JP2004290804A

JP2004290804A - 微細気泡発生装置

Info

Publication number: JP2004290804A
Application number: JP2003085995A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Fukui; 秀明福井; Giichi Hata; 義一秦
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2003-03-26
Publication date: 2004-10-21

Abstract

【課題】経済性及び耐久性に優れ且つ騒音の小さな微細気泡発生装置を提供する。
【解決手段】液体５０の貯蔵部２に設けられる吸入口３及び吐出口４と、一端５ａが吸入口３に接続されて他端５ｂが吐出口４に接続される循環流路５と、貯蔵部２内の液体５０を循環流路５内にて吸入口３側から吐出口４側へと駆動させるポンプ６と、循環流路５途中に設けられて駆動中の液体５０に気体５１を混入させるエゼクタ部８と、循環流路５途中のエゼクタ部８よりも下流側に設けられて該エゼクタ部８で混入された気体５１を駆動中の液体５０に溶解させる気液溶解部１３とを具備する微細気泡発生装置１において、気液溶解部１３内で駆動中の液体５０にエゼクタ部８とは別途に気体５１を送り込む気体押込タンク３０を備える。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、養殖での酸素補給や、池や沼の水浄化（汚泥浮上）や、微細気泡バスに利用される微細気泡発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、微細気泡発生装置として、液体中にコンプレッサーで可圧気体を加えて溶解させ、その後に減圧開放させることにより気泡を発生させる加圧溶解方式のものが提案されている。しかし、上記の加圧溶解方式の微細気泡発生装置においては、気泡を細かく発生させることができるものの、コンプレッサーの使用により高価で耐久性に劣るとともに運転中の騒音も大きくなるという欠点がある。
【０００３】
そこで、この欠点を解消するものとして、コンプレッサーを用いることなく流路中にエゼクタ部を設けて該エゼクタ部での負圧により気体を混入させるエゼクタ方式のもの（特許文献１参照）が提案されている。しかし、上記のエゼクタ方式の微細気泡発生装置において十分な量の気泡を発生させようとすれば、液体を駆動させるポンプとして高揚程のものが必要となり、ポンプ単体の価格が増大するばかりでなく消費電力も増大するといった欠点がある。また、電源容量や発熱対策に関する回路関係費のコストが増大するとともに発熱により耐久性が劣化するといった欠点がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−３３６６６８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、高揚程のポンプを用いる必要なく十分な量の気泡を発生させることのできる、経済性及び耐久性に優れ且つ騒音の小さな微細気泡発生装置を提供することを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明を、液体５０の貯蔵部２に設けられる吸入口３及び吐出口４と、一端５ａが吸入口３に接続されて他端５ｂが吐出口４に接続される循環流路５と、貯蔵部２内の液体５０を循環流路５内にて吸入口３側から吐出口４側へと駆動させるポンプ６と、循環流路５途中に設けられて駆動中の液体５０に気体５１を混入させるエゼクタ部８と、循環流路５途中のエゼクタ部８よりも下流側に設けられて該エゼクタ部８で混入された気体５１を駆動中の液体５０に溶解させる気液溶解部１３とを具備する微細気泡発生装置１において、気液溶解部１３内で駆動中の液体５０にエゼクタ部８とは別途に気体５１を送り込む気体押込タンク３０を備えたことを特徴としたものとする。
【０００７】
このようにして、気液溶解部１３内の液体５０に、エゼクタ部８にて混入される気体５１と気体押込タンク３０から押込まれる気体５１とが共に供給されるようにすれば、ポンプ６として安価で低揚程のものを用いても十分な量の微細気泡を発生させることができ、経済性及び耐久性に優れ且つ騒音の小さな微細気泡発生装置１となるものである。
【０００８】
また、気体押込タンク３０から気液溶解部１３への気体５１の送り込み手段として、気体押込タンク３０内への液体５０注入により該気体押込タンク３０内の気体５１を気液溶解部１３に押出す気体押出機構を備えることも好ましい。このように、循環流路５内で駆動される液体５０を気体５１を押込む駆動源として利用することで、微細気泡発生装置１の構造を簡素化することができるものである。
【０００９】
また、上記気体押出機構として、循環流路５途中から分岐して気体押込タンク３０内に液体５０を供給する液体供給流路３１と、気体押込タンク３０内から気液溶解部１３中に気体５１を送り込む気体押込流路３２と、気体押込タンク３０内の液体５０を排出する液体排出流路３３と、気体押込タンク３０内に気体５１を吸入する気体吸入流路３４とを備えることも好ましい。この場合、気体５１が充填された状態の気体押込タンク３０内に液体供給流路３１を介して液体５０を送り込むとともに、気体押込タンク３０内の気体５１を気体押込流路３２を介して気液溶解部１３内の液体５０に押込む動作と、液体５０が充填された状態の気体押込タンク３０内から液体排出流路３３を介して液体５０を排出するとともに、気体吸入流路３４を介して気体押込タンク３０内に気体５１を吸入する動作とを交互に行うことで、気液溶解部１３内の液体５０に定期的に気体５１が押込まれることとなるものである。
【００１０】
また、エゼクタ部８に混入用の気体５１を供給する流路として、一端１２ａがエゼクタ部８に接続されて他端１２ｂが気液溶解部１３に接続され、気液溶解部１３内の余剰の気体５１を循環させてエゼクタ部８で混入させる気体混入流路１２を備えることも好ましい。この場合、気液溶解部１３内の余剰の気体５１が大気圧よりも高圧に保持され、この高圧の気体５１がエゼクタ部８で混入されることとなるので、気体５１を高効率で液体５０に混入させて十分な量の微細気泡を発生させることができるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に示す実施の形態に基づいて説明する。図１には、本発明の実施の形態における一例の微細気泡発生装置１を微細気泡発生バスシステムに用いた場合を示している。本例においては、入浴用の湯水を液体５０とし、この湯水を貯めておく浴槽を液体５０の貯蔵部２としており、貯蔵部２の液体５０が貯められる部分には吸入口３及び吐出口４を設置している。吸入口３には循環流路５の一端５ａを接続するとともに吐出口４には該循環流路５の他端５ｂを接続しており、貯蔵部２内に液体５０を貯めると循環流路５内に液体５０が満たされるようにしている。この循環流路５途中には、該循環流路５内の液体５０に吸入口３側から吐出口４側への圧力を付与するポンプ６を設けており、上記圧力により貯蔵部２内に貯められた液体５０が吸入口３から循環流路５内に吸入されるとともに、循環流路５内にて吸入口３側から吐出口４側へと駆動されて、吐出口４から再び貯蔵部２内に吐出されるようになっている。即ち、ポンプ６の作動により、貯蔵部２内の液体５０が循環流路５を介して循環されるものである。
【００１２】
循環流路５途中においてポンプ６の下流側にはエゼクタ部８を介在させており、このエゼクタ部８の下流側には気液溶解部１３を介在させている。エゼクタ部８は、図２に示すように、その内部流路９中に上流側よりも下流側が小径となるノズル部１０を有し、内部流路９中のノズル部１０の下流側を負圧部１１として該負圧部１１に気体混入流路１２の一端１２ａを接続させたものである。そして、エゼクタ部８の内部流路９内を液体５０が駆動されるとノズル部１０の下流にある負圧部１１内に負圧が発生し、該負圧により気体混入流路１２を通って負圧部１１内に気体５１（本例では空気）が供給され、エゼクタ部８内を駆動中の液体５０と混合されるようになっている。この気体５１は気液溶解部１３内の気体層２４から供給されるものであるが、詳しくは後述する。
【００１３】
本例においては、ポンプ６としてエアロックの生じ易い遠心ポンプを用いているが、気体５１の混入されるエゼクタ部８をポンプ６の下流側に配しているので支障がなく、また、ポンプ６内での部材の耐久性劣化や騒音増大を招くキャビテ―ションの発生も防止されている。
【００１４】
上記気液溶解部１３は、両端１４ａ，１４ｂに蓋１８，１９を設けた横向きの本体円筒部１４を備え、この本体円筒部１４の一端１４ａ側の蓋１８の中央部にエゼクタ部８を接続させる給水口１５を設けるとともに、本体円筒部１４内に、両端１６ａ，１６ｂの貫通した中心円筒部１６をその一端１６ａが給水口１５と接続するように蓋１８に固定し、この中心円筒部１６と同軸であり且つ該中心円筒部１６よりも大径な中間円筒部１７の一端１７ａを本体円筒部１４の蓋１８に固定させ、中心円筒部１６と中間円筒部１７と本体円筒部１４とが径方向に間隔を隔てて層を成すようにして主体を構成したものである。中間円筒部１７の自由端である他端１７ｂ側は中間蓋２５により塞いでおり、この中間蓋２５と中心円筒部１６の自由端である他端１６ｂ側との間には液体５０が通過する隙間を設けている。また、中間円筒部１７の固定端である一端１７ａ側の下部には連通穴２０を形成し、本端部１４の他端１４ｂ側の下部には本体部出口２１を形成して、この本体部出口２１にて気液溶解部１３を循環流路５中に再接続させている。
【００１５】
本体円筒部１４の他端１４ｂ側の上部には、気体抜き弁２３を有する気体抜き流路２２を挿通させており、該本体円筒部１４の一端１４ａ側の上部には、エゼクタ部８に一端１２ａが接続された気体混入流路１２の他端１２ｂ側を挿通させている。ここで、気体抜き流路２２は本体円筒部１４の直径の２０％程度の深さまで該本体円筒部１４内に挿通させているのに対して、気体混入流路１２は気体抜き流路２２よりも浅く本体円筒部１４内に挿通させている。
【００１６】
しかして、ポンプ６の作動によりエゼクタ部８にて気体５１と混合された液体５０は、気液溶解部１３にて、本体円筒部１４の給水口１５から中心円筒部１６内に勢い良く噴射され、中心円筒部１６の一端１６ａ側から他端１６ｂ側まで流れた後に、中心円筒部１６と中間円筒部１７との隙間を通って逆方向に流れ、中間円筒部１７の連通穴２０を通り中間円筒部１７と本体円筒部１４との隙間を通って更に逆方向に流れた後に、本体円筒部１４の本体部出口２１から吐出されて循環流路５内を戻されるものである。そして、このように気液溶解部１３内にて蛇行する際に液体５０と気体５１は幾度も撹拌されて、気体５１の一部が液体５０中に溶解されることとなる。
【００１７】
液体５０の駆動される気液溶解部１３内において、気体混入流路１２の他端１２ｂは、気体抜き流路２２の下端２２ａよりも上側に形成される気体層２４の内部に常に位置しており、エゼクタ部８で混入される気体５１はこの気体層２４から気体混入流路１２を介して供給されるようになっている。気液溶解部１３内での液体５０の通過断面積は、中間円筒部１７と本体円筒部１４との隙間や、更にこれを抜けて本体円筒部１４のみの空間となる部分において拡大するので、流速の減少により溶解されなかった余剰の気体５１は上部の気体層２４内にまで浮上した後に、気体混入流路１２を介してエゼクタ部８にまで供給される。即ち、本例の気体混入流路１２は、気液溶解部１３内の余剰の気体５１を循環させてエゼクタ部８で混入させるものである。
【００１８】
ここで、エゼクタ部８内で液体５０に混入された気体５１のうち気液溶解部１３内で実際に溶解される量は液体５０の流量の３％程度なので、気体抜き弁２３を閉じた場合であっても液体５０の流量を毎分１４リットルとすれば気体５１は毎分０．４２リットルが循環中に減少していくこととなるが、本例においては、気液溶解部１３内で駆動中の液体５０にエゼクタ部８とはまた別途に気体５１を送り込む気体押込タンク３０を備えていることで気体層２４が無くなることはなく、更に、気体抜き流路２２により外部に適宜排気されることから、気体層２４は本体円筒部１４の直径の２０％程度の深さで維持されるものである。この気体押込タンク３０からの気体５１の押込み手段については後述する。
【００１９】
循環流路５の流路途中の、気液溶解部１３の下流側であり、且つ、吐出口４の近傍である部分には、微細気泡発生部としてベンチュリ部２６を設けている。このベンチュリ部２６の絞り径は通過する液体５０が大気圧以下の圧力となるように設計されており、該ベンチュリ部２６にて気液溶解部１３内で溶解された気体５１が微細気泡として発生し、この微細気泡を含む液体５０が吐出口４から貯蔵部２内に吐出されるようになっている。
【００２０】
次に、気体押込タンク３０を用いた気体押込機構について詳述する。循環流路５途中のポンプ６とエゼクタ部８との間には三方継手７を設けており、この三方継手７を介して循環流路５途中から液体供給流路３１を分岐させている。上記液体供給流路３１は気体押込タンク３０に接続されるものであり、その流路中には電磁弁である開閉弁２７を介在させている。また、気体押込タンク３０の下端部には、その流路中に電磁弁である開閉弁２８を介在させている液体排出流路３３の一端３３ａを接続させており、該液体排出流路３３の他端３３ｂは液体排出口２９に接続させている。
【００２１】
気体押込タンク３０の上端部の所定箇所には、気体吸入流路３４の一端３４ａを接続させており、該気体吸入流路３４の他端３４ｂは、貯蔵部２である浴槽のフランジ部に設けた気体吸入口３５に接続させている。この気体吸入流路３４の流路中には、気体押込タンク３０側への流れのみを通過させる逆止弁３６を設けている。また、気体押込タンク３０の上端部の別の箇所には、気体押込流路３２の一端３２ａを接続させており、該気体押込流路３２の他端３２ｂは気液溶解部１３の流路途中に接続させている、この気体押込流路３２の流路中には、気液溶解部１３側にのみ流れを通過させる逆止弁３７を設けている。
【００２２】
しかして、気体押込タンク３０中に気体５１を充填した状態で、液体供給流路３１中の開閉弁２７を開いて液体排出流路３３中の開閉弁２８を閉じ、ポンプ６を作動させると、図３に示すように循環流路５中から三方継手７を介して分流された液体５０が気体押込タンク３０内に注入されるとともに、この気体押込タンク３０内への液体５０の注入によって該気体押込タンク３０内の水面が底面から上昇して行き、気体押込タンク３０内に充填されていた気体５１が上方の気体押込流路３２を通り気液溶解部１３内に押出されるようになっている。このとき、逆止弁３６により、気体吸入流路３４を通って気体吸入口３５から外部に気体５１が流出することは防止される。
【００２３】
また、気体押込タンク３０中に液体５０を充填した状態で、液体供給流路３１中の開閉弁２７を閉じて液体排出流路３３中の開閉弁２８を開くと、図４に示すように気体押込タンク３０内の液体５０は自重により液体排出流路３３を通り液体排出口２９から排出されるとともに、気体吸入口３５を介して外部から吸い込まれた気体５１は気体吸入流路３４を通り気体押込タンク３０内に供給されるようになっている。このとき、逆止弁３７により、気液溶解部１３内の液体５０が気体押込流路３２を通って気体押込タンク３０内に流入することは防止される。なお、液体排出流路３３の他端３３ｂを液体排出口２９に接続するのでなく循環流路５途中に接続して、気体押込タンク３０内から排出される液体５０を循環流路５内に戻すようにしてもよい。
【００２４】
つまり本例においては、上記したように、一端３１ａが循環流路５中に接続されて他端３１ｂが気体押込タンク３０に接続される液体供給流路３１と、一端３３ａが気体押込タンク３０に接続されて他端３３ｂが液体排出口２９（又は循環流路５途中）に接続される液体排出流路３３と、一端３２ａが気体押込タンク３０に接続されて他端３２ｂが気液溶解部１３中に接続される気体押込流路３２と、一端３４ａが気体押込タンク３０に接続されて他端３４ｂが気体吸入口３５に接続される気体吸入流路３４とを備え、液体供給流路３１中及び液体排出流路３３中にはそれぞれ開閉弁２７，２８を設け、気体押込流路３２中には気液溶解部１３側への流れのみを通過させる逆止弁３７を設け、気体吸入流路３４中には気体押込タンク３０側への流れのみを通過させる逆止弁３６を設けることで、気体押込タンク３０内への液体５０の注入によって該気体押込タンク３０内の気体５１を気液溶解部１３に押出す気体押出機構を形成している。このように、気体押込タンク３０から気液溶解部１３への気体５１の送り込み手段として上記構成の気体押出機構を備えていることで、電磁弁である開閉弁２７，２８の開閉を制御するだけで気体５１の送り込みを自在に制御することができるものである。
【００２５】
本例の微細気泡発生装置１を用いた微細気泡発生バスシステムの運転動作としては、以下の通りである。貯蔵部２である浴槽のフランジ部には操作スイッチ３８を設けており、使用者がこの操作スイッチ３８を操作して微細気泡発生開始の指示を与えると、制御部（図示せず）により、液体供給流路３１中の開閉弁２７を閉じて液体排出流路３３中の開閉弁２８を開いた状態を保持しながらポンプ６が動作を開始するように制御される。この状態でポンプ６が動作すると吸入口３から循環流路５内に吸入された液体５０は三方継手７を介してエゼクタ部８側にのみ流れ、既述したようにエゼクタ部８にて駆動中の液体５０に混入されて気液溶解部１３で溶解された気体５１が、吐出口４近傍のベンチュリ部２６にて微細気泡として発生し、この微細気泡を含む液体５０が吐出口４から貯蔵部２内に吐出されるものである。上記の通常運転動作は５０秒間継続され、この間に気体押込タンク３０内は、図４に基づき既述したように液体排出流路３３を介して液体５０が排出されるとともに気体吸入流路３４を介して気体５１が充填された状態となる。
【００２６】
５０秒の経過により通常運転が終了した後は、液体供給流路３１中の開閉弁２７を開いて液体排出流路３３中の開閉弁２８を閉じた状態に切り替えるとともに、この状態を保持しながらポンプ６を継続して動作させる。このとき、ポンプ６の動作により吸入口３から循環流路５内に吸入された液体５０は三方継手７を介してエゼクタ部８側と気体押込タンク３０側とに分岐して流入する。エゼクタ部８側に流入した液体５０には、通常運転時と同様に気体５１が混入されるとともに気液溶解部１３中にて該気体５１が溶解される。一方、気体押込タンク３０側に流入した液体５０は、図３に基づき既述したように、気体押込タンク３０内に充填されていた気体５１を、気体押込タンク３０内を駆動中の液体５０内に送り込むように作用する。気体押込タンク３０から送り込まれた気体５１の一部は気液溶解部１３内にて駆動中の液体５０内に溶解されるとともに、溶解されなかった余剰の気体５１は気体層２４内に供給されることとなる。上記の気体吸入動作は１０秒間行われ、この間に気体押込タンク３０内の気体５１を全て送り出し、その後に通常運転動作に戻る。以後、５０秒間の通常運転動作と１０秒間の気体吸入動作とを繰り返すように制御され、このように通常運転動作と気体吸入動作とを繰り返すことで、通常運転動作だけを行なう場合よりも気液溶解部１３内で溶解される気体５１の量が増加し、貯蔵部２内に吐出される微細気泡の量も増大するものである。
【００２７】
本例のポンプ６は遠心ポンプを利用して毎分１４リットルの液体５０を送り込むものであり、エゼクタ部８と気液溶解部１３との間で気体混入流路１２を介して循環される気体５１は毎分０．４２リットルの割合で溶解されて減少していくこととなるが、気体押込タンク３０の容量が０．５リットルであるから該気体押込タンク３０から気液溶解部１３内には毎分０．５リットルの気体５１が新たに押込まれ、且つ、気体抜き流路２２から気体５１が適宜排気されるので、気体押込タンク３０内の気体層２４は運転中も常に約０．８リットルに保持されることとなる。気体層２４内の圧力は大気圧よりも高く例えば０．２Ｐａに維持され、この高圧の気体層２４から混入される気体５１はエゼクタ部８内にて効率良く液体５０内に混入され、多量の微細気泡として貯蔵部２内に吐出されるものである。
【００２８】
なお、通常運転動作と気体吸入動作の周期は５０秒と１０秒の周期に限定されるものではなく、更に短い周期とした場合には、気体押込タンク３０の容量が小さくて済むとともに、気液溶解部１３内での気液撹拌力の変動が少なくなって性能が向上することとなる。但し、その場合は逆止弁３６，３７として作動圧の低いものを選定し、開閉弁２７，２８としては極力オリフィス径の大きな電磁弁を選定して、気体押込タンク３０から液体５０が全て抜けるのに要する時間、及び、気液溶解部１３内に気体５１が全て押込まれるのに要する時間を小さくする必要がある。
【００２９】
以上のように、本例においては浴槽を貯蔵部２、湯水を液体５０、空気を気体５１として微細気泡発生装置１を微細気泡発生バスシステムに用いたものについて説明したが、これに限らず、例えば池や沼を貯蔵部２、池や沼内の水を液体５０とすることでこの微細気泡発生装置１を汚泥浮上による池や沼の清浄化システムに用いることもできるし、養殖池を貯蔵部２、養殖池内の水を液体５０、酸素を気体５１とすることでこの微細気泡発生装置１を養殖での酸素補給システムに利用することもできる。そして、いずれの場合においても、ポンプ６として安価で低能力な遠心ポンプを用いて多量の微細気泡を発生させることができるので、経済性及び耐久性に優れ且つ騒音の小さな微細気泡発生装置１となるものである。
【００３０】
【発明の効果】
上記のように請求項１記載の発明にあっては、気液溶解部内の液体に、エゼクタ部にて混入される気体と気体押込タンクから押込まれる気体とが共に供給されるので、安価で低揚程のポンプを用いても十分な量の微細気泡を発生させることの可能な、経済性及び耐久性に優れ且つ騒音の小さな微細気泡発生装置となるといった効果がある。
【００３１】
また、請求項２記載の発明にあっては、請求項１記載の発明の効果に加えて、循環流路内で駆動される液体を気体押込みの駆動源として利用することで、微細気泡発生装置の構造を簡素化することができるといった効果がある。
【００３２】
また、請求項３記載の発明にあっては、請求項２記載の発明の効果に加えて、気体が充填された状態の気体押込タンク内に液体供給流路を介して液体を送り込むとともに、気体押込タンク内の気体を気体押込流路を介して気液溶解部内の液体に押込む動作と、液体が充填された状態の気体押込タンク内から液体排出流路を介して液体を排出するとともに、気体吸入流路を介して気体押込タンク内に気体を吸入する動作とを交互に行うことで、気液溶解部内の液体に定期的に気体を押込むことができるといった効果がある。
【００３３】
また、請求項４記載の発明にあっては、請求項１〜３のいずれか記載の発明の効果に加えて、気液溶解部内の余剰の気体が大気圧よりも高圧に保持されることから、外気から気体を吸入する場合に比して高効率で気体を混入させて十分な量の微細気泡を発生させることができるといった効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における一例の微細気泡発生装置を用いた微細気泡発生バスシステムの説明図である。
【図２】同上の微細気泡発生装置の気液溶解部の構造を示す説明図である。
【図３】同上の微細気泡発生装置の気体吸入動作を示す説明図である。
【図４】同上の微細気泡発生装置の通常運転動作を示す説明図である。
【符号の説明】
１微細気泡発生装置
２貯蔵部
３吸入口
４吐出口
５循環流路
６ポンプ
８エゼクタ部
１２気体混入流路
１３気液溶解部
３０気体押込タンク
３１液体供給流路
３２気体押込流路
３３液体排出流路
３４気体吸入流路
５０液体
５１気体

Claims

液体の貯蔵部に設けられる吸入口及び吐出口と、一端が吸入口に接続されて他端が吐出口に接続される循環流路と、貯蔵部内の液体を循環流路内にて吸入口側から吐出口側へと駆動させるポンプと、循環流路途中に設けられて駆動中の液体に気体を混入させるエゼクタ部と、循環流路途中のエゼクタ部よりも下流側に設けられて該エゼクタ部で混入された気体を駆動中の液体に溶解させる気液溶解部とを具備する微細気泡発生装置において、気液溶解部内で駆動中の液体にエゼクタ部とは別途に気体を送り込む気体押込タンクを備えたことを特徴とする微細気泡発生装置。
気体押込タンクから気液溶解部への気体の送り込み手段として、気体押込タンク内への液体注入により該気体押込タンク内の気体を気液溶解部に押出す気体押出機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の微細気泡発生装置。
気体押出機構として、循環流路途中から分岐して気体押込タンク内に液体を供給する液体供給流路と、気体押込タンク内から気液溶解部中に気体を送り込む気体押込流路と、気体押込タンク内の液体を排出する液体排出流路と、気体押込タンク内に気体を吸入する気体吸入流路とを備えたことを特徴とする請求項２記載の微細気泡発生装置。
エゼクタ部に混入用の気体を供給する流路として、一端がエゼクタ部に接続されて他端が気液溶解部に接続され、気液溶解部内の余剰の気体を循環させてエゼクタ部で混入させる気体混入流路を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか記載の微細気泡発生装置。