JP2004159403A - Piezoelectric actuator - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電素子の変位で被駆動体を駆動する圧電アクチュエータに関する。
【0002】
【背景技術】
圧電素子に交流電圧を印加して圧電素子を振動させ、この振動によって被駆動体を駆動する圧電アクチュエータにおいては、圧電素子表面に複数の電極が形成されているものがある(例えば特許文献1)。このような圧電アクチュエータでは、矩形状の圧電素子に長手方向に沿って幅を三等分するように三つの電極を配置し、これら三つの電極のうち両側の電極をさらに長手方向に二分割することで五つの電極が形成されている。これらの電極のうち中央の電極と、対角線上両端の電極とに交流電圧を印加すると、圧電素子は縦振動と屈曲振動を組み合わせた楕円軌道を描いて振動する。この振動によって被駆動体は一方向に駆動される。また、電圧を印加する電極を長手方向の中心線を軸として線対称に切り替えば、圧電素子の楕円軌道が反対向きとなるので、被駆動体を反対向きに駆動することができる。
【0003】
【特許文献1】
特許第2722211号公報 (第2頁、第1図および第2図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような圧電アクチュエータでは、例えば縦振動のみを考えると圧電素子の長手方向両端では変位は大きいものの応力は比較的低くなる。したがって当該部分における電力に対して得られる駆動力は低くなり、圧電アクチュエータ全体の駆動効率が悪くなっている。また反対に、低効率部分に電力を消費しているので、消費駆動電圧が高くなり省力化が望めない。
【0005】
本発明の目的は、駆動効率を向上できる圧電アクチュエータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧電アクチュエータは、板状の圧電素子の両面に電極が形成されるとともに、電極に電圧を印加することにより、圧電素子の分極方向に対して直交する面方向に伸縮する伸縮部位を備えた圧電アクチュエータにおいて、伸縮部位は、圧電素子の伸縮方向略中央に配置されていることを特徴とする。
この発明によれば、圧電素子の伸縮時に最も高い応力が発生する伸縮方向略中央に伸縮部位が配置されているので、印加する電圧に対して良好な駆動力が得られる部分が使用されている。したがって、印加電圧に対する圧電アクチュエータの駆動効率が向上する。また反対に、駆動効率の良好な部分に伸縮部位を配置しているので、消費電力が小さくなり省力化が促進される。
ここで、部位とは圧電素子においてある面積を有した領域をいう。
【0007】
本発明の圧電アクチュエータは、板状の圧電素子の両面に電極が形成されるとともに、電極に電圧を印加することにより、圧電素子の分極方向に対して直交する面方向に屈曲する屈曲部位を備えた圧電アクチュエータにおいて、屈曲部位は、圧電素子の端部から屈曲方向に垂直な方向に沿った圧電素子の寸法の約1/4 の位置に配置されていることを特徴とする。
この発明によれば、圧電素子の屈曲時に最も高い応力が発生する部分、つまり圧電素子の端部から屈曲方向に垂直な方向に沿った圧電素子の寸法の約1/4 の位置に屈曲部位が配置されているので、印加する電圧に対して良好な駆動力が得られる部分が使用されている。したがって、印加電圧に対する圧電アクチュエータの駆動効率が向上する。また反対に、駆動効率の良好な部分に屈曲部位を配置しているので、消費電力が小さくなり省力化が促進される。
【0008】
本発明の圧電アクチュエータは、板状の圧電素子の両面に電極が形成されるとともに、電極に電圧を印加することにより、圧電素子の分極方向に対して直交する面方向に伸縮する伸縮部位と、この伸縮部位の伸縮方向に対して屈曲する屈曲部位とを備えた圧電アクチュエータにおいて、伸縮部位は、圧電素子の伸縮方向略中央に配置され、かつ屈曲部位は、圧電素子端部から圧電素子の伸縮方向に沿った寸法の約1/4 の位置に配置されていることを特徴とする。
この発明によれば、圧電素子の伸縮時に最も高い応力が発生する部分、つまり圧電素子の伸縮方向略中央に伸縮部位が配置されている。また、屈曲時に最も高い応力が発生する部分、つまり圧電素子の端部から圧電素子の伸縮方向に沿った寸法の約1/4 の位置に屈曲部位が配置されている。すなわち、伸縮部位および屈曲部位の配置が最適化され、それぞれ印加電圧に対して良好な駆動力が得られる部分に配置されている。したがって、印加電圧に対する圧電アクチュエータの駆動効率が向上する。また反対に、駆動効率の良好な部分に各部位を配置しているので、消費電力が小さくなり省力化が促進される。
【0009】
本発明では、電極は、伸縮部位および/ または屈曲部位の位置に応じてパターニングされていることが望ましい。
この発明によれば、電極が伸縮部位および/ または屈曲部位の位置に応じてパターニングされているので、対応する電極に電圧を印加するだけで圧電素子が伸縮および/ または屈曲する。電極の形状、配置などを適宜パターニングすることにより圧電素子の挙動を設定可能なので、圧電素子の分極方向が統一可能となる。これにより、圧電素子自体の構造が簡単となり、安価に入手可能となる。
【0010】
本発明では、圧電素子の分極方向は、伸縮部位および/ または屈曲部位の位置に応じて分極されていることが望ましい。
この発明によれば、圧電素子の分極方向が伸縮部位および/ または屈曲部位の位置に応じて分極されているので、電極に電圧を印加すると圧電素子がその分極方向にしたがった変位を生じて全体が伸縮あるいは屈曲する。これにより電極を分割することなく圧電素子の挙動を設定可能なので、圧電素子に配置する電極の数が少なくなる。したがって、圧電素子への配線数が少なくなるので、断線などの不具合が少なくなり、圧電アクチュエータの信頼性が向上する。
【0011】
本発明では、圧電素子の伸縮方向端部または屈曲方向に垂直な方向端部には、電圧が印加されない電圧非印加部位が設けられていることが望ましい。
圧電素子の伸縮方向端部あるいは屈曲方向に垂直な方向端部は、伸縮変位も屈曲変位も高応力が発生せず駆動効率が比較的低い部分である。この発明によれば、当該部分を伸縮部位あるいは屈曲部位として使用しないので、圧電アクチュエータの効率を下げることがない。よって圧電アクチュエータ全体としては、その駆動効率が向上する。
【0012】
本発明では、電圧非印加部位には、伸縮部位の伸縮および/ または屈曲部位の屈曲を検出する変位検出部位が設けられていることが望ましい。
この発明によれば、変位検出部位は電圧非印加部位に設けられている。電圧非印加部位は、圧電アクチュエータの駆動に使用される部分ではない部分なので、駆動力を低減することなく変位検出が可能となる。また、変位検出には小さい電力を増幅して検出すればよいので、電圧非印加部位のように応力が小さい部分でも検出可能であるから、変位検出部位は電圧非印加部位に設けるのに好適である。
【0013】
本発明では、圧電素子が複数積層されていることが望ましい。
この発明によれば、圧電素子が複数積層されているので、圧電アクチュエータ全体の駆動力が大きくなる。これにより、圧電素子を所定枚数積層することによって所望の駆動力が設定可能となる。
【0014】
本発明では、圧電素子が複数積層されている場合に、伸縮部位の伸縮および/ または屈曲部位の屈曲を検出する変位検出部位は、表面の圧電素子にのみ設けられていることが望ましい。
この発明によれば、複数積層された圧電素子のうち、表面の圧電素子のみに変位検出部位が設けられている。したがって、他の圧電素子の変位によるノイズの影響が最小限に抑制される。これにより、より精度の高い変位検出が可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、後述する第二実施形態以降で、以下に説明する第一実施形態での構成部品と同じ部品および同様な機能を有する部品には同一符号を付し、説明を簡単にあるいは省略する。
【0016】
〔第一実施形態〕
図1には、第一実施形態の圧電アクチュエータ1の全体斜視図が示されている。この図1において、圧電アクチュエータ1は略矩形状で積層構造を有しており、中央層部に積層された補強板2と、この補強板2の両面に固定された圧電素子3とを備えている。
補強板2は、ステンレス鋼、その他の材料から構成され、長手方向両端において幅方向略中央には凸部21が一体的に形成されている。この凸部21の先端は、円盤状の被駆動体100の外周に対し被駆動体100の接線方向にほぼ直角に(つまり径方向に沿うように)当接されている。また、補強板2の幅方向一端において長手方向略中央には、補強板2から突出した腕部22が一体的に形成されている。腕部22の端部には孔221が穿設され、この孔221が図示しない固定体にねじ止めなどされることによって圧電アクチュエータ1が固定されている。
圧電素子3は、平板状部材で補強板2の両面の略矩形状部分に接着剤などにより接着されている。この圧電素子3は厚み方向に分極されている、つまり圧電素子3の表裏両面に高電圧をかけて内部の粒子の向きを揃えることにより、厚み方向に電圧を印加すると厚み方向と直交する方向に歪みを生じる圧電性を有している。圧電素子3の材料は、特に限定されず、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
【0017】
また、圧電素子3の両面には、ニッケル・リンめっき層を下地とする金めっき層などのめっき層4が形成されて電極を構成している。両面のめっき層4のうち補強板2に接する面は略矩形状部分全面にめっき層4が施されている。この時、補強板2におよびめっき層4の間には図示しない接着層が形成されるが、補強板2およびめっき層4の表面は微視的に凹凸を有し、これらの凸状部分がランダムに接触していることより、補強板2およびめっき層4は導通している。
圧電素子3の表面に露出しためっき層4は、所定幅の隙間41を有することによって複数の互いに絶縁された電極51,52,53,54,55,56,57,58に分割されている。まず圧電素子3の長手方向両端側には、端部から所定距離離れた位置に幅方向に沿った隙間41Aが形成されている。これらの隙間41Aにより、被駆動体100への当接位置に近い側には電極51が形成されている。そして、被駆動体100への当接位置から遠い側には、さらに幅方向略中央に隙間41Bが形成されることで二つの電極52,53が形成されている。圧電素子3において、これらの電極51,52,53が配置された部分は、電圧が印加されない電圧非印加部位となっている。これらの電極51,52,53のうち電極52,53は、図示しない振動検出装置にリード線を介してそれぞれ接続されている。これにより、圧電素子3において電極52,53が配置された部分は、圧電素子3の変位を検出する変位検出部位としての振動検出部位となっている。
【0018】
圧電素子3の長手方向略中央には、二本の隙間41Cによって電極54が形成されている。これらの隙間41Cは、圧電素子3の長手方向中央に向かって凹状の略コ字形に形成されることでめっき層4を分割している。圧電素子3においてこの電極54が配置された部分は、圧電素子3の長手方向に伸縮する伸縮部位となっている。電極51,52,53および電極54の間において圧電素子3の幅方向中央には、長手方向に沿った隙間41Dが形成されており、これにより電極54の両側に四つの電極55,56,57,58が形成されている。この時、これらの電極55,56および電極57,58は、圧電素子3の長手方向両端から圧電素子3の長辺長さのそれぞれ約1/4 の位置に形成されている。圧電素子3において、これらの電極55,56,57,58が配置された部分は、圧電素子3の長手方向に対して屈曲する屈曲部位となっている。電極54,55,56,57,58は、圧電素子3に電圧を印加する図示しない印加装置にそれぞれリード線を介して接続されている。また、補強板2はリード線によって接地されている。
なお、これらの電極51,52,53,54,55,56,57,58は、補強板2を挟んで設けられた表裏両方の圧電素子3に同様に設けられており、例えば電極51の裏面側にはやはり電極51が形成されている。また、圧電素子3の分極方向は、補強板2を挟んで対称に、つまり例えば一方の圧電素子3の電荷方向が表面から補強板2との接着面への方向であるとすると、他方の圧電素子3の電荷方向も表面から補強板2との接着面への方向に設定されている。
ここで、圧電素子3に印加される電圧の周波数は、補強板2の振動時に縦振動共振点の近くに屈曲共振点が現れて凸部21が良好な楕円軌道を描くように設定される。また、圧電素子3の寸法や、厚さ、材質、縦横比などは、圧電素子3に電圧が印加された時に、凸部21が良好な楕円軌道を描きやすいように適宜決定される。なお、圧電素子3に印加される電圧の波形は特に限定されず、例えばサイン波、矩形波、台形波などが採用できる。
【0019】
このような圧電アクチュエータ1では、電極54,55,58と補強板2との間に交流電圧を印加すると、圧電素子3の電極54が配置された部分が長手方向に伸縮振動する。補強板2両面の圧電素子3は、分極方向が補強板2に対して対称となっているので、同位相で伸縮し、これにより補強板2は圧電素子3とともにその面方向かつ長手方向に伸縮振動する(図2(A)参照)。一方、圧電素子3の電極55,58が配置された部分は、長手方向の中心線に対して非対称に配置されているので、圧電素子3の長手方向に直交する方向に屈曲振動する(図2(B)参照)。これらの伸縮振動および屈曲振動の組み合わせによって凸部21は圧電アクチュエータ1の面内で楕円軌道に近似した軌道を描いて振動する。この振動の軌道の一部において凸部21は被駆動体100を接線方向に押圧して被駆動体100を間欠回転させる。これを適当な周波数で繰り返すことによって被駆動体100を所望の回転数(回転速度)で回転させる。
ここで、図2(A)には、圧電素子3の伸縮変位により発生する圧電アクチュエータ1の応力分布が、また図2(B)には屈曲変位により発生する圧電アクチュエータ1の応力分布の絶対値が示されている。図2(A)に示されるように、伸縮変位の応力は、圧電素子3の長辺をLとすると、長手方向の略中央L/2 の位置において最も大きくなっている。また図2(B)では、屈曲変位の応力は圧電素子3の長手方向端部からそれぞれ約L/4 の部分で最も大きくなっている。
圧電素子3の電極54,55,58が配置された部分が振動するとともに補強板2が振動するため、電圧が印加されていない圧電素子3の電極52,53部分にもその振動が伝達される。これにより電極52,53にも逆圧電効果によって微弱な電圧が発生する。この電圧は振動検出装置に送信され、振動検出装置はこの電圧信号により圧電アクチュエータ1の振動を検出する。振動検出装置では、電極52および電極53に配置された圧電素子3の振動からそれぞれ伸縮振動および屈曲振動の和を検出する。この時電極52,53は圧電素子3の長手方向の中心線に対して対称に設けられているので、屈曲振動も当該中心線に対称となる、つまり、圧電素子3の電極52部分が縮んでいる時は電極53部分は伸びている。よって、電極52,53では互いに位相が逆の屈曲振動が検出される。これにより、電極52,53で検出される振動の和を求めることによって逆位相の屈曲振動成分がうち消されて伸縮振動のみを得ることができ、またこれらの振動の差によって伸縮振動がうち消されて屈曲振動のみを検出できる。そして、これらの縦振動と屈曲振動とのバランスを監視することにより、印加装置が電極54,55,58に印加する電圧の周波数を随時調整する。
被駆動体100を反対方向に回転させる場合には、電圧を印加する電極を長手方向の中心線を軸に線対称に切り替える。つまり、電極55,58に印加していた電極を電極56,57に切り替えることにより電極54,56,57に電圧を印加する。すると、電極56,57により屈曲振動の向きが反転し、凸部21は先ほどとは反対方向の略楕円軌道を描いて振動する。これにより、被駆動体100は反対方向に回転する。
【0020】
このような圧電アクチュエータ1によれば、次のような効果が得られる。
(1) 電極54が圧電素子3の長手方向略中央に配置されており、圧電素子3の電極54部分が伸縮部位となっている。また電極55,56,57,58が圧電素子3の長手方向端部から長辺の約1/4 の位置に配置されているので、圧電素子3の電極55,56,57,58部分が屈曲部位となっている。これらの伸縮部位および屈曲部位は、前述の図2(A)および図2(B)に示されるように、圧電アクチュエータ1の伸縮変位および屈曲変位から得られる応力がそれぞれ最大となる部分に配置されている。したがって、印加する電圧に対して良好な駆動力が得られる部分に伸縮部位および屈曲部位を配置しているので、これらの伸縮部位および屈曲部位の配置を最適化でき、これにより圧電アクチュエータ1の印加電圧に対する駆動力、つまり駆動効率を向上させることができる。また反対に必要な駆動力を確保するために消費する電力を節約できる。
【0021】
(2) 電極51,52,53が圧電素子3の長手方向両端に設けられ、圧電素子3の電極51,52,53部分は電圧が印加されない電圧非印加部位となっている。図2(A)および図2(B)に示されるように、これらの電極51,52,53部分は伸縮変位および屈曲変位の両方において得られる応力が低くなっている。よって、電極51,52,53部分に電圧を印加しないことで、印加電圧に対する圧電アクチュエータ1の駆動効率をより一層向上させることができる。
【0022】
(3) 電極52,53が振動検出装置に接続されているので、これらの検出振動の和によって伸縮振動を、また差によって屈曲振動を得ることができる。この時、電極52,53は圧電素子3長手方向両端の電圧非印加部位に設けられているので、新たに検出部位を設ける必要が無く、圧電アクチュエータ1の電極配置におけるスペース効率を向上させることができる。また、振動検出には大きな電圧は必要なく、必要に応じて電圧を増幅すれば容易に振動を検出することができるので、振動検出部位はこのような電圧非印加部位である電極51,52に設けるのに好適である。
【0023】
(4) 振動検出部位が被駆動体100への当接位置から遠い側に配置されているので、被駆動体100の振動などの外乱(ノイズ)を受けにくく、良好に伸縮振動および屈曲振動を検出できる。
【0024】
(5) 圧電素子3表面のめっき層4に隙間41A,41B,41C,41Dを形成することによって伸縮部位および屈曲部位の位置に応じて電極54,55,56,57,58を、また電圧非印加部位の位置に応じて電極51,52,53を形成している。このため、電圧を印加する電極を選択することで圧電素子3の任意の部分に電圧を印加できる。これにより圧電素子3の分極方向を統一することができるので、圧電素子3を安価に入手でき、圧電アクチュエータ1を安価に製造できる。
【0025】
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態について説明する。第二実施形態は、第一実施形態の圧電素子3が伸縮部位および屈曲部位の位置に応じて分極されているものである。
図3には、第二実施形態にかかる圧電アクチュエータ1の平面図が示されている。この図3においてめっき層4は、第一実施形態と同様に隙間41Aによって圧電素子3の長手方向両端が分割され、電極51,52が形成されている。これらの電極51,52のうち、被駆動体100への当接位置から遠い側の電極52内には、幅方向略中央に略コ字形の隙間41Bが形成されている。この隙間41Bによって当該部分には略矩形状の電極53が形成され、また電極52はこの隙間41Bにより電極53を囲む略コ字形形状となっている。圧電素子3の電極52が配置された部分は、幅方向の一方の半分の電極部分52A(図3中の一点鎖線部分)の分極方向が残りの他方の半分の電極部分52Bに対して逆向きになっている。電極52,53はそれぞれ振動検出装置に接続され、圧電素子3のこれらの電極52,53が配置された圧電素子3部分は振動検出部位となっている。電極51,52の間のめっき層4は、幅方向略中央に圧電素子3の長手方向に沿って隙間41Dが形成されることにより電極54,55に分割されている。圧電素子3においてこれらの電極54,55が形成された部分のうち、被駆動体100に近い側の端部でかつ圧電素子3の幅方向外端部(図3中の二点鎖線部分)は、その分極方向が他の部分とはそれぞれ逆向きになっている。この二点鎖線で囲まれた部分、つまり分極方向が逆向きになっている部分は、圧電アクチュエータ1を屈曲させる屈曲部位71となっており、圧電素子3の長手方向端部から圧電素子3の長辺をLとすると約L/4 の位置に配置されている。また電極54,55のうちこの屈曲部位71を除いた略L字形の部分は、圧電素子3の長手方向略中央(約L/2 の部分)を含んだ部分に配置され、圧電アクチュエータ1を伸縮させる伸縮部位72となっている。これらの電極54,55は印加装置に接続されている。
【0026】
このような圧電アクチュエータ1では、印加装置により電極54に電圧を印加すると、電極54のうち伸縮部位72は圧電素子3の長手方向に伸縮する。この時、屈曲部位71は圧電素子3の分極方向が反対になっているので、伸縮部位72とは逆向きに伸縮する、つまり伸縮部位72が伸びる時に屈曲部位71が縮む。これにより屈曲部位71は圧電素子3を長手方向に対して屈曲させる。補強板2の凸部21は伸縮振動および屈曲振動を受けて略楕円軌道を描いて振動し、この振動で被駆動体100を回転させる。
被駆動体100を反対方向に回転させる場合には、電圧を印加する電極を電極54から電極55へ切り替える。すると凸部21が反対方向の楕円軌道を描き、被駆動体100を反対方向に回転させる。
これらの伸縮振動および屈曲振動により、電極52,53では逆圧電効果により電圧が発生する。電極52では第一実施形態と同様に電極部分52A,52Bによってそれぞれ伸縮振動および屈曲振動の和が検出されるが、電極部分52A,52Bは互いに圧電素子3の分極方向が逆向きになっているので、検出振動の位相も逆となる。振動検出装置では電極部分52A,52Bの振動が合成されて検出されるため、逆位相となった振動がうち消されることとなる。つまり振動検出装置は、電極部分52A,52Bで検出された振動の差を得ることとなり、これにより伸縮振動がうち消されて屈曲振動のみを検出する。一方、電極53の圧電素子3は分極方向が同じなので、振動検出装置は電極53の幅方向中央の両側で検出される検出振動の和を検出することとなり、これにより屈曲振動がうち消されて伸縮振動のみを検出する。振動検出装置はこれらの伸縮振動および屈曲振動を検出することにより、凸部21が適当な楕円軌道を描くように電極54または電極55に印加する電圧の周波数を適宜調整する。
【0027】
このような圧電アクチュエータ1によれば、第一実施形態の(2)および(4)の効果と同様の効果が得られる他、次のような効果が得られる。
(6) 電極54、55が圧電素子3の長手方向略中央に配置されており、この長手方向略中央を含んで伸縮部位72が設けられている。また電極54,55のうち圧電素子3の長手方向端部から圧電素子3の長さLの約1/4 の位置には屈曲部位71が設けられている。これらの伸縮部位72および屈曲部位71は、第一実施形態の図2(A)および図2(B)に示されるように、圧電アクチュエータ1の伸縮変位および屈曲変位から得られる応力がそれぞれ最大となる部分に配置されている。したがって、印加する電圧に対して良好な駆動力が得られる部分に伸縮部位72および屈曲部位71を配置しているので、これらの伸縮部位72および屈曲部位71の配置を最適化でき、これにより圧電アクチュエータ1の印加電圧に対する駆動力、つまり駆動効率を向上させることができる。また反対に必要な駆動力を確保するために消費する電力を節約できる。
【0028】
(7) 電極54,55内で圧電素子3の分極方向が逆向きに配置されているので、電極54あるいは電極55に電圧を印加するだけで伸縮部位72および屈曲部位71はそれぞれ反対向きに伸縮して伸縮振動および屈曲振動を励振する。このように分極方向を逆向きにすることによって一つの電極で凸部21の楕円振動を実現できるので、めっき層4に形成する電極を少なくすることができる。これにより圧電アクチュエータ1の配線を少なくすることができ、簡単な構造で断線などの不具合を最小限に抑制でき、圧電アクチュエータ1の信頼性を向上させることができる。
【0029】
(8) 電極52の分極方向が幅方向半分の電極部分52A,52Bで互いに逆向きになっており、また幅方向略中央に電極53が設けられているので、電極52での発生電圧からは屈曲振動が、また電極53での発生電圧からは伸縮振動が検出できる。したがって、第一実施形態とは異なり振動検出装置において加算や減算を行わなくても伸縮振動および屈曲振動を求めることができる。これにより振動検出装置の演算手段などの構造を簡単にでき、圧電アクチュエータ1を安価に製造できる。またこの時、電極52,53は圧電素子3長手方向端部の電圧非印加部位に設けられているので、新たに検出部位を設ける必要が無く、圧電アクチュエータ1のスペース効率を向上させることができる。また、振動検出には大きな電圧は必要なく、必要に応じて電圧を増幅すれば容易に振動を検出することができるので、振動検出部位はこのような電圧非印加部位である電極51,52に設けるのに好適である。
【0030】
(9) 圧電素子3表面のめっき層4に隙間41A,41B,41Dを形成することによって伸縮部位72および屈曲部位71の位置に応じて電極54,55を形成している。また、電圧非印加部位の位置に応じて電極51,52,53を形成している。このため、電圧を印加する電極を選択することで圧電素子3の任意の部分に電圧を印加できる。これにより圧電素子3の分極方向を統一することができるので、圧電素子3を安価に入手でき、圧電アクチュエータ1を安価に製造できる。
【0031】
〔第三実施形態〕
次に、本発明の第三実施形態について説明する。第三実施形態は、第一実施形態の電極の配置が異なるものである。
図4には、第三実施形態にかかる圧電アクチュエータ1の平面図が示されている。この図4においてめっき層4には、第二実施形態と同様に隙間41A,41Bによって分割された電極51,52,53が形成されている。電極51,52の間のめっき層4の対角線上両端には略L字形の隙間41Cが形成されており、この隙間41Cによって対角線上両端には略矩形状の電極59が形成されている。電極59が配置された圧電素子3部分は、電圧が印加されない電圧非印加部位となっている。電極51,52の間のめっき層4のうち、両端の電極59を除いた略Z字形の電極54Aは印加装置に接続されている。
補強板2の長手方向略中央には両側に腕部22が設けられ、それぞれの端部がねじ止めされることにより圧電アクチュエータ1は両側から支持されている。また凸部21は、先端が略三角形状に形成され、斜辺が被駆動体100の接線方向となるように当接されている。そして、圧電アクチュエータ1の長手方向は被駆動体100の半径方向に対して傾斜するように配置されている。
圧電アクチュエータ1では、電極54Aに電圧を印加すると、圧電素子3は伸縮振動および屈曲振動を組み合わせた振動を励振し、凸部21が略楕円軌道を描く。
図5には、圧電アクチュエータ1の拡大図が示されている。この図5において、圧電素子3の幅方向略中央および長手方向略中央に配置された部分(図5中の点線部分)は、それぞれ電極54Aの全長および全幅にわたって配置されているため、圧電素子3が長手方向に伸縮する。すなわち、この部分が圧電素子3の伸縮部位72となっている。そして圧電素子3の電極54A部分のうち、この伸縮部位72を除いた対角線両端の矩形状部分(図5中の一点鎖線部分)は電極59によって圧電素子3の長手方向に沿った中心線に対して非対称となっているので、圧電素子3が屈曲する。すなわち、この部分が圧電素子3の屈曲部位71となっている。ここで、図5に示されるように、圧電素子3の長手方向の長さをLとすると、伸縮部位72は長手方向略中央(圧電素子3の端部から約L/2 の位置)に、また、屈曲部位71は圧電素子3の両端から約L/4 の位置に配置されている。
このように圧電素子3および補強板2が伸縮振動および屈曲振動をするため、凸部21は略楕円振動を描いて被駆動体100を回転させる。本実施形態においては、伸縮部位72が屈曲部位71に比して大きな領域を占めているため、圧電アクチュエータ1は伸縮振動の比率が高い振動を構成し、これにより凸部21の斜辺が被駆動体100を接線方向に良好に押圧して回転させる。
【0032】
このような圧電アクチュエータ1によれば、第一実施形態の(2)および(4)の効果と同様の効果および第二実施形態の(8)の効果と同様の効果が得られる他、次のような効果が得られる。
(10) 伸縮部位72が圧電素子の長手方向略中央に配置されており、また、屈曲部位71が圧電素子3の長手方向両端から圧電素子3の長辺の約1/4 の位置に配置されている。これらの伸縮部位72および屈曲部位71は、第一実施形態の図2(A)および図2(B)に示されるように、圧電アクチュエータ1の伸縮変位および屈曲変位から得られる応力がそれぞれ最大となる部分に配置されている。したがって、印加する電圧に対して良好な駆動力が得られる部分に伸縮部位72および屈曲部位71を配置しているので、これらの伸縮部位72および屈曲部位71の配置を最適化でき、これにより圧電アクチュエータ1の印加電圧に対する駆動力、つまり駆動効率を向上させることができる。また反対に必要な駆動力を確保するために消費する電力を節約できる。
【0033】
(11) 圧電素子3表面のめっき層4に隙間41A,41B,41Cを形成することによって伸縮部位72および屈曲部位71の位置に応じて電極54Aを形成している。また、電圧非印加部位の位置に応じて電極51,52,53,59を形成している。このため、電圧を印加する電極を選択することで圧電素子3の任意の部分に電圧を印加できる。これにより圧電素子3の分極方向を統一することができるので、圧電素子3を安価に入手でき、圧電アクチュエータ1を安価に製造できる。
【0034】
〔第四実施形態〕
次に、本発明の第四実施形態について説明する。第四実施形態は、圧電素子が複数個積層されて構成されているものである。
図6には、第四実施形態にかかる圧電アクチュエータ1の分解斜視図が、また図7には圧電アクチュエータ1の側面図が示されている。図6において、圧電アクチュエータ1は、補強板2の両面にそれぞれ三つの圧電素子3A,3B,3Cが積層されて構成されている。これらの圧電素子3A,3B,3Cの両面にはそれぞれめっき層4が形成されており、これらのめっき層4は補強板2を挟んで対称に設けられている。補強板2から最も遠い圧電素子3Aの表面には第三実施形態と同様形状のめっき層4Aが形成されている。また、この圧電素子3Aの裏面には、ほぼ全面にわたってめっき層4Bが形成されたグラウンド層となっており、長手方向の一辺においては、電極59に対応した接地層部分59Aのみが端部に達している。これにより、当該辺では接地層部分59Aのみが側面に露出している。
二つ目の圧電素子3Bは、圧電素子3Aに対向する面に同形状のめっき層4Bが形成されている。この圧電素子3Bの裏面には、電極54Aと同形状のめっき層4Cが形成されている。
三つ目の圧電素子3Cは、圧電素子3Bに対向する面に同形状のめっき層4Cが、またその裏面には全面にわたってめっき層4Dが形成されている。このめっき層4Dは補強板2に接触することにより導通している。
【0035】
このようにそれぞれ表裏両面にめっき層4が形成された圧電素子3A,3B,3Cは、図7に示されるように互いに対向するめっき層4が接触するように接着されて積層される。これにより、それぞれ対向するめっき層4は導通している。ここで、圧電素子3の長手方向の一辺にはそれぞれのめっき層4が側面に露出している。つまり、圧電素子3Aの表面には電極51,52,54A,59の側縁端部が露出しており、圧電素子3A,3B間では接地層部分59Aの側縁端部が、また圧電素子3B,3C間では電極54Aの側縁端部が露出している。この側面において圧電素子3Aの表面の電極54Aと、圧電素子3B,3Cの間の電極54Aの端部とは、金属蒸着などで形成された導通部6Aによって導通している。また、圧電素子3A,3Bの間の電極59に対応する部分と、補強板2および圧電素子3Cの間のめっき層4Dあるいは補強板2とは導通部6Bによって導通している。つまり、圧電素子3A,3Bの間のめっき層4Bは補強板2とともに接地されている。ここで、電極52,53は最上面に位置する圧電素子3Aのみに形成され、また電極52の幅方向半分の分極方向の逆転も圧電素子3Aにのみ設けられている。
なお、図7の圧電アクチュエータ1はめっき層4および圧電素子3の構造を理解しやすくするために誇張して記載されており、それぞれの圧電素子3の間に隙間が形成されているように記載されているが、実際にはそれぞれの圧電素子3は互いに密着して接着されている。
【0036】
このような圧電アクチュエータ1では、圧電素子3Aの電極54Aに印加装置により交流電圧を印加する。すると、圧電素子3Aの裏面のめっき層4Bは導通部6Bによって補強板2を介して接地されているので、圧電素子3Aにはめっき層4Aからめっき層4Bへ、電極54A部分に電圧が印加される。また圧電素子3B,3Cの間のめっき層4Cは、導通部6Aによって圧電素子3Aのめっき層4Aと導通しているので、圧電素子3Bにはめっき層4Cからめっき層4Bへ電圧が印加される。さらに、圧電素子3Cにはめっき層4Cから補強板2へ、電圧が印加される。これにより、圧電素子3A,3B,3Cは、それぞれ電極54Aに対応する部分に電圧が印加されることにより、縦振動と屈曲振動を組み合わせた略楕円軌道を描いて振動し、被駆動体100を回転させる。
【0037】
このような圧電アクチュエータ1によれば、第一実施形態の(2)および(4)の効果と同様の効果、第二実施形態の(8)の効果と同様の効果、および第三実施形態の(10)、(11)の効果と同様の効果が得られる他、次のような効果が得られる。(12) 圧電素子3を補強板2の両面に三つ積層して圧電アクチュエータ1が構成されているので、大きな駆動力を得ることができる。また反対に、これにより所望の駆動力を得るために必要な駆動電力を低減できる。
【0038】
(13) 導通性が必要な部分のみにめっき層4A,4B,4C,4Dを設けているので、側面に露出しためっき層4がショートしたり、あるいは電極51,52,53,54A,59間が導通してしまったりするなどの不具合の発生可能性を最小限に抑制できる。
【0039】
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、第四実施形態では圧電素子3は三つ積層されていたが、これに限らず積層枚数は任意である。また、各実施形態では補強板2の両面に圧電素子3が固定されていたが、これに限らず例えば圧電アクチュエータ1を一枚の圧電素子3あるいは積層された圧電素子3のみで構成し、圧電素子3を被駆動体100に当接して駆動するものでもよい。ただし、この場合には、補強板2に比べて強度が小さくなるので、耐久性を考慮する必要がある。さらに、補強板2の片面に一枚の圧電素子3を固定する構成としても構わない。この場合、圧電アクチュエータ1が補強板2に対して対称に構成されていないので、両側に圧電素子3を固定した場合と比較し多少駆動効率が劣る場合があるが、圧電アクチュエータ1の構成をより簡単にできる。
変位検出部位は、各実施形態においては振動検出部位として設けられていたが、必ずしもこれを設けなくてもなくても本発明の目的を達成できる。例えば予め実験などにより印加する電圧が設定され、状況に応じて変動させる必要がない場合などでは変位検出部位を備えていなくてもよい。
変位検出部位を設ける場合でも、必ずしも圧電素子3の長手方向両端に配置されていなくてもよい。例えば第三実施形態および第四実施形態では、電極59を変位検出部位として利用してもよい。
各実施形態の電極51や、第三実施形態および第四実施形態の電極59などの電圧非印加部位には、変位検出部位として利用しないのであれば、めっき層4を設けなくてもよい。
【0040】
圧電素子3のめっき層4は、各実施形態では両面に形成されていたが、これに限らず補強板2あるいは別の圧電素子3との十分な導通性が保持できれば任意である。例えば圧電素子3にめっき層4を形成し、その上から粒子状の圧電素子を所望の厚みに積層して、一枚のめっき層4の両側に圧電素子を密着させるように形成してもよい。
圧電素子3において、伸縮部位および屈曲部位の配置は各実施形態のものに限らない。要するに、伸縮部位が圧電素子3の長手方向略中央に配置され、また屈曲部位が圧電素子3の長手方向端部から圧電素子3の長辺長さLの約1/4 の部分に配置されていれば本発明の目的を達成できる。
圧電素子3の形状は各実施形態では略矩形状であったが、これに限らず、例えば楕円形状や三角形など任意の形状を採用できる。要するに、縦振動および屈曲振動が良好に励振できる形状であれば任意に設定してよい。
圧電素子3の振動は、各実施形態において伸縮振動および屈曲振動を組み合わせたものであったが、これに限らず伸縮振動のみあるいは屈曲振動のみを有するものであってもよい。また、圧電素子3は、各実施形態において繰り返し電圧が印加されることによって振動するものであったが、これに限らず、例えばステップ電圧などの印加により圧電素子3が一度伸縮変位および/ または屈曲変位するのみであってもよい。要するに、圧電素子3が面方向に伸縮および/ または屈曲するものであれば本発明に含まれる。
【0041】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態にかかる圧電アクチュエータの全体斜視図。
【図2】本発明の第一実施形態にかかる圧電アクチュエータの応力分布を示すグラフとこのグラフに対応する圧電アクチュエータの模式図。
【図3】本発明の第二実施形態にかかる圧電アクチュエータの平面図。
【図4】本発明の第三実施形態にかかる圧電アクチュエータの平面図。
【図5】本発明の第三実施形態にかかる圧電アクチュエータの拡大図。
【図6】本発明の第四実施形態にかかる圧電アクチュエータの分解斜視図。
【図7】本発明の第四実施形態にかかる圧電アクチュエータの側面図。
【符号の説明】
1…圧電アクチュエータ、2…補強板、3…圧電素子、21…凸部、4(4A,4B,4C,4D)…めっき層、6A,6B…導通部、41(41A,41B,41C,41D)…隙間、51,52,53,54,54A,55,56,57,58,59…電極、71…屈曲部位、72…伸縮部位、100…被駆動体。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a piezoelectric actuator that drives a driven body by displacement of a piezoelectric element.
[0002]
[Background Art]
Some piezoelectric actuators that apply an AC voltage to a piezoelectric element to vibrate the piezoelectric element and drive a driven body by the vibration have a plurality of electrodes formed on the surface of the piezoelectric element (for example, Patent Document 1). . In such a piezoelectric actuator, three electrodes are arranged on a rectangular piezoelectric element so as to divide the width into three equal parts along the longitudinal direction, and the electrodes on both sides of the three electrodes are further divided into two parts in the longitudinal direction. Thus, five electrodes are formed. When an AC voltage is applied to the center electrode and the diagonally opposite ends of these electrodes, the piezoelectric element vibrates in an elliptical orbit that combines longitudinal vibration and bending vibration. The driven body is driven in one direction by this vibration. If the electrodes to which the voltage is applied are switched in line symmetry about the longitudinal center line, the elliptical trajectory of the piezoelectric element is in the opposite direction, so that the driven body can be driven in the opposite direction.
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 2722211 (
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a piezoelectric actuator, for example, considering only longitudinal vibration, stress is relatively low although displacement is large at both ends in the longitudinal direction of the piezoelectric element. Therefore, the driving force obtained with respect to the electric power in this portion is low, and the driving efficiency of the entire piezoelectric actuator is low. Conversely, since power is consumed in the low-efficiency portion, the driving voltage consumed becomes high, and power saving cannot be expected.
[0005]
An object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator that can improve driving efficiency.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The piezoelectric actuator of the present invention has electrodes formed on both surfaces of a plate-shaped piezoelectric element, and includes a stretchable portion that expands and contracts in a plane direction orthogonal to the polarization direction of the piezoelectric element by applying a voltage to the electrode. In the piezoelectric actuator described above, the expansion and contraction portion is arranged substantially at the center of the expansion and contraction direction of the piezoelectric element.
According to the present invention, since the expansion and contraction portion is disposed substantially at the center of the expansion and contraction direction in which the highest stress occurs when the piezoelectric element expands and contracts, a portion that can obtain a good driving force with respect to the applied voltage is used. . Therefore, the driving efficiency of the piezoelectric actuator with respect to the applied voltage is improved. Conversely, since the expansion and contraction portions are arranged in a portion having good driving efficiency, power consumption is reduced and power saving is promoted.
Here, the portion refers to a region having a certain area in the piezoelectric element.
[0007]
The piezoelectric actuator of the present invention has a bent portion in which electrodes are formed on both surfaces of a plate-shaped piezoelectric element and a voltage is applied to the electrodes to bend in a plane direction orthogonal to the polarization direction of the piezoelectric element. In the piezoelectric actuator described above, the bending portion is arranged at a position which is about 1 / of the dimension of the piezoelectric element along a direction perpendicular to the bending direction from the end of the piezoelectric element.
According to the present invention, the bending portion is formed at a position where the highest stress is generated when the piezoelectric element is bent, that is, at a position which is about 1/4 of the dimension of the piezoelectric element along a direction perpendicular to the bending direction from the end of the piezoelectric element. Since it is arranged, a portion where a good driving force can be obtained with respect to an applied voltage is used. Therefore, the driving efficiency of the piezoelectric actuator with respect to the applied voltage is improved. Conversely, since the bent portion is arranged in a portion having good driving efficiency, power consumption is reduced and power saving is promoted.
[0008]
The piezoelectric actuator of the present invention, the electrodes are formed on both sides of the plate-shaped piezoelectric element, and by applying a voltage to the electrodes, an expansion and contraction portion that expands and contracts in a plane direction orthogonal to the polarization direction of the piezoelectric element, In the piezoelectric actuator having a bending portion that bends with respect to the expansion and contraction direction of the expansion and contraction portion, the expansion and contraction portion is disposed substantially at the center of the expansion and contraction direction of the piezoelectric element, and the bending portion is configured to expand and contract from the end of the piezoelectric element It is characterized in that it is arranged at a position about 1/4 of the dimension along the direction.
According to the present invention, the expansion and contraction portion is arranged at a portion where the highest stress is generated when the piezoelectric element expands and contracts, that is, substantially at the center in the expansion and contraction direction of the piezoelectric element. Further, the bent portion is arranged at a portion where the highest stress is generated at the time of bending, that is, at a position which is about 1 / of the dimension along the expansion and contraction direction of the piezoelectric element from the end of the piezoelectric element. In other words, the arrangement of the expansion and contraction parts and the bending parts is optimized, and they are arranged at the parts where good driving force can be obtained with respect to the applied voltage. Therefore, the driving efficiency of the piezoelectric actuator with respect to the applied voltage is improved. Conversely, since each part is arranged in a portion having good driving efficiency, power consumption is reduced and power saving is promoted.
[0009]
In the present invention, it is desirable that the electrode is patterned in accordance with the position of the elastic part and / or the bent part.
According to the present invention, since the electrodes are patterned according to the positions of the expansion and contraction portions and / or the bending portions, the piezoelectric element expands and contracts and / or bends only by applying a voltage to the corresponding electrodes. Since the behavior of the piezoelectric element can be set by appropriately patterning the shape and arrangement of the electrodes, the polarization direction of the piezoelectric element can be unified. This simplifies the structure of the piezoelectric element itself and makes it available at low cost.
[0010]
In the present invention, it is desirable that the polarization direction of the piezoelectric element is polarized according to the position of the expansion and contraction part and / or the bending part.
According to the present invention, since the polarization direction of the piezoelectric element is polarized according to the position of the expansion and contraction part and / or the bending part, when a voltage is applied to the electrode, the piezoelectric element generates a displacement in accordance with the polarization direction, and Expands or contracts. Thereby, the behavior of the piezoelectric element can be set without dividing the electrode, so that the number of electrodes arranged on the piezoelectric element is reduced. Therefore, the number of wires to the piezoelectric element is reduced, so that troubles such as disconnection are reduced, and the reliability of the piezoelectric actuator is improved.
[0011]
In the present invention, it is preferable that a voltage non-applying portion to which no voltage is applied is provided at an end of the piezoelectric element in the direction of expansion and contraction or an end in a direction perpendicular to the bending direction.
The end of the piezoelectric element in the expansion and contraction direction or the end in the direction perpendicular to the bending direction is a portion where neither high displacement nor high displacement occurs and the driving efficiency is relatively low. According to the present invention, since the portion is not used as a telescopic portion or a bent portion, the efficiency of the piezoelectric actuator is not reduced. Therefore, the driving efficiency of the piezoelectric actuator as a whole is improved.
[0012]
In the present invention, it is desirable that the voltage non-applying part is provided with a displacement detecting part for detecting expansion and contraction of the expansion and contraction part and / or bending of the bending part.
According to the present invention, the displacement detection part is provided at the voltage non-application part. Since the voltage non-applied portion is not a portion used for driving the piezoelectric actuator, the displacement can be detected without reducing the driving force. In addition, since displacement detection may be performed by amplifying and detecting small electric power, it is possible to detect even a portion where stress is small such as a portion where voltage is not applied. is there.
[0013]
In the present invention, it is desirable that a plurality of piezoelectric elements are stacked.
According to the present invention, since a plurality of piezoelectric elements are stacked, the driving force of the entire piezoelectric actuator is increased. Thus, a desired driving force can be set by stacking a predetermined number of piezoelectric elements.
[0014]
In the present invention, when a plurality of piezoelectric elements are stacked, it is desirable that the displacement detection part for detecting the expansion and contraction of the expansion and contraction part and / or the bending of the bending part is provided only on the surface piezoelectric element.
According to the present invention, of the plurality of stacked piezoelectric elements, only the piezoelectric element on the surface is provided with the displacement detection portion. Therefore, the influence of noise due to the displacement of the other piezoelectric elements is minimized. This enables more accurate displacement detection.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that in the second embodiment and later, which will be described later, components that are the same as components in the first embodiment described below and that have similar functions are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be simplified or omitted.
[0016]
(First embodiment)
FIG. 1 shows an overall perspective view of a
The reinforcing
The
[0017]
Further, a
The
[0018]
An
The
Here, the frequency of the voltage applied to the
[0019]
In such a
Here, FIG. 2A shows the stress distribution of the
Since the portion of the
When the driven
[0020]
According to such a
(1) The
[0021]
(2) The
[0022]
(3) Since the
[0023]
(4) Since the vibration detection portion is disposed on the side far from the contact position with the driven
[0024]
(5) By forming the
[0025]
(Second embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, the
FIG. 3 is a plan view of the
[0026]
In such a
When rotating the driven
Due to these stretching vibration and bending vibration, a voltage is generated at the
[0027]
According to such a
(6) The
[0028]
(7) Since the polarization directions of the
[0029]
(8) Since the polarization direction of the
[0030]
(9) By forming the
[0031]
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. The third embodiment is different from the first embodiment in the arrangement of the electrodes.
FIG. 4 is a plan view of the
In the
FIG. 5 shows an enlarged view of the
As described above, since the
[0032]
According to such a
(10) The expansion /
[0033]
(11) By forming the
[0034]
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In the fourth embodiment, a plurality of piezoelectric elements are stacked.
FIG. 6 is an exploded perspective view of the
In the second
In the third
[0035]
The
Note that the
[0036]
In such a
[0037]
According to such a
[0038]
(13) Since the plating layers 4A, 4B, 4C, and 4D are provided only in the portions requiring conductivity, the plating layers 4 exposed on the side surfaces are short-circuited, or the
[0039]
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, but includes modifications and improvements as long as the objects of the present invention can be achieved.
For example, in the fourth embodiment, three
Although the displacement detection part is provided as a vibration detection part in each embodiment, the object of the present invention can be achieved without necessarily providing this part. For example, when a voltage to be applied is set in advance by an experiment or the like, and it is not necessary to change the voltage according to the situation, the displacement detection portion may not be provided.
Even when the displacement detection portion is provided, it is not always necessary to dispose the displacement detection portion at both ends in the longitudinal direction of the
The
[0040]
Although the
In the
Although the shape of the
The vibration of the
[0041]
The best configuration and method for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the present invention has been particularly illustrated and described primarily with respect to particular embodiments, but may be modified in form with respect to the embodiments described above without departing from the spirit and scope of the invention. Those skilled in the art can make various modifications in terms of material, quantity, and other detailed configurations.
Therefore, the description of the shapes, materials, and the like disclosed above is merely an example for facilitating the understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member excluding some or all of the limitations such as is included in the present invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective view of a piezoelectric actuator according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph showing a stress distribution of the piezoelectric actuator according to the first embodiment of the present invention, and a schematic diagram of the piezoelectric actuator corresponding to the graph.
FIG. 3 is a plan view of a piezoelectric actuator according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of a piezoelectric actuator according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an enlarged view of a piezoelectric actuator according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an exploded perspective view of a piezoelectric actuator according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a side view of a piezoelectric actuator according to a fourth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
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