JP2004153111A - 露光データ作成方法、その装置およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】露光用データ作成時における微小台形図形の発生頻度を低減し、かつ高速処理が可能な電子ビーム露光装置のための露光データ作成方法、その装置およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体を実現する。
【解決手段】露光データ作成装置１は、描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する領域間の境界を含んだマージン領域を設定する手段１１と、マージン領域内に含まれる対象図形を隣接する領域に振り分け、フィールドを得る手段１２とを備える。露光データ作成方法は、描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する領域間の境界を含んだマージン領域を設定するステップと、マージン領域内に含まれる対象図形を隣接する領域に振り分け、フィールドを得るステップとを備え、また、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体は、この露光データ作成方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納する。
【選択図】 図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビーム露光装置用の露光データの作成時に、描画する図形データを含んだ描画エリアにおいて、電子ビーム露光装置内に備えられる描画ヘッドのうちの１つが一度に描画可能である大きさのフィールドを生成する露光データ作成方法、その装置およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
可変成形型荷電ビーム露光装置は、ＬＳＩのマスクパターンを作成したり、あるいはＬＳＩのウェハ上に直接パターンを形成するものであって、高速描画が可能であり、高集積化が進むＬＳＩの製造には欠かせない技術である。
【０００３】
可変成形型荷電ビーム露光装置は、断面が台形に成形された荷電ビームによる露光を行ってパターンを作成するのでこのような台形（正方形、長方形も含む。以下同様。）を基本描画単位としている。したがって、可変成形型荷電ビーム露光装置用の露光データ作成時においては、多角形の集合として記述されたマスクパターンを台形に分割する処理が必要である。
【０００４】
この台形分割処理の仕方はマスクの製造精度に影響を与える。特に、ある値以下の幅を持つ微小な図形（以下、「微小図形」と呼ぶ。）についてはその部分の描画精度が極端に悪化するので、このような微小図形ができるだけ発生しないように台形分割を行う必要がある。
【０００５】
また近年は、露光データ作成処理は、描画エリア全体を複数の領域に分割し、この分割された領域単位で並列に処理することによって高速化が図られている。
【０００６】
上述の並列処理における問題は、互いに隣接する領域の境界によって、この境界付近の図形が分割され、その結果微小図形が発生してしまう可能性があるということである。この境界付近の処理（以下、「境界分割処理」と呼ぶ。）については、従来より様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。ここで、境界分割処理の代表例である特開平１１−２１９８８９号公報の技術について簡単に説明する。
【０００７】
図１５〜１７は、従来例による電子ビーム露光装置用の露光データの作成時における境界分割処理の原理説明図である。
【０００８】
図１５（ａ）は設計レイアウトデータの一部（描画エリア５１とする。）を例示している。描画エリア５１内の図形は、通常は種々の多角形状であるが、ここでは簡略化のため白い四角形（対象図形６１とする。）で表す。図１５（ｂ）〜図１７についても同様である。
【０００９】
また、図１５（ｂ）〜図１７では、境界処理すべき領域は、点線で囲まれた四角形（「図形処理領域」と呼ぶ。）で示される。すなわちこの点線が描画エリア５１上の分割線に相当する。またさらに、この分割線によって分断されて微小図形（図形６２とする。）が発生し得る図形は黒い四角形で表す。
【００１０】
この従来例では、図形処理領域の境界線で対象図形６１をクリップし、この図形処理領域単位で台形分割処理を行う。分割線によって分断され生じた微小図形６２については、このまま台形分割処理を行うと、上述のように、可変成形型荷電ビーム露光装置による描画精度が極端に悪化してしまうことになる。そこで、特開平１１−２１９８８９号公報の技術では、さらに次のような処理を行っている。すなわち、図形処理領域の位置および／またはサイズを変更することで、ある分割線における分割が原因で発生した微小図形の全てが１つの図形処理領域内に含まれるような修復を行い、そしてこの図形処理領域内で台形分割処理を行う。つまり、微小図形に台形分割処理が施されることがないようにすることを目的として、図１５（ａ）、図１５（ｂ）、図１６（ａ）、図１６（ｂ）、図１７（ａ）および図１７（ｂ）の順で例示するよう、発生した微小図形を新たなる図形処理領域内に含めるように図形処理領域の位置およびサイズの変更を繰り返し、微小図形が発生し得る図形を徐々に減らしていく。
【００１１】
また、設計データのマスク製造データへの変換処理の高速化を目的とした並列処理システムも提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１１−２１９８８９号公報
【特許文献２】
特開平９−３１９７８８号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような従来の電子ビーム露光装置用の露光データの作成時における境界分割処理では、図形処理領域の位置およびサイズの変更を繰り返すので、そのたびに図形の読込み／書出し処理が実行されることになり、このことが処理の高速化の大きな妨げになっていた。
【００１４】
従って本発明の目的は、上記問題に鑑み、露光用データ作成時における微小図形の発生頻度を低減し、かつ高速処理が可能な電子ビーム露光装置のための露光データ作成方法、その装置およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を実現するために、本発明においては、電子ビーム露光装置用の露光データの作成時において、描画する図形に係るデータを含む描画エリアを分割して、電子ビーム露光装置内の描画ヘッドが一度に描画可能である大きさのフィールドを生成する露光データ作成方法は、描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する領域間の境界を含んだマージン領域を設定し、このマージン領域内に含まれる対象図形を隣接する領域に振り分け、フィールドを得る。
【００１６】
上述のように、近年の露光データ作成処理では、描画エリア全体を所定の方向に沿って複数の領域に分割し、この分割された領域単位で並列に処理することによって高速化が図られている。この領域単位を本明細書では「セグメント」と呼ぶ。すなわち、膨大な図形データを含むＬＳＩの描画エリアを所定の方向に沿って複数分割してセグメントを生成し、セグメント単位で並列して処理を実行することにより、一度に処理する図形データの数を低減して処理の高速化を図っている。
【００１７】
また、電子ビーム露光装置の描画ヘッドが素材を搭載したステージの移動を伴わないで描画できる領域が存在し、本明細書ではこの領域を「フィールド」と呼ぶ。
【００１８】
本発明においては、まず、描画エリアを第１の方向に沿ったマージン領域内のいずれかの位置で分割することで、並列処理の単位領域であるセグメントを生成する。
【００１９】
そして、セグメントが生成されたら、各セグメントを第１の方向に垂直な第２の方向に沿ったマージン領域内のいずれかの位置で分割することで、描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有するフィールドを生成する。
【００２０】
セグメントおよびフィールドを生成する際には必ず分割処理が実行されるが、本発明における上述のマージン領域は、この分割を原因とする微小図形の発生を回避するために特に設けられるものである。ここで、上述のセグメント、フィールドおよびマージン領域の位置関係について説明する。
【００２１】
図１は、本発明におけるセグメント、フィールドおよびマージン領域の位置関係を例示する図である。なお、この図では、第１の方向をｙ軸方向、第２の方向をｘ軸方向に設定したがこれは本発明を限定するものではなく、第１の方向をｘ軸方向、第２の方向をｙ軸方向に設定してもよい。
【００２２】
この例では、図形Ｚを含む描画エリアＡにおいて、ｙ軸方向に沿ってセグメントＳ１およびＳ２が設けられる。そして、このセグメントＳ１およびＳ２をｘ軸方向に沿って分割することによってフィールドＦ１、Ｆ２、Ｆ３およびＦ４が得られる。
【００２３】
マージン領域ＭＸ１は、描画エリアＡをｙ軸方向に沿って分割した後に規定される領域（すなわち、図１ではセグメントＳ１およびＳ２）に関し、隣接する領域間の境界を含んだ位置に所定の幅をもって設けられるものであって、セグメントＳ１とセグメントＳ２とのオーバーラップ部分に相当する。
【００２４】
同様に、マージン領域ＭＹ１は、セグメントＳ１およびＳ２をｘ軸方向に沿って分割した後に規定される領域（すなわち、図１ではフィールドＦ１、Ｆ２、Ｆ３およびＦ４）に関し、隣接する領域間の境界を含んだ位置に所定の幅をもって設けられるものであり、さらに言えばフィールドＦ１およびＦ２とフィールドＦ３およびＦ４とのオーバーラップ部分に相当する。
【００２５】
なお、本発明においては、電子ビーム露光装置に設けられた描画ヘッドが一度に描画可能である大きさは、１つのフィールドとその外周にあるフィールド領域とを加えた範囲となるように、セグメント、フィールドおよびマージン領域の大きさを設定するのが好ましい。
【００２６】
また、本発明においては、セグメント生成処理は、１つのマージン領域に対し、このマージン領域に隣接するセグメントごとに、並列して実行される。上述のように、互いに隣接するセグメントの間のマージン領域は、これら２つのセグメントのオーバーラップ領域に相当するので、各並列処理によって実行されるアルゴリズムが同じであれば、独立にセグメント生成処理がなされても、得られる結果は同じである。したがって、本発明では、１つのマージン領域に関する処理が、隣接するセグメントに対応する各並列処理によって重複して処理されるので、一見して効率が悪いように思えるが、しかし、従来例のように図形処理領域の位置およびサイズの変更を繰り返しそのたびに図形の読込み／書出し処理が実行されるといったようなことは、本発明では一切無いので、本発明は従来例に比べて高速である。
【００２７】
図２は、本発明による電子ビーム露光装置における露光データ作成装置の基本ブロック図である。
【００２８】
本発明による露光データ作成装置１は、描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する領域間の境界を含んだマージン領域を設定する第１の手段１１と、マージン領域内に含まれる対象図形を隣接する領域に振り分け、フィールドを得る第２の手段１２と、を備えてなる。
【００２９】
また、第２の手段１２は、描画エリアを第１の方向に沿ったマージン領域内のいずれかの位置で分割することで、並列処理の単位領域であるセグメントを生成するセグメント生成手段２１と、各セグメントを第１の方向に垂直な第２の方向に沿ったマージン領域内のいずれかの位置で分割することで、描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有するフィールドを生成するフィールド生成手段２２と、を含む。セグメント生成手段２１は、１つのマージン領域に対し、このマージン領域に隣接するセグメントに対して並列に実行され、セグメントを生成する。
【００３０】
また、本発明による露光データ作成方法は、主として露光データ作成装置に含まれるコンピュータを用いて実現され、このためのプログラムがコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に格納されてもよい。したがって、様々な露光データ作成装置に対しても本発明を容易に導入することも可能である。
【００３１】
本発明によれば、電子ビーム露光装置のための露光用データ作成にあたり、微小図形の発生頻度を低減した高速な境界処理を実現することができ、ひいてはＬＳＩ製造における歩留まりを向上し生産性を高めることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図３は、本発明の実施例による電子ビーム露光装置における露光データ作成方法のフローチャートであり、図４および５は、本発明の実施例による露光データ作成方法におけるセグメント生成方法を説明するフローチャートである。
【００３３】
また、図６〜１４は、本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図である。なお、本実施例では、第１の方向をｙ軸方向、第２の方向をｘ軸方向に取ったがこれは本発明を限定するものではなく、第１の方向をｘ軸方向、第２の方向をｙ軸方向に設定してもよい。
【００３４】
ここでは、ＣＡＤなどで作成した図６に示すような図形Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３およびＺ４を含む描画エリアＡにおいて、３本のセグメントＳ１、Ｓ２およびＳ３と、９個のフィールドＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４、Ｆ５、Ｆ６、Ｆ７、Ｆ８およびＦ９とを生成する実施例について説明する。なお、本実施利で設定されるマージン領域は、参照番号ＭＸ１、ＭＸ２、ＭＹ１およびＭＹ２で表される。
【００３５】
まず、本発明の実施例による露光データ作成方法の概略的な動作フローについて説明する。
【００３６】
本実施例によれば、まず図３のステップ１００１において、図６の描画エリアＡのｙ軸方向分割後に規定される領域、すなわち分割することによって生成され得るセグメントＳ１、Ｓ２およびＳ３に関し、隣接する領域間の境界付近を含んだマージン領域を設定する。すなわち、セグメントＳ１とセグメントＳ２のオーバーラップ部分にマージン領域ＭＸ１を、セグメントＳ２とセグメントＳ３のオーバーラップ部分にマージン領域ＭＸ２を、それぞれｙ軸方向に平行に設定する。なお、この段階では未だ各セグメントは実際には生成されていない。
【００３７】
次いで、ステップ１００２において、図６の描画エリアＡをｙ軸の方向に沿ったマージン領域内の位置で分割することで、露光データの並列処理が可能な単位領域であるセグメントを生成する。すなわち、マージン領域ＭＸ１内の図形を微小図形が発生しないような位置（これについては後述する。）で分割し、同じくマージン領域ＭＸ２内についても最適な位置で分割することでセグメントＳ１、Ｓ２およびＳ３が生成される。
【００３８】
なお、上述のステップ１００２のセグメント生成処理に関し、その具体的な処理、特に微小図形が発生しないようなマージン領域内の分割処理および、分割された図形を隣接する各領域に振り分ける処理の詳細については後述する。
【００３９】
次いで、ステップ１００３において、図６の既にセグメントＳ１、Ｓ２およびＳ３が生成されている描画エリアＡをさらにｘ軸方向に分割した後に規定される領域、すなわち分割することによって生成され得るフィールドＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４、Ｆ５、Ｆ６、Ｆ７、Ｆ８およびＦ９に関し、隣接する領域間の境界付近を含んだマージン領域をｘ軸方向に平行となるように設定する。すなわち、フィールドＦ１、Ｆ２およびＦ３とフィールドＦ４、Ｆ５およびＦ６とのオーバーラップ部分にマージン領域ＭＹ１を、フィールドＦ４、Ｆ５およびＦ６とフィールドＦ７、Ｆ８およびＦ９のオーバーラップ部分にマージン領域ＭＹ２を、それぞれ設定する。なお、この段階では未だ各フィールドは実際には生成されていない。
【００４０】
次いで、ステップ１００４において、図６の既にセグメントＳ１、Ｓ２およびＳ３が生成されている描画エリアＡをｘ軸の方向に沿ったマージン領域内の位置で分割することで、描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有するフィールドを生成する。すなわち、マージン領域ＭＹ１内の図形を微小図形が発生しないような位置で分割し、同じくマージン領域ＭＹ２内の図形を微小図形が発生しないような位置で分割することでフィールドＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４、Ｆ５、Ｆ６、Ｆ７、Ｆ８およびＦ９が生成される。
【００４１】
この後、図３のステップ１００４で生成されたフィールドに関し、各フィールド内に含まれる図形を、電子ビーム露光装置の基本描画単位である台形状に分割する台形分割処理が実行される。
【００４２】
ここで、図３のステップ１００２におけるセグメント生成処理について、図４〜１４を参照してさらに詳しく説明する。
【００４３】
本実施例におけるセグメント生成処理では、描画エリア上の、共に第１の方向に平行な第１のマージン境界線と第２のマージン境界線とで挟まれたマージン領域内において、このマージン領域内に含まれる対象図形の外郭部分の第２の方向に平行な軸上の座標と、第１のマージン境界線および第２のマージン境界線と、の位置関係を判定し、この位置関係に基づき、微小図形が生じないように対象図形を隣接する領域に振り分ける。
【００４４】
図６〜１４では、上述のように第１の方向をｙ軸方向、そして第２の方向をｘ軸方向とする。また、図３のステップ１００１で説明したようにｙ軸方向に平行なマージン領域ＭＸ１およびＭＸ２が設定されているが、簡明化のため本明細書では、各マージン領域に関し、ｘ軸方向負の方向を「左側」、ｘ軸方向正の方向を「右側」とそれぞれ呼ぶことにする。また、マージン領域を挟む「第１の方向に平行な第１のマージン境界線」を、「ｙ軸方向に平行な左側マージン境界線」と呼ぶ。同じくマージン領域を挟む「第１の方向に平行な第２のマージン境界線」を、「ｙ軸方向に平行な右側マージン境界線」と呼ぶ。
【００４５】
セグメント生成処理の具体的な動作フローの説明の前に、まずセグメント生成処理の並列処理について説明する。
【００４６】
上述したように、互いに隣接するセグメントの間のマージン領域は、これら２つのセグメントのオーバーラップ部分に相当するものである。
【００４７】
図６に示すように、マージン領域ＭＸ１は、描画エリアＡをｙ軸方向に沿って分割した後に規定されるセグメントＳ１およびＳ２において（この段階ではセグメントは未だ構成されていない）、分割後はセグメントＳ１とセグメントＳ２との間の境界となるであろう位置付近に、所定の幅をもって設定されたものである。換言すれば、マージン領域ＭＸ１はセグメントＳ１とセグメントＳ２とのオーバーラップ部分に相当する。
【００４８】
同じく、図６に示すマージン領域ＭＸ２は、描画エリアＡをｙ軸方向に沿って分割した後に規定されるセグメントＳ２およびＳ３において、分割後はセグメントＳ２とセグメントＳ３との間の境界となるであろう位置付近に、所定の幅をもって設定されたものである。換言すれば、マージン領域ＭＸ２はセグメントＳ２とセグメントＳ３とのオーバーラップ部分に相当する。
【００４９】
図７は、本実施例において、１つの並列処理によって処理されるセグメントをそれぞれ個別に例示する図であり、（ａ）はセグメントＳ１、（ｂ）はセグメントＳ２、（ｃ）はセグメントＳ３をそれぞれ示している。
【００５０】
図７（ａ）に示すように、分割後に規定され得るセグメントＳ１は、その右端にマージン領域ＭＸ１を含む。また、図７（ｂ）に示すように、分割後に規定され得るセグメントＳ２は、その左端にマージン領域ＭＸ１を、そして右端にマージン領域ＭＸ２を含む。また、図７（ｃ）に示すように、分割後に規定され得るセグメントＳ３は、その左端にマージン領域ＭＸ１を含む。上述したように、この図７から、各マージン領域ＭＸ１およびＭＸ２は、セグメントＳ１、セグメントＳ２、セグメントＳ３に対して重複して含まれていることがわかる。
【００５１】
図６に示す描画エリアＡでは、図形Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３およびＺ４を含んでいるが、図７で示したような各セグメントに基いて図形Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３およびＺ４をみてみると、次のようになる。
【００５２】
すなわち、図７（ａ）に示すセグメントＳ１内には、図６の図形Ｚ１およびＺ３のうち、セグメントＳ１の右端からマージン領域ＭＸ１の右側のマージン境界線までに含まれる部分である図形Ｚ１およびＺ３ａが含まれることになる。
【００５３】
また、図７（ｂ）に示すセグメントＳ２内には、図６の図形Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３およびＺ４のうち、マージン領域ＭＸ１の左側のマージン境界線からマージン領域ＭＸ２の右側のマージン境界線までに含まれる部分である図形Ｚ１ｂ、Ｚ２ａ、Ｚ３ｂおよびＺ４が含まれることになる。
【００５４】
そして、図７（ｃ）に示すセグメントＳ３内には、図６の図形Ｚ２およびＺ４のうち、マージン領域ＭＸ３の左側のマージン境界線からセグメントＳ３の右端までに含まれる部分である図形Ｚ２ｂおよびＺ４が含まれることになる。
【００５５】
上述のように本発明におけるセグメント生成処理は、１つのマージン領域に対し、このマージン領域に隣接するセグメント毎に、並列して実行される。例えば、マージン領域ＭＸ１に対する処理は、セグメントＳ１に対応する並列処理とセグメントＳ２に対応する並列処理との両方において、重複して実行される。マージン領域ＭＸ２に対しても同様である。左右どちらのセグメントに対応する並列処理によって処理されようとも、処理対象となる図形の形状は当然に同一であるので、あとは各並列処理によって実行されるアルゴリズムさえが同じであれば、独立にセグメント生成処理がなされても得られる結果が同じとなることは容易に理解できよう。
【００５６】
続いて、セグメント生成処理の具体的な動作フローについて説明する。なお、以下の処理は、各マージン領域について、上述したようにそのマージン領域が含まれるセグメントに対応する並列処理によってそれぞれ実行される。
【００５７】
まず、図４のステップ２００１において、マージン領域内に含まれる対象図形の最左端座標および最右端座標が、このマージン領域を囲む２つのマージン境界線のそれぞれに接するか否かが判定される。２つのマージン境界線にそれぞれ接する場合はステップ２００５へ進む。一方、２つのマージン境界線両方に接するわけではない場合、すなわち２つのマージン境界線のどちらか一方のみに接する場合かどちらのマージン境界線にも接しない場合はステップ２００２へ進む。
【００５８】
ステップ２００２では、対象図形の最右端座標のみがマージン境界線に接するか否かが判定される。最右端座標のみがマージン境界線に接する場合はステップ２００３へ進む。一方、最右端座標のみがマージン境界線に接するわけではない場合、すなわち、最左端座標のみがマージン境界線に接する場合かどちらのマージン境界線にも接しない場合はステップ２００４へ進む。
【００５９】
ステップ２００３では、対象図形をマージン領域の右側にあるセグメントの図形として振り分ける。なお図７に示す例では、このステップ２００３が適用されるような対象図形は存在しない。
【００６０】
ステップ２００４では、対象図形をマージン領域の左側にあるセグメントの図形として振り分ける。
【００６１】
このステップ２００４が適用されるのは、「最左端座標のみがマージン境界線に接する場合」か「どちらのマージン境界線にも接しない場合」のどちらかである。
【００６２】
図７に示す例では、まず、図形Ｚ１のうちマージン領域ＭＸ１に含まれる部分が「最左端座標のみがマージン境界線に接する場合」に相当する。すなわち、図８に示すように、図形Ｚ１のうちマージン領域ＭＸ１に含まれる部分（図形Ｚ１Ｌ）は、その最左端座標のみがマージン領域ＭＸ１の左側のマージン境界線ｍｘ１ｌに接し、かつ右側のマージン境界線ｍｘ１ｒには接していないので、この図形Ｚ１Ｌは、左側にあるセグメントＳ１の図形として振り分けられる。
【００６３】
一方、図７に示す図形Ｚ４は、「どちらのマージン境界線にも接しない場合」に相当する。すなわち、図９に示すように、マージン領域ＭＸ２に含まれる図形Ｚ４は、マージン領域ＭＸ２の左側のマージン境界線ｍｘ２ｌおよび右側のマージン境界線ｍｘ２ｒのどちらにも接していないので、この図形Ｚ４は、左側にあるセグメントＳ１の図形として振り分けられる。
【００６４】
なお、本実施例では、どちらのマージン境界線にも接しない場合の図形を左側にあるセグメントの図形として振り分けたが、この変形例として、右側にあるセグメントの図形として振り分けるようにしてもよい。
【００６５】
また、さらに別の変形例として、ステップ２００２で対象図形の最左端座標のみがマージン境界線に接するか否かを判定するようしてもよく、この場合は、ステップ２００３では対象図形をマージン領域の左側領域の図形と設定し、ステップ２００４では対象図形をマージン領域の右側領域の図形と設定するようにすればよい。
【００６６】
図４のステップ２００１において、マージン領域内に含まれる対象図形の最左端座標および最右端座標が、このマージン領域を囲む２つのマージン境界線のそれぞれに接すると判定された場合はステップ２００５へ進む。
【００６７】
ステップ２００５では、対象図形を微小図形が生じないように最適な位置を探して分割する。図７に示す例では、このステップ２００５が適用されるような対象図形は、図形Ｚ３のうちマージン領域ＭＸ１に含まれる部分と、図形Ｚ２のうちマージン領域ＭＸ２に含まれる部分とがこの処理の対象となる。このステップ２００５における処理の詳細については後述する。
【００６８】
次いで、ステップ２００６では、ステップ２００５で分割された対象図形のうち、このときの分割線よりも左側の図形をマージン領域の左側にあるセグメントの図形として、そして、このときの分割線よりも右側の図形をマージン領域の右側にあるセグメントの図形として、それぞれ振り分ける。
【００６９】
ここで、ステップ２００５の処理の詳細について、図５のフローチャートを参照して説明する。ステップ２００５は、対象図形を微小図形が生じないように最適な位置を探して分割する処理である。
【００７０】
まず、図５のステップ３００１において、マージン領域内に含まれる対象図形の各頂点のｘ軸方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する。図７に示す例では、図形Ｚ２のうちマージン領域ＭＸ２に含まれる部分と、図形Ｚ３のうちマージン領域ＭＸ１に含まれる部分とがこの処理の対象となる。
【００７１】
まず、図７に示す図形Ｚ２のうちマージン領域ＭＸ２に含まれる部分は、図１０に示すように、マージン領域ＭＸ２の左側のマージン境界線ｍｘ２ｌおよび右側のマージン境界線ｍｘ２ｒに接しており、マージン領域ＭＸ２内に含まれる対象図形の各頂点のｘ軸方向に平行な軸上の各座標の間隔として、ｉｎｔｅｒｖａｌ１、ｉｎｔｅｒｖａｌ２およびｉｎｔｅｒｖａｌ３が得られる。なお、本実施例では、δを所定の微小値（詳細については後述する。）としたとき、それぞれ、ｉｎｔｅｒｖａｌ１＜δ、ｉｎｔｅｒｖａｌ２＞δ、ｉｎｔｅｒｖａｌ３＞δとして算出されたものとする。
【００７２】
一方、図７に示す図形Ｚ３のうちマージン領域ＭＸ１に含まれる部分は、図１１に示すように、マージン領域ＭＸ１の左側のマージン境界線ｍｘ１ｌおよび右側のマージン境界線ｍｘ１ｒに接しており、マージン領域ＭＸ１内に含まれる対象図形の各頂点のｘ軸方向に平行な軸上の各座標の間隔として、ｉｎｔｅｒｖａｌ１およびｉｎｔｅｒｖａｌ２が得られる。なお、本実施例では、δを所定の微小値）として、それぞれ、ｉｎｔｅｒｖａｌ１＞２δ、ｉｎｔｅｒｖａｌ２＜δとして算出されたものとする。
【００７３】
次いで、ステップ３００２において、隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さδ（所定の微小値）よりも大きいか否かを判定する。上述したように、ある値以下の幅を持つ微小図形が存在すると、その部分の電子露光ビーム装置の描画精度が極端に悪化するので、このような微小図形ができるだけ発生しないようにしなければならない。本実施例ではこの点を考慮して所定の長さδを予め設定しておく。
【００７４】
ステップ３００２においてインターバルの長さが共に所定の長さδよりも大きいと判定されると、ステップ３００３へ進む。本実施例では、図１０に示すマージン領域ＭＸ２に含まれる図形がこれに相当する。
【００７５】
一方、ステップ３００２においてインターバルの長さが共に所定の長さδよりも大きいわけでないと判定される場合、すなわち、隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが所定の長さδよりも小さい場合は、ステップ３００４へ進む。本実施例では、図１１に示すマージン領域ＭＸ１に含まれる図形がこれに相当する。
【００７６】
ステップ３００３では、ｘ軸方向に平行な軸上の、隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する。本実施例では、図１０に示すように、互いに隣接するｉｎｔｅｒｖａｌ２およびｉｎｔｅｒｖａｌ３で挟まれる座標を通る垂直線が分割線Ｖとして設定される。これ以降、分割線Ｖに対し、左側の図形をＺ２Ｌ、右側の図形をＺ２Ｒと呼ぶことにする。
【００７７】
一方、ステップ３００４では、ステップ３００１で算出されたインターバルのなかに、所定の長さδの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する。
【００７８】
ステップ３００４において所定の長さδの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定されると、ステップ３００５へ進む。本実施例では、図１１に示すマージン領域ＭＸ１に含まれる図形がこれに相当する。
【００７９】
一方、ステップ３００４において所定の長さδの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、ステップ３００６へ進む。
【００８０】
ステップ３００５では、所定の長さδの２倍以上の長さを有するインターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する。本実施例では、図１１に示すように、所定の長さδの２倍以上の長さを有するｉｎｔｅｒｖａｌ１の中点を通る垂直線が分割線Ｖとして設定される。これ以降、分割線Ｖに対し、左側の図形をＺ３Ｌ、右側の図形をＺ３Ｒと呼ぶことにする。
【００８１】
一方、ステップ３００６では、ステップ３００１で算出されたインターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、このインターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する。
【００８２】
そして、ステップ３００７において、上述のステップ３００３、３００５もしくは３００６のいずれかによって設定された分割線Ｖを用いて対象図形を分割する。これにより所定の長さδ以下の幅を有する微小図形の発生をできるだけ回避して対象図形を分割することができる。
【００８３】
図１２は、微小図形の発生の低減を目的とした上記セグメント生成処理を経た後、図６の図形Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３およびＺ４のうちマージン領域に含まれた部分を、左右どちらかのセグメントに振り分けた結果を示している。
【００８４】
図１２（ａ）はマージン領域ＭＸ１内に含まれた図形の振分け結果を示している。図形Ｚ１ＬおよびＺ３Ｌは、マージン領域ＭＸ１に対して左側のセグメントＳ１に、図形Ｚ３Ｒは、マージン領域ＭＸ１に対して右側のセグメントＳ２に、それぞれ振り分けられる。
【００８５】
一方、図１２（ｂ）はマージン領域ＭＸ２内に含まれた図形の振分け結果を示している。図形Ｚ２ＬおよびＺ４は、マージン領域ＭＸ２に対して左側のセグメントＳ２に、図形Ｚ２Ｒはマージン領域ＭＸ２に対して右側のセグメントＳ３に、それぞれ振り分けられる。
【００８６】
そして図１３は、図１２に示されたマージン領域内の図形と、それ以外のマージン領域外の図形とを改めて合成した結果を示している。
【００８７】
本実施例によるセグメント生成処理により、図形Ｚ１およびＺ３Ｌ’を含むセグメントＳ１と、図形Ｚ２Ｌ’、Ｚ３Ｒ’およびＺ４を含むセグメントＳ２と、図形Ｚ２Ｒ’を含むセグメントＳ３とが、高速に生成される。
【００８８】
以上、セグメント生成処理に関して説明した。なお、フィールド生成処理も原理は同じであって、上記説明した内容において、左右を上下に置き換え、ｘ軸とｙ軸とを入れ替えるだけで容易に実現可能であるので、ここでは具体的な動作フローの説明については省略する。
【００８９】
図１４は、本実施例におけるセグメント生成処理後の処理を示す概略図である。
【００９０】
上述のようにセグメント生成された描画エリアＡには、図３のステップ１００３において、さらにｘ軸方向に分割した後に規定される領域に関し、隣接する領域間の境界付近を含んだマージン領域ＭＹ１およびＭＹ２が、図１４に示すようにｘ軸方向に平行となるように設定される。
【００９１】
そして、図３のステップ１００４において、上述のセグメント生成処理と同様の原理に基づき、描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有するフィールドＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４、Ｆ５、Ｆ６、Ｆ７、Ｆ８およびＦ９が生成される。このフィールド処理により、フィールドＦ１には図形Ｚ３ＬＢ、フィールドＦ２には図形Ｚ３ＲＢおよび４Ｚ、フィールドＦ４には図形Ｚ３ＬＴおよびＺ１Ｂ、フィールドＦ５には図形Ｚ３ＲＴおよびＺ２ＬＢ、フィールドＦ６には図形Ｚ２ＲＢ、フィールドＦ７には図形Ｚ１ＬＴ、フィールドＦ８には図形Ｚ２ＬＴ、そして、フィールドＦ９には図形Ｚ２ＲＴが含まれることになる。
【００９２】
この後、描画エリアＡ上の各フィールド内に含まれる図形を、電子ビーム露光装置の基本描画単位である台形状に分割する台形分割処理が実行される。
【００９３】
以上説明したようにして、本発明の実施例では、描画する図形データを含んだ描画エリアを、電子ビーム露光装置内の描画ヘッドが一度に描画可能である大きさのフィールドに分割する。
【００９４】
なお、本実施例による露光データ作成方法は、主として露光データ作成装置に含まれるコンピュータを用いて実現され、このためのプログラムがコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に格納されてもよい。例えば、本実施例による露光データ作成方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体を利用すれば、従来よりある露光データ作成装置に含まれるコンピュータに対しても本実施例による露光データ作成方法を導入するのは容易である。
【００９５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、露光データ作成において、描画する図形データを含んだ描画エリアを、電子ビーム露光装置内の描画ヘッドが一度に描画可能である大きさのフィールドに分割する際の、製造精度に影響を与える微小図形の発生を低減し、かつ、従来よりも高速な処理が実現可能である。
【００９６】
つまり、本発明によれば、荷電ビーム露光装置のための露光用データ作成にあたり、微小台形図形の発生頻度を低減した高速な境界処理を実現することができ、ひいてはＬＳＩ製造における歩留まりを向上し生産性を高めることができる。
【００９７】
また、本発明による露光データ作成方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体を利用すれば、従来よりある露光データ作成装置に含まれるコンピュータに対しても本実施例による露光データ作成方法を導入することも容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明におけるセグメント、フィールドおよびマージン領域の位置関係を例示する図である。
【図２】本発明による電子ビーム露光装置における露光データ作成装置の基本ブロック図である。
【図３】本発明の実施例による電子ビーム露光装置における露光データ作成方法のフローチャートである。
【図４】本発明の実施例による露光データ作成方法におけるセグメント生成方法を説明するフローチャート（その１）である。
【図５】本発明の実施例による露光データ作成方法におけるセグメント生成方法を説明するフローチャート（その２）である。
【図６】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その１）である。
【図７】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その２）である。
【図８】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その３）である。
【図９】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その４）である。
【図１０】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その５）である。
【図１１】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その６）である。
【図１２】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その７）である。
【図１３】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その８）である。
【図１４】本発明の実施例による露光データ作成方法を適用した図形を例示する図（その９）である。
【図１５】従来例による電子ビーム露光装置用の露光データの作成時における境界分割処理の原理説明図（その１）である。
【図１６】従来例による電子ビーム露光装置用の露光データの作成時における境界分割処理の原理説明図（その２）である。
【図１７】従来例による電子ビーム露光装置用の露光データの作成時における境界分割処理の原理説明図（その３）である。
【符号の説明】
１…露光データ作成装置
１１…第１の手段
１２…第２の手段
２１…セグメント生成手段
２２…フィールド生成手段

Claims (24)

1. 電子ビーム露光装置用の露光データの作成時において、描画する図形に係るデータを含む描画エリアを分割して、前記電子ビーム露光装置内の描画ヘッドが一度に描画可能である大きさのフィールドを生成する露光データ作成方法であって、
   前記描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する前記領域間の境界を含んだマージン領域を設定する第１のステップと、
   前記マージン領域内に含まれる対象図形を前記隣接する領域に振り分け、前記フィールドを得る第２のステップと、を備えてなることを特徴とする露光データ作成方法。
2. 前記第２のステップは、
   前記描画エリアを第１の方向に沿った前記マージン領域内のいずれかの位置で分割することで、前記露光データの並列処理が可能な単位領域であるセグメントを生成するセグメント生成ステップと、
   各前記セグメントを前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿った前記マージン領域内のいずれかの位置で分割することで、前記描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有する前記フィールドを生成するフィールド生成ステップと、を含む請求項１に記載の露光データ作成方法。
3. 前記セグメント生成ステップは、
   前記描画エリア上の、共に前記第１の方向に平行な第１のマージン境界線と第２のマージン境界線とで挟まれた前記マージン領域内において、該マージン領域内に含まれる前記対象図形の外郭部分の前記第２の方向に平行な軸上の座標と、前記第１のマージン境界線および前記第２のマージン境界線と、の位置関係を判定する第１の判定ステップと、
   前記対象図形の最も前記第１のマージン寄りにある座標のみが前記第１のマージン境界線のみに接すると前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第１のマージン境界線を含むセグメント内の図形として振り分ける第１の振分けステップと、
   前記対象図形の最も前記第２のマージン寄りにある座標のみが前記第２のマージン境界線のみに接すると前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第２のマージン境界線を含むセグメント内の図形として振り分ける第２の振分けステップと、
   前記対象図形の最も前記第１のマージン寄りにある座標が前記第１のマージン領域に接し、かつ、最も前記第２のマージン寄りにある座標が第２のマージン境界線に接すると前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を微小図形が生じないように分割し、分割された前記対象図形のうち、前記第１のマージン寄りの図形を前記第１のマージン境界線を含むセグメント内の図形として、かつ、前記第２のマージン寄りの図形を前記第２のマージン境界線を含むセグメント内の図形として、それぞれ振り分ける第３の振分けステップと、
   前記対象図形の外郭部分が前記第１のマージン領域および第２のマージン境界線のいずれにも接しないと前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第１のマージン境界線を含むセグメントもしくは前記第１のマージン境界線を含むセグメントのいずれか一方のセグメント内の図形として振り分ける第４の振分けステップと、を含む請求項２に記載の露光データ作成方法。
4. 前記第３の振分けステップは、
   前記対象図形の各頂点の前記第２の方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する第１のインターバル算出ステップと、
   隣接する２つの前記インターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいか否かを判定する第１のインターバル判定ステップと、
   該第１のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいと判定された場合、前記第２の方向に平行な軸上の、該隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する第１の分割線設定ステップと、
   前記第１のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが前記所定の長さよりも小さいと判定された場合、前記第１のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルのなかに、前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する第２のインターバル判定ステップと、
   該第２のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定された場合、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第２の分割線設定ステップと、
   前記第２のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、前記第１のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第３の分割線設定ステップと、
   前記第１の分割線設定ステップ、前記第２の分割線設定ステップもしくは前記第３の分割線設定ステップのいずれかによって設定された分割線で前記対象図形を分割する第１の対象図形分割ステップと、を含む請求項３に記載の露光データ作成方法。
5. 前記フィールド生成ステップは、
   各前記セグメント上の、共に前記第２の方向に平行である第３のマージン境界線と第４のマージン境界線とで挟まれた前記マージン領域内において、該マージン領域内に含まれる前記対象図形の外郭部分の前記第１の方向に平行な軸上の座標と、前記第３のマージン境界線および前記第４のマージン境界線と、の位置関係を判定する第２の判定ステップと、
   前記対象図形の最も前記第３のマージン寄りにある座標のみが前記第３のマージン境界線のみに接すると前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第３のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分ける第５の振分けステップと、
   前記対象図形の最も前記第４のマージン寄りにある座標のみが前記第４のマージン境界線のみに接すると前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分ける第６の振分けステップと、
   前記対象図形の最も前記第３のマージン寄りにある座標が前記第３のマージン領域に接し、かつ、最も前記第４のマージン寄りにある座標が第４のマージン境界線に接すると前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を微小図形が生じないように分割し、分割された前記対象図形のうち、前記第３のマージン寄りの図形を前記第３のマージン境界線を含むフィールド内の図形として、かつ、前記第４のマージン寄りの図形を前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として、それぞれ振り分ける第７の振分けステップと、
   前記対象図形の外郭部分が前記第３のマージン領域および第４のマージン境界線のいずれにも接しないと前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第３のマージン境界線を含むフィールドもしくは前記第４のマージン境界線を含むフィールドのいずれか一方のフィールド内の図形として振り分ける第８の振分けステップと、を含む請求項３または４に記載の露光データ作成方法。
6. 前記第７の振分けステップは、
   前記対象図形の各頂点の前記第１の方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する第２のインターバル算出ステップと、
   隣接する２つの前記インターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいか否かを判定する第３のインターバル判定ステップと、
   該第３のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいと判定された場合、前記第１の方向に平行な軸上の、該隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する第４の分割線設定ステップと、
   前記第３のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが前記所定の長さよりも小さいと判定された場合、前記第２のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルのなかに、前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する第４のインターバル判定ステップと、
   該第４のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定された場合、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第５の分割線設定ステップと、
   前記第４のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、前記第２のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第６の分割線設定ステップと、
   前記第４の分割線設定ステップ、前記第５の分割線設定ステップもしくは前記第６の分割線設定ステップのいずれかによって設定された分割線で前記対象図形を分割する第２の対象図形分割ステップと、を含む請求項５に記載の露光データ作成方法。
7. 前記第５の振分けステップ、前記第６の振分けステップ、前記第７の振分けステップもしくは前記第８の振分けステップのいずれかによって前記第３のマージン境界線を含むフィールド内もしくは前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分けられた後、各前記フィールド内に含まれる図形を前記電子ビーム露光装置の基本描画単位である台形状に分割する台形分割ステップをさらに備える請求項５または６に記載の露光データ作成方法。
8. 前記セグメント生成ステップは、１つの前記マージン領域について、該マージン領域に隣接するセグメントに対して並列に実行される請求項２〜４のいずれか一項に記載の露光データ作成方法。
9. 電子ビーム露光装置用の露光データの作成時において、描画する図形データを含む描画エリアを分割して、前記電子ビーム露光装置内の描画ヘッドが一度に描画可能である大きさのフィールドを生成する露光データ作成装置であって、
   前記描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する前記領域間の境界を含んだマージン領域を設定する第１の手段と、
   前記マージン領域内に含まれる対象図形を前記隣接する領域に振り分け、前記フィールドを得る第２の手段と、を備えてなることを特徴とする露光データ作成装置。
10. 前記第２の手段は、
    前記描画エリアを第１の方向に沿った前記マージン領域内のいずれかの位置で分割することで、前記露光データの並列処理が可能な単位領域であるセグメントを生成するセグメント生成手段と、
    各前記セグメントを前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿った前記マージン領域内のいずれかの位置で分割することで、前記描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有する前記フィールドを生成するフィールド生成手段と、を含む請求項９に記載の露光データ作成装置。
11. 前記セグメント生成手段は、
    前記描画エリア上の、共に前記第１の方向に平行な第１のマージン境界線と第２のマージン境界線とで挟まれた前記マージン領域内において、該マージン領域内に含まれる前記対象図形の外郭部分の前記第２の方向に平行な軸上の座標と、前記第１のマージン境界線および前記第２のマージン境界線と、の位置関係を判定する第１の判定手段と、
    前記対象図形の最も前記第１のマージン寄りにある座標のみが前記第１のマージン境界線のみに接すると前記第１の判定手段において判定された場合、前記対象図形を、前記第１のマージン境界線を含むセグメント内の図形として振り分ける第１の振分け手段と、
    前記対象図形の最も前記第２のマージン寄りにある座標のみが前記第２のマージン境界線のみに接すると前記第１の判定手段において判定された場合、前記対象図形を、前記第２のマージン境界線を含むセグメント内の図形として振り分ける第２の振分け手段と、
    前記対象図形の最も前記第１のマージン寄りにある座標が前記第１のマージン領域に接し、かつ、最も前記第２のマージン寄りにある座標が第２のマージン境界線に接すると前記第１の判定手段において判定された場合、前記対象図形を微小図形が生じないように分割し、分割された前記対象図形のうち、前記第１のマージン寄りの図形を前記第１のマージン境界線を含むセグメント内の図形として、かつ、前記第２のマージン寄りの図形を前記第２のマージン境界線を含むセグメント内の図形として、それぞれ振り分ける第３の振分け手段と、
    前記対象図形の外郭部分が前記第１のマージン領域および第２のマージン境界線のいずれにも接しないと前記第１の判定手段において判定された場合、前記対象図形を、前記第１のマージン境界線を含むセグメントもしくは前記第１のマージン境界線を含むセグメントのいずれか一方のセグメント内の図形として振り分ける第４の振分け手段と、を含む請求項１０に記載の露光データ作成装置。
12. 前記第３の振分け手段は、
    前記対象図形の各頂点の前記第２の方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する第１のインターバル算出手段と、
    隣接する２つの前記インターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいか否かを判定する第１のインターバル判定手段と、
    該第１のインターバル判定手段において前記隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいと判定された場合、前記第２の方向に平行な軸上の、該隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する第１の分割線設定手段と、
    前記第１のインターバル判定手段において前記隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが前記所定の長さよりも小さいと判定された場合、前記第１のインターバル算出手段で算出された前記インターバルのなかに、前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する第２のインターバル判定手段と、
    該第２のインターバル判定手段において前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定された場合、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第２の分割線設定手段と、
    前記第２のインターバル判定手段において前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、前記第１のインターバル算出手段で算出された前記インターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第３の分割線設定手段と、
    前記第１の分割線設定手段、前記第２の分割線設定手段もしくは前記第３の分割線設定手段のいずれかによって設定された分割線で前記対象図形を分割する第１の対象図形分割手段と、を含む請求項１１に記載の露光データ作成装置。
13. 前記フィールド生成手段は、
    各前記セグメント上の、共に前記第２の方向に平行である第３のマージン境界線と第４のマージン境界線とで挟まれた前記マージン領域内において、該マージン領域内に含まれる前記対象図形の外郭部分の前記第１の方向に平行な軸上の座標と、前記第３のマージン境界線および前記第４のマージン境界線と、の位置関係を判定する第２の判定手段と、
    前記対象図形の最も前記第３のマージン寄りにある座標のみが前記第３のマージン境界線のみに接すると前記第２の判定手段において判定された場合、前記対象図形を、前記第３のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分ける第５の振分け手段と、
    前記対象図形の最も前記第４のマージン寄りにある座標のみが前記第４のマージン境界線のみに接すると前記第２の判定手段において判定された場合、前記対象図形を、前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分ける第６の振分け手段と、
    前記対象図形の最も前記第３のマージン寄りにある座標が前記第３のマージン領域に接し、かつ、最も前記第４のマージン寄りにある座標が第４のマージン境界線に接すると前記第２の判定手段において判定された場合、前記対象図形を微小図形が生じないように分割し、分割された前記対象図形のうち、前記第３のマージン寄りの図形を前記第３のマージン境界線を含むフィールド内の図形として、かつ、前記第４のマージン寄りの図形を前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として、それぞれ振り分ける第７の振分け手段と、
    前記対象図形の外郭部分が前記第３のマージン領域および第４のマージン境界線のいずれにも接しないと前記第２の判定手段において判定された場合、前記対象図形を、前記第３のマージン境界線を含むフィールドもしくは前記第４のマージン境界線を含むフィールドのいずれか一方のフィールド内の図形として振り分ける第８の振分け手段と、を含む請求項１１または１２に記載の露光データ作成装置。
14. 前記第７の振分け手段は、
    前記対象図形の各頂点の前記第１の方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する第２のインターバル算出手段と、
    隣接する２つの前記インターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいか否かを判定する第３のインターバル判定手段と、
    該第３のインターバル判定手段において前記隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいと判定された場合、前記第１の方向に平行な軸上の、該隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する第４の分割線設定手段と、
    前記第３のインターバル判定手段において前記隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが前記所定の長さよりも小さいと判定された場合、前記第２のインターバル算出手段で算出された前記インターバルのなかに、前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する第４のインターバル判定手段と、
    該第４のインターバル判定手段において前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定された場合、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第５の分割線設定手段と、
    前記第４のインターバル判定手段において前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、前記第２のインターバル算出手段で算出された前記インターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第６の分割線設定手段と、
    前記第４の分割線設定手段、前記第５の分割線設定手段もしくは前記第６の分割線設定手段のいずれかによって設定された分割線で前記対象図形を分割する第２の対象図形分割手段と、を含む請求項１３に記載の露光データ作成装置。
15. 前記第５の振分け手段、前記第６の振分け手段、前記第７の振分け手段もしくは前記第８の振分け手段のいずれかによって前記第３のマージン境界線を含むフィールド内もしくは前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分けられた後、各前記フィールド内に含まれる図形を前記電子ビーム露光装置の基本描画単位である台形状に分割する台形分割手段をさらに備える請求項１３または１４に記載の露光データ作成装置。
16. 前記セグメント生成手段は、１つの前記マージン領域について、該マージン領域に隣接するセグメントに対して並列に実行されて前記セグメントを生成する請求項１０または１１に記載の露光データ作成装置。
17. 電子ビーム露光装置用の露光データの作成時において、描画する図形に係るデータを含む描画エリアを分割して、前記電子ビーム露光装置内の描画ヘッドが一度に描画可能である大きさのフィールドを生成する露光データ作成方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
    前記描画エリアの分割後に規定される領域に関し、隣接する前記領域間の境界を含んだマージン領域を設定する第１のステップと、
    前記マージン領域内に含まれる対象図形を前記隣接する領域に振り分け、前記フィールドを得る第２のステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
18. 前記第２のステップは、
    前記描画エリアを第１の方向に沿った前記マージン領域内のいずれかの位置で分割することで、前記露光データの並列処理が可能な単位領域であるセグメントを生成するセグメント生成ステップと、
    各前記セグメントを前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿った前記マージン領域内のいずれかの位置で分割することで、前記描画ヘッドが一度に描画可能な大きさを有する前記フィールドを生成するフィールド生成ステップと、を含む請求項１７に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
19. 前記セグメント生成ステップは、
    前記描画エリア上の、共に前記第１の方向に平行な第１のマージン境界線と第２のマージン境界線とで挟まれた前記マージン領域内において、該マージン領域内に含まれる前記対象図形の外郭部分の前記第２の方向に平行な軸上の座標と、前記第１のマージン境界線および前記第２のマージン境界線と、の位置関係を判定する第１の判定ステップと、
    前記対象図形の最も前記第１のマージン寄りにある座標のみが前記第１のマージン境界線のみに接すると前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第１のマージン境界線を含むセグメント内の図形として振り分ける第１の振分けステップと、
    前記対象図形の最も前記第２のマージン寄りにある座標のみが前記第２のマージン境界線のみに接すると前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第２のマージン境界線を含むセグメント内の図形として振り分ける第２の振分けステップと、
    前記対象図形の最も前記第１のマージン寄りにある座標が前記第１のマージン領域に接し、かつ、最も前記第２のマージン寄りにある座標が第２のマージン境界線に接すると前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を微小図形が生じないように分割し、分割された前記対象図形のうち、前記第１のマージン寄りの図形を前記第１のマージン境界線を含むセグメント内の図形として、かつ、前記第２のマージン寄りの図形を前記第２のマージン境界線を含むセグメント内の図形として、それぞれ振り分ける第３の振分けステップと、
    前記対象図形の外郭部分が前記第１のマージン領域および第２のマージン境界線のいずれにも接しないと前記第１の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第１のマージン境界線を含むセグメントもしくは前記第１のマージン境界線を含むセグメントのいずれか一方のセグメント内の図形として振り分ける第４の振分けステップと、を含む請求項１８に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
20. 前記第３の振分けステップは、
    前記対象図形の各頂点の前記第２の方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する第１のインターバル算出ステップと、
    隣接する２つの前記インターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいか否かを判定する第１のインターバル判定ステップと、
    該第１のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいと判定された場合、前記第２の方向に平行な軸上の、該隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する第１の分割線設定ステップと、
    前記第１のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが前記所定の長さよりも小さいと判定された場合、前記第１のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルのなかに、前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する第２のインターバル判定ステップと、
    該第２のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定された場合、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第２の分割線設定ステップと、
    前記第２のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、前記第１のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第３の分割線設定ステップと、
    前記第１の分割線設定ステップ、前記第２の分割線設定ステップもしくは前記第３の分割線設定ステップのいずれかによって設定された分割線で前記対象図形を分割する第１の対象図形分割ステップと、を含む請求項１９に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
21. 前記フィールド生成ステップは、
    各前記セグメント上の、共に前記第２の方向に平行である第３のマージン境界線と第４のマージン境界線とで挟まれた前記マージン領域内において、該マージン領域内に含まれる前記対象図形の外郭部分の前記第１の方向に平行な軸上の座標と、前記第３のマージン境界線および前記第４のマージン境界線と、の位置関係を判定する第２の判定ステップと、
    前記対象図形の最も前記第３のマージン寄りにある座標のみが前記第３のマージン境界線のみに接すると前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第３のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分ける第５の振分けステップと、
    前記対象図形の最も前記第４のマージン寄りにある座標のみが前記第４のマージン境界線のみに接すると前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分ける第６の振分けステップと、
    前記対象図形の最も前記第３のマージン寄りにある座標が前記第３のマージン領域に接し、かつ、最も前記第４のマージン寄りにある座標が第４のマージン境界線に接すると前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を微小図形が生じないように分割し、分割された前記対象図形のうち、前記第３のマージン寄りの図形を前記第３のマージン境界線を含むフィールド内の図形として、かつ、前記第４のマージン寄りの図形を前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として、それぞれ振り分ける第７の振分けステップと、
    前記対象図形の外郭部分が前記第３のマージン領域および第４のマージン境界線のいずれにも接しないと前記第２の判定ステップにおいて判定された場合、前記対象図形を、前記第３のマージン境界線を含むフィールドもしくは前記第４のマージン境界線を含むフィールドのいずれか一方のフィールド内の図形として振り分ける第８の振分けステップと、を含む請求項１９または２０に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
22. 前記第７の振分けステップは、
    前記対象図形の各頂点の前記第１の方向に平行な軸上の各座標の間隔であるインターバルを算出する第２のインターバル算出ステップと、
    隣接する２つの前記インターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいか否かを判定する第３のインターバル判定ステップと、
    該第３のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さが共に所定の長さよりも大きいと判定された場合、前記第１の方向に平行な軸上の、該隣接する２つのインターバルで挟まれる座標を通る垂直線を分割線として設定する第４の分割線設定ステップと、
    前記第３のインターバル判定ステップにおいて前記隣接する２つのインターバルの長さのうち少なくとも１つが前記所定の長さよりも小さいと判定された場合、前記第２のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルのなかに、前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在するか否かを判定する第４のインターバル判定ステップと、
    該第４のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在すると判定された場合、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第５の分割線設定ステップと、
    前記第４のインターバル判定ステップにおいて前記所定の長さの２倍以上の長さを有するインターバルが存在しないと判定された場合、前記第２のインターバル算出ステップで算出された前記インターバルの中で最大の長さを有するインターバルを抽出し、該インターバルの中点を通る垂直線を分割線として設定する第６の分割線設定ステップと、
    前記第４の分割線設定ステップ、前記第５の分割線設定ステップもしくは前記第６の分割線設定ステップのいずれかによって設定された分割線で前記対象図形を分割する第２の対象図形分割ステップと、を含む請求項２１に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
23. 前記第５の振分けステップ、前記第６の振分けステップ、前記第７の振分けステップもしくは前記第８の振分けステップのいずれかによって前記第３のマージン境界線を含むフィールド内もしくは前記第４のマージン境界線を含むフィールド内の図形として振り分けられた後、各前記フィールド内に含まれる図形を前記電子ビーム露光装置の基本描画単位である台形状に分割する台形分割ステップをさらに備える請求項２１または２２に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
24. 前記セグメント生成ステップは、１つの前記マージン領域について、該マージン領域に隣接するセグメントに対して並列に実行される請求項１８〜２０のいずれか一項に記載のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。

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