JP2004148411A - 化学機械研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハWと研磨布10との間に研磨剤12を供給しながら研磨を行う(第一の研磨段階)。続いて、ウェーハWと研磨布10との相対運動を継続しながら、研磨剤12の粘度を増大させて研磨を行う(第二の研磨段階)。これにより、ウェーハWと研磨布10との間隙が拡がり、リップルが低減される。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学機械研磨方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェーハ(以下、単にウェーハともいう)を平坦化する技術として化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)法はよく知られている(たとえば、特許文献1)。CMP法は、ウェーハと研磨布とに研磨剤(研磨スラリー)を介在させつつ、ウェーハと研磨布との間に荷重と相対速度を与えることにより、ウェーハを研磨する方法である。
【0003】
たとえば、単結晶インゴットから切り出され、面取り、研削、化学エッチングなどの加工が施されたウェーハの表面には、平坦度に影響をおよぼすようなミリメートルオーダーの長周期のうねりに相当する成分のほか、100μm以下の波長を持ち、P−V値が10nm以下の微小な粗さ成分が存在している。このような微小な表面粗さは、しばしばマイクロラフネスと呼ばれている。中でも、波長が約1〜100μmの成分のものは、リップルと呼ばれている。リップルよりも短波長成分の表面粗さは、ヘイズと呼ばれている。このような表面粗さを低減ないし除去するために、CMP法によりウェーハが鏡面研磨される。
【0004】
CMP法によるウェーハの鏡面研磨工程に関していえば、主にウェーハを平坦化する工程(1次研磨)、主にリップルを低減する工程(2次研磨)、リップルを低減しつつヘイズを除去する工程(仕上研磨)というように、研磨布や研磨剤を交換しながら3回に分けて行うのが一般的である。
【0005】
その一方で、生産性向上のために、上記した2次研磨工程を省略して全体で2段階の工程により鏡面研磨を行う試みもある(たとえば、特許文献2)。このようにする場合、1次研磨工程だけでウェーハを平坦化し、しかもリップルを十分に低減する必要がある。
【0006】
【特許文献1】
特開平9−92632号公報
【特許文献2】
特開平9−38849号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、ウェーハの平坦化に有効な研磨布や研磨剤はリップル低減に不利、リップル低減に有効な研磨布や研磨剤はウェーハの平坦化に不利という理由から、工程数を減らすと逆に研磨効率が悪くなってしまったり、研磨が不十分になったりする。研磨圧力や相対速度の調整で対応しようとすると、装置の改造が必要になるので好ましくない。
【0008】
そこで本発明は、既存の研磨装置を使用しつつも、ウェーハの平坦度を犠牲にすることなく生産性を向上させることができる化学機械研磨方法を提供することを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
上記課題を解決するために本発明は、半導体ウェーハと研磨布との間に研磨剤を供給しながら、半導体ウェーハと研磨布とを相対運動させて半導体ウェーハを化学機械研磨する方法において、相対運動を継続しつつ、研磨剤の粘度を増大させることを特徴とする。
【0010】
図7の概念図に示すように、リップルは、ウェーハWの表面に研磨布10の表面粗さが転写されたものであることが知られている。すなわち、研磨布10の表面粗さの凸部は研削加工での切れ刃に相当し、研磨布10とウェーハWとの間に相対速度が与えられると、切れ刃による条痕が発生する。この条痕が幾重にも重ね合わされることにより、リップル成分の粗さが生成すると考えられている。したがって、研磨布10の表面粗さがウェーハWの表面に切り込む深さを低減させることができれば、リップルを低減することが可能である。
【0011】
一方、研磨中においては、図8に示すようにウェーハと研磨布の間に研磨剤層が形成されていると考えることができる。このような研磨剤層の厚さは、ナビエ・ストーク方程式を、図8に示す2次元モデルについて解くことにより得られる下記近似式(1)から知ることができる。
h=k(μU/P)1/2…(1)
但し、h:研磨剤層厚さ
P:研磨圧力
U:ウェーハと研磨布間の相対速度
k:任意定数
μ:研磨剤の粘度
【0012】
上記の近似式(1)より、研磨剤層の厚さは、研磨剤の粘度μの平方根に比例することが分かる。このことから本発明者は、研磨剤の粘度を増大させればウェーハと研磨布との間隙が拡大し、研磨布の表面粗さ(切れ刃)がウェーハの研磨面に切り込む深さを低減させることができる、という知見を得て本発明を完成させるに至ったのである。つまり、表面の粗い硬質な研磨布を用いて研磨を行う場合であっても、研磨の途中で研磨剤の粘度を増大させることにより、研磨布の表面粗さがウェーハの研磨面に転写されることを十分に抑制することが可能なのである。
【0013】
ただし、ウェーハと研磨布との相対運動を継続しながら、研磨剤の粘度を増大させることが重要である。研磨剤を介して両者が接して相対運動を継続する限り、研磨剤の供給を間断させることはできないので、研磨開始当初は低粘度の研磨剤を研磨布の上に供給し、その後に高粘度の研磨剤を供給する。
【0014】
上記本発明の方法によれば、粗い研磨布を使用しつつも、研磨布の表面粗さがウェーハの研磨面に転写されることを抑制した緻密な研磨を行うことができる。これにより、従来は2回に分けて行っていた研磨工程を1回の工程に短縮することが可能となり、生産性の向上、加工コストの低減が期待できる。また、研磨を継続しながら研磨剤の粘度を増大させるだけでよいので、装置の大幅な改良を必要としない。したがって、既存の研磨装置をそのまま使用でき、設備費がかさむこともない。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
図1は、一般的なCMP装置の模式図である。CMP装置200は、研磨が行われる本体部100と研磨剤供給ユニット101とを含んで構成されている。本体部100には、円盤状の研磨定盤14が水平配置されている。研磨定盤14の上面には、研磨布10が貼り付けられている。研磨布10の鉛直上方には、ウェーハWを保持しつつ研磨圧力を付与する研磨ヘッド16、および研磨剤12を供給するためのノズル20が設けられている。研磨定盤14および研磨ヘッド16,16は、モータ等により個別に回転駆動される。ウェーハWは、研磨ヘッド16に保持された状態で、かつ研磨ヘッド16と研磨定盤14とが水平面内における同方向に回転している状態で、研磨剤12に浸された研磨布10に押し付けられる。これにより、ウェーハWと研磨布10とが相対運動し、ウェーハWが研磨される。
【0016】
研磨布10は、不織布にウレタン樹脂を含浸させたものや、ウレタンを発泡させたものが一般的であり、研磨対象あるいは目的に応じた硬さや表面粗さを持つものが選んで使用される。
【0017】
研磨剤12は、たとえばコロイダルシリカを分散させたアルカリ水溶液である。このような研磨剤12は、研磨剤供給ユニット101に設けられた第一貯留槽22および第二貯留槽24より供給配管34を通じてノズル20から研磨布10の表面上に供給される。貯留槽22,24は、その各々に研磨剤12a,12bを個別に収容することができる。また、各貯留槽22,24に対応して、開閉弁を兼用した流量調整ポンプ30,32が設けられている。流量調整ポンプ30,32は、コントローラ26にプログラムされた研磨シーケンスに従って制御される。これにより、研磨剤12a,12bが別々に、あるいは所定の割合で混合されて本体部100に向けて供給される。
【0018】
研磨されるウェーハWとしては、特に限定されるものではないが、たとえばシリコン単結晶ウェーハ、燐化ガリウム単結晶ウェーハ、砒化ガリウム単結晶ウェーハなどを例示できる。これらの半導体ウェーハは、単結晶インゴットから切り出され、研削、面取り、化学エッチング等の処理が施されたものとすることができる。そして本発明は、そのような半導体ウェーハWを効率良く鏡面研磨するのに好適である。
【0019】
図4は、本発明にかかる化学機械研磨の要旨を表す概念図である。第一の研磨段階では、主にウェーハWを平坦化することを目的としている。第二の研磨段階では、主にリップルを低減することを目的としている。そして第一の研磨段階と、第二の研磨段階とで、1次研磨を構成している。1次研磨のあと、研磨布を交換して仕上研磨を行う。
【0020】
1次研磨で使用する研磨布10には、ウェーハWを十分に平坦化するのに適した硬さ、表面粗さに調整されたものが選択される。そのような研磨布10の表面粗さは大きいので、ウェーハWの研磨面には、研磨布10の表面粗さが転写されたリップルが生成しやすい。
【0021】
そこで図4に示す第二の研磨段階においては、研磨ヘッド16に保持させたウェーハWを研磨布10から離間させず、かつウェーハWと研磨布10との相対運動を継続しつつ、ノズル20より供給する研磨剤12の粘度を第一の研磨段階よりも増大させる。これにより、ウェーハWと研磨布10との間隙がd1からd2に拡がるので、リップルを低減するための研磨を行うことができる。結局、緻密な表面粗さの研磨布を用いて研磨した場合と、同等の研磨レベルが達成される。
【0022】
図2に示すように、鏡面研磨を行う前のウェーハWの表面粗さは、面内方向の波長成分λごとに区分して捉えることができる。各波長成分λを持つ表面粗さは、図3の概念図に示すように互いに重畳しあっているので、大きい波長成分から順番に除去していく必要がある。図2に示す区分に従うとするならば、研磨布10および研磨剤12の種類を換えながら3回に分けて鏡面研磨を行うのが普通である。しかし、本発明によれば、ウェーハの平坦化とリップルの低減を図る1次研磨と、ヘイズの除去を図る仕上研磨とで鏡面研磨(化学機械研磨)を構成することができる。
【0023】
上記のように、化学機械研磨を1次研磨と仕上研磨とで構成し、1次研磨の終了直前に、研磨剤12の粘度を増大させることが好ましい。そうすれば、研磨初期においてウェーハWを平坦化し、終了直前のわずかな時間でリップルを低減するので、生産性の向上が十分に期待できる。
【0024】
具体的には、1次研磨の最後の1分以上3分以下の期間に、研磨剤12の粘度を増大させると好適である。つまり、研磨剤の粘度を増大させた状態で1分以上3分以下の研磨を行う。粘度増大の時期が早すぎると、研磨時間の短縮に繋がらない恐れがあるし、遅すぎるとリップルを低減できない恐れがある。
【0025】
また、ウェーハWの研磨面のリップル成分の表面粗さRyが概ね3nm以下の範囲に収まるまで研磨を継続するのが最適である。上記範囲内に収まるまで表面粗さRyを低減させれば、続く仕上研磨を確実に行うことができ、最終的に高度に研磨された鏡面研磨ウェーハを実現できる。なお、本明細書中において表面粗さRyは、JIS:B0601(1994)に準拠する最大高さを表し、ウェーハのP−V値(Peak to Valley)を意味するものとする。
【0026】
また、研磨継続中においては、ウェーハWと研磨布10との相対速度および研磨圧力はほぼ一定に保つことも重要な点である。相対速度や研磨圧力が変化すると、研磨剤12の粘度を増大させることの効果が損なわれる恐れがある。
【0027】
ノズル20から供給される研磨剤12の粘度を、低粘度から高粘度に変化させる方法にはいくつかある。1つには、図1に示した貯留槽22,24にそれぞれ第一の研磨剤12aと、該第一の研磨剤12aよりも高粘度の第二の研磨剤12bとを予め準備しておく方法である。第一の研磨段階では、低粘度に調整された第一の研磨剤12aだけを使用する。そして、第二の研磨段階では、両方の研磨剤12a,12bを混合して供給するか、第一の研磨剤12aから第二の研磨剤12bに切り換えて供給する。この場合、第二の研磨剤12bは、第一の研磨剤12aに粘度調整剤を混入して粘度を増大させたものとすることができる。特に、第一の研磨剤12aから第二の研磨剤12bに切り換えて供給する方法は、粘度調整の容易性という観点において優れているので好適である。
【0028】
また、第二の研磨剤12bのかわりに、第一の研磨剤12aに混入すべき粘度調整剤のみを貯留槽24に収容させておく方法もある。この場合、第一の研磨段階では第一の研磨剤12aだけを使用し、第二の研磨段階においては第一の研磨剤12aと粘度調整剤とを混合しながら供給することになる。いずれにしても、研磨剤に粘度調整剤を混入して粘度を増大させることができる。これにより比較的簡単に、ノズル20より供給される研磨剤12の粘度増大を図ることができる。
【0029】
1次研磨における第一の研磨剤12aとしては、アルカリ水溶液、コロイダルシリカおよび添加剤などからなり、その粘度が水にほぼ等しく調整されたものを使用することができる。そして、粘度調整剤には、第一の研磨剤12aに対して不活性な水溶性のものを使用するとよい。ここでいう不活性とは、第一の研磨剤12aの水素イオン濃度を変化させたり、コロイダルシリカの凝集を招いたりすることがほとんどないことを意味する。水素イオン濃度が大きく変化すると、研磨剤の持つ化学的な研磨作用と機械的な研磨作用とのバランスが変化するので好ましくない。また、コロイダルシリカが凝集すると、ウェーハ表面の微小な粗さ成分(ヘイズ)の増大を招く。
【0030】
具体的に、上記のような粘度調整剤としては、多価アルコールおよび/またはその誘導体を使用することができる。多価アルコールは、化学的にも不活性、安価、研磨後の洗浄も容易、などの利点を持つので好適である。たとえばメタノールやエタノールといった一価のアルコール類では、所期の粘度向上効果を望めない。
【0031】
具体的に多価アルコールとしては、エチレングリコール、プロピレングリコールおよびグリセリンから選択される1種以上を使用することができる。これらは、化学安定性、コストパフォーマンスおよび研磨後の洗浄容易性の点について特に優れるものである。
【0032】
また、図4に示す第一の研磨段階から第二の研磨段階に移る際には、50mPa・s以上150mPa・s以下の範囲内に収まるようにノズル20から吐出される研磨剤12の粘度を増大させることが好ましい。粘度増大の度合いが小さすぎると、間隙を十分に広げることができず、リップルの発生を十分に抑制できない。逆に大きすぎると、研磨速度が低下して、生産性の向上が見込めなくなる。
【0033】
1次研磨の手順について、より具体的に説明する。
図5に示すのは、研磨剤12の粘度を段階的に増大させる場合の研磨シーケンス図である。縦軸が研磨剤12の粘度μ、横軸は研磨時間tとなっている。図5に示す実施形態では、研磨を開始してt1までが第一の研磨段階であり、t1からt4が第二の研磨段階とされる。t4は1次研磨の終了時期を示している。また、図5に示す実施形態では、研磨剤12の粘度増大を開始するまでの研磨時間t1よりも、開始したあとの研磨時間(t4−t1)のほうが短くなるように設定している。第二の研磨段階に費やす時間(t4−t1)は、前述したように1分以上3分以下とする。
【0034】
さらに、図5に示す実施形態では研磨剤12の粘度μが急激に増大していることからも分かるように、低粘度の研磨剤(第一の研磨剤12a)の供給を停止すると同時に、高粘度の研磨剤(第二の研磨剤12b)の供給を開始している。そして、供給開始/供給停止の切り換えをほぼ同時に行うことから、ノズル20から研磨剤12が途切れることなく研磨布10の表面上に供給されることとなる。したがって、ウェーハWを研磨布10から離間させる必要がない。なお、使用する研磨剤の切り換えは、流量調整ポンプ30,32を制御することによって容易に実現される(図1参照)。
【0035】
次に図6に示すのは、図5と同様の研磨シーケンス図であるが、研磨剤12の粘度を連続的に増大させる実施形態を表している。研磨剤12の粘度増大を開始する時期、すなわち第二の研磨段階の開始時期は、低粘度の研磨剤(第一の研磨剤12a)を用いた研磨を開始して時間t2が経過した時点とされる。つまり、図6に示す実施形態においては、研磨を開始してt2までが第一の研磨段階であり、t2からt4までが第二の研磨段階である。t4は1次研磨の終了時期を示している。また、図6に示す実施形態は図5の形態と同様に、研磨剤12の粘度増大を開始するまでの研磨時間t2よりも、開始したあとの研磨時間(t4−t2)のほうが短くなるように設定している。第二の研磨段階に費やす時間(t4−t2)は、前述したように1分以上3分以下とする。
【0036】
図6に示す実施形態によれば、ノズル20から吐出される研磨剤12の粘度は、所定の粘度に到達するt3まで徐々に増大される。このようにする方法としては、低粘度の研磨剤(第一の研磨剤12a)の供給量を徐々に少なくする一方、高粘度の研磨剤(第二の研磨剤12b)の供給量を徐々に増加する方法がある。あるいは、貯留槽22,24の一方に第一の研磨剤12aを収容させ、他方に前述した粘度調整剤のみを収容させておき、粘度調整剤の供給量を徐々に増やしていくという方法がある。この方法だと、予め準備する研磨剤12の種類としては、1種のみでよいことになる。ただし、粘度を安定させるという観点では、予め2種類の研磨剤12a,12bを混合調整しておき、一方から他方に切り換えて使用する方法が有利である。
【0037】
なお、本明細書は半導体ウェーハの鏡面研磨を例にして記載されているが、本発明がこれに限定されるわけではない。つまり、化学機械研磨方法を必要とするどのような場面にも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】CMP装置の模式図。
【図2】表面粗さと波長成分の対応を説明する図。
【図3】さまざまな波長成分の表面粗さが重畳されたウェーハ表面の模式図。
【図4】本発明のCMP法の要旨を表す概念図。
【図5】研磨剤の粘度を段階的に増大させる場合の研磨シーケンス図。
【図6】研磨剤の粘度を連続的に増大させる場合の研磨シーケンス図。
【図7】リップルの生成を説明するための概念図。
【図8】研磨剤の粘度と研磨剤層の厚さとの関係を導く2次元モデル。
【符号の説明】
10 研磨布
12 研磨剤
W ウェーハ
Claims (7)
- 半導体ウェーハと研磨布との間に研磨剤を供給しながら、前記半導体ウェーハと前記研磨布とを相対運動させて前記半導体ウェーハを化学機械研磨する方法において、前記相対運動を継続しつつ、前記研磨剤の粘度を増大させることを特徴とする化学機械研磨方法。
- 前記化学機械研磨を1次研磨と仕上研磨とで構成し、前記1次研磨の終了直前に、前記相対運動を継続しつつ、前記研磨剤の粘度を増大させることを特徴とする請求項1記載の化学機械研磨方法。
- 前記1次研磨の最後の1分以上3分以下の期間に、前記研磨剤の粘度を増大させることを特徴とする請求項2記載の化学機械研磨方法。
- 前記研磨剤に粘度調整剤を混入して粘度を増大させることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の化学機械研磨方法。
- 前記粘度調整剤は、多価アルコールおよび/またはその誘導体を含むことを特徴とする請求項4記載の化学機械研磨方法。
- 前記多価アルコールが、エチレングリコール、プロピレングリコールおよびグリセリンから選択される1種以上であることを特徴とする請求項5記載の化学機械研磨方法。
- 50mPa・s以上150mPa・s以下の範囲内に収まるように前記研磨剤の粘度を増大させることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の化学機械研磨方法。
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