JP2004269633A - 真空紫外線接着装置 - Google Patents
真空紫外線接着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004269633A JP2004269633A JP2003060570A JP2003060570A JP2004269633A JP 2004269633 A JP2004269633 A JP 2004269633A JP 2003060570 A JP2003060570 A JP 2003060570A JP 2003060570 A JP2003060570 A JP 2003060570A JP 2004269633 A JP2004269633 A JP 2004269633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum ultraviolet
- light source
- ultraviolet light
- bonding apparatus
- irradiation chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
【課題】本発明は、２００ ｎｍ〜５０ｎｍの範囲にある短波長の紫外線による高効率、経済的で最適な真空紫外線接着装置を提供するものである。
【解決手段】本発明による真空紫外線接着装置は、被接着物質の接着面に原料アルコキシドを付着するとともにこの接着面に真空紫外線を照射して接着する装置において、真空紫外線を発生する光源を有する真空紫外線光源部と、真空紫外線に対し透明な２つの被接着物質に真空紫外線を照射する照射室を備え、真空紫外線光源部及び照射室の空気を強制的に排気する排気装置を設けることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室を真空にすることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部と照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする。
【選択図】 図８
【解決手段】本発明による真空紫外線接着装置は、被接着物質の接着面に原料アルコキシドを付着するとともにこの接着面に真空紫外線を照射して接着する装置において、真空紫外線を発生する光源を有する真空紫外線光源部と、真空紫外線に対し透明な２つの被接着物質に真空紫外線を照射する照射室を備え、真空紫外線光源部及び照射室の空気を強制的に排気する排気装置を設けることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室を真空にすることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部と照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする。
【選択図】 図８
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空紫外線（本明細書においては２００ ｎｍ〜５０ｎｍの範囲の短波長の紫外線をいう。）に対し少なくとも一方が透明な２つの物質の接着面に付着させた原料アルコキシドに真空紫外線を照射することにより、室温で２つの物質を接着可能な真空紫外線接着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の紫外線硬化及び接着に用いられる紫外線は３５０ ｎｍ より長波長の紫外線に限られていた。従って、３５０ ｎｍ より長波長の紫外線を発生する光源を有する接着装置により当該接着が実施されていた。
ところが、ごく最近アルコキシドを接着剤とし３５０ ｎｍ より短波長の紫外線を接着部に照射することにより、少なくとも一方が３５０ ｎｍ より短波長の紫外線に透明な２つの物質を接着させる方法を本発明者が発明した（例えば、特許文献１参照。）。
上記特許文献１記載の発明は、単に、キセノンエキシマランプ光（スペクトルは１５５ｎｍ〜２００ｎｍ）を接着部に照射するというものであり、２００ ｎｍ より短波長の紫外線による高効率で、経済的な最適な接着を具現するための問題点を解明し、解決するものではなかった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２８２３３９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１記載の発明に関し、２００ ｎｍ より短波長の紫外線による高効率で、経済的な最適な真空紫外線接着装置を具現化するためには、以下の問題点があった。
（１）真空紫外線は空気中の酸素分子に強く吸収される。因みに、波長が１８５ ｎｍの真空紫外線は約２０〜３０ ｍｍの空気層でほとんど吸収される。１７２ ｎｍ の真空紫外線では約５ ｍｍ でほとんど吸収される。
（２）真空紫外線を吸収した酸素分子は分解し、有害なオゾンを発生する。 したがって、通常真空紫外線はその名が示すように光路を真空にしなければならない。なお、窒素ガス及び希ガスの真空紫外線の吸収は約１００ｎｍ より短波長で始まるので、１００ｎｍ 〜 ２００ｎｍ の波長領域でのよい透明ガスである。
（３）一般的には、一部を除きどんな物質も真空紫外線領域では真空紫外線を強く吸収し、物質表面での反射率は極めて低い。
（４）また、光源側を見ても発光強度の大きい真空紫外線光源の種類は極めて限られている。
このように、真空紫外線領域は２００ｎｍより長波長の紫外線領域にはない多くの困難を内包している。
【０００５】
本発明は、このような技術的に困難な真空紫外線領域で，今までにない高効率、経済的で最適な真空紫外線接着装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の真空紫外線接着装置は、被接着物質の接着面に原料アルコキシドを付着するとともにこの接着面に真空紫外線を照射して接着する装置において、真空紫外線を発生する光源を有する真空紫外線光源部と、真空紫外線に対し少なくとも一方が透明な２つの被接着物質に真空紫外線を照射する照射室とを備え、真空紫外線光源部及び照射室の空気を強制的に排気する排気装置を設けることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室を真空にすることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部と照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室の空気を強制的に排気する排気装置を備えたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室を真空にするようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部の光源としてキセノンエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部の光源を螺旋状に形成することを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部の光源に集光鏡を設けたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室の内面壁をアルミニウム材質から構成することを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、２つの被接着物質の接着面を加圧する加圧装置を備えたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、被接着物質を支持する支持部材を回転自在とすることを特徴とする。
発生した有害なオゾンを室外に排出する装置は、人体の健康に有効であるが、オゾンを発生させないために窒素ガスあるいは希ガスを当該真空紫外線接着装置に定常的に流し装置内部を当該ガスの雰囲気にしたところ、オゾンの発生は激減し、また真空紫外線の光路上での光損失も激減した。窒素ガスあるいは希ガスの雰囲気ではなく、当該真空紫外線接着装置内部を真空にしたところ、オゾンの発生は皆無であり、真空紫外線の光路上での損失はゼロとなった。また、真空紫外線光源に集光鏡を備えたところ真空紫外線を効率よく照射室に集光できた。さらに当該真空紫外線接着装置の内壁をアルミニウムにしたところ、装置内の真空紫外線の強度は増加した。被接着物を外から加圧することにより、均一な接着面と高強度の接着を得た。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による実施の形態を図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１を示したもので、真空紫外線接着装置１０は、真空紫外線光源部１１と照射室１２から主に構成される。真空紫外線光源部１１には、真空紫外線（２００ｎｍ 〜５０ｎｍの波長領域の紫外線）１４を発生する真空紫外線光源１３が設けられている。真空紫外線光源１３から発生する光線としては２００ｎｍ 〜１００ｎｍの波長領域のものが望ましい。
また、照射室１２には、被接着物質１５、１５が被接着面１６を接触させた状態で置かれている。被接着物質１５、１５は、その被接着面１６に、原料アルコキシドとして、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ；成分は、ＴＭＯＳモノマー９１．８３％、ＴＭＯＳオリゴマー３．３２％、水・メタノール４．８４％：しかし、成分比は厳密にこの通りであるである必要はない。）を一枚の被接着物質１５の上に適当な間隔で滴下し、これを例えばスピンコート法により面上に均一に塗布し、その被接着物質１５の上に、もう一方の被接着物質を重ね合わせたものである。
真空紫外線接着装置１０には、更に、真空紫外線１４を照射中、真空紫外線１４により発生する有害オゾンを室外に放出する排気装置１７と外気導入口１８を備えると健康上好ましい。また、真空紫外線接着装置１０の内壁の材質を高反射率であるアルミニウムにすると真空紫外線を有効に利用できる。
【０００８】
被接着物質の基本的接着態様としては、被接着物質である平板状部材１５、１５を図２に示すように重ね合わせ、被接着面１６で接着するタイプと、被接着物質である平板状部材２５、２５を図３に示すように端面を接合させ、被接着面２６で接着するタイプと、被接着物質である円筒状部材３５、３５を図４に示すように端面を接合させ、被接着面３６で接着するタイプがある。これらの接着態様の他、２つの被接着物質をある角度で交差させて接着するものなど、種々の応用タイプが考えられる。
【０００９】
（実施の形態２）
図５は、実施の形態を２示したもので、実施の形態１と同じ符号は同じ部材を表している。実施の形態２においては、真空紫外線光源部１１と照射室１２との間に２００ｎｍ〜５０ｎｍの波長領域の真空紫外線に対して透明なガラスからなる仕切り窓１９を設けた構造となっている。更にオゾンを排気するため真空紫外線光源部１１あるいは照射室１２の空気を強制的に排気する排気装置１７を備えることが好ましい。なお、真空紫外線光源部１１及び照射室１２の両方に空気を強制的に排気する装置を備える場合は、仕切り窓１９は不要である。
更に、真空紫外線光源部１１あるいは照射室１２を窒素ガス、あるいは希ガスの雰囲気にすると好適である。なお、この場合、真空紫外線光源部１１及び照射室１２の両方を窒素ガス、あるいは希ガスの雰囲気にするときは、仕切り窓１９は不要である。
又、真空紫外線光源部１１あるいは照射室１２、あるいは両方を真空にすると最適である。この場合、真空紫外線接着装置の筐体を大気圧に耐える構造にする。なお、真空紫外線光源部１１及び照射室１２の両方を真空にする場合は、仕切り窓１９は不要である。
更に、真空紫外線接着装置１０の内部壁の材質にアルミニウムを用いるとさらに好適である。
【００１０】
（実施の形態３）
実施の形態３は、実施の形態１又は２の真空紫外線接着装置の真空紫外線光源部１１において、図６のように真空紫外線を効率よく照射室１２に集光するため真空紫外線光源１３近傍に集光鏡２０を備えたものである。被接着物質の被接着面１６が一次元的に長い場合、真空紫外線光源１３及び集光鏡２０は１つで良いが、被接着面１６が二次元的に大面積の時は真空紫外線光源１３と集光鏡２０の組を必要な数だけ用いることが望ましい。
【００１１】
（実施の形態４）
実施の形態４は、実施の形態１又は２の真空紫外線接着装置の照射部１２において、図７に示すように２つの被接着物質１５の被接着面１６の間隙を狭めるために、当該２つの被接着物質１５、１５を外側から加圧する加圧装置２１を備えるものである。被接着物質によっては、このように加圧部材２１によって被接着面を加圧した方が接着状態が良好なものが得られる。
【００１２】
【実施例】
（実施例１）
図８は、実施例１を示したものであり、真空紫外線接着装置１０で、被接着物質である１００ｍｍ×１０ｍｍ，厚さ６ｍｍの２枚の石英ガラス１５、１５を重ね合わせ接着した。
真空紫外線接着装置１０は、面積が１５０ｃｍ×１５０ｃｍで、厚さが１０ｍｍの合成石英ガラス１９の窓で仕切られた主にキセノンエキシマランプ１３が収められている真空紫外線光源部１１と主に被接着物質１５が置かれる照射室１２で構成した。
真空紫外線光源部１１には、照射光源として５本の直線形の長さが約１５０ｍｍのキセノンエキシマランプ１３を備え、ランプ１３の上部の放物面鏡２０でランプ１３からの真空紫外光１４をほぼ平行光にして照射室１２に向け照射した。放物面鏡２０はランプ１３からの真空紫外光（波長１７２ｎｍ）１４に対し反射率の高いアルミニウムでコートし、更に反射率の劣化を防止するためにフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）コートした。
真空紫外線光源部１１には、空気中の酸素分子に真空紫外光１４が吸収されるのでこれを防ぐため窒素ガスを窒素ガス注入口２４から約２５リットル／分の流量で注入し、光源部全体を窒素ガスの雰囲気にした。その結果、石英ガラス１９直下でキセノンエキシマランプ１３からの真空紫外光（波長１７２ｎｍ）１４に対し、約５０ｍＷ／ｃｍ２の分光放射照度が得られた。なお、３４は窒素ガス排出口である。
照射室１２には、被接着物質１５の密着性を良くする為に外部から被接着物質に圧力をかける油圧の加圧装置２１を備えた。真空紫外光１４照射中に空気中の酸素が光を吸収しオゾンを発生し、人体に害を与えるのでオゾンを除去するオゾン除去装置２２を備え、オゾンが除去された空気を室外に放出した。
これに伴い、新しい空気を導入する外気導入口１８を照射室１２の上部に設け、該導入口１８の照射室１２内側にほこりを取り除く空気フィルター２３を取り付けた。
被接着物質である石英ガラス１５は、約１０分間超音波洗浄し、さらに真空紫外線接着装置１０を用い約１０分間光洗浄を行った後、注射器に充填しているアルコキシドの一種であるテトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ；成分は、ＴＭＯＳモノマー９１．８３％、ＴＭＯＳオリゴマー３．３２％、水・メタノール４．８４％：しかし、成分比は厳密にこの通りであるである必要はない。）を一枚の石英ガラス１５の上に適当な間隔で滴下し、その石英ガラス１５の上に、もう一方の石英ガラス１５を重ね加圧装置２１の上に置き、十分加圧し、その後約１５分照射した。その結果、均一に接着した、充分な接着強度を持った石英ガラス板が得られた。
【００１３】
（実施例２）
図９は、実施例２を示したものであり、５０ｍｍ×１００ｍｍ，厚さ６ｍｍの二枚の石英ガラス２５、２５の被接着面である端面２６を接合し、石英ガラスの大面積化を図ったものである。
真空紫外線接着装置１０は真空紫外線光源部１１と照射室１２とを分離せず一体とした。窒素ガスを窒素ガス注入口２４から約３０リットル／分の流量で真空紫外線光源部１１兼照射室１２中に注入し、室内全体を窒素ガスの雰囲気にした。照射光源としては、低圧水銀ランプ（波長１８５ｎｍ）２７を用いた。
各ランプ２７には楕円の形状をした楕円反射鏡２８を用い被接着物質である石英ガラス２５、２５の端面２６に真空紫外光を集光させた。反射鏡２８の表面は実施例１と同様に加工した。
４つの低圧水銀ランプ２７からの真空紫外光１４は楕円反射鏡２８により接合面に集光させ、接合面２６での波長１８５ｎｍに対する分光放射照度は約１００ｍＷ／ｃｍ２であった。
本真空紫外線接着装置１０には、二枚の石英ガラス２５、２５の外側端面を外部から加圧できる加圧装置２９、２９を装備し、二枚の石英ガラス２５、２５の各外側端面から力を加え、被接着端面２６を加圧した。二枚の石英ガラス２５、２５の被接着端面２６は超音波洗浄と光洗浄をされた後、ＴＭＯＳを被接着端面２６に滴下し、加圧装置２９で被接着端面２６を密着し、約１５分間接合のため照射した。その結果、均一に接合した大面積の石英ガラスが得られた。
【００１４】
（実施例３）
図１０は、実施例３を示したものであり、管径３０ｍｍ，肉厚２．５ｍｍの二本の石英管３５、３５の端面３６を接合し、石英管の長大化を図ったものである。
真空紫外線接着装置１０は真空紫外線光源部１１と照射室１２とを分離せず一体とした。窒素ガスを窒素ガス注入口２４から約３０リットル／分の流量で真空紫外線光源部１１兼照射室１２中に注入し、室内全体を窒素ガスの雰囲気にした。照射光源としては、石英ガラス管を図のように螺旋状に形成した低圧水銀ランプ３０を用いた。低圧水銀ランプ３０の螺旋内径は約５０ｍｍであった。石英管３５、３５の被接着端面３６を超音波洗浄及び光洗浄後、ＴＭＯＳを被接着端面３６に滴下し、回転装置３１に取り付けた。取り付けの際、回転装置３１に設けた螺子軸３２に螺合する治具３３を締め付けて石英管３５、３５を加圧した。低圧水銀ランプ３０による照射の際、回転装置３１により石英管３５、３５を回転させながら、約１時間照射した。その結果、均一に接合した長大な石英管が得られた。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、以下の効果を奏する。
（１）真空紫外線接着装置を真空紫外線光源部と照射部室で構成し、真空紫外線照射中に発生するオゾンを排気するため、モーターで駆動されたファンで室外に強制的に放出したところ、真空紫外線照射の間オゾンの臭気を室内で感じることは一切なかった。
（２）窒素ガスあるいは希ガスを真空紫外線接着装置に定常的に流し装置内部を当該ガスの雰囲気にする事により、オゾンの発生は激減し、人体の健康に好適であった。また真空紫外線の光路上での光損失も激減した。
（３）真空紫外線光源部と照射部室の間を短波長１６０ｎｍまで透明な合成石英ガラスの窓で仕切り、真空紫外線照射中に発生する真空紫外線光源部あるいは照射部室のオゾン，または両方のオゾンを強制的に排気したところ、真空紫外線照射の間オゾンの臭気を室内では感じることは一切なかった。
（４）窒素ガスあるいは希ガスを真空紫外線接着装置の真空紫外線光源部か照射室、あるいは両方に定常的に流し装置内部を当該ガスの雰囲気にする事により、オゾンの発生は激減し、人体の健康に好適であった。また真空紫外線の光路上での光損失も激減した。
（５）真空紫外線接着装置内部を真空にしたところ、オゾンの発生は皆無であり、真空紫外線の光路上での損失はゼロとなった。
（６）真空紫外線光源に集光鏡を備えたところ真空紫外線を効率よく照射室の被接着物質に集光できた。
（７）真空紫外線接着装置の内壁をアルミニウムで覆ったところ、装置内の真空紫外線の強度は増加した。
（８）被接着物質を外から加圧することにより均一な接着面と高強度の接着を得た。
（９）被接着物質を回転させながら真空紫外線を照射することにより、均一且つ効率の良い照射が得られた。
（１０）光源ランプを螺旋状に形成して被接着物質の接着面を覆うように配置することにより、均一且つ効率の良い照射が得られた。
以上要約すると、今まで存在しなかった真空紫外線接着装置が具現化され、高効率で経済性の良い、均一で強固な接着ができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図２】被接着物質の接着形態の一例である平板状部材の重ね合わせ面を接着する状態を示す図である。
【図３】被接着物質の接着形態の一例である平板状部材の端面を接合する状態を示す図である。
【図４】被接着物質の接着形態の一例である円筒状部材の端面を接合する状態を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る真空紫外線接着装置の要部概略を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係る真空紫外線接着装置の要部概略を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施例１に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図９】本発明の実施例２に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図１０】本発明の実施例３に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【符号の説明】
１０ 真空紫外線接着装置
１１ 真空紫外線光源部
１２ 照射室
１３ 真空紫外線光源（キセノンエキシマランプ）
１４ 真空紫外線
１５、２５、３５ 被接着物質
１６、２６、３６ 被接着面
１７ 排気装置
１８ 外気導入口
１９ 仕切り窓
２０ 集光鏡（放物面鏡）
２１、２９ 加圧装置
２２ オゾン除去装置
２３ 空気フィルター
２４ 窒素ガス注入口
２７ 低圧水銀ランプ
２８ 楕円反射鏡
３０ 螺旋状に形成した低圧水銀ランプ
３１ 回転装置
３２ 螺子軸
３３ 治具
３４ 窒素ガス排出口
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空紫外線（本明細書においては２００ ｎｍ〜５０ｎｍの範囲の短波長の紫外線をいう。）に対し少なくとも一方が透明な２つの物質の接着面に付着させた原料アルコキシドに真空紫外線を照射することにより、室温で２つの物質を接着可能な真空紫外線接着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の紫外線硬化及び接着に用いられる紫外線は３５０ ｎｍ より長波長の紫外線に限られていた。従って、３５０ ｎｍ より長波長の紫外線を発生する光源を有する接着装置により当該接着が実施されていた。
ところが、ごく最近アルコキシドを接着剤とし３５０ ｎｍ より短波長の紫外線を接着部に照射することにより、少なくとも一方が３５０ ｎｍ より短波長の紫外線に透明な２つの物質を接着させる方法を本発明者が発明した（例えば、特許文献１参照。）。
上記特許文献１記載の発明は、単に、キセノンエキシマランプ光（スペクトルは１５５ｎｍ〜２００ｎｍ）を接着部に照射するというものであり、２００ ｎｍ より短波長の紫外線による高効率で、経済的な最適な接着を具現するための問題点を解明し、解決するものではなかった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２８２３３９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１記載の発明に関し、２００ ｎｍ より短波長の紫外線による高効率で、経済的な最適な真空紫外線接着装置を具現化するためには、以下の問題点があった。
（１）真空紫外線は空気中の酸素分子に強く吸収される。因みに、波長が１８５ ｎｍの真空紫外線は約２０〜３０ ｍｍの空気層でほとんど吸収される。１７２ ｎｍ の真空紫外線では約５ ｍｍ でほとんど吸収される。
（２）真空紫外線を吸収した酸素分子は分解し、有害なオゾンを発生する。 したがって、通常真空紫外線はその名が示すように光路を真空にしなければならない。なお、窒素ガス及び希ガスの真空紫外線の吸収は約１００ｎｍ より短波長で始まるので、１００ｎｍ 〜 ２００ｎｍ の波長領域でのよい透明ガスである。
（３）一般的には、一部を除きどんな物質も真空紫外線領域では真空紫外線を強く吸収し、物質表面での反射率は極めて低い。
（４）また、光源側を見ても発光強度の大きい真空紫外線光源の種類は極めて限られている。
このように、真空紫外線領域は２００ｎｍより長波長の紫外線領域にはない多くの困難を内包している。
【０００５】
本発明は、このような技術的に困難な真空紫外線領域で，今までにない高効率、経済的で最適な真空紫外線接着装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の真空紫外線接着装置は、被接着物質の接着面に原料アルコキシドを付着するとともにこの接着面に真空紫外線を照射して接着する装置において、真空紫外線を発生する光源を有する真空紫外線光源部と、真空紫外線に対し少なくとも一方が透明な２つの被接着物質に真空紫外線を照射する照射室とを備え、真空紫外線光源部及び照射室の空気を強制的に排気する排気装置を設けることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室を真空にすることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部及び照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部と照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室の空気を強制的に排気する排気装置を備えたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室を真空にするようにしたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部の光源としてキセノンエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部の光源を螺旋状に形成することを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部の光源に集光鏡を設けたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、真空紫外線光源部又は照射室の内面壁をアルミニウム材質から構成することを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、２つの被接着物質の接着面を加圧する加圧装置を備えたことを特徴とする。
また、本発明の真空紫外線接着装置は、被接着物質を支持する支持部材を回転自在とすることを特徴とする。
発生した有害なオゾンを室外に排出する装置は、人体の健康に有効であるが、オゾンを発生させないために窒素ガスあるいは希ガスを当該真空紫外線接着装置に定常的に流し装置内部を当該ガスの雰囲気にしたところ、オゾンの発生は激減し、また真空紫外線の光路上での光損失も激減した。窒素ガスあるいは希ガスの雰囲気ではなく、当該真空紫外線接着装置内部を真空にしたところ、オゾンの発生は皆無であり、真空紫外線の光路上での損失はゼロとなった。また、真空紫外線光源に集光鏡を備えたところ真空紫外線を効率よく照射室に集光できた。さらに当該真空紫外線接着装置の内壁をアルミニウムにしたところ、装置内の真空紫外線の強度は増加した。被接着物を外から加圧することにより、均一な接着面と高強度の接着を得た。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による実施の形態を図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１を示したもので、真空紫外線接着装置１０は、真空紫外線光源部１１と照射室１２から主に構成される。真空紫外線光源部１１には、真空紫外線（２００ｎｍ 〜５０ｎｍの波長領域の紫外線）１４を発生する真空紫外線光源１３が設けられている。真空紫外線光源１３から発生する光線としては２００ｎｍ 〜１００ｎｍの波長領域のものが望ましい。
また、照射室１２には、被接着物質１５、１５が被接着面１６を接触させた状態で置かれている。被接着物質１５、１５は、その被接着面１６に、原料アルコキシドとして、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ；成分は、ＴＭＯＳモノマー９１．８３％、ＴＭＯＳオリゴマー３．３２％、水・メタノール４．８４％：しかし、成分比は厳密にこの通りであるである必要はない。）を一枚の被接着物質１５の上に適当な間隔で滴下し、これを例えばスピンコート法により面上に均一に塗布し、その被接着物質１５の上に、もう一方の被接着物質を重ね合わせたものである。
真空紫外線接着装置１０には、更に、真空紫外線１４を照射中、真空紫外線１４により発生する有害オゾンを室外に放出する排気装置１７と外気導入口１８を備えると健康上好ましい。また、真空紫外線接着装置１０の内壁の材質を高反射率であるアルミニウムにすると真空紫外線を有効に利用できる。
【０００８】
被接着物質の基本的接着態様としては、被接着物質である平板状部材１５、１５を図２に示すように重ね合わせ、被接着面１６で接着するタイプと、被接着物質である平板状部材２５、２５を図３に示すように端面を接合させ、被接着面２６で接着するタイプと、被接着物質である円筒状部材３５、３５を図４に示すように端面を接合させ、被接着面３６で接着するタイプがある。これらの接着態様の他、２つの被接着物質をある角度で交差させて接着するものなど、種々の応用タイプが考えられる。
【０００９】
（実施の形態２）
図５は、実施の形態を２示したもので、実施の形態１と同じ符号は同じ部材を表している。実施の形態２においては、真空紫外線光源部１１と照射室１２との間に２００ｎｍ〜５０ｎｍの波長領域の真空紫外線に対して透明なガラスからなる仕切り窓１９を設けた構造となっている。更にオゾンを排気するため真空紫外線光源部１１あるいは照射室１２の空気を強制的に排気する排気装置１７を備えることが好ましい。なお、真空紫外線光源部１１及び照射室１２の両方に空気を強制的に排気する装置を備える場合は、仕切り窓１９は不要である。
更に、真空紫外線光源部１１あるいは照射室１２を窒素ガス、あるいは希ガスの雰囲気にすると好適である。なお、この場合、真空紫外線光源部１１及び照射室１２の両方を窒素ガス、あるいは希ガスの雰囲気にするときは、仕切り窓１９は不要である。
又、真空紫外線光源部１１あるいは照射室１２、あるいは両方を真空にすると最適である。この場合、真空紫外線接着装置の筐体を大気圧に耐える構造にする。なお、真空紫外線光源部１１及び照射室１２の両方を真空にする場合は、仕切り窓１９は不要である。
更に、真空紫外線接着装置１０の内部壁の材質にアルミニウムを用いるとさらに好適である。
【００１０】
（実施の形態３）
実施の形態３は、実施の形態１又は２の真空紫外線接着装置の真空紫外線光源部１１において、図６のように真空紫外線を効率よく照射室１２に集光するため真空紫外線光源１３近傍に集光鏡２０を備えたものである。被接着物質の被接着面１６が一次元的に長い場合、真空紫外線光源１３及び集光鏡２０は１つで良いが、被接着面１６が二次元的に大面積の時は真空紫外線光源１３と集光鏡２０の組を必要な数だけ用いることが望ましい。
【００１１】
（実施の形態４）
実施の形態４は、実施の形態１又は２の真空紫外線接着装置の照射部１２において、図７に示すように２つの被接着物質１５の被接着面１６の間隙を狭めるために、当該２つの被接着物質１５、１５を外側から加圧する加圧装置２１を備えるものである。被接着物質によっては、このように加圧部材２１によって被接着面を加圧した方が接着状態が良好なものが得られる。
【００１２】
【実施例】
（実施例１）
図８は、実施例１を示したものであり、真空紫外線接着装置１０で、被接着物質である１００ｍｍ×１０ｍｍ，厚さ６ｍｍの２枚の石英ガラス１５、１５を重ね合わせ接着した。
真空紫外線接着装置１０は、面積が１５０ｃｍ×１５０ｃｍで、厚さが１０ｍｍの合成石英ガラス１９の窓で仕切られた主にキセノンエキシマランプ１３が収められている真空紫外線光源部１１と主に被接着物質１５が置かれる照射室１２で構成した。
真空紫外線光源部１１には、照射光源として５本の直線形の長さが約１５０ｍｍのキセノンエキシマランプ１３を備え、ランプ１３の上部の放物面鏡２０でランプ１３からの真空紫外光１４をほぼ平行光にして照射室１２に向け照射した。放物面鏡２０はランプ１３からの真空紫外光（波長１７２ｎｍ）１４に対し反射率の高いアルミニウムでコートし、更に反射率の劣化を防止するためにフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）コートした。
真空紫外線光源部１１には、空気中の酸素分子に真空紫外光１４が吸収されるのでこれを防ぐため窒素ガスを窒素ガス注入口２４から約２５リットル／分の流量で注入し、光源部全体を窒素ガスの雰囲気にした。その結果、石英ガラス１９直下でキセノンエキシマランプ１３からの真空紫外光（波長１７２ｎｍ）１４に対し、約５０ｍＷ／ｃｍ２の分光放射照度が得られた。なお、３４は窒素ガス排出口である。
照射室１２には、被接着物質１５の密着性を良くする為に外部から被接着物質に圧力をかける油圧の加圧装置２１を備えた。真空紫外光１４照射中に空気中の酸素が光を吸収しオゾンを発生し、人体に害を与えるのでオゾンを除去するオゾン除去装置２２を備え、オゾンが除去された空気を室外に放出した。
これに伴い、新しい空気を導入する外気導入口１８を照射室１２の上部に設け、該導入口１８の照射室１２内側にほこりを取り除く空気フィルター２３を取り付けた。
被接着物質である石英ガラス１５は、約１０分間超音波洗浄し、さらに真空紫外線接着装置１０を用い約１０分間光洗浄を行った後、注射器に充填しているアルコキシドの一種であるテトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ；成分は、ＴＭＯＳモノマー９１．８３％、ＴＭＯＳオリゴマー３．３２％、水・メタノール４．８４％：しかし、成分比は厳密にこの通りであるである必要はない。）を一枚の石英ガラス１５の上に適当な間隔で滴下し、その石英ガラス１５の上に、もう一方の石英ガラス１５を重ね加圧装置２１の上に置き、十分加圧し、その後約１５分照射した。その結果、均一に接着した、充分な接着強度を持った石英ガラス板が得られた。
【００１３】
（実施例２）
図９は、実施例２を示したものであり、５０ｍｍ×１００ｍｍ，厚さ６ｍｍの二枚の石英ガラス２５、２５の被接着面である端面２６を接合し、石英ガラスの大面積化を図ったものである。
真空紫外線接着装置１０は真空紫外線光源部１１と照射室１２とを分離せず一体とした。窒素ガスを窒素ガス注入口２４から約３０リットル／分の流量で真空紫外線光源部１１兼照射室１２中に注入し、室内全体を窒素ガスの雰囲気にした。照射光源としては、低圧水銀ランプ（波長１８５ｎｍ）２７を用いた。
各ランプ２７には楕円の形状をした楕円反射鏡２８を用い被接着物質である石英ガラス２５、２５の端面２６に真空紫外光を集光させた。反射鏡２８の表面は実施例１と同様に加工した。
４つの低圧水銀ランプ２７からの真空紫外光１４は楕円反射鏡２８により接合面に集光させ、接合面２６での波長１８５ｎｍに対する分光放射照度は約１００ｍＷ／ｃｍ２であった。
本真空紫外線接着装置１０には、二枚の石英ガラス２５、２５の外側端面を外部から加圧できる加圧装置２９、２９を装備し、二枚の石英ガラス２５、２５の各外側端面から力を加え、被接着端面２６を加圧した。二枚の石英ガラス２５、２５の被接着端面２６は超音波洗浄と光洗浄をされた後、ＴＭＯＳを被接着端面２６に滴下し、加圧装置２９で被接着端面２６を密着し、約１５分間接合のため照射した。その結果、均一に接合した大面積の石英ガラスが得られた。
【００１４】
（実施例３）
図１０は、実施例３を示したものであり、管径３０ｍｍ，肉厚２．５ｍｍの二本の石英管３５、３５の端面３６を接合し、石英管の長大化を図ったものである。
真空紫外線接着装置１０は真空紫外線光源部１１と照射室１２とを分離せず一体とした。窒素ガスを窒素ガス注入口２４から約３０リットル／分の流量で真空紫外線光源部１１兼照射室１２中に注入し、室内全体を窒素ガスの雰囲気にした。照射光源としては、石英ガラス管を図のように螺旋状に形成した低圧水銀ランプ３０を用いた。低圧水銀ランプ３０の螺旋内径は約５０ｍｍであった。石英管３５、３５の被接着端面３６を超音波洗浄及び光洗浄後、ＴＭＯＳを被接着端面３６に滴下し、回転装置３１に取り付けた。取り付けの際、回転装置３１に設けた螺子軸３２に螺合する治具３３を締め付けて石英管３５、３５を加圧した。低圧水銀ランプ３０による照射の際、回転装置３１により石英管３５、３５を回転させながら、約１時間照射した。その結果、均一に接合した長大な石英管が得られた。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、以下の効果を奏する。
（１）真空紫外線接着装置を真空紫外線光源部と照射部室で構成し、真空紫外線照射中に発生するオゾンを排気するため、モーターで駆動されたファンで室外に強制的に放出したところ、真空紫外線照射の間オゾンの臭気を室内で感じることは一切なかった。
（２）窒素ガスあるいは希ガスを真空紫外線接着装置に定常的に流し装置内部を当該ガスの雰囲気にする事により、オゾンの発生は激減し、人体の健康に好適であった。また真空紫外線の光路上での光損失も激減した。
（３）真空紫外線光源部と照射部室の間を短波長１６０ｎｍまで透明な合成石英ガラスの窓で仕切り、真空紫外線照射中に発生する真空紫外線光源部あるいは照射部室のオゾン，または両方のオゾンを強制的に排気したところ、真空紫外線照射の間オゾンの臭気を室内では感じることは一切なかった。
（４）窒素ガスあるいは希ガスを真空紫外線接着装置の真空紫外線光源部か照射室、あるいは両方に定常的に流し装置内部を当該ガスの雰囲気にする事により、オゾンの発生は激減し、人体の健康に好適であった。また真空紫外線の光路上での光損失も激減した。
（５）真空紫外線接着装置内部を真空にしたところ、オゾンの発生は皆無であり、真空紫外線の光路上での損失はゼロとなった。
（６）真空紫外線光源に集光鏡を備えたところ真空紫外線を効率よく照射室の被接着物質に集光できた。
（７）真空紫外線接着装置の内壁をアルミニウムで覆ったところ、装置内の真空紫外線の強度は増加した。
（８）被接着物質を外から加圧することにより均一な接着面と高強度の接着を得た。
（９）被接着物質を回転させながら真空紫外線を照射することにより、均一且つ効率の良い照射が得られた。
（１０）光源ランプを螺旋状に形成して被接着物質の接着面を覆うように配置することにより、均一且つ効率の良い照射が得られた。
以上要約すると、今まで存在しなかった真空紫外線接着装置が具現化され、高効率で経済性の良い、均一で強固な接着ができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図２】被接着物質の接着形態の一例である平板状部材の重ね合わせ面を接着する状態を示す図である。
【図３】被接着物質の接着形態の一例である平板状部材の端面を接合する状態を示す図である。
【図４】被接着物質の接着形態の一例である円筒状部材の端面を接合する状態を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る真空紫外線接着装置の要部概略を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係る真空紫外線接着装置の要部概略を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施例１に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図９】本発明の実施例２に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【図１０】本発明の実施例３に係る真空紫外線接着装置の概略を示す正面図である。
【符号の説明】
１０ 真空紫外線接着装置
１１ 真空紫外線光源部
１２ 照射室
１３ 真空紫外線光源（キセノンエキシマランプ）
１４ 真空紫外線
１５、２５、３５ 被接着物質
１６、２６、３６ 被接着面
１７ 排気装置
１８ 外気導入口
１９ 仕切り窓
２０ 集光鏡（放物面鏡）
２１、２９ 加圧装置
２２ オゾン除去装置
２３ 空気フィルター
２４ 窒素ガス注入口
２７ 低圧水銀ランプ
２８ 楕円反射鏡
３０ 螺旋状に形成した低圧水銀ランプ
３１ 回転装置
３２ 螺子軸
３３ 治具
３４ 窒素ガス排出口
Claims (13)
- 被接着物質の接着面に原料アルコキシドを付着するとともにこの接着面に真空紫外線を照射して接着する装置において、真空紫外線を発生する光源を有する真空紫外線光源部と、真空紫外線に対し少なくとも一方が透明な２つの被接着物質に真空紫外線を照射する照射室とを備え、真空紫外線光源部及び照射室の空気を強制的に排気する排気装置を設けることを特徴とする真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部及び照射室を真空にすることを特徴とす
る請求項１記載の真空紫外線接着装置。 - 真空紫外線光源部及び照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする請求項１記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部と照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする請求項１に記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部又は照射室の空気を強制的に排気する排気装置を備えたことを特徴とする請求項４記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部又は照射室に窒素ガス又は希ガスを充填するようにしたことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部又は照射室を真空にするようにしたことを特徴とする請求項４又は請求項５記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部の光源としてキセノンエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部の光源を螺旋状に形成することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部の光源に集光鏡を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の真空紫外線接着装置。
- 真空紫外線光源部又は照射室の内面壁をアルミニウム材質から構成することを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の真空紫外線接着装置。
- ２つの被接着物質の接着面を加圧する加圧装置を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の真空紫外線接着装置。
- 被接着物質を支持する支持部材を回転自在とすることを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の真空紫外線接着装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003060570A JP2004269633A (ja) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | 真空紫外線接着装置 |
| PCT/JP2004/001371 WO2004078868A1 (ja) | 2003-03-06 | 2004-02-10 | 真空紫外線接着装置 |
| US10/548,300 US20060237139A1 (en) | 2003-03-06 | 2004-02-10 | Vacuum ultraviolt ray bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003060570A JP2004269633A (ja) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | 真空紫外線接着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004269633A true JP2004269633A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=32958889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003060570A Pending JP2004269633A (ja) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | 真空紫外線接着装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20060237139A1 (ja) |
| JP (1) | JP2004269633A (ja) |
| WO (1) | WO2004078868A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013103456A (ja) * | 2011-11-16 | 2013-05-30 | Kyoto Univ | 複合材料およびその製造方法 |
| WO2019176381A1 (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 富士フイルム株式会社 | 紫外線照射装置、光学フィルムの製造方法、及び赤外線カットガラス |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104175551B (zh) * | 2014-07-16 | 2016-09-28 | 东莞市粤丰展示用品有限公司 | 一种内置立体物的有机玻璃制品之结合面的处理方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3872349A (en) * | 1973-03-29 | 1975-03-18 | Fusion Systems Corp | Apparatus and method for generating radiation |
| US3935647A (en) * | 1974-07-16 | 1976-02-03 | Continental Can Company, Inc. | Ultraviolet curing oven |
| JPH03277774A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光気相反応装置 |
| JP3302518B2 (ja) * | 1994-11-29 | 2002-07-15 | シャープ株式会社 | 貼り合わせ方法及びその装置 |
| JP3261409B2 (ja) * | 1997-04-07 | 2002-03-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 反射型偏光子およびその製造方法 |
| JPH11195583A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Nikon Corp | 露光装置 |
| CA2348515C (en) * | 1998-11-04 | 2010-07-27 | Xenon Corporation | A spiral-shaped lamp for uv curing of coatings and bonding for a digital versatile disk (dvd) or compact disk (cd) |
| JP2001068400A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-03-16 | Nikon Corp | 吸光物質検出方法、並びに露光方法及び装置 |
| US6614504B2 (en) * | 2000-03-30 | 2003-09-02 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| WO2001081907A1 (fr) * | 2000-03-31 | 2001-11-01 | Nikon Corporation | Procede et dispositif de mesure, et procede et dispositif d'exposition |
-
2003
- 2003-03-06 JP JP2003060570A patent/JP2004269633A/ja active Pending
-
2004
- 2004-02-10 US US10/548,300 patent/US20060237139A1/en not_active Abandoned
- 2004-02-10 WO PCT/JP2004/001371 patent/WO2004078868A1/ja active Application Filing
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013103456A (ja) * | 2011-11-16 | 2013-05-30 | Kyoto Univ | 複合材料およびその製造方法 |
| WO2019176381A1 (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 富士フイルム株式会社 | 紫外線照射装置、光学フィルムの製造方法、及び赤外線カットガラス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20060237139A1 (en) | 2006-10-26 |
| WO2004078868A1 (ja) | 2004-09-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6544524B2 (ja) | 紫外光照射装置 | |
| TW201029017A (en) | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method | |
| JPWO2021025063A1 (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP2002093377A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| WO2016147874A1 (ja) | 樹脂製チューブの接合方法 | |
| JP2004269633A (ja) | 真空紫外線接着装置 | |
| TWI249511B (en) | Method for adhering transparent materials, and adhered quartz glass plate and apparatus using the same | |
| TW200306461A (en) | Method and device for decontaminating optical surfaces | |
| JP4329632B2 (ja) | 紫外光照射装置 | |
| US5262902A (en) | Filter for a low-pressure mercury vapor lamp | |
| JPS56125207A (en) | Ozonizer | |
| FR2936093A1 (fr) | Lampe uv tubulaire a decharge et utilisations | |
| JP2020068133A (ja) | 紫外光照射装置 | |
| WO2004038288A1 (en) | Fixture type sterilizing and lighting apparatus | |
| JP3252676B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ | |
| WO2004107478A2 (en) | Non-oxidizing electrode arrangement for excimer lamps | |
| US20020067130A1 (en) | Flat-panel, large-area, dielectric barrier discharge-driven V(UV) light source | |
| JP6888624B2 (ja) | 光洗浄処理装置 | |
| JP3127817B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプの製造方法 | |
| EP3168860B1 (en) | Device and method for producing uv radiation | |
| RU2746384C1 (ru) | Бактерицидный облучатель | |
| JP5293430B2 (ja) | エキシマランプ | |
| JP7177556B2 (ja) | 除菌用オゾン発生装置 | |
| JP2003195000A (ja) | エキシマランプ光源装置、およびその製造方法 | |
| JP2004267951A (ja) | 洗浄装置および洗浄方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041124 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070717 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071127 |