JP2004181574A - Transfer device for board - Google Patents

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JP2004181574A
JP2004181574A JP2002351723A JP2002351723A JP2004181574A JP 2004181574 A JP2004181574 A JP 2004181574A JP 2002351723 A JP2002351723 A JP 2002351723A JP 2002351723 A JP2002351723 A JP 2002351723A JP 2004181574 A JP2004181574 A JP 2004181574A
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Takashi Minami
孝 皆見
Tadashi Ishikawa
忠 石川
Shigetoshi Kitamura
重敏 北村
Nobuhiko Kumagai
伸彦 熊谷
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MINAMI DENSHI KOGYO KK
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MINAMI DENSHI KOGYO KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer device for a board which can improve workability after transfer and is easy to change a stage depending on the number of boards to be transferred. <P>SOLUTION: The transfer device for the board includes: a suction unit 71 having a plurality of suction means 70 for individually sucking and holding a plurality of boards 3 arranged side by side on a receiving station S3; a transfer means 72 for carrying the suction unit 71 between the receiving station S3 and an adjacent carry-out station S4; a lift means 73 for raising/lowering the suction unit 71 between a raised position and a lowered position; and an interval switchover means for switching over, in the direction of the arrangement of the boards 3, the interval between the plurality of suction means 70 provided on the suction unit 70 so that the plurality of boards 3 sucked and held by the suction means 70 are transferred at constant intervals from one another. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、並列状に配置される複数枚の基板を各基板毎に積層状に移載するのに好適な基板の移載装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子機器等で用いられるプリント配線基板は、プリント配線等を施していない無垢の大判の素材基板を要求サイズに切断して製作されている。具体的には、プリント不良等が発生し易い素材基板の外縁部の耳部を除去するとともに要求サイズに切断し、その後プリント配線や部品実装用の孔を形成して製作されている。
【0003】
本出願人は、このような素材基板の左右の耳部を切除するとともに複数の基板に切断する基板の切断処理システムを提案している(例えば、特許文献1参照。)。この基板の切断処理システムには、スリッターにより素材基板の左右の耳部を切除するとともに2枚の基板に切断する切断装置と、切断装置から受取ステーションへ送り出された2枚の基板を吸着手段でそのまま保持して、隣接する搬出ステーションのパレット上に移載する移載装置が記載されている。また、この移載装置では、基板を積層状に移載する際に、基板の移載位置を一定枚数毎に左右方向に一定距離ずらして移載することで、搬出ステーションに移載された基板の積層枚数を目視にて容易に概算することが可能となり、搬出ステーションからの基板の搬出タイミングを的確に察知することができるように構成されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−307390号公報(第4,6,7頁、第1,7図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記特許文献1に記載の基板の切断処理システムでは、耳部が除去されて2枚に切断された基板がそのままエアフロートによりフローティング支持された状態で受取ステーションへ送り出される関係上、2枚の基板はほとんど隙間なく受取ステーションに配置され、これをそのまま吸着手段で保持して隣接するパレット上に、基板の移載位置を一定枚数毎に左右方向に一定距離ずらして移載すると、特許文献1の図7に示すように、左右に積層された基板の端部が噛み合った状態となり、左右の基板を分離する作業が後工程として必要になり、その作業が煩雑であった。
【0006】
また、受取ステーションにおける基板の左右方向に対する位置ズレや移載装置における左右方向への移送誤差により、搬出ステーションに移載される基板の左右方向位置が微妙にずれることによっても、左右に積層される基板の端部が噛み合った状態となり、左右の基板を分離する作業が後工程として必要にな、その作業が煩雑であった。
【0007】
更に、吸着保持した2枚の基板の1つのパレットの左部及び右部上に移載していたので、後工程における基板のハンドリング性等を考慮して、別々のパレット上に載せ替える必要があり、その作業が煩雑であった。
【0008】
本発明の目的は、移載後における作業性を向上でき、しかも移載する基板の枚数に応じた段取り替えが容易な基板の移載装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る基板の移載装置は、第1ステーションに並列配置される複数枚の基板をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段を有する吸着ユニットと、前記吸着ユニットを第1ステーションとそれに隣接する第2ステーションとにわたって移送する移送手段と、前記吸着ユニットを上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段と、前記吸着手段により吸着保持した複数枚の基板が相互に一定間隔をあけて移載されるように吸着ユニットに設けた、複数組の吸着手段の間隔を基板の並列方向に切り換える間隔切換手段とを備えたものである。
【0010】
この移載装置においては、第1ステーションにおいて、昇降手段により吸着ユニットを下降位置へ下降させて、第1ステーションに並列配置される複数枚の基板を複数組の吸着手段でそれぞれ吸着保持してから、昇降手段により吸着ユニットとともに基板を上昇させて、移送手段により第2ステーションの上方位置へ移送し、その後昇降手段により吸着ユニットとともに基板を下降させて、第2ステーションに基板を移載する。こうして基板を移載した後、昇降手段により吸着ユニットを上昇させ、移送手段により吸着ユニットを第1ステーション上へ移送し、昇降手段により吸着ユニットを下降させて、次の基板を吸着保持するという作業を繰り返し行って、第1ステーションに並列配置された基板を第2ステーションに順次移載することになる。
【0011】
また、第1ステーションにおいて基板を吸着保持してから第2ステーションにおいて基板を移載するまでの間において、吸着保持している複数枚の基板が相互に一定間隔をあけて移載されるように、複数組の吸着手段の間隔を各組毎に基板の並列方向に切り換え、この状態で吸着保持している基板を第2ステーションに移載することになる。また、第2ステーションに基板を移載してから、次の基板を吸着保持するまでの間において、間隔切換手段により吸着手段を元の間隔に切り換え、次の基板を吸着保持するという作業を繰り返すことにより、第2ステーションに対して相互に一定間隔をあけた状態で複数枚の基板を順次移載することになる。
【0012】
このように、相互に一定間隔をあけた状態に基板を移載するので、第2ステーションに対して積層状に基板を載置しても、隣接する基板の端部が噛み合うことを確実に防止して、移載した基板をそのまま次工程へ搬送することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【0013】
ここで、前記間隔切換手段が、吸着ユニットで一度に吸着保持する基板の枚数に応じて吸着手段の連動パターンを変更するパターン変更手段を備えてもよい。このようなパターン変更手段を備えると、混流生産などにより一度に移載する基板の枚数が切り換えられても、それに応じて容易に段取り替えができるので好ましい。
【0014】
このようなパターン変更手段を備えた間隔切換手段としては、基板の並列方向に配置した1本の固定ラックと、固定ラックと略平行に配置した複数本の可動ラックと、複数本の可動ラックを基板の並列方向に個別に移動させる複数のアクチュエータと、1本の固定ラックと複数本の可動ラックに択一的に噛合する噛合部材と、噛合部材をそれに噛合するラックを切換可能に吸着手段に連結する連結手段とを備えたものが好適である。この場合には、噛合部材が吸着手段の連動パターンに応じたラックに噛合するように、連結手段により噛合部材と吸着手段とを連結することで、移載する基板の枚数に応じて吸着手段の間隔を容易に且つ適正に切り換えることが可能となる。
【0015】
前記吸着ユニットにより一度に移載する基板の枚数に応じた複数のパレットを第2ステーションに設け、各パレットに対して基板を積層状に移載してもよい。このよう構成することで、移載した基板をそのままパレットとともに次工程へ搬出することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【0016】
前記第2ステーションに基板を移載するに際して、基板を下側へ押し付けて吸着手段から基板を切り離す基板切離手段を吸着ユニットに設けてもよい。この場合には、吸着保持した基板を確実に第2ステーションに移載することが可能となる。
【0017】
前記移送手段により第1ステーションから第2ステーションへ基板を移送する際に、基板の移載位置が一定枚数毎に前後方向或いは左右方向に、基板相互の間隔よりも小さな一定距離だけずれるように移送してもよい。この場合には、第2ステーションに移載される基板を前後方向或いは左右方向に一定距離だけずらして移載されるので、第2ステーションに対して基板を積層状に移載したときに、基板の積層枚数を目視にて容易に概算することが可能となり、第2ステーションからの基板の搬出タイミングを的確に察知することが可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。尚、本実施の形態は、本発明に係る移載装置を基板の切断処理システムに適用した場合のものである。
【0019】
図1に示すように、切断処理システム10は、搬入ステーションS1から位置決めステーションS2へ1枚ずつ素材基板1を吸着保持して移送する第1移載装置11と、位置決めステーションS2から受取ステーションS3への素材基板1の水平移送時に、素材基板1の左右の耳部2を除去するとともに素材基板1を2つに切断して2枚の基板3を製作する切断装置12と、受取ステーション(第1ステーション)S3から搬出ステーション(第2ステーション)S4へ2枚の基板3を同時に移送する第2移載装置13とを備えている。尚、本実施例では、素材基板1から2枚の基板3を製作するように構成したが、1枚或いは3枚以上の基板を製作することも可能である。また、この第2移載装置13が本発明の基板の移載装置に相当する。
【0020】
切断処理システム10に搬入される素材基板1は、前後の耳部を予め除去したもので、切断処理システム10では素材基板1から左右両側の耳部2(図4参照)を切除するとともに、その途中部を切断することで2枚の基板3を得るように構成されている。このように素材基板1の外縁部を耳部として切除することにより、基板3の外縁部における回路パターンの形成不良を防止できることになる。
【0021】
搬入ステーションS1には第1載置台15が設けられ、第1載置台15の上面部には複数の移送用ボール16が回転自在に組み付けられ、素材基板1は平板状のパレット17に複数枚積層状にセットした状態で搬入ステーションS1に搬入され、パレット17とともに移送用ボール16上に移動自在に載置される。第1載置台15はその上面に2枚のパレット17を前後に載置可能に構成され、前側のパレット17には今回処理する素材基板1が積層状にセットされ、後側のパレット17には次回処理する素材基板1が積層状にセットされている。
【0022】
第1移載装置11は、素材基板1を吸着保持可能な複数の吸着手段20を備えた吸着ユニット21と、吸着ユニット21を搬入ステーションS1と位置決めステーションS2とにわたって左右方向に移動自在に支持する鉛直フレーム22及び水平フレーム23と、吸着ユニット21を水平フレーム23に沿って左右方向に駆動する図示外の水平駆動手段と、吸着ユニット21を上下方向に駆動する昇降手段24とを備えたものである。尚、水平駆動手段は、図示外のサーボモータとスクリュー軸を介して吸着ユニット21を左右方向に駆動する一般的な構成のものである。また、昇降手段24はエアシリンダなどのアクチュエータを介して吸着ユニット21を昇降駆動する一般的な構成のものである。
【0023】
そして、この第1移載装置11では、搬入ステーションS1において吸着ユニット21を下降させて、パレット17に積層状に載置した素材基板1のうちの最上層の素材基板1を吸着手段20の吸着パッドで吸着保持し、この状態で吸着ユニット21とともに吸着保持した素材基板1を上昇させてから位置決めステーションS2へ移送し、位置決めステーションS2において吸着ユニット21を下降させて位置決めステーションS2の第2載置台25上に素材基板1を移載する。尚、位置決めステーションS2に対する素材基板1の移載時の高さは一定であるが、搬入ステーションS1における素材基板1の吸着保持位置は、素材基板1の積層枚数によって異なることから、素材基板1を移載する毎に搬入ステーションS1における吸着ユニット21の下限位置が素材基板1の厚さ分ずつ低くなるように昇降手段24を制御することになる。
【0024】
搬入ステーションS1に積層状に載置した素材基板1を円滑に1枚ずつ吸着保持できるようにするため、第1載置台15の上面前部にはパレット17上に積層状にセットした素材基板1のうちの最上層を含む素材基板1の前面に、前方より空気を吹き付ける左右1対の空気吹付手段30が設けられている。
【0025】
空気吹付手段30について説明すると、図1及び図2に示すように、第1載置台15上には取付部材31を介して前後1対の支持ロッド32が立設され、支持ロッド32の途中部には支持ブロック33が上下方向に移動可能に設けられている。支持ブロック33は、支持ロッド32との摩擦抵抗により、自然落下しないが、比較的弱い力で上下方向に操作可能に支持ロッド32に取り付けられている。支持ブロック33の下側にはノズル支持部材34が設けられ、ノズル支持部材34には先端部にノズル35を備えた変形可能な1対のパイプ部材36が取り付けられ、各パイプ部材36のノズル35はパレット17に積層された素材基板1の最上層の前面側へ向くように位置調整されている。尚、符号18は、フローティング支持された素材基板1の側方への移動を規制するために、第1載置台15の上面に着脱自在に立設固定した移動規制ロッドである。
【0026】
ノズル支持部材34の下側には積層した素材基板1付近まで延びるアーム部材37が設けられ、吸着ユニット21の吸着手段20の支持フレーム38には前方へ延びる左右1対の操作アーム39が設けられ、操作アーム39の先端部には左右方向へ延びる操作ロッド39aが設けられ、操作ロッド39aの左右両端部には下方へ延びてアーム部材37を下方へ押圧操作可能な操作部材39bが設けられ、搬入ステーションS1において吸着ユニット21が下降する毎に、操作部材39bがアーム部材37の上面に当接して、アーム部材37を介してノズル支持部材34及び支持ブロック33を素材基板1の厚さ分ずつ下方へ操作する。つまり、前述したように吸着ユニット21は、搬入ステーションS1において最上層の素材基板1を確実に吸着手段20にて吸着保持できるように、素材基板1の厚さ分ずつその下限位置が下側に調整されるので、これを利用してノズル支持部材34及び支持ブロック33を素材基板1の厚さ分ずつ下方へ移動させて、ノズル35の高さ位置を常時適正な位置に調整できるように構成されている。
【0027】
図1に示すように、位置決めステーションS2に設けられる第2載置台25の上部には、第1移載装置11にて移載された素材基板1を前方へ移送するためのローラコンベアからなる前後移送用コンベア40が設けられるとともに、中央部の前後移送用コンベア40の隣接するローラ41間には素材基板1を左右方向に移動自在に支持するための位置調整用コンベア42が図示外の昇降手段を介して昇降自在に設けられている。第2載置台25の右端部には素材基板1の右側縁の位置を規制する固定規制板43が設けられ、第2載置台25の左端部には素材基板1の左側縁の位置を規制する可動規制板44がシリンダ45により左右方向に平行移動可能に設けられている。そして、素材基板1を位置決めステーションS2へ移載する際には、位置調整用コンベア42を上昇させてこの位置調整用コンベア42上に素材基板1を移載し、この状態で、可動規制板44を右側へ移動させて、固定規制板43と可動規制板44間に素材基板1を挟持し、素材基板1の左右方向の位置を調整した後、位置調整用コンベア42を下降させて、前後移送用コンベア40上に素材基板1を移載して、この前後移送用コンベア40により切断装置12へ素材基板1を移送する。尚、位置決めステーションS2における素材基板1の位置調整は、任意の構成の位置決め装置を用いて行うことが可能である。
【0028】
切断装置12は、図1、図3、図4に示すように、素材基板1の基板3と耳部2との境界に沿って剪断力を作用させて切れ目4を入れる左右1対の耳取用スリッター50と、左右の基板3の境界に剪断力を作用させて左右の基板3を切断する切断用スリッター51と、耳取用スリッター50にて切れ目4を入れた素材基板1の耳部2の先端部を上下1対の切離ローラ(図示略)間に挟んで、該耳部2を上下の切離ローラとともに基板3よりも下側へ移動させるとともに、基板3の移送速度と同期させて移送方向の前方斜め下側へ送り出し、基板3から耳部2を切り離す左右1対の切離手段54と、切離手段54内において左右の基板3を略水平に受取ステーションS3側へ移送する水平移送手段55とを備えている。但し、切断用スリッター51は複数設けてもよい。
【0029】
左右の耳取用スリッター50及び切断用スリッター51は基本的に同様に構成され、図3、図4に示すように、クリアランスHを調整可能に接近配置した上下1対の回転刃56,57を夫々備えている。上側3枚の回転刃56及び下側3枚の回転刃57は上下1対の軸50aにそれぞれ左右方向に位置調整可能で且つ相対回転不能に支持され、上下の軸50aはその軸端において歯車50bを介して連結され、上下の回転刃56,57は軸50a及び歯車50bを介して電動モータ(図示略)により相互に逆方向に同期回転する。
【0030】
回転刃56,57は、略円板状のカッターホルダ58と、カッターホルダ58に固定した略環状のカッター59とを有しており、上下のカッター59の周面間には素材基板1の厚さよりも小さい所定のクリアランスHが形成され、上下のカッター59の対向する端面の外周部には環状の逃げ溝59aが形成されている。
【0031】
左右の耳取用スリッター50における上下のカッター59のクリアランスHは、素材基板1の適正な厚さの50〜80%、好ましくは55〜65%に設定され、上下のカッター59により基板3と耳部2との境界に沿って剪断力を作用させた状態で、境界には切れ目4は形成されるが、耳部2自体は銅箔や素材基板1を構成する樹脂材料や繊維材を介して基板3に若干繋がった状態となって、下流側の切離手段54へ移送されるように構成されている。尚、クリアランスHが、素材基板1の適正な厚さの50%以下になると、耳部2が完全に切断され、80%以上になると、切れ目4が十分に付かず、基板3から耳部2を容易に切離せなくなるので、50〜80%に設定されている。
【0032】
一方、切断用スリッター51における上下のカッター59のクリアランスHは、素材基板1の適正な厚さの50%以下に設定され、上下のカッター59により左右の基板3の境界に沿って剪断力を作用させて、左右の基板3に完全に切断することになる。
【0033】
水平移送手段55は、図1に示すように、左右の耳取用スリッター50にて切れ目4を入れた素材基板1の耳部2を上下の切離手段54へ供給するための上下1対の移送用ローラ60を備えた後部移送手段61と、耳部2を除去して切断された2枚の基板3を受取ステーションS3へ送り込む上下1対の移送用ローラ62を備えた前部移送手段63と、前後の移送用ローラ60,62間において基板3を下側から支持するローラコンベア64とを備えている。前後の移送用ローラ60,62は同期して回転駆動され、半分に切断された基板は後部移送手段61により前方へ移送されながら、その左右両側部の耳部2が水平移送手段55の左右両側に配置した切離手段54により順次除去され、耳部2を除去した左右1対の基板3の状態で、前部移送手段63により受取ステーションS3に設置した第3載置台65上へ送り出される。尚、切離手段54は、本発明とは直接的に関係しないので、その詳細な説明は省略する。
【0034】
図1に示すように、受取ステーションS3には第3載置台65が設けられ、第3載置台65の上面は略平坦面に構成され、上面後部には空気吹出孔66が一定間隔おきに複数形成され、上面の左右両側部及び前端部には基板3の脱落を規制する規制バー67が設けられている。切断装置12にて耳取された左右1対の基板3は、空気吹出孔66から吹き出される空気によりフローティング支持された状態で、上下1対の移送用ローラ62により受取ステーションS3に送り出され、第3載置台65上へ移送され、前部及び左右の規制バー67により位置規制されて第3載置台65上に左右に並列状にフローティング支持される。このように、基板3をフローティング支持するので、基板3の下面に対して傷が付いたりするという不具合を防止できるとともに、移送のための手段を格段に簡略に構成できる。
【0035】
第2移載装置13は、図1、図5〜図7に示すように、受取ステーション(第1ステーション)S3に並列配置される複数枚の基板3をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段70を有する吸着ユニット71と、吸着ユニット71を受取ステーションS3とそれに隣接する搬出ステーション(第2ステーション)S4とにわたって移送する移送手段72と、吸着ユニット71を上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段73とを備えている。
【0036】、
移送手段72について説明すると、図1に示すように、受取ステーションS3の左後部と受取ステーションS3と搬出ステーションS4間の後部には鉛直フレーム74が立設され、鉛直フレーム74の上部には両ステーションS3,S4にわたって左右方向に延びる水平フレーム75が固定され、水平フレーム75の前側には昇降手段73とともに吸着ユニット71を支持する支持ベース76が設けられ、吸着ユニット71はこの支持ベース76とともに図示外の駆動手段により両ステーションS3,S4にわたって左右方向に移送される。
【0037】
昇降手段73について説明すると、図1、図6に示すように、支持ベース76に前側には上下方向に移動自在に左右1対のガイドロッド77が設けられ、左右のガイドロッド77間には左右1対のエアシリンダなどからなるアクチュエータ78がその出力ロッド79を下方へ向けて設けられ、ガイドロッド77の下端部及びアクチュエータ78の出力ロッド79の下端部は吸着ユニット71の左右方向の途中部に固定され、吸着ユニット71はアクチュエータ78を介して上昇位置と下降位置とにわたって昇降される。
【0038】
吸着ユニット71は、図5〜図9に示すように、5枚の上面板80及び左右の側面板81により前後に間隔をあけて一体的に連結固定した左右方向に延びる1対の支持フレーム82と、支持フレーム82に対して左右方向に移動自在に支持された6つの可動ベース83と、各可動ベース83の前後両端部に縦向きに固定された1対の吸着手段70と、隣接する可動ベース83の間隔を切り換えることで、吸着手段70により吸着保持した複数の基板3が相互に一定間隔Lをあけて搬出ステーションS4のパレット84上に移載されるように、複数組の吸着手段70の間隔を基板3の並列方向に切り換える間隔切換手段85と、搬出ステーションS4のパレット84上に基板3を移載するに際して、基板3を下側へ押し付けて吸着手段70から基板3を切り離す基板切離手段86とを備えている。
【0039】
吸着手段70は、基板3に吸着する吸着パッド87を備えた周知の構成のもので、基板3に吸着パッド87を圧接させた状態で図示外の減圧手段により吸着パッド87内を減圧することにより、基板3を吸着保持できるように構成されている。この吸着手段70では、搬出ステーションS4における基板3の移載時に、吸着パッド87内へ外気を導入するなどして、吸着保持している基板3が円滑に移載されるように制御することになるが、このように制御した場合においても、基板3の切り離し不良が発生することがあるので、次のような構成の基板切離手段86を設けることが好ましい。
【0040】
基板切離手段86について説明すると、図6、図7に示すように、左右の側面板81にはエアシリンダーなどからなる昇降用のアクチュエータ88がそれぞれ設けられ、アクチュエータ88の上下方向の出力ロッド89の下端部には前後方向に細長い支持板90が固定されている。支持板90の下側には前後方向に細長い中間板91が配置され、支持板90の前後両側部には1対のガイドロッド92が上下移動自在に装着され、ガイドロッド92の上端部にはガイドロッド92の下方への脱落を規制するストッパー部材94が取り付けられ、中間板91はガイドロッド92の下端部に連結されて、ガイドロッド92とともに支持板90に対して上下移動自在に支持されている。両ガイドロッド92には圧縮コイルバネからなる付勢手段93が外装され、中間板91は付勢手段93の付勢力により、ストッパー部材94が支持板90に当接した図6に仮想線で図示の下限位置に保持されている。左右の中間板91間には枠状フレーム95が架設状に設けられ、枠状フレーム95の下面には板状部材とクッション材からなる押さえ部材96が一定間隔おきに設けられている。
【0041】
この基板切離手段86では、受取ステーションS3から搬出ステーションS4へ基板3を移送するときには、図6、図7に実線で示すように、アクチュエータ88により支持板90を上昇させて、押さえ部材96の下端部を吸着手段70の下端よりもやや高い位置に位置させることになるが、搬出ステーションS4において昇降手段73により吸着ユニット71を下降させて、吸着保持した基板3がパレット84或いはパレット84に積層状に載置した基板3に最接近又はその近傍に下降した状態で、図6に仮想線で示すように、アクチュエータ88により支持板90を下降させて、吸着保持している基板3を押さえ部材96で押圧してパレット84上或いはパレット84に積層状に載置した基板3上に強制的に移載することになる。尚、付勢手段93は、基板3に対して押さえ部材96を圧接させるときの衝撃を緩和するとともに、吸着ユニット71が上昇するときにおいても一定期間、移載した基板3をパレット84側へ押し付けて、基板3の切り離しを確実に行えるようにするためのものであるが、押さえ部材96のクッション材の肉厚を十分に厚く設定すれば省略することも可能である。
【0042】
間隔切換手段85について説明すると、図5〜図9に示すように、前後の支持フレーム82の前後両側には左右方向に延びる1対のガイドロッド100がその両端部において支持フレーム82に固定支持され、両ガイドロッド100には支持フレーム82の下側を通って延びる側面視略凹字状の6つの可動部材101がガイドロッド100に沿って左右方向に移動自在に支持されている。各可動部材101は正面視略L字状に形成され、可動部材101の水平板部102の下面には前方及び後方へ延びる1対の支持ロッド103が前後方向に長さ調整可能に設けられ、吸着手段70は両支持ロッド103の先端部に縦向きに固定支持されている。尚、可動ベース83は、可動部材101と支持ロッド103などで構成されている。また、符号104は支持ロッド103の長さを調整するための調整手段であり、符号105は調整手段104の操作レバーである。
【0043】
前後の支持フレーム82間の中央部には支持フレーム82の略全長にわたって左右方向に延びる固定ラック106が歯を下側へ向けて設けられ、固定ラック106はスペーサ部材107を介して上面板80の下面に固定支持されている。固定ラック106の左半部の後側には左右方向に延びる左可動ラック110が歯を下側へ向けて設けられ、左可動ラック110はガイド部材111を介して左右方向に移動自在に上面板80の下面に支持され、上面板80の左部上に設けたエアシリンダーからなる左アクチュエータ112により左右方向に駆動される。固定ラック106の右半部の前側には左右方向に延びる右可動ラック115が歯を下側へ向けて設けられ、右可動ラック115はガイド部材116を介して左右方向に移動自在に上面板80の下側に支持され、上面板80の右部上に設けたエアシリンダーからなる右アクチュエータ117により左右方向に駆動される。
【0044】
可動部材101の水平板部102上には前後方向に延びる前後1対のガイド孔120を有する操作部材121が設けられ、操作部材121はガイド孔120を挿通するように可動部材101に固定した連結ピン122により前後方向にのみ移動自在に可動部材101に取付けられている。固定ラック106及び両可動ラック110,115の歯の高さは同じに設定され、操作部材121の途中部には前後方向へのスライドにより固定ラック106と両可動ラック110,115のうちの任意のラックに択一的に噛合する歯を有する噛合部材123が設けられている。水平板部102の左端前部の下面側には3本のラック106,110,115と同じ間隔をあけて3つの位置切換孔124を形成した位置切換部材125が設けられ、操作部材121の前端部には位置切換部材125の左側へ延びる略L字状の連結部材126が固定され、連結部材126には位置切換孔124に対応させてインデックスプランジャー127が取付けられている。そして、インデックスプランジャー127のピン128を位置切換孔124から抜き取ってから、連結部材126及び操作部材121を前後方向に操作して、ピン128を挿入する位置切換孔124を切り換えることで、噛合部材123を所望のラック106,110,115に噛合できるように構成されている。尚、パターン変更手段は、両可動ラック110,115及び固定ラック106と、噛合部材123と、操作部材121と、位置切換部材125と、インデックスプランジャー127と、連結部材126などから構成されている。また、連結手段は、操作部材121と、位置切換部材125と、インデックスプランジャー127と、連結部材126などから構成されている。
【0045】
この第2移載装置13においては、受取ステーションS3において、昇降手段73により吸着ユニット71を下降位置へ下降させて、受取ステーションS3の第3載置台65上に左右に並列状にフローティング支持された2枚の基板3を左側に2組の吸着手段70でそれぞれ吸着保持してから、昇降手段73により吸着ユニット71とともに基板3を上昇させて、移送手段72により搬出ステーションS4の上方位置へ移送し、その後昇降手段73により吸着ユニット71とともに基板3を下降させて、搬出ステーションS4に設けたパレット84上に基板3を移載する。こうして基板3を移載した後、昇降手段73により吸着手段70を上昇させ、移送手段72により吸着手段70を受取ステーションS3上へ移送し、昇降手段73により吸着手段70を下降させ次の基板3を吸着保持するという作業を繰り返して、搬出ステーションS4のパレット84上に2枚の基板3を積層状に順次移載することになる。尚、受取ステーションS3における基板3の高さは一定であるが、搬出ステーションS4における基板3の最上層の高さは、パレット84に積層されている基板3の枚数により変化するので、移載する基板3が落下等することなく、滑らかに移載されるようにするため、吸着ユニット71は基板3を移載する毎に基板3の厚さ分ずつ高く設定することになる。また、一定枚数の基板3を移載した状態で、図10に示すように、基板3の移載位置を左右方向に一定距離ずらして基板3をパレット84上に載置すると、基板3の移載枚数を容易に把握することが可能となる。
【0046】
また、移載装置13では、受取ステーションS3において基板3を吸着保持してから搬出ステーションS4のパレット84上に基板3を移載するまでの間において、図6に示すように、吸着ユニット71に吸着保持した2枚の基板3が相互に一定間隔Lをあけて移載されるように、複数組の吸着手段70の間隔を基板3の並列方向に切り換え、この状態で吸着保持している基板3を搬出ステーションS4のパレット84上に移載することになる。また、搬出ステーションS4のパレット84上に基板3を移載してから、次の基板3を吸着保持するまでの間において、間隔切換手段85により吸着手段70を元の間隔に切り換え、次の基板3を吸着保持するという作業を繰り返すことにより、搬出ステーションS4のパレット84上に相互に間隔をあけた状態で基板3を積層状に順次移載することになる。
【0047】
例えば図5に示すように、左側の6つの吸着手段70と右側の6つの吸着手段70で2枚の基板3を吸着保持して一度に移載する際には、左側3つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128と、右側3つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128の少なくとも一方を3つの位置切換孔124のうちの中央部以外の位置切換孔に装着させることで、左側3つの噛合部材123又は右側3つの噛合部材123を可動ラック110,115に噛合させてアクチュエータにより移動できるようにし、移載途中で左右の基板3の間隔が広くなるように操作することになる。具体的には、左側3つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128を後側の位置切換孔124に装着し、右側3つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128を前側の位置切換孔124に装着し、左側6つの吸着手段70を左側へ移動させ、右側6つの吸着手段70を固定した状態とすることで、左右の基板3間に一定の間隔を形成することになる。
【0048】
また、混流生産などにより、図10に示すように、3枚の基板3Aを左側4つの吸着手段70と中央4つの吸着手段70と右側4つの吸着手段70とで吸着保持して一度に移載する際には、左側2つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128を後側の位置切換孔124に装着し、中央2つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128を中央の位置切換孔124に装着し、右側2つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128を前側の位置切換孔124に装着することで、中央4つの吸着手段70を固定し、左側4つの吸着手段70を左側へ、右側4つの吸着手段70を右側へ移動させ、隣接する基板3A間に一定の間隔を形成することになる。尚、1枚の基板を12個の吸着手段70で移載する際には、6つの間隔切換手段85のインデックスプランジャー127のピン128を中央部の位置切換孔124に装着することになる。
【0049】
このように、相互に間隔をあけた状態で基板3を移載するので、隣接する基板3の端部が噛み合うことを確実に防止して、移載した基板3をそのまま次工程へ搬送することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。また、吸着ユニット71により移載される基板3の枚数に応じて搬出ステーションS4に複数のパレット84を設けると、これら複数のパレット84に対して個別に基板3を積層状に移載することが可能となり、後工程における作業性を一層向上することが可能となる。
【0050】
尚、本実施の形態では、吸着ユニット71で一度に吸着保持できる基板3の枚数を1枚〜3枚に変更できるように構成したが、吸着手段70及び可動ラック110,115の個数を増やすことで、3枚以上の基板3を間隔切換可能に吸着保持できるように構成することも可能である。
【0051】
搬出ステーションS4には、図5、図6、図11に示すように、第4載置台130が設置され、第4載置台130の上部には前後方向の軸心回りに回転自在は複数のローラ131からなるローラコンベア132が設けられ、ローラコンベア132上には吸着ユニット71により一度に吸着保持できる基板3の枚数に応じた枚数のパレット84が移動自在に載置されている。隣接するパレット84間の間隔L1は移載される基板3の間隔Lよりもやや小さく設定され、吸着ユニット71で吸着保持した基板3がパレット84上に確実に移載されるように構成されている。ローラコンベア132の下側にはゴム等の弾性部材からなる左右方向に延びるストッパー部材133が設けられ、このストッパー部材133を図示外のアクチュエータによりローラ131に圧接させることで、ローラ131の回転を規制して移載作業時にパレット84が移送することを防止できるように構成されている。
【0052】
尚、本実施の形態では、プリント配線基板の素材基板1を所定サイズに切断する基板3の加工システムに、本発明を適用した場合について説明したが、複数の基板3を同時に移載する移載装置を備えたものであれば基板の加工システム以外の基板の処理システムに対しても本発明を同様に適用できる。また、基板3以外の板状部材を移載する際にも本発明を同様に適用できる。
【0053】
【発明の効果】
本発明に係る基板の移載装置によれば、相互に間隔をあけた状態に基板を移載できるので、第2ステーションに対して積層状に基板を載置しても、隣接して移載した基板の端部が噛み合うことを確実に防止して、移載した基板をそのまま次工程へ搬出することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【0054】
間隔切換手段が、吸着ユニットで一度に吸着保持する基板の枚数に応じて吸着手段の連動パターンを変更するパターン変更手段を備えると、混流生産などにより一度に移載する基板の枚数が切り換えられても、それに応じて容易に段取り替えができるので好ましい。
【0055】
また、間隔切換手段として、1本の固定ラックと複数本の可動ラックと複数のアクチュエータと噛合部材と連結手段とを備えたものを用いると、噛合部材が吸着手段の連動パターンに応じたラックに噛合するように、連結手段により噛合部材と吸着手段とを連結することで、移載する基板の枚数に応じて吸着手段の間隔を容易に且つ適正に切り換えることが可能となる。
【0056】
吸着ユニットにより一度に移載する基板の枚数に応じた複数のパレットを第2ステーションに設け、各パレットに対して基板を積層状に移載すると、移載した基板をそのままパレットとともに次工程へ搬出することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【0057】
第2ステーションに基板を移載するに際して、基板を下側へ押し付けて吸着手段から基板を切り離す基板切離手段を吸着ユニットに設けると、吸着保持した基板を確実に第2ステーションに移載することが可能となる。
【0058】
移送手段により第1ステーションから第2ステーションへ基板を移送する際に、基板の移載位置が一定枚数毎に前後方向或いは左右方向に、基板相互の間隔よりも小さな一定距離だけずれるように移送すると、第2ステーションに移載される基板を前後方向或いは左右方向に一定距離だけずらして移載できるので、第2ステーションに対して基板を積層状に移載したときに、基板の積層枚数を目視にて容易に概算することが可能となり、第2ステーションからの基板の搬出タイミングを的確に察知することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】切断処理システムの平面図
【図2】空気吹付装置の側面図
【図3】スリッターの正面図
【図4】スリッター要部の縦断面図
【図5】吸着ユニットの平面図
【図6】第4移載台及び吸着ユニットの正面図
【図7】吸着ユニットの右側面図
【図8】間隔切換手段の要部斜視図
【図9】図5のA−A線断面図
【図10】第4移載台及び3枚の基板移載時の吸着ユニットの平面図
【図11】搬出ステーションにおける左右の基板の積層状態の説明図
【符号の説明】
1 基板 2 耳部
3 基板 4 切れ目
10 切断処理システム 11 第1移載装置
12 切断装置 13 第2移載装置
15 第1載置台 16 移送用ボール
17 パレット 18 移動規制ロッド
20 吸着手段 21 吸着ユニット
22 鉛直フレーム 23 水平フレーム
24 昇降手段 25 第2載置台
30 空気吹付手段 31 取付部材
32 支持ロッド 33 支持ブロック
34 ノズル支持部材 35 ノズル
36 パイプ部材 37 アーム部材
38 支持フレーム 39 操作アーム
39a 操作ロッド 39b 操作部材
40 前後移送用コンベア 41 ローラ
42 位置調整用コンベア 43 固定規制板
44 可動規制板 45 シリンダ
50 耳取用スリッター 50a 軸
50b 歯車 51 切断用スリッター
52 切離ローラ 53 切離ローラ
54 切離手段 55 水平移送手段
56 回転刃 57 回転刃
58 カッターホルダ 59 カッター
59a 逃げ溝
60 移送用ローラ 61 後部移送手段
62 移送用ローラ 63 前部移送手段
64 ローラコンベア 65 第3載置台
66 空気吹出孔 67 規制バー
70 吸着手段 71 吸着ユニット
72 移送手段 73 昇降手段
74 鉛直フレーム 75 水平フレーム
76 支持ベース 77 ガイドロッド
78 アクチュエータ 79 出力ロッド
80 上面板 81 側面板
82 支持フレーム 83 可動ベース
84 パレット 85 間隔切換手段
86 基板切離手段 87 吸着パッド
88 アクチュエータ 89 出力ロッド
90 支持板 91 中間板
92 ガイドロッド 93 付勢手段
94 ストッパー部材 95 枠状フレーム
96 押さえ部材
100 ガイドロッド 101 可動部材
102 水平板部 103 支持ロッド
104 調整手段 105 操作レバー
106 固定ラック 107 スペーサ部材
110 左可動ラック 111 ガイド部材
112 左アクチュエータ 115 右可動ラック
116 ガイド部材 117 右アクチュエータ
120 ガイド孔 121 操作部材
122 連結ピン 123 噛合部材
124 位置切換孔 125 位置切換部材
126 連結部材
127 インデックスプランジャー
128 ピン 130 載置台
131 ローラ 132 ローラコンベア
133 ストッパー部材
S1 搬入ステーション
S2 位置決めステーション
S3 受取ステーション S4 搬出ステーション
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate transfer apparatus suitable for transferring a plurality of substrates arranged in parallel in a stacked state for each substrate.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art A printed wiring board used in an electronic device or the like is manufactured by cutting a solid large-sized material substrate having no printed wiring or the like into a required size. More specifically, the substrate is manufactured by removing ears of an outer edge portion of a material substrate on which a printing failure or the like is likely to occur, cutting the substrate to a required size, and then forming holes for printed wiring and component mounting.
[0003]
The present applicant has proposed a substrate cutting processing system that cuts the left and right ears of such a material substrate and cuts the substrate into a plurality of substrates (for example, see Patent Document 1). This substrate cutting processing system includes a cutting device for cutting left and right ears of a material substrate by a slitter and cutting the substrate into two substrates, and a suction device for sucking the two substrates sent from the cutting device to a receiving station. A transfer device is described which is held as it is and transferred onto a pallet of an adjacent unloading station. Further, in this transfer device, when the substrates are transferred in a stacked manner, the transfer positions of the substrates are shifted by a fixed distance in the left-right direction every fixed number of sheets, so that the substrates transferred to the unloading station are transferred. The number of stacked substrates can be easily estimated visually, and the timing of unloading the substrate from the unloading station can be accurately detected.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-2002-307390 (Pages 4, 6, 7; FIGS. 1, 7)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the substrate cutting processing system described in Patent Document 1, the two substrates are removed from the receiving station while the ears are removed and the substrate cut into two is floated and supported by an air float as it is. Is arranged in a receiving station with almost no gap, and is held as it is by suction means, and is transferred to an adjacent pallet by shifting a transfer position of a substrate by a fixed distance in the left-right direction for every fixed number of sheets. As shown in FIG. 7, the ends of the left and right substrates are engaged with each other, and the operation of separating the left and right substrates is required as a post-process, and the operation is complicated.
[0006]
In addition, the left and right layers of the substrates to be transferred to the unloading station are slightly shifted due to a positional deviation of the substrates in the receiving station in the left and right direction and a transfer error in the left and right direction in the transfer device. The ends of the substrates are engaged with each other, and the operation of separating the left and right substrates is required as a post-process, and the operation is complicated.
[0007]
Furthermore, since the two substrates held by suction are transferred on the left and right portions of one pallet, it is necessary to replace them on separate pallets in consideration of the handling of the substrate in a later process. Yes, the operation was complicated.
[0008]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus that can improve workability after transfer and that can be easily changed in accordance with the number of substrates to be transferred.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
A substrate transfer apparatus according to the present invention includes: a suction unit having a plurality of sets of suction means for individually suction-holding a plurality of substrates arranged in parallel in a first station; Transfer means for transferring the adjacent unit to an adjacent second station; elevating means for moving the suction unit up and down between a raised position and a lowered position; and a plurality of substrates sucked and held by the suction means at fixed intervals. And an interval switching means provided in the adsorption unit so as to be mounted thereon, and for switching the intervals of the plural sets of the adsorption means in the direction parallel to the substrates.
[0010]
In this transfer apparatus, in the first station, the suction unit is lowered to the lowering position by the lifting / lowering means, and a plurality of substrates arranged in parallel in the first station are suction-held by a plurality of sets of suction means, respectively. Then, the substrate is lifted together with the suction unit by the lifting means, transferred to a position above the second station by the transfer means, and then lowered by the lifting means together with the suction unit to transfer the substrate to the second station. After the substrate is transferred in this way, the suction unit is raised by the lifting means, the suction unit is transferred to the first station by the transfer means, and the suction unit is lowered by the lifting means to suck and hold the next substrate. Is repeated, and the substrates arranged in parallel in the first station are sequentially transferred to the second station.
[0011]
Also, a plurality of substrates held by suction are transferred at a certain interval from the time at which the substrates are sucked and held at the first station to the time at which the substrates are transferred at the second station. Then, the intervals between the plurality of sets of suction means are switched in the parallel direction of the substrates for each set, and in this state, the substrates held by suction are transferred to the second station. Further, between the time when the substrate is transferred to the second station and the time when the next substrate is sucked and held, the operation of switching the suction means to the original interval by the interval switching means and sucking and holding the next substrate is repeated. As a result, a plurality of substrates are sequentially transferred to the second station at a certain interval from each other.
[0012]
As described above, since the substrates are transferred at a certain interval from each other, even when the substrates are stacked in the second station, the end portions of the adjacent substrates are reliably prevented from meshing with each other. Thus, the transferred substrate can be transported to the next process as it is, and workability in the subsequent process can be improved.
[0013]
Here, the interval switching means may include a pattern changing means for changing an interlocking pattern of the suction means according to the number of substrates to be suctioned and held by the suction unit at one time. It is preferable to provide such a pattern changing means, because even if the number of substrates to be transferred at one time is switched by mixed production or the like, the setup can be easily changed accordingly.
[0014]
As the interval switching means provided with such a pattern changing means, one fixed rack arranged in the parallel direction of the substrate, a plurality of movable racks arranged substantially in parallel with the fixed rack, and a plurality of movable racks are used. A plurality of actuators for individually moving the substrates in the parallel direction, a meshing member that selectively meshes with one fixed rack and a plurality of movable racks, and a rack that meshes the meshing member with the suction means so as to be switchable. The one provided with a connecting means for connecting is preferable. In this case, by connecting the meshing member and the suction means by the connecting means so that the meshing member meshes with the rack according to the interlocking pattern of the suction means, the suction means is moved in accordance with the number of substrates to be transferred. The interval can be easily and appropriately switched.
[0015]
A plurality of pallets corresponding to the number of substrates to be transferred at one time by the suction unit may be provided in the second station, and the substrates may be transferred to each pallet in a stacked manner. With this configuration, the transferred substrate can be carried out to the next process together with the pallet as it is, and workability in the subsequent process can be improved.
[0016]
When transferring the substrate to the second station, the suction unit may be provided with a substrate separating means for pressing the substrate downward and separating the substrate from the suction means. In this case, the substrate held by suction can be reliably transferred to the second station.
[0017]
When the substrate is transferred from the first station to the second station by the transfer means, the transfer position of the substrate is shifted by a fixed distance smaller than the distance between the substrates in the front-rear direction or the left-right direction every fixed number of sheets. May be. In this case, the substrate to be transferred to the second station is transferred while being shifted by a certain distance in the front-rear direction or the left-right direction. It is possible to easily estimate the number of stacked substrates by visual observation, and it is possible to accurately detect the timing of unloading the substrate from the second station.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, the transfer apparatus according to the present invention is applied to a substrate cutting system.
[0019]
As shown in FIG. 1, the cutting processing system 10 includes a first transfer device 11 that sucks, holds, and transfers the material substrates 1 one by one from a carry-in station S1 to a positioning station S2, and transfers from the positioning station S2 to a receiving station S3. A cutting device 12 that removes the left and right ears 2 of the material substrate 1 and cuts the material substrate 1 into two to produce two substrates 3 when the material substrate 1 is horizontally transferred, and a receiving station (first station). And a second transfer device 13 for simultaneously transferring the two substrates 3 from the station S3 to the unloading station (second station) S4. In the present embodiment, two substrates 3 are manufactured from the material substrate 1. However, one or three or more substrates can be manufactured. The second transfer device 13 corresponds to the substrate transfer device of the present invention.
[0020]
The material substrate 1 carried into the cutting processing system 10 has the front and rear ears removed in advance. In the cutting processing system 10, the left and right ears 2 (see FIG. 4) are cut off from the material substrate 1. It is configured such that two substrates 3 are obtained by cutting the middle part. By cutting off the outer edge of the material substrate 1 as a lug as described above, it is possible to prevent the formation failure of the circuit pattern at the outer edge of the substrate 3.
[0021]
A first mounting table 15 is provided at the loading station S1, a plurality of transfer balls 16 are rotatably mounted on the upper surface of the first mounting table 15, and a plurality of material substrates 1 are stacked on a flat pallet 17. It is carried into the carrying-in station S <b> 1 in a state of being set in a state, and is movably mounted on the transfer ball 16 together with the pallet 17. The first mounting table 15 is configured such that two pallets 17 can be mounted on the upper surface thereof back and forth, and the material substrate 1 to be processed this time is set on the front pallet 17 in a stacked manner. The material substrate 1 to be processed next time is set in a laminated state.
[0022]
The first transfer device 11 supports a suction unit 21 having a plurality of suction means 20 capable of holding the material substrate 1 by suction, and the suction unit 21 movably in the left-right direction across the loading station S1 and the positioning station S2. It comprises a vertical frame 22 and a horizontal frame 23, a horizontal drive unit (not shown) for driving the suction unit 21 in the left-right direction along the horizontal frame 23, and a lifting unit 24 for driving the suction unit 21 in the vertical direction. is there. The horizontal drive means has a general configuration for driving the suction unit 21 in the left and right direction via a servomotor (not shown) and a screw shaft. The elevating means 24 has a general configuration that drives the suction unit 21 up and down via an actuator such as an air cylinder.
[0023]
Then, in the first transfer device 11, the suction unit 21 is lowered at the loading station S 1, and the uppermost material substrate 1 of the material substrates 1 stacked on the pallet 17 is sucked by the suction means 20. The material substrate 1 sucked and held by the pad, and in this state, the material substrate 1 sucked and held together with the suction unit 21 is raised and transferred to the positioning station S2. The material substrate 1 is transferred onto the substrate 25. Although the height of the material substrate 1 at the time of transfer to the positioning station S2 is constant, the suction holding position of the material substrate 1 at the carry-in station S1 differs depending on the number of stacked material substrates 1; The lifting means 24 is controlled so that the lower limit position of the suction unit 21 in the loading station S1 is lowered by the thickness of the material substrate 1 each time the material is transferred.
[0024]
In order to smoothly suck and hold the material substrates 1 stacked on the loading station S1 one by one, the material substrates 1 set on the pallet 17 on the pallet 17 are arranged in front of the first mounting table 15. A pair of left and right air blowing means 30 for blowing air from the front is provided on the front surface of the material substrate 1 including the uppermost layer.
[0025]
The air blowing means 30 will be described. As shown in FIGS. 1 and 2, a pair of front and rear support rods 32 is erected on the first mounting table 15 via a mounting member 31, and a middle part of the support rod 32. Is provided with a support block 33 movably in the vertical direction. The support block 33 does not fall naturally due to frictional resistance with the support rod 32, but is attached to the support rod 32 so as to be operable in a vertical direction with a relatively weak force. A nozzle support member 34 is provided below the support block 33, and a pair of deformable pipe members 36 each having a nozzle 35 at a distal end portion are attached to the nozzle support member 34. Is adjusted so as to face the front side of the uppermost layer of the material substrate 1 stacked on the pallet 17. Reference numeral 18 denotes a movement restricting rod that is detachably mounted on the upper surface of the first mounting table 15 so as to restrict the lateral movement of the floating supported material substrate 1.
[0026]
An arm member 37 is provided below the nozzle support member 34 and extends to the vicinity of the laminated material substrate 1. A pair of left and right operation arms 39 extending forward is provided on a support frame 38 of the suction unit 20 of the suction unit 21. An operation rod 39a extending in the left-right direction is provided at a tip end of the operation arm 39, and an operation member 39b extending downward and capable of pressing the arm member 37 downward is provided at both left and right ends of the operation rod 39a. Each time the suction unit 21 is lowered at the loading station S1, the operating member 39b comes into contact with the upper surface of the arm member 37, and the nozzle support member 34 and the support block 33 are moved by the thickness of the material substrate 1 via the arm member 37. Operate downward. That is, as described above, the lower limit position of the suction unit 21 is set to the lower side by the thickness of the material substrate 1 so that the uppermost material substrate 1 can be surely suction-held by the suction means 20 at the loading station S1. Since the nozzle support member 34 and the support block 33 are moved downward by the thickness of the material substrate 1 by using this, the height position of the nozzle 35 can always be adjusted to an appropriate position. Have been.
[0027]
As shown in FIG. 1, the upper and lower portions of a second mounting table 25 provided in the positioning station S2 are provided with a roller conveyor for transferring the material substrate 1 transferred by the first transfer device 11 forward. A transfer conveyor 40 is provided, and a position adjusting conveyor 42 for movably supporting the material substrate 1 in the left-right direction is provided between the adjacent rollers 41 of the front-rear transfer conveyor 40 in the central portion. It is provided so as to be able to ascend and descend via the. A fixed regulating plate 43 for regulating the position of the right edge of the material substrate 1 is provided at the right end of the second mounting table 25, and the position of the left edge of the material substrate 1 is regulated at the left end of the second mounting table 25. A movable regulating plate 44 is provided by a cylinder 45 so as to be able to move in parallel in the left-right direction. When the material substrate 1 is transferred to the positioning station S2, the position adjusting conveyor 42 is raised to transfer the material substrate 1 onto the position adjusting conveyor 42. In this state, the movable regulating plate 44 Is moved to the right, the material substrate 1 is sandwiched between the fixed regulating plate 43 and the movable regulating plate 44, and the position of the material substrate 1 in the left-right direction is adjusted. The material substrate 1 is transferred onto the conveyor for transfer 40, and the material substrate 1 is transferred to the cutting device 12 by the conveyer 40 for forward and backward transfer. Note that the position adjustment of the material substrate 1 in the positioning station S2 can be performed using a positioning device having an arbitrary configuration.
[0028]
As shown in FIGS. 1, 3, and 4, the cutting device 12 applies a shearing force along the boundary between the substrate 3 and the ear portion 2 of the material substrate 1 to form a pair of left and right ears to cut the cut 4. Slitter 50, a cutting slitter 51 for cutting the left and right substrates 3 by applying a shearing force to the boundary between the left and right substrates 3, and an ear portion 2 of the material substrate 1 with a cut 4 formed by the ear slitter 50. Is moved between the upper and lower separating rollers (not shown) to move the lug 2 below the substrate 3 together with the upper and lower separating rollers. And a pair of left and right separating means 54 for separating the ear 2 from the substrate 3 and transferring the left and right substrates 3 substantially horizontally to the receiving station S3 in the separating means 54. And a horizontal transfer means 55. However, a plurality of cutting slitters 51 may be provided.
[0029]
The left and right ear slitters 50 and the cutting slitter 51 are basically configured in the same manner, and as shown in FIGS. 3 and 4, a pair of upper and lower rotary blades 56 and 57 having a clearance H that can be adjusted to be close to each other. Each has it. The upper three rotating blades 56 and the lower three rotating blades 57 are supported on a pair of upper and lower shafts 50a so as to be adjustable in the left-right direction and non-rotatable, and the upper and lower shafts 50a are geared at their shaft ends. The upper and lower rotary blades 56 and 57 are synchronously rotated in opposite directions by an electric motor (not shown) via a shaft 50a and a gear 50b.
[0030]
Each of the rotary blades 56 and 57 has a substantially disk-shaped cutter holder 58 and a substantially annular cutter 59 fixed to the cutter holder 58, and the thickness of the material substrate 1 is set between the peripheral surfaces of the upper and lower cutters 59. A predetermined clearance H smaller than that is formed, and an annular relief groove 59a is formed on the outer peripheral portion of the opposed end faces of the upper and lower cutters 59.
[0031]
The clearance H between the upper and lower cutters 59 in the left and right ear slitters 50 is set to 50 to 80%, preferably 55 to 65%, of the appropriate thickness of the material substrate 1. In the state where a shearing force is applied along the boundary with the part 2, a cut 4 is formed at the boundary, but the ear part 2 itself is formed via a copper foil or a resin material or a fiber material constituting the material substrate 1. It is configured to be slightly connected to the substrate 3 and transferred to the separating means 54 on the downstream side. When the clearance H is 50% or less of the appropriate thickness of the material substrate 1, the ears 2 are completely cut. When the clearance H is 80% or more, the cuts 4 are not sufficiently formed, and the ears 2 are removed from the substrate 3. Is set to 50 to 80% because it cannot be easily separated.
[0032]
On the other hand, the clearance H between the upper and lower cutters 59 in the cutting slitter 51 is set to 50% or less of the appropriate thickness of the material substrate 1, and the upper and lower cutters 59 apply a shearing force along the boundary between the left and right substrates 3. Thus, the left and right substrates 3 are completely cut.
[0033]
As shown in FIG. 1, the horizontal transfer means 55 includes a pair of upper and lower parts for supplying the ears 2 of the material substrate 1 with the cuts 4 formed by the left and right ear slitters 50 to the upper and lower separating means 54. Rear transfer means 61 provided with transfer rollers 60, and front transfer means 63 provided with a pair of upper and lower transfer rollers 62 for sending the two cut substrates 3 from which the ears 2 have been removed to the receiving station S3. And a roller conveyor 64 for supporting the substrate 3 from below between the front and rear transfer rollers 60 and 62. The front and rear transfer rollers 60 and 62 are driven to rotate in synchronization with each other, and while the substrate cut in half is transferred forward by the rear transfer means 61, the ears 2 on both left and right sides thereof are moved to the left and right sides of the horizontal transfer means 55. In the state of the pair of left and right substrates 3 which have been sequentially removed by the separating means 54 arranged at the same position and the ears 2 have been removed, they are sent out by the front transfer means 63 onto the third mounting table 65 installed at the receiving station S3. Since the separating means 54 is not directly related to the present invention, a detailed description thereof will be omitted.
[0034]
As shown in FIG. 1, a third mounting table 65 is provided at the receiving station S3, the upper surface of the third mounting table 65 is configured to be substantially flat, and a plurality of air blowing holes 66 are provided at regular intervals at the rear of the upper surface. A regulating bar 67 for regulating the falling off of the substrate 3 is provided on the left and right sides and the front end of the upper surface. The pair of left and right substrates 3 picked up by the cutting device 12 is sent out to the receiving station S3 by a pair of upper and lower transfer rollers 62 while being floating supported by the air blown out from the air blowing holes 66, and It is transferred onto the third mounting table 65, and its position is regulated by the front and left and right regulating bars 67, and is floatingly supported on the third mounting table 65 in the left and right side by side. As described above, since the substrate 3 is floatingly supported, it is possible to prevent a problem that the lower surface of the substrate 3 is damaged or the like, and it is possible to significantly simplify a means for transferring the substrate.
[0035]
As shown in FIGS. 1 and 5 to 7, the second transfer device 13 includes a plurality of sets of suction units for individually suction-holding a plurality of substrates 3 arranged in parallel in a receiving station (first station) S3. A suction unit 71 having means 70, a transfer means 72 for transferring the suction unit 71 to a receiving station S3 and an unloading station (second station) S4 adjacent thereto, and the suction unit 71 to be moved up and down over a raised position and a lowered position. Lifting means 73;
[0036]
The transfer means 72 will be described. As shown in FIG. 1, a vertical frame 74 is erected at the left rear of the receiving station S3 and at the rear between the receiving station S3 and the unloading station S4. A horizontal frame 75 extending in the left-right direction over S3 and S4 is fixed, and a support base 76 for supporting the suction unit 71 together with the lifting / lowering means 73 is provided on the front side of the horizontal frame 75. Is transported in the left-right direction over both stations S3 and S4.
[0037]
1 and 6, a pair of left and right guide rods 77 are provided on the front side of the support base 76 so as to be movable in the vertical direction, and between the left and right guide rods 77, as shown in FIGS. An actuator 78 composed of a pair of air cylinders or the like is provided with its output rod 79 directed downward, and the lower end of the guide rod 77 and the lower end of the output rod 79 of the actuator 78 are located in the middle of the suction unit 71 in the left-right direction. The suction unit 71 is fixed, and is moved up and down through an actuator 78 over a raised position and a lowered position.
[0038]
As shown in FIGS. 5 to 9, the suction unit 71 includes a pair of left and right support frames 82 integrally connected and fixed at an interval in the front and rear by five upper plates 80 and left and right side plates 81. And six movable bases 83 supported movably in the left-right direction with respect to the support frame 82, a pair of suction means 70 vertically fixed to both front and rear ends of each movable base 83, By switching the interval of the base 83, a plurality of sets of the suction units 70 are mounted so that the plurality of substrates 3 sucked and held by the suction unit 70 are transferred onto the pallet 84 of the unloading station S4 with a certain interval L therebetween. Interval switching means 85 for switching the interval of the substrates 3 in the parallel direction, and when transferring the substrates 3 onto the pallet 84 of the unloading station S4, the substrates 3 are pressed downward and the suction means 70 And a substrate separating means 86 to separate the plate 3.
[0039]
The suction means 70 has a well-known configuration including a suction pad 87 for suctioning to the substrate 3. The suction means 87 is depressurized by a pressure reducing means (not shown) in a state where the suction pad 87 is pressed against the substrate 3. , The substrate 3 can be held by suction. In the suction means 70, when the substrate 3 is transferred at the unloading station S4, the substrate 3 held by suction is controlled so as to be smoothly transferred by, for example, introducing outside air into the suction pad 87. However, even in the case where the control is performed in such a manner, the separation failure of the substrate 3 may occur. Therefore, it is preferable to provide the substrate separating means 86 having the following configuration.
[0040]
The substrate separating means 86 will be described. As shown in FIGS. 6 and 7, left and right side plates 81 are provided with actuators 88 for lifting and lowering, each of which is composed of an air cylinder or the like. A support plate 90 which is elongated in the front-rear direction is fixed to a lower end of the support plate 90. An intermediate plate 91 that is elongated in the front-rear direction is disposed below the support plate 90, and a pair of guide rods 92 is vertically movably mounted on both front and rear sides of the support plate 90. A stopper member 94 for restricting the guide rod 92 from dropping downward is attached. The intermediate plate 91 is connected to the lower end of the guide rod 92, and is supported together with the guide rod 92 so as to be vertically movable with respect to the support plate 90. I have. A biasing means 93 composed of a compression coil spring is externally provided on both guide rods 92, and the intermediate plate 91 is shown by an imaginary line in FIG. 6 in which the stopper member 94 abuts against the support plate 90 by the biasing force of the biasing means 93. It is held at the lower limit position. A frame-like frame 95 is provided between the left and right intermediate plates 91 in a bridging manner. On the lower surface of the frame-like frame 95, a pressing member 96 made of a plate-like member and a cushion material is provided at regular intervals.
[0041]
In the substrate separating means 86, when the substrate 3 is transferred from the receiving station S3 to the unloading station S4, as shown by a solid line in FIGS. Although the lower end is positioned slightly higher than the lower end of the suction means 70, the suction unit 71 is moved down by the elevating means 73 at the unloading station S4, and the sucked and held substrate 3 is stacked on the pallet 84 or the pallet 84. In a state in which the substrate 3 is placed closest to or in the vicinity of the substrate 3, the support plate 90 is lowered by the actuator 88 as shown by a virtual line in FIG. Pressing at 96 causes the forcible transfer to the pallet 84 or the substrate 3 stacked on the pallet 84 in a forcible manner. In addition, the urging means 93 reduces the impact when the pressing member 96 is pressed against the substrate 3 and presses the transferred substrate 3 against the pallet 84 for a certain period even when the suction unit 71 moves up. This is to ensure that the substrate 3 can be separated, but can be omitted if the thickness of the cushion material of the pressing member 96 is set to be sufficiently large.
[0042]
The interval switching means 85 will be described. As shown in FIGS. 5 to 9, a pair of guide rods 100 extending in the left-right direction are fixedly supported on the support frame 82 at both ends on both front and rear sides of the front and rear support frames 82. The two guide rods 100 support six movable members 101 extending substantially below the support frame 82 and having a substantially concave shape in a side view so as to be movable in the left-right direction along the guide rods 100. Each movable member 101 is formed in a substantially L shape in a front view, and a pair of support rods 103 extending forward and rearward are provided on the lower surface of the horizontal plate portion 102 of the movable member 101 so as to be adjustable in length in the front-rear direction. The suction means 70 is vertically fixedly supported at the distal ends of both support rods 103. The movable base 83 includes the movable member 101 and the support rod 103. Reference numeral 104 denotes an adjusting unit for adjusting the length of the support rod 103, and reference numeral 105 denotes an operation lever of the adjusting unit 104.
[0043]
A fixed rack 106 extending in the left-right direction over substantially the entire length of the support frame 82 is provided at a central portion between the front and rear support frames 82 with teeth facing downward. It is fixedly supported on the lower surface. On the rear side of the left half of the fixed rack 106, a left movable rack 110 extending in the left-right direction is provided with its teeth facing downward, and the left movable rack 110 is movable upward and left in the left-right direction via a guide member 111. It is supported on the lower surface of the upper plate 80 and is driven in the left-right direction by a left actuator 112 composed of an air cylinder provided on the left portion of the upper plate 80. On the front side of the right half of the fixed rack 106, a right movable rack 115 extending in the left and right direction is provided with its teeth facing downward, and the right movable rack 115 is movable via the guide member 116 in the left and right direction. And is driven in the left-right direction by a right actuator 117 composed of an air cylinder provided on a right portion of the upper surface plate 80.
[0044]
An operation member 121 having a pair of front and rear guide holes 120 extending in the front and rear direction is provided on the horizontal plate portion 102 of the movable member 101, and the operation member 121 is fixed to the movable member 101 so as to pass through the guide hole 120. The pin 122 is attached to the movable member 101 so as to be movable only in the front-rear direction. The heights of the teeth of the fixed rack 106 and the movable racks 110 and 115 are set to be the same, and an arbitrary part of the fixed rack 106 and the movable racks 110 and 115 is slid in the middle of the operation member 121 by sliding in the front-rear direction. A meshing member 123 having teeth that mesh alternatively with the rack is provided. A position switching member 125 having three position switching holes 124 formed at the same interval as the three racks 106, 110, and 115 is provided on the lower surface side of the front left end of the horizontal plate portion 102. A substantially L-shaped connecting member 126 extending to the left of the position switching member 125 is fixed to the portion, and an index plunger 127 is attached to the connecting member 126 so as to correspond to the position switching hole 124. Then, after the pin 128 of the index plunger 127 is pulled out from the position switching hole 124, the coupling member 126 and the operating member 121 are operated in the front-rear direction to switch the position switching hole 124 into which the pin 128 is inserted. It is configured so that the 123 can be engaged with desired racks 106, 110, and 115. The pattern changing means includes both the movable racks 110 and 115 and the fixed rack 106, a meshing member 123, an operating member 121, a position switching member 125, an index plunger 127, a connecting member 126, and the like. . The connecting means includes an operating member 121, a position switching member 125, an index plunger 127, a connecting member 126, and the like.
[0045]
In the second transfer device 13, at the receiving station S3, the suction unit 71 is lowered to the lowered position by the lifting / lowering means 73, and is floating-supported side by side on the third mounting table 65 of the receiving station S3. After the two substrates 3 are sucked and held on the left side by two sets of suction means 70, the substrates 3 are lifted together with the suction unit 71 by the elevating means 73, and are transferred to a position above the unloading station S4 by the transfer means 72. Thereafter, the substrate 3 is lowered by the lifting / lowering means 73 together with the suction unit 71, and the substrate 3 is transferred onto the pallet 84 provided at the unloading station S4. After the substrate 3 is transferred in this manner, the suction means 70 is raised by the lifting means 73, the suction means 70 is transferred to the receiving station S3 by the transfer means 72, and the suction means 70 is lowered by the lifting means 73 to move the next substrate 3 Is repeated, and the two substrates 3 are sequentially transferred in a stacked manner on the pallet 84 of the unloading station S4. Although the height of the substrate 3 at the receiving station S3 is constant, the height of the uppermost layer of the substrate 3 at the unloading station S4 varies depending on the number of substrates 3 stacked on the pallet 84, so that the substrate 3 is transferred. The suction unit 71 is set higher by the thickness of the substrate 3 every time the substrate 3 is transferred, so that the substrate 3 can be smoothly transferred without dropping. In a state where a fixed number of substrates 3 have been transferred, as shown in FIG. It is possible to easily grasp the number of sheets to be loaded.
[0046]
Further, in the transfer device 13, between the time when the substrate 3 is sucked and held at the receiving station S3 and the time when the substrate 3 is transferred onto the pallet 84 at the unloading station S4, as shown in FIG. The intervals of the plural sets of suction means 70 are switched in the direction parallel to the substrates 3 so that the two substrates 3 held by suction are transferred at a fixed interval L from each other. 3 is transferred onto the pallet 84 of the unloading station S4. Further, between the time when the substrate 3 is transferred onto the pallet 84 of the unloading station S4 and the time when the next substrate 3 is suction-held, the suction means 70 is switched to the original distance by the distance switching means 85, and the next substrate By repeating the operation of sucking and holding the substrates 3, the substrates 3 are sequentially transferred in a stacked manner on the pallet 84 of the unloading station S4 with a space therebetween.
[0047]
For example, as shown in FIG. 5, when the two substrates 3 are sucked and held by the six suction units 70 on the left side and the six suction units 70 on the right side and transferred at a time, the three interval switching units 85 on the left side At least one of the pin 128 of the index plunger 127 and the pin 128 of the index plunger 127 of the three right-side spacing switching means 85 is mounted in a position switching hole other than the center of the three position switching holes 124. The three left engaging members 123 or the three right engaging members 123 are engaged with the movable racks 110 and 115 so that the movable racks 110 and 115 can be moved by an actuator. Become. Specifically, the pins 128 of the index plungers 127 of the three interval switching means 85 on the left side are mounted on the rear position switching holes 124, and the pins 128 of the index plungers 127 of the three interval switching means 85 on the right side are attached to the front side. A fixed interval is formed between the left and right substrates 3 by being mounted in the position switching hole 124 and moving the six left suction means 70 to the left and fixing the six right suction means 70 to a fixed state. .
[0048]
Further, as shown in FIG. 10, three substrates 3A are suction-held by four suction means 70 on the left side, four suction means 70 at the center, and four suction means 70 on the right side and transferred at a time by mixed production. At this time, the pins 128 of the index plungers 127 of the two interval switching means 85 on the left side are attached to the rear position switching holes 124, and the pins 128 of the index plungers 127 of the two interval switching means 85 at the center are connected to the center. By attaching the pins 128 of the index plungers 127 of the two right-side interval switching means 85 to the front position switching holes 124, the central four suction means 70 are fixed, and the left four suction means are mounted. The means 70 is moved to the left and the four suction means 70 on the right are moved to the right, so that a certain interval is formed between adjacent substrates 3A. When one substrate is transferred by the twelve suction means 70, the pins 128 of the index plungers 127 of the six interval switching means 85 are mounted in the position switching holes 124 at the center.
[0049]
As described above, since the substrates 3 are transferred while being spaced from each other, it is possible to reliably prevent the ends of the adjacent substrates 3 from meshing with each other, and to transfer the transferred substrates 3 to the next process as they are. Is possible, and workability in the post-process can be improved. When a plurality of pallets 84 are provided in the unloading station S4 in accordance with the number of substrates 3 transferred by the suction unit 71, the substrates 3 can be individually transferred to the plurality of pallets 84 in a stacked manner. This makes it possible to further improve workability in the post-process.
[0050]
In the present embodiment, the number of substrates 3 that can be suctioned and held by the suction unit 71 at one time can be changed to one to three. However, the number of suction means 70 and the number of movable racks 110 and 115 can be increased. Thus, it is also possible to adopt a configuration in which three or more substrates 3 can be suction-held so that the intervals can be switched.
[0051]
As shown in FIGS. 5, 6, and 11, a fourth mounting table 130 is provided at the unloading station S4, and a plurality of rollers that are rotatable about an axis in the front-rear direction are provided above the fourth mounting table 130. A roller conveyor 132 composed of 131 is provided. On the roller conveyor 132, pallets 84 of a number corresponding to the number of substrates 3 that can be suction-held by the suction unit 71 at one time are movably mounted. The distance L1 between the adjacent pallets 84 is set slightly smaller than the distance L between the substrates 3 to be transferred, and the substrate 3 sucked and held by the suction unit 71 is reliably transferred onto the pallet 84. I have. A stopper member 133 made of an elastic member such as rubber and extending in the left-right direction is provided below the roller conveyor 132. The stopper member 133 is pressed against the roller 131 by an actuator (not shown) to restrict the rotation of the roller 131. Then, the pallet 84 can be prevented from being transferred during the transfer operation.
[0052]
In this embodiment, the case where the present invention is applied to the processing system of the substrate 3 for cutting the material substrate 1 of the printed wiring board into a predetermined size has been described. The present invention can be similarly applied to a substrate processing system other than the substrate processing system as long as the apparatus is provided. Further, the present invention can be similarly applied to transfer of a plate-shaped member other than the substrate 3.
[0053]
【The invention's effect】
According to the substrate transfer apparatus of the present invention, the substrates can be transferred in a state where they are spaced from each other. It is possible to reliably prevent the end portions of the transferred substrate from engaging with each other, and to carry out the transferred substrate to the next process as it is, thereby improving workability in a subsequent process.
[0054]
When the interval switching means includes a pattern changing means for changing an interlocking pattern of the suction means according to the number of substrates to be suctioned and held by the suction unit at one time, the number of substrates to be transferred at once by mixed production or the like is switched. Is also preferable because the setup can be easily changed accordingly.
[0055]
In addition, when a unit including one fixed rack, a plurality of movable racks, a plurality of actuators, a meshing member, and a coupling unit is used as the interval switching unit, the meshing member can be mounted on a rack corresponding to an interlocking pattern of the suction unit. By connecting the engaging member and the suction means by the connection means so as to engage with each other, it is possible to easily and appropriately switch the interval between the suction means according to the number of substrates to be transferred.
[0056]
A plurality of pallets corresponding to the number of substrates to be transferred at one time by the suction unit are provided in the second station, and the substrates are transferred to each pallet in a stacked state, and the transferred substrates are unloaded to the next process together with the pallets. It is possible to improve workability in the post-process.
[0057]
When the substrate is transferred to the second station, a substrate separating means for pressing the substrate downward and separating the substrate from the suction means is provided in the suction unit, so that the substrate held by suction can be reliably transferred to the second station. Becomes possible.
[0058]
When the substrate is transferred from the first station to the second station by the transfer means, the transfer position of the substrate is shifted by a fixed distance smaller than the interval between the substrates in the front-rear direction or the left-right direction every fixed number of sheets. Since the substrates to be transferred to the second station can be transferred while being shifted by a certain distance in the front-rear direction or the left-right direction, when the substrates are transferred in a stacked state to the second station, the number of stacked substrates can be visually checked. , It is possible to easily estimate the timing of carrying out the substrate from the second station.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a cutting processing system.
FIG. 2 is a side view of an air blowing device.
FIG. 3 is a front view of a slitter.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a main part of a slitter.
FIG. 5 is a plan view of the suction unit.
FIG. 6 is a front view of a fourth transfer table and a suction unit.
FIG. 7 is a right side view of the suction unit.
FIG. 8 is a perspective view of a main part of the interval switching means.
FIG. 9 is a sectional view taken along line AA of FIG. 5;
FIG. 10 is a plan view of a suction unit when a fourth transfer table and three substrates are transferred.
FIG. 11 is an explanatory diagram of a state in which left and right substrates are stacked at an unloading station.
[Explanation of symbols]
1 board 2 ears
3 substrate 4 break
10 cutting processing system 11 first transfer device
12 Cutting device 13 Second transfer device
15 First mounting table 16 Transfer ball
17 Pallet 18 Movement restriction rod
20 suction means 21 suction unit
22 Vertical frame 23 Horizontal frame
24 Elevating means 25 Second mounting table
30 air blowing means 31 mounting member
32 Support rod 33 Support block
34 nozzle support member 35 nozzle
36 Pipe member 37 Arm member
38 Support frame 39 Operation arm
39a Operation rod 39b Operation member
40 Conveyor for back and forth transfer 41 Roller
42 Conveyor for position adjustment 43 Fixed regulating plate
44 Movable regulating plate 45 Cylinder
50 Slitter for Ears 50a Shaft
50b gear 51 cutting slitter
52 Separation roller 53 Separation roller
54 Separation means 55 Horizontal transfer means
56 rotary blade 57 rotary blade
58 Cutter holder 59 Cutter
59a Escape groove
60 transfer roller 61 rear transfer means
62 transfer roller 63 front transfer means
64 Roller conveyor 65 Third mounting table
66 Air outlet 67 Restriction bar
70 suction means 71 suction unit
72 transfer means 73 elevating means
74 Vertical frame 75 Horizontal frame
76 Support base 77 Guide rod
78 Actuator 79 Output rod
80 Top plate 81 Side plate
82 Support frame 83 Movable base
84 pallet 85 interval switching means
86 substrate separating means 87 suction pad
88 Actuator 89 Output rod
90 Support plate 91 Intermediate plate
92 guide rod 93 biasing means
94 Stopper member 95 Frame-shaped frame
96 Holding member
100 guide rod 101 movable member
102 Horizontal plate 103 Support rod
104 adjusting means 105 operating lever
106 Fixed rack 107 Spacer member
110 Left movable rack 111 Guide member
112 Left actuator 115 Right movable rack
116 Guide member 117 Right actuator
120 Guide hole 121 Operating member
122 connecting pin 123 meshing member
124 position switching hole 125 position switching member
126 connecting member
127 Index plunger
128-pin 130 mounting table
131 roller 132 roller conveyor
133 Stopper member
S1 loading station
S2 Positioning station
S3 Receiving station S4 Unloading station

Claims (6)

第1ステーションに並列配置される複数枚の基板をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段を有する吸着ユニットと、
前記吸着ユニットを第1ステーションとそれに隣接する第2ステーションとにわたって移送する移送手段と、
前記吸着ユニットを上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段と、
前記吸着手段により吸着保持した複数枚の基板が相互に一定間隔をあけて移載されるように吸着ユニットに設けた、複数組の吸着手段の間隔を基板の並列方向に切り換える間隔切換手段と、
を備えたことを特徴とする基板の移載装置。
A suction unit having a plurality of sets of suction means for individually suction-holding a plurality of substrates arranged in parallel in the first station;
Transfer means for transferring the suction unit over a first station and a second station adjacent thereto;
Lifting means for raising and lowering the suction unit over a lifting position and a lowering position,
Interval switching means for switching the intervals of a plurality of sets of suction means in a direction parallel to the substrates, provided in the suction unit such that the plurality of substrates sucked and held by the suction means are transferred at a fixed interval from each other;
A substrate transfer device, comprising:
前記間隔切換手段が、吸着ユニットで一度に吸着保持する基板の枚数に応じて吸着手段の連動パターンを変更するパターン変更手段を備えた請求項1記載の基板の移載装置。2. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein said interval switching means includes a pattern changing means for changing an interlocking pattern of the suction means according to the number of substrates to be suctioned and held by the suction unit at one time. 前記間隔切換手段が、基板の並列方向に配置した1本の固定ラックと、固定ラックと略平行に配置した複数本の可動ラックと、複数本の可動ラックを基板の並列方向に個別に移動させる複数のアクチュエータと、1本の固定ラックと複数本の可動ラックに択一的に噛合する噛合部材と、噛合部材をそれに噛合するラックを切換可能に吸着手段に連結する連結手段とを備えた請求項1又は2記載の基板の移載装置。The interval switching means moves one fixed rack arranged in a direction parallel to the substrates, a plurality of movable racks arranged substantially in parallel with the fixed rack, and individually moves the plurality of movable racks in a direction parallel to the substrates. Claims: A plurality of actuators, a meshing member selectively meshing with one fixed rack and a plurality of movable racks, and a linking means for switching the meshing member to a suction means so as to be switchably meshed with the rack. Item 3. The apparatus for transferring a substrate according to Item 1 or 2. 前記吸着ユニットにより一度に移載する基板の枚数に応じた複数のパレットを第2ステーションに設け、各パレットに対して基板を積層状に移載する請求項1〜3のいずれか1項記載の基板の移載装置。The plurality of pallets corresponding to the number of substrates to be transferred at one time by the suction unit are provided in the second station, and the substrates are transferred to each pallet in a stacked manner. Substrate transfer device. 前記第2ステーションに基板を移載するに際して、基板を下側へ押し付けて吸着手段から基板を切り離す基板切離手段を吸着ユニットに設けた請求項1〜4のいずれか1項記載の基板の移載装置。The substrate transfer device according to any one of claims 1 to 4, wherein, when the substrate is transferred to the second station, a substrate separating unit that presses the substrate downward and separates the substrate from the suction unit is provided in the suction unit. Loading device. 前記移送手段により第1ステーションから第2ステーションへ基板を移送する際に、基板の移載位置が一定枚数毎に前後方向或いは左右方向に、基板相互の間隔よりも小さな一定距離だけずれるように移送する請求項1〜5のいずれか1項記載の基板の移載装置。When the substrate is transferred from the first station to the second station by the transfer means, the transfer position of the substrate is shifted by a fixed distance smaller than the distance between the substrates in the front-rear direction or the left-right direction every fixed number of sheets. The substrate transfer device according to any one of claims 1 to 5, wherein:
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102922778A (en) * 2011-08-10 2013-02-13 株式会社安川电机 Packing device
CN111129420A (en) * 2020-01-08 2020-05-08 无锡先导智能装备股份有限公司 Intermediate transfer pitch device
CN111670612A (en) * 2018-01-02 2020-09-15 伊利诺斯工具制品有限公司 Edge locking assembly for stencil printer
CN114347147A (en) * 2022-02-25 2022-04-15 石文清 Intelligent traditional Chinese medicinal material slicing device and method with sorting function

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