JP2004272299A - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アクティブ素子の薄膜トランジスタ(TFT)が形成されたTFT基板1と、各画素に共通する電極が形成された対向基板2と、該基板間に充填して形成された液晶層115とを備えた液晶表示装置において、TFT基板1が、透明基板100と、その上に順次形成された下部遮光膜101、下地膜102、TFT、第1層間絶縁膜107、配線金属膜108、第2層間絶縁膜109、第3層間絶縁膜111、平坦化膜112、透明電極膜113、配向膜114とを備えて構成され、対向基板2が、透明基板118と、その上に順次形成された透明電極117および配向膜116とを備えて構成され、平坦化膜112が波長300nm以上の光を吸収しない透明のアクリル樹脂から構成される。
【選択図】 図1
Description
2,4 対向基板
100,118,600,618 透明基板
101,601 下部遮光膜
102,602 下地膜
103,603 ドレイン領域
104,604 ソース領域
105,605 ゲート絶縁膜
106,606 ゲート電極
107,607 第1層間絶縁膜
108,608 配線金属膜
109,609 第2層間絶縁膜
110,610 上部遮光膜
111,611 第3層間絶縁膜
112 平坦化膜
113,117,613,617 透明電極
114,116,614,616 配向膜
115,615 液晶層
119,619 ポリシリコン膜
Claims (16)
- アクティブ素子の薄膜トランジスタ(TFT)が形成されたTFT基板と、各画素に共通する電極が形成された対向基板と、それらの基板の間に充填して形成された液晶層とを備え、前記TFT基板が、第1の透明基板と、その上に順次形成された第1の遮光膜、下地膜、TFT、第1層間絶縁膜、配線金属膜、第2層間絶縁膜、第3層間絶縁膜、平坦化膜、第1の透明電極膜、第1の配向膜とを備え、前記対向基板が、第2の透明基板と、その上に順次形成された第2の透明電極および第2の配向膜とを備え、前記平坦化膜が波長300nm以上の光を吸収する感光基を有しないアクリル樹脂から構成されることを特徴とする液晶表示装置。
- 前記TFT基板が前記第2層間膜と前記第3層間絶縁膜の間に第2の遮光膜を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- アクティブ素子の薄膜トランジスタ(TFT)が形成されたTFT基板と、各画素に共通する電極が形成された対向基板と、それらの基板の間に充填して形成された液晶層とを備えた液晶表示装置の製造方法であって、前記TFT基板が、第1の透明基板上に第1の遮光膜、下地膜、TFT、第1層間絶縁膜、配線金属膜、第2層間絶縁膜、第3層間絶縁膜、平坦化膜、第1の透明電極膜、第1の配向膜とを順次形成して作製され、前記対向基板が、第2の透明基板上に第2の透明電極および第2の配向膜とを順次形成して作製され、前記平坦化膜が波長300nm以上の光を吸収する感光基を有しないアクリル樹脂から作製されることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
- 前記アクリル樹脂が、下記式(2)で表わされる繰り返し単位を有する重合体と加熱により酸を発生せしめる熱潜在性触媒とを有機溶媒に溶解してなる溶液を前記第3の層間膜表面に塗布して熱重合することにより形成されることを特徴とする請求項7記載の液晶表示装置の製造方法。
(ただし、R1 、R4 、R6 は水素原子およびメチル基のいずれか一方、R2は橋かけ環式炭化水素基を有するアルキレン基、R3は水素原子およびアルキル基のいずれか一方を表わし、R5はエポキシ基を有するアルキル基、R7は水素原子およびアルキル基のいずれか一方を表わし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1であり、重合体の重合平均分子量は500〜500,000である。) - 前記アクリル樹脂が、下記式(2)で表わされる繰り返し単位を有する重合体と、加熱により酸を発生せしめる熱潜在性触媒である2−オキソシクロヘキシルメチル(2−ノルボルニル)スルホニウムトリフレートおよびシクロヘキシルメチル(2−オキソシクロヘキシル)スルホニウムトリフレートから選ばれた一つとを有機溶媒に溶解してなる溶液を前記第3の層間絶縁膜表面に塗布して熱重合することにより形成されることを特徴とする請求項7記載の液晶表示装置の製造方法。
(ただし、R1 、R4 、R6 は水素原子およびメチル基のいずれか一方、R2は橋かけ環式炭化水素基を有するアルキレン基、R3は水素原子およびアルキル基のいずれか一方を表わし、R5はエポキシ基を有するアルキル基、R7は水素原子およびアルキル基のいずれか一方を表わし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1であり、重合体の重合平均分子量は500〜500,000である。) - 前記第2層間膜と前記第3層間絶縁膜の間に第2の遮光膜が形成され、前記透明樹脂とてアクリル樹脂を使用することを特徴する請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
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