JP2004289150A - 最適回路化パターンを有するチップ・キャリヤ - Google Patents

最適回路化パターンを有するチップ・キャリヤ Download PDF

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Abstract

【課題】第1および第2の回路パターンのある回路化基板を有する、最適化された回路パターンのチップ・キャリヤのような電子パッケージを提供すること。
【解決手段】回路化基板は角の表面領域を含む。第2の回路パターンは、回路化基板の角の表面領域で第1の回路パターンに電気的に接続され、さらに、チップ・キャリヤが撓んでいる時に第1の回路パターンの割れを実質的に抑制するようなやり方で位置付けされる。
【選択図】図3

Description

本発明は、一般的に、半導体チップをプリント回路基板に相互に接続する可撓性チップ・キャリヤに関し、特に、そのようなキャリヤで使用するための回路化基板に関する。
チップ・キャリヤのような回路化基板は、多くの用途のために開発されており、また開発され続けている。電子パッケージ中で半導体チップをプリント回路基板に相互に接続する有機チップ・キャリヤのような回路化基板は、回路化基板がプリント回路基板と接続して適切に機能するようにするために、回路化基板からより大きな領域に電気信号を再分配するための表面再分配層を有することができる。この再分配層に半田マスクを配置することができる。
半導体チップの入力/出力(I/O)数が周辺リード・デバイス(lead device)の能力を超えて増加するとき、および半導体チップとプリント回路基板の両方の小型化の必要性が増すときに、二次元配列相互接続は、チップ・キャリヤとプリント回路基板の間に多数の接続を行うための好ましい方法である。チップ・キャリヤおよびプリント回路基板を含んだ回路化有機基板に関して、これらの基板を構成する材料はある程度の可撓性を有することが知られている。すべての可撓性材料には、その材料が壊れて機能しなくなるまでに許容することができる機械的応力の大きさに制限がある。この尺度は、延性として一般に知られている。プリント回路基板への電子パッケージおよびそのアセンブリの組み立て中に、チップ・キャリヤおよびプリント回路基板の撓みすなわち曲げの原因となるものが多数存在する。原因には、組み立て中の手処理、工具用固定具へのプリント回路基板の位置付け、プリント回路基板への他の部品の組み立て、ケーブルおよびハードウェアのプリント回路基板への組み立て、および電気的試験を行うための加圧プローブの使用がある。さらに、半導体チップ、チップ・キャリヤ、およびプリント回路基板の熱膨張係数(CTE)が互いに実質的に異なっている場合、電子パッケージの動作中の温度変化によって、複数の有機構造の撓みすなわち曲げが異なる量で起こることがある。その結果として、チップ・キャリヤとプリント回路基板の間の産業標準ボール・グリッド・アレイ(BGA)相互接続は、大きな応力を受ける可能性がある。この大きな応力はチップ・キャリヤに伝わることがあり、場合によっては、延性の限界を超える大きな歪みをチップ・キャリヤ材料に与え、チップ・キャリヤの損傷を起こすことがある。チップ・キャリヤの表面または内部の誘電体および回路の故障(割れ(crack)または層間剥離)、または製造中および現場動作中の大きな応力で半導体チップの完全性がなくなること(チップ割れ)によってさえも、製造時の重大な歩留り低下の問題、および熱サイクルの現場動作時の信頼性の問題が明らかになる可能性がある。これらの問題で、設計の自由度は相当に制限される。例えば、半導体チップの大きさが制限される可能性があり、または、配線のサイズ、形および間隔を、この応力を減らすために産業標準外に、または産業標準を超えて特化しなければならないかもしれない。これらの制限で、電子パッケージの電気的性能の利点が制限されか、または電子パッケージに相当なコストが追加される可能性があり、あるいはその両方の可能性がある。
特定の歩留りおよび信頼性の問題は、チップ・キャリヤとプリント回路基板を電気的に結びつける表面再分配層、および再分配層に位置付けされる半田マスク層の問題である。これらの層は、BGA半田ボール相互接続を通してプリント回路から伝えられる、電子パッケージの取扱いまたは熱サイクルの応力を受けやすい可能性がある。再分配層および半田マスク層がこの応力に順応することができない場合には、これらの層は、割れのような劣化を受けやすく、この劣化によって、電子パッケージの故障が生じることがある。これらの層に伝えられる大きな応力は、BGA相互接続パッドの縁に生じ、チップ・キャリヤの角または角近くにあるBGA半田ボール相互接続の列の下のBGA相互接続パッドの縁で最も大きい。より少ない程度でこれらの層に伝えられた大きな応力は、チップ・キャリヤの角でない縁部または縁部の近くにあるBGA半田ボール相互接続の列の下のBGA相互接続パッドの縁に生じることがある。先に述べた撓みによる半田マスクおよび再分配層の割れは、一般に、最も大きな応力の領域で始まる。プリント回路基板の撓み量を制限するかまたは減らすこの問題の解決策は、実際的でなく、非常に制限的である。
図1は、従来技術のチップ・キャリヤ10の一部の非常に拡大された底面図である。図2は、従来技術のチップ・キャリヤ10の一部の非常に拡大された、図1の線1B−1Bに沿った正面図である。チップ・キャリヤ10は、第1の表面14および第1の表面の第1の回路パターン16を有する回路化基板12を含む。第1の回路パターン16は、再分配層と呼ぶこともできる。絶縁層18は、回路化基板12の第1の表面14および第1の回路パターン16の上にある。絶縁層18は、上面20を含む。第2の回路パターン22は、導電性開口部24で第1の回路パターン16に電気的に接続され、かつ第1の回路パターン16の一部だけを覆うように第1の絶縁層18の上面20に存在している。電気要素26、例えば半田ボールは、第2の回路パターン22上にあり、かつ第2の回路パターンと電気的に接触している。想像で示すプリント基板28の一部が、電気要素26に電気的に結合されている。先に述べたように、プリント回路基板28の撓みすなわち曲げは、電気要素26に伝えられる応力をもたらすことがある。大きな応力は、第2の回路パターン22の縁p1で生じる。電気要素26が半田ボール相互接続の配列(図示しない)のうちの1つである場合、最も大きな応力は、半田ボール相互接続の配列の角の領域にある第2の回路パターン22の縁p1で生じ、また、より小さな程度で、角でない縁領域にある第2の回路パターン22の縁p1で生じる。これらの大きな応力のために、絶縁層18に割れp3が発生することがある。そのとき、応力は第1の回路パターン16に集中し、最終的に第1の回路パターンに割れp4をもたらし、電気的な開路を起こすことがある。チップ・キャリヤおよびチップ・キャリヤを一部に持つ電子パッケージの歩留りおよび信頼性はマイナスの影響を受けることがある。
したがって、組み立て、取扱いまたは動作によってチップ・キャリヤの撓みが生じている時に第1の回路パターンの割れを実質的に抑制するか防ぐ可撓性チップ・キャリヤを持つことが望ましい。この種のチップ・キャリヤによって、歩留りが改善され、現場動作寿命が増す。
したがって、本発明の目的は、パッケージ技術のやり方を高めることである。
本発明の他の目的は、チップ・キャリヤの回路化基板上に改善された回路パターン設計を備える可撓性チップ・キャリヤを提供することである。
本発明のさらに他の目的は、回路化基板の表面に位置付けされた回路パターンの割れを実質的に抑制するか防止するようなやり方で製造される回路化基板を含み、高い歩留りを有し、さらに多くの現在製品よりも比較的低コストで製造することができる可撓性チップ・キャリヤを提供することである。
本発明のさらにまた他の目的は、電子パッケージの動作中における回路パターンの割れを実質的に抑制するか防止し、動作現場寿命の相当な改善をもたらす可撓性チップ・キャリヤを提供することである。
本発明の1つの態様に従って、角の表面領域と、角の表面領域上の導体と、基板の角の表面領域および導体上の絶縁層とを有する回路化基板を備える可撓性チップ・キャリヤが提供される。半田パッドが導体と向かい合って絶縁層の表面上にあり、この半田パッドは、絶縁層の開口を通して導体に電気的に接続され、さらに、チップ・キャリヤが曲がった場合、導体の割れが抑制されるように導体の上に実質的に重なっている。
本発明の上述の目的、利点および特徴は、添付の図面に示されるような現在好ましい実施例についての以下の詳細な説明に基づいていっそう容易に明らかになるであろう。
本発明の一実施例を示す例えばチップ・キャリヤである電子パッケージ110の一部を図3に示す。図3は、電子パッケージ110の一部の図4の線2B−2Bに沿った非常に拡大された正面図を示す。図4は、図3に示す電子パッケージ110の一部の底面図を示す。図3を参照すると、電子パッケージ110は、第1の表面114および表面領域115を含む回路化基板112を含む。表面領域115は、回路化基板112の角または角でない縁部にある。角の表面領域および角でない表面の縁領域は、以下でより詳細に説明する。第1の表面114は、第1の回路パターン116をその上に有する。絶縁層118は、回路基板112の表面領域115の上および第1の回路パターン116の少なくとも一部の上にある。絶縁層118は上面120を含む。第2の回路パターン122は、導電性開口部124で第1の回路パターン116に電気的に接続され、かつ電子パッケージ110の動作中に第1の回路パターン116の割れを実質的に抑制しまたは防止するように、そのようなやり方で、第1の絶縁層118の上面120の上に存在する。絶縁層118は、貼り合わされるか、塗布するか、または他の方法で付けることができる半田マスクまたは任意の誘電体層であることができる。本発明で使用することができる市販の半田マスクの例は、PSR−4000(PSR−4000は、Taiyo America Inc.、267 Antler Drive、Nevadaの登録商標である)、または日本の旭化成株式会社で製造されているアリル化ポリフェニレン・エーテル(APPE)のPC5103である。電子パッケージ110の動作は、バーンイン(burn-in)、現場での使用、および/または組み立て中の取扱いおよび電気的試験を行うための加圧プローブの使用を含みこれらに限定されない電子パッケージの製造中に起こり得る取扱い作業によって定義することができる。第1の回路パターン116は、所定の形状を有する少なくとも1つの導体を含むことができる。図4では、第1の回路パターン116の導体は、ドッグボーン(dogbone)状導体117として示され、開口部124の底の壁130を回路化基板112の導電性スルーホール(図示しない)の端部132と電気的に接続するのに有用である。ドッグボーン状導体117は、電子パッケージ110に向けて、または電子パッケージ110から信号または電力を再分配し、それで再分配層と呼ばれる。回路基板112の機能に依存して、再分配層の他の形状を使用することができる。
図3において、回路基板112は、チップ・キャリヤとして示され、フリップ・チップ138の導電性半田ボール136(両方とも想像で示されている)と電気的に接続するように構成されたチップ接続部134(想像で示す)を含む。第2の回路パターン122は、少なくとも1つの導電性部材140例えば環状パッドを含み、この導電性部材140は、ドッグボーン状導体117を完全に覆うようにこの導体の上に配置されている。この少なくとも1つの導電性部材140は、複数のBGAパッドの1つであることが可能であり、このBGAパッドの中の選ばれたパッドが、その上に位置付けされた半田ボール126のような電気要素を含む。導電性部材140は、プリント回路基板128(想像で示す)に結合された半田ボール126に電気的に接続されている。本発明で、半田柱のような他の電気要素を使用することができる。
先に説明したように、プリント回路基板128が撓んでいる間に伝えられ、さらに半田ボール126および環状パッド140に伝えられる大きな応力は、環状パッドの導電性部材の縁p’1に集中する。所望の場合には、パッドは他の形であることができる。1つのそのような形は楕円形である。重要なことには、環状パッド140はドッグボーン状導体117を完全に覆うので、縁p’1に集中した応力は、第1の絶縁層118に伝えられ、縁p’1の下の近くの部分p’2の回路化基板112の第1の表面114で分散される。重要なことには、ドッグボーン状導体のどの部分も高応力の縁p’1の真下にないので、回路化基板112の第1の表面114に伝えられた応力がドッグボーン状導体117に割れを入れる可能性はほとんどない。この設計では、ドッグボーン状導体の上に位置付けされた回路化基板112の環状パッド140でドッグボーン状導体を保護することで、応力が関係したドッグボーン状導体の割れを効果的に抑制し防止する。一般的に、硬い面は層140の下の次の層であり、局部的な割れによる破損を非常に受け難い。
図5は、電子パッケージ110の一部の非常に拡大された底面平面図を示す。電子パッケージ110の角の表面領域141は、少なくとも線142、144、146、および148と交差する複数の環状パッド140を含む。角の表面領域141のドッグボーン状導体117を完全に覆っている複数の環状パッド140が示されている。各線142〜148と交差する導体は、列部分として定義する。例えば、導体140Aは線142と交差し、それで第1の列部分142として定義する。線148と交差する導体は、第4の列部分148として定義する。角の表面領域は、第1の列部分142から始まって第7の列部分150までの7つの列部分のすべての環状パッド140を含むことがある。電子パッケージ110は、少なくとも4つの角の表面領域を含む。電子パッケージ110は、少なくとも1つの角でない表面の縁領域156を含むことができる。領域156は、縁の列部分158〜164と交差する複数の環状パッド140を含む。例えば、導体140Bは、線158と交差し、それで第1の縁の列部分158として定義する。線164と交差する導体は、第4の縁の列部分として定義する。角でない表面の縁領域は、第1の縁の列部分158から始まって第4の縁の列部分164までの少なくとも4つの縁の列部分にあるすべての環状パッド140を含むことがある。先に述べたように、プリント回路基板128が稼働中で撓んでいる時に伝えられる最大応力は、電子パッケージ110の角領域の環状パッド140の縁に生じ、電子パッケージ110の角でない縁領域ではより小さな程度で生じる。重要なことには、電子パッケージ110の角領域141の列部分142から150までの7つの列部分すべて、および電子パッケージ110の角でない表面の縁領域156の4つの縁の列部分158〜164すべては、ドッグボーン状導体117を完全に覆う環状パッド140だけを含む。電子パッケージ110は、4つの角の表面領域141および角でない表面の縁領域156の近傍に、所定の形状例えばドッグボーンの形を有する第1の回路パターン116の他の導体166を少なくとも1つ含む。第2の回路パターン122の少なくとも1つの他の導体部材168は、他の導体166を一部だけ覆うようにこの他の導体の上に配置された所定の形状、例えば環状形を含む。角の表面領域141または角でない表面の縁領域156の外に位置付けされた電子パッケージ110の部分は、要求される電気配線に依存して、第1の導電性パターンの導体117または166の任意の組合せを含むことが可能であり、導体117または166は第2の導電性パターンの導電性部材140または168それぞれで完全に覆われるかまたは部分的に覆われている。この混合設計が可能になるのは、角の表面領域141および角でない表面の縁領域156から離れて位置付けされた第2の導体168の縁p’3にかかる応力が、回路化基板の角領域または角でない縁領域に位置付けされることに関連する追加の応力が合成されないために、たとえ大きいとしても、曲がっているときに導体168に割れを入れるほどには大きくないからである。
図示しさらに説明したことは、現在、本発明の好ましい実施例と考えられるものであり、当業者には明らかなことであろうが、添付の請求の範囲で定義されるような本発明の範囲から逸脱することなしに、様々な変形および修正を作ることができる。
まとめとして、本発明の構成に関して以下の事項を開示する。
(1)角の表面領域を有する回路化基板と、
前記角の表面領域上の導体と、
前記基板の前記角の表面領域および前記導体上の絶縁層と、
前記導体に向かい合っている前記絶縁層の表面上の半田パッドとを備える可撓性チップ・キャリヤであって、前記半田パッドが、前記絶縁層の開口を通して前記導体に電気的に接続され、さらに、前記チップ・キャリヤが曲げられた場合前記導体の割れが抑制されるように、実質的に前記導体の上に重なっている可撓性チップ・キャリヤ。
(2)前記回路化基板が、4つの角の表面領域を含む、上記(1)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(3)前記半田パッドが、所定の形状を有し、前記導体を実質的に完全に覆うように前記導体の上に配置されている、上記(2)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(4)前記導体が、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記導体の1つを含む、上記(3)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(5)前記複数の導体のうちの選ばれたものが、ドッグボーンの形を含む、上記(4)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(6)前記半田パッドが、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記半田パッドのうちの1つを含む、上記(5)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(7)前記複数の前記半田パッドの各々が、実質的に環状の形を含む、上記(6)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(8)前記半田パッドが、ボール・グリッド・アレイのパッドを含む、上記(3)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(9)所定の形状を有する少なくとも1つの他の導体が、前記4つの角の表面領域のうちの少なくとも1つに近接して位置付けされ、前記半田パッドが、前記少なくとも1つの他の導体をただ部分的にだけ覆うように、前記少なくとも1つの他の導体の上に配置された所定の形状を有する少なくとも1つの他の半田パッドを含む、上記(3)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(10)前記絶縁層が、半田マスクを含む、上記(1)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(11)前記半田パッドが、その上に位置付けされた電気要素を含む、上記(1)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(12)前記電気要素が、半田ボールを含む、上記(11)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(13)前記半田ボールが、回路化基板に電気的に接続されている、上記(12)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(14)前記角の表面領域が、角でない表面の縁領域である、上記(2)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(15)前記半田パッドが、所定の形状を有し、さらに、前記導体を実質的に完全に覆うように前記導体の上に配置されている、上記(14)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(16)前記導体が、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記導体のうちの1つを含む、上記(15)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(17)前記複数の導体のうちの選ばれたものが、ドッグボーンの形を含む、上記(16)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(18)前記半田パッドが、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記半田パッドのうちの1つを含む、上記(17)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(19)前記複数の前記半田パッドの各々が、実質的に環状の形を含む、上記(18)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(20)前記半田パッドが、ボール・グリッド・アレイ(BGA)のパッドを含む、上記(15)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(21)所定の形状を有する少なくとも1つの他の導体が、前記4つの角でない縁の表面領域のうちの少なくとも1つに近接して位置付けされ、前記半田パッドが、前記少なくとも1つの他の導体をただ部分的にだけ覆うように前記少なくとも1つの他の導体の上に配置された所定の形状を有する少なくとも1つの他の半田パッドを含む、上記(15)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(22)前記絶縁層が、半田マスクを含む、上記(14)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(23)前記半田パッドが、その上に位置付けされた電気要素を含む、上記(14)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(24)前記電気要素が、半田ボールを含む、上記(23)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
(25)前記半田ボールが、回路化基板に電気的に接続されている、上記(24)に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
従来技術のチップ・キャリヤの一部を示す非常に拡大された底面図である。 図1の従来技術のチップ・キャリヤの一部を示す非常に拡大された図1の線1B−1Bに沿った正面図である。 本発明のチップ・キャリヤの一部の一実施例を示す非常に拡大された図4の線2B−2Bに沿った正面図である。 図3のチップ・キャリヤの一部を示す非常に拡大された底面図である。 本発明のチップ・キャリヤの角の表面領域および角でない表面の縁領域、およびこの角の表面領域および角でない表面の縁領域に近接した表面領域を示す非常に拡大された底面図である。
符号の説明
110 電子パッケージ
112 回路化基板(チップ・キャリヤ)
115 回路化基板の表面領域
116 第1の回路パターン
117 ドッグボーン状導体
118 絶縁層
122 第2の回路パターン
124 開口
126 半田ボール
128 プリント回路基板
140 環状パッド(導電性部材)
141 回路化基板の角の表面領域
156 回路化基板の角でない表面の縁領域
142、144、146、148 列部分
158、160、162、164 縁の列部分

Claims (25)

  1. 角の表面領域を有する回路化基板と、
    前記角の表面領域上の導体と、
    前記基板の前記角の表面領域および前記導体上の絶縁層と、
    前記導体に向かい合っている前記絶縁層の表面上の半田パッドとを備える可撓性チップ・キャリヤであって、前記半田パッドが、前記絶縁層の開口を通して前記導体に電気的に接続され、さらに、前記チップ・キャリヤが曲げられた場合前記導体の割れが抑制されるように、実質的に前記導体の上に重なっている可撓性チップ・キャリヤ。
  2. 前記回路化基板が、4つの角の表面領域を含む、請求項1に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  3. 前記半田パッドが、所定の形状を有し、前記導体を実質的に完全に覆うように前記導体の上に配置されている、請求項2に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  4. 前記導体が、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記導体の1つを含む、請求項3に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  5. 前記複数の導体のうちの選ばれたものが、ドッグボーンの形を含む、請求項4に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  6. 前記半田パッドが、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記半田パッドのうちの1つを含む、請求項5に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  7. 前記複数の前記半田パッドの各々が、実質的に環状の形を含む、請求項6に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  8. 前記半田パッドが、ボール・グリッド・アレイのパッドを含む、請求項3に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  9. 所定の形状を有する少なくとも1つの他の導体が、前記4つの角の表面領域のうちの少なくとも1つに近接して位置付けされ、前記半田パッドが、前記少なくとも1つの他の導体をただ部分的にだけ覆うように、前記少なくとも1つの他の導体の上に配置された所定の形状を有する少なくとも1つの他の半田パッドを含む、請求項3に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  10. 前記絶縁層が、半田マスクを含む、請求項1に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  11. 前記半田パッドが、その上に位置付けされた電気要素を含む、請求項1に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  12. 前記電気要素が、半田ボールを含む、請求項11に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  13. 前記半田ボールが、回路化基板に電気的に接続されている、請求項12に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  14. 前記角の表面領域が、角でない表面の縁領域である、請求項2に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  15. 前記半田パッドが、所定の形状を有し、さらに、前記導体を実質的に完全に覆うように前記導体の上に配置されている、請求項14に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  16. 前記導体が、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記導体のうちの1つを含む、請求項15に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  17. 前記複数の導体のうちの選ばれたものが、ドッグボーンの形を含む、請求項16に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  18. 前記半田パッドが、少なくとも4つの同軸列部分に配列された複数の前記半田パッドのうちの1つを含む、請求項17に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  19. 前記複数の前記半田パッドの各々が、実質的に環状の形を含む、請求項18に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  20. 前記半田パッドが、ボール・グリッド・アレイ(BGA)のパッドを含む、請求項15に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  21. 所定の形状を有する少なくとも1つの他の導体が、前記4つの角でない縁の表面領域のうちの少なくとも1つに近接して位置付けされ、前記半田パッドが、前記少なくとも1つの他の導体をただ部分的にだけ覆うように前記少なくとも1つの他の導体の上に配置された所定の形状を有する少なくとも1つの他の半田パッドを含む、請求項15に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  22. 前記絶縁層が、半田マスクを含む、請求項14に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  23. 前記半田パッドが、その上に位置付けされた電気要素を含む、請求項14に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  24. 前記電気要素が、半田ボールを含む、請求項23に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
  25. 前記半田ボールが、回路化基板に電気的に接続されている、請求項24に記載の可撓性チップ・キャリヤ。
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