JP2004282037A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004282037A JP2004282037A JP2004029555A JP2004029555A JP2004282037A JP 2004282037 A JP2004282037 A JP 2004282037A JP 2004029555 A JP2004029555 A JP 2004029555A JP 2004029555 A JP2004029555 A JP 2004029555A JP 2004282037 A JP2004282037 A JP 2004282037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing
- semiconductor
- semiconductor wafer
- chip
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体ウェーハ21中に半導体素子を形成し、この半導体ウェーハをダイシングライン24に沿ってダイシングする。その後、半導体ウェーハのダイシング領域26にレーザー光線28を照射し、ダイシングによって形成された切削条痕を溶融または気化することを特徴としている。半導体ウェーハを分割するためのダイシング工程の後に、半導体チップ25−1,25−2,25−3,…の上辺及び側面に対してレーザー光線を照射することによって、切断面を溶融または気化して切削条痕による歪みやチッピングを除去するので、半導体チップの抗折強度を強くできる。
【選択図】 図2
Description
[第1の実施の形態]
図1及び図2はそれぞれ、この発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置について説明するためのもので、図1はダイシング工程、図2はダイシング領域へのレーザー光線の照射によるダイシング領域の処理工程を示している。
上記第1の実施の形態では、ダイシング時に半導体ウェーハ21をフルカットする場合を例に取って説明した。しかし、半導体ウェーハ21をハーフカットして溝を形成し、裏面研削して分割する製造工程(先ダイシング法)にも同様に適用できる。
半導体ウェーハを水中に収容する処理槽を設け、レーザー光線を水中で照射することにより、温度制御が容易になり、レーザー光線の照射によるチップ温度の上昇を抑制できる。
また、半導体ウェーハを収容する真空チャンバーを設け、レーザー光線を真空中で照射することにより、レーザー光線の照射によって気化した物質を付着し難くでき、半導体チップの汚染を低減できる。
上記第1,第2の実施の形態では、ダイシング工程とレーザー光線の照射工程を別の工程で行う場合を例に取って説明した。しかし、図9に示すように、ダイヤモンドブレード23のダイシング方向と、レーザー照射装置27から照射されるレーザー光線28の照射位置を予めセンター合わせして治具29に固定しておけば、ダイシング領域26とレーザー光線28の照射位置とのアライメント調整することなく、ダイシングに続いてレーザー光線の照射によるダイシング領域の処理を連続的に行うことができる。
Claims (5)
- 半導体ウェーハ中に半導体素子を形成する工程と、
前記半導体ウェーハをダイシングラインに沿ってハーフカット・ダイシングして溝を形成する工程と、
前記半導体ウェーハのダイシング領域にレーザー光線を照射し、ダイシングによって形成された切削条痕を溶融または気化する工程と、
前記半導体ウェーハにおける前記半導体素子の形成面に粘着テープを貼り付ける工程と、
前記半導体素子の形成面の裏面を、少なくとも前記溝に達する深さまで研削する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウェーハ中に半導体素子を形成する工程と、
前記半導体ウェーハをダイシングラインに沿ってハーフカット・ダイシングして溝を形成する工程と、
前記半導体ウェーハにおける前記半導体素子の形成面に粘着テープを貼り付ける工程と、
前記半導体素子の形成面の裏面を、少なくとも前記溝に達する深さまで研削する工程と、
前記研削工程で前記半導体ウェーハが分割されて形成された半導体チップの前記ダイシング領域にレーザー光線を照射し、ダイシングによって形成された切削条痕を溶融または気化する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記レーザー光線の波長は266nm〜1064nmであり、出力は0.8W〜4.5Wであり、照射位置の移動速度は1mm/sec〜400mm/secであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記レーザー光線の照射で、前記ダイシング領域に露出された低誘電率膜を溶融または気化して固着することを特徴とする請求項1乃至3いずれか1つの項に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体ウェーハをダイシングラインに沿ってハーフカット・ダイシングして溝を形成するダイサーと、
前記半導体ウェーハにおける前記半導体素子の形成面に粘着テープを貼り付けるテープ貼り付け装置と、
前記半導体ウェーハにおける半導体素子の形成面の裏面を、少なくとも前記ハーフカットによって形成された溝に達する深さまで研削する研削装置と、
前記ダイサーによるダイシング位置に対応してレーザー光線の照射位置を移動し、前記半導体ウェーハのダイシング領域に形成された切削条痕を溶融または気化するレーザー照射装置と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029555A JP2004282037A (ja) | 2003-02-28 | 2004-02-05 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003054688 | 2003-02-28 | ||
JP2004029555A JP2004282037A (ja) | 2003-02-28 | 2004-02-05 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004282037A true JP2004282037A (ja) | 2004-10-07 |
Family
ID=33301949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004029555A Pending JP2004282037A (ja) | 2003-02-28 | 2004-02-05 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004282037A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311980A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-11-04 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
US7737001B2 (en) | 2005-06-01 | 2010-06-15 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor manufacturing method |
-
2004
- 2004-02-05 JP JP2004029555A patent/JP2004282037A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311980A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-11-04 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4599075B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2010-12-15 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
US7737001B2 (en) | 2005-06-01 | 2010-06-15 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor manufacturing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100565392B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치의 제조 장치 | |
TWI463556B (zh) | Semiconductor device manufacturing method and manufacturing device | |
TWI732949B (zh) | 晶圓的加工方法 | |
KR101938426B1 (ko) | 접착 필름을 갖는 칩의 형성 방법 | |
JP4198966B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005032903A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20100048000A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor chips | |
JP2007096115A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TWI248110B (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
KR20100023737A (ko) | 광 디바이스 웨이퍼의 가공 방법 | |
CN110828296A (zh) | 用于半导体晶片的边缘修整的方法及相关设备 | |
JP5981154B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2018074082A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
KR100736347B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
CN108015650B (zh) | 晶片的加工方法 | |
US20100051190A1 (en) | Method for applying an adhesive layer on thin cut semiconductor chips of semiconductor wafers | |
JP3539934B2 (ja) | ウェーハ分割方法およびウェーハ分割装置 | |
JP2004282037A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 | |
CN115440580A (zh) | 晶片的加工方法 | |
JP4553878B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008034875A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2020092191A (ja) | デバイスチップの製造方法 | |
US20240128087A1 (en) | Wafer processing method | |
US20220238377A1 (en) | Chip manufacturing method | |
KR20220076308A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070329 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070703 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |