JP2004175462A - Work storing device and work storing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work storing device capable of transferring a work without displacement, and performing the processing from cutting the work to storing the same on a tray at a high speed. <P>SOLUTION: A cutting die 1, a pitch converting table 6 and an intermediate loading part are serially mounted along the work transferring direction with difference in level, a first pick-up part 4 holds the work W from the cutting die 1 and a second pick-up part 5 holds the work W from the pitch converting table 6, and the work is synchronously transferred to the pitch converting table 6 and a first slide table 7 to transfer the work W. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する利用分野】
本発明は、基板上に搭載されて半導体チップが樹脂封止されたワークが、個片に切断され収納トレイに収納されるワーク収納装置及びワーク収納方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置は、リードフレーム、樹脂基板、フィルム、テープなどの短冊状の基板上に半導体チップが搭載されたワークが、樹脂封止装置に搬送されて半導体チップが樹脂封止された後、切断装置により個片に切断され、収納トレイに収納されている。
【0003】
例えば、図10乃至図12のワーク収納装置において、搬送レール101に沿って切断型102に搬送されたワーク(基板)は、ダイ102a及びパンチ(図示せず)により例えば2個ずつ個片に切断される。ワークWが、1回打ち抜かれるたびに基板が載置された搬送レール101を図示しない移動機構によりX方向に移動させ、切断型102による次のワークWの打ち抜き動作が行われる。
切断型102の切断動作に合わせて第1のピックアップ103がワークWを吸着保持する。また、第2のピックアップ104がピッチ変換テーブル105より、切断時の向きから90度回転し、かつ収納トレイピッチにピッチ変換されたワークWを吸着保持する(尚、ワークWの種類により、ピッチ変換テーブル105は必要に応じて回転角度を変更する)。そして、ワーク移送方向に所定ピッチを保って一体に支持されている第1、第2のピックアップ103、104をY方向へ移動させて、第1のピックアップ103よりピッチ変換テーブル105へワークWが移載され、第2のピックアップ104よりバッファトレイ106へワークWが各々移載される。尚、切断型102によりワークWの切断が完了したスクラップ(不要な基板)は、シュート111に送り出されて回収される(図11参照)。
【0004】
例えば図10に示す収納トレイ108の短手方向一列分のワーク収納個数が8個であれば、バッファトレイ106には収納トレイ108の短手方向一列分と同様の載置部が二列(16個分)設けられている。また、ワークWを一括して吸着搬送する収納用ピックアップ107には、ワークWを吸着保持する吸着部がバッファトレイ106の載置部と同様に16個設けられている。
図10において、バッファトレイ106は、第2のピックアップ104よりワークWが移載されるたびに段階的に矢印P方向へX−Y移動しながらワークWが順次載置される。バッファトレイ106にワークWが満載されると、収納用ピックアップ107によりワークWを一括して吸着保持し、収納トレイ108へ移送して収納する。空になったバッファトレイ106は、矢印Q方向に戻り、第2のピックアップ104によりワークWの移載を再開するようになっている。
【0005】
また、図12において、収納トレイ108は、トレイ供給部109より1枚ずつ分離されて、支持レール112(図11参照)に支持されながら矢印R方向へ送り出され、収納用ピックアップ107よりワークWが所定量(図10では2列16個分)移載される毎にピッチ送りされる。そして、ワークWの収納が完了すると、トレイ収納部110へ移送されて積載収納される。
【0006】
また、他例として、ワークWを切断型の加工位置で画像認識により位置合わせして打ち抜き、打ち抜かれたワークWをピックアップにより保持してワーク送り方向と直交する方向へ搬送して収納するワーク加工装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。
また、ストッカに積載された出荷用トレイを分離して移載ステーションへ取り出し、移載ローダにより作業トレイからワークを吸着保持して出荷用トレイに移載し、作業トレイを排出ステーションへ排出するワーク移載装置が提案されている(例えば特許文献2参照)。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−228375号(図1)
【特許文献2】
特開平8−157068号(図2)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図10乃至図12に示すワーク収納装置においては、切断されたワークWと収納トレイ108へのワーク間ピッチやワーク移載方向を合わせるため、ピッチ変換テーブル105でピッチ変換を行うと共に90度回転させてからバッファトレイ106に移載するようになっていたので位置ずれが生じ易く、ピッチ変換テーブル105とバッファトレイ106との位置合わせが大変である。
また、切断型102のダイ102a、ピッチ変換テーブル105、バッファトレイ106は同様な高さ位置に設けられている。このため、第1、第2のピックアップ103、104による上下動及び水平動に要する移動ストロークが長く(コの字を描くように移動するため)ワークWの移載に時間がかかり、ワークWの切断からトレイ収納まで時間がかかるという課題があった。
【0009】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、ワークの移載に際し位置ずれが生じ難く、しかもワーク切断からトレイ収納までを高速処理できるワーク収納装置及びワーク収納方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
基板上に搭載された半導体チップが樹脂封止されたワークが、個片に切断され収納トレイに収納されるワーク収納装置において、切断型により個片に切断されたワークを収納トレイピッチに合わせてピッチ変換するピッチ変換部へ移載する第1のピックアップ部と、前記第1のピックアップとは異なる高さ位置に設けられ、前記ピッチ変換部よりワークを保持して中間載置部へ移載する第2のピックアップ部とを備えたワーク移載部と、前記中間載置部に収納トレイピッチで移載されたワークを保持して収納トレイに移載するワーク収納部とを具備し、前記切断型、ピッチ変換部及び中間載置部が互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置され、前記ワーク移載部のうち、第1ピックアップ部が切断型より第2ピックアップ部がピッチ変換部より各々ワークを保持し、同期を取ってピッチ変換部及び中間載置部へ移送して各々ワークの移載が行われることを特徴とする。
また、前記中間載置部には、上位置で第2のピックアップ部よりワークが移載されてワーク収納部へワークを移送し、下位置で元の位置まで戻るように上下方向で矩形移動する第1のスライドテーブルと、第1のスライドテーブルと入れ替わって前進し第2のピックアップ部よりワークが移載されてワーク収納部へワークを移送し、後退して元の位置に戻るように水平方向で矩形移動する第2のスライドテーブルとを備えたことを特徴とする。
また、前記トレイ収納部は、中間載置部よりワークを保持してワーク移載位置に待機する収納トレイへ移載する上下方向及び水平方向へ往復動可能な収納用ピックアップ部と、トレイ供給部に積載された空の収納トレイを1枚ずつワーク収納位置へ送り出し、ワークが収納された収納トレイをトレイ収納部に積載収納する収納トレイ搬送機構とを備えたことを特徴とする。
また、前記収納トレイ搬送機構は、搬送体上に複数の収納トレイを保持して、トレイ供給部とワーク移載位置、ワーク移載位置とトレイ収納部との間を往復動することを特徴とする。
【0011】
また、基板上に搭載された半導体チップが樹脂封止されたワークを、個片に切断し収納トレイに収納するワーク収納方法において、切断型で個片に切断されたワークを収納トレイピッチに合わせてピッチ変換するピッチ変換部へ移載する工程とピッチ変換部でピッチ変換されたワークを中間載置部へ移載する工程とが同期を取って行われる中間移載工程と、前記中間載置部に収納トレイピッチで移載されたワークを保持して収納トレイに移載する工程と、空の収納トレイをワーク移載位置へ供給する供給動作とワークが満載された収納トレイを収納する収納動作とを同期を取って行う収納工程とを含み、前記中間移載工程は、互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置された切断型とピッチ変換部間及びピッチ変換部と中間載置部間で、切断後のワークの向きを変えずに同期を取ってワークの移載を行うことを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るワーク収納装置及びワーク収納方法の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。
図1はワーク収納装置のレイアウト構成を示す平面図、図2は図1のワーク収納装置の正面図及び部分拡大図、図3は図1のワーク収納装置の右側面図、図4は第1、第2のスライドテーブルの移動動作を示すタイミングチャート、図5は収納トレイ搬送機構の搬送動作を示すタイミングチャート、図6乃至図9は収納トレイ搬送機構の動作状態を示す説明図、図13は図2のワーク収納装置の部分拡大図である。
【0013】
図1乃至図3、図6及び図13を参照して、ワーク収納装置の概略構成についてワーク収納方法と共に説明する。本実施の形態は、短冊状の基板(リードフレーム、樹脂基板、フィルム、テープなど)上に複数搭載された半導体チップが樹脂封止されたワークWが、前記基板より個片に切断され収納トレイに収納されるワーク収納装置及びワーク収納方法について説明する。
【0014】
図1において、切断型1は、図示しないパンチとダイ1aとで基板2よりワークWを個片に切断する。基板2は支持レール3にガイドされて切断型1へ搬入される。切断型1は、例えば特許文献1の図6、図7に類似した抜き金型が用いられる。
【0015】
ワーク移載部には、第1、第2のピックアップ部4、5が設けられている。第1のピックアップ部4は、切断型1より切断されたワークWを吸着保持してピッチ変換部であるピッチ変換テーブル6へ移載する。図示しないパンチにはパンチ孔(貫通孔)が形成されており、該パンチ孔より第1のピックアップ部4が進入して切断されたワークWを吸着保持するようになっている。尚、切断後にパンチがダイ1aより退避した後、第1のピックアップ部4が型開きした切断型1に進入してダイ1aより切断されたワークWを吸着保持するようにしても良い。基板2よりワークWが切断されたスクラップ(不要な基板)は、図2に示すシュート1bへ送り出されて回収される。
【0016】
ピッチ変換テーブル6は、例えばワーク載置部6aがシリンダ駆動により収納トレイピッチに合わせて両側へ移動してピッチ変換が行われる。また、第2のピックアップ部5は、第1のピックアップ部4とは異なる高さ位置に設けられ、ピッチ変換テーブル6よりピッチ変換後のワークWを吸着保持して中間載置部に設けられた第1、第2のスライドテーブル7、8へ移載する。第1、第2のピックアップ部4、5は、ピックアップ支持板9に移送方向に所定ピッチを保って一体に支持されている。ピックアップ支持板9は、上下方向に設けられたレール部10が移動体11に設けられた直動ガイド12に連繋して保持されている。図示しないサーボモータを作動させると、ピックアップ支持板9が移動体11に対して上下方向へ移動して第1、第2のピックアップ部4、5が上下動する。また、図2において、移動体11はサーボモータに回転駆動されるボールねじ13に連繋して水平方向へ往復動する。
【0017】
図2において、中間載置部には第1、第2のスライドテーブル7、8が設けられている。第1のスライドテーブル7は、上位置で第2のピックアップ部5よりワークWを移載されてワーク収納部へ移送し、下位置へ降下して元の位置まで戻るように上下方向で矩形移動する。第2のスライドテーブル8は、第1のスライドテーブル7と入れ替わって前進し、第2のピックアップ部5よりワークWを移載されてワーク収納部へ移送し、後退して元の位置に戻るように水平方向で矩形移動する。
【0018】
図13において、第1のスライドテーブル7は、ワークWを載置する第1のテーブル本体7aがワーク移送方向と直交する方向に設けられたガイドレール7bに連繋して設けられている。また、第1のテーブル本体7aにはプーリ14、15間に掛け渡された無端状のタイミングベルト16の一部が連結されている。図1において、第1の駆動モータ17のモータ軸に連繋するプーリ14が回転駆動されると、タイミングベルト16を介して第1のテーブル本体7aがガイドレール7bに沿って移動するようになっている。
【0019】
また、図13において、ガイドレール7bや第1の駆動モータ17により回転駆動されるプーリ14、15などの駆動機構を支持する第1のテーブル支持体7cはテーブル上下動シリンダ18のシリンダロッドに連繋している。このテーブル上下動シリンダ18を作動させることにより、第1のテーブル本体7aの位置を第2のピックアップ部5よりワークWを移載される受渡し位置(上位置)と、第2のスライドテーブル8との干渉を避けるための退避位置(下位置)との間を上下動する。
【0020】
図13において、第2のスライドテーブル8の構成について説明する。上面側にワークWを載置する第2のテーブル本体8aの下面側にはガイドレール8dがワーク移送方向に沿って一体に形成されている。ガイドレール8dは第2のテーブル支持体8c上に設けられた固定ガイド8eに連繋している。また、第2のテーブル本体8aは、第2のテーブル支持体8cに設けられた図示しないエアシリンダのシリンダロッドに連繋している。このエアシリンダを作動させると、第2のテーブル本体8aが固定ガイド8eに案内されて前後動し、第2のピックアップ部5よりワークWを移載される前進位置と第1のスライドテーブル7との干渉を回避する後退位置との間を前後動する。
【0021】
また、図13において、第2のテーブル支持体8cは、ガイドレール7bと平行に設けられたガイドレール8bに連繋している。ガイドレール8bは、ベースプレート23上に立設された支持ポスト24に支持されている。第2のテーブル支持体8cにはプーリ19、20間に掛け渡された無端状のタイミングベルト21の一部が連結されている。第2の駆動モータ22のモータ軸に連繋するプーリ19が回転駆動されると、タイミングベルト21を介して第2のテーブル支持体8cがガイドレール8bに沿って移動するようになっている(図1参照)。
【0022】
図1において、ワーク収納部には、収納用ピックアップ部25が設けられている。収納用ピックアップ部25は、第1、第2のスライドテーブル7、8に収納トレイピッチで移載されたワークWを吸着保持して収納トレイ26に収納する。図2において、収納用ピックアップ部25は、移動体27に設けられた収納用モータ28のボールねじに連繋して支持されており、収納用モータ28を回転駆動することにより上下動して第1、第2のスライドテーブル7、8からワークWを吸着保持する。また、移動体27は図示しないサーボモータに回転駆動されるプーリ間に掛け渡されたタイミングベルト(或いはサーボモータに回転駆動されるボールねじなど)に連繋している。収納用ピックアップ部25は、第1、第2のスライドテーブル7、8の真上に相当するワーク保持位置から、収納トレイ26上のワーク移載位置との間をガイド板29に沿って水平方向へ往復動する。
【0023】
図2及び図13において、前述した切断型1(ダイ1a)、ピッチ変換テーブル6及び第1、第2のスライドテーブル7、8が互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置されている。即ち、切断型1より第1、第2のスライドテーブル7、8に向かって高さ位置が高くなるように配置されている。また、これに合わせて第1、第2のピックアップ4、5の高さ位置も第1のピックアップ4より第2のピックアップ5の高さ位置が高くなるように設けられている。第1ピックアップ部4が切断型1より第2ピックアップ部5がピッチ変換テーブル6より各々ワークWを吸着保持して上動した位置(高低差を有する位置)で同期を取って移動体11が水平方向に移動して、ピッチ変換テーブル6及び第1のスライドテーブル7(若しくは第2のスライドテーブル8)上へ到達すると、僅かに下動してワークWの移載が行われる。尚、第1、第2のピックアップ4、5はピックアップ支持板9に一体に支持されているが、同期を取って上下動する構成であれば別体で支持されていても良い。
【0024】
また、図3において、ワーク収納部には、空の収納トレイ26を積載収納したトレイ供給部30、ワークWが収納された収納トレイ26を積載収納するトレイ収納部31が設けられている。また、トレイ供給部30に積載された空の収納トレイ26を1枚ずつワーク移載位置へ送り出し、ワークWが収納された収納トレイ26をトレイ収納部31に積載収納する収納トレイ搬送機構32が設けられている。収納トレイ搬送機構32は、搬送体33上に複数の収納トレイ26を保持して、トレイ供給部30とワーク移載位置、ワーク移載位置とトレイ収納部31との間を交互に移動するようになっている。
【0025】
図1において、トレイ供給部30には空の収納トレイ26を積載収納するガイド枠34が設けられており、トレイ収納部31にはワークが載置された収納トレイ26を積載収納するガイド枠35が設けられている。ガイド枠34、35は収納トレイ26を長手方向に搬送することも或いは短手方向に搬送することもできるように8箇所に設けられている。また、ガイド枠34、35の間隔は収納トレイ26のサイズに応じて調整できるようになっている。また、トレイ供給部30では、最下側より空の収納トレイ26を1枚ずつ分離して供給するため、分離用シリンダ36により作動する分離爪37が四隅に設けられている。また、トレイ収納部31では、最下側よりワークWが載置された収納トレイ26を1枚ずつ積み上げるため、上方向には回動するが下方向には回動しない分離爪38が収納トレイ26の収納形態に応じて四隅を支持可能に合計8箇所に設けられている。
【0026】
また、図3においてトレイ供給部30の下部には供給側シリンダ39が設けられており、シリンダロッド先端にトレイ受け部材40が連繋している。供給側シリンダ39を作動させてトレイ受け部材40を上動させた位置で最下側の収納トレイ26のみを受け取って、下動した際に搬送体33へ受け渡すように構成されている。尚、トレイ供給部30に残ったトレイは、分離用シリンダ36により作動する分離爪37に支持されたままとなる。
【0027】
また、図3においてトレイ収納部31の下部には収納側シリンダ41が設けられており、シリンダロッド先端にトレイ受け部材42が連繋している。収納側シリンダ41を作動させてトレイ受け部材42を上動させることにより、搬送体33より搬送された収納トレイ26を受け取って上動させ、トレイ収納部31へ最下側から分離爪38を上側へ回動させて支持させることにより、収納トレイ26が下側より順次積み上げ収納されるようになっている。
【0028】
また、図3において、トレイ供給部30とトレイ収納部31との間には、搬送レール部43が収納ベース54上に設けられている。搬送レール部43には搬送体33が直動ガイド44を介して移動可能に連繋している。搬送体33は搬送体フレーム45に搬送用上下動シリンダ46が設けられている。この搬送用上下動シリンダ46のシリンダロッド先端には収納トレイ26を複数(本実施例では2箇所に)載置可能な搬送テーブル47が連繋している、搬送テーブル47は、テーブル下面側に垂設されたガイドポスト48が搬送体フレーム45に立設された円筒状のポストガイド部49にガイドされて上下動する(図6参照)。
また、図2において、搬送体フレーム45には、図示しないプーリ間に掛け渡されたタイミングベルト50の一部が連結している。図示しないサーボモータによりプーリを回転駆動させると、搬送体33は搬送レール部43に沿って移動するようになっている。
【0029】
また、図6において、搬送テーブル47には、トレイ突き当て部51が本実施例では2箇所に設けられている。また、搬送テーブル47には、突き当てシリンダ52のシリンダロッドに連繋して作動するトレイ押動部53が2箇所に設けられている。搬送テーブル47上に載置された収納トレイ26は、突き当てシリンダ52を作動させてトレイ押動部53により収納トレイ26の一端側が押動され、他端側がトレイ突き当て部51に突き当てられて搬送テーブル47上に保持される。
【0030】
次に、第1、第2のスライドテーブル7、8の移動動作について図4のタイミングチャートを参照して説明する。上段が第1のスライドテーブル7の上下位置を示すもので、下段が第2のスライドテーブル8の前後位置を示すものである。第2のピックアップ部5により第1のスライドテーブル7へワークWが移載されている間は、第2のスライドテーブル8は後位置で待機している。第1のスライドテーブル7は、第2のピックアップ部5によりワークWが移載されるたびに第1の駆動モータ17を間欠駆動してピッチ送りする。そして、第1のスライドテーブル7にワークWが満載されると、第1のスライドテーブル7は収納用ピックアップ部25の下方まで移動する。次に、第1のスライドテーブル7より収納用ピックアップ部25へワークWを受け渡すと、テーブル上下シリンダ18を作動させて第1のスライドテーブル7を下動させ、第1の駆動モータ17を逆転駆動して元の位置へ戻す。このとき第1のスライドテーブル7は第2のスライドテーブル8の下方に位置する(図13参照)。
【0031】
第1のスライドテーブル7へのワークWの載置が完了すると、該第1のスライドテーブル7に替わって、図示しないシリンダを作動させて第2のスライドテーブル8が前位置(図13参照)へ移動し、第2のピックアップ部5によりワークWが移載される。第2のスライドテーブル8は、第2のピックアップ部5によりワークWが移載されるたびに第2の駆動モータ22を間欠駆動してピッチ送りする。そして、前述した第1のスライドテーブル7と同様に第2のスライドテーブル8より収納用ピックアップ部25へワークWを受け渡すと、図示しないシリンダを作動させて第2のスライドテーブル8を後位置へ移動させ、第2の駆動モータ22を逆転駆動して元の位置へ戻す。第2のスライドテーブル8の移動後、下方に待機していた第1のスライドテーブル7が上昇し、以上の動作を繰り返しながら中間移載部におけるワークWの移載が連続して行われる。
【0032】
次に、ワーク収納部における収納トレイ26の搬送動作について図5のタイミングチャート及び図6乃至図9に示す収納トレイ搬送機構32の動作状態図を参照しながら説明する。先ず、搬送体33により収納トレイ26がワーク移載位置に最初の1枚だけセットされる場合の動作について説明する。
【0033】
図6において、搬送体33がトレイ供給部30側にあり、搬送テーブル47のトレイ載置部47a、47bのうちトレイ載置部47aがトレイ供給部30の真下に位置している。この状態で、供給側シリンダ39を作動させてトレイ受け部材40をトレイ供給部30の真下まで上動させる。そして、分離用シリンダ36により分離爪37を一端退避させ再度前進させると、トレイ供給部30に積載された空の収納トレイ26のうち最下側の1枚のみがトレイ受け部材40に受け渡され、残りの収納トレイ26が分離爪37に再度支持される。そして、供給側シリンダ39を作動させてトレイ受け部材40を下動すると搬送テーブル47のトレイ載置部47aに収納トレイ26が受け渡される。尚、トレイ受け部材40の上下動に際し、搬送テーブル47とは干渉しない形状に形成されているものとする(図5;ステップS1参照)。
【0034】
トレイ載置部47aに載置された収納トレイ26は、突き当てシリンダ52を作動させてトレイ押動部52とトレイ突き当て部51との間に保持されたまま、図示しないサーボモータを起動して搬送体33をトレイ収納部31側へ搬送レール部43に沿って移動させる。そして、トレイ載置部47aがワーク移載位置の真下位置で、搬送用上下動シリンダ46を作動させて搬送テーブル47を上動させる。そして、突き当てシリンダ52を作動させてトレイ押動部52とトレイ突き当て部51とによる保持状態を解除すると共に、サイドガイドレール55に設けられた図示しないチャック用シリンダに保持される(図5;ステップS2参照)。
【0035】
そして、上下動シリンダ46を作動させて搬送テーブル47を下動させた後、図示しないサーボモータを起動して搬送体33を元のトレイ供給部30側へ搬送レール部43に沿って移動させて図6に示すように1枚目の収納トレイ26のワーク移載位置へのセットが完了する。
【0036】
図7において、再度供給側シリンダ39を上下動させてトレイ受け部材40にトレイ供給部30から最下側の空の収納トレイ26をトレイ受け部材40に受け渡され、搬送テーブル47のトレイ載置部47aに収納トレイ26が受け渡される。トレイ載置部47aに載置された収納トレイ26は、突き当てシリンダ52を作動させることによりトレイ押動部52とトレイ突き当て部51との間に保持される。
【0037】
また、図7において、ワーク移載位置で搬送テーブル47のトレイ載置部47bの上方でサイドガイドレール55に保持された収納トレイ26には、収納用ピックアップ部25によりワークWが例えば1列毎に移載される。そして、収納トレイ26にワークWの移載が完了すると、搬送用上下動シリンダ46を作動させて搬送テーブル47を上動させ、サイドガイドレール55に設けられた図示しないチャック用シリンダを解除した後、サイドガイドレール55よりトレイ載置部47bに収納トレイ26が受け渡される(図5;ステップS3参照)。
【0038】
次いで、トレイ載置部47bの突き当てシリンダ52を作動させてトレイ押動部52とトレイ突き当て部51とで収納トレイ26を保持し、図示しないサーボモータを起動して搬送体33をトレイ収納部31側へ搬送レール部43に沿って移動させる。
【0039】
図8において、搬送テーブル47のトレイ載置部47bに載置された収納トレイ26は、トレイ収納部31の真下に移動し、トレイ載置部47aに載置された空の収納トレイ26がワーク移載位置の真下位置に移動している。この状態で、トレイ載置部47a及び47bの突き当てシリンダ52を作動させてトレイ押動部52とトレイ突き当て部51とによる各収納トレイ26の保持状態を解除すると同時にサイドガイドレール55に設けられた図示しないチャック用シリンダにトレイ載置部47aの空の収納トレイ26が保持される。そして、図9に示すように収納側シリンダ41を作動させてトレイ受け部材42が上動し、トレイ載置部47bより収納トレイ26を受け取り更に上動してトレイ収納部31の下側より分離爪38を一旦上側に回動させて収納トレイ26が乗り越えるまで上動させて収納トレイ26は分離爪38により支持される。尚、トレイ受け部材42の上下動に際し、搬送テーブル47とは干渉しない形状に形成されているものとする(図5;ステップS4参照)。
【0040】
そして、上下動シリンダ46を作動させて搬送テーブル47を下動させた後、図示しないサーボモータを起動して搬送体33を元のトレイ供給部30側へ搬送レール部43に沿って移動させる。以下、同様にしてトレイ供給、ワーク移載、トレイ収納の一連の動作が繰り返し行われる(図5;ステップS5、S6、S7…参照)。このように、空トレイの供給とワーク積載トレイの回収、ワーク積載トレイの収納と空トレイのセットとを交互に行うことで、切断回収されたワークの収納動作を高速で連続して行うことができる。尚、収納用ピックアップ部25によるワークWの収納トレイ26への移載動作は1列毎に限らずで、数個単位であっても良い。
【0041】
上述したワーク収納装置及びワーク収納方法を用いれば、切断型1、ピッチ変換テーブル6及び第1、第2のスライドテーブル7、8が互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置されているので、各工程間の移動ピッチを縮小して配置でき、しかもワークWを回転させることなく切断された向きのまま移送できるので位置ずれがなく、ワークの種類が替わっても、ピッチ変換のみで対応することができる。
また、第1ピックアップ部4と第2のピックアップ部5とが異なる高さ位置で一体に支持されているので、第1、第2のピックアップ部4、5の上下方向及び水平方向への移動量が少なくワークWの移載が高速に行える。例えば、従来1分間にピックアップが70〜80ショット(回数)分のワークWの移送が可能であったが、本実施例では、1分間に110〜120ショット(回数)分のワークWの移送が可能になった。
また、上下方向で矩形移動する第1のスライドテーブル7と、第1のスライドテーブル7と入れ替わって水平方向で矩形移動する第2のスライドテーブル8とを併用することで、切断後のワークWを効率良く回収する中間載置部を形成できる。
また、収納用ピックアップ部25によりワークWが移載される収納トレイ26のワーク移載位置への供給及び回収が、収納トレイ搬送機構32により搬送体33上に複数の収納トレイ26を保持して、トレイ供給部30とワーク移載位置、ワーク移載位置とトレイ収納部31との間を交互に移動して行われるので、ワーク移載位置への収納トレイ26の供給及び回収を高速に連続して行うことができる。
従って、互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置された切断型とピッチ変換部間及びピッチ変換部と中間載置部間で切断後のワークWの向きを変えずにワークWの移載が同期を取って行われるので、ワークWの切断からピッチ変換を経て収納トレイ26への収納されるまでの一連の作業を高速に行える。
【0042】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、ワークの種類や、ピックアップ部により保持するワークの数や、搬送体により搬送可能な収納トレイ26の数や搬送方向などは任意に変更可能であるなど、法の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【0043】
【発明の効果】
本発明に係るワーク収納装置及びワーク収納方法を用いれば、切断型、ピッチ変換部及び中間載置部が互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置されているので、各工程間の移動ピッチを縮小して配置でき、しかもワークを回転させることなく切断された向きのまま移送できるので位置ずれがなく、ワークの種類が替わっても、ピッチ変換のみで対応することができる。
また、第1ピックアップ部と第2のピックアップ部とが異なる高さ位置で一体に支持されているので、第1、第2のピックアップ部の上下方向及び水平方向への移動量が少なくワークの移載が高速に行える。
また、上下方向で矩形移動する第1のスライドテーブルと、第1のスライドテーブルと入れ替わって水平方向で矩形移動する第2のスライドテーブルとを併用することで、切断後のワークを効率良く回収する中間載置部を形成できる。
また、収納用ピックアップ部によりワークが移載される収納トレイのワーク移載位置への供給及び回収が、収納トレイ搬送機構により搬送体上に複数の収納トレイを保持しトレイ供給部とワーク移載位置、ワーク移載位置とトレイ収納部との間を交互に移動して行われるので、ワーク移載位置への収納トレイの供給及び回収を高速に連続して行うことができる。
従って、互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置された切断型とピッチ変換部間及びピッチ変換部と中間載置部間で切断後のワークの向きを変えずにワークの移載が同期を取って行われるので、ワークの切断からピッチ変換を経て収納トレイへの収納までの一連の作業を高速に行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】ワーク収納装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図2】図1のワーク収納装置の正面図である。
【図3】図1のワーク収納装置の右側面図である。
【図4】第1、第2のスライドテーブルの移動動作を示すタイミングチャートである。
【図5】収納トレイ搬送機構の搬送動作を示すタイミングチャートである。
【図6】収納トレイ搬送機構の動作状態を示す説明図である。
【図7】収納トレイ搬送機構の動作状態を示す説明図である。
【図8】収納トレイ搬送機構の動作状態を示す説明図である。
【図9】収納トレイ搬送機構の動作状態を示す説明図である。
【図10】従来のワーク収納装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図11】図10のワーク収納装置の正面図である。
【図12】図10のワーク収納装置の右側面図である。
【図13】図2のワーク収納装置の部分拡大図である。
【符号の説明】
W ワーク
1 切断型
1a ダイ
1b シュート
2 基板
3 支持レール
4 第1のピックアップ部
5 第2のピックアップ部
6 ピッチ変換テーブル
6a ワーク載置部
7 第1のスライドテーブル
7a 第1のテーブル本体
7b、8b、8d ガイドレール
7c 第1のテーブル支持体
8 第2のスライドテーブル
8a 第2のテーブル本体
8c 第2のテーブル支持体
8e 固定ガイド
9 ピックアップ支持板
10 レール部
11 27 移動体
12、44 直動ガイド
13 ボールねじ
14、15、19、20 プーリ
16、21、50 タイミングベルト
17 第1の駆動モータ
18 テーブル上下動シリンダ
22 第2の駆動モータ
23 ベースプレート
24 支持ポスト
25 収納用ピックアップ部
26 収納トレイ
28 収納用モータ
29 ガイド板
30 トレイ供給部
31 トレイ収納部
32 収納トレイ搬送機構
33 搬送体
34、35 ガイド枠
36 分離用シリンダ
37、38 分離爪
39 供給側シリンダ
40、42 トレイ受け部材
41 収納側シリンダ
43 搬送レール部
45 搬送体フレーム
46 搬送用上下動シリンダ
47 搬送テーブル
48 ガイドポスト
49 ポストガイド部
51 トレイ突き当て部
52 突き当てシリンダ
53 トレイ押動部
54 収納用ベース
55 サイドガイドレール
[0001]
FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a work storage device and a work storage method in which a work mounted on a substrate and having a semiconductor chip sealed with a resin is cut into individual pieces and stored in a storage tray.
[0002]
[Prior art]
In semiconductor devices, a work in which a semiconductor chip is mounted on a strip-shaped substrate such as a lead frame, a resin substrate, a film, or a tape is transported to a resin sealing device, and the semiconductor chip is sealed with a resin. , And stored in a storage tray.
[0003]
For example, in the work storage device of FIGS. 10 to 12, the work (substrate) transferred to the cutting die 102 along the transfer rail 101 is cut into, for example, two pieces by a die 102a and a punch (not shown). Is done. Each time the work W is punched once, the transport rail 101 on which the substrate is placed is moved in the X direction by a moving mechanism (not shown), and the next work W is punched by the cutting die 102.
The first pickup 103 sucks and holds the work W in accordance with the cutting operation of the cutting die 102. Further, the second pickup 104 is rotated by 90 degrees from the direction at the time of cutting from the pitch conversion table 105 and sucks and holds the work W whose pitch has been converted to the storage tray pitch (the pitch conversion is performed depending on the type of the work W). The rotation angle of the table 105 is changed as needed). Then, the first and second pickups 103 and 104, which are integrally supported while maintaining a predetermined pitch in the work transfer direction, are moved in the Y direction, and the work W is transferred from the first pickup 103 to the pitch conversion table 105. The work W is transferred from the second pickup 104 to the buffer tray 106. The scrap (unnecessary substrate) from which the cutting die 102 has completed cutting the work W is sent out to the chute 111 and collected (see FIG. 11).
[0004]
For example, if the number of workpieces stored in one row in the short direction of the storage tray 108 shown in FIG. 10 is eight, the buffer tray 106 has two rows (16 rows) of mounting units similar to one row in the short direction of the storage tray 108. Individual). Further, the storage pickup 107 that collectively sucks and transports the work W is provided with sixteen suction parts that suck and hold the work W in the same manner as the mounting part of the buffer tray 106.
In FIG. 10, each time the work W is transferred from the second pickup 104, the work W is sequentially placed on the buffer tray 106 while moving XY in the arrow P direction stepwise. When the work W is fully loaded on the buffer tray 106, the work W is collectively sucked and held by the storage pickup 107 and transferred to the storage tray 108 for storage. The empty buffer tray 106 returns in the direction of the arrow Q, and the second pickup 104 resumes the transfer of the workpiece W.
[0005]
12, the storage trays 108 are separated one by one from the tray supply unit 109 and sent out in the direction of arrow R while being supported by the support rails 112 (see FIG. 11). Every time a predetermined amount (in FIG. 10, two rows of 16 pieces) is transferred, the sheet is pitch-fed. Then, when the storage of the work W is completed, the work W is transferred to the tray storage unit 110 and is stacked and stored.
[0006]
Further, as another example, a workpiece processing in which the workpiece W is aligned and punched at the processing position of the cutting die by image recognition, the punched workpiece W is held by a pickup, and is conveyed and stored in a direction orthogonal to the workpiece feeding direction. An apparatus has been proposed (for example, see Patent Document 1).
In addition, the work tray which separates the shipping tray loaded on the stocker to the transfer station, suctions and holds the work from the work tray by the transfer loader, transfers the work to the shipping tray, and discharges the work tray to the discharge station. A transfer device has been proposed (for example, see Patent Document 2).
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-2000-228375 (FIG. 1)
[Patent Document 2]
JP-A-8-157068 (FIG. 2)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In the work storage device shown in FIGS. 10 to 12, in order to match the pitch between the cut work W and the work to the storage tray 108 and the work transfer direction, the pitch is converted by the pitch conversion table 105 and rotated by 90 degrees. Since the sheet is first transferred to the buffer tray 106, a positional shift is likely to occur, and it is difficult to align the pitch conversion table 105 with the buffer tray 106.
The die 102a, the pitch conversion table 105, and the buffer tray 106 of the cutting die 102 are provided at the same height. For this reason, the moving stroke required for the vertical movement and the horizontal movement by the first and second pickups 103 and 104 is long (because it moves in a U-shape), and it takes time to transfer the work W, There is a problem that it takes time from cutting to tray storage.
[0009]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a work storage device and a work storage method that solve the above-described problems of the prior art and are less likely to cause positional deviation when transferring a work, and that can perform high-speed processing from work cutting to tray storage. .
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
In a work storage device in which a work in which a semiconductor chip mounted on a substrate is sealed with a resin is cut into individual pieces and stored in a storage tray, the work cut into individual pieces by a cutting die is adjusted to a storage tray pitch. A first pickup unit to be transferred to a pitch conversion unit for converting the pitch, and a first pickup unit provided at a different height from the first pickup unit, and a work held by the pitch conversion unit to be transferred to an intermediate mounting unit. A work transfer unit having a second pickup unit; and a work storage unit configured to hold the work transferred to the intermediate mounting unit at a storage tray pitch and transfer the work to the storage tray. The mold, the pitch conversion unit and the intermediate mounting unit are arranged in series at different height positions along the work transfer direction, and a first pickup unit of the work transfer unit is a second pickup from the cutting die. Department holds each workpiece from the pitch conversion unit, characterized in that each transferred to the pitch conversion unit and the intermediate mounting portion synchronized transfer of the work is performed.
In addition, the work is transferred from the second pickup unit to the intermediate placement unit at the upper position, and the work is transferred to the work storage unit. The work moves vertically in the vertical direction so as to return to the original position at the lower position. The first slide table is replaced with the first slide table and moves forward, and the work is transferred from the second pickup unit to the work storage unit, and then moved backward to return to the original position. And a second slide table that moves in a rectangle.
The tray storage unit includes a storage pickup unit that vertically reciprocates in a vertical direction and a horizontal direction to transfer a work to a storage tray that stands by at a work transfer position while holding a work from an intermediate mounting unit, and a tray supply unit. And a storage tray transport mechanism for sending out the empty storage trays stacked on the tray one by one to the work storage position, and loading and storing the storage trays storing the works in the tray storage unit.
Further, the storage tray transfer mechanism holds a plurality of storage trays on a transfer body and reciprocates between the tray supply unit and the work transfer position, and between the work transfer position and the tray storage unit. I do.
[0011]
Also, in the work storage method in which the work in which the semiconductor chip mounted on the substrate is sealed with resin is cut into individual pieces and stored in the storage tray, the work cut into pieces by the cutting die is adjusted to the storage tray pitch. An intermediate transfer step in which the step of transferring to a pitch conversion unit that performs pitch conversion and the step of transferring the work whose pitch has been converted by the pitch conversion unit to an intermediate mounting unit are performed in synchronization with each other; Of holding the workpieces transferred to the storage tray at the storage tray pitch, transferring the empty storage tray to the work transfer position, and storing the storage tray full of workpieces And a storage step of performing the operation in synchronization with the intermediate transfer step, wherein the intermediate transfer step includes a cutting die and a pitch conversion unit and a pitch conversion unit that are arranged in series along the workpiece transfer direction at different height positions. And inside Between mounting portion, and performs transfer of the workpiece in synchronism without changing the orientation of the workpiece after the cutting.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of a work storage device and a work storage method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
1 is a plan view showing a layout configuration of the work storage device, FIG. 2 is a front view and a partially enlarged view of the work storage device of FIG. 1, FIG. 3 is a right side view of the work storage device of FIG. 1, and FIG. FIG. 5 is a timing chart illustrating the operation of moving the second slide table, FIG. 5 is a timing chart illustrating the conveyance operation of the storage tray conveyance mechanism, FIGS. 6 to 9 are explanatory diagrams illustrating the operation state of the storage tray conveyance mechanism, and FIG. FIG. 3 is a partially enlarged view of the work storage device of FIG. 2.
[0013]
With reference to FIGS. 1 to 3, FIG. 6, and FIG. 13, a schematic configuration of the work storage device will be described together with a work storage method. In this embodiment, a work W in which a plurality of semiconductor chips mounted on a strip-shaped substrate (a lead frame, a resin substrate, a film, a tape, etc.) are sealed with a resin is cut into individual pieces from the substrate, and a storage tray is formed. A work storage device and a work storage method stored in a storage device will be described.
[0014]
In FIG. 1, a cutting die 1 cuts a workpiece W from a substrate 2 by a punch and a die 1a (not shown). The substrate 2 is guided into the cutting die 1 by being guided by the support rail 3. As the cutting die 1, for example, a punching die similar to FIGS. 6 and 7 of Patent Document 1 is used.
[0015]
First and second pickup units 4 and 5 are provided in the work transfer unit. The first pickup unit 4 sucks and holds the work W cut by the cutting die 1 and transfers the work W to a pitch conversion table 6 which is a pitch conversion unit. A punch hole (through hole) is formed in a punch (not shown), and the first pickup unit 4 enters through the punch hole to suck and hold the cut workpiece W. Note that, after the punch is retracted from the die 1a after the cutting, the first pickup unit 4 may enter the opened cutting die 1 to suck and hold the work W cut from the die 1a. The scrap (unnecessary substrate) from which the work W is cut from the substrate 2 is sent out to the chute 1b shown in FIG. 2 and collected.
[0016]
In the pitch conversion table 6, for example, the work placement unit 6a is moved to both sides in accordance with the storage tray pitch by driving the cylinder to perform pitch conversion. Further, the second pickup unit 5 is provided at a different height from the first pickup unit 4, and is provided on the intermediate placement unit for sucking and holding the work W after the pitch conversion from the pitch conversion table 6. It is transferred to the first and second slide tables 7 and 8. The first and second pickup units 4 and 5 are integrally supported by a pickup support plate 9 at a predetermined pitch in the transfer direction. The pickup support plate 9 has a rail portion 10 provided in the up-down direction connected to a linear guide 12 provided on a moving body 11 and held. When a servo motor (not shown) is operated, the pickup support plate 9 moves up and down with respect to the moving body 11 and the first and second pickup units 4 and 5 move up and down. In FIG. 2, the moving body 11 reciprocates in a horizontal direction in connection with a ball screw 13 which is driven to rotate by a servomotor.
[0017]
In FIG. 2, first and second slide tables 7 and 8 are provided in the intermediate mounting portion. The first slide table 7 moves the work W from the second pickup unit 5 at the upper position, transfers the work W to the work storage unit, and moves vertically downward so as to descend to the lower position and return to the original position. I do. The second slide table 8 moves forward in place of the first slide table 7, so that the work W is transferred and transferred from the second pickup unit 5 to the work storage unit, and then retreats to the original position. Move horizontally in the horizontal direction.
[0018]
In FIG. 13, the first slide table 7 is provided so as to be linked to a guide rail 7b provided with a first table main body 7a on which the work W is placed, in a direction orthogonal to the work transfer direction. Further, a part of an endless timing belt 16 stretched between pulleys 14 and 15 is connected to the first table body 7a. In FIG. 1, when the pulley 14 connected to the motor shaft of the first drive motor 17 is driven to rotate, the first table main body 7a moves along the guide rail 7b via the timing belt 16. I have.
[0019]
In FIG. 13, a first table support 7 c that supports a drive mechanism such as pulleys 14 and 15 that are driven to rotate by a guide rail 7 b and a first drive motor 17 is connected to a cylinder rod of a table vertical movement cylinder 18. are doing. By operating the table vertical movement cylinder 18, the position of the first table main body 7a is changed to the transfer position (upper position) where the workpiece W is transferred from the second pickup unit 5, and the second slide table 8 is moved. Up and down between the retracted position (lower position) to avoid the interference of the robot.
[0020]
Referring to FIG. 13, the configuration of the second slide table 8 will be described. A guide rail 8d is integrally formed on the lower surface of the second table main body 8a on which the work W is placed on the upper surface along the work transfer direction. The guide rail 8d is linked to a fixed guide 8e provided on the second table support 8c. Further, the second table main body 8a is connected to a cylinder rod of an air cylinder (not shown) provided on the second table support 8c. When the air cylinder is actuated, the second table body 8a is guided by the fixed guide 8e to move back and forth, and the forward position where the work W is transferred from the second pickup unit 5, the first slide table 7, and the like. To move back and forth between the retracted position to avoid interference.
[0021]
In FIG. 13, the second table support 8c is linked to a guide rail 8b provided in parallel with the guide rail 7b. The guide rail 8 b is supported by a support post 24 erected on the base plate 23. A part of an endless timing belt 21 stretched between pulleys 19 and 20 is connected to the second table support 8c. When the pulley 19 connected to the motor shaft of the second drive motor 22 is driven to rotate, the second table support 8c moves along the guide rail 8b via the timing belt 21 (FIG. 1).
[0022]
In FIG. 1, a pickup unit 25 for storage is provided in the work storage unit. The storage pickup unit 25 sucks and holds the work W transferred to the first and second slide tables 7 and 8 at the storage tray pitch and stores the work W in the storage tray 26. In FIG. 2, the storage pickup unit 25 is supported in connection with a ball screw of a storage motor 28 provided on the moving body 27, and moves up and down by rotating the storage motor 28 so as to move to the first position. The work W is sucked and held from the second slide tables 7 and 8. Further, the moving body 27 is connected to a timing belt (or a ball screw or the like driven to rotate by the servo motor) stretched between pulleys driven to rotate by a servo motor (not shown). The storage pickup unit 25 moves in a horizontal direction along a guide plate 29 from a work holding position corresponding to a position directly above the first and second slide tables 7 and 8 to a work transfer position on the storage tray 26. Reciprocate to
[0023]
In FIGS. 2 and 13, the cutting die 1 (die 1a), the pitch conversion table 6, and the first and second slide tables 7, 8 are arranged in series at different height positions along the workpiece transfer direction. Have been. That is, they are arranged so that the height position becomes higher from the cutting die 1 toward the first and second slide tables 7 and 8. Also, the height positions of the first and second pickups 4 and 5 are provided so that the height position of the second pickup 5 is higher than that of the first pickup 4. The first pickup unit 4 is synchronized with the position where the second pickup unit 5 moves upward by holding the work W by suction from the pitch conversion table 6 by the cutting die 1 (the position having a height difference), and the moving body 11 is moved horizontally. When the workpiece W moves in the direction and reaches the pitch conversion table 6 and the first slide table 7 (or the second slide table 8), the work W is slightly moved downward and the work W is transferred. Although the first and second pickups 4 and 5 are integrally supported by the pickup support plate 9, they may be separately supported as long as they vertically move in synchronization.
[0024]
In FIG. 3, the work storage unit is provided with a tray supply unit 30 in which empty storage trays 26 are loaded and stored, and a tray storage unit 31 in which the storage trays 26 in which work W is stored are loaded and stored. Further, a storage tray transport mechanism 32 for sending out the empty storage trays 26 loaded on the tray supply unit 30 one by one to the work transfer position and loading and storing the storage tray 26 storing the work W in the tray storage unit 31 is provided. Is provided. The storage tray transport mechanism 32 holds a plurality of storage trays 26 on a transport body 33 and alternately moves between the tray supply unit 30 and the work transfer position, and between the work transfer position and the tray storage unit 31. It has become.
[0025]
In FIG. 1, a guide frame 34 for stacking and storing empty storage trays 26 is provided in the tray supply unit 30, and a guide frame 35 for stacking and storing the storage tray 26 on which the work is mounted is provided in the tray storage unit 31. Is provided. The guide frames 34 and 35 are provided at eight positions so that the storage tray 26 can be transported in the longitudinal direction or in the lateral direction. The interval between the guide frames 34 and 35 can be adjusted according to the size of the storage tray 26. Further, in the tray supply unit 30, in order to separate and supply empty storage trays 26 one by one from the lowermost side, separation claws 37 operated by a separation cylinder 36 are provided at four corners. Further, in the tray storage unit 31, since the storage trays 26 on which the works W are placed are stacked one by one from the lowermost side, the separation claws 38 that rotate upward but do not rotate downward are provided in the storage tray. A total of eight locations are provided so that the four corners can be supported in accordance with the 26 storage modes.
[0026]
In FIG. 3, a supply side cylinder 39 is provided below the tray supply unit 30, and a tray receiving member 40 is connected to the tip of the cylinder rod. It is configured to receive only the lowermost storage tray 26 at a position where the tray-side receiving member 40 is moved upward by operating the supply-side cylinder 39, and to deliver it to the carrier 33 when it is moved downward. The tray remaining in the tray supply unit 30 remains supported by the separation claw 37 operated by the separation cylinder 36.
[0027]
In FIG. 3, a storage cylinder 41 is provided below the tray storage section 31, and a tray receiving member 42 is connected to the tip of the cylinder rod. By operating the storage side cylinder 41 to move the tray receiving member 42 upward, the storage tray 26 transported from the transport body 33 is received and moved upward, and the separation claw 38 is moved upward from the lowermost position to the tray storage portion 31. The storage trays 26 are sequentially stacked and stored from the lower side by being rotated and supported.
[0028]
In FIG. 3, a transport rail 43 is provided on a storage base 54 between the tray supply unit 30 and the tray storage unit 31. The transport body 33 is movably connected to the transport rail section 43 via a linear guide 44. The transport body 33 is provided with a transport vertical cylinder 46 on a transport frame 45. A transfer table 47 on which a plurality of storage trays 26 (in this embodiment, two places) can be placed is connected to the end of the cylinder rod of the transfer vertical movement cylinder 46. The transfer table 47 is vertically attached to the lower surface of the table. The provided guide post 48 moves up and down while being guided by a cylindrical post guide portion 49 erected on the carrier frame 45 (see FIG. 6).
In FIG. 2, a part of the timing belt 50 stretched between pulleys (not shown) is connected to the carrier frame 45. When the pulley is rotationally driven by a servo motor (not shown), the carrier 33 moves along the carrier rail 43.
[0029]
In FIG. 6, the transport table 47 is provided with two tray abutting portions 51 in this embodiment. Further, the transfer table 47 is provided with two tray pushing portions 53 that operate in connection with the cylinder rod of the butting cylinder 52. The storage tray 26 placed on the transport table 47 is operated by the abutment cylinder 52, one end of the storage tray 26 is pushed by the tray pushing part 53, and the other end is abutted against the tray abutment part 51. And is held on the transport table 47.
[0030]
Next, the movement operation of the first and second slide tables 7 and 8 will be described with reference to the timing chart of FIG. The upper part shows the vertical position of the first slide table 7, and the lower part shows the front and rear positions of the second slide table 8. While the work W is being transferred to the first slide table 7 by the second pickup section 5, the second slide table 8 is waiting at the rear position. The first slide table 7 intermittently drives and drives the first drive motor 17 every time the work W is transferred by the second pickup unit 5. When the work W is fully loaded on the first slide table 7, the first slide table 7 moves to a position below the pickup unit 25 for storage. Next, when the work W is transferred from the first slide table 7 to the pickup unit 25 for storage, the table vertical cylinder 18 is operated to lower the first slide table 7, and the first drive motor 17 is rotated in the reverse direction. Drive to return to the original position. At this time, the first slide table 7 is located below the second slide table 8 (see FIG. 13).
[0031]
When the mounting of the work W on the first slide table 7 is completed, a cylinder (not shown) is operated instead of the first slide table 7 to move the second slide table 8 to the front position (see FIG. 13). It moves, and the workpiece W is transferred by the second pickup unit 5. The second slide table 8 intermittently drives the second drive motor 22 to feed the workpiece W every time the workpiece W is transferred by the second pickup unit 5. Then, when the work W is transferred from the second slide table 8 to the storage pickup unit 25 in the same manner as the first slide table 7, the cylinder (not shown) is operated to move the second slide table 8 to the rear position. Then, the second drive motor 22 is reversely driven to return to the original position. After the movement of the second slide table 8, the first slide table 7 which has been waiting downward moves up, and the transfer of the work W in the intermediate transfer section is continuously performed while repeating the above operation.
[0032]
Next, the transport operation of the storage tray 26 in the work storage section will be described with reference to the timing chart of FIG. 5 and the operation state diagrams of the storage tray transport mechanism 32 shown in FIGS. 6 to 9. First, the operation in the case where only the first sheet of the storage tray 26 is set at the work transfer position by the carrier 33 will be described.
[0033]
In FIG. 6, the carrier 33 is on the tray supply unit 30 side, and the tray placement unit 47 a of the tray placement units 47 a and 47 b of the transfer table 47 is located directly below the tray supply unit 30. In this state, the supply side cylinder 39 is operated to move the tray receiving member 40 upward to just below the tray supply unit 30. When the separation claw 37 is retracted once by the separation cylinder 36 and moved forward again, only the lowermost one of the empty storage trays 26 stacked in the tray supply unit 30 is transferred to the tray receiving member 40. Then, the remaining storage tray 26 is supported by the separation claw 37 again. Then, when the supply-side cylinder 39 is operated to move the tray receiving member 40 downward, the storage tray 26 is delivered to the tray mounting portion 47 a of the transport table 47. It is assumed that the tray receiving member 40 is formed so as not to interfere with the transport table 47 when the tray receiving member 40 moves up and down (see FIG. 5; step S1).
[0034]
The storage tray 26 placed on the tray placement portion 47a activates a servomotor (not shown) while operating the butting cylinder 52 to hold the tray between the tray pushing portion 52 and the tray butting portion 51. Then, the transport body 33 is moved along the transport rail section 43 toward the tray storage section 31. Then, the transport table 47 is moved upward by operating the transport vertical movement cylinder 46 at the position where the tray mounting portion 47a is directly below the work transfer position. Then, the abutting cylinder 52 is operated to release the holding state of the tray pushing portion 52 and the tray abutting portion 51, and is held by a chuck cylinder (not shown) provided on the side guide rail 55 (FIG. 5). ; See step S2).
[0035]
Then, after the transport table 47 is moved downward by operating the vertical movement cylinder 46, a servo motor (not shown) is activated to move the transport body 33 to the original tray supply unit 30 side along the transport rail unit 43. As shown in FIG. 6, the setting of the first storage tray 26 at the work transfer position is completed.
[0036]
In FIG. 7, the supply-side cylinder 39 is moved up and down again to transfer the lowermost empty storage tray 26 from the tray supply unit 30 to the tray receiving member 40 to the tray receiving member 40. The storage tray 26 is delivered to the part 47a. The storage tray 26 placed on the tray placement portion 47a is held between the tray pushing portion 52 and the tray butting portion 51 by operating the butting cylinder 52.
[0037]
In FIG. 7, the storage tray 26 held by the side guide rail 55 above the tray mounting portion 47b of the transfer table 47 at the work transfer position, the work W is stored, for example, in one row by the storage pickup unit 25. Will be transferred to When the transfer of the work W to the storage tray 26 is completed, the vertical movement cylinder 46 for transfer is operated to move the transfer table 47 upward, and the chuck cylinder (not shown) provided on the side guide rail 55 is released. Then, the storage tray 26 is transferred from the side guide rail 55 to the tray mounting portion 47b (see FIG. 5; step S3).
[0038]
Next, the abutting cylinder 52 of the tray mounting portion 47b is operated to hold the storage tray 26 by the tray pushing portion 52 and the tray abutting portion 51, and a servo motor (not shown) is activated to store the carrier 33 in the tray. It is moved along the transport rail 43 toward the section 31.
[0039]
In FIG. 8, the storage tray 26 placed on the tray placement portion 47b of the transport table 47 moves directly below the tray storage portion 31, and the empty storage tray 26 placed on the tray placement portion 47a moves the work tray. It has moved to a position directly below the transfer position. In this state, the holding cylinders 52 of the tray mounting portions 47a and 47b are actuated to release the holding state of each storage tray 26 by the tray pushing portion 52 and the tray butting portion 51, and at the same time, provided on the side guide rail 55. The empty storage tray 26 of the tray mounting portion 47a is held by the chuck cylinder (not shown). Then, as shown in FIG. 9, the storage cylinder 41 is operated to move the tray receiving member 42 upward, receive the storage tray 26 from the tray mounting portion 47b, and further move up to separate from the lower side of the tray storage portion 31. The claw 38 is once rotated upward and moved up until the storage tray 26 gets over, and the storage tray 26 is supported by the separation claw 38. It is assumed that the tray receiving member 42 is formed so as not to interfere with the transport table 47 when the tray receiving member 42 moves up and down (see FIG. 5; step S4).
[0040]
Then, after the vertical movement cylinder 46 is operated to lower the transfer table 47, a servo motor (not shown) is activated to move the transfer body 33 to the original tray supply unit 30 side along the transfer rail unit 43. Hereinafter, similarly, a series of operations of tray supply, work transfer, and tray storage are repeatedly performed (see FIG. 5; steps S5, S6, S7...). In this way, by alternately performing the supply of the empty tray, the collection of the work loading tray, the storage of the work loading tray, and the setting of the empty tray, the storing operation of the cut and recovered work can be continuously performed at high speed. it can. The operation of transferring the work W to the storage tray 26 by the storage pickup unit 25 is not limited to one row, and may be several units.
[0041]
If the above-described work storage device and work storage method are used, the cutting die 1, the pitch conversion table 6, and the first and second slide tables 7, 8 are arranged in series at different heights in the work transfer direction. The work W can be arranged with a reduced movement pitch between each process, and the work W can be transported in the cut direction without rotating, so that there is no displacement and even if the type of work is changed, the pitch can be changed. Only can be dealt with.
Further, since the first pickup unit 4 and the second pickup unit 5 are integrally supported at different heights, the amount of movement of the first and second pickup units 4 and 5 in the vertical and horizontal directions is increased. The transfer of the work W can be performed at a high speed with less work. For example, while the pickup W can transfer the workpiece W for 70 to 80 shots (number of times) per minute in the past, the present embodiment can transfer the workpiece W for 110 to 120 shots (number of times) per minute. It is now possible.
Further, by using a first slide table 7 that moves rectangularly in the vertical direction and a second slide table 8 that moves rectangularly in the horizontal direction instead of the first slide table 7, the work W after cutting can be used. It is possible to form an intermediate mounting portion for efficiently collecting.
The supply and collection of the storage tray 26 on which the work W is transferred by the storage pickup unit 25 to the work transfer position is performed by holding the plurality of storage trays 26 on the carrier 33 by the storage tray transfer mechanism 32. This is performed by alternately moving between the tray supply unit 30 and the work transfer position, and between the work transfer position and the tray storage unit 31, so that the supply and collection of the storage tray 26 to the work transfer position are continuously performed at high speed. You can do it.
Therefore, without changing the direction of the workpiece W after cutting between the cutting die and the pitch conversion unit and between the pitch conversion unit and the intermediate placing unit, which are arranged in series along the workpiece transfer direction at different height positions. Since the transfer of W is performed in synchronization, a series of operations from cutting the work W to storing it in the storage tray 26 through pitch conversion can be performed at high speed.
[0042]
As described above, various preferred embodiments of the present invention have been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and may include a type of a work, a number of works held by a pickup unit, and a transfer by a transfer body. Of course, many modifications can be made without departing from the spirit of the law, such as the number of possible storage trays 26 and the transport direction can be arbitrarily changed.
[0043]
【The invention's effect】
With the use of the work storage device and the work storage method according to the present invention, the cutting die, the pitch conversion unit, and the intermediate mounting unit are arranged in series in the work transfer direction at different heights from each other. The distance between the workpieces can be reduced, and the workpieces can be transported in the cut direction without rotating. Therefore, there is no positional deviation, and even if the type of the workpiece is changed, it can be handled only by the pitch conversion.
Further, since the first pickup section and the second pickup section are integrally supported at different height positions, the amount of movement of the first and second pickup sections in the vertical and horizontal directions is small, and the work is moved. Loading can be performed at high speed.
In addition, by using the first slide table that moves rectangularly in the vertical direction and the second slide table that moves rectangularly in the horizontal direction instead of the first slide table, the work after cutting is efficiently collected. An intermediate mounting portion can be formed.
Further, the supply and collection of the storage tray on which the work is transferred by the storage pickup unit to the work transfer position is performed by holding a plurality of storage trays on the carrier by the storage tray transfer mechanism and transferring the work to the tray supply unit. Since the position, the work transfer position, and the tray storage portion are alternately moved, the supply and collection of the storage tray to the work transfer position can be continuously performed at high speed.
Therefore, without changing the orientation of the work after cutting between the cutting die and the pitch conversion unit and between the pitch conversion unit and the intermediate mounting unit, which are arranged in series along the work transfer direction at different height positions. Since the transfer is performed in synchronization, a series of operations from cutting of the work to storage in the storage tray through pitch conversion can be performed at high speed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a layout configuration of a work storage device.
FIG. 2 is a front view of the work storage device of FIG. 1;
FIG. 3 is a right side view of the work storage device of FIG. 1;
FIG. 4 is a timing chart showing a movement operation of first and second slide tables.
FIG. 5 is a timing chart illustrating a transfer operation of a storage tray transfer mechanism.
FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating an operation state of the storage tray transport mechanism.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an operation state of the storage tray transport mechanism.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an operation state of the storage tray transport mechanism.
FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an operation state of the storage tray transport mechanism.
FIG. 10 is a plan view showing a layout configuration of a conventional work storage device.
FIG. 11 is a front view of the work storage device of FIG. 10;
FIG. 12 is a right side view of the work storage device of FIG. 10;
FIG. 13 is a partially enlarged view of the work storage device of FIG. 2;
[Explanation of symbols]
W Work
1 cutting type
1a die
1b Shoot
2 substrate
3 Support rail
4 First pickup unit
5 Second pickup unit
6 Pitch conversion table
6a Work mounting part
7 First slide table
7a First table body
7b, 8b, 8d Guide rail
7c first table support
8 Second slide table
8a Second table body
8c Second table support
8e Fixed guide
9 Pickup support plate
10 Rail
11 27 Moving object
12,44 Linear guide
13 Ball screw
14, 15, 19, 20 Pulley
16, 21, 50 Timing belt
17 First drive motor
18 Table vertical cylinder
22 Second drive motor
23 Base plate
24 Support Post
25 Pickup for storage
26 Storage tray
28 Storage motor
29 Guide plate
30 tray supply unit
31 Tray storage section
32 Storage tray transport mechanism
33 Carrier
34, 35 Guide frame
36 Cylinder for separation
37, 38 Separating claws
39 Supply side cylinder
40, 42 Tray receiving member
41 Storage side cylinder
43 Transport rail
45 Carrier frame
46 Vertical moving cylinder for transport
47 Transport table
48 Guide Post
49 Post Guide
51 Tray butting part
52 Butt cylinder
53 Tray pusher
54 Storage Base
55 Side guide rail

Claims (5)

基板上に搭載された半導体チップが樹脂封止されたワークが、個片に切断され収納トレイに収納されるワーク収納装置において、
切断型により個片に切断されたワークを収納トレイピッチに合わせてピッチ変換するピッチ変換部へ移載する第1のピックアップ部と、該第1のピックアップとは異なる高さ位置に設けられ、前記ピッチ変換部よりワークを保持して中間載置部へ移載する第2のピックアップ部とを備えたワーク移載部と、
前記中間載置部に収納トレイピッチで移載されたワークを保持して収納トレイに移載するワーク収納部とを具備し、
前記切断型、ピッチ変換部及び中間載置部が互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置され、前記ワーク移載部のうち、第1ピックアップ部が切断型より第2ピックアップ部がピッチ変換部より各々ワークを保持し、同期を取ってピッチ変換部及び中間載置部へ移送して各々ワークの移載が行われることを特徴とするワーク収納装置。
In a work storage device in which a work in which a semiconductor chip mounted on a substrate is sealed with resin is cut into individual pieces and stored in a storage tray,
A first pickup unit configured to transfer a work cut into pieces by a cutting die to a pitch conversion unit that changes a pitch in accordance with a storage tray pitch; and a first pickup unit that is provided at a different height from the first pickup unit. A work transfer unit including a second pickup unit that holds the work from the pitch conversion unit and transfers the work to the intermediate mounting unit;
A work storage unit that holds the work transferred at the storage tray pitch to the intermediate mounting unit and transfers the work to the storage tray;
The cutting die, the pitch conversion part and the intermediate mounting part are arranged in series at different height positions along the work transfer direction, and the first pickup part of the work transfer part is the second pickup than the cutting die. A work storage device, wherein each of the units holds a work from a pitch conversion unit, and transfers the work to the pitch conversion unit and the intermediate mounting unit in synchronization with each other to transfer the work.
前記中間載置部には、上位置で第2のピックアップ部よりワークが移載されてワーク収納部へワークを移送し、下位置で元の位置まで戻るように上下方向で矩形移動する第1のスライドテーブルと、第1のスライドテーブルと入れ替わって前進し第2のピックアップ部よりワークが移載されてワーク収納部へワークを移送し、後退して元の位置に戻るように水平方向で矩形移動する第2のスライドテーブルとを備えたことを特徴とする請求項1記載のワーク収納装置。In the intermediate mounting portion, a work is transferred from the second pickup portion at the upper position, the work is transferred to the work storage portion, and the lower portion is vertically moved rectangularly so as to return to the original position at the lower position. The first slide table is replaced with the first slide table, the work is moved forward from the second pickup unit, the work is transferred to the work storage unit, and the work is retracted and returned to the original position. The work storage device according to claim 1, further comprising a second slide table that moves. 前記トレイ収納部は、中間載置部よりワークを保持してワーク移載位置に待機する収納トレイへ移載する上下方向及び水平方向へ往復動可能な収納用ピックアップ部と、トレイ供給部に積載された空の収納トレイを1枚ずつワーク収納位置へ送り出し、ワークが収納された収納トレイをトレイ収納部に積載収納する収納トレイ搬送機構とを備えたことを特徴とする請求項1記載のワーク収納装置。The tray storage unit is configured to hold a work from the intermediate mounting unit and transfer the storage work to a storage tray waiting at a work transfer position, a storage pickup unit capable of reciprocating vertically and horizontally, and a stacker mounted on a tray supply unit. 2. The work according to claim 1, further comprising a storage tray transport mechanism for sending the empty storage trays to the work storage position one by one, and loading and storing the storage trays storing the works in the tray storage unit. Storage device. 前記収納トレイ搬送機構は、搬送体上に複数の収納トレイを保持して、トレイ供給部とワーク移載位置、ワーク移載位置とトレイ収納部との間を往復動することを特徴とする請求項3記載のワーク収納装置。The storage tray transfer mechanism holds a plurality of storage trays on a transfer body and reciprocates between a tray supply unit and a work transfer position, and between a work transfer position and a tray storage unit. Item 4. The work storage device according to Item 3. 基板上に搭載された半導体チップが樹脂封止されたワークを、個片に切断し収納トレイに収納するワーク収納方法において、
切断型で個片に切断されたワークを収納トレイピッチに合わせてピッチ変換するピッチ変換部へ移載する工程とピッチ変換部でピッチ変換されたワークを中間載置部へ移載する工程とが同期を取って行われる中間移載工程と、
前記中間載置部に収納トレイピッチで移載されたワークを保持して収納トレイに移載する工程と、
空の収納トレイをワーク移載位置へ供給する供給動作とワークが満載された収納トレイを収納する収納動作とを同期を取って行う収納工程とを含み、
前記中間移載工程は、互いに異なる高さ位置でワーク移送方向に沿って直列状に配置された切断型とピッチ変換部間及びピッチ変換部と中間載置部間で、切断後のワークの向きを変えずに同期を取ってワークの移載を行うことを特徴とする。
In a work storage method in which a work in which a semiconductor chip mounted on a substrate is sealed with resin is cut into individual pieces and stored in a storage tray,
The process of transferring the work cut into pieces by the cutting die to a pitch conversion unit that converts the pitch according to the storage tray pitch, and the process of transferring the work whose pitch has been converted by the pitch conversion unit to the intermediate mounting unit. An intermediate transfer process performed synchronously,
A step of holding the work transferred at the storage tray pitch to the intermediate mounting portion and transferring the work to the storage tray,
A storage step of synchronizing a supply operation of supplying an empty storage tray to the work transfer position and a storage operation of storing a storage tray full of works, and
The intermediate transfer step is performed between the cutting die and the pitch conversion unit and the pitch conversion unit and the intermediate placement unit, which are arranged in series along the workpiece transfer direction at different height positions, and the orientation of the workpiece after cutting. The transfer of the work is performed synchronously without changing.
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