JP2004281688A

JP2004281688A - 仮圧着装置、圧着装置、圧着方法、電気光学装置の製造装置及び電気光学装置の製造方法

Info

Publication number: JP2004281688A
Application number: JP2003070534A
Authority: JP
Inventors: Naoki Oki; 直樹大木
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-03-14
Filing date: 2003-03-14
Publication date: 2004-10-07

Abstract

【課題】仮圧着装置に設けられた案内板の平行度を短時間に調整可能とし、且つ高精度に圧着するための案内板の構造を提供する。
【解決手段】仮圧着部において複数の被圧着物を積載するための案内板を一体的に形成することなく、複数の案内板を分割して台座上に設ける。各案内板には、各案内板の平行度調整が可能な複数の調整ねじを設ける。平行度調整時には、仮圧着ヘッドの下端面と各案内板の上端面とが平行となるように調整ねじを適当な割合で締め調整を行う。これにより、案内板の平行度の調整作業を短時間に行うことができる。また、仮圧着工程においては、案内板の平行度が保持されているため、ワークの仮圧着を高精度に行うことができる。さらに、本圧着工程では、高精度に仮圧着されたワークに対して本圧着が行われるため、高精度に本圧着を行うことができる。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置又は液晶製造装置などに関し、特に電子部品をプリント基板や液晶パネル基板などに仮圧着する仮圧着装置の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ＣＯＧ（ＣｈｉｐＯｎＧｌａｓｓ）、ＣＯＦ（ＣｈｉｐＯｎＦｉｌｍ）、又はＣＯＢ（ＣｈｉｐＯｎＢｏａｒｄ）等の半導体製造装置又は液晶製造装置において、液晶パネル基板などに半導体ＩＣチップなどの電子部品を熱圧着によって接合する自動或いは半自動からなる圧着装置が知られている。そして、この種の圧着装置は、接合時の電子部品の位置ずれ防止のために、その電子部品を液晶パネル基板などの所定位置に仮止めするための仮圧着工程と、仮圧着工程において仮圧着された電子部品に所定の熱と圧力を加えて液晶パネル基板などに接合する本圧着工程と、を備えている。
【０００３】
このように、仮圧着工程での仮圧着と、本圧着工程での本圧着とを分けて行う自動或いは半自動からなる圧着装置の場合においては、仮圧着する時間よりも本圧着する時間の方が長いため、それらのサイクルタイムを調整する必要から１つの仮圧着ヘッドに対して複数の本圧着ヘッドを備える構成とすることが多い。
【０００４】
このため、かかる圧着装置においては、仮圧着ヘッドの数に対応すべく、複数の液晶パネル基板などを積載するために一体的に形成された案内板が使用される。そして、その案内板を間欠送りなどの方法により順次仮圧着ヘッド側に送り出し、仮圧着する液晶パネル基板がその圧着ヘッドの真下にくるとその圧着ヘッドを下降させて、電子部品の仮圧着が行われる。そして、その後、仮圧着がされた複数の液晶パネル基板などを積載した状態で案内板を本圧着工程側にそのまま搬送すると共に、本圧着工程用に設けられた複数の本圧着ヘッドによって、その仮圧着済みの全ての液晶パネル基板などに対する本圧着が一括して行われる。これにより、仮圧着と本圧着とのサイクルタイムを調整するようにしている。
【０００５】
また、圧着に要する工数削減などを図るために、一度に複数の電子部品を均一に圧着させる圧着装置の構造が提案されている。例えば、電子部品を圧着する複数の圧着ツールと、それらの圧着ツールが基板に対して同時に上下動できる複数の挿入孔と、複数の圧着ツールの上下動距離の相違を調整する弾性体とを備える圧着装置では、厚さの異なる複数の電子部品を同時に圧着する際のツールのストロークの違いを、その弾性体によって制御し、複数の電子部品を同時に圧着することが可能とされている（例えば、特許文献１）。また、案内機構を備えるボンディング装置の一例が特許文献２に記載されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−３２４８２１号公報
【特許文献２】
実開平６−９１３３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、案内板が一体的に形成されている圧着装置において、複数の液晶パネル基板などの上に積載された全ての電子部品を高精度に圧着するためには、仮圧着時にその案内板の上端面と仮圧着ヘッド面との平行度が保持されていることが要求される。ところが、一体的に形成された案内板を使用しているため、その液晶パネル基板などの積載箇所により、その案内板の上端面の平行度が微妙に異なってくる。このため、その案内板の上端面の場所によって平行度が夫々異なるため、仮圧着時及び本圧着時に電子部品を高精度に圧着することができないという問題点があった。
【０００８】
そこで、圧着装置を稼動する前に、作業者によって、仮圧着ヘッド面の平行度を基準にして、その案内板の上端面の平行度調整が行われる。かかる調整方法としては、例えば、一定の厚みを有する金属構造体などからなる案内板上に設けられた複数の調整ねじを夫々適当な割合で締めることにより、案内板の上端面と仮圧着ヘッド面との平行度の調整が行われる。
【０００９】
しかし、複数の基板を積載可能に一体的に形成された案内板の上端面の平行度を、全ての基板の領域について確保するための調整は容易ではない。例えば、２枚の基板を積載する案内板の場合、案内板の長手方向の片側に位置する調整ねじを調整することにより、その案内板の上端面のうち一方の基板を積載する領域の上端面と仮圧着ヘッド面との平行度の調整を行ったとしても、他方の基板を積載する領域の上端面と仮圧着ヘッド面との平行度には微妙なずれが生じてしまうことが多い。そこで、作業者は、これらの調整作業を数回繰り返すことによって、ようやく仮圧着ヘッド面と案内板全体の上端面との平行度を調整することができる。このため、その調整作業に相当の時間を費やしているという問題点がある。
【００１０】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、仮圧着装置に設けられた案内板の平行度を短時間に調整可能とし、且つ高精度に圧着するための案内板の構造を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の１つの観点では、上記仮圧着装置は、被圧着物に対して圧着物を仮圧着する仮圧着ヘッド部と、複数の被圧着物を積載することが可能な複数の案内板と、前記複数の案内板を載置する台座部と、を備え、前記複数の案内板は、前記仮圧着ヘッドの一端面と前記複数の案内板の一端面とを、前記案内板毎に平行度調整が可能な平行度調整機能を備える。
【００１２】
上記の仮圧着装置によれば、複数の被圧着物を積載するための複数の案内板を台座部上に設けることができる。また、案内板毎に平行度調整機能が設けられているため、案内板毎に平行度の調整を行うことができる。ここで、平行度の調整においては、仮圧着ヘッドの一端面の平行度を基準にして、その一端面と各案内板の一端面とが平行になるように調整する。これにより、１の案内板の平行度調整が、他の案内板の一端面の平行度に影響を及ぼさないため、調整作業の負担の軽減を図ることができる。よって、各案内板の平行度の調整を短時間に、且つ容易に行うことができる。
【００１３】
上記の仮圧着装置の一態様では、前記平行度調整機能は、前記案内板の一端面の所定の位置に設けられる調整ねじ部材である。
【００１４】
この態様によれば、平行度調整機能は、各案内板の一端面に設けられた調整ねじ部材とすることができる。よって、その調整ねじ部材を適度な割合で締めることにより、各案内板と台座部との間隔を調整して、各案内板の一端面と仮圧着ヘッドの一端面とが平行となるように調整することができる。
【００１５】
本発明の他の観点では、仮圧着工程と、前記仮圧着工程において仮圧着が行われた複数の被圧着物に対して本圧着を行う本圧着工程とを実行する圧着装置は、仮圧着部と、本圧着部と、前記仮圧着工程において仮圧着が行われた前記複数の被圧着物を、前記連結部を通じて前記本圧着工程に搬送する搬送部と、を備え、前記仮圧着部は、被圧着物に対して圧着物を仮圧着する仮圧着ヘッド部と、複数の被圧着物を積載することが可能な複数の案内板と、前記複数の案内板を載置する台座部と、仮圧着の終了後に前記複数の被圧着物が前記案内板に積載された状態で前記台座部と共に搬送を可能とする基台部とを備え、前記複数の案内板は、前記仮圧着ヘッドの一端面と前記複数の案内板の一端面とを、前記案内板毎に平行度調整が可能な平行度調整機能を備える。
【００１６】
この態様によれば、圧着装置は、仮圧着を行う仮圧着工程と、本圧着を行う本圧着工程とを行う。本圧着装置の一部をなす仮圧着部は案内板毎に平行度調整機能を有するため、高精度に複数の被圧着物を仮圧着することができる。よって、本圧着工程では、高精度に仮圧着された被圧着物に対して本圧着が行われるため、高精度に複数の被圧着物を本圧着することができる。
【００１７】
本発明の他の観点による圧着方法は、被圧着物に対して圧着物を仮圧着する仮圧着工程と、仮圧着された前記圧着物を被圧着物に対して本圧着する本圧着工程と、を有し、前記仮圧着工程は、複数の前記被圧着物を、単一の台座上に配置された複数の案内板上に配置する工程と、前記複数の案内板の上端面の圧着ヘッドに対する平行度を、前記案内板毎に独立に調整する工程と、前記平行度の調整後に、前記圧着ヘッドにより前記圧着物を前記被圧着物上に仮圧着する工程と、を有する。
【００１８】
この圧着方法によれば、仮圧着を行う仮圧着工程と、本圧着を行う本圧着工程とが実行される。ここで、仮圧着工程は、複数の前記被圧着物を、単一の台座上に配置された複数の案内板上に配置し、前記複数の案内板の上端面の圧着ヘッドに対する平行度を前記案内板毎に独立に調整するので、高精度に複数の被圧着物を仮圧着することができる。よって、本圧着工程では、高精度に仮圧着された被圧着物に対して本圧着が行われるため、高精度に複数の被圧着物を本圧着することができる。
【００１９】
本発明の他の観点では、電気光学装置の製造装置は、電気光学装置に対して圧着物を仮圧着する仮圧着部と、前記圧着物が仮圧着された電気光学装置を本圧着装置へ搬送する搬送部と、前記搬送部から搬送された前記電気光学装置に前記圧着物を本圧着する本圧着装置と、を備え、前記仮圧着部は、前記電気光学装置に対して前記圧着物を仮圧着する仮圧着ヘッド部と、複数の前記電気光学装置を積載することが可能な複数の案内板と、前記複数の案内板を載置する台座部と、を備え、前記複数の案内板は、前記仮圧着ヘッドの一端面と前記複数の案内板の一端面とを、前記案内板毎に平行度調整が可能な平行度調整機能を備える。
【００２０】
この態様によれば、複数の電気光学装置を積載するための複数の案内板が台座部上に設けられ、一度に複数の被圧着物となる電気光学装置を仮圧着及び本圧着することができるため、生産効率の向上を図ることができる。
【００２１】
また、案内板毎に平行度調整機能が設けられているため、案内板毎に平行度の調整を行うことができる。よって、被圧着物となる電気光学装置を平行度調整が行われた各案内板に載置することで、電気光学装置上に圧着物（例えば電子部品など）を高精度に仮圧着及び本圧着することができる。よって、高品質な電気光学装置を製造することができる。
【００２２】
本発明の他の観点による電気光学装置の製造方法は、電気光学装置に対して圧着物を仮圧着する仮圧着工程と、前記圧着物が仮圧着された前記電気光学装置を本圧着する本圧着工程と、を有し、前記仮圧着工程は、複数の前記電気光学装置を、単一の台座上に設置された複数の案内板上に配置する工程と、前記複数の案内板の上端面の圧着ヘッドに対する平行度を、前記案内板毎に独立に調整する工程と、前記平行度の調整後に、前記圧着ヘッドにより前記圧着物を前記電気光学装置上に仮圧着する工程と、を有する。
【００２３】
この電気光学装置の製造方法によれば、仮圧着を行う仮圧着工程と、本圧着を行う本圧着工程とが実行される。ここで、仮圧着工程は、複数の被圧着物となる電気光学装置を、単一の台座上に配置された複数の案内板上に配置し、前記複数の案内板の上端面の圧着ヘッドに対する平行度を前記案内板毎に独立に調整するので、高精度に複数の電気光学装置を仮圧着することができる。よって、本圧着工程では、高精度に仮圧着された電気光学装置に対して本圧着が行われるため、高精度に複数の電気光学装置を本圧着することができる。よって、高品質な電気光学装置の製造をすることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００２５】
［仮圧着部の構造］
先ず、本実施形態においては、圧着工程１００を構成する仮圧着工程において使用される仮圧着部１の構造を中心に、図１及び図２を参照して説明する。図１では、仮圧着部１の構造が正面図（上面図）として示される。図２では、仮圧着工程３０、搬送手段２０、及び本圧着工程１０を含む圧着工程１００の全体構成が示される。さらに図２では、図１に示す仮圧着部１の構造を側面視すると共に、Ａ−Ａに沿った切断面図が示される。
【００２６】
概要を説明すると、本実施形態においては、図２に示すように、圧着工程１００は、液晶パネル基板４上に電子部品５を仮圧着するための仮圧着工程３０と、仮圧着が終了した後に仮圧着部１を本圧着工程１０へ搬送するための搬送手段２０と、搬送されてきた仮圧着部１、即ち仮圧着された液晶パネル基板４上の電子部品５を本圧着する本圧着工程１０と、から構成される。ここで、仮圧着とは、液晶パネル基板４上の所定位置に例えばＡＣＦなどの接着要素を介して電子部品５を積載した後、それらに所定の熱と圧力を加えて仮止めを行うことをいう。前述のように、仮圧着工程は複数の液晶パネル基板を仮圧着部上に同時に配置して行われる。また、本圧着とは、仮止めされた液晶パネル基板４上の電子部品５に所定の熱と圧力を加えて接着要素を熱硬化させ、その電子部品５を液晶パネル基板４上に完全に取り付けることをいう。尚、本例においては、説明の便宜上、液晶パネル基板４上に電子部品５が仮圧着された物を、「ワーク」とも称する。
【００２７】
このような構成において、本実施形態では、仮圧着部１の構造に着目し、その仮圧着部１に設けられる案内板を一体的に形成することなく、それらを２つに分割して形成することにより、各案内板の平行度調整の調整時間を短縮し、且つ高精度に仮圧着を実現することを目的とする。
【００２８】
以下、上述した各構成について説明する。
【００２９】
先ず、仮圧着部１の構造について述べる。仮圧着部１は、図１及び図２に示すように、相互に並んで設置される案内板２１、２２と、案内板２１、２２上に設けられ、それらの案内板２１、２２の平行度を調整するための複数の調整ねじ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂと、液晶パネル基板４を吸着する複数の吸着孔２１ｃ、２２ｃと、案内板２１、２２を夫々載置するための台座部３と、案内板２１、２２、及び台座部３を載置すると共に、それらを本圧着工程１０へ移動可能な基台部７と、液晶パネル基板４上に積載された電子部品５を熱圧着によって仮圧着するための仮圧着ヘッド６と、から構成される。
【００３０】
案内板２１、２２は、図１及び図２に示すように、正面視すると略矩形状をなす一定の厚みを有する金属構造体である。また、案内板２１、２２は、図１及び図２に示すように、台座部３上に並んで配置される。また、本例においては、案内板２１と案内板２２とは一体的に形成されることなく夫々分割して形成されると共に、それらが台座部３上に載置される。
【００３１】
案内板２１、２２上に設けられた複数の調整ねじ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂは、頭部が六角レンチと係合できるような溝が形成されており、この頭部を六角レンチで一定の方向に回転させることにより、案内板２１、２２を上下に移動させることができるようになっている。また、調整ねじ２１ａ、２２ａと、調整ねじ２１ｂ、２２ｂとは、案内板２１、２２の平行度の微妙な調整を可能とするために大きさが異なるように形成されると共に、それらの果たす作用も異なる。即ち、調整ねじ２１ａ、２２ａは、案内板２１、２２と台座部３とを密着させる作用を果たすのに対し、調整ねじ２１ｂ、２２ｂは、案内板２１、２２と台座部３とを離間させる作用を果たす。
【００３２】
吸着孔２１ｃ、２２ｃは、図１及び図２に示すように、夫々案内板２１、２２の所定位置に設けられる。吸着孔２１ｃ、２２ｃは、図１に示すように、案内板２１、２２に複数個、本例では９つ設けた場合が一例として示される。また、これらの吸着孔２１ｃ、２２ｃの下側には、図示しない真空ポンプなどが設けられており、この真空ポンプを作動させることにより、その吸着孔２１ｃ、２２ｃを通じて、その上に積載された液晶パネル基板４を案内版２１、２２に対して吸着することができるようになっている。図１及び図２では、液晶パネル基板４が案内板２１、２２上の所定の位置に位置決めされた上で、それらの吸着孔２１ｃ、２２ｃにより案内板に吸着されている状態が示されている。これにより、その液晶パネル基板４の位置ずれを防止し、的確な位置に電子部品５を取り付け可能としている。
【００３３】
台座部３は、図１及び図２に示すように、案内板２１、２２を取付けるための台であり、特に本例では案内板２１、２２の平行度調整における基準面を提供する。即ち、台座部３には、調整ねじ２１ａ、２２ａを取付けるためのねじ孔が調整ねじ２１ａ、２２ａに対応する位置に形成されると共に、案内板２１、２２の平行度調整を容易に行うようにするため、その上端面は平坦性が確保されている。
【００３４】
基台部７は、図２に示すように、その上端面が平坦に構成されると共に、後述する搬送手段２０によって、仮圧着工程３０と本圧着工程１０との間を自由に水平移動可能な機構を有している。
【００３５】
仮圧着ヘッド６は、図２に示すように、仮圧着部１内の所定の位置に設けられると共に、上下に移動可能とされる（矢印３０３）。仮圧着ヘッド６は、図２に示すように、例えば、所定のタイミングで電子部品５が液晶パネル基板４上に積載されると、上方より下降してその電子部品５を液晶パネル基板４上に仮圧着する。
【００３６】
［案内板２１、２２の平行度の調整方法］
次に、案内板２１、２２の平行度の調整方法について、図２を参照して詳述する。案内板２１、２２の平行度の調整においては、仮圧着ヘッド６の下端面と案内板２１、２２の上端面とが平行となるように調整する。これにより、ワークを高精度に仮圧着することができる。
【００３７】
以下、具体的にその調整方法を述べる。図２に示すように、案内板２１、２２に夫々設けられた調整ねじ２１ａ、２２ａを六角レンチで締めることにより、それらの調整ねじ２１ａ、２２ａは下側に移動する（矢印３０２）。これにより、案内板２１、２２は、台座部３の方向へ移動させられる（矢印３００）。
【００３８】
一方、案内板２１、２２に夫々設けられた調整ねじ２１ｂ、２２ｂを六角レンチで締めると、それらの調整ねじ２１ｂ、２２ｂは下側に移動する（矢印３０２）と共に、それらの調整ねじ２１ｂ、２２ｂの下端面が台座部３の上端面を押す事により案内板２１、２２を上昇させる（矢印３０１）。これにより、案内板２１、２２と台座部３とを離間させる。
【００３９】
よって、それらの調整ねじ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂを夫々適当な割合で締めることにより、案内板２１、２２と台座部３との間隔を調整することができる。
【００４０】
また、案内板２１、２２の平行度調整においては、仮圧着ヘッド６の下端面と案内板２１、２２の上端面とが平行となるように調整する。したがって、案内板２１、２２に設けられた調整ねじ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂを適当な割合で締めることにより、案内板２１、２２と台座部３との間隔を調整して、仮圧着ヘッド６の下端面と案内板２１、２２の上端面とが平行となるように調整することができる。これにより、ワークの仮圧着を高精度に行うことができる。
【００４１】
ここで、本発明では、案内板２１と案内板２２とを一体的に形成することなく、分割した構造としている。そのため、一体的に形成された比較的長い案内板と比較すると、調整ねじによる調整によって案内板の平行度に与える影響度を少なくすることができる。
【００４２】
具体的には、一体的に形成された比較的長い案内板の場合には、その案内板の一端部側に設けられた所定の調整ねじを調整することによって、その案内板の他端部側の上端面と仮圧着ヘッド６の下端面との平行度に微妙なずれが生じてしまう。しかし、本例のように、複数の案内板が独立に分割して形成され、且つ独立に平行度調整機能を有する各案内板２１、２２においては、そのようなことは発生しない。例えば、案内板２１に設けられた調整ねじ２１ａ、２１ｂの調整によって、案内板２２の上端面と仮圧着ヘッド６の下端面との平行度にずれを及ぼすようなことはない。同様に、案内板２２に設けられた調整ねじ２２ａ、２２ｂを調整することにより、案内板２１の上端面と仮圧着ヘッド６の下端面との平行度にずれを及ぼすようなことはない。
【００４３】
よって、仮圧着装置１の稼動前に行う案内板２１、２２の平行度調整作業を容易に行え、且つその調整作業に費やす時間を大幅に短縮することができる。
【００４４】
［搬送手段２０と本圧着工程１０との関係］
先ず、搬送手段２０と本圧着工程１０について述べ、次に、圧着装置１００の流れについて述べる。
【００４５】
搬送手段２０は、ボールねじ駆動など既知の方法により、仮圧着部１を本圧着工程１０側へ搬送する手段である。また、搬送手段２０は、仮圧着部１を間欠送りする機能を有している。そのため、搬送手段２０は、仮圧着部１を間欠送りすることによって、仮圧着ヘッド６の真下の所定位置へ、ワークを位置決めすることができる。このとき、搬送手段２０は、ワークを数ミクロン単位の精度で位置決めすることが可能である。
【００４６】
本圧着工程１０は、図２に示すように、仮圧着工程３０の次工程であり、仮圧着工程３０と直列的な位置に配置される。また、本圧着工程１０は、仮圧着工程３０において仮圧着されたワークを本圧着するための工程である。
【００４７】
次に、圧着装置１００の流れ、つまり仮圧着工程３０と搬送手段２０と本圧着工程１０との間における工程の流れについて図１及び図２を参照して簡単に説明する。
【００４８】
先ず、作業者は、仮圧着工程３０の実行前に、仮圧着部１に設けられた案内板２１、２２の平行度調整作業を行う。即ち、作業者は、案内板２１、２２に設けられた調整ねじ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂを夫々適当な割合で締めることにより、仮圧着ヘッド６の下端面と案内板２１、２２の上端面とが平行となるように平行度調整を行う。このとき、作業者は、各案内板２１、２２に調整ねじ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂを設けるようにしているため、平行度調整は案内板毎に行うことができる。よって、案内板２１、２２の平行度調整に費やす時間の短縮を図ることができる。そして、案内板２１、２２の平行度調整が終了すると、仮圧着工程３０に移行する。
【００４９】
仮圧着工程３０では、仮圧着部１の案内板２１、２２に夫々所定のタミングで図示しない搬送方法によって液晶パネル基板４を積載すると共に、搬送手段２０により、その液晶パネル基板４を仮圧着ヘッド６側に向けて間欠的に送り出される。先ず、仮圧着ヘッド６の真下の位置に送り出された案内板２１に対応する液晶パネル基板４上に、図示しない搬送方法によって電子部品５が積載されると共に、その仮圧着ヘッド６が上方より下降して、そのワークに対して仮圧着を行う。かかる動作を、案内板２２に対しても行う。これにより、案内板２１、２２に積載されたワークを夫々高精度に仮圧着することができる。
【００５０】
その後、仮圧着が終了すると、搬送手段２０によって基台部７が本圧着工程１０側に搬送され、仮圧着済みのワークに対して本圧着が一括して行われる。
これにより、案内板２１、２２に積載されたワークを夫々高精度に本圧着することができる。
【００５１】
［変形例］
上記実施形態によれば、仮圧着部１において案内板２１と案内板２２を一体的に形成することなく分割して設け、それらを直列的に配置するように構成しているが（図３（ａ）参照）、これに限らず、図３（ｂ）に示すように、さらに案内板２３を１つ増設し、直列的に配置するような構成にしてもよい。また、これに代えて、図３（ｃ）に示すように、さらに案内板２３、２４を２つ増設し、マトリックス状に配置するような構成としてもよい。また、変形例で示した案内板の増設数は、説明の便宜上一例を示したものであって、これに限らず、仮圧着行程３０の大きさや処理形態などに応じて、さらに複数増設することは勿論可能である。
【００５２】
以上説明したように、本発明の仮圧着装置及び圧着装置によれば、複数の被圧着物を積載するための複数の案内板を独立に台座部上に設ける。また、案内板毎に平行度調整機能が設けられているため、案内板毎に平行度の調整を独立に行うことができる。よって、各案内板の平行度の調整を短時間に、且つ容易に行うことができる。そして、各案内板についての平行度が保たれた後に仮圧着が行われるため、全ての被圧着物を高精度に仮圧着することができる。また、圧着装置は、仮圧着後の複数の被圧着物を移動可能な基台部を通じて、次工程の本圧着工程側へ搬送することができる。そして、本圧着装置において、高精度に仮圧着された全ての被圧着物を一括して本圧着することができる。よって、全ての被圧着物を高精度に本圧着することを実現できる。
【００５３】
尚、本発明は、パッシブマトリクス型の液晶表示装置だけではなく、アクティブマトリクス型の液晶表示装置（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた液晶表示装置）にも同様に適用することが可能である。また、液晶表示装置だけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、フィールド・エミッション・ディスプレイ（電界放出表示装置）などの各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る仮圧着部の構造の正面図を示す。
【図２】本発明に係る圧着装置の全体構成及び仮圧着部に設けられた案内板の平行度調整の方法を示す。
【図３】本発明に係る仮圧着部の案内板を複数増設した変形例を示す。
【符号の説明】
１仮圧着部、３台座部、４液晶パネル基板、５電子部品、６仮圧着ヘッド、７基台部、２１、２２案内板、２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ調整ねじ、１０本圧着工程、２０搬送手段、３０仮圧着工程、１００圧着装置

Claims

被圧着物に対して圧着物を仮圧着する仮圧着ヘッド部と、複数の被圧着物を積載することが可能な複数の案内板と、前記複数の案内板を載置する台座部と、を備え、
前記複数の案内板は、前記仮圧着ヘッドの一端面と前記複数の案内板の一端面とを、前記案内板毎に平行度調整が可能な平行度調整機能を備えることを特徴とする仮圧着装置。
前記平行度調整機能は、前記案内板の一端面の所定の位置に設けられる調整ねじ部材であることを特徴とする請求項１に記載の仮圧着装置。
仮圧着工程と、前記仮圧着工程において仮圧着が行われた複数の被圧着物に対して本圧着を行う本圧着工程とを実行する圧着装置において、
仮圧着部と、本圧着部と、前記仮圧着工程において仮圧着が行われた前記複数の被圧着物を、前記連結部を通じて前記本圧着部に搬送する搬送部と、を備え、
前記仮圧着部は、被圧着物に対して圧着物を仮圧着する仮圧着ヘッド部と、複数の被圧着物を積載することが可能な複数の案内板と、前記複数の案内板を載置する台座部と、仮圧着の終了後に前記複数の被圧着物が前記案内板に積載された状態で前記台座部と共に搬送を可能とする基台部とを備え、前記複数の案内板は、前記仮圧着ヘッドの一端面と前記複数の案内板の一端面とを、前記案内板毎に平行度調整が可能な平行度調整機能を備えることを特徴とする圧着装置。
被圧着物に対して圧着物を仮圧着する仮圧着工程と、
仮圧着された前記圧着物を被圧着物に対して本圧着する本圧着工程と、を有し、前記仮圧着工程は、
複数の前記被圧着物を、単一の台座上に設置された複数の案内板上に配置する工程と、
前記複数の案内板の上端面の圧着ヘッドに対する平行度を、前記案内板毎に独立に調整する工程と、
前記平行度の調整後に、前記圧着ヘッドにより前記圧着物を前記被圧着物上に仮圧着する工程と、を有することを特徴とする圧着方法。
電気光学装置に対して圧着物を仮圧着する仮圧着部と、前記圧着物が仮圧着された前記電気光学装置を本圧着装置へ搬送する搬送部と、前記搬送部から搬送された前記電気光学装置に前記圧着物を本圧着する本圧着装置と、を備え、
前記仮圧着部は、前記電気光学装置に対して圧着物を仮圧着する仮圧着ヘッド部と、複数の前記電気光学装置を積載することが可能な複数の案内板と、前記複数の案内板を載置する台座部と、を備え、
前記複数の案内板は、前記仮圧着ヘッドの一端面と前記複数の案内板の一端面とを、前記案内板毎に平行度調整が可能な平行度調整機能を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
電気光学装置に対して圧着物を仮圧着する仮圧着工程と、前記圧着物が仮圧着された前記電気光学装置を本圧着する本圧着工程と、を有し、
前記仮圧着工程は、
複数の前記電気光学装置を、単一の台座上に設置された複数の案内板上に配置する工程と、
前記複数の案内板の上端面の圧着ヘッドに対する平行度を、前記案内板毎に独立に調整する工程と、
前記平行度の調整後に、前記圧着ヘッドにより前記圧着物を前記電気光学装置上に仮圧着する工程と、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。