JP2004194441A - パルス電源装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】正負両極性の圧縮パルスを容易に得る。
【解決手段】パルス発生回路からのパルス電流をパルストランスPTにより昇圧し、このパルス電流を極性切替端子9を介して磁気パルス圧縮回路に供給し、負荷2に狭幅・高電圧のパルス電流を繰り返し供給する。このパルス出力の極性は、極性切替端子9の切替により切り替わる。又、極性切替端子9の切替により、磁気パルス圧縮回路の可飽和リアクトルSI1,SI2のリセット巻線4,5を流れるリセット電流の方向も逆になり、リセットも正常に行われる。
【選択図】 図1
【解決手段】パルス発生回路からのパルス電流をパルストランスPTにより昇圧し、このパルス電流を極性切替端子9を介して磁気パルス圧縮回路に供給し、負荷2に狭幅・高電圧のパルス電流を繰り返し供給する。このパルス出力の極性は、極性切替端子9の切替により切り替わる。又、極性切替端子9の切替により、磁気パルス圧縮回路の可飽和リアクトルSI1,SI2のリセット巻線4,5を流れるリセット電流の方向も逆になり、リセットも正常に行われる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、パルス電源装置に関し、特にパルス発生回路と磁気パルス圧縮回路とを用いた高繰り返しパルス電源において、1つのパルス電源で出力を正負両方の極性で発生させる技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のパルス電源においては、特許文献1に示されるように、主回路同士を接続するために端子構造とすることはよくあることであり、また極性を変えるために端子接続を逆にすることもある。しかしながら、高電圧パルスを発生させる磁気パルス圧縮電源回路で1つの装置で正極性パルス電圧と負極性パルス電圧とを簡便に切り替えて出力できるものはほとんど無く、正極性出力専用の電源と負極性出力専用の電源を別々に用意して正負それぞれの出力極性に対応している。特に、リセット回路を持つ磁気パルス圧縮回路を用いた電源においては、1台の電源で正極性と負極性を切り替えて出力できる電源は見当たらない。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−232795号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、従来のパルス電源においては、正負両極性を用いる実験や試験などを同一電源により出力極性を切り替えて行う場合、高繰り返し動作が可能で高電圧・大電流、短パルスを出力可能な電源はほとんどなく、特に磁気パルス圧縮電源では見当たらない。そのために、正極性の電源と負極性の電源を2台用意する必要がある。又、コンデンサを放電してパルスを出力する回路では、逆極性の出力を得るためには、逆極性でのコンデンサ充電を行う充電器と両方向でスイッチングできるスイッチが必要となる。さらに、高繰り返し動作のために半導体スイッチを用いたパルス電源では、上記のように両方向に高速でスイッチングできる半導体素子はほとんど無く、簡素な方法で高速で両方向にスイッチできるスイッチ回路を構成することは困難である。又、磁気パルス圧縮回路を用いる電源においては、磁気スイッチのリセットによるパルス磁界を逆方向に掛ける必要がある。
【0005】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、正負両極性の出力を容易に得ることができるパルス電源装置を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1に係るパルス電源装置は、初期充電される初段コンデンサから半導体スイッチのオン制御によりパルス電流を発生させるパルス発生回路と、このパルス電流を可飽和リアクトルとコンデンサとによってパルス幅を圧縮して負荷に供給する磁気パルス圧縮回路と、直流電源から磁気パルス圧縮回路の可飽和リアクトルのリセット巻線にリセット電流を供給して可飽和リアクトルの鉄心を逆励磁しておくリセット回路とを備えたパルス電源装置において、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路の直流電源側とリセット巻線側との間に、正極性出力と負極性出力との切替を行う極性切替端子を設けたものである。
【0007】
請求項2にかかるパルス電源装置は、パルス発生回路と極性切替端子との間に、パルス電流の昇圧を行うパルストランスを設けたものである。
【0008】
請求項3に係るパルス電源装置は、パルス発生回路に、半導体スイッチの責務を軽減するための可飽和リアクトルを設けたものである。
【0009】
請求項4に係るパルス電源装置は、リセット回路の直流電源側と極性切替端子との間に、パルス発生回路の可飽和リアクトルのリセット巻線を設けたものである。
【0010】
請求項5に係るパルス電源装置は、リセット回路の直流電源側と極性切替端子との間に、パルストランスのリセット巻線を設けたものである。
【0011】
請求項6に係るパルス電源装置は、極性切替端子の端子コネクタを、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路を有する主回路側の端子コネクタとリセット回路側の端子コネクタとの大きさ又は形状を異ならせたものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
実施形態1
以下、この発明の実施の形態を図面とともに説明する。図1はこの発明の実施形態1によるパルス電源装置の回路図を示し、1は高圧の直流電圧を発生する充電器、2はレーザヘッドのチャンバなどの負荷、SI0は磁気アシストを行う可飽和リアクトル、SI1,SI2はパルス圧縮用の可飽和リアクトル、SWはGTOサイリスタ、SIサイリスタ、IGBT、GCTなどの半導体スイッチ、PTはリセット式パルストランスであり、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2及びパルストランスPTに用いる磁性材料は、パルス特性が良いもの、例えば鉄系やコバルト系のアモルファス合金、鉄系の超微結晶質合金、フェライト等とする。C0,C1,C2は各段のコンデンサであり、初段コンデンサC0は有極性あるいは無極性のいずれでもよいが、C1,C2は極性を持たないコンデンサとする。充電器1、初段コンデンサC0、可飽和リアクトルSI0及び半導体スイッチSWによりパルス発生回路が構成され、可飽和リアクトルSI1,SI2及びコンデンサC1,C2により磁気パルス圧縮回路が構成される。
【0013】
一方、3〜6は可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2及びパルストランスPTのリセット巻線、7は直流電源、8はダイオード、Rは抵抗、L1はリアクトルである。リセットは一括リセット方式とする。なお、リセット巻線3〜6における矢印はリセット電流の方向を示す。
【0014】
又、パルストランスPTと磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路のリセット巻線4,5と直流電源7を含むその他の部分との間に極性切替端子9が設けられる。極性切替端子9においては、P極端子(P−1,P−2,P−R1,P−R2)とN極端子(N−1,N−2,N−R1,N−R2)が設けられ、対となるP極端子とN極端子(例えばP−1とN−1)は同形状とし、交互に脱着できるようにする。この結果、パルス発生回路、磁気パルス圧縮回路、パルストランスPT及び極性切替端子9により主回路が構成され、またリセット巻線3〜6、直流電源7、ダイオード8、抵抗R、リアクトルL1及び極性切替端子9によりリセット回路が構成される。
【0015】
図3は極性切替端子9の断面図を示し、パルストランスPT側の端子P−1,N−1,P−R1,N−R1と磁気パルス圧縮回路側の端子P−2,N−2,P−R2,N−R2とは別々の絶縁物10,11に取り付けられ、絶縁物10はねじ12を介して、また絶縁物11はモールド材17及びローレットねじ13を介して支持部材14に取り付けられる。各端子のコネクタは主回路側のコネクタ15とリセット回路側のコネクタ16とは大きさ又は形状を異ならせ、主回路側とリセット回路側が誤って接続されないようにする。又、主回路側のコネクタ15とリセット回路側のコネクタ16とは絶縁する必要があるので、絶縁物10,11において大きな間隔を開けるかあるいは絶縁沿面距離を長くするために溝10a,11aを設ける。コネクタ15,16は、容易に挿抜可能なもの、例えばBALSEAL社製の斜め巻コイルスプリングコンタクト付きコネクタ等を用いる。磁気パルス圧縮回路のコンデンサC1側と接続される端子P−2,N−2及びリセット巻線4,5と接続される端子P−R2,N−R2には、フレキシブルなケ−ブルが接続される。
【0016】
上記構成において、図1は端子P−1と端子P−2、同じくN−1とN−2、P−R1とP−R2、N−R1とN−R2が接続され、出力パルスが正極性の状態である。パルス発生回路は、電力用の初段コンデンサC0を設け、このコンデンサC0を高圧充電器1により初期充電しておき、半導体スイッチSWのオン制御でコンデンサC0から可飽和リアクトルSI0を通してパルストランスPTにパルス電流I0を供給する。可飽和リアクトSI0は、半導体スイッチSWの完全なオン後に飽和動作してパルス電流I0を発生させることで半導体スイッチSWの責務を軽減する。パルストランスPTの二次側には2段の磁気パルス圧縮回路が縦続接続され、初段の磁気パルス圧縮回路ではパルストランスPTで昇圧したパルス電流I0′でコンデンサC1が高圧充電され、このコンデンサC1の充電電圧で可飽和リアクトルSI1が磁気スイッチ動作することにより磁気パルス圧縮した狭幅のパルス電流I1を図示の極性で流し、次段の磁気パルス圧縮回路に供給する。即ち、コンデンサC2を急速充電し、この充電電圧で可飽和リアクトルSI2の磁気スイッチ動作によりパルス幅の磁気パルス圧縮を行い、パルス電流I2を図示の極性で出力する。磁気パルス圧縮回路の出力はレーザヘッドのチャンバなどの負荷2に狭幅・高電圧のパルス電流を高い繰り返しで供給する。
【0017】
一方、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2を磁気スイッチ手段として用いると、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2は磁気スイッチ動作後に飽和状態から非飽和状態に戻るが、鉄心に残留磁気が存在し、次回の磁気スイッチ動作時にパルス圧縮効果が有効に得られなくなる。このため、鉄心に逆励磁電流を流して磁気リセットを行う必要がある。パルストランスPTにおいても、同様である。このリセット回路においては、直流電源7から各リセット巻線3〜6に供給されるリセット電流路に抵抗R、リアクトルL1、ダイオード8が設けられ、抵抗Rはリセット巻線3〜6へのリセット電流即ち逆励磁電流の大きさを設定するために設けられ、リアクトルL1は可飽和リアクトルSI0、SI1,SI2の磁気スイッチ動作時に発生する誘導電流を抑制するために設けられる。ダイオード8にはリセット電流が流れず、ダイオード8は磁気スイッチ動作時の誘導電流を抵抗R、リアクトルL1を介して循環させ、誘導電流が直流電源7に流れるのを阻止するために設けられる。矢印はリセット電流の方向を示す。
【0018】
ここで、図2に示すように、極性切替端子9を切り替えると、端子P−1と端子N−2、N−1とP−2、P−R1とN−R2、N−R1とP−R2が接続され、主回路においては、パルス電流I0′,I1,I2が逆方向となり、負荷2へのパルスは負極性となる。一方、可飽和リアクトルSI1,SI2の磁化飽和方向は逆となるので、リセット回路においても極性切替によりリセット巻線4,5を流れるリセット電流の方向も逆にする。
【0019】
実施形態1においては、コンデンサC1の手前で極性切替端子9の切り替えを行うことにより、正負両極性の出力を同一のパルス電源で容易に得ることができる。しかも、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2とパルストランスPTに極性に応じてリセットが掛けられるので、磁性体の逆バイアス磁化レベルが常に一定に保たれ、安定したパルス圧縮動作が正負両極性で得られる。極性切替は、極性切替端子9においてP極端子とN極端子を同一形状にすることにより、容易に行うことができる。リセット回路においても、極性切替端子9の切替操作により主回路と同時に極性切替を行うことができる。又、図3に示すように、極性切替端子9において2つの絶縁物10,11の部分で電源ユニットを2分割することができ、また絶縁物10,11に主回路側端子及びリセット側端子を共通に設けているので、リセット回路側の設置忘れや設置違いを無くすことができる。又、パルス発生回路と磁気パルスとの間の端子コネクタ即ち主回路側のコネクタ15とリセット回路側のコネクタ16の大きさ又は形状を相違させており、主回路側とリセット回路側を誤って接続することは防止される。
【0020】
なお、図3で主回路側のコネクタ15の数を4個としたが、電流値に応じて増減できる。又、半導体スイッチSWは、多数個の素子を直列、並列に接続して形成してもよい。
【0021】
図4は極性切替端子9の変形例を示し、(a),(b)は磁気パルス圧縮回路側の正面図及び縦断側面図であり、P極側とN極側が1つの絶縁物18に取り付けられてコンパクトに形成されるとともに、主回路側のコネクタ19及びリセット回路側のコネクタ20は共に極性切替端子9の中心に対して対称に配置され、パルス発生回路側においても同様の配置となっている。このため、極性切替端子9の一方の側を180度回転させれば、容易に逆極性の出力が得られる。又、コネクタ19,20は大きさ又は形状が異なり、主回路側とリセット回路側が誤って接続されることはない。なお、絶縁物18を矩形としたが、円形としてもよい。又,18aは各コネクタ19,20間の絶縁沿面距離を長くするための溝である。
【0022】
実施形態2
図5及び図6は実施形態2によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、パルストランスPTのリセット巻線6を無くしたことである。このように、パルストランスPTのリセットは必ずしも行わなくてもよい。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0023】
実施形態3
図7及び図8は実施形態3によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、可飽和リアクトルSI0及びパルストランスPTのリセット巻線3,6を無くしたことである。このように、可飽和リアクトルSI0のリセットは必ずしも行わなくてもよい。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0024】
実施形態4
図9及び図10は実施形態4によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、可飽和リアクトルSI0及びそのリセット巻線3を無くし、かつパルストランスPTのリセット巻線6を無くしたことである。可飽和リアクトルSI0は半導体スイッチSWの責務を軽減するために設けてあるが、必ずしも設けなくても良い。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0025】
実施形態5
図11及び図12は実施形態5によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、可飽和リアクトルSI0、パルストランスPT、及びそれぞれのリセット巻線3,6を無くしたことである。パルストランスPTはパルスを昇圧するために設けてあるが、必ずしも設けなくても良い。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0026】
【発明の効果】
以上のようにこの発明の請求項1〜5によれば、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路の直流電源側とリセット巻線側との間に、正極性出力と負極性出力との切替を行う極性切替端子を設けており、正負両極性の出力を同一のパルス電源で容易に得ることができる。しかも、リセット回路においても同時に極性切替が行われるので、可飽和リアクトル等のリセットが正常に行われ、可飽和リアクトル等の磁化レベルが一定に保たれ、安定したパルス圧縮動作が正負両極性で得られる。
【0027】
又、請求項6によれば、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路等により構成される主回路側の端子コネクタとリセット回路側の端子コネクタの大きさ又は形状を異ならせており、主回路側とリセット回路側の誤接続を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態1によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図2】実施形態1によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図3】実施形態1によるパルス電源装置の極性切替端子の断面図である。
【図4】実施形態1によるパルス電源装置の極性切替端子の変形例を示し、磁気パルス圧縮回路側の正面図及び縦断側面図である。
【図5】実施形態2によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図6】実施形態2によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図7】実施形態3によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図8】実施形態3によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図9】実施形態4によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図10】実施形態4によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図11】実施形態5によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図12】実施形態5によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【符号の説明】
1…充電器
2…負荷
3〜6…リセット巻線
7…直流電源
8…ダイオード
9…極性切替端子
15,19…主回路側コネクタ
16,20…リセット回路側コネクタ
SI0、SI1、SI2…可飽和リアクトル
C0、C1、C2…コンデンサ
PT…パルストランス
SW…半導体スイッチ
R…抵抗
L1…リアクトル
【発明の属する技術分野】
この発明は、パルス電源装置に関し、特にパルス発生回路と磁気パルス圧縮回路とを用いた高繰り返しパルス電源において、1つのパルス電源で出力を正負両方の極性で発生させる技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のパルス電源においては、特許文献1に示されるように、主回路同士を接続するために端子構造とすることはよくあることであり、また極性を変えるために端子接続を逆にすることもある。しかしながら、高電圧パルスを発生させる磁気パルス圧縮電源回路で1つの装置で正極性パルス電圧と負極性パルス電圧とを簡便に切り替えて出力できるものはほとんど無く、正極性出力専用の電源と負極性出力専用の電源を別々に用意して正負それぞれの出力極性に対応している。特に、リセット回路を持つ磁気パルス圧縮回路を用いた電源においては、1台の電源で正極性と負極性を切り替えて出力できる電源は見当たらない。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−232795号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、従来のパルス電源においては、正負両極性を用いる実験や試験などを同一電源により出力極性を切り替えて行う場合、高繰り返し動作が可能で高電圧・大電流、短パルスを出力可能な電源はほとんどなく、特に磁気パルス圧縮電源では見当たらない。そのために、正極性の電源と負極性の電源を2台用意する必要がある。又、コンデンサを放電してパルスを出力する回路では、逆極性の出力を得るためには、逆極性でのコンデンサ充電を行う充電器と両方向でスイッチングできるスイッチが必要となる。さらに、高繰り返し動作のために半導体スイッチを用いたパルス電源では、上記のように両方向に高速でスイッチングできる半導体素子はほとんど無く、簡素な方法で高速で両方向にスイッチできるスイッチ回路を構成することは困難である。又、磁気パルス圧縮回路を用いる電源においては、磁気スイッチのリセットによるパルス磁界を逆方向に掛ける必要がある。
【0005】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、正負両極性の出力を容易に得ることができるパルス電源装置を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1に係るパルス電源装置は、初期充電される初段コンデンサから半導体スイッチのオン制御によりパルス電流を発生させるパルス発生回路と、このパルス電流を可飽和リアクトルとコンデンサとによってパルス幅を圧縮して負荷に供給する磁気パルス圧縮回路と、直流電源から磁気パルス圧縮回路の可飽和リアクトルのリセット巻線にリセット電流を供給して可飽和リアクトルの鉄心を逆励磁しておくリセット回路とを備えたパルス電源装置において、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路の直流電源側とリセット巻線側との間に、正極性出力と負極性出力との切替を行う極性切替端子を設けたものである。
【0007】
請求項2にかかるパルス電源装置は、パルス発生回路と極性切替端子との間に、パルス電流の昇圧を行うパルストランスを設けたものである。
【0008】
請求項3に係るパルス電源装置は、パルス発生回路に、半導体スイッチの責務を軽減するための可飽和リアクトルを設けたものである。
【0009】
請求項4に係るパルス電源装置は、リセット回路の直流電源側と極性切替端子との間に、パルス発生回路の可飽和リアクトルのリセット巻線を設けたものである。
【0010】
請求項5に係るパルス電源装置は、リセット回路の直流電源側と極性切替端子との間に、パルストランスのリセット巻線を設けたものである。
【0011】
請求項6に係るパルス電源装置は、極性切替端子の端子コネクタを、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路を有する主回路側の端子コネクタとリセット回路側の端子コネクタとの大きさ又は形状を異ならせたものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
実施形態1
以下、この発明の実施の形態を図面とともに説明する。図1はこの発明の実施形態1によるパルス電源装置の回路図を示し、1は高圧の直流電圧を発生する充電器、2はレーザヘッドのチャンバなどの負荷、SI0は磁気アシストを行う可飽和リアクトル、SI1,SI2はパルス圧縮用の可飽和リアクトル、SWはGTOサイリスタ、SIサイリスタ、IGBT、GCTなどの半導体スイッチ、PTはリセット式パルストランスであり、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2及びパルストランスPTに用いる磁性材料は、パルス特性が良いもの、例えば鉄系やコバルト系のアモルファス合金、鉄系の超微結晶質合金、フェライト等とする。C0,C1,C2は各段のコンデンサであり、初段コンデンサC0は有極性あるいは無極性のいずれでもよいが、C1,C2は極性を持たないコンデンサとする。充電器1、初段コンデンサC0、可飽和リアクトルSI0及び半導体スイッチSWによりパルス発生回路が構成され、可飽和リアクトルSI1,SI2及びコンデンサC1,C2により磁気パルス圧縮回路が構成される。
【0013】
一方、3〜6は可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2及びパルストランスPTのリセット巻線、7は直流電源、8はダイオード、Rは抵抗、L1はリアクトルである。リセットは一括リセット方式とする。なお、リセット巻線3〜6における矢印はリセット電流の方向を示す。
【0014】
又、パルストランスPTと磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路のリセット巻線4,5と直流電源7を含むその他の部分との間に極性切替端子9が設けられる。極性切替端子9においては、P極端子(P−1,P−2,P−R1,P−R2)とN極端子(N−1,N−2,N−R1,N−R2)が設けられ、対となるP極端子とN極端子(例えばP−1とN−1)は同形状とし、交互に脱着できるようにする。この結果、パルス発生回路、磁気パルス圧縮回路、パルストランスPT及び極性切替端子9により主回路が構成され、またリセット巻線3〜6、直流電源7、ダイオード8、抵抗R、リアクトルL1及び極性切替端子9によりリセット回路が構成される。
【0015】
図3は極性切替端子9の断面図を示し、パルストランスPT側の端子P−1,N−1,P−R1,N−R1と磁気パルス圧縮回路側の端子P−2,N−2,P−R2,N−R2とは別々の絶縁物10,11に取り付けられ、絶縁物10はねじ12を介して、また絶縁物11はモールド材17及びローレットねじ13を介して支持部材14に取り付けられる。各端子のコネクタは主回路側のコネクタ15とリセット回路側のコネクタ16とは大きさ又は形状を異ならせ、主回路側とリセット回路側が誤って接続されないようにする。又、主回路側のコネクタ15とリセット回路側のコネクタ16とは絶縁する必要があるので、絶縁物10,11において大きな間隔を開けるかあるいは絶縁沿面距離を長くするために溝10a,11aを設ける。コネクタ15,16は、容易に挿抜可能なもの、例えばBALSEAL社製の斜め巻コイルスプリングコンタクト付きコネクタ等を用いる。磁気パルス圧縮回路のコンデンサC1側と接続される端子P−2,N−2及びリセット巻線4,5と接続される端子P−R2,N−R2には、フレキシブルなケ−ブルが接続される。
【0016】
上記構成において、図1は端子P−1と端子P−2、同じくN−1とN−2、P−R1とP−R2、N−R1とN−R2が接続され、出力パルスが正極性の状態である。パルス発生回路は、電力用の初段コンデンサC0を設け、このコンデンサC0を高圧充電器1により初期充電しておき、半導体スイッチSWのオン制御でコンデンサC0から可飽和リアクトルSI0を通してパルストランスPTにパルス電流I0を供給する。可飽和リアクトSI0は、半導体スイッチSWの完全なオン後に飽和動作してパルス電流I0を発生させることで半導体スイッチSWの責務を軽減する。パルストランスPTの二次側には2段の磁気パルス圧縮回路が縦続接続され、初段の磁気パルス圧縮回路ではパルストランスPTで昇圧したパルス電流I0′でコンデンサC1が高圧充電され、このコンデンサC1の充電電圧で可飽和リアクトルSI1が磁気スイッチ動作することにより磁気パルス圧縮した狭幅のパルス電流I1を図示の極性で流し、次段の磁気パルス圧縮回路に供給する。即ち、コンデンサC2を急速充電し、この充電電圧で可飽和リアクトルSI2の磁気スイッチ動作によりパルス幅の磁気パルス圧縮を行い、パルス電流I2を図示の極性で出力する。磁気パルス圧縮回路の出力はレーザヘッドのチャンバなどの負荷2に狭幅・高電圧のパルス電流を高い繰り返しで供給する。
【0017】
一方、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2を磁気スイッチ手段として用いると、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2は磁気スイッチ動作後に飽和状態から非飽和状態に戻るが、鉄心に残留磁気が存在し、次回の磁気スイッチ動作時にパルス圧縮効果が有効に得られなくなる。このため、鉄心に逆励磁電流を流して磁気リセットを行う必要がある。パルストランスPTにおいても、同様である。このリセット回路においては、直流電源7から各リセット巻線3〜6に供給されるリセット電流路に抵抗R、リアクトルL1、ダイオード8が設けられ、抵抗Rはリセット巻線3〜6へのリセット電流即ち逆励磁電流の大きさを設定するために設けられ、リアクトルL1は可飽和リアクトルSI0、SI1,SI2の磁気スイッチ動作時に発生する誘導電流を抑制するために設けられる。ダイオード8にはリセット電流が流れず、ダイオード8は磁気スイッチ動作時の誘導電流を抵抗R、リアクトルL1を介して循環させ、誘導電流が直流電源7に流れるのを阻止するために設けられる。矢印はリセット電流の方向を示す。
【0018】
ここで、図2に示すように、極性切替端子9を切り替えると、端子P−1と端子N−2、N−1とP−2、P−R1とN−R2、N−R1とP−R2が接続され、主回路においては、パルス電流I0′,I1,I2が逆方向となり、負荷2へのパルスは負極性となる。一方、可飽和リアクトルSI1,SI2の磁化飽和方向は逆となるので、リセット回路においても極性切替によりリセット巻線4,5を流れるリセット電流の方向も逆にする。
【0019】
実施形態1においては、コンデンサC1の手前で極性切替端子9の切り替えを行うことにより、正負両極性の出力を同一のパルス電源で容易に得ることができる。しかも、可飽和リアクトルSI0,SI1,SI2とパルストランスPTに極性に応じてリセットが掛けられるので、磁性体の逆バイアス磁化レベルが常に一定に保たれ、安定したパルス圧縮動作が正負両極性で得られる。極性切替は、極性切替端子9においてP極端子とN極端子を同一形状にすることにより、容易に行うことができる。リセット回路においても、極性切替端子9の切替操作により主回路と同時に極性切替を行うことができる。又、図3に示すように、極性切替端子9において2つの絶縁物10,11の部分で電源ユニットを2分割することができ、また絶縁物10,11に主回路側端子及びリセット側端子を共通に設けているので、リセット回路側の設置忘れや設置違いを無くすことができる。又、パルス発生回路と磁気パルスとの間の端子コネクタ即ち主回路側のコネクタ15とリセット回路側のコネクタ16の大きさ又は形状を相違させており、主回路側とリセット回路側を誤って接続することは防止される。
【0020】
なお、図3で主回路側のコネクタ15の数を4個としたが、電流値に応じて増減できる。又、半導体スイッチSWは、多数個の素子を直列、並列に接続して形成してもよい。
【0021】
図4は極性切替端子9の変形例を示し、(a),(b)は磁気パルス圧縮回路側の正面図及び縦断側面図であり、P極側とN極側が1つの絶縁物18に取り付けられてコンパクトに形成されるとともに、主回路側のコネクタ19及びリセット回路側のコネクタ20は共に極性切替端子9の中心に対して対称に配置され、パルス発生回路側においても同様の配置となっている。このため、極性切替端子9の一方の側を180度回転させれば、容易に逆極性の出力が得られる。又、コネクタ19,20は大きさ又は形状が異なり、主回路側とリセット回路側が誤って接続されることはない。なお、絶縁物18を矩形としたが、円形としてもよい。又,18aは各コネクタ19,20間の絶縁沿面距離を長くするための溝である。
【0022】
実施形態2
図5及び図6は実施形態2によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、パルストランスPTのリセット巻線6を無くしたことである。このように、パルストランスPTのリセットは必ずしも行わなくてもよい。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0023】
実施形態3
図7及び図8は実施形態3によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、可飽和リアクトルSI0及びパルストランスPTのリセット巻線3,6を無くしたことである。このように、可飽和リアクトルSI0のリセットは必ずしも行わなくてもよい。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0024】
実施形態4
図9及び図10は実施形態4によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、可飽和リアクトルSI0及びそのリセット巻線3を無くし、かつパルストランスPTのリセット巻線6を無くしたことである。可飽和リアクトルSI0は半導体スイッチSWの責務を軽減するために設けてあるが、必ずしも設けなくても良い。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0025】
実施形態5
図11及び図12は実施形態5によるパルス電源装置の正極性出力時および負極性出力時の回路図を示し、実施形態1との相違点は、可飽和リアクトルSI0、パルストランスPT、及びそれぞれのリセット巻線3,6を無くしたことである。パルストランスPTはパルスを昇圧するために設けてあるが、必ずしも設けなくても良い。その他の構成及び効果は実施形態1と同様である。
【0026】
【発明の効果】
以上のようにこの発明の請求項1〜5によれば、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路の直流電源側とリセット巻線側との間に、正極性出力と負極性出力との切替を行う極性切替端子を設けており、正負両極性の出力を同一のパルス電源で容易に得ることができる。しかも、リセット回路においても同時に極性切替が行われるので、可飽和リアクトル等のリセットが正常に行われ、可飽和リアクトル等の磁化レベルが一定に保たれ、安定したパルス圧縮動作が正負両極性で得られる。
【0027】
又、請求項6によれば、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路等により構成される主回路側の端子コネクタとリセット回路側の端子コネクタの大きさ又は形状を異ならせており、主回路側とリセット回路側の誤接続を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態1によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図2】実施形態1によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図3】実施形態1によるパルス電源装置の極性切替端子の断面図である。
【図4】実施形態1によるパルス電源装置の極性切替端子の変形例を示し、磁気パルス圧縮回路側の正面図及び縦断側面図である。
【図5】実施形態2によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図6】実施形態2によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図7】実施形態3によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図8】実施形態3によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図9】実施形態4によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図10】実施形態4によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【図11】実施形態5によるパルス電源装置の正極性出力時の回路図である。
【図12】実施形態5によるパルス電源装置の負極性出力時の回路図である。
【符号の説明】
1…充電器
2…負荷
3〜6…リセット巻線
7…直流電源
8…ダイオード
9…極性切替端子
15,19…主回路側コネクタ
16,20…リセット回路側コネクタ
SI0、SI1、SI2…可飽和リアクトル
C0、C1、C2…コンデンサ
PT…パルストランス
SW…半導体スイッチ
R…抵抗
L1…リアクトル
Claims (6)
- 初期充電される初段コンデンサから半導体スイッチのオン制御によりパルス電流を発生させるパルス発生回路と、このパルス電流を可飽和リアクトルとコンデンサとによってパルス幅を圧縮して負荷に供給する磁気パルス圧縮回路と、直流電源から磁気パルス圧縮回路の可飽和リアクトルのリセット巻線にリセット電流を供給して可飽和リアクトルの鉄心を逆励磁しておくリセット回路とを備えたパルス電源装置において、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路との間、及びリセット回路の直流電源側とリセット巻線側との間に、正極性出力と負極性出力との切替を行う極性切替端子を設けたことを特徴とするパルス電源装置。
- パルス発生回路と極性切替端子との間に、パルス電流の昇圧を行うパルストランスを設けたことを特徴とする請求項1記載のパルス電源装置。
- パルス発生回路に、半導体スイッチの責務を軽減するための可飽和リアクトルを設けたことを特徴とする請求項1又は2記載のパルス電源装置。
- リセット回路の直流電源側と極性切替端子との間に、パルス発生回路の可飽和リアクトルのリセット巻線を設けたことを特徴とする請求項3記載のパルス電源装置。
- リセット回路の直流電源側と極性切替端子との間に、パルストランスのリセット巻線を設けたことを特徴とする請求項3又は4記載のパルス電源装置。
- 極性切替端子の端子コネクタを、パルス発生回路と磁気パルス圧縮回路を有する主回路側の端子コネクタとリセット回路側の端子コネクタとの大きさ又は形状を異ならせたことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のパルス電源装置。
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JP2010073947A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Gigaphoton Inc | パルスレーザ用電源装置 |
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- 2002-12-12 JP JP2002360321A patent/JP2004194441A/ja active Pending
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