JP2004134482A - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】多層プリント配線板の分割投影露光の製造方法において、有効ピース面付け数の増加する分割露光の生産方法を用いたプリント配線板の製造方法を提供するである。
【解決手段】基板上に分割投影露光方式によりピース面付けを行う多層プリント配線板の製造方法において、多面付けされたピース間の余白部分にアライメントマークが配置されたオリジナルマスクを用いて、分割投影露光方式により基板上にピース面付けを行うことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】基板上に分割投影露光方式によりピース面付けを行う多層プリント配線板の製造方法において、多面付けされたピース間の余白部分にアライメントマークが配置されたオリジナルマスクを用いて、分割投影露光方式により基板上にピース面付けを行うことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層プリント配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の基板上に分割投影露光機によりピース面付けし、多層プリント配線板を製造するときに用いられるオリジナルマスクにおいて、オリジナルマスク上の有効エリア内にピースを配置する方法を説明する。図3は従来のオリジナルマスクのピース面付の一例を示す平面図である。
【0003】
図に示すように、オリジナルマスク(1)上の配置エリアは分割露光エリア(2)と同じである。前記分割露光エリア(2)の内側に、アライメントマーク(4)及び有効エリア(3)がある。前記有効エリア(3)は前記分割露光エリア(2)内で且つアライメントマーク(4)の配置及びそれに伴うエリアを除外したエリアであり、ピース面付けする為のエリアである。前記分割露光エリア(2)は、前記オリジナルマスク(1)を用いた基板(10)上での分割露光時(図4参照)、1ショットの転写可能な最大エリアの大きさで規制されている。
【0004】
図3は、オリジナルマスク(1)上に、分割露光エリア(2)があり、該エリアの内側の左右にアライメントマーク(4)が対に配置されている。またその内側に有効エリア(3)があり、該エリア(3)内はピース(11)が面付け配置されている。
【0005】
次に、図4は従来の前記オリジナルマスク(1)を用いた分割投影露光方式による基板上のピース面付の一例を示す平面図である。
【0006】
図に示すように、基板(10)上の配置エリアには分割投影有効エリア(5)がある。前記分割投影有効エリア(5)は分割投影の可能な最大エリアである。また、図3に示すオリジナルマスク(1)を用いて分割投影露光する時、オリジナルマスク(1)上の分割露光エリア(2)のみが基板(10)上の分割投影有効エリア(5)内に面付けされ転写形成される。
【0007】
従来の分割投影露光の製造方法により、基板(10)上の分割投影有効エリア(5)内には分割露光エリア(2)が配置されている。前記分割露光エリア(2)内には、アライメントマーク(4)を配置しているため、その分だけ有効エリア(3)が狭まり、ピース(11)の面付け数が増やせない問題がある。そのため生産性が向上せず、基材等の材料費が割高になる悩みがあった。一方、生産技術面では、パターン形成の精度、例えば寸法精度、アライメントマーク精度は年々改善され微細化されてきた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、有効ピース面付け数の増加する分割露光の生産方法を用いた多層プリント配線板の製造方法を提供し、その製造方法を用いることにより多層プリント配線板のコストダウンを行うことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係る発明は、基板上に分割投影露光方式によりピース面付けを行う多層プリント配線板の製造方法において、多面付けされたピース間の余白部分にアライメントマークが配置されたオリジナルマスクを用いて、分割投影露光方式により基板上にピース面付けを行うことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法である。
【0010】
【作用】
このような構成とすることにより、オリジナルマスク上にピース面付けされたエリア以外にアライメントマークを配置する必要が無いので、オリジナルマスク上での不要なエリアを削減でき、多層プリント配線板の基板上で有効ピース面付け数を増加できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の多層プリント配線板の製造方法に係るオリジナルマスクのピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【0012】
図1に示すように、オリジナルマスク(1)上には分割露光エリア(2)がある。前記分割露光エリア(2)は有効エリア(3)と同じエリアである。前記分割露光エリア(2)は分割露光時に1ショットで転写可能な最大エリアである。また、前記有効エリア(3)は前記分割露光エリア(2)とほぼ同じエリアであり、ピース(11)を面付けする為のエリアである。
【0013】
前記有効エリア(3)内側のピース(11)とピース(11)の間の余白部分に左右にアライメントマーク(4)が対に配置されている。
【0014】
次に、図2は本発明に係る分割投影露光方式による基板上のピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【0015】
図に示すように、図1のオリジナルマスク(1)を用いて分割投影露光した例で、基板(10)上の分割投影有効エリア(5)内には分割露光エリア(2)が多面付けして配置されている。また、本発明の製造方法では、アライメントマーク(4)はピース(11)とピース(11)の間の余白部分に配置したため、分割露光エリア(2)と同じエリアに有効エリア(3)が設定され、ピースの面付け数が増加させることができる。
【0016】
【実施例】
次に以下に具体的な実施例に従って説明する。
【0017】
<実施例1>
本発明の製造方法の実施例に従って説明する。まず、基板のサイズは340mm×340mmとした。面付けするピースのサイズは35mm×35mmとした。
【0018】
次に、オリジナルマスク(1)のピース(11)の配置は図1に示す面付けにより行った。分割露光エリア(2)のサイズは70.4mm×70.4mmとし、2×2配列の4ピースを配置し、ピース間の余白は0.4mmとした。前記ピース間の余白エリアにアライメントマーク(4)を配置した。(図1参照)
【0019】
次に、前記基板(10)上の分割露光エリア(2)の配置は図2に示す面付けにより行った。前記分割露光エリア(2)は4×4配列の16個を配置した。また、分割投影有効エリア(5)のサイズは289.6mm×289.6mmとした。
【0020】
前記基板(340mm×340mm)(10)の分割投影有効エリア(289.6mm×289.6mm)(5)内に、ピース(35mm×35mm)(11)は64ピース(4×4×4)の面付けができた。
【0021】
<比較例>
比較例として、従来の製造方法の一例(図3、図4)に従って説明する。基板(10)のサイズは340mm×340mmとした。面付けするピース(11)のサイズは35mm×35mmとした。
【0022】
まず、オリジナルマスク(1)のピース(11)の配置は図3に示す面付けにより行った。分割露光エリア(2)のサイズは140mm×140mmとし、3×3配列の9ピースを配置した。アライメントマーク(4)は分割露光エリア(2)の端部に左右対で配置した。(図3参照)
【0023】
次に、前記基板上の分割露光エリア(2)の配置は図4に示す面付けにより行った。前記分割露光エリア(2)は2×2配列の4個を配置した。また、分割投影有効エリア(5)のサイズは290mm×290mmとした。
【0024】
前記基板(340mm×340mm)(10)の分割投影有効エリア(290mm×290mm)(5)内に、ピース(35mm×35mm)(11)は36ピース(9×2×2)の面付けができた。
【0025】
上述のように、従来の分割露光法の製造方法(比較例)では、基板上に36ピースの面付けができ、本発明の分割露光法の製造方法(実施例1)は基板上に64ピースの面付けが出来た。
【0026】
【発明の効果】
本発明の多層プリント配線板の製造方法は、ピース面付け数を増加する分割露光の製造方法であり、その製造方法を用いることにより基板上のピース数が増加して、生産性が向上し、さらに多層プリント配線板のコストダウンを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多層プリント配線板の製造に係るオリジナルマスクのピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【図2】本発明に係る多層プリント配線板のピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【図3】従来のオリジナルマスクのピース面付けの一例を示す平面図である。
【図4】従来の多層プリント配線板のピース面付けの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
1…オリジナルマスク
2…分割露光エリア
3…有効エリア
4…アライメントマーク
5…分割投影有効エリア
10…基板
11…ピース
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層プリント配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の基板上に分割投影露光機によりピース面付けし、多層プリント配線板を製造するときに用いられるオリジナルマスクにおいて、オリジナルマスク上の有効エリア内にピースを配置する方法を説明する。図3は従来のオリジナルマスクのピース面付の一例を示す平面図である。
【0003】
図に示すように、オリジナルマスク(1)上の配置エリアは分割露光エリア(2)と同じである。前記分割露光エリア(2)の内側に、アライメントマーク(4)及び有効エリア(3)がある。前記有効エリア(3)は前記分割露光エリア(2)内で且つアライメントマーク(4)の配置及びそれに伴うエリアを除外したエリアであり、ピース面付けする為のエリアである。前記分割露光エリア(2)は、前記オリジナルマスク(1)を用いた基板(10)上での分割露光時(図4参照)、1ショットの転写可能な最大エリアの大きさで規制されている。
【0004】
図3は、オリジナルマスク(1)上に、分割露光エリア(2)があり、該エリアの内側の左右にアライメントマーク(4)が対に配置されている。またその内側に有効エリア(3)があり、該エリア(3)内はピース(11)が面付け配置されている。
【0005】
次に、図4は従来の前記オリジナルマスク(1)を用いた分割投影露光方式による基板上のピース面付の一例を示す平面図である。
【0006】
図に示すように、基板(10)上の配置エリアには分割投影有効エリア(5)がある。前記分割投影有効エリア(5)は分割投影の可能な最大エリアである。また、図3に示すオリジナルマスク(1)を用いて分割投影露光する時、オリジナルマスク(1)上の分割露光エリア(2)のみが基板(10)上の分割投影有効エリア(5)内に面付けされ転写形成される。
【0007】
従来の分割投影露光の製造方法により、基板(10)上の分割投影有効エリア(5)内には分割露光エリア(2)が配置されている。前記分割露光エリア(2)内には、アライメントマーク(4)を配置しているため、その分だけ有効エリア(3)が狭まり、ピース(11)の面付け数が増やせない問題がある。そのため生産性が向上せず、基材等の材料費が割高になる悩みがあった。一方、生産技術面では、パターン形成の精度、例えば寸法精度、アライメントマーク精度は年々改善され微細化されてきた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、有効ピース面付け数の増加する分割露光の生産方法を用いた多層プリント配線板の製造方法を提供し、その製造方法を用いることにより多層プリント配線板のコストダウンを行うことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係る発明は、基板上に分割投影露光方式によりピース面付けを行う多層プリント配線板の製造方法において、多面付けされたピース間の余白部分にアライメントマークが配置されたオリジナルマスクを用いて、分割投影露光方式により基板上にピース面付けを行うことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法である。
【0010】
【作用】
このような構成とすることにより、オリジナルマスク上にピース面付けされたエリア以外にアライメントマークを配置する必要が無いので、オリジナルマスク上での不要なエリアを削減でき、多層プリント配線板の基板上で有効ピース面付け数を増加できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の多層プリント配線板の製造方法に係るオリジナルマスクのピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【0012】
図1に示すように、オリジナルマスク(1)上には分割露光エリア(2)がある。前記分割露光エリア(2)は有効エリア(3)と同じエリアである。前記分割露光エリア(2)は分割露光時に1ショットで転写可能な最大エリアである。また、前記有効エリア(3)は前記分割露光エリア(2)とほぼ同じエリアであり、ピース(11)を面付けする為のエリアである。
【0013】
前記有効エリア(3)内側のピース(11)とピース(11)の間の余白部分に左右にアライメントマーク(4)が対に配置されている。
【0014】
次に、図2は本発明に係る分割投影露光方式による基板上のピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【0015】
図に示すように、図1のオリジナルマスク(1)を用いて分割投影露光した例で、基板(10)上の分割投影有効エリア(5)内には分割露光エリア(2)が多面付けして配置されている。また、本発明の製造方法では、アライメントマーク(4)はピース(11)とピース(11)の間の余白部分に配置したため、分割露光エリア(2)と同じエリアに有効エリア(3)が設定され、ピースの面付け数が増加させることができる。
【0016】
【実施例】
次に以下に具体的な実施例に従って説明する。
【0017】
<実施例1>
本発明の製造方法の実施例に従って説明する。まず、基板のサイズは340mm×340mmとした。面付けするピースのサイズは35mm×35mmとした。
【0018】
次に、オリジナルマスク(1)のピース(11)の配置は図1に示す面付けにより行った。分割露光エリア(2)のサイズは70.4mm×70.4mmとし、2×2配列の4ピースを配置し、ピース間の余白は0.4mmとした。前記ピース間の余白エリアにアライメントマーク(4)を配置した。(図1参照)
【0019】
次に、前記基板(10)上の分割露光エリア(2)の配置は図2に示す面付けにより行った。前記分割露光エリア(2)は4×4配列の16個を配置した。また、分割投影有効エリア(5)のサイズは289.6mm×289.6mmとした。
【0020】
前記基板(340mm×340mm)(10)の分割投影有効エリア(289.6mm×289.6mm)(5)内に、ピース(35mm×35mm)(11)は64ピース(4×4×4)の面付けができた。
【0021】
<比較例>
比較例として、従来の製造方法の一例(図3、図4)に従って説明する。基板(10)のサイズは340mm×340mmとした。面付けするピース(11)のサイズは35mm×35mmとした。
【0022】
まず、オリジナルマスク(1)のピース(11)の配置は図3に示す面付けにより行った。分割露光エリア(2)のサイズは140mm×140mmとし、3×3配列の9ピースを配置した。アライメントマーク(4)は分割露光エリア(2)の端部に左右対で配置した。(図3参照)
【0023】
次に、前記基板上の分割露光エリア(2)の配置は図4に示す面付けにより行った。前記分割露光エリア(2)は2×2配列の4個を配置した。また、分割投影有効エリア(5)のサイズは290mm×290mmとした。
【0024】
前記基板(340mm×340mm)(10)の分割投影有効エリア(290mm×290mm)(5)内に、ピース(35mm×35mm)(11)は36ピース(9×2×2)の面付けができた。
【0025】
上述のように、従来の分割露光法の製造方法(比較例)では、基板上に36ピースの面付けができ、本発明の分割露光法の製造方法(実施例1)は基板上に64ピースの面付けが出来た。
【0026】
【発明の効果】
本発明の多層プリント配線板の製造方法は、ピース面付け数を増加する分割露光の製造方法であり、その製造方法を用いることにより基板上のピース数が増加して、生産性が向上し、さらに多層プリント配線板のコストダウンを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多層プリント配線板の製造に係るオリジナルマスクのピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【図2】本発明に係る多層プリント配線板のピース面付けの一実施例を示す平面図である。
【図3】従来のオリジナルマスクのピース面付けの一例を示す平面図である。
【図4】従来の多層プリント配線板のピース面付けの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
1…オリジナルマスク
2…分割露光エリア
3…有効エリア
4…アライメントマーク
5…分割投影有効エリア
10…基板
11…ピース
Claims (1)
- 基板上に分割投影露光方式によりピース面付けを行う多層プリント配線板の製造方法において、多面付けされたピース間の余白部分にアライメントマークが配置されたオリジナルマスクを用いて、分割投影露光方式により基板上にピース面付けを行うことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002295754A JP2004134482A (ja) | 2002-10-09 | 2002-10-09 | 多層プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002295754A JP2004134482A (ja) | 2002-10-09 | 2002-10-09 | 多層プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004134482A true JP2004134482A (ja) | 2004-04-30 |
Family
ID=32285913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002295754A Pending JP2004134482A (ja) | 2002-10-09 | 2002-10-09 | 多層プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004134482A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012009782A (ja) * | 2010-06-28 | 2012-01-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体パッケージの製造方法 |
-
2002
- 2002-10-09 JP JP2002295754A patent/JP2004134482A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012009782A (ja) * | 2010-06-28 | 2012-01-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体パッケージの製造方法 |
KR101827807B1 (ko) * | 2010-06-28 | 2018-02-09 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 반도체 패키지의 제조 방법 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040123 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050824 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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