は高精度とは言え、若干の誤差が生じる。これをさらなる高精度で測定するものが、金属含有量既知の基準液による校正である。
【0030】
基準液校正とは、まず他の方法で金属含有量を測定あるいは調合しておいた基準サンプルの濃度を測定する。仮に基準液中のケイ素含有量の真値Sp1と校正時の基準液のケイ素含有量測定値Sp1’をデータ処理装置16のRAM18に登録し、そのオフセット量を実サンプル液の測定時に実サンプルの測定値C1から差し引くことにより、実サンプルでの濃度ずれを最小とすることを目的とするのが基準液校正である。
【数5】
Of1=Sp1−Sp1’………………………………………………………式7
C1’=C1+Of1……………………………………………………………式8
【0031】
式7において、Sp1は基準液中のケイ素含有量の真値、Sp1’は測定装置Sによって測定された基準液中のケイ素含有量である。Of1は基準液測定の際の誤差、オフセットである。
C1は測定装置Sによって式6を用いて導かれた酸溶液中のケイ素含有量である。C1’は基準液校正後のケイ素含有量である。
【0032】
したがって、この測定装置Sは、半導体装置等の製造ライン中にインラインで設置することができる。このため、サンプルとなる酸溶液を揮散、蒸発させることなく、迅速、簡便に、かつ精度よく酸溶液の金属含有量を定量することができ、製品の歩留まりを向上させることができ、製造ラインの異常判定を早期に行うことができる。
【0033】
かくして、この酸溶液の金属含有量の測定装置Sないし測定方法によれば、酸溶液の金属含有量を、金属が高濃度である場合でも酸溶液を希釈することなく、短時間で精度よく測定することができ、酸溶液の金属含有量のインライン測定を行うことができる。
【0034】
【発明の効果】
本発明にかかる酸溶液の金属含有量の測定方法又は測定装置によれば、半導体装置製造プロセス用の薬剤等の酸溶液の金属含有量を、金属が高濃度である場合でも酸溶液を希釈することなく、短時間で精度よく測定することができ、インライン測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる酸溶液の金属含有量の測定装置のシステム構成図である。
【符号の説明】
S 酸溶液の金属含有量の測定装置、1 分光部、2 サンプリング部、3 データ処理部、4 紫外線ランプ、5 第1凸レンズ、6 絞り、7 干渉フィルタ、8 回転円板、9 第2凸レンズ、10 第3凸レンズ、11 受光素子、12 フローセル、13 駆動モータ、14 増幅器、15 A/D変換器、16 データ処理装置、17 マイクロプロセッサ、18 RAM、19 ROM、20 入力装置、21 出力装置。
Claims (7)
- 金属を含有する酸溶液に互いに波長が異なる複数種の光を順次透過又は反射させ、上記酸溶液についての上記各光の透過度又は反射度を検出し、該検出値に基づいて上記酸溶液の金属含有量を算出することを特徴とする酸溶液の金属含有量の測定方法。
- 上記酸溶液が半導体装置製造プロセス用の薬剤であることを特徴とする請求項1に記載の酸溶液の金属含有量の測定方法。
- 上記光が、波長が190〜350nmの紫外線であることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸溶液の金属含有量の測定方法。
- 金属を含有する酸溶液に互いに波長が異なる複数種の光を順次透過又は反射させて、上記酸溶液についての上記各光の透過度又は反射度を検出する分光部と、
上記分光部の検出値に基づいて、上記酸溶液の金属含有量を算出するデータ処理部とを備えていることを特徴とする酸溶液の金属含有量の測定装置。 - 上記酸溶液が半導体装置製造プロセス用の薬剤であることを特徴とする請求項4に記載の酸溶液の金属含有量の測定装置。
- 上記光が、波長が190〜350nmの紫外線であることを特徴とする請求項4又は5に記載の酸溶液の金属含有量の測定装置。
- 金属含有量既知の酸溶液である基準液を校正に用いることにより、高精度な測定を行うことができる請求項4、5又は6に記載の酸溶液の金属含有量の測定装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194874A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Samsung Electronics Co Ltd | ケミカル溶液の汚染分析方法及びその汚染分析システム |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63234158A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-09-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 鉄(3)イオン分析方法 |
JPH0252239A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Nippon Steel Corp | 分析方法 |
JPH0618413A (ja) * | 1992-07-02 | 1994-01-25 | Joko:Kk | シェーディング補正機能を備えた光学濃度測定装置 |
JPH06265471A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Kurabo Ind Ltd | 混酸の濃度測定方法および濃度測定装置 |
JPH11271220A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法 |
JPH11351963A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Fujitsu Ltd | 赤外線撮像装置 |
JP2000131228A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Kurabo Ind Ltd | 紫外線と近赤外線を使用した分光測定方法 |
JP2001509605A (ja) * | 1997-07-11 | 2001-07-24 | ユニバーシティー オブ サウス カロライナ | 光分析システム |
JP2002047575A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | C Uyemura & Co Ltd | 無電解複合めっき液の自動分析・管理装置 |
JP2002139430A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Kurabo Ind Ltd | 被測定成分濃度の測定方法 |
JP2002202254A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-07-19 | Dkk Toa Corp | 光測定方法及び装置 |
-
2003
- 2003-03-26 JP JP2003085582A patent/JP2004294205A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63234158A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-09-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 鉄(3)イオン分析方法 |
JPH0252239A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Nippon Steel Corp | 分析方法 |
JPH0618413A (ja) * | 1992-07-02 | 1994-01-25 | Joko:Kk | シェーディング補正機能を備えた光学濃度測定装置 |
JPH06265471A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Kurabo Ind Ltd | 混酸の濃度測定方法および濃度測定装置 |
JP2001509605A (ja) * | 1997-07-11 | 2001-07-24 | ユニバーシティー オブ サウス カロライナ | 光分析システム |
JPH11271220A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法 |
JPH11351963A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Fujitsu Ltd | 赤外線撮像装置 |
JP2000131228A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Kurabo Ind Ltd | 紫外線と近赤外線を使用した分光測定方法 |
JP2002047575A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-02-15 | C Uyemura & Co Ltd | 無電解複合めっき液の自動分析・管理装置 |
JP2002202254A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-07-19 | Dkk Toa Corp | 光測定方法及び装置 |
JP2002139430A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Kurabo Ind Ltd | 被測定成分濃度の測定方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194874A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Samsung Electronics Co Ltd | ケミカル溶液の汚染分析方法及びその汚染分析システム |
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