JP2004336862A - Drive circuit and actuator for ultrasonic motor - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波モータの駆動回路およびアクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、圧電素子を備えた振動体を振動させて、ロータ等の被駆動体を駆動する超音波モータが知られている。この超音波モータでは、駆動回路により、振動体の圧電素子に交流電圧を印加してその振動体を振動させる。かかる技術としては、特許文献1に記載された技術が知られている。
【0003】
しかしながら、前記特許文献1に記載されている超音波モータの駆動回路では、位相差を算出する位相差算出手段、最適位相差を設定する位相差設定手段、最適位相差に対する位相差のずれ量を求める比較手段、このずれ量に基づいて超音波モータに印加する交流電圧の周波数を調節する手段等が必要であり、回路構成が複雑化するとともに、複雑な処理を必要とする。
また、最適位相差に対する位相差のずれ量に基づいて、超音波モータに印加する交流電圧の周波数を調節するので、超音波モータの振動状態をリアルタイムに確実に最適化することは困難であり、駆動効率等が不十分であった。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−143777号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、簡易な構成で、超音波モータを、容易かつ確実に、高い駆動効率で駆動することができる超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の超音波モータの駆動回路は、交流電圧の印加により伸縮する第1の圧電素子と、接触部および腕部が一体的に形成された補強板と、交流電圧の印加により伸縮する第2の圧電素子とをこの順に積層してなり、前記接触部にて被駆動体に対して当接しつつ前記腕部にて固定設置される振動体を備える超音波モータを駆動する駆動回路であって、
前記圧電素子の伸縮により発生する電圧を検出する検出手段と、
前記検出された電圧の波形に対し、位相が所定時間ずれた駆動波形を生成する駆動波形生成手段と、
前記生成された駆動波形に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする。
【0007】
これにより、簡易な回路構成で、振動体(超音波モータ)の振動状態をリアルタイムに(常に)、容易かつ確実に最適化することができ、超音波モータを高い駆動効率で駆動することができる。
また、振動体が、圧電素子と補強板とを積層した構造を有するので、超音波モータの薄型化を図ることができる。
また、振動体が、交流電圧の印加により伸縮する第1の圧電素子と、接触部および腕部が一体的に形成された補強板と、交流電圧の印加により伸縮する第2の圧電素子とをこの順に積層してなるので、低い電圧で大きな駆動力および高い駆動速度とが得られ、また、面内方向の伸縮を利用して駆動するので、駆動効率を極めて高くすることができる。
【0008】
本発明の超音波モータの駆動回路は、接触部および腕部が一体的に形成された補強板と、該補強板上に設けられ、交流電圧の印加により伸縮する圧電素子とを有し、前記接触部にて被駆動体に対して当接しつつ前記腕部にて固定設置される振動体を備える超音波モータを駆動する駆動回路であって、
前記圧電素子の伸縮により発生する電圧を検出する検出手段と、
前記検出された電圧の波形に対し、位相が所定時間ずれた駆動波形を生成する駆動波形生成手段と、
前記生成された駆動波形に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする。
【0009】
これにより、簡易な回路構成で、振動体(超音波モータ)の振動状態をリアルタイムに(常に)、容易かつ確実に最適化することができ、超音波モータを高い駆動効率で駆動することができる。
また、振動体が、圧電素子と補強板とを積層した構造を有するので、超音波モータの薄型化を図ることができる。
【0010】
本発明の超音波モータの駆動回路は、交流電圧の印加により伸縮する圧電素子と、被駆動体に対して当接する接触部とを有する振動体を備える超音波モータを駆動する駆動回路であって、
前記圧電素子の伸縮により発生する電圧を検出する検出手段と、
前記検出された電圧の波形に対し、位相が所定時間ずれた駆動波形を生成する駆動波形生成手段と、
前記生成された駆動波形に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする。
これにより、簡易な回路構成で、振動体(超音波モータ)の振動状態をリアルタイムに(常に)、容易かつ確実に最適化することができ、超音波モータを高い駆動効率で駆動することができる。
【0011】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記駆動波形生成手段は、前記検出された電圧の波形に対する前記駆動波形の位相のずれ量を調節する調節手段を有し、
前記ずれ量の変更により、前記超音波モータの特性を変更するよう構成されているのが好ましい。
このずれ量の変更(調節)により、超音波モータの駆動周波数が変更され、例えば、駆動力や駆動速度に関して、任意の駆動特性を得ることができる。
【0012】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記検出手段は、前記圧電素子の伸縮により発生する電圧の波形のゼロクロス点を検出するゼロクロス検出回路を有し、
前記駆動波形生成手段は、前記検出されたゼロクロス点を基準にして、前記駆動波形を生成するのが好ましい。
これにより、振動体(超音波モータ)の振動状態をより確実に最適化することができ、超音波モータをより高い駆動効率で駆動することができる。
【0013】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記検出手段は、前記圧電素子の伸縮により発生する電圧の波形のゼロクロス点を検出するゼロクロス検出回路を有し、
前記駆動波形生成手段は、前記駆動波形として、そのレベルがローレベルとハイレベルとに交互に切り換わるパルス信号を生成する回路を有し、前記検出されたゼロクロス点から前記所定時間後に前記パルス信号のレベルを切り換えて、該パルス信号を出力するのが好ましい。
これにより、振動体(超音波モータ)の振動状態をより確実に最適化することができ、超音波モータをより高い駆動効率で駆動することができる。
【0014】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記ゼロクロス検出回路の前記ゼロクロス点の検出を無効にする期間を設けたのが好ましい。
これにより、前記ゼロクロス点の検出をより確実に行うことができ、超音波モータをより高い駆動効率で駆動することができる。
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記ゼロクロス点の検出を無効にする期間は、前記ゼロクロス点が検出されたときから所定期間であるのが好ましい。これにより、前記ゼロクロス点の検出をより確実に行うことができ、超音波モータをより高い駆動効率で駆動することができる。
【0015】
本発明の超音波モータの駆動回路では、前記振動体は、振動状態にて縦振動および屈曲振動の複合振動を行い、かつ、前記縦振動の共振周波数と前記屈曲振動の共振周波数とが相互に異なると共に相互に近接するのが好ましい。
これにより、これらの近傍の周波数、特に、縦振動(例えば、縦一次振動)の共振周波数f1と、屈曲振動(例えば、屈曲二次振動)の共振周波数f2との間の周波数にて振動体を駆動した場合に、縦振動および屈曲振動の双方の駆動特性を効率的に得ることができる。また、これらの共振周波数f1、f2の近傍にて、特に、共振周波数f1、f2の間の周波数にて、インピーダンスの値が低い周波数帯を幅広く形成できる。これにより、広い周波数帯にて縦振動および屈曲振動を結合した励振を行えると共に、駆動時の投入電力を安定化できる。また、これらの共振周波数f1、f2の間の周波数帯にて駆動周波数を適宜設定(選択)することにより、例えば、駆動力や駆動速度に関して、任意の駆動特性を得ることができる。
【0016】
本発明のアクチュエータは、本発明の超音波モータの駆動回路と、
前記駆動回路により駆動される前記超音波モータとを有することを特徴とする。
これにより、簡易な回路構成で、振動体(超音波モータ)の振動状態をリアルタイムに(常に)、容易かつ確実に最適化することができ、超音波モータを高い駆動効率で駆動することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の超音波モータの駆動回路およびアクチュエータを添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明のアクチュエータの第1実施形態を示すブロック図、図2は、図1に示すアクチュエータの振動体(超音波モータ)を示す斜視図、図3は、図1に示すアクチュエータの振動体(超音波モータ)の動作を示す説明図、図4は、図1に示すアクチュエータのタイミングチャートである。
【0018】
図1に示すように、アクチュエータ1は、超音波モータ4と、超音波モータ4を駆動する駆動回路7と、超音波モータ4からの駆動力により回転(変位)するロータ(被駆動体)51とを有している。
ロータ51は、図示しないベースに対し、回転可能に設置されている。また、超音波モータ4は、そのベースに対し、後述する弾性(可撓性)を有する腕部68により固定設置されている。
【0019】
図2に示すように、超音波モータ4は、振動体6を有している。この振動体6は、全体としては略長方形の板状形状を有し、接触部66と、腕部68とを有する。接触部66は、短辺の一部に突出しており、丸みを帯びた頂部を有し、振動体6の短辺の端部に位置している。腕部68は、前記接触部66の反対側の長辺の中央部から略垂直に延出して設けられており、その先端に、孔681が形成された固定部680を有する。振動体6は、ベースに対してその平面を略平行に向けつつ、図示しないボルトが腕部68の孔681に挿入され、そのボルトにより固定部680においてベースに固定される。このようにして、振動体6は、腕部68によって支持され、これにより、その振動体6は自由に振動することができ、比較的大きい振幅で振動する。
【0020】
ここで、振動体6の接触部66の先端部は、ロータ51の半径方向からその外周面(当接部)511に接触(当接)している(図1参照)。また、接触部66は、腕部68の弾性により、ロータ51の外周面511に対して弾性的に付勢されている。これにより、接触面にて十分な摩擦力が得られ、振動体6の振動を確実にロータ51に伝達することができる。この振動体6の振動により、接触部66からロータ51へ駆動力(回転力)が与えられ、そのロータ51が回転する。なお、振動体6(超音波モータ4)は、後述する駆動回路7に接続されており、駆動回路7により、その駆動が制御される。
【0021】
次に、超音波モータ4について詳細に説明する。
図2に示すように、超音波モータ4の振動体6は、単一の補強板(振動板)63を中心に配置し、この補強板63を圧電素子(第1の圧電素子)62と、圧電素子(第2の圧電素子)64とで挟み込み、これらを積層して構成される。圧電素子62、64は、それぞれ、交流電圧が印加されると、その長手方向(長辺の方向)に伸長・収縮する。また、振動体6には、電極61b、61dおよび61gと、電極65g(図示省略。各符号のみを括弧内に示す。)とが、その表裏の所定の位置に配置される。
【0022】
補強板63は、略長方形の板状構造を有し、その厚みが各圧電素子62、64より薄い。これにより、振動体6を高い効率で振動させ得る利点がある。また、補強板63は、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅系合金その他の金属材料から成る。ただし、補強板63の構成材料は、これに限定されない。補強板63は、振動体6全体を補強する機能を有し、過振幅や外力等による振動体6の損傷を防止する。また、補強板63は、圧電素子62、64に対する共通の電極として機能する。
【0023】
圧電素子62、64は、補強板63と略合同な長方形の板状構造を有する。圧電素子62、64は、相互に対向して補強板63を表裏から挟み込み、補強板63に対して平面位置を揃えて積層される。また、圧電素子62、64は、補強板63に対して固着され、一体化されて単一構造物を構成する。これにより、振動体6の強度を向上できる利点がある。また、圧電素子62、64は、電圧の印加により伸縮可能な材料から成る。かかる材料としては、例えば、チタン酸ジルコニウム酸鉛、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等が挙げられる。
【0024】
電極61bおよび61dは、短冊状の金属部材から成り、圧電素子62上の所定の位置に設置される。これらの電極61b、61dは、圧電素子62の長辺に対して略半分の長さを有し、圧電素子62上の長辺側の縁部に沿って、配置される。この場合、電極61bは、腕部68側で、かつ、接触部66と反対側、すなわち、図2中右下に位置する。一方、電極61dは、腕部68と反対側で、かつ、接触部66側、すなわち、図2中左上に位置する。
【0025】
また、電極61gは、長方形からその対角線上の2箇所から、前記電極61b、61dに対応する部分を除去して成る形状の金属部材から成る。電極61gは、圧電素子62上の前記電極61b、61dの存在しない部分に配置される。
また、電極65gは、前記電極61gと略同一の形状の金属材料から成る。電極65gは、圧電素子64上(圧電素子64の裏側)の前記電極61gに対応する位置に配置される。すなわち、電極61gと、電極65gとは、振動体6の表裏にて相互に対向して配置される。図2中にて、括弧書きにて付した符号は、振動体6を挟み相互に対向する電極であることを示している。
【0026】
前記電極61bと電極61dとは、導通され、後述する駆動回路7のゼロクロス検出回路71に接続され、また、前記電極61gと電極65gとは、導通され、後述する駆動回路7の電力増幅回路74に接続される(図1参照)。
なお、各電極の形状、寸法、位置等は、これに限定されないことは、言うまでもない。
【0027】
また、振動体6は、一方の短辺の端部、すなわち、長手方向の先端部の端部に、接触部66を有する。この接触部66は、補強板63に対して単一部材により一体的に形成される。これにより、接触部66を振動体6に対して強固に設置できる利点がある。特に、接触部66は、アクチュエータ1の駆動時にて、振動体6の振動により高速かつ反復的に、高い押圧力にてロータ51に衝突する。したがって、かかる構成により、接触部66の耐久性を高め得る利点がある。
【0028】
また、接触部66が、振動体6の長手方向の中心線から外れた位置に設けられているので、振動体6の駆動時にて振動体6にアンバランスが生じ、後述する縦振動および屈曲振動の複合振動が容易に誘発され、これにより、振動体6の駆動効率が向上する。
また、接触部66は、半円形状の先端部を有する。かかる接触部66は、角形の先端部を有する場合と比較して、ロータ51の外周面511に安定的に摩擦接触する。これにより、振動体6の作用方向が多少ずれた場合にも、振動体6からの押圧力を確実にロータ51に伝達できる利点がある。ただし、接触部66の形状は、これに限定されない。
また、振動体6は、前記接触部66の反対側の長辺の中央部、すなわち、長手方向の側部中央に、長辺に対して略垂直に突出する腕部68を有する。この腕部68は、補強板63に対して単一部材により一体的に形成される。これにより、腕部68を振動体6に対して強固に設置できる利点がある。
【0029】
振動体6は、腕部68の先端に設けられた孔681にボルトが挿入され、このボルトにより固定部680においてベースに対して固定設置される。また、振動体6は、腕部68によって支持され、ベースに対して浮上した状態(固定部680以外は非接触の状態)で設置される。かかる構成では、振動体6とベースとの摩擦がないので、振動体6の振動が拘束され難く、振動体6の自由な振動を実現できる利点がある。また、腕部68は、補強板63が金属材料から成るので、弾性を有する。振動体6の接触部66は、この弾性によりロータ51の外周面511に向って付勢され、その外周面511に圧接し、振動体6は、この状態にて腕部68により支持される。また、振動体6の補強板63は、この腕部68にてアース(接地)されている。
【0030】
ここで、腕部68は、振動体6の側方であって、振動体6の振動の節となる位置に設けられる。この位置は、振動解析その他公知の手法により当業者自明の範囲内にて適宜決定してよい。例えば、図示の振動体6の場合には、振動体6の長手方向の略中央付近が振動の節となる。そこで、このアクチュエータ1では、腕部68を振動体6の長辺の略中央に設ける。すると、振動体6の振動時にて、腕部68が振動体6の振動を阻害しないので、腕部68から外部への振動エネルギーの消散を抑制できる。これにより、ロータ51を効率的に駆動できる利点がある。
【0031】
図3に示すように、振動体6の接触部66がロータ51に当接した状態で、後述する駆動回路7の電力増幅回路74により、電極61gおよび65gに通電し、これらの電極61gおよび65gと、補強板63との間に、交流電圧が印加されると、振動体6の電極61gおよび65gに対応する部分がそれぞれ矢印a方向に高速で繰り返し伸縮する。これにより、振動体6は、全体として略S字状に屈曲した微少振動、すなわち、縦振動(例えば、縦一次振動)および屈曲振動(例えば屈曲二次振動)の複合振動を行う。この振動により、振動体6の接触部66は、矢印bで示す斜めの方向に変位、すなわち振動(往復運動)、または、矢印cで示すように、ほぼ楕円に沿って変位、すなわち楕円振動(楕円運動)する。ロータ51は、振動体6の電極61gおよび65gに対応する部分が伸長するときに接触部66から摩擦力(押圧力)を受ける。
すなわち、接触部66の振動変位Sの径方向成分S1(ロータ51の径方向の変位)によって、接触部66と外周面511との間に大きな摩擦力が与えられ、振動変位Sの周方向成分S2(ロータ51の円周方向の変位)によって、ロータ51に図3中の反時計回りの回転力が与えられる。
振動体6が振動すると、このような力がロータ51に繰り返し作用し、ロータ51は、図3中の反時計回りに回転する。
なお、図示の振動体6では、電極61bおよび65dが、振動体6の振動を検出する検出電極(振動検出手段)を構成する。
【0032】
次に、駆動回路7について説明する。
まず、概要を説明する。共振系を効率良く駆動するには、タイミング良く、エネルギー(電力)を投入する必要がある。このため、このアクチュエータ1では、振動体6の振動の半周期(または1周期)毎に、振動体6の振動として、振動体6の電極61bおよび61dと、補強板63との間に誘起される電圧(誘起電圧)、すなわち、電圧の波形(電圧波形)を検出し、検出された電圧波形に対し、位相が所定時間ずれた交流電圧を、圧電素子62、64、すなわち、電極61gおよび65gと、補強板63との間に印加して振動体6(超音波モータ4)を駆動する。以下、図1および図4に基づいて、詳細に説明する。
【0033】
図1に示すように、駆動回路7は、ゼロクロス検出回路(検出手段)71と、タイマー回路72と、波形形成回路73と、電力増幅回路(駆動手段)74とを有している。波形形成回路73としては、例えば、フリップフロップやラッチ回路等を用いることができる。なお、タイマー回路72および波形形成回路73により、駆動波形を生成する駆動波形生成手段が構成される。
ゼロクロス検出回路71は、振動体6の電極61bおよび61dと、補強板63との間に誘起される電圧(誘起電圧)、すなわち、電圧の波形(電圧波形)のゼロクロス点を検出する回路である。
【0034】
振動体6(超音波モータ4)が駆動されている際は、電極61bおよび61dと、補強板63との間に電圧(誘起電圧)が誘起され、その電圧(電圧波形)がゼロクロス検出回路71に入力される(検出される)。ゼロクロス検出回路71からは、前記電圧波形のゼロクロス点において、ゼロクロス検出信号としてパルス81が出力され、タイマー回路72に入力される(図1、図4のa、b参照)。
【0035】
タイマー回路72は、前記ゼロクロス検出回路71からのパルス81に対し、所定時間(td)遅延したパルス82を生成する回路である。
このタイマー回路72には、予め、時間tdが設定されており、ゼロクロス検出回路71からパルス81が入力されると、タイマー回路72は、時間計測を開始し、時間td経過すると、パルス82を出力する。このパルス82は、波形形成回路73に入力される。このようにして、前記ゼロクロス点から時間td遅れて(時間td後に)パルス82が波形形成回路73に入力される(図1、図4のc参照)。なお、前記時間tdの設定については、後で述べる。
【0036】
波形形成回路73は、駆動波形として、そのレベルがローレベル(L)とハイレベル(H)とに交互に切り換わるパルス信号(矩形波)83を生成する回路を有している。この波形形成回路73は、前記タイマー回路72からのパルス82をトリガとして前記パルス信号83のレベルを切り換え、そのパルス信号83を出力する。すなわち、波形形成回路73は、前記検出されたゼロクロス点から時間td後に前記パルス信号83のレベルを切り換え、そのパルス信号83を出力する(図1、図4のd参照)。
【0037】
なお、この波形形成回路73から出力されるパルス信号(出力信号)83のレベルは、前記ゼロクロス検出回路71で検出される電圧波形に対応し、その電圧波形が谷(負)のとき、ローレベルとなり、山(正)のとき、ハイレベルとなるようになっている。すなわち、パルス信号83のレベルは、前記電圧波形が負から正に変化するゼロクロス点から時間td後に、ローレベルからハイレベルに切り換わり、前記電圧波形が正から負に変化するゼロクロス点から時間td後に、ハイレベルからローレベルに切り換わる。
【0038】
電力増幅回路74は、波形形成回路73から入力されるパルス信号83に対応する交流電圧を振動体6(超音波モータ4)に印加する回路である。
この電力増幅回路74では、波形形成回路73から入力されるパルス信号が増幅され、交流電圧として出力される。この交流電圧は、電極61gおよび65gと、補強板63との間に印加される(図1、図4のe参照)。
【0039】
このように、振動体6の電極61gおよび65gと、補強板63との間には、前記ゼロクロス検出回路71で検出された電圧波形に対し、位相が時間td遅れた交流電圧が印加され、その振動体6が駆動される。これにより、振動体6が縦振動(例えば、縦一次振動)および屈曲振動(例えば、屈曲二次振動)し、ロータ51が接触部66に叩かれて図3中の反時計回りに回転する。
なお、図4に示す区間Aは、定常駆動状態(外乱等のない状態)であり、また、区間Bは、負荷変動等によって共振周波数がわずかに低くなった状態であり、また、区間Cは、負荷変動等によって共振周波数がわずかに高くなった状態であるが、いずれの状態においても、前記時間tdの値は、同一(固定)である。
【0040】
次に、前記時間tdの設定について説明する。
図4に示す区間Aは、定常駆動状態(外乱等のない状態)であり、目標の駆動周波数(共振周波数)がfrの場合、この定常駆動状態において、周期が1/frとなるように(正帰還が起こるように)、前記時間tdを設定する。
例えば、図2および図3に示す振動体6の構成では、駆動用の電極である電極61g、65gに正電圧が印加されてその電極61g、65gに対応する部分が伸張するとき、検出用の電極である電極61b、61dに対応する部分が収縮して電極61b、61dに正電圧が誘起される(検出される)ようになっている。
【0041】
この場合、例えば、共振状態では、電極61g、65gへ印加される電圧の位相に対し、電流の位相は同相であり、その電流の位相に対し、振動の速度の位相は同相であり、変位の位相は、90°(1/4周期)遅れる。この変位に伴って、電極61b、61dに電圧が発生する。すなわち、電極61g、65gへ印加される電圧(電圧波形)の位相に対し、電極61b、61dに誘起される電圧(電圧波形)の位相は、90°遅れる。従って、この位相関係が保持されるように、前記時間tdを設定し、振動体6を駆動する。この例では、前記時間tdは、定常駆動状態において270°に相当する時間に設定され、これにより、電極61g、65gへ印加される電圧の位相は、電極61b、61dから検出される電圧の位相に対し、定常駆動状態において270°に相当する時間だけ遅れる。
【0042】
以上述べたように、このアクチュエータ1によれば、簡易な回路構成で、振動体6(超音波モータ4)の振動状態をリアルタイムに(常に)、容易かつ確実に最適化することができる。これにより、超音波モータ4を高い駆動効率で駆動することができる。
また、振動体6が圧電素子62、64と補強板63とを積層した構造、すなわち、薄型の板状形状を有するので、アクチュエータ1全体を小型化、特に薄型化することができる。
【0043】
また、振動体6が摩擦力(押圧力)によりロータ51を駆動するので、磁力により駆動されるモータと比較して、高い駆動トルクおよび効率を得られる利点がある。これにより、変速機構(減速機構)を介すことなく、ロータ51を十分な力で駆動できる利点がある。
また、振動体6が、圧電素子62と、接触部66および腕部68が一体的に形成された補強板63と、圧電素子64とをこの順に積層してなるので、低い電圧で大きな駆動力および高い駆動速度とが得られる。また、面内方向の伸縮を利用して駆動するので、駆動効率を極めて高くすることができる。
【0044】
また、振動体6の電気ノイズが、磁力により駆動されるモータと比較して極めて小さいので、電気ノイズにより周辺機器が受ける影響を低減できる利点がある。
また、変速機構を要しないので、エネルギー損失が少ないという利点もある。また、ロータ51を振動体6で直接駆動し、別途減速機構を設ける必要がないので、軽量化、小型化および薄型化できる利点がある。また、これにより、構造を極めて簡素化できると共に、製品を容易に製造できるので、製造コストを低減できる利点がある。
また、振動体6の本体部の平面視での形状は、略長方形状をなしているが、これは、振動体6の圧電素子62、64をダイシング等により製造する時、取り数が多くなり、歩留まりが向上し、好ましい。
【0045】
なお、本発明は、ロータ51を前記と逆方向(図3中時計回り)に回転させるものや、ロータ51を正逆両方向(図3中時計回りおよび反時計回り)に回転させ得るものであってもよい。これらは、例えば、振動体6の電極の形状や配置等を変更したり、また、電極の通電を切り換える通電切り換え手段等を設けることにより実現できる。
また、本発明では、振動体6(振動体6の本体部)の形状、寸法、振動モード等は、特に限定されない。
【0046】
(第2実施形態)
次に、本発明のアクチュエータの第2実施形態について説明する。
図5は、本発明のアクチュエータの第2実施形態を示すブロック図、図6は、図5に示すアクチュエータのタイミングチャートである。
以下、第2実施形態のアクチュエータ1について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【0047】
図5に示すように、第2実施形態のアクチュエータ1の駆動回路7は、ゼロクロス検出回路(検出手段)71と、タイミング補正回路75と、タイマー回路72と、特性調整回路(調節手段)76と、波形形成回路73と、電力増幅回路(駆動手段)74とを有している。なお、タイマー回路72、特性調整回路76および波形形成回路73により、駆動波形を生成する駆動波形生成手段が構成される。
【0048】
タイミング補正回路75は、ゼロクロス検出回路71から出力されるパルス81の通過の許可と禁止とを切り換えるENABLE信号を生成し、このENABLE信号のレベルがローレベル(L)の期間は、前記パルス81を通過させず、ハイレベル(H)の期間のみ、前記パルス81を通過させるよう構成されている(図5、図6のb、ENABLE、f参照)。
【0049】
すなわち、ENABLE信号のレベルがローレベルの期間は、図6のDに示すように、ゼロクロス検出回路71において、ゼロクロス点が検出されてパルス81が生成されても、そのパルス81は、タイミング補正回路75でカットされ、タイマー回路72には入力されない。換言すれば、タイミング補正回路75により、ENABLE信号のレベルがローレベルの期間、ゼロクロス検出回路71におけるゼロクロス点の検出が無効にされる。
【0050】
一方、ENABLE信号のレベルがハイレベルの期間は、ゼロクロス検出回路71において、ゼロクロス点が検出されてパルス81が生成されると、そのパルス81は、タイミング補正回路75を通過して、タイマー回路72に入力される。
従って、ゼロクロス検出回路71で検出される電圧の波形(電圧波形)にノイズ成分がのることによる影響を阻止することができる。すなわち、確実に、本来のゼロクロス点のみを検出することができ、これにより、例えば、振動体6の振動が不安定になることや、振動体6が他の振動モードで振動してしまうことを防止することができる。
【0051】
前記ENABLE信号のレベルがローレベルの期間、すなわち、前記ゼロクロス検出回路71におけるゼロクロス点の検出を無効にする期間は、本実施形態では、ゼロクロス点が検出されたときから所定時間(tp)である。
この時間tpは、隣り合う本来のゼロクロス点とゼロクロス点との間の時間より短い時間に設定される。例えば、時間tpは、共振周波数や駆動周波数の変動や変更等に伴う本来のゼロクロス点の変動、すなわち、種々の要因を考慮して想定し得る、隣り合う本来のゼロクロス点とゼロクロス点との間の時間の最小値より短い時間に設定される。
【0052】
また、時間tpは、可能な限り長い時間に設定されるのがより好ましい。例えば、時間tpは、前記最小値より若干短い時間に設定されるのが好ましい。
これにより、より確実に、本来のゼロクロス点のみを検出することができ、例えば、振動体6の振動が不安定になることや、振動体6が他の振動モードで振動してしまうことをより確実に防止することができる。
なお、前記ENABLE信号のレベルをローレベルにする期間、すなわち、ゼロクロス検出回路71におけるゼロクロス点の検出を無効にする期間は、これに限定されないことは、言うまでもない。
また、前記ゼロクロス検出回路71におけるゼロクロス点の検出を無効にする期間が、調節(変更)し得るようになっていてもよい。
【0053】
特性調整回路76は、タイマー回路72における時間tdの値を調節(変更)する回路である。
この特性調整回路76により、前記時間tdが変更されると、振動体6に印加される交流電圧の周波数が変わる。例えば、時間tdを長くすると、振動体6に印加される交流電圧の周波数は低くなり、時間tdを短くすると、振動体6に印加される交流電圧の周波数は高くなる。そして、後述するように、振動体6に印加される交流電圧の周波数が変わると、振動体6(超音波モータ4)の特性(駆動特性)が変わる。
このように、特性調整回路76によるタイマー回路72における時間tdの値の調節により、振動体6の駆動特性を任意に調節することができる。
なお、これ以降の動作は、前述した第1実施形態と同様であるので、その説明は、省略する。
【0054】
図7は、図2に示す振動体の電気的特性であって、振動体がロータを押圧していない場合(フリー状態)を示すグラフ、図8は、図2に示す振動体の電気的特性であって、振動体6がロータ51を押圧している場合(押圧状態)を示すグラフである。図7では、横軸に振動体6の駆動時における振動周波数[Hz]をとり、縦軸に振動体6がロータ51を押圧していない場合の圧電素子62、64のインピーダンス[Ω]をとる。図8では、横軸に振動体6の駆動時における振動周波数[Hz]をとり、縦軸に振動体6がロータ51を押圧している場合の圧電素子62、64のインピーダンス[Ω]をとる。
【0055】
図7に示すように、この振動体6は、縦一次振動の共振周波数flと、屈曲二次の共振周波数fbとを有する。これらの共振周波数fl、fbでは、いずれもインピーダンスが極小値をとる。ここで、これらの共振周波数fl、fbは、振動体6固有の周波数である。共振周波数fl、fbは、振動体6の形状や大きさ、接触部66の位置等の選択により、任意に設計変更可能である。この振動体6では、共振周波数fl、fbが相互に近接するように設定される。例えば、この振動体6では、屈曲二次振動の共振周波数fbが、縦一次振動の共振周波数flに対して、例えば、約1[%]〜2[%]程度大きい。この構成において、これらの近傍の周波数、特に、縦一次振動の共振周波数flと、屈曲二次の共振周波数fbとの間の周波数にて振動体6を駆動すると、縦一次振動および屈曲二次振動の双方の複合振動が得られる。また、この複合振動は、縦一次振動および屈曲二次振動の双方の共振周波数fl、fbに近いため、双方の駆動特性を顕著に有する。これにより、振動体6の駆動状態にて、縦一次振動および屈曲二次振動の双方の駆動特性を効率的に得られる利点がある。
【0056】
また、この振動体6では、これらの共振周波数fl、fbが、相互に異なる数値となるように設定される(図7参照)。すると、図8に示すように、押圧状態では、共振点近傍にて圧電素子62、64のインピーダンス変化が鈍くなり、縦一次振動の共振周波数flと屈曲二次振動の共振周波数fbの際目が不明瞭となる。また、これらの共振周波数fl、fbの近傍にて、特に、縦一次振動の共振周波数flと屈曲二次振動の共振周波数fbとの間の周波数にて、インピーダンスの値が低い周波数帯を幅広く形成できる。これにより、広い周波数帯にて縦一次振動および屈曲二次振動を結合した励振を行えると共に、駆動時の投入電力を安定化できる利点がある。なお、振動体6がロータ51を押圧していない場合と、押圧している場合とでは、前記縦一次振動の共振周波数および屈曲二次振動の共振周波数は、それぞれ、変動するが、ここでは、説明が複雑になるのを避けるため、振動体6がロータ51を押圧していない場合と、押圧している場合とのそれぞれにおいて、「fl」、「fb」とする。
また、このアクチュエータ1では、振動体6が、縦一次振動の共振周波数flと、屈曲二次振動の共振周波数fbとの間の所定振動周波数(駆動周波数)にて駆動される。
【0057】
図9は、振動体の駆動周波数と、振動体の駆動力(駆動トルク)および駆動速度(回転数)との関係を示すグラフ、図10は、振動体の駆動周波数がflおよびfbのときの駆動トルクTと回転数(回転速度)Nとの関係特性を示すグラフである。
図9に示すように、振動体6の駆動周波数を縦一次振動の共振周波数flに近づけると、押圧力を増す方向(ロータ51の半径方向)の振動振幅が大きくなるので、振動体6の接触部66とロータ51との間の摩擦力が大きくなり、駆動力(駆動トルク)が高くなる(高駆動力型となる)。また、振動体6の駆動周波数を屈曲二次振動の共振周波数fbに近づけると、振動体6の振動変位のうちの、ロータ51の移動方向(ロータ51の周方向)の成分が大きくなり、これにより振動体6による1回の振動で送れる量(ロータ51の回転量)が大きくなり、駆動速度(移動速度)(回転数)が高くなる(高速型となる)。
【0058】
例えば、振動体6の駆動周波数を縦一次振動の共振周波数fl、屈曲二次振動の共振周波数fbに設定すると、駆動トルクTと回転数(回転速度)Nとの関係特性は、それぞれ、図10に示すようになる。また、振動体6の駆動周波数を縦一次振動の共振周波数flと、屈曲二次振動の共振周波数fbとの間の所定の値に設定すると、駆動トルクTと回転数(回転速度)Nとの関係特性は、図10に示す両グラフの間の特性となる。
【0059】
このように、縦一次振動の共振周波数flと、屈曲二次振動の共振周波数fbとをずらすと共に、前記特性調整回路76によるタイマー回路72における時間tdの値の調節により、これらの共振周波数fl、fb間の周波数帯にて駆動周波数を適宜設定(選択)することにより、例えば、駆動力や駆動速度に関して、任意の駆動特性を得ることができる。
また、この振動体6では、屈曲二次振動の共振周波数fbが、縦一次振動の共振周波数flよりも、flの0.5[%]〜3[%]程度大きいのが好ましく、1[%]〜2[%]程度大きいのがより好ましい。
【0060】
屈曲二次振動の共振周波数fbと縦一次振動の共振周波数flとの差を前記範囲内に設定することにより、押圧状態で縦一次振動と屈曲二次振動が同時に起きる(結合する)ので摩擦力と駆動力とが同時に得られ、良好な駆動特性が得られる。
なお、これに限らず、縦一次振動の共振周波数flの方が、屈曲二次振動の共振周波数fbより大きくてもよい。この場合、縦一次振動の共振周波数flは、屈曲二次振動の共振周波数fbよりも、fbの0.5[%]〜3[%]程度大きいのが好ましく、1[%]〜2[%]程度大きいのがより好ましい。
【0061】
また、この振動体6では、屈曲二次振動の共振周波数fbにおけるインピーダンスの方が、縦一次振動の共振周波数flにおけるインピーダンスより大きく、また、共振周波数fl、fb間にて、インピーダンスが極大となる周波数fxを有する。そして、振動体6は、この縦一次振動の共振周波数flと、屈曲二次振動の共振周波数fbとの間の所定の駆動周波数にて駆動されるのが好ましく、fxとfbの間の所定の駆動周波数にて駆動されるのがより好ましい。
これにより、振動体6の駆動時に縦振動と屈曲振動の振動位相をずらして励振することができる。したがって、接触部66を楕円軌道c(図3参照)に沿って振動させることができ、振動体6からロータ51に対し、ロータ51を引き戻す力を与えることなく、効率良く力を与えることができる。
【0062】
ここで、本実施形態のアクチュエータ1における各設定値の一例を説明する。
例えば、振動体6の本体部の寸法が、7mm(縦)×2mm(横)程度であり、定常駆動状態における共振周波数が280kHz程度の場合、時間tpは、定常駆動状態において180°(1/2周期)に相当する時間より少し短い時間、例えば、1.6μ秒程度、時間tdは、定常駆動状態において270°(3/4周期)に相当する時間、すなわち、2.7μ秒程度に設定される。
【0063】
(第3実施形態)
次に、本発明のアクチュエータの第3実施形態について説明する。
図11は、本発明のアクチュエータの第3実施形態における振動体(超音波モータ)を示す斜視図である。
以下、第3実施形態のアクチュエータ1について、前述した第1実施形態や第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【0064】
図11に示すように、第3実施形態のアクチュエータ1の振動体6(超音波モータ4)では、その補強板63の一方の面(片側)に、圧電素子62が設けられ、この圧電素子62上に、電極61b、61dおよび61gが設けられている。
かかる構成によっても、前述した第1実施形態や第2実施形態と同様の効果が得られる。
【0065】
また、圧電素子62および電極61b、61dおよび61gが補強板63の一方の面(片側)のみに設けられるので、構造が簡易であり、振動体6の厚みを薄くすることができ、また、コストを低減することができる利点がある。
また、この圧電素子62および電極61を補強板63の一方の面(片側)のみに設ける構成は、例えば、後述する振動体等に適用することができる。
すなわち、本発明では、振動体6は、接触部66および腕部68を一体的に形成された補強板63上(補強板63の一方の面側)に、交流電圧の印加により伸縮する圧電素子62を設けた構造(平面構造)としてもよい。
【0066】
(第4実施形態)
次に、本発明のアクチュエータの第4実施形態について説明する。
図12は、本発明のアクチュエータの第4実施形態における振動体(超音波モータ)を示す斜視図である。なお、以下の説明では、図12中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【0067】
以下、第4実施形態のアクチュエータ1について、前述した第1実施形態や第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図12に示すように、第4実施形態のアクチュエータ1の超音波モータ4では、その振動体6の補強板63に、弾性(可撓性)を有する1対(2つ)の腕部68が一体的に形成されている。
【0068】
1対の腕部68は、補強板63の長手方向(図12中上下方向)ほぼ中央に、長手方向とほぼ垂直な方向であって、かつ、補強板63(振動体6)を介して互いに反対方向に突出するように(図12中左右対称に)設けられている。
また、接触部66は、下側の短辺側であって、補強板63の幅方向(図12中左右方向)ほぼ中央に設けられている。
【0069】
なお、この振動体6は、前述した第1実施形態のように、ロータ51を一方向にのみ回転させる構成のものでもよいが、ロータ51を正逆両方向(図12中時計回りおよび反時計回り)に回転させ得る構成のものであるのが好ましい。
この第4実施形態によれば、前述した第1実施形態や第2実施形態と同様の効果が得られる。
【0070】
そして、この第4実施形態では、振動体6に1対の腕部68が設けられているので、支持に対する剛性が高まり、駆動の反作用等の外力に対しても安定した支持ができる。さらに、左右対称になるので、図12中時計回り(右方向)の駆動特性と図12中反時計回り(左方向)の駆動特性への影響を均一化でき、正逆方向の特性が等しいものを実現することができる。
【0071】
以上、本発明を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。
なお、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、本発明では、被駆動体は、ロータに限らず、他の回転構造物であってもよく、また、例えば、スライダのような並進構造物等であってもよい。すなわち、被駆動体の変位は、回転(回動)に限らず、例えば、リニアアクチュエータにおける被駆動体の移動のように、直線に沿った移動や曲線に沿った移動等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のアクチュエータの第1実施形態を示すブロック図。
【図2】図1に示す振動体の斜視図。
【図3】図1に示す振動体の動作を示す説明図。
【図4】図1に示すアクチュエータのタイミングチャート。
【図5】本発明のアクチュエータの第2実施形態を示すブロック図。
【図6】図5に示すアクチュエータのタイミングチャート。
【図7】図2に示す振動体の電気的特性を示すグラフ。
【図8】図2に示す振動体の電気的特性を示すグラフ。
【図9】駆動周波数と、駆動力および駆動速度との関係を示すグラフ。
【図10】駆動トルクと回転数(回転速度)との関係特性を示すグラフ。
【図11】第3実施形態における振動体を示す斜視図。
【図12】第4実施形態における振動体を示す平面図。
【符号の説明】
1…アクチュエータ 4…超音波モータ 51…ロータ 511…外周面 6…振動体 61b、61d、61g、65b、65d、65g…電極 62、64…圧電素子 63…補強板 66…接触部 68…腕部 680…固定部 681…孔 7…駆動回路 71…ゼロクロス検出回路 72…タイマー回路 73…波形形成回路 74…電力増幅回路 75…タイミング補正回路 76…特性調整回路 81、82…パルス 83…パルス信号[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a drive circuit and an actuator for an ultrasonic motor.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, an ultrasonic motor that drives a driven body such as a rotor by vibrating a vibrating body including a piezoelectric element has been known. In this ultrasonic motor, a driving circuit applies an AC voltage to the piezoelectric element of the vibrating body to vibrate the vibrating body. As such a technique, a technique described in
[0003]
However, in the drive circuit of the ultrasonic motor described in
In addition, since the frequency of the AC voltage applied to the ultrasonic motor is adjusted based on the shift amount of the phase difference with respect to the optimal phase difference, it is difficult to reliably optimize the vibration state of the ultrasonic motor in real time, The driving efficiency and the like were insufficient.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-7-143777
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a drive circuit and an actuator for an ultrasonic motor that can easily and reliably drive an ultrasonic motor with high driving efficiency with a simple configuration.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the present invention described below.
The drive circuit of the ultrasonic motor according to the present invention includes a first piezoelectric element that expands and contracts by applying an AC voltage, a reinforcing plate integrally formed with a contact portion and an arm, and a second piezoelectric element that expands and contracts by applying an AC voltage. And a driving circuit for driving an ultrasonic motor including a vibrating body fixedly installed at the arm portion while being in contact with the driven body at the contact portion. ,
Detecting means for detecting a voltage generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
A drive waveform generating means for generating a drive waveform having a phase shifted by a predetermined time with respect to the detected voltage waveform;
Driving means for driving the ultrasonic motor by applying an AC voltage corresponding to the generated drive waveform to the piezoelectric element.
[0007]
Thus, the vibration state of the vibrating body (ultrasonic motor) can be easily and reliably optimized in real time (always) with a simple circuit configuration, and the ultrasonic motor can be driven with high driving efficiency. .
Further, since the vibrating body has a structure in which the piezoelectric element and the reinforcing plate are stacked, the thickness of the ultrasonic motor can be reduced.
Further, the vibrating body includes a first piezoelectric element that expands and contracts by applying an AC voltage, a reinforcing plate integrally formed with a contact portion and an arm, and a second piezoelectric element that expands and contracts by applying an AC voltage. Since the layers are stacked in this order, a large driving force and a high driving speed can be obtained at a low voltage, and driving is performed by using expansion and contraction in the in-plane direction, so that driving efficiency can be extremely increased.
[0008]
The drive circuit of the ultrasonic motor according to the present invention includes a reinforcing plate integrally formed with a contact portion and an arm portion, and a piezoelectric element provided on the reinforcing plate, which expands and contracts by application of an AC voltage, A drive circuit for driving an ultrasonic motor including a vibrating body fixedly installed at the arm while abutting against a driven body at a contact portion,
Detecting means for detecting a voltage generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
A drive waveform generating means for generating a drive waveform having a phase shifted by a predetermined time with respect to the detected voltage waveform;
Driving means for driving the ultrasonic motor by applying an AC voltage corresponding to the generated drive waveform to the piezoelectric element.
[0009]
Thus, the vibration state of the vibrating body (ultrasonic motor) can be easily and reliably optimized in real time (always) with a simple circuit configuration, and the ultrasonic motor can be driven with high driving efficiency. .
Further, since the vibrating body has a structure in which the piezoelectric element and the reinforcing plate are stacked, the thickness of the ultrasonic motor can be reduced.
[0010]
A drive circuit for an ultrasonic motor according to the present invention is a drive circuit for driving an ultrasonic motor including a vibrating body having a piezoelectric element that expands and contracts by the application of an AC voltage and a contact portion that contacts a driven body. ,
Detecting means for detecting a voltage generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
A drive waveform generating means for generating a drive waveform having a phase shifted by a predetermined time with respect to the detected voltage waveform;
Driving means for driving the ultrasonic motor by applying an AC voltage corresponding to the generated drive waveform to the piezoelectric element.
Thus, the vibration state of the vibrating body (ultrasonic motor) can be easily and reliably optimized in real time (always) with a simple circuit configuration, and the ultrasonic motor can be driven with high driving efficiency. .
[0011]
In the drive circuit of the ultrasonic motor according to the present invention, the drive waveform generation unit has an adjustment unit that adjusts a phase shift amount of the drive waveform with respect to the detected voltage waveform,
It is preferable that the configuration is such that the characteristics of the ultrasonic motor are changed by changing the shift amount.
By changing (adjusting) the shift amount, the driving frequency of the ultrasonic motor is changed, and for example, any driving characteristics can be obtained with respect to driving force and driving speed.
[0012]
In the drive circuit of the ultrasonic motor according to the present invention, the detection unit includes a zero cross detection circuit that detects a zero cross point of a voltage waveform generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
It is preferable that the drive waveform generation means generates the drive waveform based on the detected zero cross point.
Thus, the vibration state of the vibrating body (ultrasonic motor) can be more reliably optimized, and the ultrasonic motor can be driven with higher driving efficiency.
[0013]
In the drive circuit of the ultrasonic motor according to the present invention, the detection unit includes a zero cross detection circuit that detects a zero cross point of a voltage waveform generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
The drive waveform generation means has a circuit for generating a pulse signal whose level alternately switches between a low level and a high level as the drive waveform, and the pulse signal after the predetermined time from the detected zero cross point. It is preferable to output the pulse signal by switching the level of the pulse signal.
Thus, the vibration state of the vibrating body (ultrasonic motor) can be more reliably optimized, and the ultrasonic motor can be driven with higher driving efficiency.
[0014]
In the drive circuit for an ultrasonic motor according to the present invention, it is preferable to provide a period in which the detection of the zero-cross point by the zero-cross detection circuit is invalidated.
Thus, the detection of the zero cross point can be performed more reliably, and the ultrasonic motor can be driven with higher driving efficiency.
In the ultrasonic motor drive circuit according to the present invention, it is preferable that the period in which the detection of the zero-cross point is invalid is a predetermined period from the time when the zero-cross point is detected. Thus, the detection of the zero cross point can be performed more reliably, and the ultrasonic motor can be driven with higher driving efficiency.
[0015]
In the drive circuit for an ultrasonic motor according to the present invention, the vibrator performs a composite vibration of a longitudinal vibration and a bending vibration in a vibrating state, and the resonance frequency of the longitudinal vibration and the resonance frequency of the bending vibration are mutually different. Preferably, they are different and close to each other.
Accordingly, the vibrating body is driven at frequencies near these frequencies, in particular, a frequency between the resonance frequency f1 of longitudinal vibration (for example, primary longitudinal vibration) and the resonance frequency f2 of bending vibration (for example, secondary bending vibration). When driven, it is possible to efficiently obtain drive characteristics of both longitudinal vibration and bending vibration. Further, in the vicinity of these resonance frequencies f1 and f2, particularly at a frequency between the resonance frequencies f1 and f2, a frequency band having a low impedance value can be formed widely. As a result, excitation combining longitudinal vibration and bending vibration can be performed in a wide frequency band, and the input power during driving can be stabilized. Further, by appropriately setting (selecting) the driving frequency in the frequency band between these resonance frequencies f1 and f2, it is possible to obtain an arbitrary driving characteristic with respect to, for example, the driving force and the driving speed.
[0016]
Actuator of the present invention, a drive circuit of the ultrasonic motor of the present invention,
And the ultrasonic motor driven by the drive circuit.
Thus, the vibration state of the vibrating body (ultrasonic motor) can be easily and reliably optimized in real time (always) with a simple circuit configuration, and the ultrasonic motor can be driven with high driving efficiency. .
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a drive circuit and an actuator of an ultrasonic motor according to the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
(1st Embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the actuator of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a vibrating body (ultrasonic motor) of the actuator shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is an explanatory view showing the operation of the vibrating body (ultrasonic motor), and FIG. 4 is a timing chart of the actuator shown in FIG.
[0018]
As shown in FIG. 1, the
The
[0019]
As shown in FIG. 2, the
[0020]
Here, the tip of the
[0021]
Next, the
As shown in FIG. 2, the vibrating
[0022]
The reinforcing
[0023]
The
[0024]
The
[0025]
The
The
[0026]
The
Needless to say, the shape, size, position, and the like of each electrode are not limited thereto.
[0027]
Further, the vibrating
[0028]
Further, since the
The
In addition, the vibrating
[0029]
A bolt is inserted into the
[0030]
Here, the
[0031]
As shown in FIG. 3, in a state where the
That is, a large frictional force is applied between the
When the vibrating
In the illustrated vibrating
[0032]
Next, the
First, an outline will be described. In order to drive the resonance system efficiently, it is necessary to input energy (power) with good timing. Therefore, in the
[0033]
As shown in FIG. 1, the
The zero-
[0034]
When the vibrating body 6 (ultrasonic motor 4) is driven, a voltage (induced voltage) is induced between the
[0035]
The
A time td is set in advance in the
[0036]
The
[0037]
The level of the pulse signal (output signal) 83 output from the
[0038]
The
In the
[0039]
As described above, between the
In addition, section A shown in FIG. 4 is a steady driving state (a state without disturbance or the like), section B is a state where the resonance frequency is slightly lowered due to a load change or the like, and section C is a state. , The resonance frequency is slightly increased due to load fluctuation or the like, but in any state, the value of the time td is the same (fixed).
[0040]
Next, the setting of the time td will be described.
Section A shown in FIG. 4 is a steady driving state (a state without disturbance or the like), and when the target driving frequency (resonance frequency) is fr, the period is 1 / fr in this steady driving state ( The time td is set so that a positive feedback occurs).
For example, in the configuration of the vibrating
[0041]
In this case, for example, in the resonance state, the phase of the current is in-phase with the phase of the voltage applied to the
[0042]
As described above, according to the
Further, since the vibrating
[0043]
Further, since the vibrating
Further, since the vibrating
[0044]
Further, since the electric noise of the vibrating
In addition, since a transmission mechanism is not required, there is an advantage that energy loss is small. Further, since the
The shape of the main body of the vibrating
[0045]
In the present invention, the
In the present invention, the shape, size, vibration mode, and the like of the vibrating body 6 (the main body of the vibrating body 6) are not particularly limited.
[0046]
(2nd Embodiment)
Next, a second embodiment of the actuator of the present invention will be described.
FIG. 5 is a block diagram showing a second embodiment of the actuator of the present invention, and FIG. 6 is a timing chart of the actuator shown in FIG.
Hereinafter, the
[0047]
As shown in FIG. 5, the
[0048]
The
[0049]
That is, during the period when the level of the ENABLE signal is low level, as shown in FIG. 6D, even if the zero cross point is detected and the
[0050]
On the other hand, during the period when the level of the ENABLE signal is at the high level, when the zero-cross point is detected by the zero-
Therefore, it is possible to prevent the influence of the noise component on the voltage waveform (voltage waveform) detected by the zero-
[0051]
In the present embodiment, the period during which the level of the ENABLE signal is low, that is, the period during which the detection of the zero-cross point in the zero-
This time tp is set to a time shorter than the time between adjacent original zero-cross points. For example, the time tp is a change in the original zero-cross point due to a change or a change in the resonance frequency or the drive frequency, that is, the time between the adjacent original zero-cross points, which can be assumed in consideration of various factors. Is set to a time shorter than the minimum value of the time.
[0052]
It is more preferable that the time tp is set as long as possible. For example, the time tp is preferably set to a time slightly shorter than the minimum value.
As a result, only the original zero-cross point can be detected more reliably, and, for example, the vibration of the vibrating
It is needless to say that the period during which the level of the ENABLE signal is set to low level, that is, the period during which the detection of the zero-cross point in the zero-
Further, the period in which the detection of the zero-cross point in the zero-
[0053]
The
When the time td is changed by the
As described above, by adjusting the value of the time td in the
The subsequent operation is the same as in the first embodiment described above, and a description thereof will be omitted.
[0054]
FIG. 7 is a graph showing electrical characteristics of the vibrating body shown in FIG. 2 when the vibrating body does not press the rotor (free state), and FIG. 8 is an electrical characteristic of the vibrating body shown in FIG. 6 is a graph showing a case where the vibrating
[0055]
As shown in FIG. 7, the vibrating
[0056]
In the
Further, in this
[0057]
FIG. 9 is a graph showing the relationship between the driving frequency of the vibrating body and the driving force (driving torque) and driving speed (rotation speed) of the vibrating body. FIG. 10 is a graph showing the case where the driving frequencies of the vibrating body are fl and fb. 5 is a graph showing a relationship characteristic between a driving torque T and a rotation speed (rotation speed) N.
As shown in FIG. 9, when the driving frequency of the vibrating
[0058]
For example, when the driving frequency of the vibrating
[0059]
As described above, the resonance frequency fl of the longitudinal primary vibration and the resonance frequency fb of the bending secondary vibration are shifted, and by adjusting the value of the time td in the
In the
[0060]
By setting the difference between the resonance frequency fb of the bending secondary vibration and the resonance frequency fl of the longitudinal primary vibration within the above range, the longitudinal primary vibration and the bending secondary vibration occur simultaneously (combine) in the pressed state, so that the frictional force is generated. And driving force are obtained at the same time, and good driving characteristics are obtained.
However, the present invention is not limited to this, and the resonance frequency fl of the longitudinal primary vibration may be higher than the resonance frequency fb of the bending secondary vibration. In this case, the resonance frequency fl of the longitudinal primary vibration is preferably higher than the resonance frequency fb of the bending secondary vibration by about 0.5% to 3% of fb, preferably 1% to 2%. ] Is more preferable.
[0061]
Further, in the vibrating
Thus, when the vibrating
[0062]
Here, an example of each set value in the
For example, when the size of the main body of the vibrating
[0063]
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the actuator of the present invention will be described.
FIG. 11 is a perspective view showing a vibrating body (ultrasonic motor) according to a third embodiment of the actuator of the present invention.
Hereinafter, the
[0064]
As shown in FIG. 11, in the vibrating body 6 (ultrasonic motor 4) of the
With such a configuration, the same effects as those of the above-described first and second embodiments can be obtained.
[0065]
Further, since the
The configuration in which the
That is, in the present invention, the vibrating
[0066]
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the actuator of the present invention will be described.
FIG. 12 is a perspective view showing a vibrating body (ultrasonic motor) according to a fourth embodiment of the actuator of the present invention. In the following description, the upper side in FIG. 12 is referred to as “upper”, the lower side as “lower”, the right side as “right”, and the left side as “left”.
[0067]
Hereinafter, the
As shown in FIG. 12, in the
[0068]
The pair of
The
[0069]
The vibrating
According to the fourth embodiment, the same effects as those of the above-described first and second embodiments can be obtained.
[0070]
In the fourth embodiment, since the vibrating
[0071]
As described above, the present invention has been described based on the illustrated embodiment, but the present invention is not limited to this, and the configuration of each unit can be replaced with any configuration having the same function. .
The present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.
In the present invention, the driven body is not limited to the rotor, and may be another rotating structure, or may be a translation structure such as a slider, for example. That is, the displacement of the driven body is not limited to the rotation (rotation), but may be, for example, a movement along a straight line or a curve, such as a movement of the driven body in a linear actuator.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of an actuator according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the vibrating body shown in FIG.
FIG. 3 is an explanatory view showing an operation of the vibrating body shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a timing chart of the actuator shown in FIG. 1;
FIG. 5 is a block diagram showing a second embodiment of the actuator of the present invention.
FIG. 6 is a timing chart of the actuator shown in FIG. 5;
FIG. 7 is a graph showing electrical characteristics of the vibrating body shown in FIG.
8 is a graph showing electrical characteristics of the vibrating body shown in FIG.
FIG. 9 is a graph showing a relationship between a driving frequency, a driving force, and a driving speed.
FIG. 10 is a graph showing a relationship characteristic between a driving torque and a rotation speed (rotation speed).
FIG. 11 is a perspective view showing a vibrating body according to a third embodiment.
FIG. 12 is a plan view showing a vibrating body according to a fourth embodiment.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記圧電素子の伸縮により発生する電圧を検出する検出手段と、
前記検出された電圧の波形に対し、位相が所定時間ずれた駆動波形を生成する駆動波形生成手段と、
前記生成された駆動波形に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする超音波モータの駆動回路。A first piezoelectric element that expands and contracts by applying an AC voltage, a reinforcing plate integrally formed with a contact portion and an arm, and a second piezoelectric element that expands and contracts by applying an AC voltage are laminated in this order. A driving circuit for driving an ultrasonic motor including a vibrating body fixedly installed at the arm while abutting against the driven body at the contact portion,
Detecting means for detecting a voltage generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
A drive waveform generating means for generating a drive waveform having a phase shifted by a predetermined time with respect to the detected voltage waveform;
Drive means for driving the ultrasonic motor by applying an AC voltage corresponding to the generated drive waveform to the piezoelectric element.
前記圧電素子の伸縮により発生する電圧を検出する検出手段と、
前記検出された電圧の波形に対し、位相が所定時間ずれた駆動波形を生成する駆動波形生成手段と、
前記生成された駆動波形に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする超音波モータの駆動回路。It has a reinforcing plate integrally formed with a contact portion and an arm portion, and a piezoelectric element provided on the reinforcing plate, which expands and contracts when an AC voltage is applied. A drive circuit for driving an ultrasonic motor including a vibrating body fixedly installed at the arm while being in contact with the ultrasonic motor,
Detecting means for detecting a voltage generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
A drive waveform generating means for generating a drive waveform having a phase shifted by a predetermined time with respect to the detected voltage waveform;
Drive means for driving the ultrasonic motor by applying an AC voltage corresponding to the generated drive waveform to the piezoelectric element.
前記圧電素子の伸縮により発生する電圧を検出する検出手段と、
前記検出された電圧の波形に対し、位相が所定時間ずれた駆動波形を生成する駆動波形生成手段と、
前記生成された駆動波形に対応する交流電圧を前記圧電素子に印加して前記超音波モータを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする超音波モータの駆動回路。A drive circuit for driving an ultrasonic motor including a vibrating body having a piezoelectric element that expands and contracts by application of an AC voltage, and a contact portion that contacts a driven body,
Detecting means for detecting a voltage generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
A drive waveform generating means for generating a drive waveform having a phase shifted by a predetermined time with respect to the detected voltage waveform;
Drive means for driving the ultrasonic motor by applying an AC voltage corresponding to the generated drive waveform to the piezoelectric element.
前記ずれ量の変更により、前記超音波モータの特性を変更するよう構成されている請求項1ないし3のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。The drive waveform generation unit has an adjustment unit that adjusts a phase shift amount of the drive waveform with respect to the detected voltage waveform,
4. The ultrasonic motor drive circuit according to claim 1, wherein a characteristic of the ultrasonic motor is changed by changing the shift amount.
前記駆動波形生成手段は、前記検出されたゼロクロス点を基準にして、前記駆動波形を生成する請求項1ないし4のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。The detection means has a zero cross detection circuit that detects a zero cross point of a voltage waveform generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
5. The drive circuit for an ultrasonic motor according to claim 1, wherein the drive waveform generating means generates the drive waveform based on the detected zero cross point.
前記駆動波形生成手段は、前記駆動波形として、そのレベルがローレベルとハイレベルとに交互に切り換わるパルス信号を生成する回路を有し、前記検出されたゼロクロス点から前記所定時間後に前記パルス信号のレベルを切り換えて、該パルス信号を出力する請求項1ないし4のいずれかに記載の超音波モータの駆動回路。The detection means has a zero cross detection circuit that detects a zero cross point of a voltage waveform generated by expansion and contraction of the piezoelectric element,
The drive waveform generation means has a circuit for generating a pulse signal whose level alternately switches between a low level and a high level as the drive waveform, and the pulse signal after the predetermined time from the detected zero cross point. 5. A driving circuit for an ultrasonic motor according to claim 1, wherein said pulse signal is output by switching the level of said pulse signal.
前記駆動回路により駆動される前記超音波モータとを有することを特徴とするアクチュエータ。A drive circuit for an ultrasonic motor according to any one of claims 1 to 9,
An actuator, comprising: the ultrasonic motor driven by the drive circuit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006230148A (en) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Iai:Kk | Ultrasonic levitation device |
JP2008072814A (en) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Taiheiyo Cement Corp | Ultrasonic motor element |
JP2008306826A (en) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric actuator and its driving method |
US8058773B2 (en) | 2008-04-10 | 2011-11-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor and ultrasonic vibrator |
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2003
- 2003-05-06 JP JP2003128135A patent/JP2004336862A/en active Pending
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