JP2004202690A - 吸着保持装置 - Google Patents
吸着保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004202690A JP2004202690A JP2004120373A JP2004120373A JP2004202690A JP 2004202690 A JP2004202690 A JP 2004202690A JP 2004120373 A JP2004120373 A JP 2004120373A JP 2004120373 A JP2004120373 A JP 2004120373A JP 2004202690 A JP2004202690 A JP 2004202690A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- holding device
- suction pad
- work
- lock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 36
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 5
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】 取付けブラケット2等に対して揺動可能に保持され、ワークへの接触時にワーク形状に追従して揺動する吸着パッド3と、ワークに接触した吸着パッド3を吸着作動させる空圧回路8と、空圧回路8の作動時に前記吸着パッド3の揺動を拘束する拘束手段40とを備えるようにした。
【選択図】 図3
Description
1 吸着保持装置
2 取付けブラケット(支持部材)
3 吸着パッド
5 スライド軸
6 スライドガイド
7 スプリング(付勢手段)
8 空圧回路
10 ロック機構(ロック手段)
13 シリンダ室(ロック解除手段)
14 ロックスリーブ
15 スプリング
16 球体
17 ブレーキシュー
23 第1の電磁弁
24 第2の電磁弁(吸着作動手段)
26 ベンチュリ(吸着作動手段)
40 揺動拘束機構(拘束手段)
41 コマ
42 固定の球面ガイド
43 可動の球面ガイド
44 スプリング
45 シリンダ
47 ピストン
Claims (7)
- 支持部材に対して揺動可能に保持され、ワークへの接触時にワーク形状に追従して揺動する吸着パッドと、
ワークに接触した前記吸着パッドを吸着作動させる吸着作動手段と、
前記吸着作動手段の作動時に前記吸着パッドの揺動を拘束する拘束手段とから構成したことを特徴とする吸着保持装置。 - 前記拘束手段は、球体状のコマとコマを収容保持する球面ガイドとを備え、いずれか一方の部材を吸着パッドに固定するとともに他方の部材を支持部材に固定し、コマと球面ガイドとの接触状態を変化させることにより両者間の相対的な揺動移動を許容または拘束するよう構成していることを特徴とする請求項1に記載の吸着保持装置。
- 前記球面ガイドは、固定の球面ガイドと可動の球面ガイドとにより前記コマを収容保持し、可動の球面ガイドを固定の球面ガイドから離間移動させて両者間の相対的な揺動移動を許容し、可動の球面ガイドを固定の球面ガイドに接近移動させて両者間の相対的な揺動移動を拘束するよう構成したことを特徴とする請求項2に記載の吸着保持装置。
- 前記支持部材は、前記吸着パッドとともに拘束手段を所定の範囲だけ進退移動可能に保持するスライド軸と、前記所定の範囲内で前進位置方向へ付勢する付勢手段と、前記吸着作動手段の作動時に前記吸着パットの進退移動を拘束するロック手段とから構成したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一つに記載の吸着保持装置。
- 前記ロック手段は、第1位置でスライド軸を外周から拘束し、第2位置でこの拘束を解除するロックスリーブと、ロックスリーブを第1位置に付勢するスプリングと、ロックスリーブをスプリングに対抗して第2位置に移動させるロック解除手段とから構成したことを特徴とする請求項4に記載の吸着保持装置。
- 前記吸着保持装置は、複数個が並列に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一つに記載の吸着保持装置。
- 前記吸着保持装置は、起立して搬送装置に保持されるワークに対して交差方向からワークを吸着保持するよう配置されることを特徴とする請求項ないし請求項6のいずれか一つに記載の吸着保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004120373A JP4095978B2 (ja) | 2001-02-07 | 2004-04-15 | 吸着保持装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001030711 | 2001-02-07 | ||
JP2004120373A JP4095978B2 (ja) | 2001-02-07 | 2004-04-15 | 吸着保持装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001378273A Division JP4106450B2 (ja) | 2001-02-07 | 2001-12-12 | 吸着保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004202690A true JP2004202690A (ja) | 2004-07-22 |
JP4095978B2 JP4095978B2 (ja) | 2008-06-04 |
Family
ID=32827342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004120373A Expired - Lifetime JP4095978B2 (ja) | 2001-02-07 | 2004-04-15 | 吸着保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4095978B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100855324B1 (ko) * | 2007-12-14 | 2008-09-04 | 송인직 | 진공 흡착기 및 이를 이용한 곡면 패널 흡착장치 |
JP2010058213A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Central Motor Co Ltd | バキュームパッド装置 |
JP2011513669A (ja) * | 2008-03-17 | 2011-04-28 | コリア ニューマチック システム カンパニー,リミテッド | 真空パッド装置 |
WO2019102868A1 (ja) * | 2017-11-22 | 2019-05-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
-
2004
- 2004-04-15 JP JP2004120373A patent/JP4095978B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100855324B1 (ko) * | 2007-12-14 | 2008-09-04 | 송인직 | 진공 흡착기 및 이를 이용한 곡면 패널 흡착장치 |
JP2011513669A (ja) * | 2008-03-17 | 2011-04-28 | コリア ニューマチック システム カンパニー,リミテッド | 真空パッド装置 |
JP2010058213A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Central Motor Co Ltd | バキュームパッド装置 |
WO2019102868A1 (ja) * | 2017-11-22 | 2019-05-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
JPWO2019102868A1 (ja) * | 2017-11-22 | 2020-12-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
JP7018452B2 (ja) | 2017-11-22 | 2022-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4095978B2 (ja) | 2008-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4106450B2 (ja) | 吸着保持装置 | |
US7100955B2 (en) | General purpose hand for multiaxis manipulator | |
JP2006007337A (ja) | 部品装着方法及びその装置 | |
JP5212119B2 (ja) | バキューム式吸着装置およびロボットハンド | |
JPH11197976A (ja) | 位置決め装置及びハンドリング治具 | |
JPH1190641A (ja) | 組立ラインにおけるワークハンドリング方法及び溶接方法 | |
JP4471938B2 (ja) | 自動溶接システム | |
JP5160162B2 (ja) | 工作機械におけるワークの有無検出装置 | |
JP2004202690A (ja) | 吸着保持装置 | |
JP2002205293A (ja) | 吸着ノズル及びそれを用いたワーク搬送装置 | |
JP4092487B2 (ja) | 吸着装置 | |
JP2011245603A (ja) | ロケート装置 | |
JP4093110B2 (ja) | 汎用ハンド | |
JP4246234B2 (ja) | 流体圧シリンダ | |
JP6378434B2 (ja) | 車体組立方法および車体組立装置 | |
JP7265842B2 (ja) | エンドエフェクタ及びワーク加工方法 | |
WO2005102616A1 (ja) | ロッドの保持装置 | |
JP5008842B2 (ja) | ワークの搬送方法及びその搬送方法に用いられる搬送装置 | |
JP2600326Y2 (ja) | 締結装置 | |
JP3503763B2 (ja) | 物品の保持装置 | |
WO2004090343A1 (ja) | 流体圧シリンダ | |
JP4839850B2 (ja) | ワーク位置決め装置およびワーク位置決め方法 | |
JP2000301433A (ja) | パレットのクランプ構造 | |
JP2001001234A (ja) | ワークの全面加工方法 | |
JP2924322B2 (ja) | ワーク搬送用ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060116 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060627 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060828 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061004 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20061016 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080310 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4095978 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 Year of fee payment: 5 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |