JP2004223578A - リフロー半田付け装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】部品に照射される光量を部品毎に増減制御し、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行うことができるリフロー半田付け装置を提供する。
【解決手段】電子部品を搭載した回路基板2から構成される被加熱物を加熱してリフロー半田付けするリフロー半田付け装置1であって、被加熱物を搬送する搬送手段6と、被加熱物全体を加熱する全体加熱手段3と、被加熱物に光を照射して局所的に加熱する光加熱ユニット4と、被加熱物と光加熱ユニット4間に配設され、光加熱ユニット4から照射された光の光量を局所加熱が必要な領域に対応して調節する調光ユニット5と、を備えてなる。
【選択図】図1
【解決手段】電子部品を搭載した回路基板2から構成される被加熱物を加熱してリフロー半田付けするリフロー半田付け装置1であって、被加熱物を搬送する搬送手段6と、被加熱物全体を加熱する全体加熱手段3と、被加熱物に光を照射して局所的に加熱する光加熱ユニット4と、被加熱物と光加熱ユニット4間に配設され、光加熱ユニット4から照射された光の光量を局所加熱が必要な領域に対応して調節する調光ユニット5と、を備えてなる。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リフロー半田付け装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、チップ部品やパッケージIC等の表面実装部品は、リフロー半田付けによって、印刷配線基板に半田付けされることが広く知られている。
【0003】
一般的に、リフロー半田付けを行なうリフロー半田付け装置は、印刷配線基板の表面に設けた部品取付け用のパッドに沿って表面実装部品を搭載し、この印刷配線基板を装置内に搬送し、搬送中の印刷配線基板に所定温度の温風を吹き付けてパッドに塗布した半田ペーストを溶融させ、印刷配線基板のパッドと表面実装部品のリードとを接続させるものである。
【0004】
このようにリフロー半田付け装置は、所定温度の温風を絶えず吹き付け続けるため、装置内の温度の均一性が良いという特徴を有しているものの、印刷配線基板に仮付けされる表面実装部品の大きさや熱容量の大小によっては、昇温速度に差が生じるという欠点がある。すなわち、チップ部品とパッケージICを同じ条件で加熱しても、寸法の小さい小型チップ部品は所定温度まで加熱されるが、大型のパッケージICは所定温度まで達しないため、良好な半田付けを行なうことができないといった不具合が発生していた。
【0005】
また、印刷配線基板に仮付けされる表面実装部品が同じ大きさであっても、アース等のように面積の大きな銅箔パターンと繋がっているパッドに装着される部品と、そうでない部品とでは昇温速度に差が生じていた。
【0006】
このため、熱容量の大きな部品を搭載した印刷配線基板の全体を均一に加熱することを目的として、全体加熱手段と局所加熱手段とを兼ね備えたリフロー半田付け装置が、提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0007】
【特許文献1】
特開平8−181427号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した特許文献1に記載されたリフロー半田付け装置では、一枚の基板上に局所加熱を要する箇所が複数存在し、加熱光源が1つの場合には、集光レンズや反射ミラーの位置や角度を変化させ、それぞれの局所加熱箇所に光が当たるようにする制御が必要となる上、複数箇所を同時に加熱できないため、装置の処理能力が低くなるという問題があった。
【0009】
また、前記制御を行わない場合には局所加熱を要する箇所の数と同数の加熱光源が必要となり、装置のコストアップや大型化が問題となる。
【0010】
さらに、一般的に光源から照射される光の密度は、照射光の中心部が最も高く、中心部から離れるほど低くなるという発光分布特性を有するため、照射される基板に温度勾配が生じ、基板全面を均一に加熱することができない。
【0011】
本発明は、こうした問題点を解決するためになされたもので、部品に照射される光量を部品毎に増減制御し、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行うことができるリフロー半田付け装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電子部品を搭載した回路基板から構成される被加熱物を加熱してリフロー半田付けするリフロー半田付け装置であって、被加熱物を搬送する搬送手段と、被加熱物全体を加熱する全体加熱手段と、被加熱物に光を照射して局所的に加熱する光加熱ユニットと、被加熱物と光加熱ユニット間に配設され、光加熱ユニットから照射された光の光量を局所加熱が必要な領域に対応して調節する調光ユニットと、が備えられたことを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、被加熱物と光加熱ユニット間に、調光ユニットが配設されているので、光加熱ユニットから照射される光量を調節して、被加熱物である基板の局所加熱が必要な領域に照射することができる。したがって、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行なうことができ、基板上に局所的に熱容量の大きな部分があっても、範囲を限定した局所加熱ができるので、高密度実装基板におけるリフロー半田付けにおいて、半田付けの信頼性を向上させることができる。また、全体加熱において半田が溶けなかった部分を、後工程で再加熱することにより補修する必要がないので、半田付け時間の短縮を図ることができる。
【0014】
また、調光ユニットを設けるだけで、光加熱ユニットから照射される光量を調節して、部品に照射される光量を部品毎に増減制御することができるので、複雑な局所加熱機構を設ける必要がなく、装置のコストダウンおよび小型化を図ることができる。
【0015】
さらに、調光ユニットによって、基板上の部品毎に照射される光量を増減制御することができるので、複数箇所を同時に局所加熱することができ、装置の処理能力を向上させることができる。
【0016】
本発明は、前記調光ユニットは、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜と、からなり、被加熱物の局所加熱が必要な領域に光を透過し、局所加熱が不要な領域においては光を反射若しくは吸収若しくは屈折させることを特徴とする。
【0017】
この発明によれば、局所加熱が必要な領域には、光加熱ユニットから照射される光を透過させて、局所加熱を行なうとともに、局所加熱が不要な領域では、光加熱ユニットから照射される光を反射、吸収、若しくは屈折させることで、加熱されないようにすることができる。したがって、光加熱ユニットから照射される光を、調光ユニットにより加熱範囲を限定して、基板に照射することができる。
【0018】
本発明は、前記調光ユニットは、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜と、からなり、遮光体薄膜の面積または厚みを増減して光加熱ユニットから照射された光の光量を光加熱ユニットの発光分布特性に対応して調節することを特徴とする。
【0019】
この発明によれば、光加熱ユニットの発光分布特性に対応させて、調光ユニットに形成される遮光体薄膜の面積または厚みを増減することにより、発光分布特性により加熱される領域に生じる温度勾配を、調光ユニットによって補正することができる。したがって、基板の局所加熱が必要な領域を均一に加熱することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0021】
本実施形態のリフロー半田付け装置1は、図1に示すように、表面実装部品が仮付けされた印刷配線基板2の全体を加熱する温風加熱ユニット3と、印刷配線基板2を局所的に加熱する光加熱ユニット4と、光加熱ユニット4から照射される光の光量を調節する調光ユニット5と、印刷配線基板2を搬送する搬送装置6と、から構成され、表面実装部品が仮付けされた印刷配線基板2を予熱するための予熱部1aと、表面実装部品を基板2にリフロー半田付けするリフロー部1bに区画されている。
【0022】
印刷配線基板2には、図2に示すように、例えば、CSP(チップサイズパッケージ)7やQFP(クワッドフラットパッケージ)8のような大型の部品の他、小型のチップ部品9などの表面実装部品が搭載されている。
【0023】
温風加熱ユニット3は、所定温度の温風を印刷配線基板2に吹き付ることにより、全体加熱を行うものであって、複数の温風加熱ユニット3が予熱部1aおよびリフロー部1bに対応して配設されている(図1参照)。
【0024】
光加熱ユニット4は、赤外線又は可視光線を照射することにより、印刷配線基板2の所望箇所を局所的に加熱する局所加熱を行なうものである。
【0025】
調光ユニット5は、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜とから構成されており、光加熱ユニット4から照射された赤外線又は可視光線の加熱範囲を限定するものである。
【0026】
図3は、調光ユニット5の一例を示しており、光を透過する光透過部5aが、印刷配線基板2の熱容量の大きな部品に対応する位置に形成されるとともに、光透過部5aを除いた領域が光を反射する光遮断部5bとされ、この光遮断部5bには金属蒸着処理が表面に施されて遮光体薄膜が形成されている。
【0027】
したがって、例えば、図2に示す印刷配線基板2を温風加熱ユニット3で全体加熱した場合、図3に示す光透過部5aが設けられた調光ユニット5を用いると、光加熱ユニット4から照射される光が、熱容量の大きなCSP7やQFP8に直接照射され、全体加熱での加熱不足箇所を補助加熱することができる。
【0028】
ところで、一般的に、ランプから照射される光の密度は、照射光の中心部が最も高く、中心部から離れるほど低くなっている。このような光加熱ユニット4の発光分布特性の例を、図4に示している。実際には、光の強度はアナログ状に変化するが、ここでは説明の便宜上、図4に示すように、ランプ照射光の中心部から光の密度が高い順に、第一加熱エリアA,第二加熱エリアB,第三加熱エリアC,第四加熱エリアDと表している。
【0029】
かかる発光分布特性を考慮して、局所加熱を行なう部分を均一に加熱するために、調光ユニット5には遮光パターンが形成されている。例えば、図5に示す遮光パターンは、図4に示す光加熱ユニット4の発光分布特性を補正するために設けられるものであって、発光分布特性の各加熱エリアA、B、C、Dに対応する調光ユニット5表面の第一遮光エリアA1,第二遮光エリアB1,第三遮光エリアC1,第四遮光エリアD1の例である。
【0030】
この調光ユニット5の遮光面積は、第一遮光エリアA1が最も大きく、以下第二遮光エリアB1、第三遮光エリアC1、第四遮光エリアD1の順で小さくなっている。そのため、調光ユニット5表面で遮光される光量は、第一遮光エリアA1で最大で、第二遮光エリアB1、第三遮光エリアC1、第四遮光エリアD1の順に小さくなっていき、調光ユニット5内を透過する光量は多くなる。
【0031】
また、図6は、この遮光パターンを調光ユニット5に作成した例を示しており、この調光ユニット5を用いると、図3の光透過部5aにおいて、図4に示す光加熱ユニット4の発光分布特性による基板2の中心部と外縁部との加熱不均衡を補正することができる。
【0032】
図7は、図5に示す発光分布特性補正用遮光パターンを拡大したものを示し、遮光パターンを構成する遮光部5cの間隔を変えて調光ユニット5内を透過する光量を調節する例である。この例では円形の遮光部5cを用いているが、遮光部5cの形状は、円形に限られるものではなく、例えば矩形でも良い。また、遮光部5cの寸法・形状は、調光ユニット5の表面上ではすべて同一である。したがって、各加熱エリアA,B,C,Dへの光の照射量の差を作り出すために、透過する光量が多い箇所では各遮光部5c同士の間隔を広げ、透過する光量が少ない箇所では狭めることにより、前記加熱エリア間での遮光パターン密度に差をもたせている。この例では、同一加熱エリア内での遮光パターン密度は、一定としている。
【0033】
また、発光分布特性補正用遮光パターンとしては、図8に示すように遮光パターンを構成する遮光部5cのサイズを変えて調光ユニット5内を透過する光量を調節してもよい。この場合、各加熱エリアへの光の照射量の差を作り出すために、透過する光量が多い箇所では、遮光部5c1個当たりの面積を小さくし、透過する光量が少ない箇所では大きくすることにより、前記加熱エリア間での遮光面積に差をもたせている。この例では、調光ユニット5の全面において遮光部5cのピッチは同一であり、また同一加熱エリア内での遮光部5c1個当たりの面積は一定としている。
【0034】
図7及び図8に示す例では、遮光部5c間隔あるいは遮光部5c1個当たりの面積のいずれか一方を変化させて遮光面積を制御するが、遮光部5c間隔と遮光部5c1個当たりの面積を複合して変化させても良い。
【0035】
次に、調光ユニット5を作成するプロセスについて、光透過体として石英ガラス板50、遮光性薄膜としてAl薄膜51を用いた場合を例にとって、図9ないし図11を参照しながら説明する。
【0036】
まず、図9(a)に示すように、加熱する基板2と同一サイズの平坦な石英ガラス板50の片面に、AlをスパッタリングしてAl薄膜51を形成する。Al薄膜51を形成後、図9(b)に示すように、Al薄膜51上に感光樹脂52を塗布し、図9(c)に示すように、調光ユニット5の遮光部分のパターンが描かれたガラスマスクを通して露光する。
【0037】
ここで、ガラスマスクは、図5の発光分布特性補正用遮光パターンと図3の印刷配線基板を全体加熱方式で加熱した場合の加熱不足部分のパターンとを重ね合わせて作成した調光ユニット5の遮光パターンを元にネガパターンを作成し、調光ユニット5表面の遮光部分にのみ光が当たるように作成したものである。図10に、ガラスマスクに形成された調光ユニット作成用露光マスクパターン10の一例を示す。
【0038】
次に、図9(d)に示すように、現像処理を行い、感光樹脂の光が当たらなかった部分を洗浄・除去した後、図9(e)に示すように調光ユニット5をエッチング処理すると、感光樹脂が残っている箇所を残して石英ガラス板50表面のAl薄膜51が除去される。
【0039】
最後に図9(f)に示すように感光樹脂を剥離すれば、調光ユニット5が完成する。
【0040】
なお、スパッタする金属は、Alに限られるものではなく、Au、Agその他機械的耐久性のあるTiやCrを用いても良い。
【0041】
以上、遮光面積の増減により調光ユニット5内を透過する光量を調節する場合における調光ユニット5の作成プロセスについて説明したが、照射される光量が多い箇所では、調光ユニット5の表面上に形成する金属薄膜を厚くし、照射される光量が少ない箇所では膜厚を薄くして、調光ユニット5内を透過する光量を調節してもよい。この場合、感光樹脂塗布、露光、現像、エッチング、感光樹脂剥離のプロセスを数回繰り返して、調光ユニット5を完成させる。
【0042】
図11は、金属薄膜の厚みを変えて透過する光量を調節する場合の調光ユニット5作成のプロセスを示している。
【0043】
まず、図11(a)に示すように、加熱する基板2と同一サイズの平坦な石英ガラス板50の片面にAlをスパッタリングして、第1層目のAl薄膜51を形成する。Al薄膜51を形成後、図11(b)に示すように、Al薄膜51上に感光樹脂52を塗布し、図11(c)に示すように、調光ユニット5の第1層目の光透過部分のパターンが描かれたガラスマスクを通して露光する。
【0044】
続いて、図11(d)に示すように、現像処理を行い、感光樹脂52の光が当たらなかった部分53を洗浄・除去した後、図11(e)に示すように調光ユニット5をエッチング処理すると、感光樹脂52が残っている箇所を残して石英ガラス板50表面のAl薄膜51が除去され、光透過膜の第1層目が形成される。
【0045】
次に、図11(f)に示すように感光樹脂52を剥離し、図11(g)に示すように再度感光樹脂52を塗布した後、図11(h)に示すように第2層目の光透過部分のパターンが描かれたガラスマスクを通して露光する。
【0046】
次いで、図11(i)に示すように、現像処理を行い、感光樹脂52の光が当たらなかった部分53を洗浄・除去した後、図11(j)に示すように調光ユニット5をエッチング処理すると、感光樹脂52が残っている箇所を残して石英ガラス板50表面のAl薄膜51が除去され、光透過膜の第2層目が形成される。
【0047】
最後に、図11(k)に示すように感光樹脂52を剥離すれば、調光ユニット5が完成する。
【0048】
なお、スパッタする金属は、Alに限られるものではなく、Au、Agその他機械的耐久性のあるTiやCrを用いても良い。
【0049】
このようにすると、予熱部1aでの加熱処理において印刷配線基板2上に温度の不均衡が発生しても、リフロー部1bに備わる光加熱ユニット4と調光ユニット5との組み合わせによる局所加熱により、印刷配線基板2上の温度の低い部分に、選択的に補助加熱がなされ、印刷配線基板2上の全部品を均一加熱することが可能となる。
【0050】
次に、上記説明したリフロー半田付け装置1を用いて半田付けする手順について、図1に基づいて説明する。
【0051】
予熱部1aに搬送された印刷配線基板2は、温風加熱ユニット3による全体加熱が行われ、加熱空気、赤外線等にて半田が溶けない150℃程度の温度で予熱される。予熱が終了すると、印刷配線基板2は、搬送装置6によってリフロー部1bに搬送される。
【0052】
搬送装置6には、図示しないコンベア等の搬送手段が設けられており、印刷配線基板2を移載させる基板移載ステージ61と、印刷配線基板2の搬送をガイドする基板搬送用ガイド62が備えられている。
【0053】
なお、一般に、予熱部1aにおける加熱時間とリフロー部1bにおける加熱時間とでは、予熱部1aでの加熱時間のほうが長い。このため、予熱部1aの加熱処理中にリフロー部1bの印刷配線基板2の温度が所定の温度に達しても、印刷配線基板2の移載搬送は行わず、予熱部1aの加熱処理が完了するまで待機する。
【0054】
リフロー部1bでは、温風加熱ユニット3による全体加熱と、光加熱ユニット4による局所加熱を併用して印刷配線基板2を加熱する。局所加熱は、高密度実装基板において大型の部品等の熱容量が大きく半田が溶けにくい部分等に適用する。そして、250℃程度の温度で半田が溶融することにより、印刷配線基板2に搭載された部品の半田付けが完了する。
【0055】
【発明の効果】
以上に説明したとおり、本発明のリフロー半田付け装置によれば、部品に照射される光量を部品毎に増減制御し、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリフロー半田付け装置の概略を示す斜視図である。
【図2】印刷配線基板の表面実装部品搭載例を示す平面図である。
【図3】調光ユニットの一例を示す平面図である。
【図4】光加熱ユニットの発光分布特性の例を示す概略図である。
【図5】光加熱ユニット発光分布特性補正用遮光パターンの例を示す概略図である。
【図6】調光ユニットの他の例を示す平面図である。
【図7】調光ユニットの光加熱ユニット発光分布特性補正用遮光パターンを示す拡大図である。
【図8】調光ユニットの光加熱ユニット発光分布特性補正用遮光パターンを示す拡大図である。
【図9】調光ユニット作成のプロセスを示す断面図である。
【図10】調光ユニット作成用露光マスクパターンの一例を示す概略図、および部分拡大図である。
【図11】他の調光ユニット作成のプロセスを示す断面図である。
【符号の説明】
1 リフロー半田付け装置
2 印刷配線基板
3 温風加熱ユニット
4 光加熱ユニット
5 調光ユニット
50 石英ガラス板
51 Al薄膜
6 搬送装置
7 CSP
8 QFP
9 チップ部品
【発明の属する技術分野】
本発明は、リフロー半田付け装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、チップ部品やパッケージIC等の表面実装部品は、リフロー半田付けによって、印刷配線基板に半田付けされることが広く知られている。
【0003】
一般的に、リフロー半田付けを行なうリフロー半田付け装置は、印刷配線基板の表面に設けた部品取付け用のパッドに沿って表面実装部品を搭載し、この印刷配線基板を装置内に搬送し、搬送中の印刷配線基板に所定温度の温風を吹き付けてパッドに塗布した半田ペーストを溶融させ、印刷配線基板のパッドと表面実装部品のリードとを接続させるものである。
【0004】
このようにリフロー半田付け装置は、所定温度の温風を絶えず吹き付け続けるため、装置内の温度の均一性が良いという特徴を有しているものの、印刷配線基板に仮付けされる表面実装部品の大きさや熱容量の大小によっては、昇温速度に差が生じるという欠点がある。すなわち、チップ部品とパッケージICを同じ条件で加熱しても、寸法の小さい小型チップ部品は所定温度まで加熱されるが、大型のパッケージICは所定温度まで達しないため、良好な半田付けを行なうことができないといった不具合が発生していた。
【0005】
また、印刷配線基板に仮付けされる表面実装部品が同じ大きさであっても、アース等のように面積の大きな銅箔パターンと繋がっているパッドに装着される部品と、そうでない部品とでは昇温速度に差が生じていた。
【0006】
このため、熱容量の大きな部品を搭載した印刷配線基板の全体を均一に加熱することを目的として、全体加熱手段と局所加熱手段とを兼ね備えたリフロー半田付け装置が、提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0007】
【特許文献1】
特開平8−181427号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した特許文献1に記載されたリフロー半田付け装置では、一枚の基板上に局所加熱を要する箇所が複数存在し、加熱光源が1つの場合には、集光レンズや反射ミラーの位置や角度を変化させ、それぞれの局所加熱箇所に光が当たるようにする制御が必要となる上、複数箇所を同時に加熱できないため、装置の処理能力が低くなるという問題があった。
【0009】
また、前記制御を行わない場合には局所加熱を要する箇所の数と同数の加熱光源が必要となり、装置のコストアップや大型化が問題となる。
【0010】
さらに、一般的に光源から照射される光の密度は、照射光の中心部が最も高く、中心部から離れるほど低くなるという発光分布特性を有するため、照射される基板に温度勾配が生じ、基板全面を均一に加熱することができない。
【0011】
本発明は、こうした問題点を解決するためになされたもので、部品に照射される光量を部品毎に増減制御し、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行うことができるリフロー半田付け装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電子部品を搭載した回路基板から構成される被加熱物を加熱してリフロー半田付けするリフロー半田付け装置であって、被加熱物を搬送する搬送手段と、被加熱物全体を加熱する全体加熱手段と、被加熱物に光を照射して局所的に加熱する光加熱ユニットと、被加熱物と光加熱ユニット間に配設され、光加熱ユニットから照射された光の光量を局所加熱が必要な領域に対応して調節する調光ユニットと、が備えられたことを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、被加熱物と光加熱ユニット間に、調光ユニットが配設されているので、光加熱ユニットから照射される光量を調節して、被加熱物である基板の局所加熱が必要な領域に照射することができる。したがって、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行なうことができ、基板上に局所的に熱容量の大きな部分があっても、範囲を限定した局所加熱ができるので、高密度実装基板におけるリフロー半田付けにおいて、半田付けの信頼性を向上させることができる。また、全体加熱において半田が溶けなかった部分を、後工程で再加熱することにより補修する必要がないので、半田付け時間の短縮を図ることができる。
【0014】
また、調光ユニットを設けるだけで、光加熱ユニットから照射される光量を調節して、部品に照射される光量を部品毎に増減制御することができるので、複雑な局所加熱機構を設ける必要がなく、装置のコストダウンおよび小型化を図ることができる。
【0015】
さらに、調光ユニットによって、基板上の部品毎に照射される光量を増減制御することができるので、複数箇所を同時に局所加熱することができ、装置の処理能力を向上させることができる。
【0016】
本発明は、前記調光ユニットは、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜と、からなり、被加熱物の局所加熱が必要な領域に光を透過し、局所加熱が不要な領域においては光を反射若しくは吸収若しくは屈折させることを特徴とする。
【0017】
この発明によれば、局所加熱が必要な領域には、光加熱ユニットから照射される光を透過させて、局所加熱を行なうとともに、局所加熱が不要な領域では、光加熱ユニットから照射される光を反射、吸収、若しくは屈折させることで、加熱されないようにすることができる。したがって、光加熱ユニットから照射される光を、調光ユニットにより加熱範囲を限定して、基板に照射することができる。
【0018】
本発明は、前記調光ユニットは、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜と、からなり、遮光体薄膜の面積または厚みを増減して光加熱ユニットから照射された光の光量を光加熱ユニットの発光分布特性に対応して調節することを特徴とする。
【0019】
この発明によれば、光加熱ユニットの発光分布特性に対応させて、調光ユニットに形成される遮光体薄膜の面積または厚みを増減することにより、発光分布特性により加熱される領域に生じる温度勾配を、調光ユニットによって補正することができる。したがって、基板の局所加熱が必要な領域を均一に加熱することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0021】
本実施形態のリフロー半田付け装置1は、図1に示すように、表面実装部品が仮付けされた印刷配線基板2の全体を加熱する温風加熱ユニット3と、印刷配線基板2を局所的に加熱する光加熱ユニット4と、光加熱ユニット4から照射される光の光量を調節する調光ユニット5と、印刷配線基板2を搬送する搬送装置6と、から構成され、表面実装部品が仮付けされた印刷配線基板2を予熱するための予熱部1aと、表面実装部品を基板2にリフロー半田付けするリフロー部1bに区画されている。
【0022】
印刷配線基板2には、図2に示すように、例えば、CSP(チップサイズパッケージ)7やQFP(クワッドフラットパッケージ)8のような大型の部品の他、小型のチップ部品9などの表面実装部品が搭載されている。
【0023】
温風加熱ユニット3は、所定温度の温風を印刷配線基板2に吹き付ることにより、全体加熱を行うものであって、複数の温風加熱ユニット3が予熱部1aおよびリフロー部1bに対応して配設されている(図1参照)。
【0024】
光加熱ユニット4は、赤外線又は可視光線を照射することにより、印刷配線基板2の所望箇所を局所的に加熱する局所加熱を行なうものである。
【0025】
調光ユニット5は、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜とから構成されており、光加熱ユニット4から照射された赤外線又は可視光線の加熱範囲を限定するものである。
【0026】
図3は、調光ユニット5の一例を示しており、光を透過する光透過部5aが、印刷配線基板2の熱容量の大きな部品に対応する位置に形成されるとともに、光透過部5aを除いた領域が光を反射する光遮断部5bとされ、この光遮断部5bには金属蒸着処理が表面に施されて遮光体薄膜が形成されている。
【0027】
したがって、例えば、図2に示す印刷配線基板2を温風加熱ユニット3で全体加熱した場合、図3に示す光透過部5aが設けられた調光ユニット5を用いると、光加熱ユニット4から照射される光が、熱容量の大きなCSP7やQFP8に直接照射され、全体加熱での加熱不足箇所を補助加熱することができる。
【0028】
ところで、一般的に、ランプから照射される光の密度は、照射光の中心部が最も高く、中心部から離れるほど低くなっている。このような光加熱ユニット4の発光分布特性の例を、図4に示している。実際には、光の強度はアナログ状に変化するが、ここでは説明の便宜上、図4に示すように、ランプ照射光の中心部から光の密度が高い順に、第一加熱エリアA,第二加熱エリアB,第三加熱エリアC,第四加熱エリアDと表している。
【0029】
かかる発光分布特性を考慮して、局所加熱を行なう部分を均一に加熱するために、調光ユニット5には遮光パターンが形成されている。例えば、図5に示す遮光パターンは、図4に示す光加熱ユニット4の発光分布特性を補正するために設けられるものであって、発光分布特性の各加熱エリアA、B、C、Dに対応する調光ユニット5表面の第一遮光エリアA1,第二遮光エリアB1,第三遮光エリアC1,第四遮光エリアD1の例である。
【0030】
この調光ユニット5の遮光面積は、第一遮光エリアA1が最も大きく、以下第二遮光エリアB1、第三遮光エリアC1、第四遮光エリアD1の順で小さくなっている。そのため、調光ユニット5表面で遮光される光量は、第一遮光エリアA1で最大で、第二遮光エリアB1、第三遮光エリアC1、第四遮光エリアD1の順に小さくなっていき、調光ユニット5内を透過する光量は多くなる。
【0031】
また、図6は、この遮光パターンを調光ユニット5に作成した例を示しており、この調光ユニット5を用いると、図3の光透過部5aにおいて、図4に示す光加熱ユニット4の発光分布特性による基板2の中心部と外縁部との加熱不均衡を補正することができる。
【0032】
図7は、図5に示す発光分布特性補正用遮光パターンを拡大したものを示し、遮光パターンを構成する遮光部5cの間隔を変えて調光ユニット5内を透過する光量を調節する例である。この例では円形の遮光部5cを用いているが、遮光部5cの形状は、円形に限られるものではなく、例えば矩形でも良い。また、遮光部5cの寸法・形状は、調光ユニット5の表面上ではすべて同一である。したがって、各加熱エリアA,B,C,Dへの光の照射量の差を作り出すために、透過する光量が多い箇所では各遮光部5c同士の間隔を広げ、透過する光量が少ない箇所では狭めることにより、前記加熱エリア間での遮光パターン密度に差をもたせている。この例では、同一加熱エリア内での遮光パターン密度は、一定としている。
【0033】
また、発光分布特性補正用遮光パターンとしては、図8に示すように遮光パターンを構成する遮光部5cのサイズを変えて調光ユニット5内を透過する光量を調節してもよい。この場合、各加熱エリアへの光の照射量の差を作り出すために、透過する光量が多い箇所では、遮光部5c1個当たりの面積を小さくし、透過する光量が少ない箇所では大きくすることにより、前記加熱エリア間での遮光面積に差をもたせている。この例では、調光ユニット5の全面において遮光部5cのピッチは同一であり、また同一加熱エリア内での遮光部5c1個当たりの面積は一定としている。
【0034】
図7及び図8に示す例では、遮光部5c間隔あるいは遮光部5c1個当たりの面積のいずれか一方を変化させて遮光面積を制御するが、遮光部5c間隔と遮光部5c1個当たりの面積を複合して変化させても良い。
【0035】
次に、調光ユニット5を作成するプロセスについて、光透過体として石英ガラス板50、遮光性薄膜としてAl薄膜51を用いた場合を例にとって、図9ないし図11を参照しながら説明する。
【0036】
まず、図9(a)に示すように、加熱する基板2と同一サイズの平坦な石英ガラス板50の片面に、AlをスパッタリングしてAl薄膜51を形成する。Al薄膜51を形成後、図9(b)に示すように、Al薄膜51上に感光樹脂52を塗布し、図9(c)に示すように、調光ユニット5の遮光部分のパターンが描かれたガラスマスクを通して露光する。
【0037】
ここで、ガラスマスクは、図5の発光分布特性補正用遮光パターンと図3の印刷配線基板を全体加熱方式で加熱した場合の加熱不足部分のパターンとを重ね合わせて作成した調光ユニット5の遮光パターンを元にネガパターンを作成し、調光ユニット5表面の遮光部分にのみ光が当たるように作成したものである。図10に、ガラスマスクに形成された調光ユニット作成用露光マスクパターン10の一例を示す。
【0038】
次に、図9(d)に示すように、現像処理を行い、感光樹脂の光が当たらなかった部分を洗浄・除去した後、図9(e)に示すように調光ユニット5をエッチング処理すると、感光樹脂が残っている箇所を残して石英ガラス板50表面のAl薄膜51が除去される。
【0039】
最後に図9(f)に示すように感光樹脂を剥離すれば、調光ユニット5が完成する。
【0040】
なお、スパッタする金属は、Alに限られるものではなく、Au、Agその他機械的耐久性のあるTiやCrを用いても良い。
【0041】
以上、遮光面積の増減により調光ユニット5内を透過する光量を調節する場合における調光ユニット5の作成プロセスについて説明したが、照射される光量が多い箇所では、調光ユニット5の表面上に形成する金属薄膜を厚くし、照射される光量が少ない箇所では膜厚を薄くして、調光ユニット5内を透過する光量を調節してもよい。この場合、感光樹脂塗布、露光、現像、エッチング、感光樹脂剥離のプロセスを数回繰り返して、調光ユニット5を完成させる。
【0042】
図11は、金属薄膜の厚みを変えて透過する光量を調節する場合の調光ユニット5作成のプロセスを示している。
【0043】
まず、図11(a)に示すように、加熱する基板2と同一サイズの平坦な石英ガラス板50の片面にAlをスパッタリングして、第1層目のAl薄膜51を形成する。Al薄膜51を形成後、図11(b)に示すように、Al薄膜51上に感光樹脂52を塗布し、図11(c)に示すように、調光ユニット5の第1層目の光透過部分のパターンが描かれたガラスマスクを通して露光する。
【0044】
続いて、図11(d)に示すように、現像処理を行い、感光樹脂52の光が当たらなかった部分53を洗浄・除去した後、図11(e)に示すように調光ユニット5をエッチング処理すると、感光樹脂52が残っている箇所を残して石英ガラス板50表面のAl薄膜51が除去され、光透過膜の第1層目が形成される。
【0045】
次に、図11(f)に示すように感光樹脂52を剥離し、図11(g)に示すように再度感光樹脂52を塗布した後、図11(h)に示すように第2層目の光透過部分のパターンが描かれたガラスマスクを通して露光する。
【0046】
次いで、図11(i)に示すように、現像処理を行い、感光樹脂52の光が当たらなかった部分53を洗浄・除去した後、図11(j)に示すように調光ユニット5をエッチング処理すると、感光樹脂52が残っている箇所を残して石英ガラス板50表面のAl薄膜51が除去され、光透過膜の第2層目が形成される。
【0047】
最後に、図11(k)に示すように感光樹脂52を剥離すれば、調光ユニット5が完成する。
【0048】
なお、スパッタする金属は、Alに限られるものではなく、Au、Agその他機械的耐久性のあるTiやCrを用いても良い。
【0049】
このようにすると、予熱部1aでの加熱処理において印刷配線基板2上に温度の不均衡が発生しても、リフロー部1bに備わる光加熱ユニット4と調光ユニット5との組み合わせによる局所加熱により、印刷配線基板2上の温度の低い部分に、選択的に補助加熱がなされ、印刷配線基板2上の全部品を均一加熱することが可能となる。
【0050】
次に、上記説明したリフロー半田付け装置1を用いて半田付けする手順について、図1に基づいて説明する。
【0051】
予熱部1aに搬送された印刷配線基板2は、温風加熱ユニット3による全体加熱が行われ、加熱空気、赤外線等にて半田が溶けない150℃程度の温度で予熱される。予熱が終了すると、印刷配線基板2は、搬送装置6によってリフロー部1bに搬送される。
【0052】
搬送装置6には、図示しないコンベア等の搬送手段が設けられており、印刷配線基板2を移載させる基板移載ステージ61と、印刷配線基板2の搬送をガイドする基板搬送用ガイド62が備えられている。
【0053】
なお、一般に、予熱部1aにおける加熱時間とリフロー部1bにおける加熱時間とでは、予熱部1aでの加熱時間のほうが長い。このため、予熱部1aの加熱処理中にリフロー部1bの印刷配線基板2の温度が所定の温度に達しても、印刷配線基板2の移載搬送は行わず、予熱部1aの加熱処理が完了するまで待機する。
【0054】
リフロー部1bでは、温風加熱ユニット3による全体加熱と、光加熱ユニット4による局所加熱を併用して印刷配線基板2を加熱する。局所加熱は、高密度実装基板において大型の部品等の熱容量が大きく半田が溶けにくい部分等に適用する。そして、250℃程度の温度で半田が溶融することにより、印刷配線基板2に搭載された部品の半田付けが完了する。
【0055】
【発明の効果】
以上に説明したとおり、本発明のリフロー半田付け装置によれば、部品に照射される光量を部品毎に増減制御し、部品の寸法や熱容量の大きさに係わらず、良好な半田付けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリフロー半田付け装置の概略を示す斜視図である。
【図2】印刷配線基板の表面実装部品搭載例を示す平面図である。
【図3】調光ユニットの一例を示す平面図である。
【図4】光加熱ユニットの発光分布特性の例を示す概略図である。
【図5】光加熱ユニット発光分布特性補正用遮光パターンの例を示す概略図である。
【図6】調光ユニットの他の例を示す平面図である。
【図7】調光ユニットの光加熱ユニット発光分布特性補正用遮光パターンを示す拡大図である。
【図8】調光ユニットの光加熱ユニット発光分布特性補正用遮光パターンを示す拡大図である。
【図9】調光ユニット作成のプロセスを示す断面図である。
【図10】調光ユニット作成用露光マスクパターンの一例を示す概略図、および部分拡大図である。
【図11】他の調光ユニット作成のプロセスを示す断面図である。
【符号の説明】
1 リフロー半田付け装置
2 印刷配線基板
3 温風加熱ユニット
4 光加熱ユニット
5 調光ユニット
50 石英ガラス板
51 Al薄膜
6 搬送装置
7 CSP
8 QFP
9 チップ部品
Claims (3)
- 電子部品を搭載した回路基板から構成される被加熱物を加熱してリフロー半田付けするリフロー半田付け装置であって、
被加熱物を搬送する搬送手段と、被加熱物全体を加熱する全体加熱手段と、被加熱物に光を照射して局所的に加熱する光加熱ユニットと、被加熱物と光加熱ユニット間に配設され、光加熱ユニットから照射された光の光量を局所加熱が必要な領域に対応して調節する調光ユニットと、が備えられたことを特徴とするリフロー半田付け装置。 - 前記調光ユニットは、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜と、からなり、被加熱物の局所加熱が必要な領域に光を透過し、局所加熱が不要な領域においては光を反射若しくは吸収若しくは屈折させることを特徴とする請求項1記載のリフロー半田付け装置。
- 前記調光ユニットは、光透過体と、この光透過体の表面に形成された遮光体薄膜と、からなり、遮光体薄膜の面積または厚みを増減して光加熱ユニットから照射された光の光量を光加熱ユニットの発光分布特性に対応して調節することを特徴とする請求項1記載のリフロー半田付け装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003015183A JP2004223578A (ja) | 2003-01-23 | 2003-01-23 | リフロー半田付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003015183A JP2004223578A (ja) | 2003-01-23 | 2003-01-23 | リフロー半田付け装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004223578A true JP2004223578A (ja) | 2004-08-12 |
Family
ID=32903008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003015183A Pending JP2004223578A (ja) | 2003-01-23 | 2003-01-23 | リフロー半田付け装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004223578A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006011630A1 (en) | 2004-07-30 | 2006-02-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus and method, image sensig apparatus, and program |
DE102012206403B3 (de) * | 2012-04-18 | 2013-03-28 | Infineon Technologies Ag | Lötanlage und lötverfahren |
KR20180005198A (ko) * | 2015-04-28 | 2018-01-15 | 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오 | 플래쉬 램프 및 마스크를 이용하여 복수의 칩을 솔더링하기 위한 장치 및 방법 |
-
2003
- 2003-01-23 JP JP2003015183A patent/JP2004223578A/ja active Pending
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