JP2004266056A - 加圧方法、加圧装置、電子部品の圧着方法及び圧着装置、並びに電気光学装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents

加圧方法、加圧装置、電子部品の圧着方法及び圧着装置、並びに電気光学装置の製造方法及び製造装置 Download PDF

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Abstract

【課題】簡単な機構で、推力の出力幅を広範囲とし、且つ、推力の変化率を線形とすることが可能となる加圧方法及び加圧装置、また、該加圧方法及び加圧装置を用いた電子部品の圧着方法及び圧着装置、並びに電気光学装置の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】第1エアーシリンダ12と、第2エアーシリンダ14と、第3エアーシリンダ16とを連結させた加圧機構10を備え、各エアーシリンダ12,14,16をそれぞれ単独で、若しくは組み合わせて制御させる。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加圧方法、加圧装置、電子部品の圧着方法及び圧着装置、並びに電気光学装置の製造方法及び製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、配線基板を基板に実装する方法としては、テープ状の異方性導電膜(ACF:Anisotropic Conductive Film)を基板の電極上に貼り付け、その上に配線基板を圧着する方法等が知られており(例えば、特許文献1参照。)、配線基板に所定の圧力を加える加圧機構としては、一般に流体シリンダが広く採用されている。
【0003】
特に、近年では、一台で低推力域から高推力域までの広範囲の推力を得ることができる加圧機構が種々提案されている。例えば、エアーシール手段が装着されていないピストンヘッドをシリンダチューブに対して微小間隔が形成されるように嵌挿せしめると共に、そのロッドを静圧空気軸受若しくは摺動軸受で支持せしめて装着したエアーシリンダを用いたものや(例えば、特許文献2参照。)、ピストンの胴部に、ピストンヘッドと受圧面積の異なる1以上の受圧部を形成し、ピストンヘッド及び1以上の受圧部を複数のエアベアリングでそれぞれ仕切ってピストンヘッドの部分を含め複数の受圧室を構成し、複数の受圧室に作動エアーを選択的に供給可能としたエアーシリンダを用いたもの(例えば、特許文献3参照。)等が挙げられる。
上記のような加圧機構を採用することにより、バンプ数の少ない小型の配線基板、又はバンプ数の多い大型の配線基板等、大小幅のある各種の対象物に対して、それぞれ適切な推力を同一の圧着装置で付与することができ、異なる仕様を有する複数の圧着装置を用意する必要がないために、設備投資を抑え、装置の占有面積を減らし、更には、装置の稼働率を向上させることが可能となる。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−45910号公報
【特許文献2】
特開平10−340931号公報
【特許文献3】
特開平11−154692号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術においては、以下のような問題点を有していた。
上記のエアーシリンダは、通常のエアーシリンダの構造とは異なり、複雑な構造を有する。即ち、この場合、広範囲の推力を得るための専用の加圧機構として、流体シリンダを新規に製造しなければならないという問題があった。
また、推力の発生範囲が、例えば、ある所定の低圧域と高圧域とで段階的に分けられてしまうために、発生不可能な推力範囲が出現する、若しくは、発生可能であっても、微小調整が不適であるなどの問題があった。
【0006】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、簡単な機構で、推力の出力幅を広範囲とし、且つ、推力の変化率を線形とすることが可能となる加圧方法、加圧装置、電子部品の圧着方法及び圧着装置等を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の加圧方法においては、少なくとも2つの流体シリンダを連結させ、該少なくとも2つの流体シリンダを単独で、若しくは組み合わせて制御させることを特徴としている。
上記の加圧方法によれば、少なくとも2つの流体シリンダを単独で、若しくは組み合わせて制御させるので、低圧域から高圧域までの広範囲の推力を発生させることができ、且つ、推力の出力範囲において、推力を線形で変化させることが可能となる。
【0008】
本発明の加圧装置においては、少なくとも2つの流体シリンダを連結させた加圧機構を備えることを特徴としている。
この加圧装置によれば、少なくとも2つの流体シリンダを連結させた加圧機構を備えるので、1台の装置で低圧域から高圧域までの広範囲の推力を発生させることができ、且つ、推力の出力範囲において、推力を線形で変化させることが可能となる。
更に、複雑な構造を有する特殊なエアーシリンダを用いるのではなく、通常使用されるエアーシリンダを組み合わせて構成されるので、低コストで製作できるとともに、所望の推力値によっては、改造作業も容易に実施可能となる。
【0009】
本発明の加圧装置においては、前記少なくとも2つの流体シリンダは、同軸上に配置されていることを特徴としている。
これによれば、少なくとも2つの流体シリンダは、同軸上に配置されるので、1つの流体シリンダより発生される推力を、他の流体シリンダへ効率良く伝達させることが可能となる。
【0010】
本発明の加圧装置においては、前記少なくとも2つの流体シリンダは、出力可能な推力範囲がそれぞれ異なることを特徴としている。
これによれば、推力の出力範囲をより広範囲とすることができ、更に、所望の推力値に微調整することが可能となる。
【0011】
本発明の電子部品の圧着方法においては、基板と電子部品とを圧着する電子部品の圧着方法において、上記の加圧方法を用いることを特徴としている。
この圧着方法によれば、上記の加圧方法を採用するので、あらゆる種類、又は大きさの電子部品に対して最適なトルク制御を行うことが可能となる。更に、加圧対象物である電子部品を変更した場合、直ちに、該電子部品に適合したトルク値を設定させることができる。
【0012】
本発明の電子部品の圧着装置においては、基板と電子部品とを圧着する電子部品の圧着装置において、上記の加圧装置を備えることを特徴とする。
この圧着装置によれば、上記の加圧装置を採用するので、あらゆる種類、又は大きさの電子部品に対して最適なトルク制御を行うことが可能となる。更に、加圧対象物である電子部品を変更した場合、直ちに、該電子部品に適合したトルク値を設定させることができる。また、低コストの加圧装置を採用することにより、圧着装置自体も低コストとすることが可能となる。
【0013】
本発明の電気光学装置の製造方法においては、電気光学パネルに接続される基板若しくは電気光学パネルを構成する基板と、電子部品とを圧着する電気光学装置の製造方法において、上記の加圧方法を用いることを特徴としている。
この製造方法によれば、上記の加圧方法を採用するので、あらゆる種類、又は大きさの電子部品に対して最適なトルク制御を行うことが可能となる。従って、圧着不良による不良品の生成を抑え、高品質の電気光学装置を製造することが可能となる。更に、加圧対象物である電子部品を変更した場合、直ちに、該電子部品に適合したトルク値を設定させることができ、各種電気光学装置を効率良く製造することが可能となる。
【0014】
本発明の電気光学装置の製造装置においては、電気光学パネルに接続される基板若しくは電気光学パネルを構成する基板と、電子部品とを圧着する電気光学装置の製造装置において、上記の加圧装置を備えることを特徴としている。
この製造装置によれば、上記の加圧装置を採用するので、あらゆる種類、又は大きさの電子部品に対して最適なトルク制御を行うことが可能となる。従って、圧着不良による不良品の生成を抑え、高品質の電気光学装置を製造することが可能となる。更に、加圧対象物である電子部品を変更した場合、直ちに、該電子部品に適合したトルク値を設定させることができ、各種電気光学装置を効率良く製造することが可能となる。また、低コストの加圧装置を採用することにより、製造装置自体も低コストとすることが可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る加圧方法、加圧装置、電子部品の圧着方法及び圧着装置、並びに電気光学装置の製造方法及び製造装置の実施形態を、図1乃至図3を参照して説明する。
図1は、本発明の加圧装置の実施形態を示す概略図である。
加圧装置1は、少なくとも2つの流体シリンダを連結させた加圧機構10を備えることを特徴としている。以下、図1に示すように、加圧機構10には、一例として3つのエアーシリンダを備えた場合について説明する。
【0016】
加圧機構10は、直接の加圧部11を形成する第1ロッド13を有する第1エアーシリンダ12と、第1ロッド13に連接する第2ロッド15を有する第2エアーシリンダ14と、第2ロッド15に連接する第3ロッド17を有する第3エアーシリンダ16とから構成されている。第1〜3の各エアーシリンダ12,14,16は、それぞれ出力可能な推力範囲が異なるものを採用しており、特に、第1エアーシリンダ12を低圧域用、第2エアーシリンダ14を中間圧域用、そして第3エアーシリンダ16を高圧域用のエアーシリンダとしている。但し、これらの各エアーシリンダの具体的な推力範囲は、特に限定されるものではない。また、第1ロッド13と第2ロッド15とを連接させるために、更に、第2ロッド15と第3ロッド17とを連接させるために、第1エアーシリンダ12と第2エアーシリンダ14は、それぞれシリンダ本体に対して1本のロッドが両側に突出した、所謂両ロッド仕様としている。
【0017】
第1エアーシリンダ12は、第1ロッド13を進退自在としつつ、第1保持部材18に固定されており、また、第2エアーシリンダ14は、第2ロッド15を進退自在としつつ、第2保持部材19に固定されており、更に、第3エアーシリンダ16は、第3ロッド17を進退自在としつつ、第3保持部材20に固定されている。そして、第1保持部材18と第2保持部材19とは、複数本の第1支持部材21を介して連結され、また、第2保持部材19と第3保持部材20とは、複数本の第2支持部材22を介して連結されている。この場合、第1ロッド13と第2ロッド15、及び第3ロッド17とは、第1〜3の各ロッド13,15,17の各進退動作を効率良く連動させるために、互いに同軸上となるように配置されている。
また、第1〜3の各エアーシリンダ12,14,16は、不図示であるが、それぞれ空気圧発生装置に接続されており、各エアーシリンダ12,14,16に供給する圧縮空気の流量及び圧力が制御される。
【0018】
次に、上記の加圧装置1の作用について説明する。
本発明の加圧装置1においては、加圧機構10を構成する第1〜3の各エアーシリンダ12,14,16をそれぞれ単独で、若しくは組み合わせて制御させることを特徴としている。
図2は、加圧装置1により発生される、使用圧力に対する理論推力を示した表である。
破線Aは、第1エアーシリンダ12を単独で作動させた場合の理論推力を示している。破線Aに示すように、使用圧力に対して出力される推力は、低圧域の範囲に限定されるが、推力を微小調整することが可能である。
破線Bは、第2エアーシリンダ14を単独で作動させた場合の理論推力を示しており、同様に、破線Cは、第3エアーシリンダ16を単独で作動させた場合の理論推力を示している。破線B及びCに示すように、使用圧力に対して出力される推力は、第1エアーシリンダ12よりも高い推力を発生でき、特に、第3エアーシリンダ16を高圧力で使用する場合は、第1及び第2のエアーシリンダ14,16では発生不可能な高推力を発生させることが可能となる。
【0019】
また、破線Dは、第1及び第2のエアーシリンダ12,14を同時に作動させた場合の理論推力を示している。破線Dに示すように、第1及び第2のエアーシリンダ12,14を互いに組み合わせることにより、同じ使用圧力と比較しても、第3のエアーシリンダ16を単独で作動させる場合よりも高い推力を発生させることが可能となる。同様に。破線Eは、第2及び第3のエアーシリンダ14,16を同時に作動させた場合の理論推力を示しており、これによれば、第1及び第2のエアーシリンダ12,14を組み合わせた場合よりも高推力を得ることが可能となる。
更に、破線Fは、第1〜3の各エアーシリンダ12,14,16を同時に作動させた場合の理論推力を示しており、上記に示した各使用条件の中では、最大推力を発生させることが可能である。
【0020】
即ち、本実施形態の加圧装置では、図2中の実線Gに示すように、使用圧力に対して、破線Aと交差する低推力部から破線Fと交差する高推力部までの広範囲の推力を1台の加圧装置で発生させることが可能となる。更に、出力させる推力は、線形で変化させることができ、実線Gに示す推力範囲内であれば、如何なる推力でも所望の値に設定することが可能となる。
また、実線Gと各破線A〜Fが交差しない部分においても、図2に示すように、例えば、所望の推力値Xを得る場合には、破線Cの使用条件で使用圧力をP付近で微調整させたり、若しくは、破線Dの使用条件で使用圧力をP付近で微調整させたりすることで、好適な推力を発生させることが可能となる。
【0021】
更に、上記の加圧装置に採用される加圧機構は、複雑な構造を有する特殊なエアーシリンダを用いるのではなく、通常使用されるエアーシリンダを組み合わせて構成されるので、低コストで製作できるとともに、所望の推力値によっては、改造作業も容易に実施可能となる。
【0022】
図3は、本発明の電子部品の圧着装置の一実施形態を示す概略図である。
以下、本実施形態の圧着装置は、液晶表示パネル(電気光学パネル)を構成するガラス基板P上に、加圧対象物WとなるドライバIC(配線基板、電子部品)をACF接続する電気光学装置の製造装置であるものとして説明する。
【0023】
圧着装置500は、コラム501設けたフレーム502の上部にサーボモータ503を取り付け、モータ軸は、カップリング504を介してボールネジ505のネジ部505aの端部に接続されている。ボールネジ505のネジ部505bは、上下方向に移動するヘッドプレート506に埋設されている。ヘッドプレート506は、リニアガイド507によりフレーム502に取り付けられている。ヘッドプレート506には、上記実施形態に示した加圧装置1が設置されている。加圧装置1の加圧部11には、下方に向けてリニアガイド508が連接され、該リニアガイド508の端部には、圧着ヘッド509が設けられている。圧着ヘッド509は、内部にヒータ(不図示)を備えている。なお、圧着ヘッド509の先端形状は、加圧対象物Wにより異なり、該加圧対象物Wの種類に応じて交換可能である。
【0024】
サーボモータ503及び加圧装置1は、制御装置560によって制御されている。サーボモータ503には、ロータリーエンコーダ511が装備されており、該ロータリーエンコーダ511からの出力信号は、制御装置560に送出される。また、圧着ヘッド509の内部には、ロードセル514が設けられており、該ロードセル514からの出力信号も、制御装置560に送出される。
【0025】
例えば、液晶表示パネルのガラス基板Pに対してドライバICを圧着する際、まず、ACFによりドライバICを仮圧着した状態のガラス基板をステージ512上に真空吸着する。そして、サーボモータ503を位置制御することでヘッドプレート506を下降させ、圧着ヘッド509を所定位置で停止させる。圧着ヘッド509の位置制御は、ロータリーエンコーダ511の出力信号に基づくセミクローズド方式のフィードバック制御により行われる。続いて、加圧装置1をトルク制御しつつ、所定の圧力を持ってICをガラス基板のIC実装領域に押しつける。トルク制御は、ロードセル514の出力信号に基づくクローズド方式のフィードバック制御により行う。また、加圧装置1による加圧は、所定時間で連続的に行い、且つ、加圧状態にて前記ヒータでACFを加熱する。これにより、ACFが押しつぶされて上下導通し、熱硬化を起こす。
【0026】
従って、上記実施形態の圧着装置では、低圧域から高圧域までの広範囲の推力を発生させ、且つ、推力を線形で変化させることができる、上記実施形態の加圧装置を採用するので、あらゆる種類、又は大きさの加圧対象物に対して最適なトルク制御を行うことが可能となる。更に、加圧対象物を変更した場合、直ちに、該加圧対象物に適合したトルク値を設定させることができる。
また、低コストの加圧装置を採用することにより、圧着装置自体も低コストとすることが可能となる。
【0027】
以上、本発明の実施形態による加圧方法、加圧装置、電子部品の圧着方法及び圧着装置、並びに電気光学装置の製造方法及び製造装置について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。
【0028】
例えば、上記実施形態では、加圧対象物Wを、液晶表示パネルのガラス基板PとACF接続を行うドライバIC(配線基板)チップとして説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、採用可能な加圧対象物としては、リジッドな回路基板(Printed Circuit Board)、又は、フレキシブル回路基板(Flexible Printed Circuit)や、プリント基板とその配線上に圧着されるバンプを有するICチップ等も挙げることができる。また、加工対象物Wにおける接続は、異方性導電接着材を用いたACF接続方式に限らず、NCF(No Conductive Film)やNCP(No Conductive Paste)などの絶縁性接着材を用いて端子間を直接接触させる接続方式や、端子間を共晶結合などの金属結合によって直接接続する接続方式を用いても良い。更に、上記のガラス基板P上にドライバICを直接接合するCOG(Chip On Glass)工法の他に、例えば、COF(Chip On Film)工法や、COB(Chip On Board)工法等による圧着にも適用可能である。
【0029】
また、上記実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、FED(フィールドエミッションディスプレイ)装置、LED(発光ダイオード)表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の加圧装置の一実施形態を示す概略図である。
【図2】図1の加圧装置により発生される理論推力を示す表である。
【図3】本発明の圧着装置の一実施形態を示す概略図である。
【符号の説明】
1・・・加圧装置、10・・・加圧機構、12・・・第1エアーシリンダ(流体シリンダ)、14・・・第2エアーシリンダ(流体シリンダ)、16・・・第3エアーシリンダ(流体シリンダ)、500・・・圧着装置

Claims (8)

  1. 少なくとも2つの流体シリンダを連結させ、
    該少なくとも2つの流体シリンダを単独で、若しくは組み合わせて制御させることを特徴とする加圧方法。
  2. 少なくとも2つの流体シリンダを連結させた加圧機構を備えることを特徴とする加圧装置。
  3. 前記少なくとも2つの流体シリンダは、同軸上に配置されていることを特徴とする請求項2記載の加圧装置。
  4. 前記少なくとも2つの流体シリンダは、出力可能な推力範囲がそれぞれ異なることを特徴とする請求項2又は3に記載の加圧装置。
  5. 基板と電子部品とを圧着する電子部品の圧着方法において、
    請求項1に記載の加圧方法を用いることを特徴とする電子部品の圧着方法。
  6. 基板と電子部品とを圧着する電子部品の圧着装置において、
    請求項2から4のいずれか一項に記載の加圧装置を備えることを特徴とする電子部品の圧着装置。
  7. 電気光学パネルに接続される基板若しくは電気光学パネルを構成する基板と、電子部品とを圧着する電気光学装置の製造方法において、
    請求項1記載の加圧方法を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  8. 電気光学パネルに接続される基板若しくは電気光学パネルを構成する基板と、電子部品とを圧着する電気光学装置の製造装置において、
    請求項2から4のいずれか一項に記載の加圧装置を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
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