JP2004281611A - カセット内ウエハ検出方式、ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オープンカセット12の前後に発光素子6aと受光素子6bが配置され受光素子6bの受光信号に応じてウエハ14を検出する検出器6と、この検出器6をオープンカセット12に対して相対的に上下移動させる移動機構5と、この移動機構5と連動して上下移動してオープンカセット12の各棚あるいは各棚と棚の間の空間のいずれかに対応した信号を発生する棚位置信号発生器と、検出器6の検出信号と棚位置信号発生器からの信号とに基づいて棚に段違いにセットされたウエハ14を検出する検出回路8とを備えるものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、カセット内ウエハ検出方式、ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置に関し、詳しくは、傾斜してカセットに収納されたウエハがあっても効率ようウエハを検出してカセットから取り出すことができ、特に、局所クリーン化装置としてのミニエンバイロメントハンドリングシステム(以下ミニエンシステム)におけるFOUP方式の密閉型カセットに換えてオープンカセットを使用する場合において、傾斜してカセットに収納されたウエハがあっても効率よくそのようなウエハを検出できるカセット内ウエハ検出方式の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
ウエハに形成される配線パターンが微細化されて、それが0.25μm以下のプロセスになり、かつ、ウエハの径が12インチ(300mm程度)の大口径になると、異物の影響もそれだけ大きくなる。その分、ウエハ自体、そしてウエハに形成されたチップの歩留まりも低下する。そのため、従来の半導体製造装置が設置されている部屋だけのクリーン化では済まなくなる。いくら室内のクリーン度を上げてもそれには限界があるので、ミニエンシステムで半導体ウエハの処理が行われる。
局所クリーン化装置は、通常、密閉度の高い装置とされ、内部を陽圧に保持することで、外部からの異物の侵入を防止する。そのクリーン度は、クラス0.01程度まで清浄化される。そして内部の陽圧は、ファンからの空気をフィルタを通して内部に清浄空気を送込むことで行われる。
ウエハ等の処理対象ワークの装置への搬入、装置からの搬出は、通常、密閉されたポッドに収納されて行われ、ポッドは、独立では密閉状態にあって、装置に機密装着されて蓋が開く機構であるFOUP(FRONT OPENING UNIFIED POD)が装備されている(特許文献1参照)。
また、オープンカセットにおいてカセット内ウエハの検出技術としてオープンカセットの前面から光を透過させて背面に設けた受光素子で受光する透過型検出方式のものが公知である(特許文献2,3,4)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−284428号公報
【特許文献2】
特開平2−198152号公報
【特許文献3】
特開平2−198926号公報
【特許文献4】
特開平4−107841号公報
【0004】
図5は、この発明の先行技術として出願しているミニエンシステムのウエハ搬送装置(ウエハハンドリング装置)1の外観図である。上部には、装置内に風を送るファンユニット11が装備されていて、その空気吹出し側の前面には空気を浄化するフィルタが設けられている。13は、オープンカセットが載置されるオープンカセットポートであり、13aは、FOUPオープナが載置されるポートである。22は、FOUPポッドが載置される移動板であり、3は、オープンカセットポート13に載置されたオープンカセットと装置との間でウエハを受け渡す開閉窓であり、3aがその開口部となる。
20は、ウエハ検査装置であって、ウエハ搬送装置1とドッキングして検査装置を構成する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
さて、前記の特開平4−107841号公報(特許文献4)には、棚に段違いにセットされ、斜めになったウエハとフォークアームとの接触問題に対してウエハの間隔と厚みを検出して、その情報を一旦記憶し、この記憶情報に基づいて、間隔の中間になるように、エレベータにより上下移動させてフォークアームを中間位置に挿入することでウエハに接触しないようにウエハをハンドリングする技術が記載されている。
このような技術をオープンカセットポート13に適用して、オープンカセットに収納されたウエハを従来のような特許文献2〜3に記載された透過型検出方式で棚に段違いにセットされ、斜めになったウエハを検出しようとすると、効率よくウエハが検出できない。
その理由は、第1に、ウエハの厚さが薄くなり、かつ、ウエハの棚間隔が狭くなってきたからである。
第2に、特開平4−107841号公報の技術では、ウエハカセット全体を一旦走査した上で、ウエハ位置情報と厚さ情報とを検出する必要がある。しかし、カセット走査速度を毎回一定に保持することは難しく、たとえ、カセットを走査してウエハの厚みと間隔とを記憶したとしても、次のカセット走査のときに走査速度が相違し、また、そのときの間隔や厚みとの誤差が大きくなるので傾いたウエハの検出が難しくなるからである。さらに、この技術を適用すると、ウエハの検出のためにカセットの走査を2回行わなければならならず、効率が悪い。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、傾斜してカセットに収納されたウエハがあっても効率よくそのようなウエハを検出できるカセット内ウエハ検出方式を提供することにある。
この発明の他の目的は、傾斜してカセットに収納されたウエハがあっても効率よくそのようなウエハを検出でき、ウエハの処理効率を向上させることができるウエハ搬送装置およびウエハ処理装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するためのこの発明のカセット内ウエハ検出方式、ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置の特徴は、オープンカセットの前後に発光素子と受光素子が配置され、受光素子の受光信号に応じてウエハを検出する検出器と、この検出器をオープンカセットに対して相対的に上下移動させる移動機構と、この移動機構と連動して相対的に上下移動してオープンカセットの各棚(スロット)あるいは各棚と棚の間の空間のいずれかに対応した信号を発生する棚位置信号発生器と、検出器の検出信号と棚位置信号発生器からの信号とに基づいて棚に段違いにセットされたウエハを検出する検出回路とを備えるものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
このように、この発明においては、移動機構と連動して動作する棚位置信号発生器を設けているので、棚位置信号とウエハ検出信号とを同期して発生させることができる。したがって、検出器によるカセット走査速度に変動があっても同じ変動をもって棚位置信号が発生するので、これを基準信号としてウエハ検出をすることが可能になる。しかも、1回のカセット走査において、検出回路で棚に段違いにセットされたウエハを高い精度に検出することができる。
その結果、傾斜してカセットに収納されたウエハがあっても効率よくそのようなウエハを検出でき、ウエハの処理効率を向上させることが可能なウエハ搬送装置およびウエハ処理装置を実現できる。
【0008】
【実施例】
図1は、この発明のカセット内ウエハ検出方式を局所クリーン化ウエハ検査装置に適用した一実施例のオープンカセットポートの側面図、図2は、その照射方向を説明する平面図、図3は、そのウエハ検出回路ブロックを中心とする説明図、図4は、ウエハ検出器とスリットを検出するホトインタラプタの検出波形の説明図である。
なお、各図において、同一の構成要素は同一の符号で示し、その説明を割愛する。
図1において、10は、ウエハハンドリング装置1に設けられたオープンカセットポートであり、オープンカセットの載置台2とこれの下側に設けられた昇降枠4とからなる。載置台2は、ウエハハンドリング装置の壁面1aに固定されている。なお、3は、図5に示す開閉窓である。
2a,2bは、オープンカセット12の底面に設けられた孔が嵌合する位置決めピンであり、2c,2dは、載置台2に設けられた昇降枠4が貫通する開口(図2参照)である。
オープンカセット12には、ウエハ14が所定間隔を置いて積層した状態で収納されている。
【0009】
昇降枠4は、オープンカセット12の前後に配置されるプレート41,42とこれらの底部でこれらフレームを結合する結合プレート43、そして、昇降枠4を昇降させる昇降機構5とからなる。
図2に示すように、プレート41とプレート42とは、載置台2の中心線Oに対して左右方向にずれて配置されている。そして、前側のプレート41の頭部には、受光素子6bが設けられ、後側のプレート42の頭部には、発光素子6aが設けられている。発光素子6aと受光素子6bとで光学センサとしてのウエハ検出器6が構成されている。
発光素子6aと受光素子6bとによる光軸Lは、図2に示すように、オープンカセット12が載置されたときの壁面1aに対して垂直となる(オープンカセット12の正面に対して垂直となる)中心線に対して平面からみて傾斜角θ=10゜〜25゜の範囲で傾斜している。なお、図では、傾斜角θ=16゜〜17゜に設定されている。また、点線で示すオープンカセット12のうち12aは、12インチウエハであり、12bが8インチウエハである。なお、15は、カセット保持爪である。
【0010】
昇降機構5は、壁面1aに沿って取り付けられたレール51と進退駆動シリンダ(以下シリンダ)52、そしてシリンダ52のロッド53とを有し、昇降枠4は、結合プレート43がこのロッド53に結合していて、シリンダ52の駆動でレール51上をオープンカセット12の上下方向に移動する。レール51には、下側にスリットプレート54が設けられている。ロッド53の中間位置には、スリットプレート54に対応してスリットを検出するホトインタラプタ(遮光光学センサ)7が設けられている。
その結果、シリンダ52のロッド53が最大伸張したときには、図1の点線の位置に達して、発光素子6aと受光素子6bとの位置がオープンカセット12の頭部を越える。また、最小位置まで縮小したときには、実線で示すように、発光素子6aと受光素子6bとの位置がオープンカセット12の底部の下側に達し、この位置がウエハ検出器6の初期位置になる。
このような構成においては、ウエハ検出器6とホトインタラプタ7とが連動して上下動するので、ホトインタラプタ7の検出信号とウエハ検出器6の検出信号とは同期して得られる。
【0011】
そこで、スリットプレート54の形状を、図3に示すように、カセットの棚の形状対応させ、棚としての突起部分を遮光とし、棚と棚の間の部分の幅を透過部分として写したものとすれば、これらから得られる信号は、同期し、かつ、その検出信号の幅も棚間隔に対応して等しくなる。すなわち、ホトインタラプタ7の出力波形は、棚そのものの位置を表す信号になる。その結果、ウエハ検出器6側の検出信号は、この棚の位置を示す信号に対応した位置に発生する。これらの信号の関係は、オープンカセット12の検出器6の走査速度には影響されずに保持される。
ここで、カセットの棚にウエハ14がある場合の検出信号をインバータで反転させて得れば、ウエハ検出器6側の検出信号は、棚の位置の信号に対応して発生し、段違いの斜めに置かれたウエハは、2つの棚の位置の間で発生し、棚の位置にウエハがなければ、棚の位置の信号に対応して発生するウエハ検出信号はない。このようなことで、ウエハの有無と斜めウエハとを検出することが可能になる。
さらに、ここでは、図2に示すように、投光受光の光軸L(照射光の角度θ)を斜めに設定することで、段違いの斜めに置かれたウエハの検出信号の幅を大きくすることができる。これにより斜めのウエハをより確実に検出することが可能になる。
【0012】
その検出処理回路について、図3を参照して説明すると、8は、ウエハ検出回路ブロックであって、MPU9とバス9aを介して接続されている。
ウエハ検出回路ブロック8は、ウエハ検出回路81と、インバータ82a、バッファアンプ82b、ウエハ検出メモリ83、そして制御回路84とからなる。ウエハ検出回路81は、波形整形回路85a,85bと、アンドゲート86a,86b、インバータ87、カウンタ88とデータラッチ回路89からなり、データラッチ回路89の検出データがウエハ検出メモリ83に転送されて記憶される。
波形整形回路85aは、インバータ82aを介して受光素子6bから受光信号を受けて、図4(b)に示すパルス波形を発生する。インバータ82aを介しているので、H”(Highレベル)がウエハ14により遮光された検出信号である。
【0013】
波形整形回路85bは、バッファアンプ82bを介してホトインタラプタ7の信号を受ける。その結果、図4(a)に示すパルス波形を発生する。H”がスリットプレート54のスリットの部分で発生する。“L”(Lowレベル)が棚の位置(突起部分)に対応した遮光部分である。なお、図4(a)における数値は、カウンタ88のカウント値であり、波形整形回路85bの出力パルスの立上がりでカウンタ88がインクリメントされて棚の位置がカウントされる。
その結果、波形整形回路85aと波形整形回路85bとを受けるアンドゲート86aは、両者が“H”となっているタイミングに応じてパルス信号を発生する(図4(a)参照)。一方、アンドゲート86bは、波形整形回路85bの波形をインバータ87を介して一方の入力に受け、他方の入力に波形整形回路85aの入力を受ける。これにより、棚と棚の間の位置でウエハ検出信号が発生したときにそれを検出する。これが斜めウエハの検出信号である。
【0014】
この図4の波形において、カウント値02の下から第2番目の棚では、図4(b)に示されるように、棚の空間を示す“H”の信号位置に、図4(b)のウエハ検出信号“H”が対応して発生している。この場合には、アンドゲート86aから検出パルスが発生する。一方、カウント値03と04の下から第3番目と4番目の棚では、図4(b)に示されるように、またがってウエハ検出信号が発生している。これが斜めにセットされたウエハである。この場合には、アンドゲート86bから検出パルスが発生する。このときの波形は幅の広い波形になっている。これは、前記したように発光素子6aと受光素子6bの光軸が10゜〜25゜傾斜させたことの効果である。
さらに、カウント値10の下から第10番目の棚では、図4(b)に示されるように、ウエハ検出信号が発生していない。そこで、このときには、アンドゲート86a,86bからの検出パルスはない。このときには、棚にウエハが存在しないときである。
【0015】
これらの検出パルスと、カウント値とは、波形整形回路85bの出力パルスの立下がりでデータラッチ回路89にセットされる。その結果、データラッチ回路89には、これらデータが各棚走査に応じて記憶される。このデータラッチ回路89のデータは、波形整形回路85bの次の出力パルスの立上がりウエハ検出メモリ83に送出して更新されたアドレスに順次記憶されていく。
制御回路84は、バス9aを介してMPU9からの指令に応じて動作し、シリンダ52を駆動して、伸張させて発光素子6aと受光素子6bからなるウエハ検出器6をオープンカセット12を下から上へと走査して最下段から最上段のウエハを順次検出していく。最上段になった後に、ウエハ検出器6を最下段下の初期位置まで降下して走査終了信号をバス9aを介してMPU9に送出する。また、この信号でカウンタ88をリセットする。
これに応じて、MPU9は、ウエハ検出メモリ83に記憶されたウエハ検出結果のデータをバス9aを介して読み込み、所定の処理を行う。
その結果、ウエハ検出メモリ83のデータを読み込んだMPU9は、カウンタ88のカウント値を棚位置としてアンドゲート86bから検出パルスを記憶する位置に“1”があるときには、斜めウエハがあると判定し、アンドゲート86a,86bから検出パルスを記憶する位置が両方とも“0”のときには、ウエハが棚にないと判定し、アンドゲート86aの検出パルスを記憶する位置に“1”があるときには、ウエハは正常に棚にセットされていると判定することができる。
【0016】
以上説明してきたが、実施例では、スリットプレート54の形状をカセットの棚の形状に対応させ、棚としての突起部分を遮光とし、棚と棚の間の部分の幅を透過部分としているが、このようなスリット構造ではなく、棚突起位置に対応して信号が得られる、あるいは、棚と棚の間の部分の信号が得られるマーク等であってもよい。
また、実施例では、ウエハ検出器6の発光素子6aと受光素子6bがともに移動するものであるが、この検出器の受光素子は、特許文献3に示されるように、オープンカセット12の棚全体の高さに対応して固定されたイメージセンサとし、発光素子6aが昇降機構5によりオープンカセット12の高さ方向に上下移動するものであってもよい。
さらに、この発明のカセット内ウエハ検出方式は、ミニエンのウエハ搬送装置に限定されることなく、各種のウエハ搬送装置および各種のウエハ処理装置に用いることができることはもちろんである。
【0017】
【発明の効果】
以上の説明から理解できるように、この発明にあっては、移動機構と連動して動作する棚位置信号発生器を設けているので、棚位置信号とウエハ検出信号とを同期して発生させることができる。したがって、検出器によるカセット走査速度に変動があっても同じ変動をもって棚位置信号が発生するので、これを基準信号としてウエハ検出をすることが可能になる。しかも、1回のカセット走査において、検出回路で棚に段違いにセットされたウエハを高い精度に検出することができる。
その結果、傾斜してカセットに収納されたウエハがあっても効率よくそのようなウエハを検出でき、ウエハの処理効率を向上することができるウエハ搬送装置およびウエハ処理装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明のカセット内ウエハ検出方式を局所クリーン化ウエハ検査装置に適用した一実施例のオープンカセットポートの側面図である。
【図2】図2は、その照射方向を説明する平面図である。
【図3】図3は、そのウエハ検出回路ブロックを中心とする説明図である。
【図4】図4は、ウエハ検出器とスリットを検出するホトインタラプタの検出波形の説明図である。
【図5】図5は、従来のミニエンシステムのウエハ搬送装置の外観図である。
【符号の説明】
1,10…ウエハ搬送装置、
2…載置台、
2a,2b…位置決めピン、
3…開閉窓、3a…開口部、
4…昇降枠、5…昇降機構、
6…ウエハ検出器、
6a…発光素子、6b…受光素子、
7…ホトインタラプタ(遮光光学センサ)、
8…ウエハ検出回路ブロック、9…MPU、
9a…バス、12…オープンカセット、
13…オープンカセットポート、
13a…FOUPオープナポート、14…ウエハ、
15…カセット保持爪、20…ウエハ検査装置、
22…移動板、
41,42…プレート、
51…レール、52…シリンダ、
54…スリットプレート、
81…ウエハ検出回路、82a…インバータ、
82b…バッファアンプ、83…ウエハ検出メモリ、
84…制御回路、85a,85b…波形整形回路、
86a,86b…アンドゲート、
87…インバータ、88…カウンタ、
89…データラッチ回路。
Claims (7)
- オープンカセットの棚にウエハがセットされているか否かを検出するカセット内ウエハ検出方式において、
前記オープンカセットの前後に発光素子と受光素子が配置され前記受光素子の受光信号に応じてウエハを検出する検出器と、
この検出器を前記オープンカセットに対して相対的に上下移動させる移動機構と、
この移動機構と連動して相対的に上下移動して前記オープンカセットの各前記棚あるいは各前記棚と前記棚の間の空間のいずれかに対応した信号を発生する棚位置信号発生器と、
前記検出器の検出信号と前記棚位置信号発生器からの信号とに基づいて前記棚に段違いにセットされた前記ウエハを検出する検出回路とを備えるカセット内ウエハ検出方式。 - 前記発光素子と前記受光素子とによる光軸は、前記オープンカセットの正面に対して垂直となる中心線に対し、平面からみて10゜〜25゜の範囲で傾斜している請求項1記載のカセット内ウエハ検出方式。
- 前記移動機構は、所定のレール上を移動するものであり、前記棚位置信号発生器は、前記所定のレール上に設けられあるいはこのレールに固定され各前記棚と前記棚の間の空間に対応するスリットを有するスリットプレートと前記スリットを検出する光学センサとからなり、前記光学センサが前記移動機構と連動して移動する請求項2記載のカセット内ウエハ検出方式。
- 前記検出器の受光素子は、前記オープンカセットの棚全体の高さに対応して固定されたイメージセンサであり、前記発光素子が前記移動機構により上下移動する請求項2記載のカセット内ウエハ検出方式。
- 請求項1乃至4のいずれか記載のカセット内ウエハ検出方式を利用して前記ウエハをハンドリングする局所クリーン化ウエハ搬送装置。
- 請求項1乃至4のいずれか記載のカセット内ウエハ検出方式を利用してウエハをハンドリングして所定の処理を行うウエハ処理装置。
- 請求項5に記載の局所クリーン化ウエハ搬送装置から前記ウエハを受けてウエハを処理するウエハ処理装置。
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JP2003069403A JP2004281611A (ja) | 2003-03-14 | 2003-03-14 | カセット内ウエハ検出方式、ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置 |
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CN111860301A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-10-30 | 苏州英诺威视图像有限公司 | 元件位置检测方法和系统 |
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2003
- 2003-03-14 JP JP2003069403A patent/JP2004281611A/ja active Pending
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