JP2004264256A - 質量測定方法および質量測定装置 - Google Patents

質量測定方法および質量測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004264256A
JP2004264256A JP2003057501A JP2003057501A JP2004264256A JP 2004264256 A JP2004264256 A JP 2004264256A JP 2003057501 A JP2003057501 A JP 2003057501A JP 2003057501 A JP2003057501 A JP 2003057501A JP 2004264256 A JP2004264256 A JP 2004264256A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample solution
piezoelectric vibrating
mass
excitation electrode
vibrating reed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2003057501A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Maeda
佳男 前田
Sachihiro Kobayashi
祥宏 小林
Seiichiro Ogura
誠一郎 小倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2003057501A priority Critical patent/JP2004264256A/ja
Publication of JP2004264256A publication Critical patent/JP2004264256A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

【課題】圧電振動片を安定して発振させることにより、質量測定の高感度化に対応することが可能な、質量測定方法および質量測定装置を提供する。
【解決手段】感応膜が塗布された励振電極22bを下側に向けて圧電振動片20をほぼ水平に保持し、圧電振動片20における下側の励振電極22bの表面のみに検体溶液7を接触させて、検体溶液中の特定物質の質量測定を行う構成とした。なお検体溶液7は、チューブ12の上端から吐出させて励振電極22bに接触させる。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量測定方法および質量測定装置に係り、特に圧電振動片を用いて検体溶液中の特定物質の濃度等を測定する質量測定方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
食品や生化学、環境などの分野で、特定物質の有無や濃度等を測定するため、水晶振動子マイクロバランス法が利用されている。その具体的な方法は、まず圧電振動片における一方の励振電極の表面に、特定物質の感応膜を塗布する。そして、特定物質を含む検体溶液中にその圧電振動片を浸漬する。すると、検体溶液中の特定物質が感応膜と結合し、励振電極の質量が増加する。この励振電極の質量増加にともなって、圧電振動片の共振周波数が低下する。これにより、検体溶液中の特定物質の有無を判断することができる。
【0003】
ところで、圧電振動片を検体溶液中に浸漬する際に、その両面に形成した励振電極が相互に短絡すると、圧電振動片を発振させることができなくなる。そこで、感応膜を塗布しない他方の励振電極を被覆部材等で覆うことにより、当該励振電極を検体溶液から封止して、電極間の短絡を防止する必要がある。
【0004】
図5に、特許文献1に記載された質量測定チップの説明図を示す。なお、図5(1)は平面図であり、図5(2)は図5(1)のG−G線における側面断面図である。この質量測定チップ503は、矩形状の圧電平板の両面に円形状の励振電極522a,522bを形成した圧電振動片520を備えている。また、圧電振動片520の一方面側には、絶縁性薄板からなる被覆部材550が接着剤558によって接着されている。これにより、一方面側の励振電極522bが検体溶液から封止され、電極間の短絡が防止されている。さらに、各励振電極にはリード線524が取り付けられ、リード線524の検体溶液に浸漬する部分は接着剤558によって被覆されている。
【0005】
図6に、従来の質量測定装置の説明図を示す。質量測定装置501において、上述した質量測定チップ503は外部の発振回路540に接続されている。質量の測定は、励振電極522aの表面に上述した感応膜(不図示)を塗布した上で、質量測定チップ503を検体溶液7中に浸漬して行う。まず、発振回路504により質量測定チップ503の圧電振動片を発振させ、周波数カウンタ5により圧電振動片の共振周波数を測定する。上述したように、検体溶液中の特定物質が感応膜と結合し励振電極の質量が増加すると、圧電振動片の共振周波数が低下する。そこで、コンピュータ6によりこの共振周波数の低下量等を解析して、検体溶液中の特定物質の有無および濃度等を算出する。
【0006】
【特許文献1】特開平6−138125号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
近時、質量測定には高感度化が要求されている。質量測定を高感度化するには、圧電振動片を高周波化する必要がある。しかし、高周波の圧電振動片を検体溶液に浸漬した状態で使用すると、圧電振動片のインピーダンスが増加し、発振が不安定になるという問題がある。したがって、質量測定の高感度化に対応することができないという問題がある。
【0008】
本発明は上記問題点に着目し、圧電振動片を安定して発振させることにより、質量測定の高感度化に対応することが可能な、質量測定方法および質量測定装置の提供を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る質量測定方法は、感応膜が塗布された圧電振動片の励振電極の表面に、検体溶液を接触させることにより、前記検体溶液中の特定物質の質量測定を行う方法であって、感応膜が塗布された前記励振電極を下側に向けて前記圧電振動片をほぼ水平に保持し、前記圧電振動片における下側の励振電極に前記検体溶液を接触させる構成とした。
【0010】
この場合、圧電振動片の一部のみに検体溶液が接触するので、圧電振動片の発振が検体溶液の影響によって妨げられることが少なくなる。これにより、高周波の圧電振動片でも安定して発振させることができる。これにともなって、高周波の圧電振動片を利用することが可能となり、質量測定の高感度化に対応することができる。
【0011】
また、圧電振動片における下側の励振電極のみに検体溶液を接触させるので、上側の励振電極と短絡するおそれがない。したがって、上側の励振電極を検体溶液から隔離するための被覆部材が不要となり、製造コストを削減することができる。さらに、圧電振動片の下側から励振電極に検体溶液を接触させるので、励振電極と検体溶液との接触面積を一定に保持することができる。したがって、質量測定の精度を向上させることができる。
【0012】
また、前記下側の励振電極の表面のみに前記検体溶液を接触させてもよい。この場合、検体溶液は感応膜の塗布されていない部分には接触しない。したがって、質量測定の精度を向上させることができる。
【0013】
一方、本発明に係る質量測定装置は、感応膜が塗布された圧電振動片の励振電極の表面に、検体溶液を接触させることにより、前記検体溶液中の特定物質の質量測定を行う装置であって、ほぼ水平に保持した前記圧電振動片における下側の励振電極に対して前記検体溶液を接触させる検体溶液供給手段を有する構成とした。これにより、高周波の圧電振動片でも安定して発振させることが可能となり、質量測定の高感度化に対応することができる。
【0014】
また前記検体溶液供給手段は、前記圧電振動片の下方から前記圧電振動片に向かって前記検体溶液を供給するポンプと、前記検体溶液を上端から吐出して前記圧電振動片における下側の励振電極に接触させるチューブとを有する構成としてもよい。また前記ポンプは、定量吐出ポンプであってもよい。これにより、励振電極と検体溶液との接触面積を一定に保持することが可能となる。また、圧電振動片の励振電極の表面のみに検体溶液を接触させることも可能となる。したがって、質量測定の精度を向上させることができる。
【0015】
また、前記圧電振動片および前記検体溶液供給手段を所定の温度下に保持する温度調節手段を有する構成としてもよい。これにより、励振電極の表面に塗布した感応膜と検体溶液中の特定物質との反応に対する温度変化による影響を最小限にすることができるので、質量測定の精度を向上させることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明に係る質量測定方法および質量測定装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。なお、以下に記載するのは本発明の実施形態の一態様にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0017】
図2に、本実施形態に係る質量測定装置の説明図を示す。本実施形態に係る質量測定装置1は、圧電振動片20の下方から圧電振動片20に向かって検体溶液7を供給し、圧電振動片20における下側の励振電極22bに検体溶液7を接触させる検体溶液供給手段10と、圧電振動片20および検体溶液供給手段10を所定の温度下に保持する温度調節手段18とを有するものである。
【0018】
本実施形態に係る質量測定装置は、従来の質量測定装置を高感度化したものである。質量測定装置の感度は、次式で表すことができる。
【数1】
Figure 2004264256
ただし、dfは圧電振動片の共振周波数の変化量、fは圧電振動片の共振周波数の初期値、ρは圧電材料の密度、μは圧電材料のせん断応力、dmは励振電極に結合した特定物質の質量、Aは励振電極の面積である。上式からわかるように、圧電振動片の共振周波数の初期値fが高いほど、その変化量dfが大きくなり、質量測定装置が高感度化する。例えば、fを従来の27MHzから150MHzまで高周波化すれば、感度を30倍にすることができる。そして圧電振動片を高周波化するには、圧電振動片の振動部における肉厚を薄くすればよい。
【0019】
図3に、ディスク型圧電振動片の説明図を示す。なお、図3(1)は図3(2)のA−A線における側面断面図であり、図3(2)は底面図である。圧電振動片20は、水晶等の圧電材料を平板状に切り出し、その中央部の両面に励振電極22a,22bを形成したものである。例えば、この圧電振動片20の共振周波数は150MHzであり、圧電振動片20の厚さは62μmである。なお、圧電材料平板21の外形は円形状に限られず、矩形状であってもよい。一方、圧電材料平板21の周縁部には、励振電極22a,22bと導通する接続電極24a,24bを形成する。なお、各電極はAu/CrまたはAg/Crの2層によって構成する。そして、この圧電振動片20における下面の励振電極22bの表面に感応膜を塗布して、圧電振動片20をほぼ水平に配置する。感応膜は、検出すべき特定物質の分子のみと結合する物質であり、特定物質に対応して選択する。
【0020】
図4に、逆メサ型圧電振動片の説明図を示す。なお、図4(1)は図4(2)のB−B線における側面断面図であり、図4(2)は底面図である。高周波の圧電振動片20として、いわゆる逆メサ型圧電振動片120を使用してもよい。逆メサ型圧電振動片120は、圧電材料平板121の中央に凹部を形成して薄肉化し、その薄肉部の両面に励振電極122a,122bを形成したものである。圧電振動片120の周縁の厚肉部には、励振電極122a,122bと導通する接続電極124a,124bを形成する。このような逆メサ型圧電振動片では、周縁の厚肉部により中央の薄肉振動部が保護されるので、外力による振動部の破壊を防止することができる。これにより、高周波の圧電振動片が利用可能となり、質量測定装置を高感度化することができる。
【0021】
一方、図2に示すように、圧電振動片20の下方に検体溶液供給手段10を設ける。検体溶液供給手段10は、主に、検体溶液7を充填した検体溶液槽16と、その検体溶液槽16から圧電振動片20に向かって検体溶液7を供給するポンプ14と、圧電振動片における下側の励振電極に検体溶液を接触させるチューブ12とによって構成する。
【0022】
チューブ12として、塩化ビニル等で構成された毛細チューブを使用する。後述するように、チューブ12から吐出した検体溶液7は、励振電極22bの表面のみに接触させる。そこで、吐出した検体溶液7を励振電極22bの表面のみに接触させ得るように、チューブ12の直径およびチューブ12の先端と励振電極22bとの距離を設定する。そのチューブ12の下端部は、ポンプ14の吐出し口に接続する。ポンプ14として、脈動がなく常時一定量の検体溶液を吐出すことが可能な、ダイヤフラムポンプ等の定量吐出しポンプを使用する。
【0023】
ところで、水晶振動子マイクロバランス法は、感応膜と特定物質との結合に適した所定の温度下で実施する必要がある。そこで、上述した圧電振動片20および検体溶液供給手段10を所定の温度下に保持する温度調節手段18を設ける。温度調節手段18として、圧電振動片20および検体溶液供給手段10を内部に収容可能な恒温槽を使用する。これにより、検体溶液自体を含む検体溶液供給手段10の全体を、効率的かつ正確に所定の温度下に保持することができる。なお、圧電振動片20や検体溶液供給手段10の各部にヒータ等を設けて、それぞれ別個に温度調節することも可能である。
【0024】
そして、図2に示すように、圧電振動片20を外部の発振回路40に接続する。発振回路40は、圧電振動片20の励振電極に通電して圧電振動片20を発振させるものである。また、発振回路40は周波数カウンタ5に接続する。周波数カウンタ5は、圧電振動片20の共振周波数を測定するものである。また、周波数カウンタ5はコンピュータ6に接続する。コンピュータ6は、周波数カウンタ5が測定した共振周波数から、圧電振動片20の励振電極22bに付着した特定物質の質量を算出するものである。加えて、特定物質の付着量の経時変化から検体溶液中の特定物質の濃度等を解析し得るようにコンピュータ6を構成するのが好ましい。
【0025】
次に、本実施形態に係る質量測定装置の使用方法について説明する。
質量測定を開始する前に、図2に示す温度調節手段18を作動させて、圧電振動片20および検体溶液7を含む検体溶液供給手段10を所定の温度に保持しておく。質量測定を行うには、まず発振回路40から圧電振動片20に通電して圧電振動片20を発振させる。また、周波数カウンタ5により圧電振動片20の共振周波数を連続的に計測しておく。次に、ポンプ14を運転して、検体溶液槽16から圧電振動片20に向かって検体溶液7を供給する。そして、図1に示すように、チューブ12の上端から検体溶液7を吐出し、圧電振動片20における下側の励振電極22bに検体溶液7を接触させる。なお、検体溶液7が励振電極22bの表面のみに接触するように、ポンプにおける検体溶液7の吐出し量を設定しておく。また、励振電極22bに接触した後の検体溶液7は、チューブ12の外周面に沿って落下させる。
【0026】
検体溶液7が励振電極22bに接触すると、検体溶液7中の特定物質が励振電極表面の感応膜と結合する。これにより、励振電極22bの質量が増加して、圧電振動片20の共振周波数が低下する。この共振周波数の低下量等をコンピュータ6で解析することにより、特定物質の有無および濃度等を算出することができる。
【0027】
なお、励振電極22bの表面のみに検体溶液7を接触させるので、検体溶液は感応膜の塗布されていない部分には接触しない。これにより、検体溶液7中の特定物質の質量を正確に把握することができる。一方、定量吐出しポンプを使用するので、単位時間に励振電極に接触した検体溶液量を正確に把握することができる。以上から、検体溶液7中の特定物質の濃度を直接的に算出することができる。これにより、質量測定の精度を向上させることができる。
【0028】
以上に詳述した本実施形態に係る質量測定装置および質量測定方法により、圧電振動片を安定して発振させることが可能となる。
【0029】
すなわち、本実施形態では、感応膜が塗布された励振電極を下側に向けて圧電振動片をほぼ水平に保持し、圧電振動片における下側の励振電極に検体溶液を接触させる構成とした。この場合、圧電振動片の一部のみに検体溶液が接触するので、圧電振動片の発振が検体溶液の影響によって妨げられることが少なくなる。これにより、高周波の圧電振動片でも安定して発振させることができる。これにともなって、高周波の圧電振動片を利用することが可能となり、質量測定の高感度化に対応することができる。
【0030】
また、圧電振動片における下側の励振電極のみに検体溶液を接触させるので、上側の励振電極と短絡するおそれがない。したがって、上側の励振電極を検体溶液から隔離するための被覆部材が不要となり、製造コストを削減することができる。さらに、圧電振動片の下側から励振電極に検体溶液を接触させるので、励振電極と検体溶液との接触面積を一定に保持することができる。これにより、質量測定の精度を向上させることができる。
【0031】
近時では、同時に多種類の特定物質を測定可能とするため、質量測定装置のマルチセンサ化が求められている。上述した実施形態では、1種類の特定物質の測定を行う場合について説明したが、本発明に係る質量測定装置および質量測定方法は、同時に多種類の特定物質の測定を行う場合にも適用することができる。具体的には、まず複数の圧電振動片にそれぞれ種類の異なる感応膜を塗布して、各圧電振動片を並べて配置する。そして、検体溶液槽から各圧電振動片に対して、複数のチューブにより検体溶液を供給する。これにより、質量測定装置のマルチセンサ化に対応することができる。
【0032】
なお実施形態では、本発明に係る質量測定装置をバイオセンサとして使用する方法について述べたが、本発明に係る質量測定装置は、例えば粘度計やイオンセンサ、においセンサなどに使用することも可能である。まず、粘度計として使用する場合には、質量測定チップの下側の励振電極に被測定流体を接触させる。この場合、被測定流体の粘度の増加とともに、圧電振動片のインピーダンスが増加して共振周波数が変化する。したがって、被測定流体の粘度を検知することができる。一方、イオンセンサとして使用する場合には、感応膜としてイオン吸着物質を塗布すればよい。またにおいセンサとして使用する場合には、感応膜としてにおい成分の吸着物質を塗布すればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る質量測定方法の説明図である。
【図2】実施形態に係る質量測定装置の説明図である。
【図3】ディスク型圧電振動片の説明図である。
【図4】逆メサ型圧電振動片の説明図である。
【図5】従来の質量測定チップの説明図である。
【図6】従来の質量測定装置の説明図である。
【符号の説明】
7………検体溶液、12………チューブ、20………圧電振動片、22b………励振電極。

Claims (6)

  1. 感応膜が塗布された圧電振動片の励振電極の表面に、検体溶液を接触させることにより、前記検体溶液中の特定物質の質量測定を行う方法であって、
    感応膜が塗布された前記励振電極を下側に向けて前記圧電振動片をほぼ水平に保持し、前記圧電振動片における下側の励振電極に前記検体溶液を接触させることを特徴とする質量測定方法。
  2. 請求項1に記載の質量測定方法において、
    前記下側の励振電極の表面のみに前記検体溶液を接触させることを特徴とする質量測定方法。
  3. 感応膜が塗布された圧電振動片の励振電極の表面に、検体溶液を接触させることにより、前記検体溶液中の特定物質の質量測定を行う装置であって、
    ほぼ水平に保持した前記圧電振動片における下側の励振電極に対して前記検体溶液を接触させる検体溶液供給手段を有することを特徴とする質量測定装置。
  4. 請求項3に記載の質量測定装置であって、
    前記検体溶液供給手段は、前記圧電振動片の下方から前記圧電振動片に向かって前記検体溶液を供給するポンプと、前記検体溶液を上端から吐出して前記圧電振動片における下側の励振電極に接触させるチューブとを有することを特徴とする質量測定装置。
  5. 請求項4に記載の質量測定装置であって、
    前記ポンプは、定量吐出ポンプであることを特徴とする質量測定装置。
  6. 請求項3ないし5のいずれかに記載の質量測定装置であって、
    前記圧電振動片および前記検体溶液供給手段を所定の温度下に保持する温度調節手段を有することを特徴とする質量測定装置。
JP2003057501A 2003-03-04 2003-03-04 質量測定方法および質量測定装置 Withdrawn JP2004264256A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003057501A JP2004264256A (ja) 2003-03-04 2003-03-04 質量測定方法および質量測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003057501A JP2004264256A (ja) 2003-03-04 2003-03-04 質量測定方法および質量測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004264256A true JP2004264256A (ja) 2004-09-24

Family

ID=33120905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003057501A Withdrawn JP2004264256A (ja) 2003-03-04 2003-03-04 質量測定方法および質量測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004264256A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114088615A (zh) * 2021-11-19 2022-02-25 安徽理工大学 一种检测岩石及胶凝类材料强度的全长可激振构件装备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114088615A (zh) * 2021-11-19 2022-02-25 安徽理工大学 一种检测岩石及胶凝类材料强度的全长可激振构件装备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7148611B1 (en) Multiple function bulk acoustic wave liquid property sensor
US9034264B2 (en) Biosensor
JP2004226405A (ja) 薄膜容積弾性波共振器を利用した物質感知センサ及び物質感知モジュール
WO2006064954A1 (ja) 水晶センサ及び感知装置
JP2000258324A (ja) Qcmセンサデバイス
JP2003307481A (ja) マルチチャネルバイオセンサ
US7331232B2 (en) Measurement method and biosensor apparatus using resonator
JP2004264256A (ja) 質量測定方法および質量測定装置
JP3944644B2 (ja) 質量測定チップの製造方法
JP4412546B2 (ja) 微量質量センサ搭載チップ及び微量質量分析システム、並びに微量質量センサ搭載チップの分析方法
JP2009174930A (ja) 粘度測定装置及び粘度測定方法
JP4039284B2 (ja) 質量測定用圧電振動子の製造方法および質量測定用圧電振動子並びに質量測定装置
JP4210205B2 (ja) セル及びこれを備えるバイオセンサー装置並びに測定方法
JP3911191B2 (ja) 分析方法
JP3954430B2 (ja) 濃度測定方法
JP4530361B2 (ja) 物質検出素子の製造方法
GB2445163A (en) Disposable test strips and associated method for measuring viscosity and density changes in a biological fluid
JP2004245719A (ja) 質量測定方法および質量測定装置
JP2003240694A (ja) マルチチャネル微量質量センサ
KR100336084B1 (ko) 큐씨엠 센서
JP2004245785A (ja) 質量測定用圧電振動子、質量測定装置および質量測定方法
JP2013024648A (ja) 感知装置及び感知方法
JP2006098077A (ja) 小容量液の撹拌装置及びそれを含む物質測定装置
JP2005274578A (ja) Qcmセンサデバイス
JP2016186442A (ja) センサ、検出システム及び検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060509