JP2004273393A - 液体金属イオン源 - Google Patents
液体金属イオン源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004273393A JP2004273393A JP2003066360A JP2003066360A JP2004273393A JP 2004273393 A JP2004273393 A JP 2004273393A JP 2003066360 A JP2003066360 A JP 2003066360A JP 2003066360 A JP2003066360 A JP 2003066360A JP 2004273393 A JP2004273393 A JP 2004273393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- liquid metal
- ion source
- filament
- metal ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
【課題】針状体をフィラメントに固定する場合の方向精度の向上等を実現する。
【解決手段】リザーバー1にはイオン化すべき液体金属が収容されている。リザーバー1には、溶融した液体金属で表面が濡らされる針状体2が繋がっている。液体金属を加熱するためのフィラメント40の中間部に、ループ部30Lが形成されており、ループ部30Lの2箇所で針状体2が固定されている。
【選択図】 図2
【解決手段】リザーバー1にはイオン化すべき液体金属が収容されている。リザーバー1には、溶融した液体金属で表面が濡らされる針状体2が繋がっている。液体金属を加熱するためのフィラメント40の中間部に、ループ部30Lが形成されており、ループ部30Lの2箇所で針状体2が固定されている。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する分野】
本発明は、フィラメントにイオン放出用針状体を固定した構造の液体金属イオン源に関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は液体金属イオン源の1概略例を示す。
【0003】
図中1は針金を密にコイル状に巻いて有底円筒状に形成されたリザーバーで、内部に、液体金属(例えば、液状のガリウム)が収容されている。2は前記リザーバー1を成す針金の先端部を該リザーバー1の中心に沿って底部から下方に突き出させた針状体2である。
3はフィラメントで、その中間部の1箇所に、前記針状体1の側面の中間部が、直接、スポット溶接等により固定されている。該フィラメントは、絶縁性支持体4に支持された端子5を介して、加熱用電源6から加熱電流が供給されるように成っている。
【0004】
7は引き出し電極、8はカソード電極、9は前記針状体2と引出電極7の間に正の引出用高電圧を印加する引出用電源、10は前記針状体4とカソード電極8の間に正の加速用高電圧を印加する加速用電源である。
【0005】
この様な構成の液体金属イオン源において、加熱電源6からの電流が端子5を介してフィラメント3へ流れ、該フィラメントが高温状態になると、該フィラメントによる加熱(フラッシング)によりリザーバー1内のガリウムが溶融状態となり、針状体2の先端まで濡らす状態になった時に、引出用電源9から針状体2と引出電極7の間に正の引出用高電圧を印加すると、該先端部を濡らしているガリウムは強電界によってテーラーコーンと称される円錐形状となる。該円錐形状の先端部には高電界が集中するので、該先端部のガリウムが電界蒸発し、更に、イオン化してガリウムイオンとなって引き出される。該引き出されたガリウムイオンは、針状体2とカソード電極8の間に正の加速電圧が印加されているので、カソード電極8方向に加速され、イオンビームとして引き出されることになる。
【0006】
この様な液体金属イオン源は、引き出されるイオンが高輝度であり、高電流密度のイオンビームを発生することが出来ることから、マスクレスの状態でのパターン描画,エッチング,イオン注入等を微小部分毎に行う場合等に使用することが可能である。
【0007】
【特許文献】
特開平11−307003号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
さて、この様な液体金属イオン源において、前記した様に、針状体1のフィラメント3への固定は、1箇所で行われている。
【0009】
その為、針状体1の方向を高精度に保って固定することが極めて難しい。針状体を固定する時の方向精度が低いと、この針状体から放出されるイオンビームが引出電極やカソード電極の孔の中心軸からずれてしまい、この様なイオン源をパターン描画,エッチング,若しくはイオン注入等の集束イオンビーム発生源として使用した場合、精度の悪いパターン描画,エッチング,若しくはイオン注入が行われてしまう。
【0010】
又、前記1箇所での固定では、機械的に弱く、軽い衝撃でも針状体とフィラメントが離れてしまったり、何れかが破損してしまう恐れがあり、取り扱いが面倒であった。又、イオン源の長寿命化を考慮して、リザーバーに収容される液体金属の量を増加したり、或いは、リザーバー自体を大きくし、且つ、収容される液体金属の量を増やすと、針状体とフィラメントが離れてしまったり、リザーバーが落下して破損してしまう恐れがあるので、イオン源の長寿命化の妨げとなっていた。
【0011】
本発明はこの様に問題を解決するためになされたもので、新規な液体金属イオン源を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づく液体金属イオン源は、イオン化すべき材料を収容したリザーバー、該リザーバーに繋がっており、イオン化すべき材料で表面が濡らされる針状体、イオン化すべき材料を加熱するためのフィラメント、及び該針状体の先端部からイオン化すべき材料のイオンを引き出すための電界を形成するための引き出し電極を備えた液体金属イオン源であって、前記針状体が前記フィラメントの中間部の少なくとも2点で固定されていることを特徴とする。
本発明に基づく液体金属イオン源は、イオン化すべき材料を収容したリザーバー、該リザーバーに繋がっており、イオン化すべき材料で表面が濡らされる針状体、イオン化すべき材料を加熱するためのフィラメント、及び該針状体の先端部からイオン化すべき材料のイオンを引き出すための電界を形成するための引き出し電極を備えた液体金属イオン源であって、フィラメントの中間部の少なくとも2箇所で固着された固着部材を設け、針状体がこの固着部材の少なくとも1箇所で固定されていること特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0014】
図2は本発明に基づく液体金属イオン源の1概略例を表したもので、前記図1にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。
【0015】
図2に示したイオン源が図1で示したイオン源と最も異なる点は、フィラメントの構造と、針状体のフィラメントに対する固定構造にある。
【0016】
即ち、フィラメント30の中間部にループ部30Lが出来るように、フィラメント30の中間部が1箇所巻かれており、そのループ部30L中の2箇所a,bにおいて、針状体2がスポット溶接等により固定されている。
【0017】
尚、液体金属を収容し、針状体2を備えたリザーバー1、引出電極7及びカソード電極8等は真空容器(イオン銃室)(図示せず)内に設けられ、又、該真空容器には排気装置(図示せず)が設けられており、該真空容器は排気装置により高真空に排気されるように成っている。
【0018】
この様な構成の液体金属イオン源において、加熱電源6からの電流が端子5を介してフィラメント30へ流れ、該フィラメントが高温状態になると、該フィラメントによる加熱(フラッシング)によりリザーバー1内のガリウムが溶融状体になる。この溶融状態のガリウムが針状体2の先端まで濡らす状態になった時に、引出用電源9から針状体2と引出電極7の間に正の引出用高電圧を印加すると、該先端部を濡らしているガリウムは強電界によってテーラーコーンと称される円錐形状となる。該円錐形状の先端部には高電界が集中するので、該先端部のガリウムが電界蒸発し、更に、イオン化してガリウムイオンとなって引き出される。該引き出されたガリウムイオンは、針状体2とカソード電極8の間に正の加速電圧が印加されているので、カソード電極8方向に加速され、イオンビームとして引き出されることになる。
【0019】
さて、この様な液体金属イオン源において、フィラメント30の中間部にループ部30Lが形成されており、そのループ部30Lの2箇所a,bにおいて、針状体2がスポット溶接等により固定されているので、針状体1の方向を高精度に保って固定することが容易になる。又、ループ部30L中の2箇所での固定により、針状体2とフィラメント30間の機械的強度が増し、機械的衝撃や熱的衝撃による針状体及び/若しくはフィラメントの破損の恐れが極めて少なくなる。又、リザーバーに収容される液体金属の量を増加したり、或いは、リザーバー自体を大きくし、且つ、収容される液体金属の量を増やすことも可能となり、イオン源の長寿命化に繋がる。
【0020】
尚、前記図2の例において、フィラメント30のループ部の形状は、円や楕円に限定されず、三角形でも四角形でも良い。又、針状体2のループ部30Lでの固定箇所は2箇所に限定されず、3箇所でも4箇所でも良い。又、フィラメント30のループ部30Lを形成している交叉箇所cにおいて、フィラメント同士が互いに離れて交叉していても良いし、互いに固着されて交叉していても良いが、後者の方が、より、フィラメントの機械的強度が増すので、結果的に針状体の方向精度や、フィラメントと針状体間の機械的強度性が向上する。
【0021】
図3は本発明に基づく液体金属イオン源の他の概略例を表したもので、前記図1にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。
【0022】
図3に示したイオン源が図1で示したイオン源と最も異なる点は、フィラメントに対する針状体の固定構造にある。
【0023】
即ち、フィラメント40の中間部の2箇所d,eで固着される固着部材50を設け、この固着部材50の前記固着箇所d,eの中間当たりの箇所fで、針状体2の中間部の1箇所をスポット溶接等により固着する。尚、前記固着部材50は棒状形状のものでも良い。
【0024】
この様に、フィラメント40の中間部の2箇所d,eで固着される固着部材を設け、外固着部材に、針状体2の中間部の1箇所fをスポット溶接等により固定しているので、針状体1の方向を高精度に保って固定することが出来るばかりか、フィラメント40や針状体1の機械的強度が増し、機械的衝撃や熱的衝撃による針状体及び/若しくはフィラメントの破損の恐れが極めて少なくなる。又、リザーバーに収容される液体金属の量を増加したり、或いは、リザーバー自体を大きくし、且つ、収容される液体金属の量を増やすことも可能となる。
【0025】
尚、フィラメント40への固着部材50の固着箇所は2箇所に限定されず、3箇所でも4箇所でも良い。又、固着部材50への針状体2の固定は1箇所に限定されず、2箇所でも3箇所でも良い。
【0026】
尚、前記各例では、ガリウムイオンビームを発生させる液体金属イオン源を例に上げて説明したが、他の液体金属イオン源、例えば、セシウムイオンビームを発生させる液体金属イオン源にも応用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の液体金属イオン源の一概略例を示している。
【図2】本発明に基づく液体金属イオン源の1概略例を示している。
【図3】本発明に基づく液体金属イオン源の他の概略例を示している。
【符号の説明】
1…リザーバー
2…針状体
3…フィラメント
4…絶縁支持体
6…加熱電源
7…引出電極
8…カソード電極
9…引出用電源
10…加速用電源
30…フィラメント
30L…ループ部
40…フィラメント
50…固着体
【発明の属する分野】
本発明は、フィラメントにイオン放出用針状体を固定した構造の液体金属イオン源に関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は液体金属イオン源の1概略例を示す。
【0003】
図中1は針金を密にコイル状に巻いて有底円筒状に形成されたリザーバーで、内部に、液体金属(例えば、液状のガリウム)が収容されている。2は前記リザーバー1を成す針金の先端部を該リザーバー1の中心に沿って底部から下方に突き出させた針状体2である。
3はフィラメントで、その中間部の1箇所に、前記針状体1の側面の中間部が、直接、スポット溶接等により固定されている。該フィラメントは、絶縁性支持体4に支持された端子5を介して、加熱用電源6から加熱電流が供給されるように成っている。
【0004】
7は引き出し電極、8はカソード電極、9は前記針状体2と引出電極7の間に正の引出用高電圧を印加する引出用電源、10は前記針状体4とカソード電極8の間に正の加速用高電圧を印加する加速用電源である。
【0005】
この様な構成の液体金属イオン源において、加熱電源6からの電流が端子5を介してフィラメント3へ流れ、該フィラメントが高温状態になると、該フィラメントによる加熱(フラッシング)によりリザーバー1内のガリウムが溶融状態となり、針状体2の先端まで濡らす状態になった時に、引出用電源9から針状体2と引出電極7の間に正の引出用高電圧を印加すると、該先端部を濡らしているガリウムは強電界によってテーラーコーンと称される円錐形状となる。該円錐形状の先端部には高電界が集中するので、該先端部のガリウムが電界蒸発し、更に、イオン化してガリウムイオンとなって引き出される。該引き出されたガリウムイオンは、針状体2とカソード電極8の間に正の加速電圧が印加されているので、カソード電極8方向に加速され、イオンビームとして引き出されることになる。
【0006】
この様な液体金属イオン源は、引き出されるイオンが高輝度であり、高電流密度のイオンビームを発生することが出来ることから、マスクレスの状態でのパターン描画,エッチング,イオン注入等を微小部分毎に行う場合等に使用することが可能である。
【0007】
【特許文献】
特開平11−307003号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
さて、この様な液体金属イオン源において、前記した様に、針状体1のフィラメント3への固定は、1箇所で行われている。
【0009】
その為、針状体1の方向を高精度に保って固定することが極めて難しい。針状体を固定する時の方向精度が低いと、この針状体から放出されるイオンビームが引出電極やカソード電極の孔の中心軸からずれてしまい、この様なイオン源をパターン描画,エッチング,若しくはイオン注入等の集束イオンビーム発生源として使用した場合、精度の悪いパターン描画,エッチング,若しくはイオン注入が行われてしまう。
【0010】
又、前記1箇所での固定では、機械的に弱く、軽い衝撃でも針状体とフィラメントが離れてしまったり、何れかが破損してしまう恐れがあり、取り扱いが面倒であった。又、イオン源の長寿命化を考慮して、リザーバーに収容される液体金属の量を増加したり、或いは、リザーバー自体を大きくし、且つ、収容される液体金属の量を増やすと、針状体とフィラメントが離れてしまったり、リザーバーが落下して破損してしまう恐れがあるので、イオン源の長寿命化の妨げとなっていた。
【0011】
本発明はこの様に問題を解決するためになされたもので、新規な液体金属イオン源を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づく液体金属イオン源は、イオン化すべき材料を収容したリザーバー、該リザーバーに繋がっており、イオン化すべき材料で表面が濡らされる針状体、イオン化すべき材料を加熱するためのフィラメント、及び該針状体の先端部からイオン化すべき材料のイオンを引き出すための電界を形成するための引き出し電極を備えた液体金属イオン源であって、前記針状体が前記フィラメントの中間部の少なくとも2点で固定されていることを特徴とする。
本発明に基づく液体金属イオン源は、イオン化すべき材料を収容したリザーバー、該リザーバーに繋がっており、イオン化すべき材料で表面が濡らされる針状体、イオン化すべき材料を加熱するためのフィラメント、及び該針状体の先端部からイオン化すべき材料のイオンを引き出すための電界を形成するための引き出し電極を備えた液体金属イオン源であって、フィラメントの中間部の少なくとも2箇所で固着された固着部材を設け、針状体がこの固着部材の少なくとも1箇所で固定されていること特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0014】
図2は本発明に基づく液体金属イオン源の1概略例を表したもので、前記図1にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。
【0015】
図2に示したイオン源が図1で示したイオン源と最も異なる点は、フィラメントの構造と、針状体のフィラメントに対する固定構造にある。
【0016】
即ち、フィラメント30の中間部にループ部30Lが出来るように、フィラメント30の中間部が1箇所巻かれており、そのループ部30L中の2箇所a,bにおいて、針状体2がスポット溶接等により固定されている。
【0017】
尚、液体金属を収容し、針状体2を備えたリザーバー1、引出電極7及びカソード電極8等は真空容器(イオン銃室)(図示せず)内に設けられ、又、該真空容器には排気装置(図示せず)が設けられており、該真空容器は排気装置により高真空に排気されるように成っている。
【0018】
この様な構成の液体金属イオン源において、加熱電源6からの電流が端子5を介してフィラメント30へ流れ、該フィラメントが高温状態になると、該フィラメントによる加熱(フラッシング)によりリザーバー1内のガリウムが溶融状体になる。この溶融状態のガリウムが針状体2の先端まで濡らす状態になった時に、引出用電源9から針状体2と引出電極7の間に正の引出用高電圧を印加すると、該先端部を濡らしているガリウムは強電界によってテーラーコーンと称される円錐形状となる。該円錐形状の先端部には高電界が集中するので、該先端部のガリウムが電界蒸発し、更に、イオン化してガリウムイオンとなって引き出される。該引き出されたガリウムイオンは、針状体2とカソード電極8の間に正の加速電圧が印加されているので、カソード電極8方向に加速され、イオンビームとして引き出されることになる。
【0019】
さて、この様な液体金属イオン源において、フィラメント30の中間部にループ部30Lが形成されており、そのループ部30Lの2箇所a,bにおいて、針状体2がスポット溶接等により固定されているので、針状体1の方向を高精度に保って固定することが容易になる。又、ループ部30L中の2箇所での固定により、針状体2とフィラメント30間の機械的強度が増し、機械的衝撃や熱的衝撃による針状体及び/若しくはフィラメントの破損の恐れが極めて少なくなる。又、リザーバーに収容される液体金属の量を増加したり、或いは、リザーバー自体を大きくし、且つ、収容される液体金属の量を増やすことも可能となり、イオン源の長寿命化に繋がる。
【0020】
尚、前記図2の例において、フィラメント30のループ部の形状は、円や楕円に限定されず、三角形でも四角形でも良い。又、針状体2のループ部30Lでの固定箇所は2箇所に限定されず、3箇所でも4箇所でも良い。又、フィラメント30のループ部30Lを形成している交叉箇所cにおいて、フィラメント同士が互いに離れて交叉していても良いし、互いに固着されて交叉していても良いが、後者の方が、より、フィラメントの機械的強度が増すので、結果的に針状体の方向精度や、フィラメントと針状体間の機械的強度性が向上する。
【0021】
図3は本発明に基づく液体金属イオン源の他の概略例を表したもので、前記図1にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。
【0022】
図3に示したイオン源が図1で示したイオン源と最も異なる点は、フィラメントに対する針状体の固定構造にある。
【0023】
即ち、フィラメント40の中間部の2箇所d,eで固着される固着部材50を設け、この固着部材50の前記固着箇所d,eの中間当たりの箇所fで、針状体2の中間部の1箇所をスポット溶接等により固着する。尚、前記固着部材50は棒状形状のものでも良い。
【0024】
この様に、フィラメント40の中間部の2箇所d,eで固着される固着部材を設け、外固着部材に、針状体2の中間部の1箇所fをスポット溶接等により固定しているので、針状体1の方向を高精度に保って固定することが出来るばかりか、フィラメント40や針状体1の機械的強度が増し、機械的衝撃や熱的衝撃による針状体及び/若しくはフィラメントの破損の恐れが極めて少なくなる。又、リザーバーに収容される液体金属の量を増加したり、或いは、リザーバー自体を大きくし、且つ、収容される液体金属の量を増やすことも可能となる。
【0025】
尚、フィラメント40への固着部材50の固着箇所は2箇所に限定されず、3箇所でも4箇所でも良い。又、固着部材50への針状体2の固定は1箇所に限定されず、2箇所でも3箇所でも良い。
【0026】
尚、前記各例では、ガリウムイオンビームを発生させる液体金属イオン源を例に上げて説明したが、他の液体金属イオン源、例えば、セシウムイオンビームを発生させる液体金属イオン源にも応用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の液体金属イオン源の一概略例を示している。
【図2】本発明に基づく液体金属イオン源の1概略例を示している。
【図3】本発明に基づく液体金属イオン源の他の概略例を示している。
【符号の説明】
1…リザーバー
2…針状体
3…フィラメント
4…絶縁支持体
6…加熱電源
7…引出電極
8…カソード電極
9…引出用電源
10…加速用電源
30…フィラメント
30L…ループ部
40…フィラメント
50…固着体
Claims (5)
- イオン化すべき材料を収容したリザーバー、該リザーバーに繋がっており、イオン化すべき材料で表面が濡らされる針状体、イオン化すべき材料を加熱するためのフィラメント、及び該針状体の先端部からイオン化すべき材料のイオンを引き出すための電界を形成するための引き出し電極を備えた液体金属イオン源であって、前記針状体が前記フィラメントの中間部の少なくとも2点で固定されていることを特徴とする液体金属イオン源。
- 前記フィラメントはループが出来るように中間部で交叉しており、前記針状体はそのループ部の少なくとも2点で固定されている請求項1記載の液体金属イオン源。
- 交叉部同士が互いに固着されている請求項2記載の液体金属イオン源。
- イオン化すべき材料を収容したリザーバー、該リザーバーに繋がっており、イオン化すべき材料で表面が濡らされる針状体、イオン化すべき材料を加熱するためのフィラメント、及び該針状体の先端部からイオン化すべき材料のイオンを引き出すための電界を形成するための引き出し電極を備えた液体金属イオン源であって、フィラメントの中間部の少なくとも2箇所で固着された固着部材を設け、針状体がこの固着部材の少なくとも1箇所で固定されていることを特徴とする液体金属イオン源。
- 前記固着部材は板状又は棒状である請求項4記載の液体金属イオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003066360A JP2004273393A (ja) | 2003-03-12 | 2003-03-12 | 液体金属イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003066360A JP2004273393A (ja) | 2003-03-12 | 2003-03-12 | 液体金属イオン源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004273393A true JP2004273393A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=33127097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003066360A Withdrawn JP2004273393A (ja) | 2003-03-12 | 2003-03-12 | 液体金属イオン源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004273393A (ja) |
-
2003
- 2003-03-12 JP JP2003066360A patent/JP2004273393A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20150187538A1 (en) | X-ray tube having magnetic quadrupoles for focusing and collocated steering coils for steering | |
JP2007087676A (ja) | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム装置 | |
JPS5838906B2 (ja) | 金属イオン源 | |
JP2010533350A (ja) | マイクロメーターサイズのイオンエミッター源 | |
EP2978008B1 (en) | Filament for mass spectrometric electron impact ion source | |
WO2015058588A1 (zh) | 针状带电粒子束发射体及制作方法 | |
JP3440448B2 (ja) | 熱電界放射型電子銃 | |
JP2004273393A (ja) | 液体金属イオン源 | |
US20090060142A1 (en) | X-Ray Tube with Enhanced Small Spot Cathode and Methods for Manufacture Thereof | |
JPS62259332A (ja) | イオン発生装置 | |
JP2770249B2 (ja) | 真空計 | |
WO2011033989A1 (ja) | 電子源、電子源の製造方法及び電子放出方法 | |
JPH0654643B2 (ja) | 電界放射型電子銃用レンズ | |
JP3389967B2 (ja) | 液体金属イオン源装置 | |
JPH0684452A (ja) | 熱電界放射陰極 | |
JPH1064438A (ja) | 液体金属イオン源 | |
JPS5842149A (ja) | セシウムイオン源 | |
JP2610281B2 (ja) | デュオプラズマトロンイオン源 | |
JP4073158B2 (ja) | 電子ビーム装置 | |
JPS58137943A (ja) | イオン源 | |
JP6834536B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP2006031976A (ja) | 電界放射電子源およびこれを用いた電子銃 | |
JP2003132810A (ja) | 液体金属イオン源 | |
JPS58137940A (ja) | イオン源 | |
JPS58225537A (ja) | イオン源装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |