JP2004186685A - 半導体装置、表示装置、発光装置、およびこれらの作製方法 - Google Patents
半導体装置、表示装置、発光装置、およびこれらの作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004186685A JP2004186685A JP2003391659A JP2003391659A JP2004186685A JP 2004186685 A JP2004186685 A JP 2004186685A JP 2003391659 A JP2003391659 A JP 2003391659A JP 2003391659 A JP2003391659 A JP 2003391659A JP 2004186685 A JP2004186685 A JP 2004186685A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- substrate
- forming
- adhesive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 119
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 76
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 317
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 222
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 133
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 75
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 75
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 67
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 65
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 65
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 61
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 41
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 32
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 16
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 5
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002195 soluble material Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 22
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 20
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 20
- 230000009975 flexible effect Effects 0.000 abstract description 16
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 46
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 35
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 23
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 18
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 14
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 8
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 7
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 3
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018575 Al—Ti Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910017911 MgIn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N azanylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#N GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005499 laser crystallization Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- AIYYMMQIMJOTBM-UHFFFAOYSA-L nickel(ii) acetate Chemical compound [Ni+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O AIYYMMQIMJOTBM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000001420 photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 1
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[O-2].[In+3] OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明では、フッ素系樹脂を含む膜で素子形成層が覆われた構造を有し、素子形成層に含まれるTFTを島状の半導体膜により形成することにより、薄膜軽量化とともに曲面を有するフレキシブルな構造を実現し、さらに外部から水分や酸素等の侵入を防ぐことができる。
【選択図】 図1
Description
102、103 フッ素系樹脂を含む膜
Claims (20)
- 複数の薄膜トランジスタを含む素子形成層を有する半導体装置であって、
前記素子形成層と接して形成されるフッ素系樹脂を含む膜に覆われていることを特徴とする半導体装置。 - 複数の薄膜トランジスタを含む素子形成層を有する半導体装置であって、
前記素子形成層の一方、または両方の面に接して熱伝導層を有し、かつ前記素子形成層がフッ素系樹脂を含む膜に覆われていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2において、
前記熱伝導層は、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、DLCからなることを特徴とする半導体装置。 - 第1の絶縁膜上に形成されたソース領域、ドレイン領域、およびチャネル形成領域を有する島状の半導体膜と、
前記半導体膜上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを含む薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタの前記ソース領域または前記ドレイン領域と電気的に接続された配線を含む素子形成層を有する半導体装置であって、
前記素子形成層を覆って形成された第2の絶縁膜を有し、
前記第1および前記第2の絶縁膜と接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記素子形成層は、その膜厚が50μm以下であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記フッ素系樹脂を含む膜は、フッ素を含むポリエチレン、フッ素を含むポリプロピレン、フッ素を含むポリビニレン等の化合物、または、これらの共重合体から選ばれた一種であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記素子形成層は、CPU、MPU、メモリー、マイコン、画像処理プロセッサを含むことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
前記半導体装置をプリペイドカード、クレジットカード、免許証、またはウエアラブルコンピュータに用いることを特徴とする半導体装置。 - 第1の絶縁膜上に形成されたソース領域、ドレイン領域、およびチャネル形成領域を有する島状の半導体膜と、
前記半導体膜上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とを含む薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタの前記ソース領域または前記ドレイン領域と電気的に接続された配線と、
画素部において前記配線と電気的に接続された素子を含む素子形成層を有する表示装置であって、
前記素子形成層を覆って形成された第2の絶縁膜を有し、
前記第1および前記第2の絶縁膜と接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項9において、
前記素子形成層は、その膜厚が50μm以下であることを特徴とする表示装置。 - 請求項9または請求項10において、
前記フッ素系樹脂を含む膜は、フッ素を含むポリエチレン、フッ素を含むポリプロピレン、フッ素を含むポリビニレン等の化合物、または、これらの共重合体から選ばれた一種であることを特徴とする表示装置。 - 請求項9乃至請求項11のいずれか一において、
前記素子形成層は、液晶表示装置、PDP、FEDを含むことを特徴とする表示装置。 - 請求項9乃至請求項12のいずれか一において、
前記表示装置をプリペイドカード、クレジットカード、免許証、またはウエアラブルコンピュータに用いることを特徴とする表示装置。 - 第1の絶縁膜上に形成された薄膜トランジスタと層間絶縁膜を介して電気的に接続された第1の電極、前記第1の電極上に形成された電界発光膜、および前記電界発光膜上に形成された第2の電極からなる発光素子を含む素子形成層を有する発光装置であって、
前記第1の絶縁膜および前記第2の電極と接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜を有することを特徴とする発光装置。 - 請求項14において、
前記発光装置をプリペイドカード、クレジットカード、免許証、またはウエアラブルコンピュータに用いることを特徴とする発光装置。 - 第1の基板上に複数の薄膜トランジスタを含む素子形成層を形成し、
前記素子形成層と接して第1の接着層を形成し、前記第1の接着層に第2の基板を接着させ、前記素子形成層を前記第1の基板および前記第2の基板で挟み、
前記第1の基板を前記素子形成層から物理的手段で分離除去し、露出面に第1のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第1のフッ素系樹脂を含む膜と接して第2の接着層を形成し、前記第2の接着層に第3の基板を接着させ、
前記第1の接着層および前記第2の基板を前記素子形成層から分離除去し、露出面に第2のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第2の接着層および前記第3の基板を前記素子形成層から分離除去することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1の基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に酸化物層を形成し、
前記酸化物層上に第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に水素を含み非晶質構造を有する半導体膜を形成し、
水素を拡散する加熱処理を行い、
前記半導体膜を一部に有する複数の薄膜トランジスタを含む素子形成層を形成し、
前記素子形成層と接して第1の接着層を形成し、前記第1の接着層に第2の基板を接着させ、前記素子形成層を前記第1の基板および前記第2の基板で挟み、
前記第1の基板および前記金属層を前記素子形成層から物理的手段で分離除去し、露出面に第1のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第1のフッ素系樹脂を含む膜と接して第2の接着層を形成し、前記第2の接着層に第3の基板を接着させ、
前記第1の接着層および前記第2の基板を前記素子形成層から分離除去し、露出面に第2のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第2の接着層および前記第3の基板を前記素子形成層から分離除去することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項16または請求項17において、
前記第1の接着層および前記第2の接着層は、光照射により接着性が弱まる材料、または水溶性の材料を用いたことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1の基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に酸化物層を形成し、
前記酸化物層上に第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に水素を含み非晶質構造を有する半導体膜を形成し、
水素を拡散する加熱処理を行い、
前記半導体膜を一部に有する複数の薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタと層間絶縁膜を介して電気的に接続された第1の電極を形成し、
前記第1の電極と接して第1の接着層を形成し、
前記第1の接着層に第2の基板を接着させ、
前記第1の基板および前記金属層を、前記金属層および前記第1の絶縁膜との界面から物理的手段で分離除去し、露出面に第1のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第1のフッ素系樹脂を含む膜と接して第2の接着層を形成し、前記第2の接着層に第3の基板を接着させ、
前記第1の接着層および前記第2の基板を前記第1の電極表面から分離除去し、露出した前記第1の電極上に前記第1の電極を含む素子を形成し、
前記素子上に第2のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第2の接着層および前記第3の基板を前記第1のフッ素系樹脂を含む膜から分離除去することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 第1の基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に酸化物層を形成し、
前記酸化物層上に第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜上に水素を含み非晶質構造を有する半導体膜を形成し、
水素を拡散する加熱処理を行い、
前記半導体膜を一部に有する複数の薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタと層間絶縁膜を介して電気的に接続された第1の電極を形成し、
前記第1の電極と接して第1の接着層を形成し、
前記第1の接着層に第2の基板を接着させ、
前記第1の基板および前記金属層を、前記金属層および前記第1の絶縁膜との界面から物理的手段で分離除去し、露出面に第1のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第1のフッ素系樹脂を含む膜と接して第2の接着層を形成し、前記第2の接着層に第3の基板を接着させ、
前記第1の接着層および前記第2の基板を前記第1の電極表面から分離除去し、露出した前記第1の電極上に電界発光膜、および前記電界発光膜上に第2の電極を形成し、
前記第2の電極上に第2のフッ素系樹脂を含む膜をスパッタリング法により形成し、
前記第2の接着層および前記第3の基板を前記第1のフッ素系樹脂を含む膜から分離除去することを特徴とする発光装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003391659A JP4472314B2 (ja) | 2002-11-22 | 2003-11-21 | 半導体装置の作製方法、表示装置の作製方法、および発光装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002339952 | 2002-11-22 | ||
JP2003391659A JP4472314B2 (ja) | 2002-11-22 | 2003-11-21 | 半導体装置の作製方法、表示装置の作製方法、および発光装置の作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004186685A true JP2004186685A (ja) | 2004-07-02 |
JP2004186685A5 JP2004186685A5 (ja) | 2007-01-11 |
JP4472314B2 JP4472314B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=32774714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003391659A Expired - Fee Related JP4472314B2 (ja) | 2002-11-22 | 2003-11-21 | 半導体装置の作製方法、表示装置の作製方法、および発光装置の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4472314B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009503878A (ja) * | 2005-08-05 | 2009-01-29 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半導体構成素子を製作するための方法及び薄膜半導体構成素子 |
JP2010526399A (ja) * | 2007-01-26 | 2010-07-29 | ヴィテックス・システムズ・インコーポレーテッド | 環境に敏感なデバイスをカプセル封止する方法 |
KR101319468B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-10-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치의 제조방법 |
KR101442523B1 (ko) | 2007-05-31 | 2014-09-22 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치, 및 그 제작 방법 |
US8872330B2 (en) | 2006-08-04 | 2014-10-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Thin-film semiconductor component and component assembly |
US9142720B2 (en) | 2007-01-29 | 2015-09-22 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Thin-film light emitting diode chip and method for producing a thin-film light emitting diode chip |
-
2003
- 2003-11-21 JP JP2003391659A patent/JP4472314B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009503878A (ja) * | 2005-08-05 | 2009-01-29 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半導体構成素子を製作するための方法及び薄膜半導体構成素子 |
KR101319468B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-10-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치의 제조방법 |
TWI416775B (zh) * | 2005-12-02 | 2013-11-21 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置的製造方法 |
US8872330B2 (en) | 2006-08-04 | 2014-10-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Thin-film semiconductor component and component assembly |
JP2010526399A (ja) * | 2007-01-26 | 2010-07-29 | ヴィテックス・システムズ・インコーポレーテッド | 環境に敏感なデバイスをカプセル封止する方法 |
US10950821B2 (en) | 2007-01-26 | 2021-03-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of encapsulating an environmentally sensitive device |
US9142720B2 (en) | 2007-01-29 | 2015-09-22 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Thin-film light emitting diode chip and method for producing a thin-film light emitting diode chip |
KR101442523B1 (ko) | 2007-05-31 | 2014-09-22 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치, 및 그 제작 방법 |
KR101442522B1 (ko) * | 2007-05-31 | 2014-09-26 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치, 및 그 제작 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4472314B2 (ja) | 2010-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101229249B1 (ko) | 반도체 디바이스, 디스플레이 디바이스, 및 발광 디바이스 제조 방법 | |
JP6430456B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US9508620B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
EP1383165B1 (en) | Method of fabricating a semiconductor device | |
JP4027740B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4527068B2 (ja) | 剥離方法、半導体装置の作製方法、及び電子書籍の作製方法 | |
JP2003163337A (ja) | 剥離方法および半導体装置の作製方法 | |
JP4567282B2 (ja) | 発光装置の作製方法 | |
JP4472314B2 (ja) | 半導体装置の作製方法、表示装置の作製方法、および発光装置の作製方法 | |
JP4267394B2 (ja) | 剥離方法、及び半導体装置の作製方法 | |
JP4602035B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4342843B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061117 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100302 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100303 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4472314 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |