JP2004205407A - 二次元測定機 - Google Patents
二次元測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004205407A JP2004205407A JP2002376507A JP2002376507A JP2004205407A JP 2004205407 A JP2004205407 A JP 2004205407A JP 2002376507 A JP2002376507 A JP 2002376507A JP 2002376507 A JP2002376507 A JP 2002376507A JP 2004205407 A JP2004205407 A JP 2004205407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- dimensional measuring
- glass
- support member
- glass plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】11基台と、基台11上に配置されたテーブル13と、テーブル13の上方に配置された梁体15と、梁体15に配置され被検査体Pを測定する光学検査装置17とを備え、テーブル13が、支持部材と、支持部材の上面側に支持されていると共に被検査体Pを保持する板体22とを備えた構成とされ、テーブル13と光学検査装置17とが、互いに移動可能な二次元測定機10において、板体22が複数に分割され、その複数の板体22、22が、同一平面をなすように支持されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、LCDなどに用いられているガラス基板等の検査に用いる二次元測定機に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、ノートパソコン等の移動端末で広く用いられるようになったTFT液晶ディスプレイなどのLCD(Liquid Crystal Display)は、液晶を2枚のガラス基盤で挟みこみ、液晶に電圧をかけて光の透過率を制御することによりディスプレイ上の点を明滅させるものである。このガラス基板上には、液晶にかける電圧を制御するトランジスタや配線などの光を透過しない部分と、電極や、カラーフィルタなどの光を透過する部分とが配置され、その形状や寸法などが、数十μmから数μmの精度で作られている。
【0003】
ガラス基板上の上記種々の寸法を測定、および検査するために、測定テーブルを備えた二次元測定機が用いられている。この二次元測定機では、ガラス基板を測定テーブルのガラス板上に載置して、該ガラス基板に向けて光を照射すると共に、ガラス基板の上方に顕微鏡を光学部として備えたカメラによってガラス基板を透過した光を拡大、受光してその形状や寸法をμm単位の精度で測定されている。
【0004】
このような精度でガラス基板上の種々の寸法を測定するためには、ガラス基板が載置されるガラス板上面の凹凸やうねり(以後、平面度と称す)を、数十μm以内に抑えることが求められている。
そのため、ガラス板上面を研磨し、そのガラス板を支持する複数のロッドを上下方向に微調整して、ガラス板上面の平面度を数十μm以内に抑えることが行われている(例えば、特許文献1参照。)。
【0005】
【特許文献1】
特開平9−33207号公報 (第3−5頁、第2図、第3図)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の二次元測定機においては、被検査体を保持するガラス板は、一枚のガラス板である。しかしながら、近年においてはLCDの大型化が進み、面積の大きな被検査体を検査できる二次元測定機が求められるようになった。その要求を満たすためには、面積の大きな被検査体を保持するガラス板も面積の広いものを用いる必要があった。
被検査体が大きくなっても、被検査体の測定に求められる精度は数μmと、そのままであるため、ガラス板の被検査体を保持する面も、平面度を数十μm以内に抑えることが求められる。しかし、例えば、2m×2mの大きさのガラス板になると、素材のままでは数百μmの凸凹やうねりが存在するため、ガラス上面を研磨すると共に、複数の上記ロッドにより調整して数十μm以内の平面度を得ていた。
ところが、面積の広いガラス板を研磨できる研磨機は少なく、技術的にも難しいため、その製作にコストがかかるという問題があった。
【0007】
また、面積の広いガラス板の平面度をロッドを用いて矯正すると、ガラス板に大きな応力(ストレス)がかかり、ガラス板が破損する恐れがあるという問題があった。
ガラス板の一部が破損した場合においても、コストの高い面積の広いガラスを交換する必要があり、メンテナンスや補修にコストがかかるという問題があった。
【0008】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、低コストで面積の大きなガラス基板などの被検査体を測定できる二次元測定機を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の二次元測定機では、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
請求項1にかかる発明は、基台と、該基台上に配置されたテーブルと、該テーブルの上方に配置された梁体と、該梁体に配置され被検査体を測定する光学検査装置とを備え、前記テーブルが、支持部材と、該支持部材の上面側に支持されていると共に被検査体を保持する板体とを備えた構成とされ、前記テーブルと前記光学検査装置とが、互いに移動可能な二次元測定機において、前記板体が複数に分割され、その複数の前記板体が、同一平面をなすように支持されていることを特徴とする。
【0010】
この発明にかかる二次元測定機によれば、分割された面積の小さな複数の前記板体で、前記被検査体を保持することができる。そのため、研磨の容易な面積の小さい前記板体を使用することにより、その製作にかかるコストを抑えることができると共に、高い平面度を維持することができる。
【0011】
面積の小さい前記板体を使用しているため、一枚の大きな板体を使用した場合と比べて、支持部材によって板体の平面度を高く維持することができる。また、平面度を調整する場合には、一枚の大きな板体と比べて面積が小さいので、調整量が少なくて済む。このため、前記板体の平面度を前記支持部材によって調整する個所が少なくすることができ、また調整する量を少なくすることができるため、前記板体に加えられるストレスを少なくすることができ、前記板体が破損する恐れが少なくなる。
【0012】
また、前記板体の一部が破損したとしても、分割された複数の前記板体の内、その破損した前記板体のみを交換すれば良く、交換する前記板体の面積は小さいため、その価格は比較的安くメンテナンスにかかるコストを抑えることができる。
【0013】
請求項2にかかる発明は、請求項1記載の二次元測定機において、前記複数に分割された板体が、それぞれ前記支持部材に螺着自在に設けられた複数の係止部材によって上下動可能に支持されていることを特徴とする。
【0014】
この発明にかかる二次元測定機によれば、前記複数に分割された板体が、それぞれ前記支持部材に螺着自在に設けられた複数の係止部材によって上下動可能に支持されているので、各板体を個別に調整可能である。したがって、各板体ごとに平面度を高精度に調整でき、全体として高い平面度を得ることができる。
【0015】
請求項3にかかる発明は、請求項1または2に記載の二次元測定機において、前記支持部材が、前記複数に分割された板体の縁辺をそれぞれ支持する縁辺支持部を備えることを特徴とする。
【0016】
この発明にかかる二次元測定機によれば、前記支持部材が、前記複数に分割された板体の縁辺をそれぞれ支持する縁辺支持部を備えるので、各板体が、縁辺の部分で高い剛性で支持される。
【0017】
請求項4にかかる発明は、請求項1から3のいずれかに記載の二次元測定機において、前記板体および前記支持部材の下方には上方に向けて光を照射する光源が配設され、前記板体および前記支持部材は、透明または半透明の材料からなることを特徴とする。
【0018】
この発明にかかる二次元測定機によれば、前記板体および前記支持部材は、透明または半透明の材料からなるので、下方からの光源の光が、これらの部材を透過して、テーブル上の被検査体に照射可能である。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係る第一の実施形態について、図1から図4を参照して説明する。
図1および図2において二次元測定機10は、基台11と、基台11上に平行に配置された一対の下部ガイド12と、下部ガイド12に沿って移動するテーブル13と、基台11上に立設された一対の支柱14と、これらの支柱14に支えられテーブル13の上方を下部ガイド12に対して直交するように配置された上部ガイド(梁体)15と、上部ガイド15に沿って移動する支持台16と、支持台16の側面に配置されガラス基板(被検査体)Pを測定するCCDカメラ(光学検査装置)17と、CCDカメラ17の光学部としてガラス基板Pの測定ポイントを拡大する顕微鏡18とを備えている。
【0020】
テーブル13は、図3に示すように、その外周を構成する筐体21と、ガラス基板Pを載置する2枚に分割されたガラス板(板体)22、22と、ガラス板22をコマ(係止部材)23を介して支持する井桁形状ベース(支持部材)24と、井桁形状ベース24の下方に配置されガラス基板Pを照射する光源25とを備えている。
【0021】
コマ23は、図3および図4に示すように、その中間部にガラス板22を支持するフランジ部26が形成され、フランジ部26の下方にはネジ部27aが設けられていると共に、上方にもネジ部27bが設けられている。コマ23上端面には、ドライバでコマ23を回すときに用いる溝28が設けられている。
【0022】
井桁形状ベース24には、ガラス板22の縁辺を支持する板状の縁辺支持部24aと、ガラス板22の長手方向中間部を支持する板状の仕切り部24bとが設けられ、断面田の字形状とされている。さらに、井桁形状ベース24には、ガラス板22の四隅に対応した位置と、ガラス板22の各辺の中央に対応した位置と、ガラス板22の中央に対応した位置とにコマ23のネジ部27aと螺合するネジ孔29が設けられている。
ガラス板22には、中央と、四隅と、各辺の中央とに、コマ23のネジ部27bが挿通する孔30が設けられていると共に、これら孔30の周囲には座ぐり部31が設けられている。
【0023】
コマ23のフランジ部26の上面と、ガラス板22との間には、テフロン(登録商標)等で摩擦係数を下げ、滑りを良くするためのワッシャ32が配置されていると共に、ナット33が、ワッシャ32との間で座ぐり部31を挟んでネジ部27bに螺合されている。
【0024】
次に、上記の構成からなる二次元測定機10の使用方法について説明する。まず、ガラス基板Pを測定する前に、ガラス板22の平面度の調節を行うと共に、2枚のガラス板22の上面を同一平面に合わせる。
【0025】
これらの調節にはコマ23を用いる。すなわち、図3および図4に示すように、コマ23の溝28にドライバを差し込んでコマ23を回転させることにより、コマ23を井桁形状ベース24に対して上下方向に移動させる。コマ23の上下移動に伴って、コマ23に支持されたガラス板22が上下に移動する。
そこで、ガラス板22の上面の凸凹やたわみを矯正するには、凸状にたわんだ部分のコマ23を下げ、凹状にたわんだ部分のコマ23を上げる。
2枚のガラス板22の上面の高さを合わせるには、一枚のガラス板22に設けられた複数のコマ23を全体的に上下させて合わせ、傾きを合わせるには、高くなっている側のコマ23を下げ、低くなっている側のコマ23を上げて合わせる。なお、ガラス板22には、ガラス基板Pを吸着するための吸引口(図示せず)が設けられ、この吸引口には、吸引用ブロアやポンプなどが取り付けられている。
【0026】
ガラス板22の平面度などの調節が済んだ後に、ガラス基板Pの測定を行う。ガラス基板Pを測定する時には、図1から図3に示すように、ガラス基板Pをガラス板22上に保持し、光源25から照射光を、井桁形状ベース24の内部を通すと共に、ガラス板22を透過させて、ガラス基板Pに照射する。
そして、ガラス基板Pに設けられた複数の測定ポイントを測定する。複数の測定ポイントを測定して、各測定ポイントの相対位置が設計値の範囲内に収まっているかを判定する。
【0027】
具体的には、テーブル13と支持台16とをリニアモータ(図示略)で駆動して、基準となる第1測定ポイントの上に顕微鏡18およびCCDカメラ17を移動させ、第1測定ポイントを透過した光を顕微鏡18を介してCCDカメラ17に取り込む。そして、取り込んだ画像の中心から測定ポイントの中心までの距離(dX1、dY1)を、CCD画素をカウントして求める。
そして、テーブル13と支持台16とをリニアモータ(図示せず)で駆動して、次の第2測定ポイントの上に顕微鏡18およびCCDカメラ17を移動させ、第2測定ポイントを透過した光を顕微鏡18を介してCCDカメラ17に取り込む。
このときのテーブル13の移動距離(X)と支持台16の移動距離(Y)とは、レーザ干渉計で測定され、第1測定ポイントの際と同様に、CCDカメラの視野の中心(すなわち、取り込んだ画像中心)と第2測定ポイントの中心までの距離(dX2、dY2)を求める。
【0028】
以上の測定結果から、第1測定ポイントと第2測定ポイントとの相対距離は、テーブル13および支持台16の移動距離(XおよびY)に、CCDカメラ17の視野中心から各測定ポイント中心の距離(dX1、dY1)(dX2、dY2)を加えたり引いたりして求まる。
つまり、第2測定ポイント中心が、第2測定ポイントを取り込んだときのCCDカメラ17の視野中心と第1測定ポイント中心との間に存在する時は、テーブル13および支持台16の移動距離(XおよびY)から(dX2、dY2)を引く。逆に、第2測定ポイント中心が、第2測定ポイントを取り込んだときのCCDカメラ17の視野中心と第1測定ポイント中心との間にない時には、テーブル13および支持台16の移動距離(XおよびY)に(dX2、dY2)を加える。
【0029】
また、ガラス板22が破損した時や、メンテナンス等でガラス基板22を交換する時の説明を行う。
ガラス板22を交換するには、図3および図4に示すように、まず、ガラス板22を上から押えている全てのナット33をコマ23のネジ部27bから外し、そしてガラス板22を上方へ引き上げて外す。新しいガラス板22は、上方からコマ23のネジ部27bが孔30に挿通するように下ろし、そしてナット33をネジ部27bに螺合させて、ガラス板22を上から押える。
【0030】
上記の構成によれば、分割された面積の小さな複数のガラス板22で、ガラス基板Pを保持することができるため、研磨の容易な面積の小さいガラス板22を使用することにより、その製作にかかるコストを抑えることができると共に、高い平面度を維持することができる。
【0031】
面積の小さいガラス板22を使用しているため、一枚の大きなガラス板を使用した場合と比べて、コマ23によってガラス板22の平面度を高く維持することができる。また、平面度を調整する場合には、一枚の大きなガラス板と比べて面積が小さいので、調整量が少なくて済む。このため、ガラス板22の平面度をコマ23によって調整する個所が少なくすることができ、また調整する量を少なくすることができるため、ガラス板22に加えられるストレスを少なくすることができ、ガラス板22が破損する恐れが少なくなる。
【0032】
また、ガラス板22の一部が破損したとしても、分割された複数のガラス板22の内、その破損したガラス板22のみを交換すれば良く、交換するガラス板22の面積は小さいため、その価格は比較的安くメンテナンスにかかるコストを抑えることができる。
【0033】
複数に分割されたガラス板22が、それぞれ井桁形状ベース24に螺着自在に設けられた複数のコマ23によって上下動可能に支持されているので、各ガラス板22、22を個別に調整可能である。したがって、各ガラス板22、22ごとに平面度を高精度に調整でき、全体として高い平面度を得ることができる。
【0034】
井桁形状ベース24が、複数に分割されたガラス板22の縁辺をそれぞれ支持する縁辺支持部24aを備えるので、各ガラス板22、22が、縁辺の部分で高い剛性で支持される。
【0035】
次に、本発明にかかる第二の実施形態について、図5から図7を参照して説明する。なお、第一実施形態と同一の構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図5から図7に示すように、二次元測定機50のテーブル51には、ガラス基板Pを保持する2枚のガラス板22、22をコマ23介して支持するガラスベース(支持部材)53が備えられている。
ガラスベース53の上面には、ガラス板22の四隅に対応した位置と、4辺の略中央に対応した位置と、略中央に対応した位置とにブシュ用孔54aが形成され、ブシュ用孔54a内にネジ部27aと螺合する雌ネジ付きブシュ54が設けられている。
【0036】
上記の構成からなる二次元測定機50においてガラス基板Pを測定する時には、図5から図7に示すように、ガラス基板Pをテーブル51のガラス板22、22上に保持し、光源25から照射光を、ガラスベース53とガラス板22と透過させてガラス基板Pに照射する。以後の測定方法は第一の実施例と同じであるので、その説明を省略する。
また、ガラス板の平面度の調節、およびガラス板の交換についても、井桁形状ベース24がガラスベース53に置き換わると共に、ネジ孔29が雌ネジ付きブシュ54に置き換わるだけで、その働きは第一の実施例と同じであるので、その説明を省略する。
【0037】
上記の構成によれば、ガラスベース53は、ほぼその全面において光を透過することができるので、照射光を遮断する部分が少なく照射光の影を作ることが少ない。そのため、ガラス基板Pにも影が落ちることが少なく、測定ポイントに影の部分が位置して、CCDカメラ17に測定ポイントを透過した光を取り込むことができず、位置を測定し難くなるということが少ない。
【0038】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
特に、上記の各実施形態においては、ガラス板22が2枚で構成されているものに適応して説明したが、このガラス板22が2枚で構成されているものに限られることなく、4枚で構成されているもの等、その他複数枚のガラス板22で構成されているものに適応することができる。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1に係る発明によれば、板体が複数に分割され、その複数の板体が、同一平面をなすように支持されているため、その製作にかかるコストを抑えることができると共に、高い平面度を維持することができ、低コストで大きな被検査体を測定できるという効果を奏する。
【0040】
また、前記板体の平面度を前記支持部材によって調整する個所が少なくすることができ、また調整する量を少なくすることができるため、前記板体に加えられるストレスを少なくすることができ、前記板体が破損する恐れが少なくなる。このため、前記板体を交換する頻度を少なくすることができ、低コストで大きな被検査体を測定できるという効果を奏する。
【0041】
さらに、前記板体の一部が破損したとしても、分割された複数の前記板体の内、その破損した前記板体のみを交換すれば良く、交換する前記板体の面積は小さいため、その価格は比較的安くメンテナンスにかかるコストを抑えることができ、低コストで大きな被検査体を測定できるという効果を奏する。
【0042】
請求項2に係る発明によれば、各板体を個別に調整可能であるため、各板体ごとに平面度を高精度に調整でき、全体として高い平面度を得ることができるという効果を奏する。
【0043】
請求項3に係る発明によれば、支持部材が、複数に分割された板体の縁辺をそれぞれ支持する縁辺支持部を備えるので、各板体が、縁辺の部分で高い剛性で支持されるという効果を奏する。
【0044】
請求項4に係る発明によれば、下方からの光源の光が、これらの部材を透過して、テーブル上の被検査体に照射可能であるため、光学測定装置に被検査体を透過した光を取り込むことが容易になり、位置を測定し易くなるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による二次元測定機の第一の実施形態を示す上面図である。
【図2】本発明による二次元測定機の第一の実施形態を示す正面図である。
【図3】本発明による二次元測定機の第一の実施形態において、テーブルを示す分解斜視図である。
【図4】図3のA−A線矢視断面図である。
【図5】本発明による二次元測定機の第二の実施形態を示す上面図である。
【図6】本発明による二次元測定機の第二の実施形態を示す要部斜視図である。
【図7】図6のB−B線矢視断面図である。
【符号の説明】
10、50 二次元測定機
11 基台
13、51 テーブル
15 上部ガイド(梁体)
17 CCDカメラ(光学検査装置)
22 ガラス板(板体)
23 コマ(係止部材)
24 井桁形状ベース(支持部材)
24a 縁辺支持部
53 ガラスベース(支持部材)
P ガラス基板(被検査体)
Claims (4)
- 基台と、該基台上に配置されたテーブルと、該テーブルの上方に配置された梁体と、該梁体に配置され被検査体を測定する光学検査装置とを備え、
前記テーブルが、支持部材と、該支持部材の上面側に支持されていると共に被検査体を保持する板体とを備えた構成とされ、
前記テーブルと前記光学検査装置とが、互いに移動可能な二次元測定機において、
前記板体が複数に分割され、その複数の前記板体が、同一平面をなすように支持されていることを特徴とする二次元測定機。 - 請求項1記載の二次元測定機において、
前記複数に分割された板体が、それぞれ前記支持部材に螺着自在に設けられた複数の係止部材によって上下動可能に支持されていることを特徴とする二次元測定機。 - 請求項1または2に記載の二次元測定機において、
前記支持部材が、前記複数に分割された板体の縁辺をそれぞれ支持する縁辺支持部を備えることを特徴とする二次元測定機。 - 請求項1から3のいずれかに記載の二次元測定機において、
前記板体および前記支持部材の下方には上方に向けて光を照射する光源が配設され、前記板体および前記支持部材は、透明または半透明の材料からなることを特徴とする二次元測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002376507A JP4084653B2 (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 二次元測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002376507A JP4084653B2 (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 二次元測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004205407A true JP2004205407A (ja) | 2004-07-22 |
JP4084653B2 JP4084653B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=32813961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002376507A Expired - Lifetime JP4084653B2 (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | 二次元測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4084653B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006266748A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置 |
JP2008082705A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Olympus Corp | 透過照明ステージおよび基板検査装置 |
JP2008133913A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Kyocera Corp | スライダ |
US7417748B2 (en) * | 2005-04-28 | 2008-08-26 | Corning Incorporated | Method and apparatus for measuring dimensional changes in transparent substrates |
KR101234954B1 (ko) | 2004-10-15 | 2013-02-19 | 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤 | 2차원 좌표측정기(2次元座標測定機) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102168218B (zh) * | 2010-02-25 | 2013-07-10 | 上海圣德曼铸造有限公司 | 一种低硅球化剂及其制备方法 |
CN102601338B (zh) * | 2012-03-21 | 2014-01-29 | 重庆大学 | 一种离心铸造生产镁合金大型环件的方法 |
-
2002
- 2002-12-26 JP JP2002376507A patent/JP4084653B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101234954B1 (ko) | 2004-10-15 | 2013-02-19 | 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤 | 2차원 좌표측정기(2次元座標測定機) |
JP2006266748A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置 |
US7417748B2 (en) * | 2005-04-28 | 2008-08-26 | Corning Incorporated | Method and apparatus for measuring dimensional changes in transparent substrates |
JP2008082705A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Olympus Corp | 透過照明ステージおよび基板検査装置 |
JP2008133913A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Kyocera Corp | スライダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4084653B2 (ja) | 2008-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106194943B (zh) | 主摄像头模组主动对准的组装机台 | |
CN203704861U (zh) | 倒角尺寸光学测量设备 | |
KR100783618B1 (ko) | 매크로 검사장치 | |
KR20100007272A (ko) | 디스플레이 패널의 인라인 컷팅 시스템 및 이를 이용한디스플레이 패널 제조방법 | |
CN1912542A (zh) | 基板的两面形状测量装置和基板的两面形状测量方法 | |
KR20160035727A (ko) | 프로브 이동장치 | |
JP4084653B2 (ja) | 二次元測定機 | |
JP4693581B2 (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JP2006329895A (ja) | 基板測定装置 | |
CN111897153B (zh) | 一种面板检测用遮光设备 | |
CN214334700U (zh) | 一种高效导电粒子检测装置 | |
JP5380225B2 (ja) | ガラス基板の検査装置 | |
KR101485062B1 (ko) | 레이저 가공장치의 착탈식 석션 노즐 장치 | |
CN210953862U (zh) | 一种液晶屏划痕检测装置 | |
JPH11227943A (ja) | 基板移載装置 | |
KR100653746B1 (ko) | 디스플레이 패널의 검사 장비 | |
CN110849910A (zh) | 一种自动化缺陷检测设备 | |
KR100722163B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
CN213386558U (zh) | 交接支撑载台 | |
CN112326693B (zh) | 一种智能设备防护玻璃缺陷检测设备 | |
KR20040099220A (ko) | 대형 tft-lcd 패널 절단장치 | |
KR101607089B1 (ko) | 액정표시패널 검사장치의 셀 장착장치 | |
JP4031491B2 (ja) | パネル検査装置 | |
CN113030116A (zh) | 一种柔性电路板线路检测装置 | |
KR20120139084A (ko) | 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4084653 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |