JP2004271618A - 光ファイバアレイの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、光ファイバ2を固定用部材4に固定し、光ファイバ2の一端部にフェムト秒パルスレーザを集光照射して屈折率増加領域8bを形成した後に、屈折率増加領域8bが形成された光ファイバ2の一端部の端面を傾斜面とする。光ファイバ2の上方に矩形状の押さえ部材1を設け、また光ファイバ2の上方よりフェムト秒パルスレーザを集光照射することが好ましい。更に、固定用部材4が複数のV溝を有するV溝基板であることが好ましい。
【選択図】 図5
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光接合部付近の光ファイバコアに屈折率増加領域を形成して、モード変換部などを有する光ファイバアレイを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバアレイは、複数の光ファイバを基板上に正確なピッチで整列配置したものであり、半導体レーザや光導波路部品との光接合部として適用されている。
【0003】
図6は、光ファイバアレイの概略斜視図を示す。光ファイバアレイは、高精度なV溝加工が施された固定用部材24、光ファイバテープ心線25から引き出されV溝上に整列配置された裸光ファイバ22、裸光ファイバ22を押さえる押さえ部材21、隙間に充填された接着剤23から構成されている。
光ファイバアレイを製造する際は、まず固定用部材24上に裸光ファイバ22を配列し、上部から押さえ部材21で押圧し、隙間に接着剤23を充填し硬化させて接着一体化するものである。接着後、接続端面は例えば8°の角度となるように斜めに研磨される。
【0004】
図7は、図6における線分D−D’と線分E−E’で囲まれた部分の断面図を示す。このような光ファイバアレイにおいて、線分D−D’側の端面が、他の光導波路部品などと接続する際の接続端面となる。この線分D−D’側の端面は、押さえ部材21の上面の垂直方向に対して、約8°程度の傾斜角αをもった傾斜面になっており、信号光の一部が、裸光ファイバ22の端面で反射されて送信側に伝搬することを防止するようになっている。
【0005】
近年、コアを高屈折率化することにより、小型化・高集積化した光導波路部品が広く利用されている。このような光導波路部品と、通常広く利用されている単一モードファイバとでは、比屈折率差、コア径が異なるため、モードフィールド径が異なってしまう。このため、光ファイバを光導波路部品に接続した場合、モードフィールド径の差によって接続損失が生じる。
【0006】
従って、このモードフィールド径の差によって生じる不具合を抑えるためには、光ファイバの接合部分にモード変換部を形成する必要がある。
モード変換部とは、接続部でのモードフィールド径が、接続する光導波路部品のものと同等となるように、コア・クラッド間の比屈折率差、コア径が調整され、更にこの比屈折率差、コア径が光の伝搬方向に徐々に変化し、光ファイバの値となるように形成されたものである。これにより光導波路部品に接続するとき、モードフィールド径の差によって生じる接続損失を低減することができる。
【0007】
例えば、ガラスなどの透明材料の内部にフェムト秒パルスレーザを集光照射することにより、屈折率増加領域を形成する方法が開示されている(特許文献1参照。)。
この方法を利用して、光導波路部品のコアの一端からフェムト秒パルスレーザを入射させて、一方端側の屈折率が高く、この一方端側からコアの光の伝搬方向に沿って徐々に屈折率が減少してコアの屈折率となるような屈折率勾配を形成し、モード変換部とする光導波路部品の製造方法が提案されている(特許文献2参照。)。
また、コアの側方よりフェムト秒パルスレーザを集光照射し、モード変換部を形成する光導波路部品の製造方法も提案されている(特願2002−247404号参照。)。
【0008】
しかしながら、図6,7に示された光ファイバアレイに対して、前記した特許文献1,2や特願2002−247404号で提案された方法を用いてモード変換部などを形成する場合、以下に示すように、裸光ファイバ22に対して所望の屈折率増加領域を形成できない問題がある。
【0009】
図8(a)は、光ファイバの端面が、フェムト秒パルスレーザの入射側と反対側に面した場合であって、対物レンズを用いて、この端面にフェムト秒パルスレーザを集光照射した状態を示す。このような場合、誤って、フェムト秒パルスレーザの集光点33を光ファイバの端面34aの表面に近接しすぎると、アブレーションが発生し、この光ファイバの端面34aの表面近傍のガラスが吹き飛び、窪みができてしまい、接続損失が増大することとなる。
【0010】
図8(b)は、光ファイバの端面が、フェムト秒パルスレーザの入射側に面した場合であって、この光ファイバにフェムト秒パルスレーザを集光照射した状態を示す。フェムト秒パルスレーザ42bは、図8(b)(ii)で示されたように、光ファイバ44内を透過するとき、この光ファイバ44内で屈折される。このため、通常、フェムト秒パルスレーザ42bを集光照射するとき、この光ファイバ44による屈折の影響を考慮して、フェムト秒パルスレーザの集光点43bの深さ方向の位置を調整する。
【0011】
図8(b)(i)は、フェムト秒パルスレーザの集光点43aが、光ファイバの端面44a近傍にフェムト秒パルスレーザ42aを集光照射した状態を示す。このときフェムト秒パルスレーザ42aは、光ファイバ44内を透過しないため、光ファイバ44によって屈折されず、その集光点43aの深さ方向の位置が変化してしまう。
このようにフェムト秒パルスレーザの集光点43aを走査する際、その集光点43aの深さ方向の位置が変動するため、屈折率増加領域が光ファイバ44のコアの中心からずれた位置に形成されたり、また図8(b)(i)のように、フェムト秒パルスレーザ42aが、光ファイバ44内に集光されず、光ファイバ44のコアに屈折率増加領域が形成できないなどの問題が生じる。
【0012】
この上記した問題点を解決するために、フェムト秒パルスレーザの集光点43a、43bの深さ方向の位置を調整しながら、その集光点43a,43bを走査する方法もあるが、光ファイバの接続端面44aの表面状態や傾斜角度から、集光点43a,43bの深さ方向の位置の変動量を推定することは難しく、精度良く集光点43a,43bの深さ方向に位置を調整できていないのが現状である。
そのため、光ファイバ44内部から一端面まで連続的に加工できないか、あるいは端面44a部分にアブレーションを生じさせてしまう結果になる。
【0013】
【特許文献1】
特開平9−311237号公報
【特許文献2】
特開2002−182045号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
従って本発明の目的は、上記した事情に鑑みなされたものである。すなわち低損失で光結合できるモード変換部などの屈折率増加領域を精度良く、かつ容易に形成できる光ファイバアレイの製造方法を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため、請求項1にかかる発明は、光ファイバを固定用部材に固定し、該光ファイバの一端部にフェムト秒パルスレーザを集光照射して、屈折率増加領域を形成した後に、該屈折率増加領域が形成された光ファイバの一端部の端面を傾斜面とすることを特徴とする光ファイバアレイの製造方法である。
【0016】
請求項2にかかる発明は、光ファイバの一端部にフェムト秒パルスレーザを集光照射して、屈折率増加領域を形成した後に、前記光ファイバを固定用部材に固定し、前記屈折率増加領域が形成された光ファイバの一端部の端面を傾斜面とすることを特徴とする光ファイバアレイの製造方法である。
【0017】
請求項3にかかる発明は、光ファイバの上方に矩形状の押さえ部材を設けて、前記光ファイバを固定用部材に固定することを特徴とする請求項1又は2に記載の光ファイバアレイの製造方法である。
【0018】
請求項4にかかる発明は、光ファイバの上方よりフェムト秒パルスレーザを集光照射し、屈折率増加領域を形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光ファイバアレイの製造方法である。
【0019】
請求項5にかかる発明は、前記固定用部材が、複数のV溝を有するV溝基板であり、該V溝の各々に光ファイバを固定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光ファイバアレイの製造方法である。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。本実施形態の光ファイバアレイの製造方法は、まず、固定用部材に裸光ファイバを固定し、この裸光ファイバの一端部に、屈折率増加領域を形成する。
図1は、光ファイバが固定用部材に固定された状態の光ファイバアレイの斜視図を示す。符号4は固定用部材であり、この固定用部材4は、少し厚めの前部と、それよりやや薄めの後部が一体となった矩形状の石英ガラスからなり、上面に複数のV溝を有するものである。このV溝には、光ファイバテープ心線5,5より引き出された裸光ファイバ2が収容されて、光学接着剤3によって固定されている。
【0021】
また、裸光ファイバ2の上方には、矩形状の石英ガラスからなる押さえ部材1が設けられており、裸光ファイバ2と、この押さえ部材1とは、光学接着剤3によって固定されている。この裸光ファイバ2は、V溝によって平行で等間隔に配列され、またV溝と押さえ部材1とによって固定されている。
ここで、光ファイバテープ心線5は、裸光ファイバ2が被覆樹脂6で被覆されたものであり、また、裸光ファイバ2は、コア8とクラッド7からなる石英系光ファイバである。
【0022】
図2は、図1における線分A−A’と線分B−B’で囲まれた部分の断面図を示す。裸光ファイバ2を固定用部材4に固定する方法としては、少し厚めの前部とそれよりやや薄めの後部が一体となっており、この前部に所望の間隔でV溝が設けられた矩形状の固定用部材4を用意し、この固定用部材4の各V溝に裸光ファイバ2を配置し、肉厚部分とそれより薄い部分との段差に、テープ心線5の先端部分を押し付けるように配置する。更に、裸光ファイバ2の上方に押さえ部材1を設け、隙間に光学接着剤3を充填して接着する。
【0023】
図3は、本実施形態の光導波路部品の製造方法において使用される製造装置の一例を示す概略構成図である。符号11は、チタンサファイアレーザなどを用いたレーザ装置を示す。本実施形態では、このレーザ装置11を制御し、中心波長800nm,パルス幅200fs,繰り返し周波数200kHzのフェムト秒パルスレーザ13が出射されるようになっている。
また、このレーザ装置11のレーザ出射口と対向するように、NDフィルタ12が設置されており、レーザ装置11から出射されたフェムト秒パルスレーザ13の平均出力を調整できるようになっている。
【0024】
NDフィルタ12を透過したフェムト秒パルスレーザ13の経路上には、ミラー14が設置されており、フェムト秒パルスレーザ13の進行経路を調整できるようになっている。また、対物レンズ16は、ミラー14にて進行経路が調整されたフェムト秒パルスレーザ13を集光するものである。
【0025】
このミラー14の後方には、CCDカメラ15などが設置され、位置合わせ用のマーキング(図示省略)を観察したり、フェムト秒パルスレーザの集光点17付近で発生する発光中に含まれる可視光をモニタできるようになっている。
固定用部材4に裸光ファイバ2が固定された状態の光ファイバアレイ10は、XYZステージ18に固定されている。このXYZステージ18をX,Y,Z方向の任意方向に動かすことにより、この集光点17を光ファイバ内部で精密に移動できるようになっている。
【0026】
この光導波路部品の製造装置では、レーザ装置11から出射されたフェムト秒パルスレーザ13は、NDフィルタ12を透過し、ミラー14にて反射され、更に対物レンズ16にて集光され、光ファイバアレイ10の裸光ファイバ2のコア8内部に照射される。
【0027】
フェムト秒パルスレーザ13をコア8内部の所望の位置に集光照射する方法としては、特願2002−81927号のように、押さえ部材1上面にフェムト秒パルスレーザ13を集光照射してアブレーション跡を発生させ、このアブレーション跡を基準位置とする。そして、押さえ部材1や裸光ファイバ2内部におけるフェムト秒パルスレーザ13の屈折の影響により、実際の集光点17の深さが変動することを考慮し、集光点17の深さ方向の位置を調整して、裸光ファイバ2内部の所望の深さにフェムト秒パルスレーザ13を集光照射する。
【0028】
そして、特願2002−247404号に記載されたようにして、裸光ファイバ2のコア8に屈折率増加領域を形成する。まず、裸光ファイバの端面8aの位置を確認し、フェムト秒パルスレーザの集光点17がくるようにする。
【0029】
次にレーザ装置11を固定した状態で、XYZステージ18を光ファイバの長手方向に沿って一定の加速度で駆動することにより、集光点17をファイバコア8内部で、相対的に移動させ、裸光ファイバの端面8aから内部に向かって屈折率増加領域を形成していく。
図4は、フェムト秒パルスレーザ13が照射された部分の屈折率増加量と、XYZステージ18の走査速度との関係の一例を示す。XYZステージ18の走査速度が速いほど、単位面積あたりのフェムト秒パルスレーザ13の照射回数が減少するため、誘起される屈折率変化量が小さくなることがわかる。従って、一定の加速度でXYZステージ18を走査すると、裸光ファイバの端面8aから内部に向かって、比屈折率差が徐々に低減し、コア8の比屈折率差に十分近くなる。
実際には、後の研磨工程により、取り除かれる部分もあることを考慮して、はじめは加速度0、すなわち一定の走査速度でXYZステージ18を移動させて、比屈折率差が一定の領域を所望の長さだけ形成しておき、途中から加速度を変化させることによって、連続的に比屈折率差が変化する領域を形成する。
【0030】
図5は、光ファイバのコアに屈折率増加領域が形成された光ファイバアレイにおいて、その端面を傾斜面とした状態を示す断面図である。符号8bは、形成された屈折率増加領域を示す。
上記したように、この屈折率増加領域8bを、端面8a近傍のコア8である裸光ファイバ2の一端部に形成した後、この裸光ファイバの端面8aと共に、押さえ部材1と固定用部材4の側面も研磨する。そして図5中、線分C−C’に示されたように、押さえ部材1の上面の垂直方向に対して約8°程度の傾斜角をもった傾斜面とする。
【0031】
本実施形態では、裸光ファイバ2の一端部のコア8にフェムト秒パルスレーザ13を集光照射して、屈折率増加領域8bを形成した後に、この屈折率増加領域8bが形成された裸光ファイバの端面8aを傾斜面とする。このため、フェムト秒パルスレーザ13を集光照射する際、裸光ファイバの端面8aは、傾斜面ではなく、裸光ファイバ2の側面に対して垂直な面とすることができる。
【0032】
これにより、従来の技術で述べたように、端面8aが傾斜面である裸光ファイバ2に屈折率増加領域8bを形成する場合のように、フェムト秒パルスレーザの集光点17を裸光ファイバの端面8a付近から走査する際、集光点17の深さ方向の位置が変化することがなく、本実施形態では、所望の屈折率増加領域8bが形成でき、光の接続損失を低減できる。
【0033】
また、裸光ファイバ2の上方に、矩形状の押さえ部材1を設けて、この押さえ部材1側からフェムト秒パルスレーザ13を集光照射する。このため、円筒状の裸光ファイバ2の側面に、直接フェムト秒パルスレーザ13を集光照射する場合に比べて、押さえ部材1の上面は平面であり、照射の目標位置を決定しやすく、作業性に優れる。
更に、押さえ部材1を介して、フェムト秒パルスレーザ13を集光照射するため、裸光ファイバ2の側面の表面にアブレーション跡が残ることがない。このため、アブレーション形成による強度劣化を抑えることができる。
【0034】
なお、本発明の技術範囲は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、フェムト秒パルスレーザ13をコア8内部の所望の位置に集光照射する方法としては、特願2002−54455号のように、CCDカメラ15により、フェムト秒パルスレーザ13の集光照射によってコア8内部に発生する発光をモニタし、この発光がコア8内部の光の伝搬方向に最大の光量で導波されるようにして集光照射位置を決めることもできる。
【0035】
また、集光点17は、複数回走査しても構わない。フェムト秒パルスレーザ13を集光照射したコア8に、再度フェムト秒パルスレーザ13を集光照射することによって、コア8に再び屈折率変化を誘起させることが可能である。走査回数を増やすことによって、コア8の屈折率を増加させることができる。このため所望の回数走査することで、コア8の屈折率を所望の値として、屈折率増加領域8bを形成できる。
【0036】
屈折率増加領域8bは、前述したもの以外に、例えば光ファイバグレーティングのように一定の周期で屈折率変調を与えたものであっても構わない。更に、屈折率増加領域はコア8だけでなく、クラッド7に設けても構わない。
【0037】
また、裸光ファイバ2の一端部に、フェムト秒パルスレーザ13を集光照射して、屈折率増加領域8bを形成した後に、裸光ファイバ2を固定用部材4に固定しても構わない。
【0038】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、請求項1及び2に係る発明によれば、光ファイバの一端部に、フェムト秒パルスレーザを集光照射して、屈折率増加領域を形成した後に、この屈折率増加領域が形成された光ファイバの端面を傾斜面とする。このため、フェムト秒パルスレーザを集光照射する際、光ファイバの端面は、傾斜面ではなく、その側面に対して垂直な面とすることができる。
これにより、フェムト秒パルスレーザの集光点を光ファイバの端面付近から走査する際、集光点の深さ方向の位置が変化することがなく、所望の屈折率増加領域が形成でき、光の接続損失を低減できる。
【0039】
また請求項3に係る発明では、直接、円筒状の光ファイバの側面にフェムト秒パルスレーザを集光照射する場合に比べて、押さえ部材の上面は平面であり、照射の目標位置を決定しやすく、優れた作業性で光導波路部品を製造できる。
更に、押さえ部材を介して、フェムト秒パルスレーザを集光照射するため、光ファイバの側面の表面にアブレーション跡が残ることが無い。このため、アブレーション形成による強度劣化を抑えることができる。
【0040】
また、請求項4に係る発明では、例えば、光ファイバの端面のみからフェムト秒パルスレーザを集光照射する場合のように、光ファイバの端面の表面にアブレーション跡が残ることが無く、他の光導波路部品との接続面となる端面での接続損失を低減できる。
【0041】
更に、請求項5に係る発明では、固定用部材が、複数のV溝を有するV溝基板であり、このV溝の各々に光ファイバを固定するようになっており、光ファイバを所望の間隔で、所望の位置に容易に配列させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】屈折率増加領域を形成する前の光ファイバアレイの一例を示す概略斜視図である。
【図2】図1における線分A−A’と線分B−B’で囲まれた部分を示す概略断面図である。
【図3】本実施形態の光導波路部品の製造方法において使用される製造装置の一例を示す概略構成図である。
【図4】フェムト秒パルスレーザが照射された部分の屈折率増加量と、XYZステージの走査速度との関係の一例を示す図である。
【図5】屈折率増加領域が形成された一端部の端面を傾斜面とした光ファイバアレイを示す概略断面図である。
【図6】光ファイバアレイを示す概略斜視図である。
【図7】図6における線分D−D’と線分E−E’で囲まれた部分を示す概略断面図である。
【図8】光ファイバの接続端面にフェムト秒パルスレーザ32を集光照射した状態を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1・・・押さえ部材、2・・・光ファイバ、4・・・固定用部材、8a・・・光ファイバの端面、8b・・・モード変換部となる屈折率増加領域、13・・・フェムト秒パルスレーザ
Claims (5)
- 光ファイバを固定用部材に固定し、該光ファイバの一端部にフェムト秒パルスレーザを集光照射して、屈折率増加領域を形成した後に、
該屈折率増加領域が形成された光ファイバの一端部の端面を傾斜面とすることを特徴とする光ファイバアレイの製造方法。 - 光ファイバの一端部にフェムト秒パルスレーザを集光照射して、屈折率増加領域を形成した後に、前記光ファイバを固定用部材に固定し、
前記屈折率増加領域が形成された光ファイバの一端部の端面を傾斜面とすることを特徴とする光ファイバアレイの製造方法。 - 光ファイバの上方に矩形状の押さえ部材を設けて、前記光ファイバを固定用部材に固定することを特徴とする請求項1又は2に記載の光ファイバアレイの製造方法。
- 光ファイバの上方よりフェムト秒パルスレーザを集光照射し、屈折率増加領域を形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光ファイバアレイの製造方法。
- 前記固定用部材が、複数のV溝を有するV溝基板であり、
該V溝の各々に光ファイバを固定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光ファイバアレイの製造方法。
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