JP2004277509A - 高熱伝導エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与する高熱伝導エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置を提供すること。
【解決手段】(A)固形のエポキシ樹脂、(B)固形のフェノール樹脂、(C)硬化促進剤及び(D)無機充填材として0.5μm〜1.5μm及び5〜20μmに粒度分布の極大ピークを有し、なおかつ表面がシランカップリング剤で処理されているアルミナを必須成分とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置。
【解決手段】(A)固形のエポキシ樹脂、(B)固形のフェノール樹脂、(C)硬化促進剤及び(D)無機充填材として0.5μm〜1.5μm及び5〜20μmに粒度分布の極大ピークを有し、なおかつ表面がシランカップリング剤で処理されているアルミナを必須成分とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高熱伝導エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近の半導体デバイスの性能向上に伴う要求として、半導体素子をフェイスダウン構造で回路が形成されたマザーボードあるいはドーターボードに実装される方法(フリップチップ方式)が注目されている。これは従来から用いられている方式、例えば半導体素子から金線でリードフレーム上にコンタクトをとりパッケージングされた形態でマザーボードあるいはドーターボードに実装する方法では、回路による情報伝達の遅れ、クロストークによる情報伝達エラー等が生ずる、という問題が発生していることに起因する。一方フリップチップ方式においては、互いの線膨張係数が異なる半導体素子と回路基板とをダイレクトに電気接続を行うことから、接続部分の信頼性が問題となっている。この対策としては、半導体素子と回路基板との空隙に液状樹脂を注入し硬化させて、電気接続部に集中する応力を樹脂にも分散させることにより接続信頼性を向上させる方法がとられている。しかしながら液状樹脂は、毛細管現象を利用して半導体素子と回路基板との空隙に注入されるため、注入に多くの時間を要する。生産性を向上させるためには液状樹脂の早い充填が必要であるが、早い充填は未充填、ボイドを引き起こし易く、半導体装置の信頼性も低下させるため、画期的に生産性を向上させることは難しい。また常温で液状であることが制約条件となり、無機充填材の充填量が低く、吸湿し易いために固形エポキシ、固形硬化剤をつかったエポキシ樹脂組成物に比べて信頼性が劣る。
【0003】
この様な問題から、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与するエポキシ樹脂組成物が求められており、更には高速回路による発熱のため、エポキシ樹脂組成物に高熱伝導性も付与する必要がある。
半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填するために、最大粒径を24μm以下、成形温度での溶融温度を200ポイズ以下にする方法(例えば、特許文献1参照。)、最大粒径を20μm以下、メジアン径を0.2〜3μmにする方法(例えば、特許文献2参照。)が知られているが、無機充填材としては最大粒径のみにしか着目しておらず、粒子の種類、粒度分布には触れられていない。
また、無機充填材としてアルミナを必須成分とした時の流動性を向上させるために、0.4〜0.7μm、12〜18μm、30〜38μmに粒度分布の極大ピークをもたせる方法(例えば、特許文献3参照。)、粒度分布の形状に着目してロジン・ラムラー式を用いた方法(例えば、特許文献4参照。)が知られているが、フリップチップ方式の様な狭い空隙の充填に有利な方法には触れられていない。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−288979号公報(第2〜9頁)
【特許文献2】
特開2000−290471号公報(第2〜10頁)
【特許文献3】
特開平7−278415号公報(第2〜9頁)
【特許文献4】
特開平7−118506号公報(第2〜6頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与する高熱伝導エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、(A)固形のエポキシ樹脂、(B)固形のフェノール樹脂、(C)硬化促進剤及び(D)無機充填材として0.5μm〜1.5μm及び5〜20μmに粒度分布の極大ピークを有し、なおかつ表面がシランカップリング剤で処理されているアルミナを必須成分とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明は、固形のエポキシ樹脂、固形のフェノール樹脂、硬化促進剤及び無機充填材として所定の粒度分布及び処理表面を有するアルミナを含有してなることを特徴とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置についてである。
本発明における無機充填材は、その粒径が小さく、かつ所定の粒度分布を有することに一つの特徴がある。半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填する、という点では、無機充填材の粒子径は小さいほど望ましい。しかし粒子径の小さい無機充填材のみでは空隙を充填するのに十分な流動性を得ることが出来ず、十分な流動性を得ようとして無機充填材量を低減すると、十分な信頼性及び熱伝導性を得ることが出来ない。そのため、極大ピークを0.5μm〜1.5μmに有するアルミナと極大ピークを5〜20μmに有するアルミナを組み合わせる必要がある。
粒径が小さい方の極大ピークが0.5μm未満もしくは1.5μmを超えると、流動性が著しく低下する。さらに粒径が大きい方の極大ピークでも、5μm未満もしくは20μmを超えると、同様に流動性が著しく低下する。
【0008】
しかし、回路基板と半導体素子との間の空隙の大きさを考慮して粒子径を調整しても、粒子同士が凝集してしまっては空隙を充填する際の障害となって未充填もしくはボイドを引き起こし易くなり、半導体装置の信頼性を低下させる恐れがある。そこで、アルミナ表面に表面処理剤を固着させて粒子同士の凝集を抑制する手法が有効となる。表面に固着させる表面処理剤としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂との相溶性を考慮した場合シランカップリング剤が好ましい。アルミナ表面にシランカップリング剤を固着させる方法としては、アルミナとシランカップリング剤を攪拌混合する方法が有効である。カップリング剤をアルミナの表面に均一に処理するために、水又は有機溶媒を、更に加えて攪拌するという手法も有効である。また、アルミナ表面にシランカップリング剤をより強固に固着させるには、アルミナとシランカップリング剤を攪拌混合した後、混合機から取り出して常温にて1日以上放置したものを用いるのがより好ましい。また、より反応を進めるために攪拌時に混合機内の温度を50〜150℃に加熱するか、或いは常温で攪拌し混合機から取り出した後に50〜150℃で加熱してもよい。混合機としては、特に限定しないが、例えばボールミル、ヘンシェルミキサー、Vブレンダーやダブルコーンブレンダー等のブレンダー類、コンクリートミキサーやリボンブレンダー等が挙げられる。
また、気化させたアミノ基含有シランカップリング剤を処理したアルミナ(例えば、アドマテックス(株)製アルミナ等が挙げられる)に、更にシランカップリング剤を表面に固着させるのがより好ましい。最も好ましいのは、気化させたアミノ基含有シランカップリング剤を処理したアルミナに、更にグリシジル基含有シランカップリング剤を表面に固着させる方法である。
なおアルミナの最大粒径については、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙の大きさを考慮して、従来公知の分級法を適宜用いて調整することが出来る。
【0009】
ここでの無機充填材の粒度分布は、JIS M8100 粉塊混合物−サンプリング方法通則に準じて無機充填材を採取し、JIS R 1622−1995ファインセラミックス原料粒子径分布測定のための試料調整通則に準じて、無機充填材を測定用試料として調整し、JIS R 1629−1997 ファインセラミックス原料のレーザー回折・散乱法による粒子径分布測定方法に準じて(株)島津製作所・製のレーザー回折式粒度分布測定装置SALD−7000(レーザー波長:405nm)を用いて、溶媒に水を用い無機充填材の屈折率が実数部1.80、虚数部1.00の条件のもと測定した値である。
また比表面積は、JIS R 1626−1996 ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定方法に準じて、窒素を吸着質として用い、BET1点法によって測定した値である。
【0010】
常温で固形のエポキシ樹脂としては、例えばビフェニル型エポキシ、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、テルペン変性フェノール型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0011】
常温で固形のフェノール樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、トリフェノールメタン型樹脂等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0012】
硬化促進剤としては、エポキシ基とフェノール性水酸基との硬化反応を促進させるものであればよく、一般に封止材料に使用するものを用いることができ、例えば1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリフェニルホスフィン、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾール等が挙げられ、これらは単独でも混合して用いてもよい。
【0013】
本発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(D)成分の他、必要に応じて臭素化エポキシ樹脂、酸化アンチモン等の難燃剤、酸化ビスマス水和物等の無機イオン交換体、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸及びその金属塩類もしくはパラフィン等の離型剤、酸化防止剤等の各種添加剤を適宜配合してもよい。
本発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(D)成分、その他の添加剤等をミキサーを用いて常温混合し、ロール、ニーダー等の押出機等の混練機で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。
【0014】
【実施例】
以下に、実施例を挙げて本発明を説明するが、これらの実施例に限定されるものではない。
を、常温においてミキサーで混合し、70〜120℃で2本ロールにより混練し、冷却後粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
【0015】
評価方法
スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間2分で測定した。単位はcm。
スリット充填性:40μm、60μm、80μmの流路厚を有する金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間2分でトランスファー成形し、各流路の充填距離を測定した。単位はmm。
模擬金型充填性:長さ145mm、幅15mm、厚み0.5mmの矩形型流路中に、9mm×9mm×0.42mm(厚み)の四角柱を6個有する(四角柱と四角柱の間隔は3mm)狭路充填を想定した評価用金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間2分でトランスファー成形し、0.08mmギャップの充填性(未充填、ボイドの有無)を判定した。
【0016】
実施例2〜10、比較例1〜7
表1、表2の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得、同様に評価した。これらの評価結果を表1、表2に示す。
実施例1以外で用いたアルミナを以下に示す。
カップリング剤処理アルミナB:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%に気化させたアミノ基含有シランカップリング剤数百ppm固着させた(アドマテックス(株)製)後、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナC:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナD:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナE:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%にN−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナF:アルミナR(平均粒径18.5μm、比表面積0.9m2/g、極大ピーク粒径18.5μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナG:アルミナS(平均粒径23.0μm、比表面積0.7m2/g、極大ピーク粒径23.0μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナI:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%に気化させたアミノ基含有シランカップリング剤数百ppm固着させた(アドマテックス(株)製)後、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナJ:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ボールミルにて10分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナK:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ボールミルにて10分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナL:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%にN−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ボールミルにて10分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナM:アルミナT(平均粒径1.5μm、比表面積6.0m2/g、極大ピーク粒径1.5μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナN:アルミナU(平均粒径0.1μm、比表面積30.0m2/g、極大ピーク粒径0.1μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナO:アルミナV(平均粒径2.3μm、比表面積5.1m2/g、極大ピーク粒径2.3μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】
【発明の効果】
本発明に従うと、高熱伝導エポキシ樹脂組成物は、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与することから、産業上有用である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、高熱伝導エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近の半導体デバイスの性能向上に伴う要求として、半導体素子をフェイスダウン構造で回路が形成されたマザーボードあるいはドーターボードに実装される方法(フリップチップ方式)が注目されている。これは従来から用いられている方式、例えば半導体素子から金線でリードフレーム上にコンタクトをとりパッケージングされた形態でマザーボードあるいはドーターボードに実装する方法では、回路による情報伝達の遅れ、クロストークによる情報伝達エラー等が生ずる、という問題が発生していることに起因する。一方フリップチップ方式においては、互いの線膨張係数が異なる半導体素子と回路基板とをダイレクトに電気接続を行うことから、接続部分の信頼性が問題となっている。この対策としては、半導体素子と回路基板との空隙に液状樹脂を注入し硬化させて、電気接続部に集中する応力を樹脂にも分散させることにより接続信頼性を向上させる方法がとられている。しかしながら液状樹脂は、毛細管現象を利用して半導体素子と回路基板との空隙に注入されるため、注入に多くの時間を要する。生産性を向上させるためには液状樹脂の早い充填が必要であるが、早い充填は未充填、ボイドを引き起こし易く、半導体装置の信頼性も低下させるため、画期的に生産性を向上させることは難しい。また常温で液状であることが制約条件となり、無機充填材の充填量が低く、吸湿し易いために固形エポキシ、固形硬化剤をつかったエポキシ樹脂組成物に比べて信頼性が劣る。
【0003】
この様な問題から、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与するエポキシ樹脂組成物が求められており、更には高速回路による発熱のため、エポキシ樹脂組成物に高熱伝導性も付与する必要がある。
半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填するために、最大粒径を24μm以下、成形温度での溶融温度を200ポイズ以下にする方法(例えば、特許文献1参照。)、最大粒径を20μm以下、メジアン径を0.2〜3μmにする方法(例えば、特許文献2参照。)が知られているが、無機充填材としては最大粒径のみにしか着目しておらず、粒子の種類、粒度分布には触れられていない。
また、無機充填材としてアルミナを必須成分とした時の流動性を向上させるために、0.4〜0.7μm、12〜18μm、30〜38μmに粒度分布の極大ピークをもたせる方法(例えば、特許文献3参照。)、粒度分布の形状に着目してロジン・ラムラー式を用いた方法(例えば、特許文献4参照。)が知られているが、フリップチップ方式の様な狭い空隙の充填に有利な方法には触れられていない。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−288979号公報(第2〜9頁)
【特許文献2】
特開2000−290471号公報(第2〜10頁)
【特許文献3】
特開平7−278415号公報(第2〜9頁)
【特許文献4】
特開平7−118506号公報(第2〜6頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与する高熱伝導エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、(A)固形のエポキシ樹脂、(B)固形のフェノール樹脂、(C)硬化促進剤及び(D)無機充填材として0.5μm〜1.5μm及び5〜20μmに粒度分布の極大ピークを有し、なおかつ表面がシランカップリング剤で処理されているアルミナを必須成分とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明は、固形のエポキシ樹脂、固形のフェノール樹脂、硬化促進剤及び無機充填材として所定の粒度分布及び処理表面を有するアルミナを含有してなることを特徴とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置についてである。
本発明における無機充填材は、その粒径が小さく、かつ所定の粒度分布を有することに一つの特徴がある。半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填する、という点では、無機充填材の粒子径は小さいほど望ましい。しかし粒子径の小さい無機充填材のみでは空隙を充填するのに十分な流動性を得ることが出来ず、十分な流動性を得ようとして無機充填材量を低減すると、十分な信頼性及び熱伝導性を得ることが出来ない。そのため、極大ピークを0.5μm〜1.5μmに有するアルミナと極大ピークを5〜20μmに有するアルミナを組み合わせる必要がある。
粒径が小さい方の極大ピークが0.5μm未満もしくは1.5μmを超えると、流動性が著しく低下する。さらに粒径が大きい方の極大ピークでも、5μm未満もしくは20μmを超えると、同様に流動性が著しく低下する。
【0008】
しかし、回路基板と半導体素子との間の空隙の大きさを考慮して粒子径を調整しても、粒子同士が凝集してしまっては空隙を充填する際の障害となって未充填もしくはボイドを引き起こし易くなり、半導体装置の信頼性を低下させる恐れがある。そこで、アルミナ表面に表面処理剤を固着させて粒子同士の凝集を抑制する手法が有効となる。表面に固着させる表面処理剤としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂との相溶性を考慮した場合シランカップリング剤が好ましい。アルミナ表面にシランカップリング剤を固着させる方法としては、アルミナとシランカップリング剤を攪拌混合する方法が有効である。カップリング剤をアルミナの表面に均一に処理するために、水又は有機溶媒を、更に加えて攪拌するという手法も有効である。また、アルミナ表面にシランカップリング剤をより強固に固着させるには、アルミナとシランカップリング剤を攪拌混合した後、混合機から取り出して常温にて1日以上放置したものを用いるのがより好ましい。また、より反応を進めるために攪拌時に混合機内の温度を50〜150℃に加熱するか、或いは常温で攪拌し混合機から取り出した後に50〜150℃で加熱してもよい。混合機としては、特に限定しないが、例えばボールミル、ヘンシェルミキサー、Vブレンダーやダブルコーンブレンダー等のブレンダー類、コンクリートミキサーやリボンブレンダー等が挙げられる。
また、気化させたアミノ基含有シランカップリング剤を処理したアルミナ(例えば、アドマテックス(株)製アルミナ等が挙げられる)に、更にシランカップリング剤を表面に固着させるのがより好ましい。最も好ましいのは、気化させたアミノ基含有シランカップリング剤を処理したアルミナに、更にグリシジル基含有シランカップリング剤を表面に固着させる方法である。
なおアルミナの最大粒径については、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙の大きさを考慮して、従来公知の分級法を適宜用いて調整することが出来る。
【0009】
ここでの無機充填材の粒度分布は、JIS M8100 粉塊混合物−サンプリング方法通則に準じて無機充填材を採取し、JIS R 1622−1995ファインセラミックス原料粒子径分布測定のための試料調整通則に準じて、無機充填材を測定用試料として調整し、JIS R 1629−1997 ファインセラミックス原料のレーザー回折・散乱法による粒子径分布測定方法に準じて(株)島津製作所・製のレーザー回折式粒度分布測定装置SALD−7000(レーザー波長:405nm)を用いて、溶媒に水を用い無機充填材の屈折率が実数部1.80、虚数部1.00の条件のもと測定した値である。
また比表面積は、JIS R 1626−1996 ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定方法に準じて、窒素を吸着質として用い、BET1点法によって測定した値である。
【0010】
常温で固形のエポキシ樹脂としては、例えばビフェニル型エポキシ、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、テルペン変性フェノール型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0011】
常温で固形のフェノール樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、トリフェノールメタン型樹脂等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【0012】
硬化促進剤としては、エポキシ基とフェノール性水酸基との硬化反応を促進させるものであればよく、一般に封止材料に使用するものを用いることができ、例えば1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリフェニルホスフィン、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾール等が挙げられ、これらは単独でも混合して用いてもよい。
【0013】
本発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(D)成分の他、必要に応じて臭素化エポキシ樹脂、酸化アンチモン等の難燃剤、酸化ビスマス水和物等の無機イオン交換体、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸及びその金属塩類もしくはパラフィン等の離型剤、酸化防止剤等の各種添加剤を適宜配合してもよい。
本発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(D)成分、その他の添加剤等をミキサーを用いて常温混合し、ロール、ニーダー等の押出機等の混練機で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。
【0014】
【実施例】
以下に、実施例を挙げて本発明を説明するが、これらの実施例に限定されるものではない。
を、常温においてミキサーで混合し、70〜120℃で2本ロールにより混練し、冷却後粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
【0015】
評価方法
スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間2分で測定した。単位はcm。
スリット充填性:40μm、60μm、80μmの流路厚を有する金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間2分でトランスファー成形し、各流路の充填距離を測定した。単位はmm。
模擬金型充填性:長さ145mm、幅15mm、厚み0.5mmの矩形型流路中に、9mm×9mm×0.42mm(厚み)の四角柱を6個有する(四角柱と四角柱の間隔は3mm)狭路充填を想定した評価用金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間2分でトランスファー成形し、0.08mmギャップの充填性(未充填、ボイドの有無)を判定した。
【0016】
実施例2〜10、比較例1〜7
表1、表2の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得、同様に評価した。これらの評価結果を表1、表2に示す。
実施例1以外で用いたアルミナを以下に示す。
カップリング剤処理アルミナB:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%に気化させたアミノ基含有シランカップリング剤数百ppm固着させた(アドマテックス(株)製)後、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナC:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナD:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナE:アルミナP(平均粒径8.2μm、比表面積1.1m2/g、極大ピーク粒径9.8μm、最大粒径45μm以下)100重量%にN−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナF:アルミナR(平均粒径18.5μm、比表面積0.9m2/g、極大ピーク粒径18.5μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナG:アルミナS(平均粒径23.0μm、比表面積0.7m2/g、極大ピーク粒径23.0μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナI:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%に気化させたアミノ基含有シランカップリング剤数百ppm固着させた(アドマテックス(株)製)後、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナJ:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ボールミルにて10分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナK:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ボールミルにて10分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナL:アルミナQ(平均粒径0.7μm、比表面積7.9m2/g、極大ピーク粒径0.7μm、最大粒径45μm以下)100重量%にN−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ボールミルにて10分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナM:アルミナT(平均粒径1.5μm、比表面積6.0m2/g、極大ピーク粒径1.5μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナN:アルミナU(平均粒径0.1μm、比表面積30.0m2/g、極大ピーク粒径0.1μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
カップリング剤処理アルミナO:アルミナV(平均粒径2.3μm、比表面積5.1m2/g、極大ピーク粒径2.3μm、最大粒径45μm以下)100重量%にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.3重量%を添加し、ヘンシェルミキサーにて3分間混合したもの。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】
【発明の効果】
本発明に従うと、高熱伝導エポキシ樹脂組成物は、半導体装置における回路基板と半導体素子との間の空隙を確実に充填し、生産性に優れ、なおかつ接続部分に高い信頼性を付与することから、産業上有用である。
Claims (2)
- (A)固形のエポキシ樹脂、(B)固形のフェノール樹脂、(C)硬化促進剤及び(D)無機充填材として0.5μm〜1.5μm及び5〜20μmに粒度分布の極大ピークを有し、なおかつ表面がシランカップリング剤で処理されているアルミナを必須成分とする高熱伝導エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1に記載の高熱伝導エポキシ樹脂組成物を用いて得られることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003068814A JP2004277509A (ja) | 2003-03-13 | 2003-03-13 | 高熱伝導エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003068814A JP2004277509A (ja) | 2003-03-13 | 2003-03-13 | 高熱伝導エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Publications (1)
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JP2004277509A true JP2004277509A (ja) | 2004-10-07 |
Family
ID=33286046
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003068814A Pending JP2004277509A (ja) | 2003-03-13 | 2003-03-13 | 高熱伝導エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014031460A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Panasonic Corp | 封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 |
JP2014514383A (ja) * | 2011-03-22 | 2014-06-19 | ナノ アンド アドバンスド マテリアルズ インスティトゥート リミテッド | 高輝度led用高性能ダイ取付接着剤(daa)ナノ材料 |
CN108395674A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-08-14 | 苏州甫众塑胶有限公司 | 一种高分子导热材料及其制备方法 |
-
2003
- 2003-03-13 JP JP2003068814A patent/JP2004277509A/ja active Pending
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