JP2004207663A - 樹脂硬化装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加熱温度が２００度の高温となっても、加熱炉内に水平方向に設けられる長尺物が熱変形によって重力方向へたわむのを防止すること。
【解決手段】この樹脂硬化装置は、樹脂が塗布されたテープ基板４を搬送する搬送路（最下段、中段、最上段の各ガイドレール１１，１０，９）と、これら搬送路に沿って設けられ加熱炉１内を加熱する加熱手段（発熱体１７，２７、３２や熱板１９，２９，３２など）と、加熱炉１内にガイドレール敷設方向（水平方向）に沿って設けられ、搬送路や加熱手段などの構成部材を取り付ける第１から第４の仕切り板１２〜１５とを有し、樹脂の塗布されたテープ基板４を、加熱して樹脂を硬化させる。そして、第１から第４の仕切り板１２〜１５は、加熱炉１内の温度上昇の際、水平方向の伸びが許容されるように支持されている。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂がポッティングされたテープ基板を加熱することによってその樹脂を硬化させる樹脂硬化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、半導体の実装装置として、フィルム状のテープ基板を走行させて、半導体素子を搬送するＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式を採用したものが普及している。このＴＡＢ方式の半導体実装装置は、テープ基板にインナリードボンディングされた半導体素子をポッティング装置によって樹脂封止したのち、樹脂硬化手段で加熱して樹脂を硬化させ、その熱硬化処理の終了したテープ基板をテープ基板巻取り装置で巻き取るようになっている。たとえば、特許文献１、２にその種の装置が開示されている。
【０００３】
このような半導体実装装置における樹脂硬化装置は、通常、摂氏１５０度（以下、温度は摂氏で表示する）程度の温度で加熱するのが一般的であり、樹脂硬化装置の加熱炉やその構成部材は１５０度程度の温度には十分耐えられる構造となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開平０８−０１７８５４号公報（図１）
【特許文献２】特開平１１−１６３０４１号公報（図５）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、最近では樹脂硬化させる際の加熱温度を２００度にまで上昇させたいとの要望があり、それに対応した樹脂硬化装置の開発が必要とされつつあるが、加熱温度が２００度にまで達すると、従来の１５０度対応の加熱炉のままでは種々の問題が発生することがわかってきた。
【０００６】
たとえば、加熱温度が２００度といった高温となることによって、加熱炉内に設けられた各種部材に熱変形が生じる問題や、加熱炉を収納する加熱炉筐体に設けられる扉の表面が熱くなって、傍にいるオペレータが不快を感じるばかりでなく、操作性が悪くなるなどの問題が発生することがわかってきた。特に、加熱炉内が２００度といった高温になると、加熱炉内に水平方向、つまり、加熱炉内に設けられた搬送路の敷設方向に沿って設けられた長尺部材としての構成部材取り付け板がその長尺方向に大きく伸び、従来の構造では対応できない種々の問題が発生する。
【０００７】
すなわち、加熱炉内を加熱するための発熱体やその発熱体の熱を加熱炉内に均等に拡散するための熱板、あるいは、搬送路としてのガイドレールやこのガイドレールの裏側にまで熱を効率よく当てる働きをする熱反射板などが取り付けられる構成部材取り付け板は、高熱が加えられると、熱膨張によって、主に、その長手方向（ガイドレールの敷設方向）に従来以上に大きく伸びる傾向にある。
【０００８】
このとき、その構成部材取り付け板の長手方向の両端が固定されていると、長手方向にそれ以上伸びることができず、この構成部材取り付け板は、自重のほかに、上述した各種の構成部材の重みが加わるため、下方向つまり重力方向へのたわみが生じる結果となる。
【０００９】
このように、加熱炉内に水平方向に設けられる長尺部材である構成部材取り付け板に下方向のたわみが生じると、それに取り付けられている上述した各種構成部材も同様に下方向にたわむことになり、テープ基板の正常な搬送動作やテープ基板に対する適正な加熱動作が行えなくなる場合も発生する。
【００１０】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、加熱炉内の加熱温度を従来の温度（約１５０度）よりも高い温度（約２００度）とした場合でも、加熱炉内に水平方向に設けられる構成部材取り付け板の熱膨張によるたわみを防止できる樹脂硬化装置を提供することを目的とする。また、他の発明は、加熱炉内が高温になったとしても、オペレータに不快感を与えることなく操作性の向上をもはかることができる樹脂硬化装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明の樹脂硬化装置は、樹脂が塗布されたテープ基板の走行を加熱炉内でガイドする搬送路と、この搬送路に沿って設けられ加熱炉内の温度を上昇させる加熱手段と、加熱炉内に搬送路の敷設方向に沿って設けられ、搬送路や加熱手段などの構成部材を取り付ける構成部材取り付け板とを有し、搬送路上を走行する樹脂が塗布されたテープ基板を、加熱してその塗布された樹脂を硬化させる樹脂硬化装置において、構成部材取り付け板は、熱変形による搬送路の敷設方向への伸びを許容するように取り付けられている。
【００１２】
これによって、加熱炉内が高温となっても、加熱炉内において搬送路の敷設方向（水平方向）に設けられる長尺部材である構成部材取り付け板は、熱変形が水平方向の伸びとして許容されるので、重力方向にたわむのを防止することができる。それによって、構成部材取り付け板に取り付けられる搬送路や加熱手段などの構成部材は、構成部材取り付け板とともに重力方向にたわむことがなくなり、その取り付け状態を常に適正な状態に保持することができる。
【００１３】
このような樹脂硬化装置において、構成部材取り付け板は、搬送路の敷設方向における中途部が固定され、その固定箇所を基点に搬送路の敷設方向の両端部がその搬送路の敷設方向に伸びることができるように支持されるのが好ましい。
【００１４】
このように、構成部材取り付け板は、搬送路の敷設方向、つまり、その長手方向の中途部が固定されていると、構成部材取り付け板の位置を適正に確保することができ、構成部材取り付け板が不用意に動いてしまうのを防止することができる。また、その固定箇所以外が搬送路の敷設方向（水平方向）に伸びることができるよう保持されていると、構成部材取り付け板の熱変形は水平方向の伸びとして許容され、構成部材取り付け板が重力方向にたわむのを未然に防止することができる。
【００１５】
また、構成部材取り付け板の搬送路の敷設方向の端部が、加熱炉を形成する筐体の内壁に接する場合は、その端部と筐体の内壁との間に隙間を設け、その隙間に弾性を有するパッキング部材を介在させるのが好ましい。
【００１６】
この構成を採用すると、構成部材取り付け板が水平方向に伸びようとする動きを阻害することなく、しかも、パッキング部材の存在により構成部材取り付け板と加熱炉筐体との間を常に密着状態に保持することができる。
【００１７】
また、加熱炉は、最上段加熱ゾーンと中段加熱ゾーンと最下段加熱ゾーンの３段炉で構成され、構成部材取り付け板は、最上段加熱ゾーンの上面を形成するとともに、最上段加熱ゾーン内を加熱する加熱手段がその下側面に取り付けられる第１の仕切り板と、最上段加熱ゾーンと中段加熱ゾーンとを仕切るとともに、その上面側にはテープ基板の最上段加熱ゾーン内での走行が可能な搬送路が取り付けられ、その下面側にはテープ基板の中段加熱ゾーン内での走行が可能な搬送路が取り付けられる第２の仕切り板と、中段加熱ゾーンと最下段加熱ゾーンとを仕切るとともに、その上面側には中段加熱ゾーン内を加熱する加熱手段が取り付けられ、その下面側には最下段加熱ゾーン内を加熱する加熱手段が取り付けられる第３の仕切り板と、最下段加熱ゾーンの下面を形成するとともに、テープ基板の最下段加熱ゾーン内での走行が可能な搬送路がその上面側に取り付けられる第４の仕切り板で構成されるのが好ましい。
【００１８】
このように、加熱炉を３段炉とすると、十分な加熱が可能となり、樹脂硬化も確実となる。また、加熱炉を３段炉とした場合、この３段炉を形成するそれぞれの仕切り板を長手方向への伸びを許容する構成部材取り付け板とすることで、各仕切り板が高温を受けて熱変形する際、その熱変形を重力方向でなく、水平方向の伸びとすることができる。これによって、それぞれの仕切り板に取り付けられるガイドレールや加熱手段などの構成部材は、構成部材取り付け板とともに重力方向にたわむことがなくなり、その取り付け状態を常に適正な状態に保持することができる。
【００１９】
また、加熱炉を形成する加熱炉筐体の前面および背面の少なくとも一方に設けられる扉部とこの扉部以外の上記加熱炉筐体の側面部の少なくとも一方は、上下方向の空気の流通を可能とした中空部を有する構造とするのが好ましい。
【００２０】
この構成とすると、加熱炉内の熱が扉や加熱炉筐体の表面にまで伝わりにくくなり、加熱炉筐体の表面が熱くなるのを極力防止することができる。このため、オペレータがその熱の影響を受けにくくなり、オペレータが操作しやすい環境を作り出すことができる。
【００２１】
また、他の発明の樹脂硬化装置は、樹脂が塗布されたテープ基板の走行を加熱炉内でガイドする搬送路と、この搬送路に沿って設けられ加熱炉内の温度を上昇させる加熱手段と、加熱炉内に搬送路の敷設方向に沿って設けられ、搬送路や加熱手段などの構成部材を取り付ける構成部材取り付け板とを有し、搬送路上を走行する樹脂が塗布されたテープ基板を加熱してその塗布された樹脂を硬化させる樹脂硬化装置において、加熱炉を形成する加熱炉筐体の前面および背面の少なくとも一方に設けられる扉部は、上下方向の空気の流通を可能とした中空部を有する構造としている。
【００２２】
本発明では、加熱炉内の熱が扉の表面まで伝わりにくくなり、オペレータが扉を操作しやすくなる。また、扉の周囲は温度が高くならないので、オペレータとしては、熱による不快感を感じることが少なくなる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る樹脂硬化装置を図１から図１３を参照しながら説明する。なお、まず、図１から図８に基づいて第１の実施の形態の樹脂硬化装置について説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態に係る樹脂硬化装置を正面から見た構成図で、図２は、図１のＡ−Ａ線矢視拡大断面図であり、主として、この図２と図１により樹脂硬化装置の構成について説明する。
【００２５】
樹脂硬化装置は、大きく分けると、加熱炉１を形成する筐体２（以下、加熱炉筐体２と呼ぶ）と、加熱炉筐体２の台座としての役目をなし、各種計器や操作パネルなどが設けられるとともに各種雑用物が収納される収納部を形成する筐体（これを加熱炉支持筐体と呼ぶ）３を有した構成となっている。なお、本来は、これら加熱炉筐体２や加熱炉支持筐体３には扉が設けられているがこの図１および図２ではその扉は図示を省略してある。
【００２６】
加熱炉１は、下方に配置される最下段加熱ゾーンＺ１、中央に配置される中段加熱ゾーンＺ２、上方に配置される最上段加熱ゾーンＺ３の３つの加熱ゾーンからなる３段炉の構成となっている。
【００２７】
図示しないポッティング装置によって樹脂が塗布されたテープ基板４は、そのポッティング装置から送られてきて、加熱炉１のテープ基板入り口５から入り、最下段加熱ゾーンＺ１を走行して第１の折り返しローラ６で折り返される。その後、テープ基板４は、中段加熱ゾーンＺ２を走行し、第２の折り返しローラ７で折り返されたのち、最上段加熱ゾーンＺ３を走行する。これらの各加熱ゾーンＺ１，Ｚ２，Ｚ３を走行することでテープ基板４は加熱処理されたのちに、テープ基板出口８から送出され、テープ基板巻き取り装置（図示省略）に供給される。
【００２８】
また、この加熱炉１には、それぞれの加熱ゾーンＺ１，Ｚ２，Ｚ３に設けられる搬送路としてのガイドレール（最下段ガイドレール１１、中段ガイドレール１０、最上段ガイドレール９）や後に説明する加熱手段などの構成部材を取り付けるとともに、それぞれの加熱ゾーンＺ１，Ｚ２，Ｚ３の仕切りとしての役目も果たす構成部材取り付け板としての第１から第４の仕切り板１２，１３，１４，１５が設けられる。
【００２９】
これら第１から第４の仕切り板１２，１３，１４，１５は、それぞれステンレス材などでなり、図２に示すように、内部にはグラスウールなどの断熱材１６が詰められている。
【００３０】
加熱炉１の上方に配置される第１の仕切り板１２は、加熱炉１の上面を形成する役目をなし、ガイドレール敷設方向（水平方向かつ長手方向）に沿って、加熱炉１の図１における左端から右端（加熱炉筐体２の左側内壁２Ｌから右側内壁２Ｒ）まで設けられている。
【００３１】
また、この第１の仕切り板１２は、各種の構成部材を取り付ける構成部材取り付け板の役目もなし、その下面側には、最上段加熱ゾーンＺ３内を加熱する加熱手段の一部としての板状の複数の発熱体１７がそれぞれ支持部材１８によって吊り下げられた状態でガイドレール敷設方向に沿って断続的に設けられている。これら発熱体１７の下方には、加熱手段の一部であり、各発熱体１７から発生する熱を受け取り、その熱を内部で拡散し、テープ基板４をまんべんなく加熱する熱板１９がガイドレール敷設方向に沿って設けられている。
【００３２】
この熱板１９は、複数の熱板高さ調整部２０によって第１の仕切り板１２に複数箇所で吊り下げられた状態で取り付けられ、この熱板高さ調整部２０によって高さの微調整が可能となっている。
【００３３】
加熱炉１の中央上部に配置される第２の仕切り板１３は、最上段加熱ゾーンＺ３と中段加熱ゾーンＺ２を仕切る役目をなし、図１に示す加熱炉１内のガイドレール敷設方向に沿って加熱炉筐体２の図示右側内壁２Ｒから第２の折り返しローラ７の直前まで設けられている。
【００３４】
また、この第２の仕切り板１３は、各種の構成部材を取り付ける構成部材取り付け板の役目もなし、その上面側には、テープ基板４を第２の折り返しローラ７からテープ基板出口８方向への走行をガイドするための最上段ガイドレール９が上述した熱板１９と対向するように支持部材２１によって取り付けられている。この支持部材２１には、最上段ガイドレール９の幅を調整するためのガイドレール幅調整部２２が複数箇所に設けられている。さらに、この最上段ガイドレール９の下方には、加熱手段の一部であり、上述の発熱体１７によって発生された熱（熱板１９で拡散された熱を含む）をテープ基板４の裏面にまで効率よく照射するための熱反射板２３が設けられている。
【００３５】
この第２の仕切り板１３には、その下面側に、テープ基板４の第１の折り返しローラ６から第２の折り返しローラ７への走行をガイドするための中段ガイドレール１０が支持部材２４によって取り付けられている。この支持部材２４には、中段ガイドレール１０の幅を調整するためのガイドレール幅調整部２５が複数箇所に設けられ、さらに、この中段ガイドレール１０の上方には、熱反射板２６が設けられている。
【００３６】
加熱炉１の中央下部に配置される第３の仕切り板１４は、中段加熱ゾーンＺ２と最下段加熱ゾーンＺ１を仕切る役目をなし、図１に示す加熱炉１内のガイドレール敷設方向に沿って加熱炉筐体２の図示左側内壁２Ｌから第１の折り返しローラ６の直前まで設けられている。
【００３７】
この第３の仕切り板１４は、各種の構成部材を取り付ける構成部材取り付け板の役目もなし、その上面側に、中段加熱ゾーンＺ２内を加熱するための板状の複数の発熱体２７がそれぞれ支持部材２８によってガイドレール敷設方向に沿って断続的に取り付けられている。これら発熱体２７の上方には、各発熱体２７から発生する熱を受け取り、テープ基板４に対し、その熱をまんべんなく与える熱板２９が中段ガイドレール１０と対向するようにガイドレール敷設方向に沿って設けられている。なお、この熱板２９は、熱板高さ調整プレート３０（詳細は後に説明する）によって第３の仕切り板１４に取り付けられている。
【００３８】
さらに、この第３の仕切り板１４には、その下面側に、最下段加熱ゾーンＺ１内を加熱するための板状の複数の発熱体３１がそれぞれ支持部材３１ａによって吊り下げられた状態でガイドレール敷設方向に沿って断続的に設けられている。これら発熱体３１の下方には、各発熱体３１から発生する熱を拡散する熱板３２がテープ基板４の搬送方向に沿って設けられている。なお、この熱板３２は、熱板高さ調整プレート３３によって第３の仕切り板１４に吊り下げられた状態で設けられている。
【００３９】
加熱炉１の最下方に配置される第４の仕切り板１５は、加熱炉１の底面を形成する役目をなし、加熱炉１の水平方向かつ長手方向に沿って加熱炉１の図示左端から右端（加熱炉筐体２の左側内壁２Ｌから右側内壁２Ｒ）まで設けられている。
【００４０】
この第４の仕切り板１５は、各種の構成部材を取り付ける構成部材取り付け板の役目もなし、その上面側には、テープ基板入り口５から第１の折り返しローラ６へのテープ基板４の走行をガイドするための最下段ガイドレール１１が設けられるとともに、最下段ガイドレール１１の幅を調整するためのガイドレール幅調整部３４が設けられている。さらに、この最下段ガイドレール１１の下方には、上述の発熱体３１によって発生された熱をテープ基板４の裏面にまで効率よく照射するための熱反射板３５が設けられている。
【００４１】
また、第１の折り返しローラ６の近傍には、この第１の折り返しローラ６を通過するテープ基板４を加熱するための発熱体３７が設けられるとともに、その発熱体３７からの熱を拡散するための熱板３８が第１の折り返しローラ６をほぼ半周分囲むように設けられている。同様に、第２の折り返しローラ７の近傍にはこの第２の折り返しローラ７を通過するテープ基板４を加熱するための発熱体３９が設けられるとともに、その発熱体３９からの熱を拡散するための熱板４０が第２の折り返しローラ７をほぼ半周分囲むように設けられている。
【００４２】
ところで、第１の仕切り板１２は、上述したように、加熱炉１内の上面であって、水平方向に加熱炉１内の左端から右端、つまり、加熱炉筺体２の左側内壁２Ｌから右側内壁２Ｒまで設けられているが、この第１の仕切り板１２は、図１における左右両端部１２Ｌ，１２Ｒが、加熱炉筺体２に対して固定されるものではない。すなわち、第１の仕切り板１２は、左側内壁２Ｌおよび右側内壁２Ｒに固定されたＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒによって、図１における左右方向に伸び縮み可能に支持され、かつ、第１の仕切り板１２の左側端部１２Ｌと加熱炉筐体２の左側内壁２Ｌとの間および第１の仕切り板１２の右側端部１２Ｒと加熱炉筺体２の右側内壁２Ｒとの間には、それぞれ所定の隙間Ｓを設けた状態で支持される。
【００４３】
そして、これらそれぞれの隙間Ｓには第１の仕切り板１２の左右両端部１２Ｌ，１２Ｒと加熱炉筺体２との間を密着させるための弾性を有するパッキング部材４１が介在される。
【００４４】
なお、この第１の仕切り板１２をＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒに支持する際の支持の仕方は、たとえば、Ｌ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒに長孔４０１Ｌａ、４０１Ｒａ（図３参照）を設けるとともに第１の仕切り板１２にボルト通し孔（図示せず）を設ける。そして、これら長孔４０１Ｌａ、４０１Ｒａとボルト通し穴とを一致させて、ボルトを通して反対側からナットを螺合させることによって、第１の仕切り板１２をＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒに取り付けるが、このとき、Ｌ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒと第１の仕切り板１２とが動かないようにボルトとナットを締め付けるのではなく、ボルトとナットの締め具合に遊びを持たせた状態としておく。
【００４５】
このように、この第１の仕切り板１２は、その左右両端部１２Ｌ，１２Ｒが加熱炉筐体２側に固定されたそれぞれのＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒによって、図１における左右方向に伸び縮み可能な状態で支持されている。
【００４６】
また、この第１の仕切り板１２は、その長手方向の中途部において、３箇所がＬ字金具４２１，４３１，４４１（図３にて後に説明する）で支持されている。すなわち、加熱炉筐体２には、その前面側と背面側のそれぞれ３箇所にそれぞれ対をなす支柱４５，４６，４７が設けられ、これら各支柱４５，４６，４７においてＬ字金具４２１，４３１，４４１で支持されている。
【００４７】
なお、説明の都合上、これらの３箇所の支柱４５，４６，４７に対し、加熱炉１の長手方向の中央部に設けられる一対の支柱を中央支柱４５といい、この中央支柱４５と加熱炉筐体２の左端部との間に設けられる一対の支柱を左支柱４６といい、中央支柱４５と加熱炉筐体２の右端部との間に設けられる一対の支柱を右支柱４７という。
【００４８】
これら中央支柱４５、左支柱４６および右支柱４７は、加熱炉筐体２の上下方向の補強部材としての役目をなすとともに、この図１および図２では図示されていない観音開きの扉を支持する役目をなす。なお、本発明は、この扉についても特徴を有するがそれについては後に説明する。
【００４９】
ところで、これら中央支柱４５には、第１から第３の仕切り板１２，１３，１４を固定するためのＬ字金具４２１，４２２，４２３と第４の仕切り板１５を固定するためのＬ字金具（図示省略）が固定されている。左支柱４６には、第１から第３の仕切り板１２，１３，１４を支持するためのＬ字金具４３１，４３２，４３３と第４の仕切り板１５を固定するためのＬ字金具（図示省略）が固定され、右支柱４７には、第１から第３の仕切り板１２，１３，１４を支持するためのＬ字金具４４１，４４２，４４３と第４の仕切り板１５を固定するためのＬ字金具（図示省略）が固定されている。なお、第４の仕切り板１５の固定は、第１の仕切り板１２と同様な固定方法であり、図示を省略する。
【００５０】
以下、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２１，４２２，４２３および左支柱４６に固定されたＬ字金具４３１，４３２，４３３、右支柱に固定されたＬ字金具４４１，４４２，４４３に対する第１から第３の仕切り板１２，１３，１４の支持の仕方について図３、図４、図５を参照しながら説明する。なお、第４の仕切り板１５は、上述したように、第１の仕切り板１２と同様に支持可能であるので、ここでは、第１から第３の仕切り板１２，１３，１４の支持の仕方について説明する。
【００５１】
なお、図３から図５は、第１から第３の仕切り板１２，１３，１４を加熱炉１内において下側から見た図である。この図３から図５では、第１から第３の仕切り板１２，１３，１４と中央支柱４５、左支柱４６、右支柱４７、これら中央支柱４５、左支柱４６、右支柱４７に固定されたＬ字金具４２１〜４２３，４３１〜４３４，４４１〜４４３、加熱炉筐体２に固定された４０１Ｌ，４０２Ｌ，４０１Ｒ，４０２Ｒのみが図示されており、そのほかの構成部材の図示は省略されている。
【００５２】
まず、図３によって第１の仕切り板１２の支持の仕方について説明する。この図３からもわかるように、１対の中央支柱４５に固定された１対のＬ字金具４２１は、その長孔４２１ａが加熱炉１内の奥行き方向に長い長孔となっている。一方、１対の左支柱４６と１対の右支柱４７に固定された１対のＬ字金具４３１、１対のＬ字金具４４１の各長孔４３１ａ，４４１ａや、加熱炉筐体２に固定されたそれぞれのＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒの長孔４０１Ｌａ，４０１Ｒａは、加熱炉１内の左右方向（ガイドレール敷設方向）に長い長孔となっている。この左右方向に長い長孔は、後述するように、仕切り板１２，１３，１４，１５の左右方向への伸びを許容するためのものである。
【００５３】
そして、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２１に対しては、第１の仕切り板１２は、ボルトを締め付けた状態で固定されるが、左支柱４６および右支柱４７に固定されたＬ字金具４３１，４４１や加熱炉筐体２に固定されたそれぞれのＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒに対しては、ボルトを締め付けずに遊びを有した状態で支持される。
【００５４】
なお、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２１の長孔４２１ａを奥行き方向に長くしたのは、この第１の仕切り板１２を加熱炉１内に取り付ける際、各Ｌ字金具４２１，４３１，４４１（加熱炉筐体２の左右の内壁２Ｌ，２Ｒに固定されたＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒを含む）と自身に設けられたボルト孔などの位置合わせなどが容易に行えるようにするためである。
【００５５】
このように、この第１の仕切り板１２は、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２１に対しては固定された状態となるが、そのほかの支柱（左支柱４６および右支柱４７）に固定されたＬ字金具４３１，４４１や加熱炉筐体２の左右両内壁２Ｌ，２Ｒに固定されたＬ字金具４０１Ｌ，４０１Ｒに対しては遊びを持った状態で支持されている。
【００５６】
これによって、この第１の仕切り板１２は、加熱炉１内が２００度という高温になった場合、その熱を受けて熱変形するが、その熱変形は、主に、中央支柱４５を基点に左右両側水平方向に伸びる変形として現れる。なお、この第１の仕切り板１２の左右両端部１２Ｌ，１２Ｒと加熱炉筐体２との間には隙間Ｓが設けられ、その隙間Ｓには弾性を有するパッキング部材４１が設けられているので、この第１の仕切り板１２が左右両側水平方向に伸びる際は、そのパッキング部材４１を押圧した状態で伸びる。第１の仕切り板１２の奥行き方向への変形（伸び）は、左右方向に比べると少なく、従来と同様の考え方や構造でも問題は生じない。
【００５７】
第１の仕切り板１２は、左右方向への伸びが許容されているため、その熱変形が、自重による重力方向へのたわみではなく、水平方向の伸びとして現れてくる。このため、第１の仕切り板１２が重力方向にたわむのが防止されるとともに、第１の仕切り板１２に取り付けられている様々な構成部材（発熱体１７、熱板１９、熱板高さ調整部２０など）が重力方向にたわむのを防止することができる。
【００５８】
これら各構成部材は、重力方向へたわむとそれぞれの動作に悪影響を及ぼす可能性が高いが、本実施の形態によれば、それを未然に防止できる。なお、第１の仕切り板１２が水平方向に伸びると、それに取り付けられている上述の各構成部材も原理的には水平方向に位置がずれることとなるが、第１の仕切り板１２の水平方向の伸びによって、上述の構成部材の位置が実用上問題となるほどずれることはない。
【００５９】
また、第２の仕切り板１３は、上述したように、図１に示す加熱炉１内のガイドレール敷設方向に沿って、加熱炉筺体２の右側内壁２Ｒから第２の折り返しローラ７の直前まで設けられている。加熱炉筺体２の右側内壁２Ｒ側に位置する第２の仕切り板１３の端部１３Ｒは、第１の仕切り板１２と同様、加熱炉筺体２の右側内壁２Ｒに固定されたＬ字金具４０２Ｒによって、左右方向に伸び縮み可能に支持され、かつ、この第２の仕切り板１３の右側端部１３Ｒと加熱炉筐体２の右側内壁２Ｒとの間には、所定の隙間Ｓを設けた状態で支持される。そして、この隙間Ｓには第２の仕切り板１３の右側端部１３Ｒと加熱炉筺体２との間を密封させるための弾性を有するパッキング部材４１が介在される。
【００６０】
一方、この第２の仕切り板１３の左側端部１３Ｌ、つまり、第２の折り返しローラ７側の端部には、熱遮蔽板４８が取り付けられている。この熱遮蔽板４８は、その上下方向のほぼ中心位置で第２の仕切り板１３の左側端部１３Ｌに固定され、最上段加熱ゾーンＺ３と中段加熱ゾーンＺ２のそれぞれ左側端壁を形成している。熱遮蔽板４８の上方向端部は、第１の仕切り板１２の下面との間にわずかな隙間を形成するように位置し、下方向端部は第３の仕切り板１４の上面との間にわずかな隙間を形成するように位置している。
【００６１】
このように、この熱遮蔽板４８は、この第２の仕切り板１３に取り付けられているのみであり、他の部材への取り付けはなされていない。なお、この熱遮蔽板４８は、テープ基板４の搬送路を横切るように配置されるが、これら搬送路を横切る部分は、図示しない切り欠き孔が設けられ、テープ基板４はその切り欠き孔を通って走行できるようになっている。
【００６２】
この第２の仕切り板１３の支持の仕方について、図４により説明する。この図４からもわかるように、１対の中央支柱４５に固定された１対のＬ字金具４２２は、それぞれの長孔４２２ａが加熱炉１内の奥行き方向に長い長孔となっている。一方、１対の左支柱４６と１対の右支柱４７に固定された１対のＬ字金具４３２、１対のＬ字金具４４２の各長孔４３２ａ，４４２ａや、加熱炉筐体２に固定されたＬ字金具４０２Ｒの長孔４０２Ｒａは、加熱炉１内の左右方向（ガイドレール敷設方向）に長い長孔となっている。
【００６３】
そして、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２２に対しては、第２の仕切り板１３は、ボルトを締め付けた状態で固定されるが、左支柱４６および右支柱４７に固定されたＬ字金具４３２，４４２や加熱炉筐体２に固定されたそれぞれのＬ字金具４０２Ｒに対しては、ボルトを締め付けずに遊びを有した状態で支持される。
【００６４】
このように、この第２の仕切り板１３は、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２２に対しては固定された状態であるが、左右の支柱４６，４７に固定されたＬ字金具４３２，４４２に対しては遊びを有した状態で支持されている。
【００６５】
また、この第２の仕切り板１３の左右両端部１３Ｌ，１３Ｒのうち、右側端部１３Ｒは、加熱炉筐体２の右内壁２Ｒに固定されたＬ字金具４０２Ｒに対して伸び縮み可能に支持されている。また、左側端部１３Ｌには熱遮蔽板４８が取り付けられているが、この熱遮蔽板４８は、この第２の仕切り板１３に取り付けられているのみであり、他の部材への取り付けはなされていないので、この第２の仕切り板１３の左側端部１３Ｌは右側端部１３Ｒと同様に、左右方向へ伸び縮み可能となっている。
【００６６】
これによって、この第２の仕切り板１３は、第１の仕切り板１２と同様、加熱炉内が２００度という高温になった場合、その熱を受けて熱変形するが、それによって生じる熱変形は、主に、中央支柱４５を基点に左右両側に伸びる変形として現れる。なお、この第２の仕切り板１３の右側端部１３Ｌと加熱炉筐体２との間には隙間Ｓが設けられ、その隙間Ｓには弾性を有するパッキング部材４１が設けられているので、この第２の仕切り板１３が右方向に伸びる際は、そのパッキング部材４１を押圧して伸びる。
【００６７】
このように、第２の仕切り板１３は、その左右方向への伸びが許容されるように支持されているので、その熱変形が、自重による重力方向へのたわみではなく、水平方向の伸びとして現れる。このため、第２の仕切り板１３は、重力方向にたわむのが防止されるとともに、この第２の仕切り板１３の上面側と下面側にそれぞれ取り付けられている様々な構成部材（ガイドレール９，１０、反射板２３，２６、ガイドレール幅調整部２２，２５など）も重力方向にたわむのが防止される。
【００６８】
これら各構成部材は重力方向へたわむとそれぞれの動作に悪影響を及ぼす可能性が高いが、本実施の形態によれば、それを未然に防止できる。なお、第２の仕切り板１３が水平方向に伸びると、それに取り付けられている上述の各構成部材も原理的には水平方向に位置がずれることとなるが、第２の仕切り板１３の水平方向の伸びは、第１の仕切り板１２と同様にわずかであり、上述の構成部材の位置が実用上問題となるほどずれることはない。
【００６９】
また、第３の仕切り板１４は、図１に示す熱加熱炉１内のガイドレール敷設方向に沿って、加熱炉筐体２の左側内壁２Ｌから第１の折り返しローラ６の直前まで設けられている。加熱炉筺体２の左側内壁２Ｌ側に位置する第３の仕切り板１４の左側端部１４Ｌは、図５に示すように、第１の仕切り板１２と同様、加熱炉筺体２の左側内壁２Ｌに固定されたＬ字金具４０２Ｌに対し、左右方向に伸び縮み可能な状態で支持されている。
【００７０】
このとき、第３の仕切り板１４の左側端部１４Ｌと加熱炉筺体２の左側内壁２Ｌとの間には、所定の隙間Ｓが設けられる。そして、この隙間Ｓには第３の仕切り板１４の左側端部１４Ｌと加熱炉筺体２との間を密着させるための弾性を有するパッキング部材４１が介在される。
【００７１】
一方、この第３の仕切り板１４の右側端部１４Ｒ、つまり、第１の折り返しローラ６側の端部には、熱遮蔽板５０が取り付けられている。この熱遮蔽板５０はその上下方向のほぼ中心位置で第３の仕切り板１４の右側端部１４Ｒに固定され、中段加熱ゾーンＺ２と最下段加熱ゾーンＺ１のそれぞれ右側端壁を形成している。熱遮蔽板５０の上方向端部は、第２の仕切り板１３の下面との間にわずかな隙間を形成するように位置し、下方向端部は第４の仕切り板１５の上面との間にわずかな隙間を形成するように位置している。このように、この熱遮蔽板５０は、この第３の仕切り板１４に取り付けられているのみであり、他の部材への取り付けはなされていない。
【００７２】
この第３の仕切り板１４の支持の仕方について、図５により説明する。この図５からもわかるように、１対の中央支柱４５に固定された１対のＬ字金具４２３は、それぞれの長孔４２３ａが加熱炉１内の奥行き方向に長い長孔となっている。一方、１対の左支柱４６と１対の右支柱４７に固定された１対のＬ字金具４３３、１対のＬ字金具４４３の各長孔４３３ａ，４４３ａや、加熱炉筐体２に固定されたＬ字金具４０２Ｌの長孔４０２Ｌａは、加熱炉１内の左右方向（ガイドレール敷設方向）に長い長孔となっている。
【００７３】
そして、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２３に対しては、第３の仕切り板１４はボルトを締め付けた状態で固定されるが、左支柱４６および右支柱４７に固定されたＬ字金具４３３，４４３や加熱炉筐体２に固定されたそれぞれのＬ字金具４０２Ｌに対しては、ボルトを締め付けずに遊びを有した状態で支持される。
【００７４】
このように、この第３の仕切り板１４は、中央支柱４５に固定されたＬ字金具４２３に対しては固定された状態であるが、左右の支柱４６，４７に固定されたＬ字金具４３３，４４４に対しては遊びを有した状態で支持されている。また、この第３の仕切り板１３の左右両端部１４Ｌ，１４Ｒのうち、左側端部１４Ｌは、加熱炉筐体２の左側内壁２Ｌに固定されたＬ字金具４０２Ｌに対して左右方向に伸び縮み可能に支持されており、また、右側端部１４Ｒには熱遮蔽板５０が取り付けられている。この熱遮蔽板５０は、この第３の仕切り板１４に取り付けられているのみであり、他の部材への取り付けはなされていない。つまり、この第３の仕切り板１４の右側端部１４Ｒは、左右方向へ伸び縮み可能となっている。
【００７５】
これによって、この第３の仕切り板１４は、第１の仕切り板１２や第２の仕切り板１３と同様、加熱炉１内が２００度という高温になった場合、その熱を受けて熱変形するが、それによって生じる熱変形は、主に、中央支柱４５を基点に左右両側に伸びる変形として現れる。なお、この第３の仕切り板１４の左側端と加熱炉筐体２との間には隙間Ｓが設けられ、その隙間Ｓには弾性を有するパッキング材４１が設けられているので、この第３の仕切り板が左方向に伸びる際は、そのパッキング材４１を押圧した状態で伸びる。
【００７６】
このように、第３の仕切り板１４は、左右方向への伸びが許容される状態で支持されているので、その熱変形が自重による重力方向へのたわみではなく、水平方向の伸びとして現れる。このため、第３の仕切り板１４に取り付けられている様々な構成部材（発熱体２７，３１、熱板２９，３２、熱板高さ調整部３０，３１など）も重力方向にたわむのを防止することができる。これら各構成部材は重力方向へたわむとそれぞれの動作に悪影響を及ぼす可能性が高いが、本実施の形態によれば、それを未然に防止できる。
【００７７】
なお、第３の仕切り板１４が水平方向に伸びると、それに取り付けられている上述の各構成部材も原理的には水平方向に位置がずれることとなるが、第３の仕切り板１４の水平方向の伸びはわずかであり、上述の構成部材の位置が実用上問題となるほどずれることはない。
【００７８】
また、第４の仕切り板１５は、この図３から図５では図示されていないが、上述したように、熱加熱炉１内の下面を形成し、ガイドレール敷設方向に沿って加熱炉１内の左端から右端、つまり、加熱炉筺体２の左側内壁２Ｌから右側内壁２Ｒまで設けられているが、この第４の仕切り板１５も第１の仕切り板１２と同様、１対の中央支柱４５に対して固定され、その左右両端部１５Ｌ，１５Ｒは水平方向へ伸び縮み可能に支持されている。
【００７９】
そして、この第４の仕切り板１５の左側端部１５Ｌと加熱炉筐体２の左側内壁２Ｌとの間および第４の仕切り板１５の右側端部１５Ｒと加熱炉筺体２の右側内壁２Ｒとの間には、それぞれ所定の隙間Ｓが設けられる。これらそれぞれの隙間Ｓには、第４の仕切り板１５の左右両端部１５Ｌ，１５Ｒと加熱炉筺体２との間を密着させるための弾性を有するパッキング部材４１が介在される。
【００８０】
これによって、この第４の仕切り板１５は、加熱炉１内が２００度という高温になった場合、その熱を受けて熱変形するが、この第４の仕切り板１５は、中央支柱４５を中心として左右両方向へ伸び縮み可能に支持されているため、高温で加熱されると、それによって生じる熱変形は、中央支柱４５を中心に左右両側に伸びる変形として現れる。
【００８１】
このように、第４の仕切り板１５は、その熱変形が自重による重力方向へのたわみではなく、水平方向の伸びとして現れるので、この第４の仕切り板１５に取り付けられている様々な構成部材（最下段ガイドレール１１、熱反射板３５、ガイドレール幅調整部３４など）も重力方向にたわむのを防止することができる。これら各構成部材は、重力方向へたわむとそれぞれの動作に悪影響を及ぼす可能性が高いが、本実施の形態によれば、それを未然に防止できる。なお、第４の仕切り板１５が水平方向に伸びると、それに取り付けられている上述の各構成部材も原理的には水平方向に位置がずれることとなるが、第４の仕切り板１５の水平方向の伸びはわずかであり、上述の構成部材の位置が実用上問題となるほどずれることはない。
【００８２】
なお、これまでの説明は、主に第１から第４の仕切り板１２，１３，１４，１５とその取り付け方について説明したが、この樹脂硬化装置が有するその他の構成部材の一部としては、たとえば、前述したように、それぞれのガイドレール（最上段ガイドレール９、中段ガイドレール１０、最下段ガイドレール１１）の幅を調整するためのガイドレール幅調整部２２，２５，３４や熱板１９、２９、３２の上下方向位置（高さ）を調整するための熱板高さ調整部２０，３０，３３が、最上段加熱ゾーンＺ３，中段加熱ゾーンＺ２、最下段加熱ゾーンＺ１において、それぞれガイドレール敷設方向に沿って複数箇所ずつ設けられている。
【００８３】
これらそれぞれのガイドレール幅調整部２２，２５，３４は、それぞれのガイドレール９，１０，１１を構成する２本のレールのうち、奥行き側のレールと手前側のレールをそれぞれその搬送方に対して直角方向にずらすことができるようになっており、それによってレール間隔を調整可能としている。
【００８４】
一方、熱板高さ調整部２０，３０，３３のうち、最上段加熱ゾーンＺ３に設けられる熱板高さ調整部２０は、第１の仕切り板１２から吊り下げられるようにして加熱炉１の前面側と背面側に対をなして設けられている。中段加熱ゾーンＺ２に設けられる熱板高さ調整部３０は、第３の仕切り板１４から上方へ突出するようにして加熱炉１の前面側と背面側に対をなして設けられ、最下段加熱ゾーンＺ１に設けられる熱板高さ調整部３３は、第３の仕切り板１４から吊り下げられるようにして加熱炉１の前面側と背面側に対をなして設けられている。これら熱板高さ調整部２０，３０，３３は、それぞれ対応する熱板１９，２９，３２を前面側と背面側で高さを微調整できるようになっている。
【００８５】
また、加熱炉筐体２には、加熱炉１内で発生する有害なガス（テープ基板４に付着している有機溶剤などから発生するガス）を図示しないブロアによって吸引するためのガス吸入孔６１ａが設けられる。このガス吸入孔６１ａは、加熱炉筐体２の左端側、つまり、テープ基板入り口５側の加熱炉筐体２の左側面に上下方向に沿って複数箇所設けられている。図示していないが、ガス吸入孔が最下段加熱ゾーンＺ１の左側面にも設けられている。
【００８６】
なお、このガス吸入孔６１ａを加熱炉筐体２においてテープ基板入り口５の存在する側の側面に設けたのは、ポッティングされたばかりのテープ基板４の方がより多くの有害なガスを発生するからであり、そのガスを加熱炉１内に多くの時間を滞留させることなく速やかに吸入して外部に排出することが好ましいからである。
【００８７】
この加熱炉１内で発生するガスは、ブロアによって吸引されることによって、ガス吸入孔６１ａから図示しない吸入パイプ（加熱炉筐体２の左端側に配置されている）を通ってブロアに送られたのち、図示しない排出パイプ（加熱炉筐体２の左端側に配置されている）を通ってガス排出孔６１ｂを通過したのち、外部排出口６２から外部に排出される。
【００８８】
次に、この樹脂硬化装置の加熱炉１に設けられる扉について説明する。
【００８９】
この樹脂硬化装置は、図６から図８に示すように、加熱炉１の前面と背面にそれぞれ２組ずつの観音開きの扉７１が設けられる。
【００９０】
この扉７１は、それぞれが加熱炉１の表面側に配置される表面板と加熱炉１の内部側に配置される裏面板の２枚の板からなり、両者の間には空間部７２が形成される２重構造となっている。そして、表面板と裏面板との間にはいくつかの桟７３が補強用として扉７１の縦方向に設けられている。桟７３と桟７３の間の空間部７２の上端側と下端側は開口となっている。
【００９１】
そして、これらの扉７１は、加熱炉筐体２に対して図６から図８に示すように取り付けられる。なお、図７において、扉７１が開けられている様子（半開き状態）は２点鎖線で示されている。
【００９２】
扉７１の裏面板に接する加熱炉筐体２の枠体部分には、弾性を有する細長いパッキング部材７４が設けられ、図７の実線で示すように扉７１が閉じられた状態では、裏面板と加熱炉筐体２の枠体部分はそのパッキング部材７４によって密着状態となり、加熱炉１内の密封状態が保持されるようにしている。
【００９３】
ところで、この樹脂硬化装置が稼動、つまり、加熱炉１が加熱動作を行っている際は、扉７１は閉じられている状態となっている。このとき、加熱炉１の加熱温度は、この場合、２００度にも達する。この加熱温度は、その一部が扉７１にも伝わって、扉７１の表面も高温となり、そばにいるオペレータに不快感を与えることとなるが、本実施の形態では、扉７１の内部に設けられる空間部７２によって空気の上下方向の流通路が形成されるので、外部の空気が自然対流によってその流通路（空間部７２内）を流れ、扉７１の表面温度が高くなるのを極力抑えることができる。
【００９４】
すなわち、上述したように、扉７１は、その内部に上下方向に連なる空間部７２が形成されるとともに、その上端面と下端面が開口となっているので、扉７１の上下方向に空気の流通が可能となっている。したがって、加熱炉１内の温度が上昇してその温度が扉７１に伝わることによって、扉７１内の温度も上昇するが、扉７１内の空間部７２内で上昇気流が発生して、図８の破線矢印Ｙで示すように、扉７１の下端面側の開口部から室温の空気が入って、その空気が扉７１の上端面側の開口部に抜けるといった空気の自然対流が起こる。このとき、扉７１内を下方向から上方向へと流通する空気は、加熱炉１内の熱を受けてその温度が上昇するが、常に空気が流通しているので、扉７１の表面がそれほど高温となることはない。
【００９５】
なお、扉７１の下端部側の開口部に入る空気は、この樹脂硬化装置の外部からの空気のほかに、加熱炉支持筐体３内の空気も、その上端に設けられた空気流通孔（図示省略）を通って扉７１の下端部に設けられた開口、すなわち、空間部７２の下端部分に入って行く。
【００９６】
このように、扉７１内部に空間部７２を形成し、上下方向の空気の流通路を形成することによって、扉７１表面の温度が高温となるのを防ぐことができ、オペレータに不快感を与えることがなくなる。
【００９７】
次に、本発明の樹脂硬化装置の第２の実施の形態について説明する。
【００９８】
この第２の実施の形態の樹脂硬化装置が上述の第１の実施の形態の樹脂硬化装置と異なるのは、図９および図１０に示すように、主に、第１の仕切り板１２と加熱炉筐体２の上端内壁との間に断熱板８１が設けられている点であり、それに伴い、第１の仕切り板１２の加熱炉筐体２への取り付けの仕方も少し異なる。
【００９９】
なお、第２から第４の仕切り板１３，１４，１５の取り付けの仕方や、その他の構造などは第１の実施例と同じあるので、ここでは、第１の実施の形態と異なる部分、すなわち、断熱板８１の加熱炉筐体２への取り付けの仕方と第１の仕切り板１２の加熱炉筐体２への取り付けの仕方について、図９から図１２を参照して説明する。なお、この図９から図１２において、図１から８と同一部分には同一符号が付されている。
【０１００】
図９は、図１における樹脂硬化装置の左上隅部、すなわち、加熱炉１内で発生するガスを外部に排出する外部排出口６２と第２の折り返しローラ７付近を拡大して示す図、図１０は図９のＡ−Ａ線矢視断面図、図１１は図９における破線枠Ｐ１部分を拡大して示す平面図、図１２は図９における破線枠Ｐ２部分を拡大して示す一部断面図である。
【０１０１】
この第２の実施の形態に係る樹脂硬化装置は、上述したように、第１の仕切り板１２と加熱炉筐体２の上端内壁との間に断熱板８１が設けられている。
【０１０２】
まず、断熱板８１の取り付け構造について説明する。断熱板８１は、第１の仕切り板１２と平行に加熱炉１の図９における左端から右端まで設けられ、加熱炉筐体２の左端側および右端側でそれぞれ２個ずつの平板状取付金具８２，８３によって支持されている。具体的には、図９および図１１からもわかるように、加熱炉筐体２の左端側および右端側（この図９では右端側は示されていないが、左端側と同様の構造となっている）には、それぞれ角パイプ部材８４が加熱炉１内の奥行き方向に設けられており、断熱板８１は、その長手方向左端側および右端側がそれぞれ２個ずつの平板状取付金具８２，８３によって角パイプ部材８４の上端面に支持されている。
【０１０３】
この角パイプ部材８４は、断熱板８１や第１の仕切り板１２を支持（この第１の仕切り板１２の支持構造については後述する）する役目だけではなく、加熱炉筐体２の補強部材としての役目もなしている。そして、この角パイプ部材８４の下端部は、加熱炉筐体２内の左右両端側に設けられた側面側断熱板８５に取り付けられている。
【０１０４】
また、この角パイプ部材８４は、加熱炉筐体２の奥行き方向だけではなく、図９では図示されていないが、加熱炉筐体２内部の上端面の前面側と裏面側にも、第１の仕切り板１２の長手方向に沿って設けられている。なお、この加熱炉筐体２内部の上端面の前面側と裏面側に設けられた角パイプ部材に対して図１０に示すように符号８６，８７が付されている。
【０１０５】
図１１は、図９における破線枠Ｐ１部分を上方向から平面的に見た拡大図であり、この図１１によって、断熱板８１の角パイプ部材８４への取り付けの仕方について説明する。
【０１０６】
断熱板８１の長手方向端部の角部には、長孔８２ａ，８３ａが設けられた平板状取付金具８２，８３が溶接などによって固定されている。図１１において、溶接部分をＣで表している。
【０１０７】
一方、角パイプ部材８４の上端面には、ボルト８８の取り付けが可能なネジ孔（図示省略）が設けられている。そして、断熱板８１に固定された平板状取付金具８２，８３の長孔８２ａ，８３ａに、上方からボルト８８を通し、そのボルト８８を角パイプ部材８４の上端面に設けられたネジ孔に螺合させることによって、平板状取付金具８２，８３を角パイプ部材８４に取り付ける。このとき、ボルト８８の締め付け具合は、平板状取付金具８２，８３が図１１の左右方向（矢印ｘ−ｘ’方向）に移動可能な程度の締め付け具合とし、断熱板８１は、角パイプ部材８４に対して、左右方向の伸びが許容された状態で取り付けられる。
【０１０８】
これによって、断熱板８１は、加熱炉１内が２００度という高温になった場合でも、その熱変形が水平方向の伸びとして許容されるので、自重により重力方向へのたわむのを防止することができる。
【０１０９】
次に、第１の仕切り板１２の取り付けの仕方について説明する。この第１の仕切り板１２の取り付けの仕方は、その長手方向の左右両端部の取り付けの仕方が第１の実施の形態と少し異なるだけで、中央支柱４５や左支柱４６、右支柱４７への取り付けの仕方は、前述の第１の実施の形態と同じであるので、ここでは、長手方向の左右両端部の取り付けの仕方について図１２を参照しながら説明する。なお、この第１の仕切り板１２の場合も、断熱板８１の場合と同様、図９ではその右端側は示されていないが、左端側と同様の構造となっているので、左端側の取り付けの仕方について説明する。
【０１１０】
第１の仕切り板１２の長手方向端部には、ボルト取り付け用のネジ孔９０を有する平板状取付金具９１が溶接などによって固定されている。この場合も、その溶接部分をＣで表す。
【０１１１】
一方、角パイプ部材８４には、Ｌ字金具９２がボルト９３などによって固定されている。このＬ字金具９２はその水平方向部に長孔９２ａが設けられている。
【０１１２】
そして、第１の仕切り板１２側に固定された平板状取付板金具９１のネジ孔９０を角パイプ部材８４側に固定されたＬ字金具９２の長孔９２ａに対向させるように、平板状取付金具９１とＬ字金具９２の水平方向部とを互いに面接触させて、長孔９２ａの上方からボルト９４を平板状取付金具９１のネジ孔９０に螺合させる。このとき、ボルト９４の締め付け具合は、平板状取付金具９１が図１２の左右方向（矢印ｘ−ｘ’方向）に移動可能となる程度の締め付け具合とし、第１の仕切り板１２は、角パイプ部材８４に対して、左右方向の伸びが許容された状態で取り付けられる。
【０１１３】
これによって、この第１の仕切り板１２は、加熱炉１内が２００度という高温になった場合、その熱を受けて熱変形するが、その熱変形は、第１の実施の形態で説明したように、主に、中央支柱４５を基点に左右両側水平方向に伸びる変形として現れる。なお、この第１の仕切り板１２が左右両側水平方向に伸びる際は、加熱炉筐体２の内壁面との間に介在されたパッキング部材４１（図９参照）を押圧した状態で伸びる。
【０１１４】
このように、第１の仕切り板１２は、左右方向（矢印ｘ−ｘ’方向）への伸びが許容されているため、その熱変形が、自重による重力方向へのたわみではなく、水平方向の伸びとして現れてくる。このため、第１の仕切り板１２が重力方向にたわむのが防止されるとともに、第１の仕切り板１２に取り付けられている様々な構成部材（発熱体１７、熱板１９、熱板高さ調整部２０など）が重力方向にたわむのを防止することができる。
【０１１５】
なお、上述した各実施の形態は、本発明の好適な例であるが、本発明は上述の各実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、上述の各実施の形態では、樹脂硬化装置は、その加熱炉１が最下段加熱ゾーンＺ１、中段加熱ゾーンＺ２、最下段加熱ゾーンＺ３で構成された３段炉の加熱炉である場合を説明したが、本発明の樹脂硬化装置を１段炉の加熱炉として用いるようにすることも可能である。
【０１１６】
この場合、最下段加熱ゾーンＺ１のみを用いた加熱処理を行う。したがって、テープ基板入り口５から入って来た樹脂の塗布されたテープ基板４は、最下段ガイドレール１１上を搬送されることによって加熱処理される。その加熱処理されたテープ基板４は、中段加熱ゾーンＺ２に入らずにそのまま加熱炉１から送出されるようにする。
【０１１７】
これを実現するため、各実施の形態で示した樹脂硬化装置において、第１の折り返しローラ６とこの第１の折り返しローラ６部分を加熱する発熱体３７（この第１の折り返しローラ６とこの第１の折り返しローラ６部分を加熱する発熱体３７を１つのセットとしたものをここでは折り返しローラユニットという）を容易に着脱できるようにし、この折り返しローラユニットに代わるものとして、図１３に示すように、この最下段加熱ゾーンＺ１を引き継ぐ加熱ゾーン引継ぎユニット１００を用意する。
【０１１８】
この加熱ゾーン引継ぎユニット１００は、折り返しローラユニットと同様に容易に着脱できるようにする。また、樹脂硬化装置の加熱炉筐体２には、最下段加熱ゾーンＺ１での加熱処理の終了したテープ基板４、つまり、最下段加熱ゾーンＺ１を通過して加熱処理されたのち、加熱ゾーン引継ぎユニット１００を通過して加熱処理されたテープ基板４をそのまま外部に送出するためのテープ基板出口１０１を新たに設ける。
【０１１９】
なお、加熱ゾーン引継ぎユニット１００は、最下段加熱ゾーンＺ１に存在する構成部材、すなわち、発熱体３１、熱板３２、最下段ガイドレール１１、熱反射板３５（図１３では図示せず）、ガイドレール幅調整部３４、熱板高さ調整部３３などが１セットとして設けられたものである。そして、これらの構成部材が下部プレート１０２と、この下部プレート１０２の両端部に取り付けられたそれぞれの支柱１０３，１０４とこれら支柱１０３，１０４の上端部に取り付けられた上部プレート１０５で構成される枠体内に収められ、下部プレート１０２を第４の仕切り板１５にねじ止めすることによって固定されるようになっている。
【０１２０】
このような加熱ゾーン引継ぎユニット１００を図１３のように取り付けることによって、樹脂がポッティングされたテープ基板４は、最下段加熱ゾーンＺ１内を最下段ガイドレール１１のガイドによって搬送されて加熱処理された後に、加熱ゾーン引継ぎユニット１００に設けられたガイドレール１１を通過することで、この加熱ゾーン引継ぎユニット１００内でもさらに加熱処理される。そして、この加熱ゾーン引継ぎユニット１００を通過して加熱処理されたテープ基板４は、テープ基板出口１０１から送出される。
【０１２１】
このような構成とすることで、第１および第２の実施の形態で説明した樹脂硬化装置は、その加熱炉を３段炉の加熱炉として用いることは勿論、１段炉の加熱炉として用いることもできる。
【０１２２】
また、第１から第４の仕切り板１２，１３，１４，１５の支持の仕方も前述の各実施の形態の例に限られるものではなく、種々の方法が考えられる。要は、加熱炉筐体２から簡単に外れたりすることなく、かつ、高温による熱変形が水平方向（図１における左右方向）への伸びとして現れるような支持の仕方であればよい。
【０１２３】
また、前述の各実施の形態では、扉７１を２重構造として内部で空気の流通が可能となるようにすることによって、扉７１の表面温度があまり高くならないようにすることについて説明したが、扉７１だけでなく、加熱炉筐体２の側面部も扉７１と同じような２重構造として、空気が下から上へと流通できるようにすることによって、加熱炉筐体２全体で熱を発散させるようにすることもできる。
【０１２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、加熱炉内に搬送路敷設方向（水平方向）に設けられる長尺部材としての構成部材取り付け板（搬送路や加熱手段などの構成部材が取り付けられる構成部材取り付け板）は、加熱炉内での高温加熱による熱変形が水平方向の伸びとして現れるように、加熱炉筐体で支持されるようにしたので、加熱炉内が高温となっても、その構成部材取り付け板は、熱変形が水平方向の伸びとして現れ、重力方向にたわむのを防止することができる。それによって、構成部材取り付け板に取り付けられる搬送路や加熱手段などの構成部材は、構成部材取り付け板とともに重力方向にたわむことがなくなり、その取り付け状態を常に適正に保持することができる。
【０１２５】
また、他の発明によれば、加熱炉を形成する加熱炉筐体の前面および背面の少なくとも一方に設けられる扉部とこの扉部以外の加熱炉筐体の少なくとも一方は、上下方向の空気の流通を可能とした中空部を有する二重構造としたので、加熱炉内の熱が扉や加熱炉筐体の表面にまで伝わりにくく、扉や加熱炉筐体表面が熱くなるのを極力防止することができ、オペレータがその熱の影響を受けにくくなり、オペレータが操作しやすい環境を作り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る樹脂硬化装置を扉を外した状態で正面から見た構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視拡大断面図である。
【図３】図１および図２で示した第１の仕切り板１２を加熱炉１内において下側から見た図であり、主要部のみを示す図である。
【図４】図１および図２で示した第２の仕切り板１３を加熱炉１内において下側から見た図であり、主要部のみを示す図である。
【図５】図１および図２で示した第３の仕切り板１４を加熱炉１内において下側から見た図であり、主要部のみを示す図である。
【図６】図１で示した樹脂硬化装置の扉を加えた状態の正面図である。
【図７】図１で示した樹脂硬化装置の平面図である。
【図８】図６を矢印Ａ方向から見た側面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る樹脂硬化装置を示す図であり、樹脂硬化装置の左上隅部付近を拡大して示す図である。
【図１０】図９のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図１１】図９における破線枠Ｐ１部分を拡大して示す平面図である。
【図１２】図９における破線枠Ｐ２部分を拡大して示す一部断面図である。
【図１３】本発明の各実施の形態の樹脂硬化装置の加熱炉を１段炉としても使用可能とする例について説明する図であり、図１における主要部を拡大して示す図である。
【符号の説明図】
１ 加熱炉
２ 加熱炉筐体
３ 加熱炉支持筐体
４ テープ基板
５ テープ基板入り口
６ 第１の折り返しローラ
７ 第２の折り返しローラ
８ テープ基板出口
９ 最上段ガイドレール（搬送路）
１０ 中段ガイドレール（搬送路）
１１ 最下段ガイドレール（搬送路）
１２ 第１の仕切り板（構成部材取り付け板）
１３ 第２の仕切り板（構成部材取り付け板）
１４ 第３の仕切り板（構成部材取り付け板）
１５ 第４の仕切り板（構成部材取り付け板）
４１ パッキング部材
４０１Ｌ，４０２Ｌ 加熱炉筐体２の左側内壁に固定されるＬ字金具
４０１Ｒ，４０２Ｒ 加熱炉筐体２の右側内壁に固定されるＬ字金具
４５ 中央支柱
４６ 左支柱
４７ 右支柱
４２１，４２２，４２３ 中央支柱に固定されるＬ字金具
４３１，４３２，４３３ 左支柱に固定されるＬ字金具
４４１，４４２，４４３ 右支柱に固定されるＬ字金具
Ｓ 隙間
Ｚ１ 最下段加熱ゾーン
Ｚ２ 中段加熱ゾーン
Ｚ３ 最上段加熱ゾーン

Claims (6)

1. 樹脂が塗布されたテープ基板の走行を加熱炉内でガイドする搬送路と、この搬送路に沿って設けられ上記加熱炉内の温度を上昇させる加熱手段と、上記加熱炉内に上記搬送路の敷設方向に沿って設けられ、上記搬送路や上記加熱手段などの構成部材を取り付ける構成部材取り付け板とを有し、上記搬送路上を走行する樹脂が塗布された上記テープ基板を加熱して上記塗布された樹脂を硬化させる樹脂硬化装置において、
   上記構成部材取り付け板は、熱変形による上記搬送路の敷設方向への伸びを許容するように、取り付けられていることを特徴とする樹脂硬化装置。
2. 前記構成部材取り付け板は、前記搬送路の敷設方向における中途部が固定され、その固定箇所を基点に上記搬送路の敷設方向の両端部がその搬送路の敷設方向に伸びることができるように支持されることを特徴とする請求項１記載の樹脂硬化装置。
3. 前記構成部材取り付け板の前記搬送路の敷設方向の端部が、前記加熱炉を形成する筐体の内壁に接する場合は、その端部と筐体の内壁との間に隙間を設け、その隙間に弾性を有するパッキング部材を介在させることを特徴とする請求項１または２記載の樹脂硬化装置。
4. 前記加熱炉は、最上段加熱ゾーンと中段加熱ゾーンと最下段加熱ゾーンの３段炉で構成され、前記構成部材取り付け板は、上記最上段加熱ゾーンの上面を形成するとともに、上記最上段加熱ゾーン内を加熱する加熱手段がその下面側に取り付けられる第１の仕切り板と、上記最上段加熱ゾーンと中段加熱ゾーンとを仕切るとともに、その上面側には前記テープ基板の上記最上段加熱ゾーン内での走行が可能な搬送路がその上面側に取り付けられ、その下面側には前記テープ基板の上記中段加熱ゾーン内での走行が可能な搬送路が取り付けられる第２の仕切り板と、上記中段加熱ゾーンと最下段加熱ゾーンとを仕切るとともに、その上面側には上記中段加熱ゾーン内を加熱する加熱手段が取り付けられ、その下面側には上記最下段加熱ゾーン内を加熱する加熱手段が取り付けられる第３の仕切り板と、上記最下段加熱ゾーンの下面を形成するとともに、前記テープ基板の上記最下段加熱ゾーン内での走行が可能な搬送路がその上面側に取り付けられる第４の仕切り板で構成されることを特徴とする請求項１、２または３記載の樹脂硬化装置。
5. 前記加熱炉を形成する加熱炉筐体の前面および背面の少なくとも一方に設けられる扉部とこの扉部以外の上記加熱炉筐体の側面部の少なくとも一方は、上下方向の空気の流通を可能とした中空部を有する構造としたことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の樹脂硬化装置。
6. 樹脂が塗布されたテープ基板の走行を加熱炉内でガイドする搬送路と、この搬送路に沿って設けられ上記加熱炉内の温度を上昇させる加熱手段と、上記加熱炉内に上記搬送路の敷設方向に沿って設けられ、上記搬送路や上記加熱手段などの構成部材を取り付ける構成部材取り付け板とを有し、上記搬送路上を走行する樹脂が塗布された上記テープ基板を加熱して上記塗布された樹脂を硬化させる樹脂硬化装置において、
   上記加熱炉を形成する加熱炉筐体の前面および背面の少なくとも一方に設けられる扉部は、上下方向の空気の流通を可能とした中空部を有する構造としたことを特徴とする樹脂硬化装置。

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