JP2004273592A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】チップサイズの縮小化が可能な半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板1の上に配線を形成する工程と、前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線2a〜2cを形成する工程と、前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する金属ポスト6a,6c,6e及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する金属ポスト6b,6dを形成する工程と、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、を具備するものである。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板1の上に配線を形成する工程と、前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線2a〜2cを形成する工程と、前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する金属ポスト6a,6c,6e及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する金属ポスト6b,6dを形成する工程と、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、を具備するものである。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に係わり、特に、ウエーハレベルCSP(chip size package)についての半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来の半導体装置を示すものであり、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前のウエーハの状態を示す平面図である。
ウエーハレベルCSPは、半導体素子や配線等が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)と、半導体ウエーハの能動面上に覆われた封止樹脂105と、この封止樹脂105上に配置された外部端子115と、を有している。
【0003】
ところで、上記従来の半導体装置では、チップ領域から内側にスクライブライン103a,103bの幅等の余裕をもって外部端子115をレイアウトしていたため、チップサイズが有効素子に対して大きくなってしまい、チップの縮小化の妨げとなっていた。特に、ディスプレイやサーマルヘッド等のドライバーLSIのように多くの出力端子を持つチップには、外部端子レイアウトの縮小が要求されている。
【0004】
図10は、他の従来の半導体装置を示すものであって、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前のウエーハの状態を示す平面図であり、図9と同一部分には同一符号を付す。
この半導体装置は、長辺チップであって、半導体素子や配線等が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)と、半導体ウエーハの能動面上に覆われた封止樹脂105と、この封止樹脂105上に配置された外部端子115と、を有している。
【0005】
ところで、上記他の従来の半導体装置においても、チップ領域から内側にスクライブライン103a,103bの幅等の余裕をもって外部端子115をレイアウトしていたため、チップサイズが有効素子に対して大きくなってしまい、チップの縮小化の妨げとなっていた。特に、幅の狭い長辺チップ等では、トランジスタ素子の微細化に拘わらず、外部端子周りのサイズでチップサイズが固定されてしまい、小型化が困難であった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来及び他の従来の半導体装置では、チップ領域から内側にスクライブライン103a,103bの幅等の余裕をもって外部端子115をレイアウトしていたため、チップサイズが有効素子に対して大きくなってしまうという問題があった。
【0007】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、チップサイズの縮小化が可能な半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成された、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストと、
を具備する。
なお、スクライブラインは次のように定義する。スクライブラインとは、ダイシングする領域幅をフォトリソ工程中に予めパターニングしておいた領域、外観上パターンはないが、ダイシングで分離する領域もしくは想定ライン、ダイシングソー(ブレード)がカットする走行ラインもしくは中心想定ライン、ダイシングカットされた領域及びライン等を含むものであり、一般にレイアウト上は、ダイシングソー(ブレード)の幅や振れ、精度を考慮して数十〜百μm幅を想定もしくはパターン化している。
【0009】
また、本発明に係る半導体装置においては、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの側面と前記再配線を覆うように形成された樹脂をさらに具備することも可能である。
また、本発明に係る半導体装置においては、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの上に形成された外部端子をさらに具備することも可能である。
【0010】
また、本発明に係る半導体装置においては、前記第1金属ポストは隣り合うチップ領域の一方に位置する前記配線に前記再配線を介して電気的に接続され、前記第2金属ポストは隣り合うチップ領域の他方に位置する前記配線に前記再配線を介して電気的に接続されていることが好ましい。
【0011】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、スクライブラインに沿って切断した切断面に端部が位置する再配線と、
前記再配線上に形成され、前記切断面に近づけて配置された金属ポストと、
を具備する。
【0012】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成され、前記スクライブラインを横断するように配置された金属ポストと、
を具備する。
【0013】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、スクライブラインに沿って切断した切断面に端部が配置された再配線と、
前記再配線上に形成され、前記切断面に端部が位置する金属ポストと、
を具備する。
【0014】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成された、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の外部端子及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の外部端子と、
を具備する。
【0015】
また、本発明に係る半導体装置においては、前記パッシベーション膜と前記再配線との間に配置されたポリイミド層をさらに具備することが好ましい。このポリイミド層は応力を緩和する層として作用するものである。
【0016】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成する工程と、
前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0017】
上記半導体装置の製造方法によれば、スクライブラインを横断するように再配線を形成し、再配線上に、隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成している。このように隣り合うチップで再配線を共通化することにより、金属ポストをチップ領域の外周に近づけて配置することができる。従って、チップサイズを縮小することができる。
【0018】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上にポリイミド層を形成する工程と、
前記ポリイミド層の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成する工程と、
前記再配線、前記ポリイミド層及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0019】
また、本発明に係る半導体装置の製造方法においては、前記第2の金属ポストを形成する工程と前記ダイシング工程との間に、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの上に外部端子を形成する工程をさらに具備することも可能である。
【0020】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0021】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上にポリイミド層を形成する工程と、
前記ポリイミド層の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト、前記再配線、前記ポリイミド層及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0022】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト上に、前記スクライブラインを横断するように外部端子を形成する工程と、
前記外部端子、前記金属ポスト、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1(A)は、本発明に係る第1の実施の形態による半導体装置を示すものであり、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前の半導体ウエーハの状態を示す断面図である。図1(B)は、図1(A)に示す半導体ウエーハをダイシング工程でチップにした断面図である。
【0024】
図1(A)に示すように、半導体素子や配線等(図示せず)が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)1の能動面には再配線2a〜2cが形成されている。再配線2a〜2cは隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断又は跨ぐように配置されており、スクライブラインは矢印3a,3bに示す位置に配置されている。再配線2a〜2cそれぞれの上には少なくとも2つの金属ポスト4a〜4eが形成されている。
【0025】
半導体ウエーハ1の能動面、再配線2a〜2c及び金属ポスト4a〜4eは封止樹脂5により被覆されている。金属ポスト4a〜4eの上面は封止樹脂5から露出している。この露出した金属ポスト4a〜4eそれぞれの上面上には必要に応じてハンダボールなどの実装用外部端子6a〜6eが形成されている。
【0026】
図1(A)に示す半導体ウエーハ状態の半導体装置において矢印3a,3bで示すスクライブラインをダイシング工程で再配線2a,2bと共に切断することにより、図1(B)に示すようにチップ化され、一つのCSP型の半導体装置となる。前記再配線2a,2bの端部は、前記切断した切断面に位置している。前記半導体装置はワイヤーレスでスタックドパッケージを形成することが可能な構成となる。
【0027】
なお、実装用外部端子6a〜6eは必ずしも必要ではなく、実装用外部端子が形成されていない半導体装置とすることも可能である。また、この半導体装置を搭載する一例としての電子機器のプリント基板には、半導体装置の回路に応じて配線がパターニングされており、この半導体装置は実装工程でプリント基板の必要位置に搭載される。
【0028】
図2は、図1に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図である。
半導体ウエーハ1の能動面(表面)には電極取り出し用パッド7a,7bが形成されている。この電極取り出し用パッドは半導体ウエーハ内におけるAlやCu等の各種金属配線(図示せず)に接続されており、各種金属配線は層間絶縁膜(図示せず)を介してMOSトランジスタ等の半導体素子に電気的に接続されている。この半導体素子は半導体ウエーハ1の内部に作り込まれている。
【0029】
電極取り出し用パッド7a,7bを含む半導体ウエーハ1の全面上にはシリコン酸化膜やシリコン窒化膜等からなる最終保護絶縁層(パッシベーション膜)8が形成されている。この最終保護絶縁層8には、電極取り出し用パッド7a,7b上に位置する開孔部が形成されている。最終保護絶縁層8の上には厚さが例えば数十〜100μm程度のポリイミド層9が形成されている。このポリイミド層9は半導体素子への応力緩和のための層である。ポリイミド層9には開孔部が形成されており、この開孔部は最終保護絶縁層の開孔部を開孔するものである。
【0030】
この開孔部内及びポリイミド層9上には密着層10が形成されている。この密着層10は、TiやW、TiW、Cr、Ni、TiCu、Ptなどの高融点金属、その合金もしくはその窒化膜などのいずれかからなる層である。この密着層10の上にはCuシード層11が形成されている。このCuシード層11は、Cuの他にNi、Ag、Auもしくはこれらの合金からなる層を用いても良い。
【0031】
Cuシード層11の上には厚さが数〜数十μm程度の再配線2bが形成されている。再配線2bはCuを選択メッキ成膜したものである。再配線2bの上には金属ポスト4c,4dが形成されており、金属ポスト4c,4dはCu等の選択メッキにより成膜したものである。金属ポスト4c,4dの上には必要に応じて酸化防止のための異種金属キャップ12が形成されている。この異種金属キャップ12は、金属ポストと異なる種類の材料からなるものであって、例えばNi、Au、Ptなどからなる。金属ポスト4c,4dは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7a,7bに電気的に接続されている。
【0032】
矢印3aで示すスクライブラインで半導体ウエーハ1を切断した後の半導体チップでは、金属ポスト4cは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7aに電気的に接続され、金属ポスト4dは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7bに電気的に接続されることになる。
【0033】
次に、図2に示す金属ポストを製造する方法について説明する。
図3(A)〜(E)は、図2に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図である。
まず、図3(A)に示すように、半導体ウエーハ1を準備する。この半導体ウエーハ1の内部には、MOSトランジスタ等の半導体素子、これと電気的に接続された各種金属配線、層間絶縁膜などが形成されている。次いで、各種金属配線の一端に電極取り出し用パッド7a,7bを形成する。次いで、このパッド7a,7bを含む全面上にシリコン酸化膜又はシリコン窒化膜等からなる最終保護絶縁層(パッシベーション膜)8をCVD(Chemical Vapor Deposition)法により形成する。
【0034】
次いで、この最終保護絶縁層8の上にフォトレジスト膜(図示せず)を塗布し、このフォトレジスト膜を露光、現像することにより、最終保護絶縁層8の上にはレジストパターンが形成される。次いで、このレジストパターンをマスクとして最終保護絶縁層8をエッチングする。これにより、該最終保護絶縁層8には、電極取り出し用パッド7a,7b上に位置する開孔部が形成され、この開孔部によって該パッド7a,7bの表面が露出する。
【0035】
次に、図3(B)に示すように、最終保護絶縁層8の上に厚さが例えば数〜数十μm程度のポリイミド層9を塗布する。次いで、このポリイミド層9上にフォトレジスト膜(図示せず)を塗布し、このフォトレジスト膜を露光、現像することにより、ポリイミド層9上にはレジストパターンが形成される。次いで、このレジストパターンをマスクとしてポリイミド層9をエッチングすることにより、該ポリイミド層9には電極取り出し用パッド7a,7bの上方に位置する開孔部が形成され、この開孔部によって該パッド7a,7bの表面が露出する。尚、この工程では直かに感光性のポリイミドを用いて開孔パターンを形成し、フォトレジストの塗布、エッチングや剥離処理の簡略化を行うことも出来る。
【0036】
この後、図3(C)に示すように、開孔部内及びポリイミド層9上に高融点金属からなる密着層10をスパッタリングにより形成する。次いで、この密着層10の上にCuシード層11をスパッタリングにより形成する。次いで、Cuシード層11の上に厚さが数〜数十μm程度のCu層を選択メッキ法により成膜する。次いで、該Cu層をマスクとしてCuシード層11及び密着層10を選択エッチングすることで、ポリイミド層9の上には密着層10を介して再配線2bが形成され、再配線2bは電極取り出し用パッド7a,7bに電気的に接続される。
【0037】
次に、図3(D)に示すように、再配線2bを含む全面上にフォトレジスト膜を塗布もしくはフォトフィルムを貼り、これらを露光、現像することにより、ポリイミド層9上には再配線2bの上に位置する開孔部13a,13bを有するレジストパターン13が形成される。
【0038】
この後、図3(E)に示すように、レジストパターン13をマスクとして選択メッキにより開孔部13a,13b内の再配線2b上にCuメッキ膜からなる金属ポスト4c,4dを形成する。なお、Cuメッキ膜からなる金属ポストは厚みや寸法の制御が比較的に容易である。次いで、金属ポスト4c,4d上にメッキ法によりNiなどからなる異種金属キャップ12を形成する。次いで、レジストパターン13を剥離することにより、図2に示すような半導体装置が形成される。ここまではウエーハプロセスで作られる。
【0039】
その後、再配線、ポリイミド層9及び金属ポストを覆うようにモールド装置によりエポキシ等の封止樹脂5をモールドする。次いで、この封止樹脂5をグラインダー(図示せず)で所望量研削する。ここで、所望量とは、金属ポストの頭部(上部)が露出する程度の研削量である。次に、金属ポストの露出部分にフラックス(図示せず)を塗布した後、自動搭載機でハンダボールを必要な金属ポスト上に搭載する。次いで、金属ポスト及びハンダボールに170〜200℃程度の熱処理を行う。これにより、図1(A)に示すような金属ポスト4a〜4e上にはハンダボールが融着されて実装用外部端子6a〜6eが形成される。
【0040】
なお、実装用外部端子となるハンダボールは、径150〜300μmでPb/Sn60〜70wt%の材料からなるBGA(Ball Grid Array)用のものを使用することが好ましい。また、実装用外部端子17の大きさは用途に応じて適宜選択可能である。ハンダ組成はAg/Sn系やCuやBiを含むPbレス材料を用いることも可能である。また、実装用外部端子は、ハンダボールに限定されるものではなく、ハンダボールを搭載する代わりに、印刷法、メッキ法やメタルジェット法により形成された実装用外部端子を適用することも可能である。
【0041】
この後、矢印3a,3bに示すスクライブラインに沿ってダイシングソーやレーザーを用いて樹脂5、再配線2a〜2c及び半導体ウエーハ1を切断する。これにより、図1(B)に示すCSP型の半導体装置を作製することができる。
【0042】
上記第1の実施の形態によれば、隣り合うチップのスクライブラインを横断又は跨ぐように再配線2a〜2cを形成し、チップ領域の再配線上に金属ポスト4a〜4eを形成し、金属ポスト上に外部端子6a〜6eを配置している。このように隣り合うチップで再配線を共通化することにより、金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置することができる。従って、チップサイズを縮小することができる。特に、ディスプレイやサーマルヘッド等のドライバーLSIのように多くの出力端子を持つチップや幅の狭い長辺チップ等に対してチップの縮小化に有効に作用し、従来の半導体装置に比べて更なる小型化が可能となる。よって、半導体装置とこれを搭載する電子機器類の小型化、高密度化を図ることができる。また、LSI及びパッケージの低コスト化と歩留まりの向上を図ることができる。
【0043】
図4(A)は、本発明に係る第2の実施の形態による半導体装置を示すものであり、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前の半導体ウエーハの状態を示す断面図である。図4(B)は、図4(A)に示す半導体ウエーハをダイシング工程でチップにした断面図である。図4において図1と同一部分には同一符号を付す。
【0044】
図4(A)に示すように、半導体素子や配線等(図示せず)が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)1の能動面には再配線2a〜2cが形成されており、再配線上には金属ポスト14a〜14cが形成されている。再配線2a〜2c及び金属ポスト14a〜14cはスクライブラインを横断又は跨ぐように配置されており、スクライブラインは矢印3a,3bに示す位置に配置されている。
【0045】
半導体ウエーハ1の能動面、再配線2a〜2c及び金属ポスト14a〜14cは封止樹脂5により被覆されている。金属ポスト14a〜14cの上面は封止樹脂5から露出している。この露出した金属ポスト14a〜14cそれぞれの上面上には必要に応じてハンダボールなどの実装用外部端子15a〜15cが形成されている。実装用外部端子15a〜15cはスクライブラインを横断又は跨ぐように配置されている。
【0046】
図4(A)に示す半導体ウエーハ状態の半導体装置において矢印3a,3bで示すスクライブラインをダイシング工程で外部端子15a〜15c、金属ポスト14a〜14c及び再配線2a,2bと共に切断することにより、図4(B)に示すようにチップ化され、一つのCSP型の半導体装置となる。前記外部端子15a,15b、前記再配線2a,2b及び前記金属ポスト14a,14bそれぞれの端部は前記切断した切断面に位置している。前記半導体装置はワイヤーレスでスタックドパッケージを形成することが可能な構成となる。
【0047】
図5は、図4(B)に示すCSP型の半導体装置を能動面側から視た平面図である。隣り合うチップのスクライブラインを横断又は跨ぐように再配線2a〜2c、金属ポスト14a〜14c及び外部端子15a〜15cを形成することにより、隣り合うチップで再配線、金属ポスト及び外部端子を共通化することができる。このため、図5に示すように金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置することができ、チップサイズを縮小することができる。
【0048】
図6は、本実施の形態によるCSP型の半導体装置を長辺チップに適用した例を示す平面図である。長辺チップにおいても、隣り合うチップで再配線、金属ポスト及び外部端子を共通化することにより、金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置することができ、チップサイズを縮小することができる。
【0049】
図7は、図4に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図であり、図2と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
再配線2bの上には金属ポスト14bが形成されており、金属ポスト14bはCu等の選択メッキにより成膜したものである。金属ポスト14bの上には必要に応じて酸化防止のための異種金属キャップ12が形成されている。金属ポスト14bは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7a,7bに電気的に接続されている。
【0050】
矢印3aで示すスクライブラインで半導体ウエーハ1を切断した後の半導体チップでは、金属ポスト14bが分割され、一方の金属ポストは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7aに電気的に接続され、他方の金属ポストは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7bに電気的に接続されることになる。
【0051】
次に、図7に示す金属ポストを製造する方法について説明する。
図8(A),(B)は、図7に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図であり、図3と同一部分には同一符号を付す。
図3(A)〜図3(C)に示す工程を行った後、図8(A)に示すように、ポリイミド層9上には再配線2bの上に位置する開孔部13cを有するレジストパターン13が形成される。
【0052】
この後、図8(B)に示すように、レジストパターン13をマスクとして選択メッキにより開孔部13c内の再配線2b上にCuメッキ膜からなる金属ポスト14bを形成する。次いで、金属ポスト14b上にメッキ法によりNiなどからなる異種金属キャップ12を形成する。次いで、レジストパターン13を剥離することにより、図7に示すような半導体装置が形成される。ここまではウエーハプロセスで作られる。
【0053】
その後、再配線、ポリイミド層9及び金属ポストを覆うようにモールド装置によりエポキシ等の封止樹脂5をモールドする。次いで、この封止樹脂5をグラインダー(図示せず)で所望量研削する。ここで、所望量とは、金属ポストの頭部(上部)が露出する程度の研削量である。次に、金属ポストの露出部分にフラックス(図示せず)を塗布した後、自動搭載機でハンダボールを必要な金属ポスト上に搭載する。この際のハンダボールは、後に分割されるので、第1の実施の形態のハンダボールより大きいものが用いられる。次いで、金属ポスト及びハンダボールに170〜200℃程度の熱処理を行う。これにより、図4(A)に示すような金属ポスト14a〜14c上にはハンダボールが融着されて実装用外部端子15a〜15cが形成される。
【0054】
この後、矢印3a,3bに示すスクライブラインに沿ってダイシングソーやレーザーを用いて樹脂5、外部端子15a〜15c、金属ポスト14a〜14c、再配線2a〜2c及び半導体ウエーハ1を切断する。これにより、図4(B)に示すCSP型の半導体装置を作製することができる。
【0055】
上記第2の実施の形態においても第1の実施の形態と同様の効果を得ることがえきる。
尚、本発明は上記第1及び第2の実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、前述したCSP型半導体装置はメモリーやロジックなどの種々のLSIに適用することが可能である。また、チップ同士を横方向に接合したパッケージを作製することも可能である。また、各種金属配線や再配線を、シングルダマシン、デュアルだマシンなどのダマシン法を用いて形成することも可能である。また、金属ポストに代えてハンダボールなどのボールポストを用いることも可能である。また、金属ポストなしで再配線上に直接ハンダボールなどの外部端子を形成することも可能である。また、ハンダボールなどの外部端子なしで金属ポストを外部端子として用いることも可能である。
【0056】
また、上記第1及び第2の実施の形態では、金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置するため、隣り合うチップで再配線を共通化しているが、再配線を共通化できない場合はダミーパターンを形成して金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけることも可能である。
【0057】
また、上記第1及び第2の実施の形態では、封止樹脂を研削して分割前の工程で実装用外部端子の形成を行っているが、分割後単品としてから実装用外部端子を形成することも可能である。
また、上記第1及び第2の実施の形態では、グラインダーを用いて封止樹脂を除去しているが、他の研削手段、研磨手段もしくはエッチングによって行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態による半導体装置を示す断面図。
【図2】図1に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図。
【図3】図2に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図。
【図4】第2の実施の形態による半導体装置を示す断面図。
【図5】図4(B)に示すCSP型の半導体装置を能動面側から視た平面図。
【図6】CSP型の半導体装置を長辺チップに適用した例を示す平面図。
【図7】図4に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図。
【図8】図7に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図。
【図9】従来の半導体装置を示す平面図。
【図10】他の従来の半導体装置を示す平面図。
【符号の説明】
1…半導体ウエーハ(半導体基板)、2a〜2c…再配線、3a,3b…矢印、4a〜4e…金属ポスト、5…封止樹脂、6a〜6e…実装用外部端子、7a,7b…電極取り出し用パッド、8…最終保護絶縁層(パッシベーション膜)、9…ポリイミド層、10…密着層、11…Cuシード層、12…異種金属キャップ、13…レジストパターン、13a,13b…開孔部、14a〜14c…金属ポスト、15a〜15c…実装用外部端子、103a,103b…スクライブライン、105…封止樹脂、115…外部端子
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に係わり、特に、ウエーハレベルCSP(chip size package)についての半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来の半導体装置を示すものであり、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前のウエーハの状態を示す平面図である。
ウエーハレベルCSPは、半導体素子や配線等が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)と、半導体ウエーハの能動面上に覆われた封止樹脂105と、この封止樹脂105上に配置された外部端子115と、を有している。
【0003】
ところで、上記従来の半導体装置では、チップ領域から内側にスクライブライン103a,103bの幅等の余裕をもって外部端子115をレイアウトしていたため、チップサイズが有効素子に対して大きくなってしまい、チップの縮小化の妨げとなっていた。特に、ディスプレイやサーマルヘッド等のドライバーLSIのように多くの出力端子を持つチップには、外部端子レイアウトの縮小が要求されている。
【0004】
図10は、他の従来の半導体装置を示すものであって、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前のウエーハの状態を示す平面図であり、図9と同一部分には同一符号を付す。
この半導体装置は、長辺チップであって、半導体素子や配線等が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)と、半導体ウエーハの能動面上に覆われた封止樹脂105と、この封止樹脂105上に配置された外部端子115と、を有している。
【0005】
ところで、上記他の従来の半導体装置においても、チップ領域から内側にスクライブライン103a,103bの幅等の余裕をもって外部端子115をレイアウトしていたため、チップサイズが有効素子に対して大きくなってしまい、チップの縮小化の妨げとなっていた。特に、幅の狭い長辺チップ等では、トランジスタ素子の微細化に拘わらず、外部端子周りのサイズでチップサイズが固定されてしまい、小型化が困難であった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来及び他の従来の半導体装置では、チップ領域から内側にスクライブライン103a,103bの幅等の余裕をもって外部端子115をレイアウトしていたため、チップサイズが有効素子に対して大きくなってしまうという問題があった。
【0007】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、チップサイズの縮小化が可能な半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成された、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストと、
を具備する。
なお、スクライブラインは次のように定義する。スクライブラインとは、ダイシングする領域幅をフォトリソ工程中に予めパターニングしておいた領域、外観上パターンはないが、ダイシングで分離する領域もしくは想定ライン、ダイシングソー(ブレード)がカットする走行ラインもしくは中心想定ライン、ダイシングカットされた領域及びライン等を含むものであり、一般にレイアウト上は、ダイシングソー(ブレード)の幅や振れ、精度を考慮して数十〜百μm幅を想定もしくはパターン化している。
【0009】
また、本発明に係る半導体装置においては、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの側面と前記再配線を覆うように形成された樹脂をさらに具備することも可能である。
また、本発明に係る半導体装置においては、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの上に形成された外部端子をさらに具備することも可能である。
【0010】
また、本発明に係る半導体装置においては、前記第1金属ポストは隣り合うチップ領域の一方に位置する前記配線に前記再配線を介して電気的に接続され、前記第2金属ポストは隣り合うチップ領域の他方に位置する前記配線に前記再配線を介して電気的に接続されていることが好ましい。
【0011】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、スクライブラインに沿って切断した切断面に端部が位置する再配線と、
前記再配線上に形成され、前記切断面に近づけて配置された金属ポストと、
を具備する。
【0012】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成され、前記スクライブラインを横断するように配置された金属ポストと、
を具備する。
【0013】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、スクライブラインに沿って切断した切断面に端部が配置された再配線と、
前記再配線上に形成され、前記切断面に端部が位置する金属ポストと、
を具備する。
【0014】
本発明に係る半導体装置は、半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成された、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の外部端子及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の外部端子と、
を具備する。
【0015】
また、本発明に係る半導体装置においては、前記パッシベーション膜と前記再配線との間に配置されたポリイミド層をさらに具備することが好ましい。このポリイミド層は応力を緩和する層として作用するものである。
【0016】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成する工程と、
前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0017】
上記半導体装置の製造方法によれば、スクライブラインを横断するように再配線を形成し、再配線上に、隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成している。このように隣り合うチップで再配線を共通化することにより、金属ポストをチップ領域の外周に近づけて配置することができる。従って、チップサイズを縮小することができる。
【0018】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上にポリイミド層を形成する工程と、
前記ポリイミド層の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成する工程と、
前記再配線、前記ポリイミド層及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0019】
また、本発明に係る半導体装置の製造方法においては、前記第2の金属ポストを形成する工程と前記ダイシング工程との間に、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの上に外部端子を形成する工程をさらに具備することも可能である。
【0020】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0021】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上にポリイミド層を形成する工程と、
前記ポリイミド層の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト、前記再配線、前記ポリイミド層及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0022】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト上に、前記スクライブラインを横断するように外部端子を形成する工程と、
前記外部端子、前記金属ポスト、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1(A)は、本発明に係る第1の実施の形態による半導体装置を示すものであり、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前の半導体ウエーハの状態を示す断面図である。図1(B)は、図1(A)に示す半導体ウエーハをダイシング工程でチップにした断面図である。
【0024】
図1(A)に示すように、半導体素子や配線等(図示せず)が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)1の能動面には再配線2a〜2cが形成されている。再配線2a〜2cは隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断又は跨ぐように配置されており、スクライブラインは矢印3a,3bに示す位置に配置されている。再配線2a〜2cそれぞれの上には少なくとも2つの金属ポスト4a〜4eが形成されている。
【0025】
半導体ウエーハ1の能動面、再配線2a〜2c及び金属ポスト4a〜4eは封止樹脂5により被覆されている。金属ポスト4a〜4eの上面は封止樹脂5から露出している。この露出した金属ポスト4a〜4eそれぞれの上面上には必要に応じてハンダボールなどの実装用外部端子6a〜6eが形成されている。
【0026】
図1(A)に示す半導体ウエーハ状態の半導体装置において矢印3a,3bで示すスクライブラインをダイシング工程で再配線2a,2bと共に切断することにより、図1(B)に示すようにチップ化され、一つのCSP型の半導体装置となる。前記再配線2a,2bの端部は、前記切断した切断面に位置している。前記半導体装置はワイヤーレスでスタックドパッケージを形成することが可能な構成となる。
【0027】
なお、実装用外部端子6a〜6eは必ずしも必要ではなく、実装用外部端子が形成されていない半導体装置とすることも可能である。また、この半導体装置を搭載する一例としての電子機器のプリント基板には、半導体装置の回路に応じて配線がパターニングされており、この半導体装置は実装工程でプリント基板の必要位置に搭載される。
【0028】
図2は、図1に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図である。
半導体ウエーハ1の能動面(表面)には電極取り出し用パッド7a,7bが形成されている。この電極取り出し用パッドは半導体ウエーハ内におけるAlやCu等の各種金属配線(図示せず)に接続されており、各種金属配線は層間絶縁膜(図示せず)を介してMOSトランジスタ等の半導体素子に電気的に接続されている。この半導体素子は半導体ウエーハ1の内部に作り込まれている。
【0029】
電極取り出し用パッド7a,7bを含む半導体ウエーハ1の全面上にはシリコン酸化膜やシリコン窒化膜等からなる最終保護絶縁層(パッシベーション膜)8が形成されている。この最終保護絶縁層8には、電極取り出し用パッド7a,7b上に位置する開孔部が形成されている。最終保護絶縁層8の上には厚さが例えば数十〜100μm程度のポリイミド層9が形成されている。このポリイミド層9は半導体素子への応力緩和のための層である。ポリイミド層9には開孔部が形成されており、この開孔部は最終保護絶縁層の開孔部を開孔するものである。
【0030】
この開孔部内及びポリイミド層9上には密着層10が形成されている。この密着層10は、TiやW、TiW、Cr、Ni、TiCu、Ptなどの高融点金属、その合金もしくはその窒化膜などのいずれかからなる層である。この密着層10の上にはCuシード層11が形成されている。このCuシード層11は、Cuの他にNi、Ag、Auもしくはこれらの合金からなる層を用いても良い。
【0031】
Cuシード層11の上には厚さが数〜数十μm程度の再配線2bが形成されている。再配線2bはCuを選択メッキ成膜したものである。再配線2bの上には金属ポスト4c,4dが形成されており、金属ポスト4c,4dはCu等の選択メッキにより成膜したものである。金属ポスト4c,4dの上には必要に応じて酸化防止のための異種金属キャップ12が形成されている。この異種金属キャップ12は、金属ポストと異なる種類の材料からなるものであって、例えばNi、Au、Ptなどからなる。金属ポスト4c,4dは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7a,7bに電気的に接続されている。
【0032】
矢印3aで示すスクライブラインで半導体ウエーハ1を切断した後の半導体チップでは、金属ポスト4cは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7aに電気的に接続され、金属ポスト4dは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7bに電気的に接続されることになる。
【0033】
次に、図2に示す金属ポストを製造する方法について説明する。
図3(A)〜(E)は、図2に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図である。
まず、図3(A)に示すように、半導体ウエーハ1を準備する。この半導体ウエーハ1の内部には、MOSトランジスタ等の半導体素子、これと電気的に接続された各種金属配線、層間絶縁膜などが形成されている。次いで、各種金属配線の一端に電極取り出し用パッド7a,7bを形成する。次いで、このパッド7a,7bを含む全面上にシリコン酸化膜又はシリコン窒化膜等からなる最終保護絶縁層(パッシベーション膜)8をCVD(Chemical Vapor Deposition)法により形成する。
【0034】
次いで、この最終保護絶縁層8の上にフォトレジスト膜(図示せず)を塗布し、このフォトレジスト膜を露光、現像することにより、最終保護絶縁層8の上にはレジストパターンが形成される。次いで、このレジストパターンをマスクとして最終保護絶縁層8をエッチングする。これにより、該最終保護絶縁層8には、電極取り出し用パッド7a,7b上に位置する開孔部が形成され、この開孔部によって該パッド7a,7bの表面が露出する。
【0035】
次に、図3(B)に示すように、最終保護絶縁層8の上に厚さが例えば数〜数十μm程度のポリイミド層9を塗布する。次いで、このポリイミド層9上にフォトレジスト膜(図示せず)を塗布し、このフォトレジスト膜を露光、現像することにより、ポリイミド層9上にはレジストパターンが形成される。次いで、このレジストパターンをマスクとしてポリイミド層9をエッチングすることにより、該ポリイミド層9には電極取り出し用パッド7a,7bの上方に位置する開孔部が形成され、この開孔部によって該パッド7a,7bの表面が露出する。尚、この工程では直かに感光性のポリイミドを用いて開孔パターンを形成し、フォトレジストの塗布、エッチングや剥離処理の簡略化を行うことも出来る。
【0036】
この後、図3(C)に示すように、開孔部内及びポリイミド層9上に高融点金属からなる密着層10をスパッタリングにより形成する。次いで、この密着層10の上にCuシード層11をスパッタリングにより形成する。次いで、Cuシード層11の上に厚さが数〜数十μm程度のCu層を選択メッキ法により成膜する。次いで、該Cu層をマスクとしてCuシード層11及び密着層10を選択エッチングすることで、ポリイミド層9の上には密着層10を介して再配線2bが形成され、再配線2bは電極取り出し用パッド7a,7bに電気的に接続される。
【0037】
次に、図3(D)に示すように、再配線2bを含む全面上にフォトレジスト膜を塗布もしくはフォトフィルムを貼り、これらを露光、現像することにより、ポリイミド層9上には再配線2bの上に位置する開孔部13a,13bを有するレジストパターン13が形成される。
【0038】
この後、図3(E)に示すように、レジストパターン13をマスクとして選択メッキにより開孔部13a,13b内の再配線2b上にCuメッキ膜からなる金属ポスト4c,4dを形成する。なお、Cuメッキ膜からなる金属ポストは厚みや寸法の制御が比較的に容易である。次いで、金属ポスト4c,4d上にメッキ法によりNiなどからなる異種金属キャップ12を形成する。次いで、レジストパターン13を剥離することにより、図2に示すような半導体装置が形成される。ここまではウエーハプロセスで作られる。
【0039】
その後、再配線、ポリイミド層9及び金属ポストを覆うようにモールド装置によりエポキシ等の封止樹脂5をモールドする。次いで、この封止樹脂5をグラインダー(図示せず)で所望量研削する。ここで、所望量とは、金属ポストの頭部(上部)が露出する程度の研削量である。次に、金属ポストの露出部分にフラックス(図示せず)を塗布した後、自動搭載機でハンダボールを必要な金属ポスト上に搭載する。次いで、金属ポスト及びハンダボールに170〜200℃程度の熱処理を行う。これにより、図1(A)に示すような金属ポスト4a〜4e上にはハンダボールが融着されて実装用外部端子6a〜6eが形成される。
【0040】
なお、実装用外部端子となるハンダボールは、径150〜300μmでPb/Sn60〜70wt%の材料からなるBGA(Ball Grid Array)用のものを使用することが好ましい。また、実装用外部端子17の大きさは用途に応じて適宜選択可能である。ハンダ組成はAg/Sn系やCuやBiを含むPbレス材料を用いることも可能である。また、実装用外部端子は、ハンダボールに限定されるものではなく、ハンダボールを搭載する代わりに、印刷法、メッキ法やメタルジェット法により形成された実装用外部端子を適用することも可能である。
【0041】
この後、矢印3a,3bに示すスクライブラインに沿ってダイシングソーやレーザーを用いて樹脂5、再配線2a〜2c及び半導体ウエーハ1を切断する。これにより、図1(B)に示すCSP型の半導体装置を作製することができる。
【0042】
上記第1の実施の形態によれば、隣り合うチップのスクライブラインを横断又は跨ぐように再配線2a〜2cを形成し、チップ領域の再配線上に金属ポスト4a〜4eを形成し、金属ポスト上に外部端子6a〜6eを配置している。このように隣り合うチップで再配線を共通化することにより、金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置することができる。従って、チップサイズを縮小することができる。特に、ディスプレイやサーマルヘッド等のドライバーLSIのように多くの出力端子を持つチップや幅の狭い長辺チップ等に対してチップの縮小化に有効に作用し、従来の半導体装置に比べて更なる小型化が可能となる。よって、半導体装置とこれを搭載する電子機器類の小型化、高密度化を図ることができる。また、LSI及びパッケージの低コスト化と歩留まりの向上を図ることができる。
【0043】
図4(A)は、本発明に係る第2の実施の形態による半導体装置を示すものであり、ウエーハレベルCSPであってダイシング工程でチップ化する前の半導体ウエーハの状態を示す断面図である。図4(B)は、図4(A)に示す半導体ウエーハをダイシング工程でチップにした断面図である。図4において図1と同一部分には同一符号を付す。
【0044】
図4(A)に示すように、半導体素子や配線等(図示せず)が形成された半導体ウエーハ(半導体基板)1の能動面には再配線2a〜2cが形成されており、再配線上には金属ポスト14a〜14cが形成されている。再配線2a〜2c及び金属ポスト14a〜14cはスクライブラインを横断又は跨ぐように配置されており、スクライブラインは矢印3a,3bに示す位置に配置されている。
【0045】
半導体ウエーハ1の能動面、再配線2a〜2c及び金属ポスト14a〜14cは封止樹脂5により被覆されている。金属ポスト14a〜14cの上面は封止樹脂5から露出している。この露出した金属ポスト14a〜14cそれぞれの上面上には必要に応じてハンダボールなどの実装用外部端子15a〜15cが形成されている。実装用外部端子15a〜15cはスクライブラインを横断又は跨ぐように配置されている。
【0046】
図4(A)に示す半導体ウエーハ状態の半導体装置において矢印3a,3bで示すスクライブラインをダイシング工程で外部端子15a〜15c、金属ポスト14a〜14c及び再配線2a,2bと共に切断することにより、図4(B)に示すようにチップ化され、一つのCSP型の半導体装置となる。前記外部端子15a,15b、前記再配線2a,2b及び前記金属ポスト14a,14bそれぞれの端部は前記切断した切断面に位置している。前記半導体装置はワイヤーレスでスタックドパッケージを形成することが可能な構成となる。
【0047】
図5は、図4(B)に示すCSP型の半導体装置を能動面側から視た平面図である。隣り合うチップのスクライブラインを横断又は跨ぐように再配線2a〜2c、金属ポスト14a〜14c及び外部端子15a〜15cを形成することにより、隣り合うチップで再配線、金属ポスト及び外部端子を共通化することができる。このため、図5に示すように金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置することができ、チップサイズを縮小することができる。
【0048】
図6は、本実施の形態によるCSP型の半導体装置を長辺チップに適用した例を示す平面図である。長辺チップにおいても、隣り合うチップで再配線、金属ポスト及び外部端子を共通化することにより、金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置することができ、チップサイズを縮小することができる。
【0049】
図7は、図4に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図であり、図2と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
再配線2bの上には金属ポスト14bが形成されており、金属ポスト14bはCu等の選択メッキにより成膜したものである。金属ポスト14bの上には必要に応じて酸化防止のための異種金属キャップ12が形成されている。金属ポスト14bは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7a,7bに電気的に接続されている。
【0050】
矢印3aで示すスクライブラインで半導体ウエーハ1を切断した後の半導体チップでは、金属ポスト14bが分割され、一方の金属ポストは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7aに電気的に接続され、他方の金属ポストは再配線2bを介して電極取り出し用パッド7bに電気的に接続されることになる。
【0051】
次に、図7に示す金属ポストを製造する方法について説明する。
図8(A),(B)は、図7に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図であり、図3と同一部分には同一符号を付す。
図3(A)〜図3(C)に示す工程を行った後、図8(A)に示すように、ポリイミド層9上には再配線2bの上に位置する開孔部13cを有するレジストパターン13が形成される。
【0052】
この後、図8(B)に示すように、レジストパターン13をマスクとして選択メッキにより開孔部13c内の再配線2b上にCuメッキ膜からなる金属ポスト14bを形成する。次いで、金属ポスト14b上にメッキ法によりNiなどからなる異種金属キャップ12を形成する。次いで、レジストパターン13を剥離することにより、図7に示すような半導体装置が形成される。ここまではウエーハプロセスで作られる。
【0053】
その後、再配線、ポリイミド層9及び金属ポストを覆うようにモールド装置によりエポキシ等の封止樹脂5をモールドする。次いで、この封止樹脂5をグラインダー(図示せず)で所望量研削する。ここで、所望量とは、金属ポストの頭部(上部)が露出する程度の研削量である。次に、金属ポストの露出部分にフラックス(図示せず)を塗布した後、自動搭載機でハンダボールを必要な金属ポスト上に搭載する。この際のハンダボールは、後に分割されるので、第1の実施の形態のハンダボールより大きいものが用いられる。次いで、金属ポスト及びハンダボールに170〜200℃程度の熱処理を行う。これにより、図4(A)に示すような金属ポスト14a〜14c上にはハンダボールが融着されて実装用外部端子15a〜15cが形成される。
【0054】
この後、矢印3a,3bに示すスクライブラインに沿ってダイシングソーやレーザーを用いて樹脂5、外部端子15a〜15c、金属ポスト14a〜14c、再配線2a〜2c及び半導体ウエーハ1を切断する。これにより、図4(B)に示すCSP型の半導体装置を作製することができる。
【0055】
上記第2の実施の形態においても第1の実施の形態と同様の効果を得ることがえきる。
尚、本発明は上記第1及び第2の実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、前述したCSP型半導体装置はメモリーやロジックなどの種々のLSIに適用することが可能である。また、チップ同士を横方向に接合したパッケージを作製することも可能である。また、各種金属配線や再配線を、シングルダマシン、デュアルだマシンなどのダマシン法を用いて形成することも可能である。また、金属ポストに代えてハンダボールなどのボールポストを用いることも可能である。また、金属ポストなしで再配線上に直接ハンダボールなどの外部端子を形成することも可能である。また、ハンダボールなどの外部端子なしで金属ポストを外部端子として用いることも可能である。
【0056】
また、上記第1及び第2の実施の形態では、金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけて配置するため、隣り合うチップで再配線を共通化しているが、再配線を共通化できない場合はダミーパターンを形成して金属ポスト及び外部端子をチップ領域の外周に近づけることも可能である。
【0057】
また、上記第1及び第2の実施の形態では、封止樹脂を研削して分割前の工程で実装用外部端子の形成を行っているが、分割後単品としてから実装用外部端子を形成することも可能である。
また、上記第1及び第2の実施の形態では、グラインダーを用いて封止樹脂を除去しているが、他の研削手段、研磨手段もしくはエッチングによって行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態による半導体装置を示す断面図。
【図2】図1に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図。
【図3】図2に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図。
【図4】第2の実施の形態による半導体装置を示す断面図。
【図5】図4(B)に示すCSP型の半導体装置を能動面側から視た平面図。
【図6】CSP型の半導体装置を長辺チップに適用した例を示す平面図。
【図7】図4に示す金属ポスト領域を部分的に拡大した断面図。
【図8】図7に示す金属ポストを製造する方法を示す断面図。
【図9】従来の半導体装置を示す平面図。
【図10】他の従来の半導体装置を示す平面図。
【符号の説明】
1…半導体ウエーハ(半導体基板)、2a〜2c…再配線、3a,3b…矢印、4a〜4e…金属ポスト、5…封止樹脂、6a〜6e…実装用外部端子、7a,7b…電極取り出し用パッド、8…最終保護絶縁層(パッシベーション膜)、9…ポリイミド層、10…密着層、11…Cuシード層、12…異種金属キャップ、13…レジストパターン、13a,13b…開孔部、14a〜14c…金属ポスト、15a〜15c…実装用外部端子、103a,103b…スクライブライン、105…封止樹脂、115…外部端子
Claims (15)
- 半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成された、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストと、
を具備する半導体装置。 - 前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの側面と前記再配線を覆うように形成された樹脂をさらに具備する請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの上に形成された外部端子をさらに具備する請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第1金属ポストは隣り合うチップ領域の一方に位置する前記配線に前記再配線を介して電気的に接続され、前記第2金属ポストは隣り合うチップ領域の他方に位置する前記配線に前記再配線を介して電気的に接続されている請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の半導体装置。
- 半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、スクライブラインに沿って切断した切断面に端部が位置する再配線と、
前記再配線上に形成され、前記切断面に近づけて配置された金属ポストと、
を具備する半導体装置。 - 半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成され、前記スクライブラインを横断するように配置された金属ポストと、
を具備する半導体装置。 - 半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、スクライブラインに沿って切断した切断面に端部が配置された再配線と、
前記再配線上に形成され、前記切断面に端部が位置する金属ポストと、
を具備する半導体装置。 - 半導体基板の上に形成された配線と、
前記配線の上に形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上に形成され、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線と、
前記再配線上に形成された、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の外部端子及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の外部端子と、
を具備する半導体装置。 - 前記パッシベーション膜と前記再配線との間に配置されたポリイミド層をさらに具備する請求項1〜8のうちのいずれか一項に記載の半導体装置。
- 半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成する工程と、
前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上にポリイミド層を形成する工程と、
前記ポリイミド層の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記隣り合うチップ領域の一方に位置する第1の金属ポスト及び前記隣り合うチップ領域の他方に位置する第2の金属ポストを形成する工程と、
前記再配線、前記ポリイミド層及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。 - 前記第2の金属ポストを形成する工程と前記ダイシング工程との間に、前記第1及び第2の金属ポストそれぞれの上に外部端子を形成する工程をさらに具備する請求項10又は11に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上にポリイミド層を形成する工程と、
前記ポリイミド層の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト、前記再配線、前記ポリイミド層及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜の上に、隣り合うチップ領域を分離しているスクライブラインを横断するように配置された再配線を形成する工程と、
前記再配線上に、前記スクライブラインを横断するように金属ポストを形成する工程と、
前記金属ポスト上に、前記スクライブラインを横断するように外部端子を形成する工程と、
前記外部端子、前記金属ポスト、前記再配線及び前記半導体基板をスクライブラインで切断するダイシング工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003059454A JP2004273592A (ja) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | 半導体装置及びその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2004273592A true JP2004273592A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=33122261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004273592A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10231344B2 (en) | 2007-05-18 | 2019-03-12 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Metallic ink |
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- 2003-03-06 JP JP2003059454A patent/JP2004273592A/ja not_active Withdrawn
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