JP2004165280A - ウエハ搬送用ロボットハンド - Google Patents

Abstract

【課題】プリアライナへの位置合わせのためのウエハの載せ換えを必要としないウエハ搬送ロボットハンドを提供することを課題とする。
【解決手段】ロボットハンド４１にウエハ２を保持するウエハ保持部８１，８２，８３，８４を回動自在に軸着し、前記保持部８４を駆動するモータとアクチュエータとウエハ２のノッチ２１を検出するノッチセンサ９を設ける。
【選択図】 図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを搬送する搬送用ロボットのロボットハンドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウエハをマーキングする際には、所定の位置にマーキングするため、図１に示すようにウエハカセット１からウエハ２を搬送用ロボット３のロボットハンド４により、先ずウエハ２のノッチの位置合わせをするためにプリアライナ５の回転盤６上に置き、ウエハ２のノッチの位置合わせを行った後、再びロボットハンド４により作業ステージ７へと搬送する（従来の搬送用ロボットとプリアライナについては非特許文献１、非特許文献２の商品カタログ参照。）。
【０００３】
しかし、上記搬送工程ではウエハのノッチの位置合わせのためにプリアライナ５への載せ換えのための時間的ロスと、プリアライナ自体の設置スペースが必要であった。
【０００４】
【非特許文献１】
ＳＷＨＲ３１５６，株式会社ジェーイーエル，２０００年１１月
【非特許文献２】
ＳＡＬ４８Ｃ１，株式会社ジェーイーエル，２０００年１１月
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、プリアライナへの位置合わせのためのウエハの載せ換えを必要としないウエハ搬送用ロボットハンドを提供することを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、複数のウエハ保持部を回動自在に軸着し、前記ウエハ保持部を駆動する駆動装置とウエハのノッチを検出する検出装置を設けたウエハ搬送用ロボットハンドである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図２は、本発明の一実施例を示す平面図、図３は一実施例であるロボットハンドの拡大平面図、図４はその側面図で、２１はウエハ２に設けられたノッチ、３１は搬送用ロボットの本体、４１はロボットハンド、８１，８２，８３，８４はウエハ２を保持する保持ピン、９はウエハ２のノッチ２１を検出するノッチセンサ、１０，１１は保持ピン８４を駆動するためのモータとアクチュエータである。
【０００８】
保持ピン８１，８２，８３，８４はロボットハンド４１に回動自在に軸着され、保持ピン８１、８２は左右に移動し、ウエハ２を８１，８２，８３，８４で杷持してウエハカセット１からウエハ２を搬送する。次にロボットハンド４１は作業ステージ７までウエハ２を搬送し、搬送されたウエハ２のノッチ２１の位置合わせを行う。
【０００９】
モータ１０とアクチュエータ１１により保持ピン８４を回動させると、その回転力がウエハ２に伝わると共に保持ピン８１，８２，８３も合わせて回転するのでウエハ２を無理な応力により破損させることはない。
【００１０】
回転されたウエハ２のノッチ２１がノッチセンサ９の前にくると、ノッチセンサ９はノッチを検出してモータ１０を停止させ、ウエハ２のノッチ２１の位置合わせをすることができる。
【００１１】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、ロボットハンド上でウエハのノッチの位置合わせをすることができるので、別途位置合わせのためのプリアライナを必要とせず、載せ換えのための時間のロスを省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のウエハの搬送状態を示す概略平面図。
【図２】本発明の一実施例のウエハの搬送状態を示す概略平面図。
【図３】本発明の一実施例を示す拡大平面図。
【図４】本発明の一実施例を示す拡大側面図。
【符号の説明】
２ ウエハ
２１ ノッチ
４１ ロボットハンド
８１，８２，８３，８４ 保持ピン
９ ノッチセンサ
１０ モータ
１１ アクチュエータ

Claims (1)

1. 複数のウエハ保持部を回動自在に軸着し、前記ウエハ保持部を駆動する駆動装置とウエハのノッチを検出する検出装置を設けたことを特徴とするウエハ搬送用ロボットハンド。

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