JP2004198726A - ケイ素化合物薄膜のパターニング方法 - Google Patents
ケイ素化合物薄膜のパターニング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004198726A JP2004198726A JP2002367023A JP2002367023A JP2004198726A JP 2004198726 A JP2004198726 A JP 2004198726A JP 2002367023 A JP2002367023 A JP 2002367023A JP 2002367023 A JP2002367023 A JP 2002367023A JP 2004198726 A JP2004198726 A JP 2004198726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- silicon compound
- compound thin
- group
- patterning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
Abstract
【課題】有機溶剤に可溶なポリシラン及び/またはシリコーン化合物を含むケイ素化合物薄膜において誘電緩和現象を示す領域をパターニングする。
【解決手段】焼成後に誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜の誘電緩和の程度を低減させたい領域を紫外線などの光で照射する工程と、光照射後、例えば400℃以上の温度でケイ素化合物薄膜を焼成する工程とを備えることを特徴としており、シリコーン化合物としては、例えば、以下の一般式で表わされるものが用いられる。
【化1】
(式中、R1からR12は、炭素数1〜10のハロゲンまたはグリシジルオキシ基で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基、炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、炭素数1〜8のアルコキシ基からなる群から選択される基であり、同一でも異なっていてもよい。a、b、c、およびdは0を含む整数であり、a+b+c+d≧1を満たすものである。)
【選択図】 図1
【解決手段】焼成後に誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜の誘電緩和の程度を低減させたい領域を紫外線などの光で照射する工程と、光照射後、例えば400℃以上の温度でケイ素化合物薄膜を焼成する工程とを備えることを特徴としており、シリコーン化合物としては、例えば、以下の一般式で表わされるものが用いられる。
【化1】
(式中、R1からR12は、炭素数1〜10のハロゲンまたはグリシジルオキシ基で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基、炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、炭素数1〜8のアルコキシ基からなる群から選択される基であり、同一でも異なっていてもよい。a、b、c、およびdは0を含む整数であり、a+b+c+d≧1を満たすものである。)
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜を、誘電緩和が相対的に大きい領域と誘電緩和が相対的に小さい領域にパターニングする方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
Si−Si結合を骨格とするポリシランのようなケイ素化合物は、その光分解性を利用してフォトレジストやカラーフィルタに用いられている。例えば、特定の構造のポリシランと特定の構造の環状シラン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物からなる薄膜を選択的に露光することにより、露光部分に着色パターンの潜像を形成する工程、並びに着色パターンの潜像が形成された露光部分を、染料または顔料を含む着色液で着色する工程を含むカラーフィルタの製造方法が提案されている(特許文献1)。また、ポリシランを拡散板付き光反射板として使用することが提案されている(特許文献2)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−281436号公報
【特許文献2】
特開2001−281421号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人は、ポリシラン及びシリコーン化合物などを含むケイ素化合物薄膜の焼成体が、100Hzから1MHzの間の周波数領域で誘電緩和現象を示すことを見出している(特願2002−344063号)。
【0005】
本発明の目的は、このようなケイ素化合物薄膜において誘電緩和現象を示す領域をパターニングする方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜をパターニングする方法であり、ケイ素化合物薄膜の誘電緩和の程度を低減させたい領域に光を照射する工程と、光照射後、ケイ素化合物薄膜を焼成する工程とを備えることを特徴としている。
【0007】
本発明においては、ケイ素化合物薄膜を焼成する前に、ケイ素化合物薄膜に選択的に光を照射する。光が照射された領域は、ケイ素化合物薄膜の焼成後において、他の領域に比べ誘電緩和の程度が小さくなる。このため、本発明によれば、誘電緩和現象を示す領域をパターニングすることができる。
【0008】
従って、本発明は、電子部品等において誘電緩和領域をパターニングする場合などに適用することができる。
本発明において、焼成後のケイ素化合物薄膜は、誘電緩和現象を示す薄膜であり、特に100Hzから1MHzの間の周波数領域で誘電緩和現象を示す。
【0009】
本発明において、ケイ素化合物薄膜に照射する光としては、一般には紫外線が用いられる。詳細な機構は明らかではないが、紫外線が照射されることにより、ポリシランなどにおけるSi−Si結合が切断されることが知られているので、そのようなSi−Si結合の切断が、誘電緩和現象の低下に影響を与えるものであると思われる。
【0010】
本発明において、誘電緩和の程度を低減させたい領域に光を選択的に照射する方法としては、マスクなどを用いてもよいし、レーザービームなどで選択的に照射してもよい。
【0011】
光を照射する量としては、特に限定されるものではないが、一般に0.01〜1000J/cm2程度であることが好ましい。
本発明において、光照射後、ケイ素化合物薄膜を焼成する温度としては、400℃以上であることが好ましい。また、焼成温度の上限値は、1500℃以下であることが好ましい。焼成時間としては、10秒〜48時間が好ましい。
【0012】
本発明における焼成前のケイ素化合物薄膜は、有機溶剤に可溶なポリシラン及びシリコーン化合物の少なくとも一方を含むものが挙げられる。好ましくは、ポリシランとシリコーン化合物の両方を含むものが挙げられる。
【0013】
以下、ポリシラン及びシリコーン化合物について説明する。
<ポリシラン>
本発明で用いられるポリシランとしては、Si−Si結合を有する直鎖状、環状、分岐状のシラン化合物であれば特に限定されない。また、一般にポリシリンと呼ばれる化合物もこの中に含まれる。
【0014】
ここで、ポリシランとは、化学構造において主となる骨格構造が、
一般式 (R1 2Si)m (3)
(式中、R1は、同一または異なって、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基、水酸基、水酸基含有フェニル基、アミノ基またはシリル基を表す。mは、2〜10000である。)で示される直鎖状ポリシランおよび環状ポリシラン、主となる骨格構造が、
一般式 (R2Si)n (4)
(式中、R2は、同一または異なって、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基、水酸基、水酸基含有フェニル基、アミノ基またはシリル基を表す。nは、4〜10000である。)で示されるシリコンネットワークポリマー、ならびに主となる骨格構造が、
一般式 (R3 2Si)x(R3Si)ySiz (5)
(式中、R3は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基、水酸基、水酸基含有フェニル基、アミノ基またはシリル基を表す。R3は、全てが同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、yおよびzの和は、5〜10000である。)で示されるシリコンネットワークポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリマーである。
【0015】
上記一般式(3)、(4)、(5)で示されるポリシランにおいて、アルキル基、アリールアルキル基のアルキル部分およびアルコキシル基のアルキル部分としては、直鎖状、環状または分岐状の炭素数1〜14、好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基が挙げられる。アルケニル基としては、少なくとも1つの炭素−炭素二重結合を有する1価の直鎖状、環状または分岐状の炭素数1〜14、好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基が挙げられる。アリール基およびアリールアルキル基のアリール部分としては、少なくとも1つの置換基を有していてもよい芳香族炭化水素が挙げられ、好ましくは少なくとも1つの置換基を有していてもよいフェニル基またはナフチル基が挙げられる。アリール基およびアリールアルキル基のアリール部分の置換基は、特には制限されないが、アルキル基、アルコキシル基、水酸基およびアミノ基からなる群より選ばれる少なくとも1種が好ましい。
【0016】
本発明に用いるポリシランは、Si原子に直接結合した水酸基(シラノール基)を少なくとも1つ有しても良い。本発明に用いるポリシランは、1分子当たり、Si原子に直接結合した水酸基を平均1以上有しても良い。このような水酸基の含有割合は、Si1原子当たり、通常平均0.01〜3程度であり、好ましくは平均0.1〜2.5程度、より好ましくは平均0.2〜2程度、特に好ましくは平均0.3〜1.5程度である。
【0017】
また、ポリシランに水酸基を導入する方法は、公知の方法を用いることができる。例えば、ハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる方法などにおいて、縮重合反応終了時に水を添加することにより容易に行うことができる。
【0018】
また、ポリシランとしては、ネットワーク構造を有するシリコンネットワークポリマーが好ましく用いられる。
また、ポリシリンとしては、特開2001−48987号公報に挙げられたネットワーク状ポリシランを用いることができる。すなわち、トリハロシランを非プロトン性溶媒中でLi塩及び金属ハロゲン化物の共存下にMgまたはMg合金を作用させることにより形成したネットワーク状ポリシランを用いることができる。
【0019】
本発明において使用するポリシランとしては、重量平均分子量が1000以上のものが好ましい。重量平均分子量が1000未満であると、耐薬品性や耐熱性などの膜特性が不十分な場合がある。さらに好ましい重量平均分子量としては、1000〜10000であり、さらに好ましくは1000〜20000である。
【0020】
<シリコーン化合物>
本発明で使用するシリコーン化合物としては、
【0021】
【化3】
【0022】
(式中、R1からR12は、炭素数1〜10のハロゲンまたはグリシジルオキシ基で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基、炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、炭素数1〜8のアルコキシ基からなる群から選択される基であり、同一でも異なっていてもよい。a、b、cおよびdは0を含む整数であり、a+b+c+d≧1を満たすものである。)で示されるものが挙げられる。
【0023】
このシリコーン化合物が有する、脂肪族炭化水素基の具体例として、メチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、トリフルオロプロピル基、グリシジルオキシプロピル基などの鎖状のもの、およびシクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基のような脂環式のものなどが挙げられる。また、芳香族炭化水素基の具体例として、フェニル基、p−トリル基、ビフェニル基などが挙げられる。アルコキシ基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、フェノキシ基、オクチルオキシ基、ter−ブトキシ基などが挙げられる。
【0024】
上記のR1〜R12の種類およびa、b、c、dの値は特に重要ではなく、ポリシランおよび有機溶媒と相溶し、膜が透明なものであれば特に限定されない。相溶性を考慮した場合には、使用するポリシランが有する炭化水素基と同じ基を有していることが好ましい。例えば、ポリシランとして、フェニルメチル系のものを使用する場合には、同じフェニルメチル系またはジフェニル系のシリコーン化合物を使用することが好ましい。また、R1〜R12のうち、少なくとも2つが炭素数1〜8のアルコキシ基であるような、1分子中にアルコキシ基を2つ以上有するシリコーン化合物は、架橋剤として利用可能である。そのようなものとしては、アルコキシ基を15〜35重量%含んだメチルフェニルメトキシシリコーンやフェニルメトキシシリコーンなどを挙げることができる。
【0025】
ケイ素化合物中のポリシランとシリコーン化合物の割合は、ポリシラン:シリコーン化合物の重量比で、1:99〜99:1であることが好ましい。
ケイ素化合物中には、過酸化物またはベンゾフェノン誘導体の少なくともいずれか一方がさらに含まれていてもよい。ベンゾフェノン誘導体としては、以下の式(2)に示されるベンゾフェノン骨格を有するものが好ましく用いられる。また、過酸化物としては、分子構造中に少なくとも1つ以上の−C(=O)−O−O−で表わされる結合を有するものが好ましく用いられる。
【0026】
【化4】
【0027】
ケイ素化合物中の過酸化物の含有量は、1〜49重量%であることが好ましい。また、ベンゾフェノン誘導体の含有量は、1〜49重量%であることが好ましい。
【0028】
本発明のケイ素化合物薄膜は、上記のポリシラン及び/またはシリコーン化合物、必要に応じてベンゾフェノン誘導体及び/または過酸化物を有機溶剤に溶解し、この溶液を塗布した後、乾燥させることにより形成することができる。光を照射する前に、薄膜をプリベークしてもよい。プリベークの温度としては、50〜399℃程度が好ましい。プリベークの時間としては、10秒〜48時間が好ましい。
【0029】
本発明における誘電緩和現象は、例えば「新実験化学講座5」(丸善 1987年 第4刷)に、周波数の低い方(10Hz程度)から高い方(108Hz)に変化させたときに、誘電率が大きい値から小さい値に減少するという現象である。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。
【0031】
<実施例1>
ポリメチルフェニルシラン2重量部、シリコーン化合物(GE東芝シリコーン社製、「TSR−165」)1重量部、BTTB(3,3′,4,4′−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン)0.3重量部を暗所にて溶剤であるアニソールに溶解させて、ケイ素化合物溶液を調製した。3cm角のガラス基板の一方の面にクロムを膜厚20nmとなるように蒸着したガラス基板の上に、得られたケイ素化合物溶液をスピンコート法により塗布し、塗布後、オーブン中で120℃10分間乾燥した後、ホットプレート上で200℃30分間プリベークした。形成したケイ素化合物薄膜の膜厚は、350nmであった。
【0032】
基板上の半分の領域のケイ素化合物薄膜をSiからなる遮光マスクにより覆い、紫外線を照射した。紫外線の照射は、露光機としてミカサM−2Lを用い、ランプとしてウシオUXM−50(10.3mW at 254mm)を用いた。
照射量としては、100〜500mJ/cm2の範囲内で変化させた。照射した光は波長250nmの紫外線光である。
【0033】
次に、オーブン中でケイ素化合物薄膜を500℃30分間焼成した。
焼成後のケイ素化合物薄膜の露光領域と、非露光領域のそれぞれについて、誘電緩和指数(ε100/ε100k)を測定し、測定結果を図1に示した。なお、誘電緩和指数は、以下のようにして求めた。
【0034】
誘電緩和指数(ε100/ε100k)は、LCRメーターを用いてテストセルの静電容量を100〜100kHzの範囲で測定して計算により求めた。
図1に示す結果から明らかなように、光が照射された露光領域は、光が照射されていない非露光領域に比べ、誘電緩和指数が低くなっており、誘電緩和の程度が低減されていることがわかる。
【0035】
従って、本発明によれば、焼成前のケイ素化合物薄膜の所定領域を選択的に露光することにより、誘電緩和の程度の大きな領域と小さな領域にパターニングすることができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、ケイ素化合物薄膜において、誘電緩和現象を示す領域をパターニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ケイ素化合物薄膜の露光領域と非露光領域における誘電緩和指数と露光量との関係を示す図。
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜を、誘電緩和が相対的に大きい領域と誘電緩和が相対的に小さい領域にパターニングする方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
Si−Si結合を骨格とするポリシランのようなケイ素化合物は、その光分解性を利用してフォトレジストやカラーフィルタに用いられている。例えば、特定の構造のポリシランと特定の構造の環状シラン化合物を含有してなる感光性樹脂組成物からなる薄膜を選択的に露光することにより、露光部分に着色パターンの潜像を形成する工程、並びに着色パターンの潜像が形成された露光部分を、染料または顔料を含む着色液で着色する工程を含むカラーフィルタの製造方法が提案されている(特許文献1)。また、ポリシランを拡散板付き光反射板として使用することが提案されている(特許文献2)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−281436号公報
【特許文献2】
特開2001−281421号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人は、ポリシラン及びシリコーン化合物などを含むケイ素化合物薄膜の焼成体が、100Hzから1MHzの間の周波数領域で誘電緩和現象を示すことを見出している(特願2002−344063号)。
【0005】
本発明の目的は、このようなケイ素化合物薄膜において誘電緩和現象を示す領域をパターニングする方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜をパターニングする方法であり、ケイ素化合物薄膜の誘電緩和の程度を低減させたい領域に光を照射する工程と、光照射後、ケイ素化合物薄膜を焼成する工程とを備えることを特徴としている。
【0007】
本発明においては、ケイ素化合物薄膜を焼成する前に、ケイ素化合物薄膜に選択的に光を照射する。光が照射された領域は、ケイ素化合物薄膜の焼成後において、他の領域に比べ誘電緩和の程度が小さくなる。このため、本発明によれば、誘電緩和現象を示す領域をパターニングすることができる。
【0008】
従って、本発明は、電子部品等において誘電緩和領域をパターニングする場合などに適用することができる。
本発明において、焼成後のケイ素化合物薄膜は、誘電緩和現象を示す薄膜であり、特に100Hzから1MHzの間の周波数領域で誘電緩和現象を示す。
【0009】
本発明において、ケイ素化合物薄膜に照射する光としては、一般には紫外線が用いられる。詳細な機構は明らかではないが、紫外線が照射されることにより、ポリシランなどにおけるSi−Si結合が切断されることが知られているので、そのようなSi−Si結合の切断が、誘電緩和現象の低下に影響を与えるものであると思われる。
【0010】
本発明において、誘電緩和の程度を低減させたい領域に光を選択的に照射する方法としては、マスクなどを用いてもよいし、レーザービームなどで選択的に照射してもよい。
【0011】
光を照射する量としては、特に限定されるものではないが、一般に0.01〜1000J/cm2程度であることが好ましい。
本発明において、光照射後、ケイ素化合物薄膜を焼成する温度としては、400℃以上であることが好ましい。また、焼成温度の上限値は、1500℃以下であることが好ましい。焼成時間としては、10秒〜48時間が好ましい。
【0012】
本発明における焼成前のケイ素化合物薄膜は、有機溶剤に可溶なポリシラン及びシリコーン化合物の少なくとも一方を含むものが挙げられる。好ましくは、ポリシランとシリコーン化合物の両方を含むものが挙げられる。
【0013】
以下、ポリシラン及びシリコーン化合物について説明する。
<ポリシラン>
本発明で用いられるポリシランとしては、Si−Si結合を有する直鎖状、環状、分岐状のシラン化合物であれば特に限定されない。また、一般にポリシリンと呼ばれる化合物もこの中に含まれる。
【0014】
ここで、ポリシランとは、化学構造において主となる骨格構造が、
一般式 (R1 2Si)m (3)
(式中、R1は、同一または異なって、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基、水酸基、水酸基含有フェニル基、アミノ基またはシリル基を表す。mは、2〜10000である。)で示される直鎖状ポリシランおよび環状ポリシラン、主となる骨格構造が、
一般式 (R2Si)n (4)
(式中、R2は、同一または異なって、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基、水酸基、水酸基含有フェニル基、アミノ基またはシリル基を表す。nは、4〜10000である。)で示されるシリコンネットワークポリマー、ならびに主となる骨格構造が、
一般式 (R3 2Si)x(R3Si)ySiz (5)
(式中、R3は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基、水酸基、水酸基含有フェニル基、アミノ基またはシリル基を表す。R3は、全てが同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、yおよびzの和は、5〜10000である。)で示されるシリコンネットワークポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリマーである。
【0015】
上記一般式(3)、(4)、(5)で示されるポリシランにおいて、アルキル基、アリールアルキル基のアルキル部分およびアルコキシル基のアルキル部分としては、直鎖状、環状または分岐状の炭素数1〜14、好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基が挙げられる。アルケニル基としては、少なくとも1つの炭素−炭素二重結合を有する1価の直鎖状、環状または分岐状の炭素数1〜14、好ましくは炭素数1〜10、より好ましくは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基が挙げられる。アリール基およびアリールアルキル基のアリール部分としては、少なくとも1つの置換基を有していてもよい芳香族炭化水素が挙げられ、好ましくは少なくとも1つの置換基を有していてもよいフェニル基またはナフチル基が挙げられる。アリール基およびアリールアルキル基のアリール部分の置換基は、特には制限されないが、アルキル基、アルコキシル基、水酸基およびアミノ基からなる群より選ばれる少なくとも1種が好ましい。
【0016】
本発明に用いるポリシランは、Si原子に直接結合した水酸基(シラノール基)を少なくとも1つ有しても良い。本発明に用いるポリシランは、1分子当たり、Si原子に直接結合した水酸基を平均1以上有しても良い。このような水酸基の含有割合は、Si1原子当たり、通常平均0.01〜3程度であり、好ましくは平均0.1〜2.5程度、より好ましくは平均0.2〜2程度、特に好ましくは平均0.3〜1.5程度である。
【0017】
また、ポリシランに水酸基を導入する方法は、公知の方法を用いることができる。例えば、ハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる方法などにおいて、縮重合反応終了時に水を添加することにより容易に行うことができる。
【0018】
また、ポリシランとしては、ネットワーク構造を有するシリコンネットワークポリマーが好ましく用いられる。
また、ポリシリンとしては、特開2001−48987号公報に挙げられたネットワーク状ポリシランを用いることができる。すなわち、トリハロシランを非プロトン性溶媒中でLi塩及び金属ハロゲン化物の共存下にMgまたはMg合金を作用させることにより形成したネットワーク状ポリシランを用いることができる。
【0019】
本発明において使用するポリシランとしては、重量平均分子量が1000以上のものが好ましい。重量平均分子量が1000未満であると、耐薬品性や耐熱性などの膜特性が不十分な場合がある。さらに好ましい重量平均分子量としては、1000〜10000であり、さらに好ましくは1000〜20000である。
【0020】
<シリコーン化合物>
本発明で使用するシリコーン化合物としては、
【0021】
【化3】
【0022】
(式中、R1からR12は、炭素数1〜10のハロゲンまたはグリシジルオキシ基で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基、炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、炭素数1〜8のアルコキシ基からなる群から選択される基であり、同一でも異なっていてもよい。a、b、cおよびdは0を含む整数であり、a+b+c+d≧1を満たすものである。)で示されるものが挙げられる。
【0023】
このシリコーン化合物が有する、脂肪族炭化水素基の具体例として、メチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、トリフルオロプロピル基、グリシジルオキシプロピル基などの鎖状のもの、およびシクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基のような脂環式のものなどが挙げられる。また、芳香族炭化水素基の具体例として、フェニル基、p−トリル基、ビフェニル基などが挙げられる。アルコキシ基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、フェノキシ基、オクチルオキシ基、ter−ブトキシ基などが挙げられる。
【0024】
上記のR1〜R12の種類およびa、b、c、dの値は特に重要ではなく、ポリシランおよび有機溶媒と相溶し、膜が透明なものであれば特に限定されない。相溶性を考慮した場合には、使用するポリシランが有する炭化水素基と同じ基を有していることが好ましい。例えば、ポリシランとして、フェニルメチル系のものを使用する場合には、同じフェニルメチル系またはジフェニル系のシリコーン化合物を使用することが好ましい。また、R1〜R12のうち、少なくとも2つが炭素数1〜8のアルコキシ基であるような、1分子中にアルコキシ基を2つ以上有するシリコーン化合物は、架橋剤として利用可能である。そのようなものとしては、アルコキシ基を15〜35重量%含んだメチルフェニルメトキシシリコーンやフェニルメトキシシリコーンなどを挙げることができる。
【0025】
ケイ素化合物中のポリシランとシリコーン化合物の割合は、ポリシラン:シリコーン化合物の重量比で、1:99〜99:1であることが好ましい。
ケイ素化合物中には、過酸化物またはベンゾフェノン誘導体の少なくともいずれか一方がさらに含まれていてもよい。ベンゾフェノン誘導体としては、以下の式(2)に示されるベンゾフェノン骨格を有するものが好ましく用いられる。また、過酸化物としては、分子構造中に少なくとも1つ以上の−C(=O)−O−O−で表わされる結合を有するものが好ましく用いられる。
【0026】
【化4】
【0027】
ケイ素化合物中の過酸化物の含有量は、1〜49重量%であることが好ましい。また、ベンゾフェノン誘導体の含有量は、1〜49重量%であることが好ましい。
【0028】
本発明のケイ素化合物薄膜は、上記のポリシラン及び/またはシリコーン化合物、必要に応じてベンゾフェノン誘導体及び/または過酸化物を有機溶剤に溶解し、この溶液を塗布した後、乾燥させることにより形成することができる。光を照射する前に、薄膜をプリベークしてもよい。プリベークの温度としては、50〜399℃程度が好ましい。プリベークの時間としては、10秒〜48時間が好ましい。
【0029】
本発明における誘電緩和現象は、例えば「新実験化学講座5」(丸善 1987年 第4刷)に、周波数の低い方(10Hz程度)から高い方(108Hz)に変化させたときに、誘電率が大きい値から小さい値に減少するという現象である。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。
【0031】
<実施例1>
ポリメチルフェニルシラン2重量部、シリコーン化合物(GE東芝シリコーン社製、「TSR−165」)1重量部、BTTB(3,3′,4,4′−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン)0.3重量部を暗所にて溶剤であるアニソールに溶解させて、ケイ素化合物溶液を調製した。3cm角のガラス基板の一方の面にクロムを膜厚20nmとなるように蒸着したガラス基板の上に、得られたケイ素化合物溶液をスピンコート法により塗布し、塗布後、オーブン中で120℃10分間乾燥した後、ホットプレート上で200℃30分間プリベークした。形成したケイ素化合物薄膜の膜厚は、350nmであった。
【0032】
基板上の半分の領域のケイ素化合物薄膜をSiからなる遮光マスクにより覆い、紫外線を照射した。紫外線の照射は、露光機としてミカサM−2Lを用い、ランプとしてウシオUXM−50(10.3mW at 254mm)を用いた。
照射量としては、100〜500mJ/cm2の範囲内で変化させた。照射した光は波長250nmの紫外線光である。
【0033】
次に、オーブン中でケイ素化合物薄膜を500℃30分間焼成した。
焼成後のケイ素化合物薄膜の露光領域と、非露光領域のそれぞれについて、誘電緩和指数(ε100/ε100k)を測定し、測定結果を図1に示した。なお、誘電緩和指数は、以下のようにして求めた。
【0034】
誘電緩和指数(ε100/ε100k)は、LCRメーターを用いてテストセルの静電容量を100〜100kHzの範囲で測定して計算により求めた。
図1に示す結果から明らかなように、光が照射された露光領域は、光が照射されていない非露光領域に比べ、誘電緩和指数が低くなっており、誘電緩和の程度が低減されていることがわかる。
【0035】
従って、本発明によれば、焼成前のケイ素化合物薄膜の所定領域を選択的に露光することにより、誘電緩和の程度の大きな領域と小さな領域にパターニングすることができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、ケイ素化合物薄膜において、誘電緩和現象を示す領域をパターニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ケイ素化合物薄膜の露光領域と非露光領域における誘電緩和指数と露光量との関係を示す図。
Claims (8)
- 誘電緩和現象を示すケイ素化合物薄膜をパターニングする方法であって、
ケイ素化合物薄膜の誘電緩和の程度を低減させたい領域に光を照射する工程と、
前記光照射後、前記ケイ素化合物を焼成する工程とを備えることを特徴とするケイ素化合物薄膜のパターニング方法。 - 前記光が紫外線であることを特徴とする請求項1に記載のケイ素化合物薄膜のパターニング方法。
- 前記ケイ素化合物薄膜を焼成する温度が400℃以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のケイ素化合物薄膜のパターニング方法。
- 前記焼成前のケイ素化合物薄膜が、有機溶剤に可溶なポリシラン、及びシリコーン化合物の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のケイ素化合物薄膜のパターニング方法。
- 前記焼成前のケイ素化合物薄膜が、さらに過酸化物及びベンゾフェノン誘導体の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項4または5に記載のケイ素化合物薄膜のパターニング方法。
- 前記過酸化物が、分子構造中に少なくとも1つ以上の−C(=O)−O−O−で表わされる結合を有することを特徴とする請求項6または7に記載のケイ素化合物薄膜のパターニング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002367023A JP2004198726A (ja) | 2002-12-18 | 2002-12-18 | ケイ素化合物薄膜のパターニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002367023A JP2004198726A (ja) | 2002-12-18 | 2002-12-18 | ケイ素化合物薄膜のパターニング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004198726A true JP2004198726A (ja) | 2004-07-15 |
Family
ID=32764052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002367023A Pending JP2004198726A (ja) | 2002-12-18 | 2002-12-18 | ケイ素化合物薄膜のパターニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004198726A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016074772A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 信越化学工業株式会社 | 塗布型ケイ素含有膜形成用組成物、基板、及びパターン形成方法 |
-
2002
- 2002-12-18 JP JP2002367023A patent/JP2004198726A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016074772A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 信越化学工業株式会社 | 塗布型ケイ素含有膜形成用組成物、基板、及びパターン形成方法 |
US9880470B2 (en) | 2014-10-03 | 2018-01-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Composition for forming a coating type silicon-containing film, substrate, and patterning process |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100362619B1 (ko) | 방사선경화성조성물및이를경화시키는방법 | |
CA1335542C (en) | Pattern-forming material and pattern formation method | |
US11634610B2 (en) | Siloxane polymer compositions and their use | |
CN102174155B (zh) | 聚有机硅氧烷组合物 | |
US5554465A (en) | Process for forming a pattern using a resist composition having a siloxane-bond structure | |
US4822716A (en) | Polysilanes, Polysiloxanes and silicone resist materials containing these compounds | |
US5198520A (en) | Polysilanes, polysiloxanes and silicone resist materials containing these compounds | |
KR102046782B1 (ko) | 감광성 실록산 조성물 | |
JP4687250B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JP5766440B2 (ja) | シロキサンポリマー組成物及びその使用方法 | |
JP6137862B2 (ja) | ネガ型感光性シロキサン組成物 | |
JP2008506811A (ja) | 感光性シリコーン樹脂組成物 | |
WO2006077140A1 (en) | Composite composition for micropatterned layers having high relaxation ability, high chemical resistance and mechanical stability | |
KR100591663B1 (ko) | 오르가노실록산계 고분자 화합물, 광경화성 수지 조성물,패턴 형성 방법 및 기판 보호용 피막 | |
JP2004198726A (ja) | ケイ素化合物薄膜のパターニング方法 | |
KR100769232B1 (ko) | 감광성 조성물 및 이를 이용한 패턴형성방법 | |
JPH0940779A (ja) | ポリシロキサン、ポリシロキサン組成物、絶縁膜の製造方法、着色部材の製造方法及び導電膜の製造方法 | |
JP2865921B2 (ja) | 染色パターン形成法 | |
Hayase et al. | Application of Polysilanes to LSI Manufacturing Processes Their Antireflective Properties and Etching Selectivity toward Resists | |
JPS6340142A (ja) | シリコ−ン系レジスト材料 | |
JP2008141137A (ja) | 半導体装置用絶縁膜 | |
KR20030034031A (ko) | 마이크로렌즈의 형성방법 및 마이크로렌즈 형성용 재료 | |
JPH09188814A (ja) | ポリシロキサン組成物、絶縁膜の製造方法、着色部材の製造方法及び導電膜の製造方法 |