JP2004288928A - ウェハ検査装置およびその検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プロ−ブ8の異物除去用のクリ−ニングステ−ジ3とウェハ検査用のウェハステ−ジ2と分離して配置しかつ独立に移動できる駆動機構を設けることによって、検査および異物除去が交互にできるようにし、ウェハ検査装置を効率良く稼働できる。また、プロ−ブ8の先端の研磨とプロ−ブ8の先端のクリ−ニングとを分離して行うことによって、無機物の異物や有機物の異物にかかわらずに除去できるし、除去された異物がプロ−ブに再付着を避けることができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハに形成される複数のチップ領域の半導体装置の電極パッドのそれぞれにプロ−ブを接触させ半導体装置の特性を検査するウェハ検査装置およびその検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
通常、半導体装置の製造工程においては、半導体ウェハに形成されるチップ状の半導体装置が良品か不良品かを検査するウェハ検査工程がある。このウェハ検査工程で使用されるウェハ検査装置は、測定針である複数のプロ−ブが埋設されたプロ−ブカ−ドを備えている。そして、ウェハのチップの特性検査する際には、チップに形成された複数のパッド(電極)のそれぞれに対応するプロ−ブを接触させ入力信号を授受しチップ領域の半導体装置の検査を行っていた。
【0003】
しかしながら、何回か検査している内に、プロ−ブの先端に酸化アルミ等の異物が付着し、電気的接続を阻害し正確な検査できなくなる。このような課題を解消するのに、プロ−ブ針の先端をクリ−ニングするクリ−ニング部材およびクリ−ニング方法が提案されている。
【0004】
図10は従来のウェハ検査装置の一例を示す図、図9(a)および(b)はウェハ検査装置におけるプロ−ブ針のクリ−ニング方法の一例を説明するための図である。従来、この種のウェハ検査装置は、図10に示すように、ベ−ス44上に取り付けられるウェハステ−ジ55と研磨板54を載せる研磨ステ−ジとが備えられている。また、カ−ドステ−ジ51には、ウェハ40のチップと接触するプロ−ブ53の複数本を埋設するプロ−ブカ−ド52が設けられている。
【0005】
一方、プロ−ブをクリ−ニングするために、図9に示すように、研磨基材54前記プロ−ブの先端を前記クリ−ニング部材に刺し込み抜く毎に、前記プロ−ブの先端の刺し込む位置をずらすaとPb/Snで形成される金属層54bとで構成される研磨材54を準備し、ヒ−タ56により研磨材54を加熱し、プロ−ブ53を研磨材54に接触させ、プロ−ブ53に付着するバンプ屑59を溶融させ研磨材54に移載させ、バンプ屑59を除去している(特許文献1)。
【0006】
図11は従来の一例におけるクリ−ニング部材およびその作用を説明するための断面図である。このクリ−ニング部材は、図11に示すように、全体が弾力性をもつシリコンゴムの母材38とアルミナ微粉の研磨材39との混合層である研磨部材41と、研磨部材41に接着される異物除去膜40とで構成されている。そして、プロ−ブ33の先端をクリ−ニング部材37に突き刺し引き抜くことにより、プロ−ブの先端の球面部36および側面部35に付着した異物101や研磨母材から外れた異物102をも除去している(特許文献2)。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−092885号公報(第5−8頁、図1,図2,図3)
【特許文献2】
特開平11−087438号公報(第4−5頁、図1)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前者の上述したクリ−ニング部材は、バンプ屑、はんだ屑のような比較的低温で溶融する屑には有効であるが、高温でしか溶融しない異物は除去できないという欠点がある。また、金属屑でない有機物の屑は、プロ−ブに焼きついたり除去できなくなるという重大な欠点をもっている。さらに、特許文献1には、セラミック砥石をクリ−ニング部材として使用しているが、このセラミック砥石と接触しない針先の領域に付着する異物は除去できないという問題がある。
【0009】
後者の上述したクリ−ニング部材は、異物の中には、異物除去膜40を通さないものがある。例えば、プロ−ブ33に付着する異物の内、上方に付着した異物101は異物除去膜40を通過することができず、プロ−ブ33の先端が研磨母材41に到達せず研磨されない。このため、異物は針先の上の方に移動するだけである。また、研磨母材41から外れた研磨材の異物102も除去できると記載があるものの、プロ−ブ33を引き抜く際に、先端の球面部36に付着した異物101は異物除去膜と接触することができず、異物は除去できないという懸念がある。
【0010】
一方、上述した前者のウェハ検査装置であるウェハプロ−ビング装置は、研磨板54を載置するステ−ジとウェハステ−ジ55とが連結されているので、独立に移動できないという欠点がある。例えば、研磨ステ−ジにおいて、針先を繰り返して研磨するとき、針先が当たる研磨板54の部分に異物が蓄積し汚れ針先が研磨できなくなる。これを避けるために、研磨板54への針先の当たる位置を変えれば良いが、このために研磨ステ−ジを移動させると、ウェハステ−ジまで移動するので、ウェハを搭載する位置が狂い、再度ウェハステ−ジの位置調整が必要となる欠点がある。
【0011】
さらに、ウェハステ−ジ55がウェハを交換するために移動し交換位置に待機しているとき、研磨ステ−ジもウェハステ−ジのそばに位置しているので、研磨せずにウェハの交換が終了するまで待機しなければならず、余分な時間を費やし生産性が悪いという欠点がある。
【0012】
従って、本発明の目的は、ウェハ交換時にプロ−ブの針先のクリ−ニングできるウェハ検査装置およびその検査方法を提供することを第1の目的とし、第2の目的は、プロ−ブの針先に付着する異物の種類かかわらず異物を除去できるクリ−ニング部材を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の特徴は、ウェハを載置するウェハステ−ジと、前記ウェハのチップ領域の複数の電極パッドに接触させ該チップ領域の特性を測定するプロ−ブと、前記プロ−ブを上下に移動させるプロ−ブ上下駆動機構と、前記ウェハステ−ジを一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させるウェハステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を表面に突入させ前記プロ−ブの先端に付着する異物を除去するクリ−ニング部材と、前記ウェハステ−ジと前記一方向に離間して配設されるとともに前記クリ−ニング部材を載置するクリ−ニングステ−ジと、前記ウェハステ−ジと独立して前記一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させる クリ−ニングステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を押しつけ前記プロ−ブの先端を研磨する研磨用ウェハと、前記ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載するとともに前記研磨用ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載する移載手段とを備えるウェハ検査装置である。
【0014】
また、前記ウェハステ−ジおよび前記クリ−ニングステ−ジの前記一方向に移動案内されるレ−ルが同一であることが望ましい。さらに、前記クリ−ニング部材は、セラミック基板に軟質のポリテトラフルオロエチレン膜が貼付けられていることが望ましい。一方、好ましくは、前記研磨用ウェハは、前記ウェハと同じ大きさのウェハを基板とし、該基板にクッション部材を介して研磨粒子を含む接着剤を塗布してなることである。そして、前記研磨粒子の直径は、1μm以下であることが望ましい。
【0015】
本発明の第2の特徴は、ウェハを載置するウェハステ−ジと、前記ウェハのチップ領域の複数の電極パッドに接触させ該チップ領域の特性を測定するプロ−ブと、前記プロ−ブを上下に移動させるプロ−ブ上下駆動機構と、前記ウェハステ−ジを一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させるウェハステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を表面に突入させ前記プロ−ブの先端に付着する異物を除去するクリ−ニング部材と、前記ウェハステ−ジと前記一方向に離間して配設されるとともに前記クリ−ニング部材を載置するクリ−ニングステ−ジと、前記ウェハステ−ジと独立して前記一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させる クリ−ニングステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を押しつけ前記プロ−ブの先端を研磨する研磨用ウェハと、前記ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載するとともに前記研磨用ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載する移載手段とを備えるウェハ検査装置において、一枚の前記ウェハを検査する毎に、前記クリ−ニング部材に前記プロ−ブの先端を刺し込み抜くことにより前記プロ−ブをクリ−ニングする工程と、前記ウェハを所定枚数を検査する毎に、前記プロ−ブの先端を前記研磨用ウェハに押しつけ前記プロ−ブの先端を研磨する研磨工程とを含むウェハ検査方法である。
【0016】
また、前記プロ−ブの先端を前記クリ−ニング部材に刺し込み抜く毎に、前記プロ−ブの先端の刺し込む位置をずらすことが望ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
【0018】
図1(a)および(b)は本発明の一実施の形態におけるウェハ検査装置を示す部分断面図である。このウェハ検査装置は、図1に示すように、ウェハ20を載置したりクリ−ニングウェハ19を載置するウェハステ−ジ2と、ウェハ20のチップ領域の複数の電極パッドに接触させ該チップ領域の特性を測定するプロ−ブ8と、プロ−ブ8を上下に移動させるプロ−ブ上下駆動機構と、ウェハステ−ジ2を一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させるウェハステ−ジ駆動機構と、プロ−ブ8の先端を表面に突入させ前記プロ−ブの先端に付着する異物を除去するクリ−ニング部材4と、ウェハステ−ジ2と前記一方向に離間して配設されるとともにクリ−ニング部材4を載置するクリ−ニングステ−ジ3と、ウェハステ−ジ2と独立して前記一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させる クリ−ニングステ−ジ駆動機構と、プロ−ブ8の先端を押しつけプロ−ブ8の先端を研磨するクリ−ニングウェハ19と、ウェハ20をウェハステ−ジ2に載置したり移載するとともにクリ−ニングウェハ19をウェハステ−ジ2に載置したり移載する移載手段であるフォ−ク12とを備えている。
【0019】
また、ウェハステ−ジ2およびクリ−ニングステ−ジ3の長手一方向(X軸)に移動案内されるレ−ル6が同一であることことが望ましい。そして、このレ−ル6は剛性のあるベ−ス7に取り付けられている。一方、ウェハステ−ジ駆動機構のモ−タ11とクリ−ニングステ−ジ駆動機構のモ−タ10とは、独立して設けられている。駆動機構が独立に設けられることにより、ウェハステ−ジ2は、プロ−ブ8の下とレ−ル6の右側エンドに位置決めでき、クリ−ニングステ−ジ3は、プロ−ブ8の下とレ−ル6の左側エンドに位置決めできる。
【0020】
複数のプロ−ブ8は、プロ−ブカ−ド9に埋設され、その信号線は図示してないテスタ本体に接続されている。プロ−ブヘッド1を上下させるプロ−ブ上下駆動機構(図示せず)はベ−ス7に取付けられ、二本のガイドポストとガイドポストの中間に設けられた送りねじと送りねじを回転するパルスモ−タで構成されている。なお、プロ−ブヘッド1には、プロ−ブ8の位置決めし易いように、プロ−ブ8の先端を観察する顕微鏡5が設けられている。
【0021】
レ−ル6の右側にウェハ20またはクリ−ニングウェハ19を移載するフォ−ク12が配置されている。ウェハは図示していないウェハカセットからウェハ20がフォ−ク12より引き出され、ウェハステ−ジ2にウェハ20が載置される。また、検査が終了したウェハ20は、フォ−ク12よりウェハステ−ジ2から拾われ、検査済み用のカセット(図示せず)に収納される。一方、クリ−ニングウェハ19は、カセット13からフォ−ク12により引き出され、ウェハステ−ジ2に載せられる。そして、プロ−ブ8の研磨操作が終了したクリ−ニングウェハ19は、フォ−ク12によりウェハステ−ジ2より取り出され 、再び、フォ−ク12によりカセット13に収納される。
【0022】
図2は図1のクリ−ニング部材の一実施の形態における断面図である。このクリ−ニング部材は、図2に示すように、厚さ15mmのセラミク14cの基板に接着剤14bを介して厚さ約150μmの軟質ポリテトラフルオロエチレン膜14aを施した構造である。また、変形例として、軟質ポリテトラフルオロエチレン膜14aと接着剤14bとの間に120μm程度のポリエステル樹脂のクッション部材を挿入しても良い。
【0023】
ここで、軟質ポリテトラフルオロエチレン膜14は軟質性が強く粘着性をもっている。この軟質ポリテトラフルオロエチレン膜14にプロ−ブ8の先端を突入すると、軟質ポリテトラフルオロエチレン膜14は大きく凹み、プロ−ブの先端の形状に合わせて先端を包み込み、プロ−ブ8の先端に付着している異物を軟質ポリテトラフルオロエチレン膜14内に移載することができ、プロ−ブ8の先端から異物を除去することができる。
【0024】
図3は図1のクリ−ニングウェハの一実施の形態における断面図、図4(a)〜(c)はクリ−ニングウェハの作用を説明するための図である。クリ−ニングウェハは、図3に示すように、厚さ約750μmのシリコンのウェハ15cを基板とし、この基板15C上に接着剤15dを塗布し、その上に300μmの厚さのポリエステル樹脂のクッション材15bを貼付け、さらに、その上に研磨粒子15eを含むエポキシ接着剤を吹き付けた構造である。このクリ−ニングウェハの表面に突出する研磨粒子15eは1μm以下が望ましい。
【0025】
この研磨粒子を1μm以下にする理由は以下に記述する。例えば、図4(a)および(b)に示すように、研磨粒子15eが大きく表面の凹凸が大きい場合、プロ−ブ8の先端は、研磨する毎に、図4(b)に示すように、プロ−ブ8の先端が細くなりやがて先端が折れるという問題が発生する。一方、図4(c)に示すように、研磨粒子15eが1μm以下であれば、凹凸が大きくても1μmであり、プロ−ブ8の先端のみ擦るので、先端のみ磨かれる。
【0026】
図5は図1のウェハ検査装置の動作を説明するためのフロ−チャ−ト、図6は図1のウェハ検査装置のプロ−ブを研磨する状態を示す部分断面図、図7は図1のウェハ検査装置のプロ−ブをクリ−ニングする状態を示す部分断面図である。次に、このウェハ検査装置の動作を説明する。
【0027】
まず、図5のステップでスタ−トする。これにより測定開始する。そして、ステップAで、測定が開始したばかりか、または連続測定の途中か判定する。もし、初期の測定であれば、ステップBに進み、図6のウェハステ−ジ2が右側に移動する。右側にあるフォ−ク12はカセット13からクリ−ニングウェハ19を取り出し、クリ−ニングウェハ19をウェハステ−ジ2に載置する。ウェハステ−ジ2は、クリ−ニングウェハ19の載置を確認すると、自動的にウェハステ−ジ2は左側に移動し、プロ−ブ8の真下にクリ−ニングウェハ19が位置するところで停止する。また、ステップAで連続測定中でウェハの測定枚数が所定枚数以下ならステップCに進む。
【0028】
次に、図5のステップBで、プロ−ブヘッド1が下降し、プロ−ブ8の先端をクリ−ニングウェハ19に押しつけプロ−ブ8の先端をスクラバすることにより先端を研磨する。研磨が完了したら、プロ−ブヘッド1が上昇するとともにウェハステ−ジ2はレ−ル6の右側に移動し、所定の位置で停止する。そして、フォ−ク12によりウェハステ−ジ2からクリ−ニングウェハ19を拾いカセット13に収納する。しかる後、フォ−ク12は、ウェハカセットから測定すべきウェハを取り出し、ウェハステ−ジ2にウェハ20を載置する。
【0029】
次に、図5のステップCに進み、ウェハステ−ジ2が左側に移動し、プロ−ブ8の真下にウェハ20が位置するように位置決めされる。そして、プロ−ブヘッド1が下降し、測定すべきウェハ20のチップ領域の電極パッドにプロ−ブ8の先端を接触させチップ領域の半導体装置の特性を測定する。そして、一チップ領域の半導体装置の特性検査が終了したら、測定プログラムに沿ってウェハステ−ジ2の移動および位置決めプロ−ブ8と電極パッドとの接触を繰り返して行い。ウェハ20の全てのチップ領域の半導体装置の特性を測定する。そして、一枚のウェハ20の検査が終了したら、カウンタに1を計数する。
【0030】
次に、ステップDで、カウンタの数値が所定枚数(ここでは7枚)と比較し、所定枚数以下ならステップEに進み、所定枚数7枚を越えていたならステップFに進み、前述のステップBと同じようにプロ−ブ8を研磨する。一方、ステップEに進む場合、図7に示すように、ウェハステ−ジ2は右側に走向しプロ−ブ8の真下から退避する。代わりに、クリ−ニングステ−ジ3が右側に移動しプロ−ブ8の真下に位置決めされる。そして、プロ−ブヘッド1が下降し、プロ−ブ8の先端をクリ−ニング部材4に刺し込む、さし込まれたプロ−ブ8の先端をプロ−ブヘッド1の上昇によってクリ−ニング部材4から抜く。このことによりプロ−ブ8の先端に付着した異物をクリ−ニング部材4の内部に残す。
【0031】
次に、ステップGで、ウェハカセットに未検査のウェハが有るか否かを判断し、有れば、ウェハステ−ジ2をレ−ル6の右側に移動させ、ウェハステ−ジ2を停止させ、検査済みのウェハと未検査のウェハとを入れ替え、ステップCに戻りウェハ20の検査を行う。そして、ステップGで、ウェハカセットに収納された全てのウェハの検査が終了したら、測定終了とする。
【0032】
図8はプロ−ブの先端のクリ−ニング操作を説明するための図である。前述の図5のステップEで説明したように、一枚のウェハ20を検査したら、プロ−ブ8のクリ−ニングすることになっている。しかし、クリ−ニング部材4の同じ位置にプロ−ブ8を刺し込むことは、除去された異物16がプロ−ブ8に転移することから避けるべきである。
【0033】
そこで、この異物の転移を避けるには、二点鎖線で示す前回のプロ−ブ8のさし込む位置と違う位置に実線で示すプロ−ブ8をさし込むことである。このクリ−ニング部材4へのプロ−ブ8の刺し込む位置をずらすプログラムは、クリ−ニングステ−ジ3の長手方向(X軸)および(Y軸)のステップ状の移動とプロ−ブヘッド1の上昇および下降動作によりなし得る。
【0034】
このように、プロ−ブの先端の研磨とプロ−ブの先端のクリ−ニングとを分離して行えば、無機物の異物や有機物の異物にかかわらずに除去できるし、除去された異物がプロ−ブに再付着を避けることができる。また、クリ−ニングウェハ19は、カセット13に収納しているが、カセット13以外、例えば、簡単に載置できる台を設ければ、フォ−ク12の動作が簡略でき、移載時間を短くできる。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、プロ−ブの異物除去用ステ−ジとウェハ検査用ステ−ジと分離して配置しかつ独立に移動できる駆動機構を設けることによって、検査および異物除去が交互にできるので、検査装置を効率良く稼働できるので、装置のスル−プットが向上するという効果がある。
【0036】
また、プロ−ブの先端の研磨とプロ−ブの先端のクリ−ニングとを分離して行うことによって、無機物の異物や有機物の異物にかかわらずに除去できるし、除去された異物がプロ−ブに再付着を避けることができ、正確な検査ができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態におけるウェハ検査装置を示す部分断面図である。
【図2】図1のクリ−ニング部材の一実施の形態における断面図である。
【図3】図1のクリ−ニングウェハの一実施の形態における断面図である。
【図4】クリ−ニングウェハの作用を説明するための図である。
【図5】図1のウェハ検査装置の動作を説明するためのフロ−チャ−トである。
【図6】図1のウェハ検査装置のプロ−ブを研磨する状態を示す部分断面図である。
【図7】図1のウェハ検査装置のプロ−ブをクリ−ニングする状態を示す部分断面図である。
【図8】プロ−ブの先端のクリ−ニング操作を説明するための図である。
【図9】ウェハ検査装置におけるプロ−ブ針のクリ−ニング方法の一例を説明するための図である。
【図10】従来のウェハ検査装置の一例を示す図である。
【図11】従来の一例におけるクリ−ニング部材およびその作用を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1 プロ−ブヘッド
2 ウェハステ−ジ
3 クリ−ニングステ−ジ
4 クリ−ニング部材
5 顕微鏡
6 レ−ル
7 ベ−ス
8 プロ−ブ
9 プロ−ブカ−ド
10,11 モ−タ
12 フォ−ク
13 カセット
19 クリ−ニングウェハ
20 ウェハ
Claims (7)
- ウェハを載置するウェハステ−ジと、前記ウェハのチップ領域の複数の電極パッドに接触させ該チップ領域の特性を測定するプロ−ブと、前記プロ−ブを上下に移動させるプロ−ブ上下駆動機構と、前記ウェハステ−ジを一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させるウェハステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を表面に突入させ前記プロ−ブの先端に付着する異物を除去するクリ−ニング部材と、前記ウェハステ−ジと前記一方向に離間して配設されるとともに前記クリ−ニング部材を載置するクリ−ニングステ−ジと、前記ウェハステ−ジと独立して前記一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させる クリ−ニングステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を押しつけ前記プロ−ブの先端を研磨する研磨用ウェハと、前記ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載するとともに前記研磨用ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載する移載手段とを備えることを特徴とするウェハ検査装置。
- 前記ウェハステ−ジおよび前記クリ−ニングステ−ジの前記一方向に移動案内されるレ−ルが同一であることを特徴とする請求項1記載のウェハ検査装置。
- 前記クリ−ニング部材は、セラミック基板に軟質のポリテトラフルオロエチレン膜が貼付けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のウェハ検査装置。
- 前記研磨用ウェハは、前記ウェハと同じ大きさのウェハを基板とし、該基板にクッション部材を介して研磨粒子を含む接着剤を塗布してなることを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3記載のウェハ検査装置。
- 前記研磨粒子の直径は、1μm以下であることを特徴とする請求項4記載のウェハ検査装置。
- ウェハを載置するウェハステ−ジと、前記ウェハのチップ領域の複数の電極パッドに接触させ該チップ領域の特性を測定するプロ−ブと、前記プロ−ブを上下に移動させるプロ−ブ上下駆動機構と、前記ウェハステ−ジを一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させるウェハステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を表面に突入させ前記プロ−ブの先端に付着する異物を除去するクリ−ニング部材と、前記ウェハステ−ジと前記一方向に離間して配設されるとともに前記クリ−ニング部材を載置するクリ−ニングステ−ジと、前記ウェハステ−ジと独立して前記一方向および該一方向と直交する方向の移動ならびに回転させる クリ−ニングステ−ジ駆動機構と、前記プロ−ブの先端を押しつけ前記プロ−ブの先端を研磨する研磨用ウェハと、前記ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載するとともに前記研磨用ウェハを前記ウェハステ−ジに載置したり移載する移載手段とを備えるウェハ検査装置において、一枚の前記ウェハを検査する毎に、前記クリ−ニング部材に前記プロ−ブの先端を刺し込み抜くことにより前記プロ−ブをクリ−ニングする工程と、前記ウェハを所定枚数を検査する毎に、前記プロ−ブの先端を前記研磨用ウェハに押しつけ前記プロ−ブの先端を研磨する研磨工程とを含むことを特徴とするウェハ検査方法。
- 前記プロ−ブの先端を前記クリ−ニング部材に刺し込み抜く毎に、前記プロ−ブの先端の刺し込む位置をずらすことを特徴とする請求項6記載のウェハ検査方法。
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