JP2004186412A - デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構 - Google Patents
デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】簡略化された機構により、オペレータと搬送装置の干渉や装置内部からの光源の光漏れ等を防止する。
【解決手段】装置外部から装置内部へ搬入すべきレチクルが収納されたレチクルカセット7がセットされるカセット搬入位置3と、カセット搬入位置3と装置外部とを仕切るカセット搬入口扉4と、カセット搬入位置3から装置内部にレチクルカセット7を自動搬送するための搬送装置1と、搬入装置1と装置内部との間を仕切るためのシャッタ8とを有し、シャッタ8は搬送装置1本体によって開閉される。
【選択図】 図1
【解決手段】装置外部から装置内部へ搬入すべきレチクルが収納されたレチクルカセット7がセットされるカセット搬入位置3と、カセット搬入位置3と装置外部とを仕切るカセット搬入口扉4と、カセット搬入位置3から装置内部にレチクルカセット7を自動搬送するための搬送装置1と、搬入装置1と装置内部との間を仕切るためのシャッタ8とを有し、シャッタ8は搬送装置1本体によって開閉される。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等の微細パターンを有するデバイスの製造工程に用いられるデバイス製造装置における基板やカセットの搬入口機構に関し、特に、レチクルやウエハ等の基板、またはそれらが収納されたカセット等を自動搬送するための搬送装置を備えた露光装置や検査装置等の半導体製造装置における基板やカセットの搬入口機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程に用いられる露光装置等の半導体製造装置内における基板等の搬送には、搬送の効率化、スループットの向上、防塵等の理由で、基板や基板等が収納されたカセットを自動搬送する搬送装置が備えられている。この搬送装置を備えた半導体製造装置や露光装置としては、例えば、特許文献1〜3を参照することができる。
【0003】
露光工程に用いられる露光装置内部は、温度、湿度、清浄度の管理された空調チャンバとなっており、レチクルの搬送装置も、この空調チャンバ内に構成されており、装置外部からのレチクルの搬入は、チャンバ開口部に設けられた搬入口を経由して行われている。
【0004】
レチクルは、表面の保護や防塵等の理由で、専用のレチクルカセットに収納されており、露光工程の直前までカセットに収納された状態で搬送され、保管される。
【0005】
スループットの向上や、搬送の効率化のために、空調チャンバ内には複数枚のカセットを収納することのできるカセット収納棚が備えられており、この収納棚は装置の設置面積を最小化するために、上下方向に複数枚収納できる構造となっている。
【0006】
図6および図7を用いて、従来のカセット搬入口機構周辺の動作について説明する。図6はカセット搬入口機構周辺の概略図であり、図7はその側面図である。
【0007】
オペレータはカセット搬入口扉4を開放し、装置外部よりレチクルカセット7をカセット搬入位置3にセットする。図6中の矢印61は、カセット搬入口扉4の開閉方向を示す。
【0008】
前後方向に伸縮するハンド機構をもった搬送装置1は、エレベータ機構5によってカセット搬入位置3の高さまでハンド機構を移動し、ハンドを伸縮させて、搬入位置3にセットされたカセットを取り出す(図7中の矢印71はエレベータ機構5によるハンド機構の移動方向、矢印72はハンドの伸縮方向をそれぞれ示す)。搬送装置1は、カセットを保持しながら上下方向に複数枚収納可能なカセット収納棚2の所定の位置まで移動し、再びハンドを伸縮させてカセットを収納する。
【0009】
図6および図7で示されるカセット搬入口の構造において、オペレータがカセット搬入位置3にカセット7をセットする際に誤って奥まで手を挿入してしまった場合、カセット搬入位置3の奥で上下移動している搬送装置1に手を挟まれる可能性がある。また、露光作業中に搬入口扉4が開放されるとこの開口部から光源の光が漏れてしまうおそれがあり、近年の露光装置においては露光光源として主にレーザ光を使用しているため、安全規格への対応が困難である。
【0010】
上記の問題点を解決する手段として、カセット搬入口の開口部に引き出し式のトレイを備えた搬入口機構が考案された。図8は、トレイ方式の搬入口機構の概略図である。図8中の矢印81は、トレイ16が引き出し式である様子を示す。
【0011】
また、図9および図10を用いて、図8の搬入口機構の構造および動作を説明する。
図9は、オペレータがカセット7をトレイ16にセットするためにトレイ16を引き出した状態である。シャッタ18はベルト17によってトレイ16に接続されており、ベルト17は中間にあるプーリー19によって支持されているため、シャッタ18はトレイ16の動きに連動して上下に移動する。図9においては、引き出されたトレイ16に連動してシャッタ18は上方に移動しており、チャンバ空間6とカセット搬入口空間11とを遮断する位置にてシャッタ18が保持される。これにより、オペレータがカセット挿入時に搬送装置1に手を挟まれることも無く、また、装置内部からのレーザ光等の光源の光漏れ防止についても有効である。
【0012】
図10は、トレイ16が閉じられた状態である。シャッタ18はトレイ16の閉動作と連動して下方に移動しているため、搬送装置1がハンドを伸縮させてカセット7を出し入れする際に、シャッタ18がハンドの動作を妨げることはない。また、トレイ16の前面に取り付けられた板材20が開口部前面を塞ぎ、装置内部からの光源の光漏れを防止する役目をしている。
【0013】
【特許文献1】
特開平4−75315号公報(第1頁右欄、第2頁右下欄、第3頁右上欄、第1〜3図)
【特許文献2】
特開平4−78124号公報(第1頁右欄、第2頁右下欄、第3頁右上欄、第1〜3図)
【特許文献3】
特開平4−118913号公報(第1頁右欄、第2頁右下欄、第3頁右上欄、第3頁左下欄、第1〜3図)
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例の図8、図9および図10にて示されるトレイ方式を採用した搬入口機構について、シャッタはベルトによってトレイと機械的に連動するので、トレイを中途半端な位置まで引き出し静止させた場合、シャッタも、完全に閉じきらない位置で静止してしまう可能性があり、オペレータが手を挟まれる可能性を除去することや装置内部からの光漏れを防止することはできない。また、トレイ方式は構造が複雑になり部品点数が多くなるために、コスト的に高価になることや、トレイ方式の構造上、接触面や可動部が増えることによる耐久性や故障率の問題、また、それら接触面や可動部からのゴミの発生等の問題点が挙げられる。
【0015】
本発明は、簡単な機構を採用することで上記の問題点を改善し、且つ、オペレータと搬送装置の干渉や装置内部からの光源の光漏れ等を防止する安全対策も考慮した基板やカセットの搬入口機構を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段および作用】
上記目的を達成するために、本発明のデバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構は、前記デバイス製造装置の外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉されることを特徴とする。
【0017】
上記構成において、基板やカセットの搬入口空間と装置内部空間とを遮断する位置に、搬送装置本体によって開閉されるシャッタを構成すると良い。また、シャッタは、通常時には搬入口空間と装置内部空間とを遮断する位置にて保持されており、半導体製造装置内部に構成された搬送装置が、基板や基板等の収納されたカセットを受け渡しするために、搬入口にアクセスする時にだけ、搬送装置自体が直接シャッタを押し下げて開閉させることが好ましい。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施例に係るカセット搬入口機構周辺の概略図であり、図2は、その拡大図である。図1および図2において、1は前後方向に伸縮するハンド機構を持った搬送装置、2はカセットを上下方向に複数枚収納可能なカセット収納棚、3は装置外部からカセットを挿入する際にオペレータがカセットをセットするためのカセット搬入位置、4はカセットを搬入するための開口部前面に設けられたカセット搬入口扉、5は搬送装置1を上下方向に移動させるためのエレベータ機構、6は温度、湿度、洗浄度が管理された空調チャンバ空間、7はレチクルが収納されたレチクルカセット、8はバネによって上方より吊り下げられたシャッタ、9はシャッタ8を上方より吊り下げるためのシャッタ保持用バネ、10はシャッタ8の開閉によりオン/オフするプッシュスイッチ、11はカセット搬入口扉4とシャッタ8の状態により装置外部または空調チャンバ空間6から遮断されるカセット搬入口空間、15はカセット搬入口扉4を装置の状態に応じてロック/解除するためのロック機構である。
【0019】
シャッタ8は通常、シャッタ保持用バネ9により、空調チャンバ空間6とカセット搬入口空間11とを遮断する位置にて保持されている。そして、搬送装置1が所定の高さまで下降すると、搬送装置1本体により下方に押し下げられる構造となっている。また、図3は、搬送装置1の上下方向についての停止位置を示した図である。矢印31は搬送装置1のハンド機構の移動方向を示す。12は搬送装置1がカセット搬入位置3にセットされたカセットを装置内部に取り込むための受け渡し位置、13はカセット搬入位置3より取り込んだカセットを、上下方向に複数枚収納可能なカセット収納棚2の所定の棚に収納するための受け渡し位置、14はカセット搬入位置3、またはカセット収納棚2にあるカセットを次工程に送り込むための受け渡し位置である。カセット搬入位置3にセットされたカセットを装置内部に取り込むための受け渡し位置12は、エレベータ機構5によって上下に移動する搬送装置1の各停止位置の中で最下部に位置し、搬送装置1は搬入位置3にセットされたカセットの取り込み、もしくは装置内部から搬入位置3への送り出しの動作時のみ受け渡し位置12まで下降する。従って、それ以外の動作、例えば、カセット収納棚2と次工程への受け渡し位置14間のカセットの受け渡し動作時等は、全て受け渡し位置12よりも上部の移動範囲で行われる。
【0020】
次に、上記構成に基づき、図4および図5を用いて、搬入口機構周辺の動作について説明する。図4は、装置外部よりカセット搬入位置3にカセットをセットする状態を示す側面図である(矢印41は搬送装置1の移動方向を示し、矢印42はレチクルカセット7がカセット搬入位置3に対して搬入出されることを示す)。オペレータは、カセット搬入口前面に取り付けられたカセット搬入口扉4を開放して、装置外部よりレチクルカセット7をカセット搬入位置3にセットする。カセット搬入位置3には、カセットの有無を検知する有無センサ、および、カセットが正規の位置にセットされているかを検知する正規位置センサが備えられており(共に不図示)、正規位置センサは搬送装置1がカセットを取り込むために必要な位置精度の検知を行う。
【0021】
図4では、搬送装置1がカセット搬入位置3にアクセスしている状態ではないため、前述のとおり、図3で示される受け渡し位置12よりも上部に位置している。そのため、シャッタ8はシャッタ保持用バネ9によって上方に付勢され、空調チャンバ空間6とカセット搬入口空間11とを遮断する位置にて保持されている。これにより、カセット搬入口扉4が開放された状態において、シャッタ8が装置内部からのレーザ光等の光源の光漏れを防止する役目を果たしている。
【0022】
また、図5は、カセット搬入位置3にセットされたレチクルカセット7を装置内部に取り込むために、搬送装置1が、図3で示されるカセット搬入口への受け渡し位置12まで下降した状態を示す側面図である。搬送装置1が受け渡し位置12まで下降するのに伴って、シャッタ8は、搬送装置1の本体によって下方に押し下げられる。そのため、空調チャンバ空間6とカセット搬入口空間11との遮断状態は解除され、搬送装置1はハンドを伸縮させて、カセット搬入位置3にセットされたレチクルカセット7を取り込む動作が可能となる(矢印51はハンドの伸縮方向を示す)。また、この状態においては、カセット搬入口扉4をロック機構15によって、閉じた状態でロックすることで、搬送装置1がカセット搬入口にアクセスする際、すなわち、搬送装置1が受け渡し位置12に対して下降動作中および、カセットを装置内部に取り込むためカセット搬入口空間11内にハンドを伸ばしている状態において、装置内部からのレーザ光等の光源の光漏れや、オペレータが搬送装置1に手を挟まれたりするのを防止する役目を果たしている。
【0023】
さらに、シャッタ8の開閉によってオン/オフするプッシュスイッチ10により、シャッタ8が開いている状態を検知時、すなわち搬送装置1のカセット搬入口へのアクセス動作時において、閉じた状態でロックされているカセット搬入口扉4をオペレータが強引に開放した場合には、緊急手段として、開扉を検知するとともに、搬送装置1に供給される電源およびレーザ光等の光源をオフする構造とし、より安全性の高いシステムとなっている。
【0024】
また、搬送装置1の上下位置をモニタして、その情報に応じてシャッタ8を開閉させる構造にしても良い。
【0025】
以上説明したように、本実施例のカセット搬入口機構によれば、オペレータが基板やカセットを搬入口にて出し入れする際には、搬入口奥にあるシャッタが装置内部と搬入口とを完全に遮断しているため、装置内部からの光源の光漏れの防止や、オペレータが搬送装置に手を挟まれること等の防止について、大変有効である。
【0026】
また、従来例のトレイ方式に比べて構造が簡単であり、部品点数も少ないため低コストで、その上、可動部分も少ないため、故障率や耐久性、接触や摩擦によるゴミの発生についても改善することができる。
【0027】
なお、上述においては、基板としてのレチクルを収納したレチクルカセットの搬入口機構に本発明を適用した例を示したが、本発明は基板として半導体ウエハやアルミナまたはガラス基板等を収納したカセットを用いる場合、あるいは基板をカセットに収納せずに搬入する場合にも適用することができる。さらに、基板自体の搬入口機構として本発明を適用してもよく、搬出口兼用の搬入口にも本発明を適用可能である。
【0028】
【実施態様】
本発明の実施態様の例について、以下列挙する。
[実施態様1] デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構であって、前記デバイス製造装置の外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉される、搬入口機構。
[実施態様2] 前記搬入部と前記デバイス製造装置外部とを仕切る搬入口扉をさらに有し、前記搬送手段は前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを自動搬送する、実施態様1記載の搬入口機構。
[実施態様3] 前記デバイス製造装置は、半導体デバイスを製造する半導体製造装置である、実施態様1または2記載の搬入口機構。
[実施態様4] 前記デバイス製造装置は、マスクやレチクル等の原版のパターンを半導体ウエハ等の被露光基板に露光するための露光装置である、実施態様1〜3のいずれか1態様記載の搬入口機構。
[実施態様5] 前記搬送手段が前記シャッタを開くときは前記搬入口扉がロックされ、前記搬送手段が前記シャッタを閉じるときは前記搬入口扉がロック解除されることで、前記露光装置内部から該装置外部への露光光源の光漏れを防止する、実施態様4記載の搬入口機構。
【0029】
[実施態様6] 装置外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉される、デバイス製造装置。
【0030】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、簡易な機構により、オペレータと搬送装置の干渉や装置内部からの光漏れを防止することができる。また、機構が簡易であるため、低コスト化が図れ、耐久性や故障率の問題を改善することができる。さらに、接触面や可動部からのゴミの発生を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る搬入口機構周辺の概略図である。
【図2】図1の搬入口機構の拡大詳細図である。
【図3】図1の搬送装置の上下方向での停止位置を示す概略図である。
【図4】オペレータが搬入口扉を開放して、装置外部からレチクルカセットを搬入する状態を示す側面図である。
【図5】搬送装置がハンドを伸縮させてカセット搬入位置にアクセスする状態を示す側面図である。
【図6】従来例に係る搬入口機構周辺を示す概略図である。
【図7】図6において、搬送装置がハンドを伸縮させてカセット搬入位置にアクセスする状態を示す側面図である。
【図8】従来例に係るトレイ方式の搬入口機構周辺を示す概略図である。
【図9】図8のトレイ方式の搬入口機構において、オペレータがトレイを引き出して、装置外部からレチクルカセットを搬入する状態を示す側面図である。
【図10】図8のトレイ方式の搬入口機構において、搬送装置がハンドを伸縮させてトレイにアクセスする状態を示す側面図である。
【符号の説明】1:搬送装置、2:カセット収納棚、3:カセット搬入位置、4:カセット搬入口扉、5:エレベータ機構、6:空調チャンバ空間、7:レチクルカセット、8:シャッタ、9:シャッタ保持用バネ、10:プッシュスイッチ、11:カセット搬入口空間、12:カセット搬入口への受け渡し位置、13:カセット収納棚への受け渡し位置、14:次工程へのカセット受け渡し位置、15:扉ロック機構、16:カセット用トレイ、17:シャッタ連結用ベルト、18:トレイ方式用シャッタ、19:プーリー、20:前面板材。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等の微細パターンを有するデバイスの製造工程に用いられるデバイス製造装置における基板やカセットの搬入口機構に関し、特に、レチクルやウエハ等の基板、またはそれらが収納されたカセット等を自動搬送するための搬送装置を備えた露光装置や検査装置等の半導体製造装置における基板やカセットの搬入口機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程に用いられる露光装置等の半導体製造装置内における基板等の搬送には、搬送の効率化、スループットの向上、防塵等の理由で、基板や基板等が収納されたカセットを自動搬送する搬送装置が備えられている。この搬送装置を備えた半導体製造装置や露光装置としては、例えば、特許文献1〜3を参照することができる。
【0003】
露光工程に用いられる露光装置内部は、温度、湿度、清浄度の管理された空調チャンバとなっており、レチクルの搬送装置も、この空調チャンバ内に構成されており、装置外部からのレチクルの搬入は、チャンバ開口部に設けられた搬入口を経由して行われている。
【0004】
レチクルは、表面の保護や防塵等の理由で、専用のレチクルカセットに収納されており、露光工程の直前までカセットに収納された状態で搬送され、保管される。
【0005】
スループットの向上や、搬送の効率化のために、空調チャンバ内には複数枚のカセットを収納することのできるカセット収納棚が備えられており、この収納棚は装置の設置面積を最小化するために、上下方向に複数枚収納できる構造となっている。
【0006】
図6および図7を用いて、従来のカセット搬入口機構周辺の動作について説明する。図6はカセット搬入口機構周辺の概略図であり、図7はその側面図である。
【0007】
オペレータはカセット搬入口扉4を開放し、装置外部よりレチクルカセット7をカセット搬入位置3にセットする。図6中の矢印61は、カセット搬入口扉4の開閉方向を示す。
【0008】
前後方向に伸縮するハンド機構をもった搬送装置1は、エレベータ機構5によってカセット搬入位置3の高さまでハンド機構を移動し、ハンドを伸縮させて、搬入位置3にセットされたカセットを取り出す(図7中の矢印71はエレベータ機構5によるハンド機構の移動方向、矢印72はハンドの伸縮方向をそれぞれ示す)。搬送装置1は、カセットを保持しながら上下方向に複数枚収納可能なカセット収納棚2の所定の位置まで移動し、再びハンドを伸縮させてカセットを収納する。
【0009】
図6および図7で示されるカセット搬入口の構造において、オペレータがカセット搬入位置3にカセット7をセットする際に誤って奥まで手を挿入してしまった場合、カセット搬入位置3の奥で上下移動している搬送装置1に手を挟まれる可能性がある。また、露光作業中に搬入口扉4が開放されるとこの開口部から光源の光が漏れてしまうおそれがあり、近年の露光装置においては露光光源として主にレーザ光を使用しているため、安全規格への対応が困難である。
【0010】
上記の問題点を解決する手段として、カセット搬入口の開口部に引き出し式のトレイを備えた搬入口機構が考案された。図8は、トレイ方式の搬入口機構の概略図である。図8中の矢印81は、トレイ16が引き出し式である様子を示す。
【0011】
また、図9および図10を用いて、図8の搬入口機構の構造および動作を説明する。
図9は、オペレータがカセット7をトレイ16にセットするためにトレイ16を引き出した状態である。シャッタ18はベルト17によってトレイ16に接続されており、ベルト17は中間にあるプーリー19によって支持されているため、シャッタ18はトレイ16の動きに連動して上下に移動する。図9においては、引き出されたトレイ16に連動してシャッタ18は上方に移動しており、チャンバ空間6とカセット搬入口空間11とを遮断する位置にてシャッタ18が保持される。これにより、オペレータがカセット挿入時に搬送装置1に手を挟まれることも無く、また、装置内部からのレーザ光等の光源の光漏れ防止についても有効である。
【0012】
図10は、トレイ16が閉じられた状態である。シャッタ18はトレイ16の閉動作と連動して下方に移動しているため、搬送装置1がハンドを伸縮させてカセット7を出し入れする際に、シャッタ18がハンドの動作を妨げることはない。また、トレイ16の前面に取り付けられた板材20が開口部前面を塞ぎ、装置内部からの光源の光漏れを防止する役目をしている。
【0013】
【特許文献1】
特開平4−75315号公報(第1頁右欄、第2頁右下欄、第3頁右上欄、第1〜3図)
【特許文献2】
特開平4−78124号公報(第1頁右欄、第2頁右下欄、第3頁右上欄、第1〜3図)
【特許文献3】
特開平4−118913号公報(第1頁右欄、第2頁右下欄、第3頁右上欄、第3頁左下欄、第1〜3図)
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例の図8、図9および図10にて示されるトレイ方式を採用した搬入口機構について、シャッタはベルトによってトレイと機械的に連動するので、トレイを中途半端な位置まで引き出し静止させた場合、シャッタも、完全に閉じきらない位置で静止してしまう可能性があり、オペレータが手を挟まれる可能性を除去することや装置内部からの光漏れを防止することはできない。また、トレイ方式は構造が複雑になり部品点数が多くなるために、コスト的に高価になることや、トレイ方式の構造上、接触面や可動部が増えることによる耐久性や故障率の問題、また、それら接触面や可動部からのゴミの発生等の問題点が挙げられる。
【0015】
本発明は、簡単な機構を採用することで上記の問題点を改善し、且つ、オペレータと搬送装置の干渉や装置内部からの光源の光漏れ等を防止する安全対策も考慮した基板やカセットの搬入口機構を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段および作用】
上記目的を達成するために、本発明のデバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構は、前記デバイス製造装置の外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉されることを特徴とする。
【0017】
上記構成において、基板やカセットの搬入口空間と装置内部空間とを遮断する位置に、搬送装置本体によって開閉されるシャッタを構成すると良い。また、シャッタは、通常時には搬入口空間と装置内部空間とを遮断する位置にて保持されており、半導体製造装置内部に構成された搬送装置が、基板や基板等の収納されたカセットを受け渡しするために、搬入口にアクセスする時にだけ、搬送装置自体が直接シャッタを押し下げて開閉させることが好ましい。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施例に係るカセット搬入口機構周辺の概略図であり、図2は、その拡大図である。図1および図2において、1は前後方向に伸縮するハンド機構を持った搬送装置、2はカセットを上下方向に複数枚収納可能なカセット収納棚、3は装置外部からカセットを挿入する際にオペレータがカセットをセットするためのカセット搬入位置、4はカセットを搬入するための開口部前面に設けられたカセット搬入口扉、5は搬送装置1を上下方向に移動させるためのエレベータ機構、6は温度、湿度、洗浄度が管理された空調チャンバ空間、7はレチクルが収納されたレチクルカセット、8はバネによって上方より吊り下げられたシャッタ、9はシャッタ8を上方より吊り下げるためのシャッタ保持用バネ、10はシャッタ8の開閉によりオン/オフするプッシュスイッチ、11はカセット搬入口扉4とシャッタ8の状態により装置外部または空調チャンバ空間6から遮断されるカセット搬入口空間、15はカセット搬入口扉4を装置の状態に応じてロック/解除するためのロック機構である。
【0019】
シャッタ8は通常、シャッタ保持用バネ9により、空調チャンバ空間6とカセット搬入口空間11とを遮断する位置にて保持されている。そして、搬送装置1が所定の高さまで下降すると、搬送装置1本体により下方に押し下げられる構造となっている。また、図3は、搬送装置1の上下方向についての停止位置を示した図である。矢印31は搬送装置1のハンド機構の移動方向を示す。12は搬送装置1がカセット搬入位置3にセットされたカセットを装置内部に取り込むための受け渡し位置、13はカセット搬入位置3より取り込んだカセットを、上下方向に複数枚収納可能なカセット収納棚2の所定の棚に収納するための受け渡し位置、14はカセット搬入位置3、またはカセット収納棚2にあるカセットを次工程に送り込むための受け渡し位置である。カセット搬入位置3にセットされたカセットを装置内部に取り込むための受け渡し位置12は、エレベータ機構5によって上下に移動する搬送装置1の各停止位置の中で最下部に位置し、搬送装置1は搬入位置3にセットされたカセットの取り込み、もしくは装置内部から搬入位置3への送り出しの動作時のみ受け渡し位置12まで下降する。従って、それ以外の動作、例えば、カセット収納棚2と次工程への受け渡し位置14間のカセットの受け渡し動作時等は、全て受け渡し位置12よりも上部の移動範囲で行われる。
【0020】
次に、上記構成に基づき、図4および図5を用いて、搬入口機構周辺の動作について説明する。図4は、装置外部よりカセット搬入位置3にカセットをセットする状態を示す側面図である(矢印41は搬送装置1の移動方向を示し、矢印42はレチクルカセット7がカセット搬入位置3に対して搬入出されることを示す)。オペレータは、カセット搬入口前面に取り付けられたカセット搬入口扉4を開放して、装置外部よりレチクルカセット7をカセット搬入位置3にセットする。カセット搬入位置3には、カセットの有無を検知する有無センサ、および、カセットが正規の位置にセットされているかを検知する正規位置センサが備えられており(共に不図示)、正規位置センサは搬送装置1がカセットを取り込むために必要な位置精度の検知を行う。
【0021】
図4では、搬送装置1がカセット搬入位置3にアクセスしている状態ではないため、前述のとおり、図3で示される受け渡し位置12よりも上部に位置している。そのため、シャッタ8はシャッタ保持用バネ9によって上方に付勢され、空調チャンバ空間6とカセット搬入口空間11とを遮断する位置にて保持されている。これにより、カセット搬入口扉4が開放された状態において、シャッタ8が装置内部からのレーザ光等の光源の光漏れを防止する役目を果たしている。
【0022】
また、図5は、カセット搬入位置3にセットされたレチクルカセット7を装置内部に取り込むために、搬送装置1が、図3で示されるカセット搬入口への受け渡し位置12まで下降した状態を示す側面図である。搬送装置1が受け渡し位置12まで下降するのに伴って、シャッタ8は、搬送装置1の本体によって下方に押し下げられる。そのため、空調チャンバ空間6とカセット搬入口空間11との遮断状態は解除され、搬送装置1はハンドを伸縮させて、カセット搬入位置3にセットされたレチクルカセット7を取り込む動作が可能となる(矢印51はハンドの伸縮方向を示す)。また、この状態においては、カセット搬入口扉4をロック機構15によって、閉じた状態でロックすることで、搬送装置1がカセット搬入口にアクセスする際、すなわち、搬送装置1が受け渡し位置12に対して下降動作中および、カセットを装置内部に取り込むためカセット搬入口空間11内にハンドを伸ばしている状態において、装置内部からのレーザ光等の光源の光漏れや、オペレータが搬送装置1に手を挟まれたりするのを防止する役目を果たしている。
【0023】
さらに、シャッタ8の開閉によってオン/オフするプッシュスイッチ10により、シャッタ8が開いている状態を検知時、すなわち搬送装置1のカセット搬入口へのアクセス動作時において、閉じた状態でロックされているカセット搬入口扉4をオペレータが強引に開放した場合には、緊急手段として、開扉を検知するとともに、搬送装置1に供給される電源およびレーザ光等の光源をオフする構造とし、より安全性の高いシステムとなっている。
【0024】
また、搬送装置1の上下位置をモニタして、その情報に応じてシャッタ8を開閉させる構造にしても良い。
【0025】
以上説明したように、本実施例のカセット搬入口機構によれば、オペレータが基板やカセットを搬入口にて出し入れする際には、搬入口奥にあるシャッタが装置内部と搬入口とを完全に遮断しているため、装置内部からの光源の光漏れの防止や、オペレータが搬送装置に手を挟まれること等の防止について、大変有効である。
【0026】
また、従来例のトレイ方式に比べて構造が簡単であり、部品点数も少ないため低コストで、その上、可動部分も少ないため、故障率や耐久性、接触や摩擦によるゴミの発生についても改善することができる。
【0027】
なお、上述においては、基板としてのレチクルを収納したレチクルカセットの搬入口機構に本発明を適用した例を示したが、本発明は基板として半導体ウエハやアルミナまたはガラス基板等を収納したカセットを用いる場合、あるいは基板をカセットに収納せずに搬入する場合にも適用することができる。さらに、基板自体の搬入口機構として本発明を適用してもよく、搬出口兼用の搬入口にも本発明を適用可能である。
【0028】
【実施態様】
本発明の実施態様の例について、以下列挙する。
[実施態様1] デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構であって、前記デバイス製造装置の外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉される、搬入口機構。
[実施態様2] 前記搬入部と前記デバイス製造装置外部とを仕切る搬入口扉をさらに有し、前記搬送手段は前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを自動搬送する、実施態様1記載の搬入口機構。
[実施態様3] 前記デバイス製造装置は、半導体デバイスを製造する半導体製造装置である、実施態様1または2記載の搬入口機構。
[実施態様4] 前記デバイス製造装置は、マスクやレチクル等の原版のパターンを半導体ウエハ等の被露光基板に露光するための露光装置である、実施態様1〜3のいずれか1態様記載の搬入口機構。
[実施態様5] 前記搬送手段が前記シャッタを開くときは前記搬入口扉がロックされ、前記搬送手段が前記シャッタを閉じるときは前記搬入口扉がロック解除されることで、前記露光装置内部から該装置外部への露光光源の光漏れを防止する、実施態様4記載の搬入口機構。
【0029】
[実施態様6] 装置外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉される、デバイス製造装置。
【0030】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、簡易な機構により、オペレータと搬送装置の干渉や装置内部からの光漏れを防止することができる。また、機構が簡易であるため、低コスト化が図れ、耐久性や故障率の問題を改善することができる。さらに、接触面や可動部からのゴミの発生を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る搬入口機構周辺の概略図である。
【図2】図1の搬入口機構の拡大詳細図である。
【図3】図1の搬送装置の上下方向での停止位置を示す概略図である。
【図4】オペレータが搬入口扉を開放して、装置外部からレチクルカセットを搬入する状態を示す側面図である。
【図5】搬送装置がハンドを伸縮させてカセット搬入位置にアクセスする状態を示す側面図である。
【図6】従来例に係る搬入口機構周辺を示す概略図である。
【図7】図6において、搬送装置がハンドを伸縮させてカセット搬入位置にアクセスする状態を示す側面図である。
【図8】従来例に係るトレイ方式の搬入口機構周辺を示す概略図である。
【図9】図8のトレイ方式の搬入口機構において、オペレータがトレイを引き出して、装置外部からレチクルカセットを搬入する状態を示す側面図である。
【図10】図8のトレイ方式の搬入口機構において、搬送装置がハンドを伸縮させてトレイにアクセスする状態を示す側面図である。
【符号の説明】1:搬送装置、2:カセット収納棚、3:カセット搬入位置、4:カセット搬入口扉、5:エレベータ機構、6:空調チャンバ空間、7:レチクルカセット、8:シャッタ、9:シャッタ保持用バネ、10:プッシュスイッチ、11:カセット搬入口空間、12:カセット搬入口への受け渡し位置、13:カセット収納棚への受け渡し位置、14:次工程へのカセット受け渡し位置、15:扉ロック機構、16:カセット用トレイ、17:シャッタ連結用ベルト、18:トレイ方式用シャッタ、19:プーリー、20:前面板材。
Claims (1)
- デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構であって、
前記デバイス製造装置の外部から装置内部へ搬入すべき基板またはカセットが所定の位置にセットされる搬入部と、前記搬入部から装置内部に前記基板またはカセットを搬送するための搬送手段と、前記搬入部と装置内部との間を仕切るためのシャッタとを有し、前記シャッタが前記搬送手段本体によって開閉されることを特徴とする搬入口機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002351359A JP2004186412A (ja) | 2002-12-03 | 2002-12-03 | デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002351359A JP2004186412A (ja) | 2002-12-03 | 2002-12-03 | デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004186412A true JP2004186412A (ja) | 2004-07-02 |
Family
ID=32753296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002351359A Pending JP2004186412A (ja) | 2002-12-03 | 2002-12-03 | デバイス製造装置における基板またはカセットの搬入口機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004186412A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021082739A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社ディスコ | カセット収容機構及び加工装置 |
-
2002
- 2002-12-03 JP JP2002351359A patent/JP2004186412A/ja active Pending
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